JPH03163847A - ウェハーの位置決め装置 - Google Patents
ウェハーの位置決め装置Info
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- JPH03163847A JPH03163847A JP2299678A JP29967890A JPH03163847A JP H03163847 A JPH03163847 A JP H03163847A JP 2299678 A JP2299678 A JP 2299678A JP 29967890 A JP29967890 A JP 29967890A JP H03163847 A JPH03163847 A JP H03163847A
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- wafer
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract description 149
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
方法はウェハーの位置決め装置に関し、特に真空処理室
やプロセス処理室でウェハーの位置決めをするのに適し
たウエハーの位置決め装置に関するのである。
やプロセス処理室でウェハーの位置決めをするのに適し
たウエハーの位置決め装置に関するのである。
従来、半導体集積回路製造工程において、ウェハーはウ
ェハーカセットに収納され、各工程間で受け渡される。
ェハーカセットに収納され、各工程間で受け渡される。
ウェハー処理が真空処理室やプロセス処理室内で行われ
る場合には、真空あるいはガス等の環境に光センサや光
源が適応せず破損するので、真空処理室やプロセス処理
室の両側にビューポイント(のぞき穴)を設け、該室外
から該ビューボイン1・を通して光源と光検出器を対向
してもうり、ウェハーによる光源光の遮断を検出してウ
エハーの有無を検出している。
る場合には、真空あるいはガス等の環境に光センサや光
源が適応せず破損するので、真空処理室やプロセス処理
室の両側にビューポイント(のぞき穴)を設け、該室外
から該ビューボイン1・を通して光源と光検出器を対向
してもうり、ウェハーによる光源光の遮断を検出してウ
エハーの有無を検出している。
または、ウェハーのプロセス処理工程前に、光源と光検
出器とを対向して設けウエハーをエレヘー夕に乗せウ1
ハー毎に該エレヘータを上下さセ、ウェハーによる光源
光の遮断を光検出器で検出している。
出器とを対向して設けウエハーをエレヘー夕に乗せウ1
ハー毎に該エレヘータを上下さセ、ウェハーによる光源
光の遮断を光検出器で検出している。
また、ウェハーのプロセス処理工程前にはウエハーの正
確な位置決めが行われている。即ち、第11図に示す様
にウエハーの位置決め位置の周囲にビン1〜7を中心か
ら等距離に配置し、該位置にウェハーが搬送されるとウ
エハー9を回転させながら該ピン1〜7を内方に移動さ
せウエノ\−9のオリエンテーションフラッl−10前
に設けられたビン1および2を微調整して該オリエンテ
ーションフラッl・10を所定位置にピン1及び2で係
止し、ウェハー9の位置決めを行っている。
確な位置決めが行われている。即ち、第11図に示す様
にウエハーの位置決め位置の周囲にビン1〜7を中心か
ら等距離に配置し、該位置にウェハーが搬送されるとウ
エハー9を回転させながら該ピン1〜7を内方に移動さ
せウエノ\−9のオリエンテーションフラッl−10前
に設けられたビン1および2を微調整して該オリエンテ
ーションフラッl・10を所定位置にピン1及び2で係
止し、ウェハー9の位置決めを行っている。
[発明が解決しようとする課題]
しかし、前者の場合には、光源光が該処理室内で滅衰し
たり、拡敗したりして正確な検出ができない欠点がある
。
たり、拡敗したりして正確な検出ができない欠点がある
。
また、後者の場合には処理工程内でばウエハの検出が行
われずウェハーの処理工程が不備に生し、更にエレヘー
夕が必要なため装置が大型化する等の欠点がある。
われずウェハーの処理工程が不備に生し、更にエレヘー
夕が必要なため装置が大型化する等の欠点がある。
また、上述の位置決め方法ではウェハーが破損したり、
ゴξが付着する欠点がある。
ゴξが付着する欠点がある。
本発明はこの点を改良するもので、全ウェハーの有無を
同時に検出することができ、エレヘー夕を必要とせず装
置が大型化せず、しかも真空室やガス室におけるウェハ
ー検出にも適したウェハの位置決め装置を提{j(する
ことを目的とする。
同時に検出することができ、エレヘー夕を必要とせず装
置が大型化せず、しかも真空室やガス室におけるウェハ
ー検出にも適したウェハの位置決め装置を提{j(する
ことを目的とする。
また、本発明はウェハーを破損することなく、更にゴ旦
が付着することなくウェハーを正確に位置決めできるウ
ェハーの位置決め装置を提供することを目的する。
が付着することなくウェハーを正確に位置決めできるウ
ェハーの位置決め装置を提供することを目的する。
〔問題点を解決するための手段]
本発明はウェハーを位置決めする為のセッターにネ・1
応してカメラを配置し、ウェハーの位置決め基準位置の
座標値を予め記憶し、この基準データとカメラで撮像さ
れたウェハー撮像画像データどからウェハー補償データ
を決定し、この補償デー夕に基づいてウェハーの位置決
めを行う様に構或した。
応してカメラを配置し、ウェハーの位置決め基準位置の
座標値を予め記憶し、この基準データとカメラで撮像さ
れたウェハー撮像画像データどからウェハー補償データ
を決定し、この補償デー夕に基づいてウェハーの位置決
めを行う様に構或した。
従って、ウェハーの位置決めをウェハーに無接触で行う
ことができる。
ことができる。
本発明の一実施例を図面の基づいて説明する。
第1図は本発明一実施例の配置の該略を説明するための
平面図を示し、第2図は本発明一実施例の配置の該略を
説明するための側面図を示す。
平面図を示し、第2図は本発明一実施例の配置の該略を
説明するための側面図を示す。
即ち、第l図及び第2図において、処理前のウェハーが
収納されたウェハーカセッ}21に対向する位置にカメ
ラ22が配置され、処理後のウェハーが収納されるべき
ウェハーカセッ1・23の位置に対向する位置にカメラ
24が配置される。また、25はウェハーを位置決めす
るためのセンターを示し、このセッター25の上にはカ
メラ26が配置されている。また、27はウェハーの処
理室を示し、28および29はそれぞれウェハー搬送機
構(ロボッl・で構或される)を示す。また、図中、3
0はウェハーを示す。
収納されたウェハーカセッ}21に対向する位置にカメ
ラ22が配置され、処理後のウェハーが収納されるべき
ウェハーカセッ1・23の位置に対向する位置にカメラ
24が配置される。また、25はウェハーを位置決めす
るためのセンターを示し、このセッター25の上にはカ
メラ26が配置されている。また、27はウェハーの処
理室を示し、28および29はそれぞれウェハー搬送機
構(ロボッl・で構或される)を示す。また、図中、3
0はウェハーを示す。
第3図は本発明一実施例のブロック図を示す。
第3図で第1図および第2図と同一の符号はそれぞれ第
1図および第2図と同一のものを示す。第3図において
、前記カメラ22および24の出力は座標/Jii算回
路35に接続され、この座標演算回路35の出力はウェ
ハー有無判別回路36に接続され、このウェハー脊無判
別回路36の出力は記憶回路37に接続されている。こ
の記憶回路37は制御回路38と接続されている。また
、前記カメラ26の出力は座標演算回路39に接続され
、この座標演算回路39の出力は比較・補償回路40に
接続されている。また、この比較・補償回路40には前
記記憶回路37の出力が接続されている。また、この比
較・補償回路40の出力は位置決め回路41に接続され
、この位置決め回路41の出力は前記セッター25に接
続されたセッター駆動回路42に接続され、このセッタ
ー駆動回路42は前記ウェハー搬送機構29に接続され
ている。このウェハー1般送機構29と前記ウェハー搬
送i+i&2旧:1前記制i卸門路38にそれぞれ接続
されてい第4図は本発明一実施例にフlコーチャー1・
を示す。
1図および第2図と同一のものを示す。第3図において
、前記カメラ22および24の出力は座標/Jii算回
路35に接続され、この座標演算回路35の出力はウェ
ハー有無判別回路36に接続され、このウェハー脊無判
別回路36の出力は記憶回路37に接続されている。こ
の記憶回路37は制御回路38と接続されている。また
、前記カメラ26の出力は座標演算回路39に接続され
、この座標演算回路39の出力は比較・補償回路40に
接続されている。また、この比較・補償回路40には前
記記憶回路37の出力が接続されている。また、この比
較・補償回路40の出力は位置決め回路41に接続され
、この位置決め回路41の出力は前記セッター25に接
続されたセッター駆動回路42に接続され、このセッタ
ー駆動回路42は前記ウェハー搬送機構29に接続され
ている。このウェハー1般送機構29と前記ウェハー搬
送i+i&2旧:1前記制i卸門路38にそれぞれ接続
されてい第4図は本発明一実施例にフlコーチャー1・
を示す。
この様に構威した本発明一実施例の特徴ある動作を説明
する。ウェハーカセット2lの各スロット内には処理前
のウェハーが複数枚収納されており、゛この収納状態が
カメラ(CCDカメラが適する)22を用いて撮像され
る(第4図のブロック50、以下単に「ブロック」と言
う)。この撮像動作を第5図を用いて説明する。
する。ウェハーカセット2lの各スロット内には処理前
のウェハーが複数枚収納されており、゛この収納状態が
カメラ(CCDカメラが適する)22を用いて撮像され
る(第4図のブロック50、以下単に「ブロック」と言
う)。この撮像動作を第5図を用いて説明する。
第5図はカメラ22、ウェハーカセット21およびスリ
ット光源43の配置を示す詳細図である。カメラ22の
光軸がウェハーカセット21の高さ方向の中間で且つウ
ェハー30にほぼ平行となる様にカメラ22が配置され
る。スリット光源43は照射方向がカメラ光軸と浅い角
度で交差する様にカメラ22の真上または真下に配置さ
れる。ウエハー30の端部はウェハー下面から上面への
滑らかな曲面で形威されているので、スリッ1・光源4
3からの光はウエノ\ー30の端面のスリット光があた
る点で反射し、カメラ22には第6図の示す様な画像が
撮像される。
ット光源43の配置を示す詳細図である。カメラ22の
光軸がウェハーカセット21の高さ方向の中間で且つウ
ェハー30にほぼ平行となる様にカメラ22が配置され
る。スリット光源43は照射方向がカメラ光軸と浅い角
度で交差する様にカメラ22の真上または真下に配置さ
れる。ウエハー30の端部はウェハー下面から上面への
滑らかな曲面で形威されているので、スリッ1・光源4
3からの光はウエノ\ー30の端面のスリット光があた
る点で反射し、カメラ22には第6図の示す様な画像が
撮像される。
ここで、」−述の如く光源にスリット光源を用いてウエ
ハ一端面の曲面にスリ・ント光を照射するので、カメラ
22には反射光が第6図に黒点(最も明るい点を示す)
で示す様にほぼ点状態で撮像される。また、ウェハー3
0が収納されていない所は反射光は無く第6図に示す様
にウj−)\一の反射光は撮像されない。
ハ一端面の曲面にスリ・ント光を照射するので、カメラ
22には反射光が第6図に黒点(最も明るい点を示す)
で示す様にほぼ点状態で撮像される。また、ウェハー3
0が収納されていない所は反射光は無く第6図に示す様
にウj−)\一の反射光は撮像されない。
この撮像画像は座標演算回路35に出力され、座標演算
回路35でロボットで構成されるウエノ\一搬送機構2
8がウェハーカセット21内のウエハー30を取り出す
のに必要とされる移動座標が各ウエノ\一30毎に演算
され、各ウエハー毎に該演算座標値が付されたテーブル
が形或される(プロ・ノク52)。
回路35でロボットで構成されるウエノ\一搬送機構2
8がウェハーカセット21内のウエハー30を取り出す
のに必要とされる移動座標が各ウエノ\一30毎に演算
され、各ウエハー毎に該演算座標値が付されたテーブル
が形或される(プロ・ノク52)。
ウェハー有無判別回路36は前記テーブルを読出し、ウ
ェハーの座標値の有無によりウエノ\一の有無を判別し
、座標値があればウエハー有りと判別し(ブ1コソク5
3のyeS、54)、座標値が無ければ所定回数だけブ
ロック50〜55を繰り返しこの後にウェハー無しを判
別する(ブロック53のno, 56)。
ェハーの座標値の有無によりウエノ\一の有無を判別し
、座標値があればウエハー有りと判別し(ブ1コソク5
3のyeS、54)、座標値が無ければ所定回数だけブ
ロック50〜55を繰り返しこの後にウェハー無しを判
別する(ブロック53のno, 56)。
また、このテーブルは記憶回路37に記憶される。
ウェハーカセット21内のウェハー30の収納状態、即
ちウェハーの有無が検出されると、ウェハー30が一枚
づつウェハー位置決めの為にセッター25上に搬送され
る(ブロック58、59)。即ち、制御回路38は前記
座標値に基づいてウエハー搬送機構28がウェハーカセ
ット21内に存在するウェハー30だけを直接アクセス
し、セッター25上に搬送する様に制1卸する。
ちウェハーの有無が検出されると、ウェハー30が一枚
づつウェハー位置決めの為にセッター25上に搬送され
る(ブロック58、59)。即ち、制御回路38は前記
座標値に基づいてウエハー搬送機構28がウェハーカセ
ット21内に存在するウェハー30だけを直接アクセス
し、セッター25上に搬送する様に制1卸する。
ウェハー30がセッター25上に置かれると、カメラ2
6がウェハー30を撮像し、この撮像画像は座標演算回
路39に送られ、座標演算回路39はこのウェハー30
の撮像画像から得られた座標系からウェハ−30の中心
O゛、オリエンテーションフラット44の両端のα゛お
よびβ゛の座標値を演算する(ブロック60)。
6がウェハー30を撮像し、この撮像画像は座標演算回
路39に送られ、座標演算回路39はこのウェハー30
の撮像画像から得られた座標系からウェハ−30の中心
O゛、オリエンテーションフラット44の両端のα゛お
よびβ゛の座標値を演算する(ブロック60)。
即ち、第7図に示ずようなカメラ26からの撮像画像が
座標演算回路39に人力され、座標演算回路39は撮像
画像の座標系34に基づいてこのウェハーq 撮像画像33の中心0゛,オリエンテーションフラット
44の両端α゛β゛の座標値を演算する。ここで、第7
図はウェハーのオリエンテーションフラット44が右に
変位してセッター25上に置かれた例である。
座標演算回路39に人力され、座標演算回路39は撮像
画像の座標系34に基づいてこのウェハーq 撮像画像33の中心0゛,オリエンテーションフラット
44の両端α゛β゛の座標値を演算する。ここで、第7
図はウェハーのオリエンテーションフラット44が右に
変位してセッター25上に置かれた例である。
この座標値は比較・補償回路40に送られ、前記記憶回
路37に予め記憶されたウェハー位置決め位置データと
比較され補償され(ブロック61、62)る。位置決め
回路41はこの補償データによりウェハー30の位置決
めを行う(ブロック63)。
路37に予め記憶されたウェハー位置決め位置データと
比較され補償され(ブロック61、62)る。位置決め
回路41はこの補償データによりウェハー30の位置決
めを行う(ブロック63)。
この動作を第7図および第8図を用いて詳しく説明する
。第7図と第8図において同一の符号はそれぞれ同一の
ものを示す。第8図はウェハーの位置決め位置を示すも
のであり、第8図中に実線でウェハーの位置決め位置を
示すウェハー基準位置31が示されている。このウェハ
ー基準位置31は基準座標系32で決定されており、前
記記憶回路37にはウェハー基準位置3lの中心0、オ
リエンテーションフラット44の両端α、βの基準座標
系にお+)る座IF {l”jが〕5め記憶され゜(い
る。前記比較・補10 償回路40は人力された前記ウェハー撮像画像33の中
心O゛,オリエンテーションフラット44の両端αβ′
の座標値を前記基準座標系32の座標値に変換する。こ
れにより第8図に概念的に示す様に前記ウェハー撮像画
像33の中心0゛はウェハー基準位置31の中心0と一
致する。この状態で、比較・補償回路40はウェハー基
準位置31のαとウェハー撮像画像のα゛の差及びウェ
ハー基準位置31のβとウェハー撮像画像のβ゛との差
を演算し、このデータに基づいてセッター25のウェハ
一回転角度eを演算する。また、比較・補償回路40は
ウェハー基準位置31のαからのウェハー撮像画像のα
゛の変位方向により前記回転角度0の回転方向を決定す
る。第8図の場合は、ウェハーのオリエンテーションフ
ラット44が右方向に(第2象限)変位しており、前記
回転方向は右方向と決定される。また、この回転方向の
決定はウェハー基準位置31のβとウェハー撮像画像の
β゛を用いても行える事は明らかである。
。第7図と第8図において同一の符号はそれぞれ同一の
ものを示す。第8図はウェハーの位置決め位置を示すも
のであり、第8図中に実線でウェハーの位置決め位置を
示すウェハー基準位置31が示されている。このウェハ
ー基準位置31は基準座標系32で決定されており、前
記記憶回路37にはウェハー基準位置3lの中心0、オ
リエンテーションフラット44の両端α、βの基準座標
系にお+)る座IF {l”jが〕5め記憶され゜(い
る。前記比較・補10 償回路40は人力された前記ウェハー撮像画像33の中
心O゛,オリエンテーションフラット44の両端αβ′
の座標値を前記基準座標系32の座標値に変換する。こ
れにより第8図に概念的に示す様に前記ウェハー撮像画
像33の中心0゛はウェハー基準位置31の中心0と一
致する。この状態で、比較・補償回路40はウェハー基
準位置31のαとウェハー撮像画像のα゛の差及びウェ
ハー基準位置31のβとウェハー撮像画像のβ゛との差
を演算し、このデータに基づいてセッター25のウェハ
一回転角度eを演算する。また、比較・補償回路40は
ウェハー基準位置31のαからのウェハー撮像画像のα
゛の変位方向により前記回転角度0の回転方向を決定す
る。第8図の場合は、ウェハーのオリエンテーションフ
ラット44が右方向に(第2象限)変位しており、前記
回転方向は右方向と決定される。また、この回転方向の
決定はウェハー基準位置31のβとウェハー撮像画像の
β゛を用いても行える事は明らかである。
第9図及び第10図をウェハーがセッター25上に左方
向に変位して置かれた例を示すもので、第7図及び第8
図と同一の符号は第7図及び第8図とそれぞれ同一のも
のを示す。この場合も上述の動作で回転角度Oと回転方
向が決定されるが、第8図の場合は、ウェハーのオリエ
ンテーションフラット44が左方向に(第4象限)変位
しており、前記回転方向は左方向と決定される。
向に変位して置かれた例を示すもので、第7図及び第8
図と同一の符号は第7図及び第8図とそれぞれ同一のも
のを示す。この場合も上述の動作で回転角度Oと回転方
向が決定されるが、第8図の場合は、ウェハーのオリエ
ンテーションフラット44が左方向に(第4象限)変位
しており、前記回転方向は左方向と決定される。
このウェハーを基準位置に位置決めする為の補償データ
は位置決め回路41に入力される。位置決め回路41ば
このデータの基づいてセッター駆動回路42を駆動させ
、七ソクー25を回転角度Oだけ前記回転方向に回転さ
せ、ウェハーが基準位置に位置決めされる(ブロノク6
3)。
は位置決め回路41に入力される。位置決め回路41ば
このデータの基づいてセッター駆動回路42を駆動させ
、七ソクー25を回転角度Oだけ前記回転方向に回転さ
せ、ウェハーが基準位置に位置決めされる(ブロノク6
3)。
ウェハーが位置決めされるど、ウェハー搬送機構29が
動作し、位置決めされたウェハーをウェハー処理室27
へ搬送する(ブロック64)。ウェハ処理室27内でウ
ェハーに必要な処理が施され(ブロック65)、ウェハ
ーへの処理が終了するとウェハー搬送機構29によりウ
ェハーがウェハー処理室27から処理済ウェハーを収納
するウェハーカセント23へ搬送される(ブロック66
)。
動作し、位置決めされたウェハーをウェハー処理室27
へ搬送する(ブロック64)。ウェハ処理室27内でウ
ェハーに必要な処理が施され(ブロック65)、ウェハ
ーへの処理が終了するとウェハー搬送機構29によりウ
ェハーがウェハー処理室27から処理済ウェハーを収納
するウェハーカセント23へ搬送される(ブロック66
)。
この時、ウェハーカセット23内の空き状態がカメラ2
4により上述したウェハー有無検出動作で説明したと同
様な動作で検出され、ウェハーカセット23内の空きス
ロットに収納される(ブロック67)。
4により上述したウェハー有無検出動作で説明したと同
様な動作で検出され、ウェハーカセット23内の空きス
ロットに収納される(ブロック67)。
また、ウェハーカセット23に収納された処理済ウェハ
ーが最後のウェハーかが判別され、最後のウェハーでな
ければ上記ブロック58にリタンして上述の動作が繰り
返され、最後のウェハーであれば動作は終了する(ブロ
ック68) 〔効 果〕 以上説明したように本発明によれば、ウェハーの位置決
めをピン等の機械的装置によらずカメラの撮像画像を用
いて行う様に構威したので、ウエハーの破損やゴミの付
着が無い等の優れ効果を有する。
ーが最後のウェハーかが判別され、最後のウェハーでな
ければ上記ブロック58にリタンして上述の動作が繰り
返され、最後のウェハーであれば動作は終了する(ブロ
ック68) 〔効 果〕 以上説明したように本発明によれば、ウェハーの位置決
めをピン等の機械的装置によらずカメラの撮像画像を用
いて行う様に構威したので、ウエハーの破損やゴミの付
着が無い等の優れ効果を有する。
第1図は本発明一実施例の配置状態の概略を示す平面図
。 第2図は本発明一実施例の配置状態の概略を示ず側面図
。 第3図は本発明一実施例のブロック図。 第4図Kaおよび第4図bは本発明一実施例のフローチ
ャート。 第5図は撮像状態の説明図。 第6図は撮像画像の説明図。 第7図および第9図はセッター上のウェハーの撮像画像
の説明図。 第8図および第10図はウェハーの位置決めの説明図。 第11図はウェハー位置決めの従来装置の説明図。 21、23 ウェハーカセッ1 22、24 カメラ 25 セッター 27 ウェハー処理室 28、29 ウェハー搬送機構 30 ウェハー 31 基準位置 32 基準座標系 33 ウェハー撮像画像 撮像画像の座標系 座標演算回路 ウェハー有無判別回路 記憶回路 制御回路 比較・補償回路 位置決め回路 セッター駆動回路 スリッl・光源 オリエンテーションフラ 記憶回路 ・ント (外4名) l5 特開平3−163847 (8)
。 第2図は本発明一実施例の配置状態の概略を示ず側面図
。 第3図は本発明一実施例のブロック図。 第4図Kaおよび第4図bは本発明一実施例のフローチ
ャート。 第5図は撮像状態の説明図。 第6図は撮像画像の説明図。 第7図および第9図はセッター上のウェハーの撮像画像
の説明図。 第8図および第10図はウェハーの位置決めの説明図。 第11図はウェハー位置決めの従来装置の説明図。 21、23 ウェハーカセッ1 22、24 カメラ 25 セッター 27 ウェハー処理室 28、29 ウェハー搬送機構 30 ウェハー 31 基準位置 32 基準座標系 33 ウェハー撮像画像 撮像画像の座標系 座標演算回路 ウェハー有無判別回路 記憶回路 制御回路 比較・補償回路 位置決め回路 セッター駆動回路 スリッl・光源 オリエンテーションフラ 記憶回路 ・ント (外4名) l5 特開平3−163847 (8)
Claims (1)
- (1)位置決めの為にウェハーが搬送されるセッターと
、 前記セッター上に搬送された前記ウェハーを撮像するた
めの撮像手段と、 前記ウェハーの位置決めの基準となる基準位置の座標デ
ータを基準座標系の座標値で予め記憶した記憶回路と、 前記撮像手段で撮像された前記ウェハーの撮像画像の座
標値を演算する第1の演算手段と、前記第1の演算手段
で得られた座標値を前記基準座標系の座標値に交換し、
この変換された座標値と前記記憶された基準位置の座標
値とに基づいて前記ウェハーの基準位置への回転角度と
回転方向とを演算する第2の演算手段と、 前記第2の演算手段の出力の基づいて前記セッター上の
前記ウェハーを前記基準位置にセットする位置決め手段
と、 を備えたことを特徴とするウェハーの位置決め装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2299678A JPH03163847A (ja) | 1990-11-05 | 1990-11-05 | ウェハーの位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2299678A JPH03163847A (ja) | 1990-11-05 | 1990-11-05 | ウェハーの位置決め装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63295817A Division JPH02142157A (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | ウェハーの有無・傾き判別装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03163847A true JPH03163847A (ja) | 1991-07-15 |
Family
ID=17875651
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2299678A Pending JPH03163847A (ja) | 1990-11-05 | 1990-11-05 | ウェハーの位置決め装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03163847A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6452503B1 (en) * | 2001-03-15 | 2002-09-17 | Pri Automation, Inc. | Semiconductor wafer imaging system |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5946043A (ja) * | 1982-09-08 | 1984-03-15 | Toshiba Corp | ウエハの位置合わせ装置 |
JPS6265436A (ja) * | 1985-09-18 | 1987-03-24 | Tokyo Sokuhan Kk | ダイボンダにおけるウエハ−位置制御方法 |
-
1990
- 1990-11-05 JP JP2299678A patent/JPH03163847A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5946043A (ja) * | 1982-09-08 | 1984-03-15 | Toshiba Corp | ウエハの位置合わせ装置 |
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WO2002075689A1 (en) * | 2001-03-15 | 2002-09-26 | Pri Automation, Inc. | Semiconductor wafer imaging system |
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