JPH11204611A - ウエーハカセット移載装置の移載異常検出方式 - Google Patents
ウエーハカセット移載装置の移載異常検出方式Info
- Publication number
- JPH11204611A JPH11204611A JP251898A JP251898A JPH11204611A JP H11204611 A JPH11204611 A JP H11204611A JP 251898 A JP251898 A JP 251898A JP 251898 A JP251898 A JP 251898A JP H11204611 A JPH11204611 A JP H11204611A
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- JP
- Japan
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- wafer cassette
- light
- deviation
- storage shelf
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- Pending
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- Automatic Assembly (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 二重収納検出と収納位置軸ズレ検出の２つの
機能を１つの検出装置で兼ねることができるウエーハカ
セット移載装置を提供する。 【解決手段】 ウエーハカセットハンドリング機構２に
設けられた送受光器７から発せられた光Ａを収納棚６に
設けられた反射板８で反射させ、反射光Ｂの受光レベル
を検知することにより、二重収納検出回路と収納位置軸
ズレ検出回路の２つの機能を１つの検出器で兼ねたウエ
ーハカセット移載装置１の移載異常検出方式。
機能を１つの検出装置で兼ねることができるウエーハカ
セット移載装置を提供する。 【解決手段】 ウエーハカセットハンドリング機構２に
設けられた送受光器７から発せられた光Ａを収納棚６に
設けられた反射板８で反射させ、反射光Ｂの受光レベル
を検知することにより、二重収納検出回路と収納位置軸
ズレ検出回路の２つの機能を１つの検出器で兼ねたウエ
ーハカセット移載装置１の移載異常検出方式。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウエーハ
カセット移載装置の移載異常検出方式に関する。
カセット移載装置の移載異常検出方式に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来からストッカ内における半導体ウエ
ーハカセットの移載作業は、省力化とクリーン度維持の
ため、ウエーハカセット移載装置によって行われてい
る。このストッカ内移載装置は、制御の故障あるいは機
械的故障により移載および収納が正しく行われない場合
がある。このため、ウエーハカセット移載装置には、正
しく収納ができなかったり、二重収納などの事故が起き
ないように、早期の異常検出と異常が起こった場合の自
動補正機能を持つことが必要である。
ーハカセットの移載作業は、省力化とクリーン度維持の
ため、ウエーハカセット移載装置によって行われてい
る。このストッカ内移載装置は、制御の故障あるいは機
械的故障により移載および収納が正しく行われない場合
がある。このため、ウエーハカセット移載装置には、正
しく収納ができなかったり、二重収納などの事故が起き
ないように、早期の異常検出と異常が起こった場合の自
動補正機能を持つことが必要である。
【０００３】ウエーハカセット移載装置のウエーハカセ
ットハンドリング機構は、ウエーハカセットの取り扱い
高さに合わせて上下に移動することができ、移載装置を
ウエーハカセットを収納すべき棚の近くまで移動させ、
前記ウエーハカセットハンドリング機構のハンドによっ
て壁面に取り付けられた収納棚にウエーハカセットを収
納したり、収納棚からウエーハカセット移載装置のハン
ドによってウエーハカセットを把持して取り出す作業を
行う。
ットハンドリング機構は、ウエーハカセットの取り扱い
高さに合わせて上下に移動することができ、移載装置を
ウエーハカセットを収納すべき棚の近くまで移動させ、
前記ウエーハカセットハンドリング機構のハンドによっ
て壁面に取り付けられた収納棚にウエーハカセットを収
納したり、収納棚からウエーハカセット移載装置のハン
ドによってウエーハカセットを把持して取り出す作業を
行う。
【０００４】また、この移載装置のウエーハカセットハ
ンドリング機構には、ウエーハカセットの二重収納を防
止するための投光器および受光器（以下、投受光器と略
称する）が設けられ、ウエーハカセットハンドリング機
構をウエーハカセットの収納位置まで移動させ、収納棚
のウエーハカセットの収納位置の後方に設けられた反射
板との間で移載先のウエーハカセットの有無を検出す
る。
ンドリング機構には、ウエーハカセットの二重収納を防
止するための投光器および受光器（以下、投受光器と略
称する）が設けられ、ウエーハカセットハンドリング機
構をウエーハカセットの収納位置まで移動させ、収納棚
のウエーハカセットの収納位置の後方に設けられた反射
板との間で移載先のウエーハカセットの有無を検出す
る。
【０００５】この検出動作は、投受光器から発せられた
光が収納棚に設けられた反射板で反射され、再び投受光
器に戻って受光されたときは、移載先の収納棚にはまだ
ウエーハカセットが収納されていない状態であり、ウエ
ーハカセットを収納棚に収納することが可能である。ま
た、投受光器から発せられた光が正規に反射されず、投
受光器に戻ってこないときは、移載先の収納棚には既に
ウエーハカセットが収納済みであり、新たなウエーハカ
セットの収納はできない。
光が収納棚に設けられた反射板で反射され、再び投受光
器に戻って受光されたときは、移載先の収納棚にはまだ
ウエーハカセットが収納されていない状態であり、ウエ
ーハカセットを収納棚に収納することが可能である。ま
た、投受光器から発せられた光が正規に反射されず、投
受光器に戻ってこないときは、移載先の収納棚には既に
ウエーハカセットが収納済みであり、新たなウエーハカ
セットの収納はできない。
【０００６】さらに、ウエーハカセット移載装置には、
ウエーハカセットの収納位置が所定位置からずれてい
る、いわゆる軸ズレを検出する機構が設けられ、収納位
置が軸ズレとなった場合はアラームを出し、収納位置補
正のアクションをとるようになっている。
ウエーハカセットの収納位置が所定位置からずれてい
る、いわゆる軸ズレを検出する機構が設けられ、収納位
置が軸ズレとなった場合はアラームを出し、収納位置補
正のアクションをとるようになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが上述の方法で
は、ウエーハカセット移載装置に早期の異常検出とその
自動補正機能や、二重収納事故防止機能を持たせるため
には、ウエーハカセットの二重収納検出装置と収納位置
軸ズレ検出装置とが別々に必要であり、装置が複雑にな
るという課題があった。
は、ウエーハカセット移載装置に早期の異常検出とその
自動補正機能や、二重収納事故防止機能を持たせるため
には、ウエーハカセットの二重収納検出装置と収納位置
軸ズレ検出装置とが別々に必要であり、装置が複雑にな
るという課題があった。
【０００８】本発明はこのような背景の下になされたも
ので、上述の二重収納防止と収納位置軸ズレ検出との２
つの機能を１つのセンサによる検出装置で兼ね、検出機
構を簡素化し、異常検出と制御処理時間の短縮を図るこ
とができるウエーハカセット移載装置を提供することを
目的とする。
ので、上述の二重収納防止と収納位置軸ズレ検出との２
つの機能を１つのセンサによる検出装置で兼ね、検出機
構を簡素化し、異常検出と制御処理時間の短縮を図るこ
とができるウエーハカセット移載装置を提供することを
目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに請求項１に記載の発明は、ウエーハカセットが収納
される収納棚と、前記ウエーハカセットを所定の方向へ
移動させて前記収納棚上へ載せる動作と、前記収納棚上
のウエーハカセットを前記所定方向と反対方向へ移動さ
せて取り出す動作を行うウエーハカセットハンドリング
機構とから構成されるウエーハカセット移載装置におい
て、前記ウエーハカセットハンドリング機構と、前記収
納棚上におけるウエーハカセットが載せられる領域より
前記所定方向へさらに前方の位置とのいずれか一方に設
けられ、いずれか他方からの光線を検出する受光器と、
該受光器の出力を基準値と比較して偏差を出力する加算
器と、該加算器の偏差出力を入力として二重収納検出回
路駆動信号を出力する第１偏差比較器と、前記加算機の
偏差出力を入力として軸ズレ検出回路駆動信号を出力す
る第２偏差比較器とからなるウエーハカセット移載装置
の移載異常検出方式を提供する。
めに請求項１に記載の発明は、ウエーハカセットが収納
される収納棚と、前記ウエーハカセットを所定の方向へ
移動させて前記収納棚上へ載せる動作と、前記収納棚上
のウエーハカセットを前記所定方向と反対方向へ移動さ
せて取り出す動作を行うウエーハカセットハンドリング
機構とから構成されるウエーハカセット移載装置におい
て、前記ウエーハカセットハンドリング機構と、前記収
納棚上におけるウエーハカセットが載せられる領域より
前記所定方向へさらに前方の位置とのいずれか一方に設
けられ、いずれか他方からの光線を検出する受光器と、
該受光器の出力を基準値と比較して偏差を出力する加算
器と、該加算器の偏差出力を入力として二重収納検出回
路駆動信号を出力する第１偏差比較器と、前記加算機の
偏差出力を入力として軸ズレ検出回路駆動信号を出力す
る第２偏差比較器とからなるウエーハカセット移載装置
の移載異常検出方式を提供する。
【００１０】請求項２に記載の発明は、前記ウエーハカ
セットハンドリング機構と、前記収納棚上におけるウエ
ーハカセットが載せられる領域より前記所定方向へさら
に前方の位置とのいずれか一方に受光器が設けられると
ともに、投光器が設けられ、いずれか他方には前記投光
器から投光された光線を前記受光器へ向けて反射させる
反射板が設けられたことを特徴とする請求項１に記載の
ウエーハカセット移載装置の移載異常検出装置を提供す
る。
セットハンドリング機構と、前記収納棚上におけるウエ
ーハカセットが載せられる領域より前記所定方向へさら
に前方の位置とのいずれか一方に受光器が設けられると
ともに、投光器が設けられ、いずれか他方には前記投光
器から投光された光線を前記受光器へ向けて反射させる
反射板が設けられたことを特徴とする請求項１に記載の
ウエーハカセット移載装置の移載異常検出装置を提供す
る。
【００１１】請求項３に記載の発明は、前記ウエーハカ
セットハンドリング機構と、前記収納棚上におけるウエ
ーハカセットが載せられる領域より前記所定方向へさら
に前方の位置とのいずれか一方に投光器が設けられ、該
投光器から投光された光線を検出する受光器が設けられ
たことを特徴とする請求項１に記載のウエーハカセット
移載装置の移載異常検出方式を提供する。
セットハンドリング機構と、前記収納棚上におけるウエ
ーハカセットが載せられる領域より前記所定方向へさら
に前方の位置とのいずれか一方に投光器が設けられ、該
投光器から投光された光線を検出する受光器が設けられ
たことを特徴とする請求項１に記載のウエーハカセット
移載装置の移載異常検出方式を提供する。
【００１２】請求項４に記載の発明は、前記投光器およ
び受光器が前記ウエーハカセットハンドリング機構側に
設けられ、前記反射板が前記収納棚側に設けられたこと
を特徴とする請求項２に記載のウエーハカセット移載装
置の移載異常検出方式。からなるウエーハカセット移載
装置の移載異常検出方式を提供する。
び受光器が前記ウエーハカセットハンドリング機構側に
設けられ、前記反射板が前記収納棚側に設けられたこと
を特徴とする請求項２に記載のウエーハカセット移載装
置の移載異常検出方式。からなるウエーハカセット移載
装置の移載異常検出方式を提供する。
【００１３】また請求項５に記載の発明は、前記第１偏
差比較器は前記加算器の偏差出力が「大」であるとき動
作して信号を出力し、前記第２偏差比較器は前記加算器
の偏差出力が「小」である時動作して信号を出力するこ
とを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のウ
エーハカセット移載装置の移載異常検出方式を提供す
る。
差比較器は前記加算器の偏差出力が「大」であるとき動
作して信号を出力し、前記第２偏差比較器は前記加算器
の偏差出力が「小」である時動作して信号を出力するこ
とを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のウ
エーハカセット移載装置の移載異常検出方式を提供す
る。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施形態につ
いて図を参照しながら説明する。図１はウエーハカセッ
ト移載装置とウエーハカセット収納棚の側面を示す図で
ある。この図において、ウエーハカセット移載装置１の
ウエーハカセットハンドリング機構２は、ウエーハカセ
ット３の取り扱い高さに合わせて上下に移動することが
でき、ウエーハカセット移載装置１をウエーハカセット
３を収納すべき収納棚６の近くまで移動させ、前記ウエ
ーハカセットハンドリング機構２のハンド４によって把
持されたウエーハカセット３を壁面５に取り付けられた
収納棚６に収納したり、ウエーハカセットハンドリング
機構２のハンド４によって収納棚６に収納されているウ
エーハカセット３を把持して取り出す作業を行う。
いて図を参照しながら説明する。図１はウエーハカセッ
ト移載装置とウエーハカセット収納棚の側面を示す図で
ある。この図において、ウエーハカセット移載装置１の
ウエーハカセットハンドリング機構２は、ウエーハカセ
ット３の取り扱い高さに合わせて上下に移動することが
でき、ウエーハカセット移載装置１をウエーハカセット
３を収納すべき収納棚６の近くまで移動させ、前記ウエ
ーハカセットハンドリング機構２のハンド４によって把
持されたウエーハカセット３を壁面５に取り付けられた
収納棚６に収納したり、ウエーハカセットハンドリング
機構２のハンド４によって収納棚６に収納されているウ
エーハカセット３を把持して取り出す作業を行う。
【００１５】また、このウエーハカセット移載装置１の
ウエーハカセットハンドリング機構２には、投光器およ
び受光器（以下、投受光器と略称する）７が設けられ、
壁面５に取り付けられた収納棚６のウエーハカセット３
の収納位置の後方に設けられた反射板８との組み合わせ
によりウエーハカセット３の２重収納防止検出と収納位
置の軸ズレ検出を行う。
ウエーハカセットハンドリング機構２には、投光器およ
び受光器（以下、投受光器と略称する）７が設けられ、
壁面５に取り付けられた収納棚６のウエーハカセット３
の収納位置の後方に設けられた反射板８との組み合わせ
によりウエーハカセット３の２重収納防止検出と収納位
置の軸ズレ検出を行う。
【００１６】次に、上述の構成によるウエーハカセット
３の移載異常検出方式の動作について説明する。まず、
ウエーハカセット移載装置１を移動させてウエーハカセ
ットハンドリング機構２を収納棚６のウエーハカセット
３を収納する位置まで移動させて、前記ウエーハカセッ
トハンドリング機構２のハンド４によって把持されたウ
エーハカセット３を収納すべき収納棚６の近傍に位置さ
せる。
３の移載異常検出方式の動作について説明する。まず、
ウエーハカセット移載装置１を移動させてウエーハカセ
ットハンドリング機構２を収納棚６のウエーハカセット
３を収納する位置まで移動させて、前記ウエーハカセッ
トハンドリング機構２のハンド４によって把持されたウ
エーハカセット３を収納すべき収納棚６の近傍に位置さ
せる。
【００１７】このとき、前記投受光器７と前記反射板８
との組み合わせによる検出器によって既に収納されてい
るウエーハカセットの有無の検出を行う。前記投受光器
７から発せられた光が前記反射板８で反射されて前記投
受光器７に再び戻ってくれば、ウエーハカセットは収納
されていないことになり、収納場所にウエーハカセット
がなければハンド３によって把持されているウエーハカ
セット３を収納棚６に収納する。
との組み合わせによる検出器によって既に収納されてい
るウエーハカセットの有無の検出を行う。前記投受光器
７から発せられた光が前記反射板８で反射されて前記投
受光器７に再び戻ってくれば、ウエーハカセットは収納
されていないことになり、収納場所にウエーハカセット
がなければハンド３によって把持されているウエーハカ
セット３を収納棚６に収納する。
【００１８】さらに前記投受光器７と前記反射板８とに
よる検出器により、収納棚６に収納されたこのウエーハ
カセット移載装置１とウエーハカセットハンドリング機
構２とが軸ずれがなくウエーハカセット３を所定位置に
正しく収納できるかどうかを判定する。上述の検出器の
動作を図１と図２を参照して説明する。前記投受光器７
から投射された光Ａが前記反射板８に当たって反射し、
反射光Ｂとなって前記投受光器７に到達し、データ処理
されて移載異常検出を行う。
よる検出器により、収納棚６に収納されたこのウエーハ
カセット移載装置１とウエーハカセットハンドリング機
構２とが軸ずれがなくウエーハカセット３を所定位置に
正しく収納できるかどうかを判定する。上述の検出器の
動作を図１と図２を参照して説明する。前記投受光器７
から投射された光Ａが前記反射板８に当たって反射し、
反射光Ｂとなって前記投受光器７に到達し、データ処理
されて移載異常検出を行う。
【００１９】図２において、前記反射光Ｂを受光した図
示していない受光素子の受光器出力２１は加算器２２に
おいて基準値２３と比較され、その差出力Δｐが第１偏
差比較器２４と第２偏差比較器に加えられる。前記第１
偏差比較器２４は受光器出力２１の出力値がゼロに近い
など偏差の大きい出力値を比較するための偏差比較器で
あり、この第１偏差比較器２４の出力によって二重収納
検出回路２６を駆動し、二重収納が検出された場合の対
処を行う。
示していない受光素子の受光器出力２１は加算器２２に
おいて基準値２３と比較され、その差出力Δｐが第１偏
差比較器２４と第２偏差比較器に加えられる。前記第１
偏差比較器２４は受光器出力２１の出力値がゼロに近い
など偏差の大きい出力値を比較するための偏差比較器で
あり、この第１偏差比較器２４の出力によって二重収納
検出回路２６を駆動し、二重収納が検出された場合の対
処を行う。
【００２０】また、前記第２偏差検出器２５は前記基準
値２３と前記受光器出力２１の出力との偏差が小さい場
合に動作する偏差比較器であり、この第２偏差比較器２
５の出力値は軸ズレ検出回路２７を駆動し、ウエーハカ
セット収納位置の軸ズレ補正などの動作を行う。
値２３と前記受光器出力２１の出力との偏差が小さい場
合に動作する偏差比較器であり、この第２偏差比較器２
５の出力値は軸ズレ検出回路２７を駆動し、ウエーハカ
セット収納位置の軸ズレ補正などの動作を行う。
【００２１】以上、本発明の一実施形態の動作を図面を
参照して詳述してきたが、本発明はこの実施形態に限ら
れるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設
計変更等があっても本発明に含まれる。
参照して詳述してきたが、本発明はこの実施形態に限ら
れるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設
計変更等があっても本発明に含まれる。
【００２２】
【発明の効果】これまでに説明したように、この発明に
よれば、ウエーハカセット移載装置の移載異常検出方式
において、二重収納検出と軸ズレ検出を１つのセンサを
使って検出するようにしたので、検出機構の簡素化、異
常検出と制御処理時間の短縮を図ることができるという
効果が得られる。
よれば、ウエーハカセット移載装置の移載異常検出方式
において、二重収納検出と軸ズレ検出を１つのセンサを
使って検出するようにしたので、検出機構の簡素化、異
常検出と制御処理時間の短縮を図ることができるという
効果が得られる。
【図１】 本発明の一実施形態によるウエーハカセット
移載装置とウエーハカセット収納棚の側面を示す図であ
る。
移載装置とウエーハカセット収納棚の側面を示す図であ
る。
【図２】 本発明の一実施形態によるウエーハカセット
移載装置の移載異常検出方式の動作を説明するブロック
図である。
移載装置の移載異常検出方式の動作を説明するブロック
図である。
１ ウエーハカセット移載装置 ２ ウエーハカセットハンドリング機構 ３ ウエーハカセット ４ ハンド ５ 壁面 ６ 収納棚 ７ 投光器および受光器（投受光器） ８ 反射板 ２１ 受光器出力 ２２ 加算器 ２３ 基準値 ２４ 第１偏差比較器 ２５ 第２偏差比較器 ２６ 二重収納検出回路 ２７ 軸ズレ検出回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｇ０５Ｄ 3/12 Ｇ０５Ｄ 3/12 Ｈ Ｗ
Claims (5)
- 【請求項１】 ウエーハカセットが収納される収納棚
と、前記ウエーハカセットを所定の方向へ移動させて前
記収納棚上へ載せる動作と、前記収納棚上のウエーハカ
セットを前記所定方向から移動させて取り出す動作を行
うウエーハカセットハンドリング機構とから構成される
ウエーハカセット移載装置において、 前記ウエーハカセットハンドリング機構と、前記収納棚
上におけるウエーハカセットが載せられる領域より前記
所定方向へさらに前方の位置とのいずれか一方に設けら
れ、いずれか他方からの光線を検出する受光器と、 該受光器の出力を基準値と比較して偏差を出力する加算
器と、 該加算器の偏差出力を入力として二重収納検出回路駆動
信号を出力する第１偏差比較器と、 前記加算機の偏差出力を入力として軸ズレ検出回路駆動
信号を出力する第２偏差比較器とからなるウエーハカセ
ット移載装置の移載異常検出方式。 - 【請求項２】 前記ウエーハカセットハンドリング機構
と、前記収納棚上におけるウエーハカセットが載せられ
る領域より前記所定方向へさらに前方の位置とのいずれ
か一方に受光器が設けられるとともに、投光器が設けら
れ、いずれか他方には前記投光器から投光された光線を
前記受光器へ向けて反射させる反射板が設けられたこと
を特徴とする請求項１に記載のウエーハカセット移載装
置の移載異常検出装置。 - 【請求項３】 前記ウエーハカセットハンドリング機構
と、前記収納棚上におけるウエーハカセットが載せられ
る領域より前記所定方向へさらに前方の位置とのいずれ
か一方に投光器が設けられ、該投光器から投光された光
線を検出する受光器が設けられたことを特徴とする請求
項１に記載のウエーハカセット移載装置の移載異常検出
方式。 - 【請求項４】 前記投光器および受光器が前記ウエーハ
カセットハンドリング機構側に設けられ、前記反射板が
前記収納棚側に設けられたことを特徴とする請求項２に
記載のウエーハカセット移載装置の移載異常検出方式。 - 【請求項５】 前記第１偏差比較器は前記加算器の偏差
出力が「大」であるとき動作して信号を出力し、 前記第２偏差比較器は前記加算器の偏差出力が「小」で
ある時動作して信号を出力することを特徴とする請求項
１ないし４のいずれかに記載のウエーハカセット移載装
置の移載異常検出方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP251898A JPH11204611A (ja) | 1998-01-08 | 1998-01-08 | ウエーハカセット移載装置の移載異常検出方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP251898A JPH11204611A (ja) | 1998-01-08 | 1998-01-08 | ウエーハカセット移載装置の移載異常検出方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11204611A true JPH11204611A (ja) | 1999-07-30 |
Family
ID=11531601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP251898A Pending JPH11204611A (ja) | 1998-01-08 | 1998-01-08 | ウエーハカセット移載装置の移載異常検出方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11204611A (ja) |
-
1998
- 1998-01-08 JP JP251898A patent/JPH11204611A/ja active Pending
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Legal Events
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