JP2007242949A - 板状部材の位置決め装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体ウエハのような板状部材の縁部の誤認識を効果的に防止し、高精度な位置決めを行なえるようにした板状部材の位置決め装置と位置決め方法を提供する。
【解決手段】テーブル1上のウエハWに点光源5から光を投光し、当該光の光量安定エリアA内において、センサ6が光を受光することにより前記ウエハWの縁部を検出し、この縁部の検出データに基づいて前記ウエハWの中心位置と結晶方位を示す基準部が算出され、この算出結果に基づいて前記ウエハWの位置決めが行なわれるようにする。
【選択図】図1
【解決手段】テーブル1上のウエハWに点光源5から光を投光し、当該光の光量安定エリアA内において、センサ6が光を受光することにより前記ウエハWの縁部を検出し、この縁部の検出データに基づいて前記ウエハWの中心位置と結晶方位を示す基準部が算出され、この算出結果に基づいて前記ウエハWの位置決めが行なわれるようにする。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体ウエハその他の板状部材の位置決め装置に関する。
従来より、この種の位置決め装置としては、例えば特許文献1に開示されている。同文献の位置決め装置は、位置決めの対象となるウエハ(1)の上方に点光源(4)が設けられ、そのウエハ(1)の下方には受光面の一部が該ウエハ(1)と重なる形態でラインセンサ(5)が設置され、点光源(4)から発せられた光をラインセンサ(5)の受光面で受光することによりウエハ(1)の縁部を検出し、この検出データを基にウエハ(1)の位置決めを行なうようにしている。尚、カッコ内の符号は特許文献1で用いられているものである。以下も同様とする。
しかしながら、前記従来の位置決め装置によると、ウエハ(1)上方の点光源(4)から発せられた光をウエハ(1)下方のラインセンサ(5)の受光面で受光する構成を採用しているため、ウエハ(1)の縁部ではないのに縁部と誤って検出してしまうおそれがある。すなわち、点光源(4)から発せられる光の光量はどの場所でも安定しているものではない。図3に点光源から所定間隔離れたある直線上の光量の分布を簡易的に示した。この図において光源からある距離を隔てたポイントBで示した位置を境にして、光量が急激に変化する。これを別の図で表現すると図7のようになる。つまり、C点をウエハ(1)の端部として検出しなければならないところを、光量が急激に変化するポイントBをラインセンサ(5)が受光してしまうと、その位置がウエハ(1)の端部だと誤認識してしまい、ウエハ(1)の中心位置などを検出することができなくなり、誤った位置を中心と判断してウエハ(1)が位置決めされてしまう。このような状況は、数十ミクロンにまで極薄に研削されたウエハ(1)や、ウエハ(1)に代えて光透過性のある板状部材の位置決めをするときに、ラインセンサ(5)の感度を上げて検出する場合に多発する現象である。このような誤認識が発生すると、後工程で当該ウエハ(1)を破損させてしまう等の不具合が生じる。
本発明は前記問題点を解決するためになされたもので、その目的とするところは、半導体ウエハのような板状部材の縁部の誤認識を効果的に防止し、高精度な位置決めを行なえるようにした板状部材の位置決め装置と位置決め方法を提供することにある。
前記目的を達成するために、本発明に係る板状部材の位置決め装置は、板状部材の位置決め装置において、前記板状部材に光を投光する点光源と、前記板状部材を挟んで前記点光源と対向する位置に設けられるとともに、前記点光源から発せられた光によって前記板状部材の縁部を検出するセンサとを有し、前記センサの受光面が前記点光源から発せられる光の光量安定エリア内に位置することを特徴とする。
前記本発明に係る板状部材の位置決め装置において、前記光量安定エリアは、反射板によって増幅されるようにしてもよい。
前記本発明に係る板状部材の位置決め装置において、前記光量安定エリアは、レンズによって増幅されるようにしてもよい。
前記本発明に係る板状部材の位置決め装置において、前記光量安定エリア内の光は、レンズによって平行光とされるようにしてもよい。
前記目的を達成するために、本発明に係る板状部材の位置決め方法は、前記板状部材に点光源の光を投光し、前記点光源から発せられる光の光量安定エリア内でセンサが前記点光源の光を受光することにより前記板状部材の縁部を検出し、前記縁部の検出データに基づいて前記板状部材の中心位置を算出し、この算出結果に基づいて前記板状部材の位置決めを行なうことを特徴とする。
前記本発明に係る板状部材の位置決め方法において、前記光量安定エリアは、反射板によって増幅されるようにしてもよい。
前記本発明に係る板状部材の位置決め方法において、前記光量安定エリアは、レンズによって増幅されるようにしてもよい。
前記本発明に係る板状部材の位置決め方法において、前記光量安定エリア内の光は、レンズによって平行光とされるようにしてもよい。
本発明にあっては、上記の如くセンサの受光面が点光源から発せられる光の光量安定エリア内に位置する構成を採用したため、前述のような光量が急激に変化する境界を板状部材の縁部として誤検出してしまうことがなくなり、板状部材の縁部の検出ミスを防止することができる。また、その縁部の検出データから板状部材の中心位置や、結晶方位を示す基準部等を高精度に算出することが可能となり、板状部材の位置決め精度の向上を図ることができ、誤った位置を板状部材の中心と判断して当該板状部材を破損させてしまったり、結晶方位の誤認識による後工程での不具合等を効果的に防止することができる。
以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。
図1は本発明の一実施形態である板状部材の位置決め装置の正面図、図2はその位置決め装置の平面図、図3は光量分布の概略説明図、図4ないし図6は本発明の他の実施形態の説明図である。
図1に示した板状部材の位置決め装置はテーブル1を備えており、テーブル1は、その上面に多数のバキューム孔(図示省略)を有し、上面に載せられた板状部材(本実施形態では半導体ウエハ(以下「ウエハW」という))の下面を吸着することで、当該ウエハWを固定した状態に保つことができるように構成されている。また、このテーブル1は、図示しない位置制御可能なモータでそれぞれ駆動されるXステージ2、Yステージ3、θステージ4により、X方向とY方向への水平移動およびθ方向(図2参照)の回転移動が可能になっている。ここで光量安定エリアとは、前述のような急激な光量変化領域を含まずに安定した光量が得られる領域を光量安定エリアと称する。
テーブル1の上方には点光源5が設けられており、点光源5はテーブル1上のウエハWの表面に向かって光を投光する。本実施形態では、点光源5から所定距離離れた仮想平面上において、最大光量を100%としたときに80%以下になる領域を含まない領域を光量安定エリアAとして採用した。また、この種の点光源5としては、例えばLEDを採用することができ、必要に応じてレーザを採用してもよい。
テーブル1の下方には、前記点光源5から発せられた光によってウエハWの縁部を検出するためのセンサとして、ラインセンサ6が設けられており、ラインセンサ6は、テーブル1上のウエハWを挟んで前記点光源5と対向する位置にあって、長手方向がウエハWの径方向に沿って設置され、その受光面の一部がウエハWと重なる形態になっている。ラインセンサ6によるウエハWの位置決めは、θ方向へのテーブル1の回転移動により、ウエハWの全周について複数箇所で行なわれる。また、このラインセンサ6の受光面6aは、図2のように点光源5から発せられる光の光量安定エリアA内に位置するように設けられている。
次に、上記の如く構成された本実施形態の位置決め装置の動作について図1を基に説明する。
本実施形態の位置決め装置では、図示しない搬送ロボットにより図1のようにテーブル1上にウエハWがセットされ、ラインセンサ6が光の受光量に応じたセンサ信号Sを制御装置7へ出力する。このとき、ラインセンサ6の受光面6a全体のうち、ウエハWの縁部より内側の範囲では、ウエハWの影により低レベルのセンサ信号SLが出力される一方、ウエハWの縁部より外側の範囲では、点光源5から発せられた安定した光量の高レベルのセンサ信号SHが出力される。
前記のようなセンサ信号Sが制御装置7に入力されると、制御装置7では、低レベルのセンサ信号SLから高レベルのセンサ信号SHに変化する点をウエハWの縁部として検出する。このような縁部の検出処理は、前述の通り、ウエハWの全周について複数箇所で行なわれる。そして、複数箇所で行なわれた縁部の検出データからウエハWの中心位置や結晶方位を示す基準部としてのVノッチN、またはオリエンテーションフラット(図示省略)の位置などが制御装置7で算出され、この算出結果に基づいて制御装置7からXステージ2、Yステージ3、θステージ4の駆動系に駆動信号が出力され、所定位置にウエハWが正確に位置決めされ、停止する。そして、前記図示しない搬送ロボットが当該位置決めされたウエハを位置ズレしないように次の工程へ搬送することとなる。
以上説明した本実施形態の位置決め装置によると、ラインセンサ6の受光面6aが点光源5から発せられる光の光量安定エリアA内に位置する構成を採用したため、光量が急激に変化するポイントB(図7参照)をウエハWの縁部として誤検出してしまうことがなく、ウエハWの縁部の検出ミスがなくなる。また、その縁部の検出データからウエハWの中心位置や、結晶方位を示す基準部等を高精度に検出することが可能となり、ウエハWの位置決め精度の向上を図れ、誤った位置をウエハWの中心と判断して当該ウエハWを破損させてしまったり、結晶方位の誤認識による後工程での不具合等を効果的に防止することができる。
以上のように、本発明の実施形態を開示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、前記実施形態では、板状部材としてウエハWを対象としたが、これに代えてガラス、鋼板、または、樹脂板等、その他の板状部材も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。また板状部材は、円形のものに限らず、多角形状であってもよい。
更に、図1の位置決め装置では、点光源5から所定距離離れた仮想平面上において、最大光量を100%としたときに80%以下になる領域を含まない領域を光量安定エリアAとして採用したが、例えば、図8に示すような光量分布図で表せるような点光源を使用した場合、最大光量に対して60%付近まで急激な光量変化領域を含まないのであれば、60%以下になる領域を含まない領域を光量安定エリアAとして採用することが出来る。要は、ラインセンサ6が、急激に光量が変化する境界を板状部材の縁部として誤検出しない領域を光量安定エリアAとすればよい。
また、図7のような状態から光量安定エリアA内にラインセンサ6が収まるようにするためには、図1のように点光源5をラインセンサ6から上方へ遠ざければよいが、装置の構成上障害物があって遠ざけることができない場合や、遠ざけることによる装置全体の大型化を避けたい場合は、図4のように、点光源5からラインセンサ6までの光路に反射板8を設け、屈折させて延長することにより、光量安定エリアAを増幅するようにしてもよい。また、光量安定エリアAを増幅する他の構成として、図5のように、点光源5からラインセンサ6までの光路の途中に凹レンズ9を設置してもよい。更に、図示は省略するが、図4の反射板8と図5の凹レンズ9を併用することもできる。
また、図4の位置決め装置において、点光源5からラインセンサ6に照射される光量安定エリアA内の光は斜光になっているが、この斜光は図6のように光路の終端付近に凸レンズ10を設置して平行光とすることができる。この点については図1と図5の位置決め装置でも同様である。ラインセンサ6でウエハWの縁部を検出するのにあたり、斜光の場合はウエハWとラインセンサ6との離間距離に応じて生じる誤差(図1参照)を補正しなければならないが、平行光の場合はかかる誤差は生じないため、そのような誤差の補正を省略できる。
5 点光源
6 ラインセンサ
8 反射板
9 凹レンズ
10 凸レンズ
A 光量安定エリア
W ウエハ(板状部材)
6 ラインセンサ
8 反射板
9 凹レンズ
10 凸レンズ
A 光量安定エリア
W ウエハ(板状部材)
Claims (8)
- 板状部材の位置決め装置において、
前記板状部材に光を投光する点光源と、
前記板状部材を挟んで前記点光源と対向する位置に設けられるとともに、前記点光源から発せられた光によって前記板状部材の縁部を検出するためのセンサとを有し、
前記センサの受光面が前記点光源から発せられる光の光量安定エリア内に位置する
ことを特徴とする板状部材の位置決め装置。 - 前記光量安定エリアは、反射板によって増幅されていることを特徴とする請求項1に記載の板状部材の位置決め装置。
- 前記光量安定エリアは、レンズによって増幅されていることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の板状部材の位置決め装置。
- 前記光量安定エリア内の光は、レンズによって平行光とされていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の板状部材の位置決め装置。
- 板状部材の位置決め方法において、
前記板状部材に点光源の光を投光し、
前記点光源から発せられる光の光量安定エリア内でセンサが前記点光源の光を受光することにより前記板状部材の縁部を検出し、
前記縁部の検出データに基づいて前記板状部材の中心位置を算出し、この算出結果に基づいて前記板状部材の位置決めを行なうこと
を特徴とする板状部材の位置決め方法。 - 前記光量安定エリアは、反射板によって増幅されていることを特徴とする請求項5に記載の板状部材の位置決め方法。
- 前記光量安定エリアは、レンズによって増幅されていることを特徴とする請求項5または6のいずれかに記載の板状部材の位置決め方法。
- 前記光量安定エリア内の光は、レンズによって平行光とされていることを特徴とする請求項5ないし7のいずれかに記載の板状部材の位置決め方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006064322A JP2007242949A (ja) | 2006-03-09 | 2006-03-09 | 板状部材の位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010161193A (ja) * | 2009-01-08 | 2010-07-22 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハのアライメント装置 |
CN101943601A (zh) * | 2009-07-06 | 2011-01-12 | 株式会社电装 | 光检测装置 |
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2006
- 2006-03-09 JP JP2006064322A patent/JP2007242949A/ja not_active Withdrawn
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CN101943601A (zh) * | 2009-07-06 | 2011-01-12 | 株式会社电装 | 光检测装置 |
JP2011013172A (ja) * | 2009-07-06 | 2011-01-20 | Denso Corp | 光検出装置 |
US8299434B2 (en) | 2009-07-06 | 2012-10-30 | Denso Corporation | Light detecting device |
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