JPH10265025A - ガラス基板ズレ測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 機械的構造の簡素化及び小スペース化を図る
こと。 【解決手段】 二つの測定光学系１０及び１１は、収納
カセット５内に水平状態で複数段に収納されている長方
形状のガラス基板６１の端面６１ａ近傍に配され、各ガ
ラス基板取り出しのために収納カセット５に向けて搬送
ロボットのハンド１を直線移動させる直前におけるハン
ド１の姿勢を決定する。各測定光学系１０又は１１にお
いて、光源位置と、正しい収納位置にあるガラス基板端
面６１ａにおいてビームスポットが写るビームスポット
基準位置Ｐ１ｂ又はＰ２ｂとが互いに共役となるよう構
成され、かつ、ビームスポット基準位置Ｐ１ｂ又はＰ２
ｂと固体撮像素子位置とが互いに共役となるよう構成さ
れる。ハンド１の仮想中心線ＣＬ１がガラス基板６１の
仮想中心線ＣＬ２と一致するように直線移動直前のハン
ド１の姿勢を決定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルなどに
使用されるガラス基板の少なくとも角度ズレを測定する
ためのガラス基板ズレ測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、液晶パネル等の製造ラインの工
程中に、収納カセット内に水平状態で多段収納されてい
る個々のガラス基板を搬送ロボットにより取り出して処
理室内にセットし、この処理室内でガラス基板に対し所
定の処理例えばスパッタリング等を施し、この処理が終
了すると、ガラス基板を搬送ロボットによって別の収納
カセット又は元の収納カセット内に収納し、次の工程に
備えるガラス基板取出、収納工程がある。

【０００３】このようなガラス基板取出、収納工程にお
いては、処理室内にガラス基板を正しくセットした状態
で上記所定の処理を行なう必要があるため、収納カセッ
ト内からガラス基板を取り出す際、搬送ロボットのハン
ドが、正規の位置（ガラス基板を処理室内に正しくセッ
トするために要求される、ハンドによって保持されるべ
きガラス基板の位置）でガラス基板を保持して取り出す
ことが要求される。

【０００４】このような要求に応えるために、通常次の
ような対応策、すなわち、実工程に先立ち、まずガラ
ス基板を収納カセット内に正しい収納位置で収納してお
き、この状態で、搬送ロボットのハンドに対し、ガラス
基板をその正規の位置で保持して取り出す作業をティー
チングしておき、その後の実工程において、収納カセ
ット内に収納されているガラス基板の正しい収納位置か
らのズレを測定し、上記ティーチングにより記憶されて
いるハンドの動きを、上記測定されたズレに基づいてガ
ラス基板の位置に適合した動きに補正することにより、
ガラス基板取出時にハンドがガラス基板をその正規の位
置で保持して取り出すことができるようにする対応策が
講じられている。

【０００５】ここで、ガラス基板ズレ測定装置、すなわ
ち、実工程において収納カセット内に収納されているガ
ラス基板の正しい収納位置からのズレを測定するための
ガラス基板ズレ測定装置、の従来例としては、図５及び
図６に示すものが知られている。

【０００６】図５及び図６に示すガラス基板ズレ測定装
置は、搬送ロボットのハンド（ロボットハンド）１とは
別個のズレ測定用ハンド２の上面に、左右方向（Ｘ軸方
向）に所定間隔Ｌを置いて２組の光センサ３と４（各
々、一対の発光素子３ａ又は４ａと受光素子３ｂ又は４
ｂとからなる。）を配置し、ロボットハンド１が収納カ
セット５内に水平状態で複数段に収納されているガラス
基板６１、６２、６３、…、６ｍを取り出す前に、次の
(1) から(n+2) までの順序でズレ測定用ハンド２を動作
させることによって各ガラス基板６１、６２、６３、
…、６ｎの角度ズレΔθを測定している。

【０００７】(1) 最初に、停止位置にあるズレ測定用ハ
ンド２をＸ軸方向に前進させて最上段のガラス基板６１
の下方へ侵入させる。そして、２組の光センサ３、４の
各発光素子３ａ、４ａの光がガラス基板６１の下面によ
って反射され各受光素子３ｂ、４ｂで受光されることに
よって受光素子３ｂ、４ｂがいずれもオンすると、ズレ
測定用ハンド２の前進を停止させる。

【０００８】(2) 次に、ズレ測定用ハンド２を後退さ
せ、停止させる。

【０００９】(3) 次に、ズレ測定用ハンド２をＺ軸方向
に沿って、上から二段目のガラス基板６２の下方からズ
レ測定用ハンド２を侵入させることができる高さ位置ま
で下降させる。

【００１０】(4) 次に、最上段のガラス基板６１に対し
て行なった動作と同様、ズレ測定用ハンド２をＸ軸方向
に前進させて上から二段目のガラス基板６２の下方へ侵
入させ、受光素子３ｂ、４ｂがいずれもオンすると、前
進を停止させる。

【００１１】(5) 次に、ズレ測定用ハンド２を後退さ
せ、停止させる。

【００１２】(6) 次に、ズレ測定用ハンド２をＺ軸方向
に沿って、上から三段目のガラス基板６３の下方からズ
レ測定用ハンド２を侵入させることができる高さ位置ま
で下降させる。

【００１３】(7) 次に、最上段及び上から二段目のガラ
ス基板６１と６２に対して行なった動作と同様、ズレ測
定用ハンド２をＸ軸方向に前進させて上から三段目のガ
ラス基板６３の下方へ侵入させ、受光素子３ｂ、４ｂが
いずれもオンすると、前進を停止させる。

【００１４】(8) 次に、ズレ測定用ハンド２を後退さ
せ、停止させる。以後、上から四段目以降のガラス基板
に対して、ズレ測定用ハンド２を上記と同様に動作させ
る。

【００１５】(n) そして、最下段のガラス基板６ｍに対
して、ズレ測定用ハンド２をＸ軸方向に前進させて最下
段のガラス基板６ｍの下方へ侵入させ、受光素子３ｂ、
４ｂがいずれもオンすると、前進を停止させる。

【００１６】(n+1) 次に、ズレ測定用ハンド２を後退さ
せ、停止させる。

【００１７】(n+2) 最後に、ズレ測定用ハンド２をＺ軸
方向に沿って上昇させ、元の停止位置で停止させる。

【００１８】なお、上記の説明における(1)、(2)、(3)、
(4)、(5)、(6)、(7)、(8)、…(n)、(n+1)、(n+2) は図５中に示
したズレ測定用ハンド２の動作順序を示す同一符号と１
対１に対応させてある。

【００１９】上述した一連のズレ測定用ハンド２の動作
の間、各段毎のガラス基板６１、６２、６３、…、６ｍ
に対する受光素子３ｂ、４ｂの検出信号は図示しない制
御回路に入力される。制御回路は、各受光素子３ｂ、４
ｂがオンしたタイミング及び光センサ３と４との距離Ｌ
に基づいて各段毎のガラス基板６１、６２、６３、…６
ｍの角度ズレΔθを演算する。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のガラス基板ズレ測定装置によると、ズレ測定用ハン
ド２が上述したような複雑な動きをしているため、ズレ
測定用ハンドを駆動する機械的構造が複雑になり、ま
た、ズレ測定用ハンドが前後方向（Ｘ軸方向）に移動す
ることからガラス基板ズレ測定装置が占めるスペースが
比較的大きいという問題があった。

【００２１】本発明は、上記問題点を解決し、機械的構
造の簡素化及び小スペース化を図ることができるガラス
基板ズレ測定装置を提供することを目的とする。

【００２２】

【課題を解決するための手段】本発明によるガラス基板
ズレ測定装置は、請求項１に記載されるように、収納カ
セット内に水平状態で複数段に収納されている長方形状
のガラス基板の端面近傍に配され、前記各ガラス基板取
り出しのために前記収納カセットに向けて搬送ロボット
のハンドを直線移動させる直前における前記ハンドの姿
勢を決定するための二つの測定光学系を備え、各々の測
定光学系は、光源と、前記光源からの入射光からビーム
スポットを生成し前記ガラス基板端面に写す照射側光学
系と、固体撮像素子と、前記ガラス基板端面に写ってい
るビームスポットを前記固体撮像素子に結像させる撮像
側光学系とを備え、前記照射側光学系は、前記光源位置
と、正しい収納位置にあるガラス基板端面においてビー
ムスポットが写るビームスポット基準位置とが互いに共
役となるよう構成され、かつ、前記撮像側光学系は、前
記ビームスポット基準位置と前記固体撮像素子位置とが
互いに共役となるよう構成され、前記ハンドの仮想中心
線が前記ガラス基板の仮想中心線と一致するように前記
直線移動直前の前記ハンドの姿勢を決定することを特徴
とする。

【００２３】また、本発明によるガラス基板ズレ測定装
置は、請求項２に記載されるように、収納カセット内に
水平状態で複数段に収納されている長方形状のガラス基
板の互いに隣り合う端面近傍に配され、前記各ガラス基
板取り出しのために前記収納カセットに向けて搬送ロボ
ットのハンドを直線移動させる直前における前記ハンド
の姿勢、及び、前記ハンドの直線移動の終了位置をそれ
ぞれ決定するための三つの測定光学系を備え、各々の測
定光学系は、光源と、前記光源からの入射光からビーム
スポットを生成し前記ガラス基板端面に写す照射側光学
系と、固体撮像素子と、前記ガラス基板端面に写ってい
るビームスポットを前記固体撮像素子に結像させる撮像
側光学系とを備え、前記照射側光学系は、前記光源位置
と、正しい収納位置にあるガラス基板端面においてビー
ムスポットが写るビームスポット基準位置とが互いに共
役となるよう構成され、かつ、前記撮像側光学系は、前
記ビームスポット基準位置と前記固体撮像素子位置とが
互いに共役となるよう構成され、前記ハンドの仮想中心
線が前記ガラス基板の仮想中心線と一致するように前記
直線移動直前の前記ハンドの姿勢を決定するとともに、
前記ハンドの直線移動の終了位置を決定することを特徴
とする。

【００２４】また、本発明によるガラス基板ズレ測定装
置は、請求項３に記載されるように、請求項１又は請求
項２において、前記固体撮像素子はＣＣＤラインセンサ
により構成されることを特徴とする。

【００２５】また、本発明によるガラス基板ズレ測定装
置は、請求項４に記載されるように、請求項１、請求項
２、請求項３のいずれかにおいて、前記光源はレーザ光
源であることを特徴とする。

【００２６】

【発明の作用効果】請求項１に記載の本発明は、照射側
光学系において、光源位置と、正しい収納位置にあるガ
ラス基板端面においてビームスポットが写るビームスポ
ット基準位置とが互いに共役となるよう構成され、か
つ、撮像側光学系において、ビームスポット基準位置と
固体撮像素子位置とが互いに共役となるよう構成され、
各段のガラス基板の端面に二つのビームスポットを写
し、二つのビームスポットを各々対応する固体撮像素子
に結像させることを特徴としている。

【００２７】このため、ガラス基板端面に角度ズレが生
じている場合であっても、そのガラス基板端面に写るビ
ームスポット位置がビームスポット基準位置と一致して
いる限り、固体撮像素子における結像位置は、ガラス基
板が正しい収納位置にあるときの結像位置と同じ位置に
なる。また、ガラス基板端面が正しい収納位置に対して
照射光学系の前後方向にズレを生じている場合には、固
体撮像素子における結像位置は、ガラス基板が正しい収
納位置にあるときの結像位置を中心としてこのズレの方
向に応じかつこのズレの大きさに応じた距離だけ離れた
位置となる。

【００２８】したがって、請求項１に記載の本発明によ
ると、二つの測定光学系をガラス基板に向かって前進、
後退させなくてもガラス基板の角度ズレを測定でき、ハ
ンドの直線移動直前の姿勢を決定することができる。そ
して、全段のガラス基板に対し、二つの測定光学系を上
下方向（Ｚ軸方向）のみに移動させることによって全段
のガラス基板に対するハンドの直線移動直前の姿勢を決
定することが可能になる。

【００２９】よって、請求項１に記載の本発明による
と、ガラス基板ズレ測定装置の機械的構造の簡素化及び
小スペース化を図ることができる。

【００３０】また、請求項２に記載の本発明は、各段の
ガラス基板の互いに隣り合う二つの端面に三つのビーム
スポットを写し、三つのビームスポットを固体撮像素子
に結像させ、三つの結像位置に基づいて、ハンドの直線
移動直前の姿勢を決定するとともに、ハンドの直線移動
の終了位置を決定するよう構成したことを特徴とする。

【００３１】このため、三つの測定光学系における各測
定光学系は、請求項１に記載の発明と同様、ガラス基板
端面に角度ズレが生じている場合であっても、そのガラ
ス基板端面に写るビームスポット位置がビームスポット
基準位置と一致している限り、固体撮像素子における結
像位置は、ガラス基板が正しい収納位置にあるときの結
像位置と同じ位置になる。また、ガラス基板端面が正し
い収納位置に対して照射光学系の前後方向にズレを生じ
ている場合には、固体撮像素子における結像位置は、ガ
ラス基板が正しい収納位置にあるときの結像位置を中心
としてこのズレの方向に応じかつこのズレの大きさに応
じた距離だけ離れた位置となる。したがって、三つの測
定光学系をガラス基板に向かって前進、後退させなくて
もガラス基板の三点の位置を測定でき、この測定結果に
基づき、ハンドの直線移動直前の姿勢及びハンドの直線
移動の終了位置を決定することができる。

【００３２】したがって、請求項２に記載の本発明によ
ると、全段のガラス基板に対し、三つの測定光学系を上
下方向（Ｚ軸方向）のみに移動させることによって全段
のガラス基板に対するハンドの直線移動直前の姿勢を決
定することが可能になり、このため、機械的構造の簡素
化及び小スペース化を図ることができる。さらに、ハン
ドによるガラス基板取り出し作業開始前にハンドの直線
移動の終了位置を決定することができるため、ガラス基
板取出作業中にハンドの直線移動の終了位置を決定する
場合と比べ、ハンドをガラス基板取出位置まで円滑に移
動させることができる。

【００３３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。

【００３４】図１は、第１実施例によるガラス基板ズレ
測定装置の概念図、図２は、図１図示Ａ矢視図、図３
は、一つの測定光学系の概念図である。

【００３５】図１〜図３において、収納カセット５内に
は、複数枚の長方形状のガラス基板６１、６２、…、６
ｍが水平状態で複数段に収納されている。

【００３６】ガラス基板６１の端面６１ａ近傍には、二
つの測定光学系１０、１１が共通の駆動機構１２によっ
て上下方向（Ｚ軸方向）に上昇、下降可能なように配さ
れている。

【００３７】各々の測定光学系１０又は１１は、光源１
０ａ又は１１ａ例えばレーザ光源と、光源１０ａ又は１
１ａからの入射光からビームスポットを生成しガラス基
板端面例えば６１ａに写す照射側光学系１０ｂ又は１１
ｂと、固体撮像素子１０ｃ又は１１ｃ例えばＣＣＤライ
ンセンサと、ガラス基板端面６１ａに写っているビーム
スポットを固体撮像素子１０ｃ又は１１ｃに結像させる
撮像側光学系１０ｄ又は１１ｄとを備える。

【００３８】照射側光学系１０ｂ又は１１ｂは、光源位
置Ｐ１ａ又はＰ２ａと、正しい収納位置にあるガラス基
板例えば６１（図１に実線で示したガラス基板）の端面
６１ａにおいてビームスポットが写るビームスポット基
準位置Ｐ１ｂ又はＰ２ｂとが互いに共役となるよう構成
されている。ここで、固体撮像素子１０ｃ又は１１ｃが
ＣＣＤラインセンサである場合、図３に示すように、照
射側光学系１０ｂ又は１１ｂに円筒レンズ１０ｅ又は１
１ｅを配し、上下方向に縦長なビームスポットを生成す
るようにすると、ビームスポットがＣＣＤラインセンサ
に結像される割合が増大するようになる。なお、固体撮
像素子１０ｃ又は１１ｃがＣＣＤエリアセンサである場
合には、このような円筒レンズ１０ｅ又は１１ｅを設け
る意義は薄いものとなる。

【００３９】また、撮像側光学系１０ｄ又は１１ｄは、
ビームスポット基準位置Ｐ１ｂ又はＰ２ｂと固体撮像素
子１０ｃ又は１１ｃの位置Ｐ１ｃ又はＰ２ｃとが互いに
共役となるよう構成されている。

【００４０】このように、照射側光学系１０ｂ又は１１
ｂにより光源位置Ｐ１ａ又はＰ２ａとビームスポット基
準位置Ｐ１ｂ又はＰ２ｂとが互いに共役となり、さら
に、撮像側光学系１０ｄ又は１１ｄと固体撮像素子位置
Ｐ１ｃ又はＰ２ｃとが互いに共役となっている。このた
め、図３に二点鎖線で示すように、ガラス基板端面６１
ａに角度ズレが生じている場合であっても、そのガラス
基板端面６１ａに写るビームスポット位置がビームスポ
ット基準位置Ｐ１ｂ又はＰ２ｂと一致している限り、固
体撮像素子１０ｄ又は１１ｄにおける結像位置は、ガラ
ス基板６１が正しい収納位置にあるときの結像位置Ｐ１
ｃ又はＰ２ｃと同じ位置になる。また、図３に一点鎖線
及び破線で示すように、ガラス基板端面６１ａが正しい
収納位置に対して照射光学系１０ｅ又は１１ｅの前後方
向にズレを生じている場合には、ビームスポット位置が
それぞれＰａ、Ｐｂとなり、固体撮像素子１０ｄ又は１
１ｄにおける結像位置は、それぞれ、ガラス基板６１が
正しい収納位置にあるときの結像位置Ｐ１ｃ又はＰ２ｃ
を中心としてこのズレの方向に応じかつこのズレの大き
さに応じた距離だけ離れた位置Ｑａ、Ｑｂとなる。

【００４１】したがって、二つの測定光学系１０及び１
１をガラス基板６１に向かって前進、後退させなくても
ガラス基板６１の角度ズレを測定でき、ハンド１の直線
移動直前の姿勢を決定することができる。そして、全段
のガラス基板６１、６２、…、６ｍに対し、二つの測定
光学系１０及び１１を上下方向（Ｚ軸方向）のみに移動
させることによって全段のガラス基板６１、６２、…、
６ｍに対するハンド１の直線移動直前の姿勢を決定する
ことが可能になる。

【００４２】各固体撮像素子１０ｃ又は１１ｃは制御回
路２０に接続されており、制御回路２０は、各固体撮像
素子１０ｃ及び１１ｃからの結像位置に基づく検出信号
と、各々の測定光学系１０又は１１によるビームスポッ
ト基準位置Ｐ１ｂとＰ２ｂとの間の距離Ｌ１と、ガラス
基板６１、６２、…、６ｍの左右方向（Ｘ軸方向）の幅
Ｌ２と、に基づいて、搬送ロボットのハンド１の仮想中
心線ＣＬ１が取出対象のガラス基板例えば６１の仮想中
心線ＣＬ２と一致するように、ハンド１のガラス基板取
出のための直線移動直前の姿勢を決定するための演算を
行なう。

【００４３】制御回路２０には駆動装置３０が接続され
ており、駆動装置３０は、制御回路２０により決定され
たハンド１の直線移動直前の姿勢に対応する制御信号に
基づいて、ハンド１のＹ軸方向位置及びθ軸方向位置を
補正する。

【００４４】上記のように構成されたガラス基板ズレ測
定装置は、ハンド１によってガラス基板６１、６２、
…、６ｍを取り出す前に、次のようにしてハンド１の仮
想中心線ＣＬ１が取出対象のガラス基板６１、６２、
…、６ｍの仮想中心線ＣＬ２と一致するようにハンド１
の直線移動直前の姿勢を決定するための動作を行なう。

【００４５】まず、二つの測定光学系１０及び１１を最
上段にあるガラス基板６１の端面６１ａと対向する高さ
位置に設定し、各々の測定光学系１０又は１１におい
て、照射光学系１０ｂ又は１１ｂにより光源１０ａ又は
１１ａの光からビームスポットを生成してガラス基板端
面６１ａに写す。このガラス基板端面６１ａに写ったビ
ームスポットは、撮像側光学系１０ｄ又は１１ｄにより
固体撮像素子１０ｃ又は１１ｃに結像される。各固体撮
像素子１０ｃ及び１１ｃは、このビームスポットの結像
位置に応じた検出信号を制御回路２０に出力し、制御回
路２０は、これらの検出信号と、ビームスポット基準位
置Ｐ１ｂとＰ２ｂとの間の距離Ｌ１と、ガラス基板６
１、６２、…、６ｍの左右方向（Ｘ軸方向）の幅Ｌ２と
に基づいて、最上段のガラス基板６１に対するハンド１
の直線移動直前の姿勢を決定する。

【００４６】次に、二つの測定光学系１０及び１１を、
上から二段目のガラス基板６２の端面６２ａと対向する
高さ位置まで駆動機構１２によって下降させる。そし
て、二つの測定光学系１０及び１１により、このガラス
基板端面６２ａに二つのビームスポットを写し、これら
のビームスポットの結像位置に基づく検出信号を各固体
撮像素子１０ｃ及び１１ｃから制御回路２０に出力す
る。そして、制御回路２０により、上から二段目のガラ
ス基板６２に対するハンド１の直線移動直前の姿勢を決
定する。

【００４７】以後、同様に、上から三段目以降のガラス
基板に対して上記と同様の動作ないしは処理を行ない、
各ガラス基板に対するハンド１の直線移動直前の姿勢を
決定する。

【００４８】そして、最後に、最下段のガラス基板６ｍ
に対するハンド１の直線移動直前の姿勢を決定し、二つ
の測定光学系１０及び１１を駆動機構１２によって元の
位置まで上昇させ、これにより全段のガラス基板６１、
６２、…、６ｍのズレの測定を終了する。

【００４９】上記のようにして測定された各ガラス基板
６１、６２、…、６ｍのズレを示すデータは、ハンド１
によるガラス基板取出作業の開始時に、ハンド１の仮想
中心線ＣＬ１を取出対象のガラス基板６１又は６２又は
…又は６ｍの仮想中心線ＣＬ２に一致させるべくハンド
１のＸ軸方向位置及びθ軸方向位置を駆動装置３０によ
って補正するために使用される。

【００５０】なお、ハンド１の上面には、反射型の光セ
ンサ４０が設けられており、この光センサ４０は、ハン
ド１がガラス基板取り出しのために収納カセット５に向
かって直線移動するときに、ガラス基板６１、６２、
…、６ｍの前端位置６１ｂ、６２ｂ、…、６ｍｂを検出
し、ハンド１の直線移動の終了位置を決定するために用
いられる。

【００５１】以上説明したように、第１実施例による
と、各段のガラス基板６１、６２、…、６ｍの端面６１
ａ、６２ａ、…、６ｍａに二つのビームスポットを写
し、二つのビームスポットを各々対応する固体撮像素子
１０ｃ又は１１ｃに結像させ、二つの結像位置に基づい
て、ハンド１の直線移動直前の姿勢を決定するよう構成
したため、二つの測定光学系１０及び１１はガラス基板
６１、６２、…、６ｍに向って前進、後退しなくてもハ
ンド１の直線移動直前の姿勢を決定することができ、全
段のガラス基板６１、６２、…、６ｍに対し、二つの測
定光学系１０及び１１を上下方向（Ｚ軸方向）のみに移
動させることによって全段のガラス基板６１、６２、
…、６ｍに対するハンド１の直線移動直前の姿勢を決定
することが可能になる。したがって、ガラス基板ズレ測
定装置の機械的構造の簡素化及び小スペース化を図るこ
とができる。

【００５２】図４は、第２実施例によるガラス基板ズレ
測定装置の概念図である。

【００５３】図４において、収納カセット５内には、第
１実施例と同様、複数枚の長方形状のガラス基板６１、
６２、…、６ｍが水平状態で複数段に収納されている。

【００５４】ガラス基板６１の互いに隣り合う二つの端
面６１ａ及び６１ｃ近傍には、三つの測定光学系１０と
１１と１３が共通の駆動機構１２によって上下方向（Ｚ
軸方向）に上昇、下降可能なように配されている。

【００５５】各々の測定光学系１０又は１１又は１３
は、上述した第１実施例の測定光学系１０又は１１と同
様に構成されており、光源１０ａ又は１１ａ又は１３ａ
と照射側光学系１０ｂ又は１１ｂ又は１３ｂと固体撮像
素子１０ｃ又は１１ｃ又は１３ｃと撮像側光学系１０ｄ
又は１１ｄ又は１３ｄとを備える。

【００５６】各固体撮像素子１０ｃ又は１１ｃ又は１３
ｃは制御回路２０に接続されており、制御回路２０は、
同一端面６１ａ側の二つの固体撮像素子１０ｃ又は１１
ｃからの検出信号に基づいて、第１実施例と同様、搬送
ロボットのハンド１の仮想中心線ＣＬ１が取出対象のガ
ラス基板６１又は６２又は…又は６ｍの仮想中心線ＣＬ
２と一致するようにハンド１の直線移動直前の姿勢を決
定する。さらに、制御回路２０は、第１実施例ではハン
ド１の光センサ４０からの検出信号に基づいて行なって
いたハンド１の直線移動の終了位置を決定する演算を、
残りの固体撮像素子１３ｃからの検出信号に基づいて行
なうよう構成されている。

【００５７】制御回路２０に接続された駆動装置３０
は、制御回路２０により決定されたハンド１の直線移動
直前の姿勢に対応する制御信号に基づいて、ハンド１に
よるガラス基板取出開始時にハンド１のＹ軸方向位置及
びθ軸方向位置を補正し、ハンド１の仮想中心線ＣＬ１
が取出対象のガラス基板６１又は６２又は…又は６ｍの
仮想中心線ＣＬ２と一致するようハンド１の姿勢を制御
する。また、駆動装置３０は、ハンド１によるガラス基
板取出時に、ハンド１を収納カセット５に向かって直線
移動させ、上記制御回路２０によって演算された直線移
動の終了位置にハンド１が到達した時、ハンド１を停止
させ、次にハンド１をＺ軸方向に上昇させてハンド１が
ガラス基板６１又は６２…又は６ｍを保持できるようハ
ンド１を制御する。

【００５８】なお、第２実施例によるガラス基板ズレ測
定装置の動作は、第１実施例の動作と同様であるため、
説明を省略する。ただし、ハンド１の直線移動の終了位
置は、ハンド１によるガラス基板取出前に決定される点
で第１実施例とは異なっていることに留意されたい。

【００５９】以上説明したように、第２実施例による
と、各段のガラス基板６１、６２、…、６ｍの互いに隣
り合う二つの端面６１ａと６１ｃ等に三つのビームスポ
ットを写し、三つのビームスポットをそれぞれ固体撮像
素子１０ｃ又は１１ｃ又は１３ｃに結像させ、三つの結
像位置に基づいて、ハンド１の直線移動直前の姿勢を決
定するとともに、ハンド１の直線移動の終了位置を決定
するよう構成したため、三つの測定光学系１０と１１と
１３はガラス基板６１、６２、…６ｍに向かって前進、
後退しなくてもハンド１の直線移動直前の姿勢及び直線
移動の終了位置を決定することができ、三つの測定光学
系１０と１１と１３を上下方向（Ｚ軸方向）のみに移動
させることによって全段のガラス基板６１、６２、…、
６ｍに対するハンド１の直線移動直前の姿勢及び直線移
動の終了位置を決定することが可能になる。したがっ
て、ガラス基板ズレ測定装置の機械的構造の簡素化及び
小スペース化を図ることができる。さらに、ハンド１に
よるガラス基板取り出し作業開始前にハンド１の直線移
動の終了位置を決定することができるため、ガラス基板
取出作業中にハンド１の直線移動の終了位置を決定する
場合と比べ、ハンド１をガラス基板取出位置まで円滑に
移動させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例によるガラス基板ズレ測定装置の概
念図であって、収納カセットを平面図として示した図

【図２】図１図示Ａ矢視図

【図３】一つの測定光学系の概念図

【図４】第２実施例によるガラス基板ズレ測定装置の概
念図であって、収納カセットを平面図として示した図

【図５】従来のガラス基板ズレ測定装置の図６図示Ａ矢
視図

【図６】同装置の平面図

【符号の説明】

１ 搬送ロボットのハンド ５ 収納カセット １０、１１、１３ 測定光学系 １０ａ、１１ａ、１３ａ 光源 １０ｂ、１１ｂ、１３ｂ 照射側光学系 １０ｃ、１１ｃ、１３ｃ 固体撮像素子 １０ｄ、１１ｄ、１３ｄ 撮像側光学系 ６１、６２、…、６ｍ ガラス基板 ６１ａ、６１ｃ 端面 ＣＬ１ ハンドの仮想中心線 ＣＬ２ ガラス基板の仮想中心線 Ｐ１ａ、Ｐ２ａ 光源位置 Ｐ１ｂ、Ｐ２ｂ ビームスポット基準位置 Ｐ１ｃ、Ｐ２ｃ 固体撮像素子位置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ 1/1333 ５００ 1/1333 ５００

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 収納カセット内に水平状態で複数段に収
   納されている長方形状のガラス基板の端面近傍に配さ
   れ、前記各ガラス基板取り出しのために前記収納カセッ
   トに向けて搬送ロボットのハンドを直線移動させる直前
   における前記ハンドの姿勢を決定するための二つの測定
   光学系を備え、 各々の測定光学系は、 光源と、 前記光源からの入射光からビームスポットを生成し前記
   ガラス基板端面に写す照射側光学系と、 固体撮像素子と、 前記ガラス基板端面に写っているビームスポットを前記
   固体撮像素子に結像させる撮像側光学系とを備え、 前記照射側光学系は、前記光源位置と、正しい収納位置
   にあるガラス基板端面においてビームスポットが写るビ
   ームスポット基準位置とが互いに共役となるよう構成さ
   れ、かつ、前記撮像側光学系は、前記ビームスポット基
   準位置と前記固体撮像素子位置とが互いに共役となるよ
   う構成され、 前記ハンドの仮想中心線が前記ガラス基板の仮想中心線
   と一致するように前記直線移動直前の前記ハンドの姿勢
   を決定することを特徴とするガラス基板ズレ測定装置。
2. 【請求項２】 収納カセット内に水平状態で複数段に収
   納されている長方形状のガラス基板の互いに隣り合う端
   面近傍に配され、前記各ガラス基板取り出しのために前
   記収納カセットに向けて搬送ロボットのハンドを直線移
   動させる直前における前記ハンドの姿勢、及び、前記ハ
   ンドの直線移動の終了位置をそれぞれ決定するための三
   つの測定光学系を備え、 各々の測定光学系は、 光源と、 前記光源からの入射光からビームスポットを生成し前記
   ガラス基板端面に写す照射側光学系と、 固体撮像素子と、 前記ガラス基板端面に写っているビームスポットを前記
   固体撮像素子に結像させる撮像側光学系とを備え、 前記照射側光学系は、前記光源位置と、正しい収納位置
   にあるガラス基板端面においてビームスポットが写るビ
   ームスポット基準位置とが互いに共役となるよう構成さ
   れ、かつ、前記撮像側光学系は、前記ビームスポット基
   準位置と前記固体撮像素子位置とが互いに共役となるよ
   う構成され、 前記ハンドの仮想中心線が前記ガラス基板の仮想中心線
   と一致するように前記直線移動直前の前記ハンドの姿勢
   を決定するとともに、前記ハンドの直線移動の終了位置
   を決定することを特徴とするガラス基板ズレ測定装置。
3. 【請求項３】 前記固体撮像素子はＣＣＤラインセンサ
   により構成されることを特徴とする請求項１又は請求項
   ２に記載のガラス基板ズレ測定装置。
4. 【請求項４】 前記光源はレーザ光源であることを特徴
   とする請求項１、請求項２、請求項３のいずれかに記載
   のガラス基板ズレ測定装置。