JPH10279049A - ガラス基板のズレ検知装置 - Google Patents
ガラス基板のズレ検知装置Info
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- JPH10279049A JPH10279049A JP8691897A JP8691897A JPH10279049A JP H10279049 A JPH10279049 A JP H10279049A JP 8691897 A JP8691897 A JP 8691897A JP 8691897 A JP8691897 A JP 8691897A JP H10279049 A JPH10279049 A JP H10279049A
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- glass substrate
- hand
- displacement
- photographing device
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/068—Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
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- Liquid Crystal (AREA)
- Control Of Conveyors (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 機械的構造の簡素化及び小スペース化を図る
ことができるガラス基板のズレ検知装置を提供するこ
と。 【解決手段】 収納カセット５内には、複数枚の長方形
形状のガラス基板６１、６２、６３、…、６ｍが水平状
態で収納されている。オートズームアップ式のＣＣＤカ
メラ３０は、搬送ロボット１０によってガラス基板６
１、６２、６３、…、６ｍを一枚ずつ取り出すときに、
各ガラス基板６１又は６２又は６３又は…又は６ｍのコ
ーナー部６１ａ又は６２ａ又は６３ａ又は…又は６ｍａ
を撮影する。演算制御装置４０は、ＣＣＤカメラ３０の
画像信号に基づいて、収納カセット５内の各ガラス基板
６１又は６２又は６３又は…又は６ｍの正しい収納位置
からのズレを検知する。
ことができるガラス基板のズレ検知装置を提供するこ
と。 【解決手段】 収納カセット５内には、複数枚の長方形
形状のガラス基板６１、６２、６３、…、６ｍが水平状
態で収納されている。オートズームアップ式のＣＣＤカ
メラ３０は、搬送ロボット１０によってガラス基板６
１、６２、６３、…、６ｍを一枚ずつ取り出すときに、
各ガラス基板６１又は６２又は６３又は…又は６ｍのコ
ーナー部６１ａ又は６２ａ又は６３ａ又は…又は６ｍａ
を撮影する。演算制御装置４０は、ＣＣＤカメラ３０の
画像信号に基づいて、収納カセット５内の各ガラス基板
６１又は６２又は６３又は…又は６ｍの正しい収納位置
からのズレを検知する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネル等の製
造工程において、収納カセット内に水平状態で収納され
ている長方形形状のガラス基板の正しい収納位置からの
ズレを検知するガラス基板のズレ検知装置に関する。
造工程において、収納カセット内に水平状態で収納され
ている長方形形状のガラス基板の正しい収納位置からの
ズレを検知するガラス基板のズレ検知装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、液晶パネル等の製造工程におい
て、収納カセット内に水平状態で収納されている長方形
形状のガラス基板を搬送ロボットによって取り出して処
理室内にセットし、又は、他の収納カセット内に収納す
る工程がある。
て、収納カセット内に水平状態で収納されている長方形
形状のガラス基板を搬送ロボットによって取り出して処
理室内にセットし、又は、他の収納カセット内に収納す
る工程がある。
【０００３】そして、このような工程においては、処理
室内の正しいセット位置にガラス基板をセットした状態
で所定の処理を行なう必要があるため、収納カセット内
からガラス基板を取り出す際、搬送ロボットのハンドが
ガラス基板の正しい位置を保持して取り出すことが要求
される。
室内の正しいセット位置にガラス基板をセットした状態
で所定の処理を行なう必要があるため、収納カセット内
からガラス基板を取り出す際、搬送ロボットのハンドが
ガラス基板の正しい位置を保持して取り出すことが要求
される。
【０００４】このような要求に応えるために、通常次の
ような対応策、すなわち、実工程に先立ち、まずガラ
ス基板を収納カセット内に正しい収納位置で収納してお
き、この状態で、搬送ロボットのハンドに対し、ガラス
基板の正しい位置を保持して取り出す作業をティーチン
グしておき、その後の実工程において、新たに収納カ
セット内に収納されているガラス基板の正しい収納位置
からのズレを測定し、上記ティーチングにより記憶され
ているハンドの動きを、上記測定されたズレに基づいて
ガラス基板の位置に適合した動きに補正することによ
り、ガラス基板取出時にハンドがガラス基板の正しい位
置を保持して取り出すことができるようにする対応策が
講じられている。
ような対応策、すなわち、実工程に先立ち、まずガラ
ス基板を収納カセット内に正しい収納位置で収納してお
き、この状態で、搬送ロボットのハンドに対し、ガラス
基板の正しい位置を保持して取り出す作業をティーチン
グしておき、その後の実工程において、新たに収納カ
セット内に収納されているガラス基板の正しい収納位置
からのズレを測定し、上記ティーチングにより記憶され
ているハンドの動きを、上記測定されたズレに基づいて
ガラス基板の位置に適合した動きに補正することによ
り、ガラス基板取出時にハンドがガラス基板の正しい位
置を保持して取り出すことができるようにする対応策が
講じられている。
【０００５】ここで、ガラス基板のズレ検知装置、すな
わち、実工程において収納カセット内に収納されている
ガラス基板の正しい収納位置からのズレを検知するため
のガラス基板のズレ検知装置、の従来例としては、図６
及び図７に示すものが知られている。
わち、実工程において収納カセット内に収納されている
ガラス基板の正しい収納位置からのズレを検知するため
のガラス基板のズレ検知装置、の従来例としては、図６
及び図７に示すものが知られている。
【０００６】図６及び図７に示すガラス基板のズレ検知
装置は、搬送ロボットのハンド（ロボットハンド）１と
は別個のズレ検知用ハンド２の上面に、前後方向（Ｙ軸
方向）に所定間隔Ｌを置いて２組の光センサ３と４（各
々、一対の発光素子３ａ又は４ａと受光素子３ｂ又は４
ｂとからなる。）を配置し、ロボットハンド１が収納カ
セット５内に水平状態で複数段に収納されているガラス
基板６１、６２、６３、…、６ｍを取り出す前に、次の
(1) から(n+2) までの順序でズレ検知用ハンド２を動作
させることによって各ガラス基板６１、６２、６３、
…、６ｍの角度ズレΔθを測定している。
装置は、搬送ロボットのハンド（ロボットハンド）１と
は別個のズレ検知用ハンド２の上面に、前後方向（Ｙ軸
方向）に所定間隔Ｌを置いて２組の光センサ３と４（各
々、一対の発光素子３ａ又は４ａと受光素子３ｂ又は４
ｂとからなる。）を配置し、ロボットハンド１が収納カ
セット５内に水平状態で複数段に収納されているガラス
基板６１、６２、６３、…、６ｍを取り出す前に、次の
(1) から(n+2) までの順序でズレ検知用ハンド２を動作
させることによって各ガラス基板６１、６２、６３、
…、６ｍの角度ズレΔθを測定している。
【０００７】(1) 最初に、停止位置にあるズレ測定用ハ
ンド２をＸ軸方向に前進させて最上段のガラス基板６１
の下方へ侵入させる。そして、２組の光センサ３、４の
各発光素子３ａ、４ａの光がガラス基板６１の下面によ
って反射され各受光素子３ｂ、４ｂで受光されることに
よって受光素子３ｂ、４ｂがいずれもオンすると、ズレ
検知用ハンド２の前進を停止させる。
ンド２をＸ軸方向に前進させて最上段のガラス基板６１
の下方へ侵入させる。そして、２組の光センサ３、４の
各発光素子３ａ、４ａの光がガラス基板６１の下面によ
って反射され各受光素子３ｂ、４ｂで受光されることに
よって受光素子３ｂ、４ｂがいずれもオンすると、ズレ
検知用ハンド２の前進を停止させる。
【０００８】(2) 次に、ズレ検知用ハンド２を後退さ
せ、停止させる。
せ、停止させる。
【０００９】(3) 次に、ズレ検知用ハンド２をＺ軸方向
に沿って、上から二段目のガラス基板６２の下方からズ
レ検知用ハンド２を侵入させることができる高さ位置ま
で下降させる。
に沿って、上から二段目のガラス基板６２の下方からズ
レ検知用ハンド２を侵入させることができる高さ位置ま
で下降させる。
【００１０】(4) 次に、最上段のガラス基板６１に対し
て行なった動作と同様、ズレ検知用ハンド２をＸ軸方向
に前進させて上から二段目のガラス基板６２の下方へ侵
入させ、受光素子３ｂ、４ｂがいずれもオンすると、前
進を停止させる。
て行なった動作と同様、ズレ検知用ハンド２をＸ軸方向
に前進させて上から二段目のガラス基板６２の下方へ侵
入させ、受光素子３ｂ、４ｂがいずれもオンすると、前
進を停止させる。
【００１１】(5) 次に、ズレ検知用ハンド２を後退さ
せ、停止させる。
せ、停止させる。
【００１２】(6) 次に、ズレ検知用ハンド２をＺ軸方向
に沿って、上から三段目のガラス基板６３の下方からズ
レ検知用ハンド２を侵入させることができる高さ位置ま
で下降させる。
に沿って、上から三段目のガラス基板６３の下方からズ
レ検知用ハンド２を侵入させることができる高さ位置ま
で下降させる。
【００１３】(7) 次に、最上段及び上から二段目のガラ
ス基板６１と６２に対して行なった動作と同様、ズレ検
知用ハンド２をＸ軸方向に前進させて上から三段目のガ
ラス基板６３の下方へ侵入させ、受光素子３ｂ、４ｂが
いずれもオンすると、前進を停止させる。
ス基板６１と６２に対して行なった動作と同様、ズレ検
知用ハンド２をＸ軸方向に前進させて上から三段目のガ
ラス基板６３の下方へ侵入させ、受光素子３ｂ、４ｂが
いずれもオンすると、前進を停止させる。
【００１４】(8) 次に、ズレ検知用ハンド２を後退さ
せ、停止させる。以後、上から四段目以降のガラス基板
に対して、ズレ検知用ハンド２を上記と同様に動作させ
る。
せ、停止させる。以後、上から四段目以降のガラス基板
に対して、ズレ検知用ハンド２を上記と同様に動作させ
る。
【００１５】(n) そして、最下段のガラス基板６ｍに対
して、ズレ検知用ハンド２をＸ軸方向に前進させて最下
段のガラス基板６ｍの下方へ侵入させ、受光素子３ｂ、
４ｂがいずれもオンすると、前進を停止させる。
して、ズレ検知用ハンド２をＸ軸方向に前進させて最下
段のガラス基板６ｍの下方へ侵入させ、受光素子３ｂ、
４ｂがいずれもオンすると、前進を停止させる。
【００１６】(n+1) 次に、ズレ検知用ハンド２を後退さ
せ、停止させる。
せ、停止させる。
【００１７】(n+2) 最後に、ズレ検知用ハンド２をＺ軸
方向に沿って上昇させ、元の停止位置で停止させる。
方向に沿って上昇させ、元の停止位置で停止させる。
【００１８】なお、上記の説明における(1)、(2)、(3)、
(4)、(5)、(6)、(7)、(8)、…(n)、(n+1)、(n+2) は図７中に示
したズレ検知用ハンド２の動作順序を示す同一符号と１
対１に対応させてある。
(4)、(5)、(6)、(7)、(8)、…(n)、(n+1)、(n+2) は図７中に示
したズレ検知用ハンド２の動作順序を示す同一符号と１
対１に対応させてある。
【００１９】上述した一連のズレ検知用ハンド２の動作
の間、各段毎のガラス基板６１、６２、６３、…、６ｍ
に対する受光素子３ｂ、４ｂの検出信号は図示しない制
御回路に入力される。制御回路は、各受光素子３ｂ、４
ｂがオンしたタイミング及び光センサ３と４との距離Ｌ
に基づいて各段毎のガラス基板６１、６２、６３、…６
ｍの角度ズレΔθを演算する。
の間、各段毎のガラス基板６１、６２、６３、…、６ｍ
に対する受光素子３ｂ、４ｂの検出信号は図示しない制
御回路に入力される。制御回路は、各受光素子３ｂ、４
ｂがオンしたタイミング及び光センサ３と４との距離Ｌ
に基づいて各段毎のガラス基板６１、６２、６３、…６
ｍの角度ズレΔθを演算する。
【００２０】そして、各段毎のガラス基板取出開始時
に、上記演算した当該ガラス基板の角度ズレΔθに基づ
いてロボットハンド１のθ軸及びＸ軸を補正する。
に、上記演算した当該ガラス基板の角度ズレΔθに基づ
いてロボットハンド１のθ軸及びＸ軸を補正する。
【００２１】さらに、上記補正された姿勢からロボット
ハンド１が収納カセット５に向かって直線移動している
時に、ロボットハンド１に配設されている反射型光セン
サ７（一対の発光素子と受光素子からなる。）によって
ガラス基板例えば６１の前端位置を検出し、この前端位
置に基づいてロボットハンド１の直線移動の終了位置を
決定し、ロボットハンド１がこの直線移動の終了位置に
達した時、直線移動を停止させ、ガラス基板例えば６１
を保持して収納カセット５から取り出す。このようにハ
ンド１上の光センサ７は、ガラス基板例えば６１のＹ軸
方向のズレを補正するために用いられる。
ハンド１が収納カセット５に向かって直線移動している
時に、ロボットハンド１に配設されている反射型光セン
サ７（一対の発光素子と受光素子からなる。）によって
ガラス基板例えば６１の前端位置を検出し、この前端位
置に基づいてロボットハンド１の直線移動の終了位置を
決定し、ロボットハンド１がこの直線移動の終了位置に
達した時、直線移動を停止させ、ガラス基板例えば６１
を保持して収納カセット５から取り出す。このようにハ
ンド１上の光センサ７は、ガラス基板例えば６１のＹ軸
方向のズレを補正するために用いられる。
【００２２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のガラス基板のズレ検知装置によると、ズレ検知用ハ
ンド２が上述したような複雑な動きをしているため、ズ
レ検知用ハンド２を駆動する機械的構造が複雑になり、
また、ズレ検知用ハンド２がハンド２を基準とする前後
方向（Ｘ軸方向）及び上下方向（Ｚ軸方向）に移動する
ことからガラス基板のズレ検知装置が占めるスペースが
比較的大きいという問題があった。
来のガラス基板のズレ検知装置によると、ズレ検知用ハ
ンド２が上述したような複雑な動きをしているため、ズ
レ検知用ハンド２を駆動する機械的構造が複雑になり、
また、ズレ検知用ハンド２がハンド２を基準とする前後
方向（Ｘ軸方向）及び上下方向（Ｚ軸方向）に移動する
ことからガラス基板のズレ検知装置が占めるスペースが
比較的大きいという問題があった。
【００２３】本発明は、上記問題点を解決し、収納カセ
ットからガラス基板を取り出す時にロボットハンドの姿
勢及び直線移動の終了位置を決定するのではなく、収納
カセット内から取り出したガラス基板を処理室内の正し
いセット位置にセットし又は他の収納カセット内の正し
い収納位置に収納することを可能にするガラス基板のズ
レ検知装置であって、機械的構造の簡素化及び小スペー
ス化を図ることができるガラス基板のズレ検知装置を提
供することを目的とする。
ットからガラス基板を取り出す時にロボットハンドの姿
勢及び直線移動の終了位置を決定するのではなく、収納
カセット内から取り出したガラス基板を処理室内の正し
いセット位置にセットし又は他の収納カセット内の正し
い収納位置に収納することを可能にするガラス基板のズ
レ検知装置であって、機械的構造の簡素化及び小スペー
ス化を図ることができるガラス基板のズレ検知装置を提
供することを目的とする。
【００２４】
【課題を解決するための手段】本発明によるガラス基板
のズレ検知装置は、請求項１に記載されるように、収納
カセット内に水平状態で複数段に収納されている長方形
形状のガラス基板を一枚ずつ搬送ロボットによって取り
出すときに、各ガラス基板のコーナー部を撮影する撮影
装置を備え、該撮影装置の画像信号に基づいて、前記収
納カセット内の各ガラス基板の正しい収納位置からのズ
レを検知することを特徴とする。
のズレ検知装置は、請求項１に記載されるように、収納
カセット内に水平状態で複数段に収納されている長方形
形状のガラス基板を一枚ずつ搬送ロボットによって取り
出すときに、各ガラス基板のコーナー部を撮影する撮影
装置を備え、該撮影装置の画像信号に基づいて、前記収
納カセット内の各ガラス基板の正しい収納位置からのズ
レを検知することを特徴とする。
【００２５】また、本発明によるガラス基板のズレ検知
装置は、請求項２に記載されるように、請求項１におい
て、前記撮影装置は前記搬送ロボットに配設されている
ことを特徴とする。
装置は、請求項２に記載されるように、請求項１におい
て、前記撮影装置は前記搬送ロボットに配設されている
ことを特徴とする。
【００２６】また、本発明によるガラス基板のズレ検知
装置は、請求項３に記載されるように、請求項２におい
て、前記撮影装置はＣＣＤカメラによって構成されるこ
とを特徴とする。
装置は、請求項３に記載されるように、請求項２におい
て、前記撮影装置はＣＣＤカメラによって構成されるこ
とを特徴とする。
【００２７】
【発明の作用効果】請求項１に記載の本発明によると、
収納カセット内に水平状態で複数段に収納されている長
方形形状のガラス基板を一枚ずつ取り出す際に、撮影装
置によって各ガラス基板のコーナー部を撮影し、この画
像信号に基づいて収納カセット内の各ガラス基板の正し
い収納位置からのズレを検知するようにしたため、従来
のようなズレ検知用ハンドが不要になり、機械的構造の
簡素化及び小スペース化を図ることができるようにな
る。
収納カセット内に水平状態で複数段に収納されている長
方形形状のガラス基板を一枚ずつ取り出す際に、撮影装
置によって各ガラス基板のコーナー部を撮影し、この画
像信号に基づいて収納カセット内の各ガラス基板の正し
い収納位置からのズレを検知するようにしたため、従来
のようなズレ検知用ハンドが不要になり、機械的構造の
簡素化及び小スペース化を図ることができるようにな
る。
【００２８】また、請求項２のように撮影装置を搬送ロ
ボットに配設することにより、複数の収納カセットに対
する撮影装置の共通化を図ることができる。
ボットに配設することにより、複数の収納カセットに対
する撮影装置の共通化を図ることができる。
【００２９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【００３０】図１は、第１実施例によるガラス基板のズ
レ検知装置の構成図、図２は、図１図示Ａ矢視図、図３
は、撮影装置により撮影されたガラス基板のコーナー部
の画像を示す図である。
レ検知装置の構成図、図２は、図１図示Ａ矢視図、図３
は、撮影装置により撮影されたガラス基板のコーナー部
の画像を示す図である。
【００３１】図１〜図３において、収納カセット５内に
は、複数枚のガラス基板６１、６２、６３、…、６ｍが
水平状態で収納されている。収納カセット５の前方に
は、駆動装置２０によって動作する搬送ロボット１０が
位置している。搬送ロボット１０の本体部１１は、Ｘ軸
方向、Ｙ軸方向及びθ軸方向に移動及び回動可能であ
る。ハンド１は、軸１３が上下動することでＺ軸方向に
移動可能であり、かつ、図１図示矢印ａで示すように水
平面上を直線移動可能である。
は、複数枚のガラス基板６１、６２、６３、…、６ｍが
水平状態で収納されている。収納カセット５の前方に
は、駆動装置２０によって動作する搬送ロボット１０が
位置している。搬送ロボット１０の本体部１１は、Ｘ軸
方向、Ｙ軸方向及びθ軸方向に移動及び回動可能であ
る。ハンド１は、軸１３が上下動することでＺ軸方向に
移動可能であり、かつ、図１図示矢印ａで示すように水
平面上を直線移動可能である。
【００３２】収納カセット５の前方かつ下方には、ハン
ド１によって収納カセット５内からガラス基板６１又は
６２又は６３又は…又は６ｍを取り出す際に、ガラス基
板６１又は６２又は６３又は…又は６ｍのコーナー部６
１ａ又は６２ａ又は６３ａ又は…又は６ｍａを撮影する
ための撮影装置３０例えばオートフォーカスかつオート
ズームアップ式のＣＣＤカメラが配置されている。
ド１によって収納カセット５内からガラス基板６１又は
６２又は６３又は…又は６ｍを取り出す際に、ガラス基
板６１又は６２又は６３又は…又は６ｍのコーナー部６
１ａ又は６２ａ又は６３ａ又は…又は６ｍａを撮影する
ための撮影装置３０例えばオートフォーカスかつオート
ズームアップ式のＣＣＤカメラが配置されている。
【００３３】撮影装置３０には、演算制御装置４０が電
気的に接続され、演算制御装置４０には、駆動装置２０
が電気的に接続されている。
気的に接続され、演算制御装置４０には、駆動装置２０
が電気的に接続されている。
【００３４】上記のように構成されたガラス基板のズレ
検知装置において、収納カセット５内からガラス基板例
えば６１を取り出す際、ガラス基板６１が収納カセット
５内に正しい収納位置で収納されているものである場合
には、ガラス基板６１のコーナー部６１ａが撮影装置３
０の上方を所定のタイミングで通過するときに撮影装置
３０によって撮影されるコーナー部６１ａの画像は、図
３（Ａ）に示すように、ガラス基板６１の側縁６１ｂは
Ｙ軸と一致し、かつ、ガラス基板６１の前縁６１ｃはＸ
軸と一致し、さらに、ガラス基板６１の側縁６１ｂと前
縁６１ｃとの交点６１ｄは基準点Ｏと一致している。こ
こで、上記所定のタイミングは、例えば、ハンド１がガ
ラス基板６１を保持してカセット５内からカセット５外
への移動を開始する時点から所定の時間が経過した時点
に対応している。
検知装置において、収納カセット５内からガラス基板例
えば６１を取り出す際、ガラス基板６１が収納カセット
５内に正しい収納位置で収納されているものである場合
には、ガラス基板６１のコーナー部６１ａが撮影装置３
０の上方を所定のタイミングで通過するときに撮影装置
３０によって撮影されるコーナー部６１ａの画像は、図
３（Ａ）に示すように、ガラス基板６１の側縁６１ｂは
Ｙ軸と一致し、かつ、ガラス基板６１の前縁６１ｃはＸ
軸と一致し、さらに、ガラス基板６１の側縁６１ｂと前
縁６１ｃとの交点６１ｄは基準点Ｏと一致している。こ
こで、上記所定のタイミングは、例えば、ハンド１がガ
ラス基板６１を保持してカセット５内からカセット５外
への移動を開始する時点から所定の時間が経過した時点
に対応している。
【００３５】一方、ガラス基板６１が収納カセット５内
に正しい収納位置からズレた収納位置で収納されている
ものである場合には、上記所定のタイミングで撮影装置
３０によって撮影されるコーナー部６１ａの画像は、例
えば図３（Ｂ）に示すように、図３（Ａ）に示した正し
い収納位置に収納されているガラス基板６１のコーナー
部６１ａの画像と一致していない。演算制御装置４０に
おいては、撮像装置３０からの画像信号に基づいて、ガ
ラス基板６１のＹ軸方向における角度ズレ（傾き）、す
なわち、側縁６１ｂとＹ軸とのなす角度Δθを演算す
る。また、演算制御装置４０は、ガラス基板６１の交点
６１ｄのＹ軸方向における位置ズレ、すなわち、交点６
１ｄのＹ座標位置と基準点ＯのＹ座標位置との差ΔＹを
演算する。さらに、演算制御装置４０は、ガラス基板６
１の交点６１ｄのＸ軸方向における位置ズレ、すなわ
ち、交点６１ｄのＸ座標位置と基準点ＯのＸ座標位置と
の差ΔＸを演算する。なお、撮影装置３０としてオート
フォーカスかつオートズームアップ式のものを採用する
ことにより、撮影装置３０から各ガラス基板６１、６
２、６３、…、６ｍまでの距離が異なっていても各コー
ナー部６１ａ、６２ａ、６３ａ、６ｍａの画像を常に同
じ大きさの画像として取り扱うことが可能になる。
に正しい収納位置からズレた収納位置で収納されている
ものである場合には、上記所定のタイミングで撮影装置
３０によって撮影されるコーナー部６１ａの画像は、例
えば図３（Ｂ）に示すように、図３（Ａ）に示した正し
い収納位置に収納されているガラス基板６１のコーナー
部６１ａの画像と一致していない。演算制御装置４０に
おいては、撮像装置３０からの画像信号に基づいて、ガ
ラス基板６１のＹ軸方向における角度ズレ（傾き）、す
なわち、側縁６１ｂとＹ軸とのなす角度Δθを演算す
る。また、演算制御装置４０は、ガラス基板６１の交点
６１ｄのＹ軸方向における位置ズレ、すなわち、交点６
１ｄのＹ座標位置と基準点ＯのＹ座標位置との差ΔＹを
演算する。さらに、演算制御装置４０は、ガラス基板６
１の交点６１ｄのＸ軸方向における位置ズレ、すなわ
ち、交点６１ｄのＸ座標位置と基準点ＯのＸ座標位置と
の差ΔＸを演算する。なお、撮影装置３０としてオート
フォーカスかつオートズームアップ式のものを採用する
ことにより、撮影装置３０から各ガラス基板６１、６
２、６３、…、６ｍまでの距離が異なっていても各コー
ナー部６１ａ、６２ａ、６３ａ、６ｍａの画像を常に同
じ大きさの画像として取り扱うことが可能になる。
【００３６】これら角度ズレΔθ、位置ズレΔＸ、ΔＹ
のデータは、処理室内の正しい位置にガラス基板をセッ
トする際、あるいは、他の収納カセットの正しい収納位
置にガラス基板を収納する際にハンド１の姿勢を補正す
るために利用され、演算制御装置４０から駆動装置２０
に制御信号として出力される。
のデータは、処理室内の正しい位置にガラス基板をセッ
トする際、あるいは、他の収納カセットの正しい収納位
置にガラス基板を収納する際にハンド１の姿勢を補正す
るために利用され、演算制御装置４０から駆動装置２０
に制御信号として出力される。
【００３７】以上説明したように、本実施例によるガラ
ス基板のズレ検知装置は、収納カセット５内に水平状態
で複数段に収納されている長方形形状のガラス基板６
１、６２、６３、…、６ｍを一枚ずつ搬送ロボット１０
によって取り出すときに、各ガラス基板６１又は６２又
は６３又は…又は６ｍのコーナー部６１ａ又は６２ａ又
は６３ａ又は…６ｍａを撮影する撮影装置３０を備え、
該撮影装置３０の画像信号に基づいて、収納カセット５
内の各ガラス基板６１又は６２又は６３又は…又は６ｍ
の正しい収納位置からのズレを検知することを特徴とす
る。
ス基板のズレ検知装置は、収納カセット５内に水平状態
で複数段に収納されている長方形形状のガラス基板６
１、６２、６３、…、６ｍを一枚ずつ搬送ロボット１０
によって取り出すときに、各ガラス基板６１又は６２又
は６３又は…又は６ｍのコーナー部６１ａ又は６２ａ又
は６３ａ又は…６ｍａを撮影する撮影装置３０を備え、
該撮影装置３０の画像信号に基づいて、収納カセット５
内の各ガラス基板６１又は６２又は６３又は…又は６ｍ
の正しい収納位置からのズレを検知することを特徴とす
る。
【００３８】このため、本実施例によると、従来のよう
なズレ検知用ハンド２が不要になり、機械的構造の簡素
化及び小スペース化を図ることができるようになる。
なズレ検知用ハンド２が不要になり、機械的構造の簡素
化及び小スペース化を図ることができるようになる。
【００３９】図４は、第２実施例によるガラス基板のズ
レ検知装置の構成図、図５は、図４図示Ａ矢視図を示
す。
レ検知装置の構成図、図５は、図４図示Ａ矢視図を示
す。
【００４０】この第２実施例によるズレ検知装置は、第
１実施例のように撮影装置３０を収納カセット５の前方
に設ける代わりに、撮影装置３０を搬送ロボット１０の
本体部１１に配設したことを特徴としており、撮影装置
３０は、ハンド１がガラス基板６１を取り出して図４に
実線で示す後退位置にあるときにガラス基板６１のコー
ナー部６１ａを撮影できる位置に配設されている。その
他の構成は第１実施例と同様である。
１実施例のように撮影装置３０を収納カセット５の前方
に設ける代わりに、撮影装置３０を搬送ロボット１０の
本体部１１に配設したことを特徴としており、撮影装置
３０は、ハンド１がガラス基板６１を取り出して図４に
実線で示す後退位置にあるときにガラス基板６１のコー
ナー部６１ａを撮影できる位置に配設されている。その
他の構成は第１実施例と同様である。
【００４１】この第２実施例の場合、複数の収納カセッ
ト５に対して１つの撮影装置３０で済み、複数の収納カ
セット５に対する撮影装置３０の共通化を図ることがで
きる。
ト５に対して１つの撮影装置３０で済み、複数の収納カ
セット５に対する撮影装置３０の共通化を図ることがで
きる。
【図１】第１実施例によるガラス基板のズレ検知装置の
構成図
構成図
【図２】図１図示Ａ矢視図
【図３】撮影装置によって撮影されたガラス基板のコー
ナー部の画像を示す図
ナー部の画像を示す図
【図４】第２実施例によるガラス基板のズレ検知装置の
構成図
構成図
【図５】図４図示Ａ矢視図
【図６】従来のガラス基板のズレ検知装置の構成図
【図７】図６図示Ａ矢視図
５ 収納カセット ６１、６２、６３、…、６ｍ ガラス基板 ６１ａ、６２ａ、６３ａ、…、６ｍａ コーナー部 １０ 搬送ロボット ３０ 撮影装置（ＣＣＤカメラ）
Claims (3)
- 【請求項１】 収納カセット内に水平状態で複数段に収
納されている長方形形状のガラス基板を搬送ロボットに
よって一枚ずつ取り出すときに、各ガラス基板のコーナ
ー部を撮影する撮影装置を備え、該撮影装置の画像信号
に基づいて、前記収納カセット内の各ガラス基板の正し
い収納位置からのズレを検知することを特徴とするガラ
ス基板のズレ検知装置。 - 【請求項２】 前記撮影装置は、前記搬送ロボットに配
設されていることを特徴とする請求項１に記載のガラス
基板のズレ検知装置。 - 【請求項３】 前記撮影装置はＣＣＤカメラによって構
成されることを特徴とする請求項２に記載のガラス基板
のズレ検知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8691897A JPH10279049A (ja) | 1997-04-04 | 1997-04-04 | ガラス基板のズレ検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8691897A JPH10279049A (ja) | 1997-04-04 | 1997-04-04 | ガラス基板のズレ検知装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10279049A true JPH10279049A (ja) | 1998-10-20 |
Family
ID=13900244
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8691897A Withdrawn JPH10279049A (ja) | 1997-04-04 | 1997-04-04 | ガラス基板のズレ検知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10279049A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6845292B2 (en) | 2001-02-20 | 2005-01-18 | Tokyo Electron Limited | Transfer apparatus and method for semiconductor process and semiconductor processing system |
| WO2018154243A1 (fr) * | 2017-02-27 | 2018-08-30 | Saint-Gobain Glass France | Dispositif comprenant deux supports |
| FR3063285A1 (fr) * | 2017-02-27 | 2018-08-31 | Saint-Gobain Glass France | Dispositif comprenant deux supports |
| KR20220062808A (ko) * | 2020-11-09 | 2022-05-17 | (주) 피엔피 | 초박형 유리 박리 후 적재 장치 |
-
1997
- 1997-04-04 JP JP8691897A patent/JPH10279049A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6845292B2 (en) | 2001-02-20 | 2005-01-18 | Tokyo Electron Limited | Transfer apparatus and method for semiconductor process and semiconductor processing system |
| WO2018154243A1 (fr) * | 2017-02-27 | 2018-08-30 | Saint-Gobain Glass France | Dispositif comprenant deux supports |
| FR3063285A1 (fr) * | 2017-02-27 | 2018-08-31 | Saint-Gobain Glass France | Dispositif comprenant deux supports |
| CN109071130A (zh) * | 2017-02-27 | 2018-12-21 | 法国圣戈班玻璃厂 | 包括两个支架的装置 |
| US11161698B2 (en) | 2017-02-27 | 2021-11-02 | Saint-Gobain Glass France | Device comprising two supports |
| KR20220062808A (ko) * | 2020-11-09 | 2022-05-17 | (주) 피엔피 | 초박형 유리 박리 후 적재 장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040706 |