JP3351228B2 - 移動ロボットのハンドリング位置・姿勢補正装置 - Google Patents
移動ロボットのハンドリング位置・姿勢補正装置Info
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- JP3351228B2 JP3351228B2 JP05970496A JP5970496A JP3351228B2 JP 3351228 B2 JP3351228 B2 JP 3351228B2 JP 05970496 A JP05970496 A JP 05970496A JP 5970496 A JP5970496 A JP 5970496A JP 3351228 B2 JP3351228 B2 JP 3351228B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ハンドリング部
を搭載した移動ロボットについて、カメラを用いてハン
ドリング位置・姿勢補正用マーク（以下、「補正用マー
ク」と称する）を認識することにより、ハンドリング位
置および姿勢を補正するハンドリング位置・姿勢補正装
置に関する。
を搭載した移動ロボットについて、カメラを用いてハン
ドリング位置・姿勢補正用マーク（以下、「補正用マー
ク」と称する）を認識することにより、ハンドリング位
置および姿勢を補正するハンドリング位置・姿勢補正装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体クリーンルーム内のウェーハカセ
ット搬送用移動ロボットは、半導体製造装置から出てく
るウェーハカセットを、該移動ロボットに搭載されたハ
ンドリング部でハンドリングし、該移動ロボットの荷台
に載せ、次の製造装置まで運ぶ作業を行っている。上記
移動ロボットの走行停止時における停止精度は１０ｍｍ
程度であるため、該移動ロボットは、ウェーハカセット
のハンドリングにおいて必要となる１ｍｍ程度の精度を
保証することができない。そこで、上記ハンド部にＣＣ
Ｄカメラを設置し、半導体製造装置上のウェーハカセッ
ト取出口付近に設置した補正用マークに基づいた位置補
正を行うことにより、１ｍｍ程度のハンドリング精度を
実現している。以下、上記技術の詳細について説明す
る。
ット搬送用移動ロボットは、半導体製造装置から出てく
るウェーハカセットを、該移動ロボットに搭載されたハ
ンドリング部でハンドリングし、該移動ロボットの荷台
に載せ、次の製造装置まで運ぶ作業を行っている。上記
移動ロボットの走行停止時における停止精度は１０ｍｍ
程度であるため、該移動ロボットは、ウェーハカセット
のハンドリングにおいて必要となる１ｍｍ程度の精度を
保証することができない。そこで、上記ハンド部にＣＣ
Ｄカメラを設置し、半導体製造装置上のウェーハカセッ
ト取出口付近に設置した補正用マークに基づいた位置補
正を行うことにより、１ｍｍ程度のハンドリング精度を
実現している。以下、上記技術の詳細について説明す
る。
【０００３】図４は、半導体クリーンルーム内における
搬送システムの一例を示す説明図である。この図におい
て、移動ロボット１０１は、半導体製造装置１０２−１
〜１０２−６で製造されたウェーハカセットを、該移動
ロボット１０１に搭載されたハンドリング部でハンドリ
ングし、該移動ロボット１０１の荷台に載せ、カセット
ストッカ１０３−１，１０３−２まで運搬する。
搬送システムの一例を示す説明図である。この図におい
て、移動ロボット１０１は、半導体製造装置１０２−１
〜１０２−６で製造されたウェーハカセットを、該移動
ロボット１０１に搭載されたハンドリング部でハンドリ
ングし、該移動ロボット１０１の荷台に載せ、カセット
ストッカ１０３−１，１０３−２まで運搬する。
【０００４】図５は、上記移動ロボット１０１の一例を
示す説明図である。移動ロボット１０１は、走行を行う
ための走行部２０１と、アーム２０２ａおよびハンド２
０２ｂからなるハンドリング部２０２と、荷物を載せる
ための荷台２０３とから構成される。そして、上記ハン
ド２０２ｂには、ＣＣＤカメラ１が設けられている。
示す説明図である。移動ロボット１０１は、走行を行う
ための走行部２０１と、アーム２０２ａおよびハンド２
０２ｂからなるハンドリング部２０２と、荷物を載せる
ための荷台２０３とから構成される。そして、上記ハン
ド２０２ｂには、ＣＣＤカメラ１が設けられている。
【０００５】また、半導体クリーンルームには、半導体
製造装置がｎ台（ただし、ｎは自然数、図４に示す例で
は６台）設けられており、各半導体製造装置には装置番
号ｍ（ただし、１≦ｍ≦ｎ）が付けられている。そし
て、各半導体製造装置のウェーハカセット取出口付近に
は、補正用マークが貼り付けられている。
製造装置がｎ台（ただし、ｎは自然数、図４に示す例で
は６台）設けられており、各半導体製造装置には装置番
号ｍ（ただし、１≦ｍ≦ｎ）が付けられている。そし
て、各半導体製造装置のウェーハカセット取出口付近に
は、補正用マークが貼り付けられている。
【０００６】図６は、補正用マークの一例を示す説明図
である。補正用マークは、フィルム状のシートであり、
図６に示すように、白地に黒の円形マークが６個印刷し
てある。
である。補正用マークは、フィルム状のシートであり、
図６に示すように、白地に黒の円形マークが６個印刷し
てある。
【０００７】図７は、従来の移動ロボットのハンドリン
グ位置・姿勢補正装置の構成例を示すブロック図であ
る。この図において、ＣＣＤカメラ１は、上述したよう
に、移動ロボット１０１のハンド２０２ｂに設けられて
いる。そして、ＣＣＤカメラ１は、上記補正用マークを
撮影し、その画像データを出力する。
グ位置・姿勢補正装置の構成例を示すブロック図であ
る。この図において、ＣＣＤカメラ１は、上述したよう
に、移動ロボット１０１のハンド２０２ｂに設けられて
いる。そして、ＣＣＤカメラ１は、上記補正用マークを
撮影し、その画像データを出力する。
【０００８】カメラモジュール２は、ＣＣＤカメラ１が
出力する画像データを、ビデオ信号に変換して出力す
る。ここで、上記ビデオ信号は、所定の諧調（例えば、
０〜２５５）で変化する多値のデータである。ビデオ入
力回路３は、カメラモジュール２が出力するビデオ信号
を、ビデオＲＡＭ・４に書き込む。
出力する画像データを、ビデオ信号に変換して出力す
る。ここで、上記ビデオ信号は、所定の諧調（例えば、
０〜２５５）で変化する多値のデータである。ビデオ入
力回路３は、カメラモジュール２が出力するビデオ信号
を、ビデオＲＡＭ・４に書き込む。
【０００９】ＣＰＵ（中央処理装置）・５は、本装置の
各部を制御すると共に、補正用マークの重心位置（ｘ，
ｙ，ｚ）および姿勢（φ，θ，ψ）を算出する。ここ
で、補正用マークの姿勢とは、該補正用マークを含む平
面の傾き（すなわち、ｘ，ｙ，ｚ軸周りの回転角度）の
ことである。
各部を制御すると共に、補正用マークの重心位置（ｘ，
ｙ，ｚ）および姿勢（φ，θ，ψ）を算出する。ここ
で、補正用マークの姿勢とは、該補正用マークを含む平
面の傾き（すなわち、ｘ，ｙ，ｚ軸周りの回転角度）の
ことである。
【００１０】補正データテーブル６’は、リード／ライ
トが可能な不揮発性メモリ（具体的には、Ｅ2ＰＲＯ
Ｍ，フラッシュＲＯＭ，バッテリバックアップされたＲ
ＡＭ等）であり、ＣＰＵ・５が算出した補正用マークの
重心位置（ｘ，ｙ，ｚ）および姿勢（φ，θ，ψ）を、
該補正用マークが貼り付けられている半導体製造装置に
対応して記憶する。図８は、上記補正データテーブル
６’の一例を示す説明図である。
トが可能な不揮発性メモリ（具体的には、Ｅ2ＰＲＯ
Ｍ，フラッシュＲＯＭ，バッテリバックアップされたＲ
ＡＭ等）であり、ＣＰＵ・５が算出した補正用マークの
重心位置（ｘ，ｙ，ｚ）および姿勢（φ，θ，ψ）を、
該補正用マークが貼り付けられている半導体製造装置に
対応して記憶する。図８は、上記補正データテーブル
６’の一例を示す説明図である。
【００１１】次に、上記構成による移動ロボットのハン
ドリング位置・姿勢補正装置の動作を説明する。 （１）教示時 オペレータが、図示しない操作装置（一例としては、テ
ィーチングペンダント）を用いて、移動ロボット１０１
を装置番号ｍの半導体製造装置の前に移動させ、該移動
ロボット１０１に搭載されたハンドリング部２０２のハ
ンド２０２ｂを、ウェーハカセットのハンドリング位置
および姿勢へ移動させた後、該ハンドリング位置に貼り
付けられた補正用マークの位置および姿勢の記憶指令を
入力すると、該ハンド２０２ｂに設けられたＣＣＤカメ
ラ１（図７参照）は、補正用マークを撮影し、その画像
データを出力する。そして、カメラモジュール２は、Ｃ
ＣＤカメラ１が出力する画像データを、ビデオ信号に変
換して出力する。
ドリング位置・姿勢補正装置の動作を説明する。 （１）教示時 オペレータが、図示しない操作装置（一例としては、テ
ィーチングペンダント）を用いて、移動ロボット１０１
を装置番号ｍの半導体製造装置の前に移動させ、該移動
ロボット１０１に搭載されたハンドリング部２０２のハ
ンド２０２ｂを、ウェーハカセットのハンドリング位置
および姿勢へ移動させた後、該ハンドリング位置に貼り
付けられた補正用マークの位置および姿勢の記憶指令を
入力すると、該ハンド２０２ｂに設けられたＣＣＤカメ
ラ１（図７参照）は、補正用マークを撮影し、その画像
データを出力する。そして、カメラモジュール２は、Ｃ
ＣＤカメラ１が出力する画像データを、ビデオ信号に変
換して出力する。
【００１２】ビデオ入力回路３は、カメラモジュール２
が出力するビデオ信号を、ビデオＲＡＭ・４に書き込
む。ＣＰＵ・５は、ビデオＲＡＭ・４に格納されたビデ
オ信号を、固定のスレショルド値で２値化し、白または
黒を表す２値化データに分離する。図９は、図６のライ
ンＡ−Ａ’上の画像を示すビデオ信号を２値化した例を
示す説明図である。次に、ＣＰＵ・５は、上記２値化デ
ータに基づいて、補正用マークの重心位置（ｘ，ｙ，
ｚ）および姿勢（φ，θ，ψ）を算出する。ＣＰＵ・５
は、算出した補正用マークの重心位置（ｘ，ｙ，ｚ）お
よび姿勢（φ，θ，ψ）を、補正データテーブル６の装
置番号ｍの欄に書き込む（図８参照）。
が出力するビデオ信号を、ビデオＲＡＭ・４に書き込
む。ＣＰＵ・５は、ビデオＲＡＭ・４に格納されたビデ
オ信号を、固定のスレショルド値で２値化し、白または
黒を表す２値化データに分離する。図９は、図６のライ
ンＡ−Ａ’上の画像を示すビデオ信号を２値化した例を
示す説明図である。次に、ＣＰＵ・５は、上記２値化デ
ータに基づいて、補正用マークの重心位置（ｘ，ｙ，
ｚ）および姿勢（φ，θ，ψ）を算出する。ＣＰＵ・５
は、算出した補正用マークの重心位置（ｘ，ｙ，ｚ）お
よび姿勢（φ，θ，ψ）を、補正データテーブル６の装
置番号ｍの欄に書き込む（図８参照）。
【００１３】図７に示す装置は、上記動作を繰り返すこ
とにより、各半導体製造装置に対応する補正用マークの
重心位置（ｘ，ｙ，ｚ）および姿勢（φ，θ，ψ）を、
補正データテーブル６の各装置番号の欄に書き込む。
とにより、各半導体製造装置に対応する補正用マークの
重心位置（ｘ，ｙ，ｚ）および姿勢（φ，θ，ψ）を、
補正データテーブル６の各装置番号の欄に書き込む。
【００１４】（２）搬送作業時 搬送作業時において、移動ロボット１０１が、装置番号
ｍの半導体製造装置からウェーハカセットを取り出すた
めに、該半導体製造装置の前に移動すると、ＣＰＵ・５
は、該装置番号ｍに対応する補正用マークの重心位置
（ｘ，ｙ，ｚ）および姿勢（φ，θ，ψ）を、補正デー
タテーブル６から読み出す。移動ロボット１０１に搭載
されたハンドリング部２０２のハンド２０２ｂが、ウェ
ーハカセットのハンドリング位置および姿勢へ移動する
と、該ハンド２０２ｂに設けられたＣＣＤカメラ１は、
該ウェーハカセットをハンドリングする前に、補正用マ
ークを撮影し、その画像データを出力する。以下、図７
に示すハンドリング位置・姿勢補正装置は、「（１）教
示時」で示したのと同じ動作を行い、現在の補正用マー
クの重心位置（ｘ’，ｙ’，ｚ’）および姿勢（φ’，
θ’，ψ’）を算出する。
ｍの半導体製造装置からウェーハカセットを取り出すた
めに、該半導体製造装置の前に移動すると、ＣＰＵ・５
は、該装置番号ｍに対応する補正用マークの重心位置
（ｘ，ｙ，ｚ）および姿勢（φ，θ，ψ）を、補正デー
タテーブル６から読み出す。移動ロボット１０１に搭載
されたハンドリング部２０２のハンド２０２ｂが、ウェ
ーハカセットのハンドリング位置および姿勢へ移動する
と、該ハンド２０２ｂに設けられたＣＣＤカメラ１は、
該ウェーハカセットをハンドリングする前に、補正用マ
ークを撮影し、その画像データを出力する。以下、図７
に示すハンドリング位置・姿勢補正装置は、「（１）教
示時」で示したのと同じ動作を行い、現在の補正用マー
クの重心位置（ｘ’，ｙ’，ｚ’）および姿勢（φ’，
θ’，ψ’）を算出する。
【００１５】ＣＰＵ・５は、算出した補正用マークの重
心位置（ｘ’，ｙ’，ｚ’）と、読み出した補正用マー
クの重心位置（ｘ，ｙ，ｚ）とを比較し、教示位置に対
する現在位置の位置ズレを算出する。そして、ＣＰＵ・
５は、上記位置ズレがゼロになる方向へ、ハンド２０２
ｂの位置を補正する。同様に、ＣＰＵ・５は、算出した
補正用マークの姿勢（φ’，θ’，ψ’）と、読み出し
た補正用マークの姿勢（φ，θ，ψ）とを比較し、教示
姿勢に対する現在姿勢の姿勢ズレを計算する。そして、
ＣＰＵ・５は、上記姿勢ズレがゼロになる方向へ、ハン
ド２０２ｂの姿勢を補正する。そして、上記位置ズレお
よび姿勢ズレがゼロになると、移動ロボット１０１に搭
載されたハンドリング部２０２はハンドリングを行う。
心位置（ｘ’，ｙ’，ｚ’）と、読み出した補正用マー
クの重心位置（ｘ，ｙ，ｚ）とを比較し、教示位置に対
する現在位置の位置ズレを算出する。そして、ＣＰＵ・
５は、上記位置ズレがゼロになる方向へ、ハンド２０２
ｂの位置を補正する。同様に、ＣＰＵ・５は、算出した
補正用マークの姿勢（φ’，θ’，ψ’）と、読み出し
た補正用マークの姿勢（φ，θ，ψ）とを比較し、教示
姿勢に対する現在姿勢の姿勢ズレを計算する。そして、
ＣＰＵ・５は、上記姿勢ズレがゼロになる方向へ、ハン
ド２０２ｂの姿勢を補正する。そして、上記位置ズレお
よび姿勢ズレがゼロになると、移動ロボット１０１に搭
載されたハンドリング部２０２はハンドリングを行う。
【００１６】以上で、上記構成による移動ロボットのハ
ンドリング位置・姿勢補正装置の動作説明を終了する。
なお、上述した補正用マークの重心位置および姿勢の算
出方法、および、ハンド２０２ｂの位置および姿勢の補
正方法の詳細は、以下に示す公報に記載されている。 １）特開平６−２５９５３６号公報（出願番号 特願平
３−３１２０４８号）「撮像位置、姿勢の三次元補正方
法およびロボットの三次元位置補正方法」 ２）特開平４−３４９７９７号公報（出願番号 特願平
３−１２３３５９号）「視覚装置の幾何学的撮像特定較
正方法」
ンドリング位置・姿勢補正装置の動作説明を終了する。
なお、上述した補正用マークの重心位置および姿勢の算
出方法、および、ハンド２０２ｂの位置および姿勢の補
正方法の詳細は、以下に示す公報に記載されている。 １）特開平６−２５９５３６号公報（出願番号 特願平
３−３１２０４８号）「撮像位置、姿勢の三次元補正方
法およびロボットの三次元位置補正方法」 ２）特開平４−３４９７９７号公報（出願番号 特願平
３−１２３３５９号）「視覚装置の幾何学的撮像特定較
正方法」
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、半導体製造
装置に貼り付けられた補正用マーク上の照度は、各半導
体製造装置毎に異なっており、照度が十分ある場合や照
度が足りない場合等、様々である。また、該補正用マー
クに対して斜めから光があたっている場合等では、ある
一つの補正用マーク上においても、照度が均一とは限ら
ない。
装置に貼り付けられた補正用マーク上の照度は、各半導
体製造装置毎に異なっており、照度が十分ある場合や照
度が足りない場合等、様々である。また、該補正用マー
クに対して斜めから光があたっている場合等では、ある
一つの補正用マーク上においても、照度が均一とは限ら
ない。
【００１８】図１０（ａ）は、補正用マーク上の照度が
足りない場合における上記ビデオ信号の一例を示す説明
図であり、図１０（ｂ）は、補正用マーク上の照度が不
均一である場合における上記ビデオ信号の一例を示す説
明図である。図１０（ａ）に示すように、補正用マーク
上の照度が足りない場合には、ビデオＲＡＭ・４に格納
されるビデオ信号の値は全体的に小さくなり、該ビデオ
信号は全て黒を示すデータに２値化されてしまい、補正
用マーク上の図形（円）が全く認識されなくなってしま
う。また、図１０（ｂ）に示すように、補正用マーク上
の照度が不均一である場合には、実際の補正用マーク上
では同じ濃度であるはずの図形（円）部分が、場所によ
り異なる色（すなわち白と黒）を示すデータに２値化さ
れてしまい、該図形の形状や個数が誤って認識されてし
まう。
足りない場合における上記ビデオ信号の一例を示す説明
図であり、図１０（ｂ）は、補正用マーク上の照度が不
均一である場合における上記ビデオ信号の一例を示す説
明図である。図１０（ａ）に示すように、補正用マーク
上の照度が足りない場合には、ビデオＲＡＭ・４に格納
されるビデオ信号の値は全体的に小さくなり、該ビデオ
信号は全て黒を示すデータに２値化されてしまい、補正
用マーク上の図形（円）が全く認識されなくなってしま
う。また、図１０（ｂ）に示すように、補正用マーク上
の照度が不均一である場合には、実際の補正用マーク上
では同じ濃度であるはずの図形（円）部分が、場所によ
り異なる色（すなわち白と黒）を示すデータに２値化さ
れてしまい、該図形の形状や個数が誤って認識されてし
まう。
【００１９】このため、上述した従来の移動ロボットの
ハンドリング位置・姿勢補正装置においては、補正用マ
ークを認識することができない場合や、補正用マークの
重心位置および姿勢の計算結果に誤差が現れる場合があ
る、という課題があった。
ハンドリング位置・姿勢補正装置においては、補正用マ
ークを認識することができない場合や、補正用マークの
重心位置および姿勢の計算結果に誤差が現れる場合があ
る、という課題があった。
【００２０】上記課題を解決する一方法としては、各半
導体製造装置毎の補正用マーク上の照度に応じて、ＣＣ
Ｄカメラのレンズの絞りを自動的に調整する装置（自動
絞り調整器）を該ＣＣＤカメラに付加することが考えら
れる。しかし、この方法では、ＣＣＤカメラに上記自動
絞り調整機を取り付けなくてはならないため、装置全体
の構成が高価になると共に、該自動絞り調整機の分だけ
ＣＣＤカメラが大きくかつ重くなる。ＣＣＤカメラが大
きくなると、狭い場所でのハンドリングにおける制限が
増える。また、ＣＣＤカメラの重量増加は、ハンドを動
かす際の速度低下や振動増加を招く。さらに、ＣＣＤカ
メラの重量増加により、アームを駆動する駆動用モータ
を大きなものにする必要が生じる。
導体製造装置毎の補正用マーク上の照度に応じて、ＣＣ
Ｄカメラのレンズの絞りを自動的に調整する装置（自動
絞り調整器）を該ＣＣＤカメラに付加することが考えら
れる。しかし、この方法では、ＣＣＤカメラに上記自動
絞り調整機を取り付けなくてはならないため、装置全体
の構成が高価になると共に、該自動絞り調整機の分だけ
ＣＣＤカメラが大きくかつ重くなる。ＣＣＤカメラが大
きくなると、狭い場所でのハンドリングにおける制限が
増える。また、ＣＣＤカメラの重量増加は、ハンドを動
かす際の速度低下や振動増加を招く。さらに、ＣＣＤカ
メラの重量増加により、アームを駆動する駆動用モータ
を大きなものにする必要が生じる。
【００２１】この発明は、このような背景の下になされ
たもので、カメラに（自動絞り調整機等の）付加装置を
追加しなくても、いかなる照度下および照明条件下でも
補正用マークを安定かつ正確に認識することができる移
動ロボットのハンドリング位置・姿勢補正装置を提供す
ることを目的とする。
たもので、カメラに（自動絞り調整機等の）付加装置を
追加しなくても、いかなる照度下および照明条件下でも
補正用マークを安定かつ正確に認識することができる移
動ロボットのハンドリング位置・姿勢補正装置を提供す
ることを目的とする。
【００２２】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
ハンドリング部を有する移動ロボットのハンドリング位
置・姿勢補正装置において、前記移動ロボットの各移動
先に対応するスレショルド値を記憶する記憶手段と、前
記記憶手段に記憶された各スレショルド値の中から、前
記移動ロボットの現在の移動位置に対応するスレショル
ド値を読み出す読出手段と、前記ハンドリング部の現在
のハンドリング位置に設けられたハンドリング位置・姿
勢補正用マークを撮影するカメラと、前記カメラが出力
したデータを、前記読出手段が読み出したスレショルド
値で２値化する２値化手段と、前記２値化手段が２値化
したデータに基づいて、前記ハンドリング部の現在のハ
ンドリング位置および姿勢を算出する算出手段と、予め
教示されたハンドリング位置および姿勢と、前記算出手
段が算出した現在のハンドリング位置および姿勢との比
較に基づいて、前記ハンドリング部のハンドリング位置
および姿勢を補正する補正手段とを具備することを特徴
とする。
ハンドリング部を有する移動ロボットのハンドリング位
置・姿勢補正装置において、前記移動ロボットの各移動
先に対応するスレショルド値を記憶する記憶手段と、前
記記憶手段に記憶された各スレショルド値の中から、前
記移動ロボットの現在の移動位置に対応するスレショル
ド値を読み出す読出手段と、前記ハンドリング部の現在
のハンドリング位置に設けられたハンドリング位置・姿
勢補正用マークを撮影するカメラと、前記カメラが出力
したデータを、前記読出手段が読み出したスレショルド
値で２値化する２値化手段と、前記２値化手段が２値化
したデータに基づいて、前記ハンドリング部の現在のハ
ンドリング位置および姿勢を算出する算出手段と、予め
教示されたハンドリング位置および姿勢と、前記算出手
段が算出した現在のハンドリング位置および姿勢との比
較に基づいて、前記ハンドリング部のハンドリング位置
および姿勢を補正する補正手段とを具備することを特徴
とする。
【００２３】請求項２記載の発明は、請求項１記載の移
動ロボットのハンドリング位置・姿勢補正装置におい
て、前記記憶手段における記憶内容（すなわち、前記移
動ロボットの各移動先に対応するスレショルド値）を設
定する設定手段を具備することを特徴とする。
動ロボットのハンドリング位置・姿勢補正装置におい
て、前記記憶手段における記憶内容（すなわち、前記移
動ロボットの各移動先に対応するスレショルド値）を設
定する設定手段を具備することを特徴とする。
【００２４】請求項３記載の発明は、請求項２記載の移
動ロボットのハンドリング位置・姿勢補正装置におい
て、前記予め教示されたハンドリング位置および姿勢
は、前記設定手段が設定したスレショルド値に基づいて
算出されたものであることを特徴とする。
動ロボットのハンドリング位置・姿勢補正装置におい
て、前記予め教示されたハンドリング位置および姿勢
は、前記設定手段が設定したスレショルド値に基づいて
算出されたものであることを特徴とする。
【００２５】請求項４記載の発明は、請求項２または請
求項３のいずれかに記載の移動ロボットのハンドリング
位置・姿勢補正装置において、前記設定手段は、前記ス
レショルド値を徐々に変化させる変化手段と、前記カメ
ラが出力したデータを、前記変化手段が変化させたスレ
ショルド値で２値化する第２の２値化手段と、前記第２
の２値化手段が２値化したデータに基づく画像におい
て、前記ハンドリング位置・姿勢補正用マークが正しく
認識され始めた時点のスレショルド値と、該マークが正
しく認識されなくなった時点のスレショルド値との中間
値を算出するスレショルド値算出手段と、前記スレショ
ルド値算出手段が算出した中間値を、前記移動ロボット
の現在位置に対応するスレショルド値として、前記記憶
手段に書き込む書込手段とからなることを特徴とする。
求項３のいずれかに記載の移動ロボットのハンドリング
位置・姿勢補正装置において、前記設定手段は、前記ス
レショルド値を徐々に変化させる変化手段と、前記カメ
ラが出力したデータを、前記変化手段が変化させたスレ
ショルド値で２値化する第２の２値化手段と、前記第２
の２値化手段が２値化したデータに基づく画像におい
て、前記ハンドリング位置・姿勢補正用マークが正しく
認識され始めた時点のスレショルド値と、該マークが正
しく認識されなくなった時点のスレショルド値との中間
値を算出するスレショルド値算出手段と、前記スレショ
ルド値算出手段が算出した中間値を、前記移動ロボット
の現在位置に対応するスレショルド値として、前記記憶
手段に書き込む書込手段とからなることを特徴とする。
【００２６】請求項５記載の発明は、請求項２または請
求項３のいずれかに記載の移動ロボットのハンドリング
位置・姿勢補正装置において、前記設定手段は、前記ス
レショルド値を徐々に変化させる変化手段と、前記カメ
ラが出力したデータを、前記変化手段が変化させたスレ
ショルド値で２値化する第２の２値化手段と、前記第２
の２値化手段が２値化したデータに基づく画像を表示す
る表示手段と、前記表示手段が表示する画像において、
前記ハンドリング位置・姿勢補正用マークが正しく認識
され始めた時点で操作される第１の操作手段と、前記表
示手段が表示する画像において、前記ハンドリング位置
・姿勢補正用マークが正しく認識されなくなった時点で
操作される第２の操作手段と、前記第１の操作手段が操
作された時点のスレショルド値と、前記第２の操作手段
が操作された時点のスレショルド値との中間値を算出す
るスレショルド値算出手段と、前記スレショルド値算出
手段が算出した中間値を、前記移動ロボットの現在位置
に対応するスレショルド値として、前記記憶手段に書き
込む書込手段とからなることを特徴とする。
求項３のいずれかに記載の移動ロボットのハンドリング
位置・姿勢補正装置において、前記設定手段は、前記ス
レショルド値を徐々に変化させる変化手段と、前記カメ
ラが出力したデータを、前記変化手段が変化させたスレ
ショルド値で２値化する第２の２値化手段と、前記第２
の２値化手段が２値化したデータに基づく画像を表示す
る表示手段と、前記表示手段が表示する画像において、
前記ハンドリング位置・姿勢補正用マークが正しく認識
され始めた時点で操作される第１の操作手段と、前記表
示手段が表示する画像において、前記ハンドリング位置
・姿勢補正用マークが正しく認識されなくなった時点で
操作される第２の操作手段と、前記第１の操作手段が操
作された時点のスレショルド値と、前記第２の操作手段
が操作された時点のスレショルド値との中間値を算出す
るスレショルド値算出手段と、前記スレショルド値算出
手段が算出した中間値を、前記移動ロボットの現在位置
に対応するスレショルド値として、前記記憶手段に書き
込む書込手段とからなることを特徴とする。
【００２７】
§１．第１実施形態 以下、図面を参照して、この発明の第１実施形態につい
て説明する。図１は、この発明の第１実施形態による移
動ロボットのハンドリング位置・姿勢補正装置の構成例
を示すブロック図である。この図において、図７の各部
に対応する部分には同一の符号を付け、その説明を省略
する。この図に示す移動ロボットのハンドリング位置・
姿勢補正装置が図７のものと異なる点は、補正データテ
ーブル６’の代わりに補正データテーブル６が設けられ
ている点である。
て説明する。図１は、この発明の第１実施形態による移
動ロボットのハンドリング位置・姿勢補正装置の構成例
を示すブロック図である。この図において、図７の各部
に対応する部分には同一の符号を付け、その説明を省略
する。この図に示す移動ロボットのハンドリング位置・
姿勢補正装置が図７のものと異なる点は、補正データテ
ーブル６’の代わりに補正データテーブル６が設けられ
ている点である。
【００２８】図２は、補正データテーブル６の一例を示
す説明図である。この図に示すように、補正データテー
ブル６は、補正用マークの重心位置（ｘ，ｙ，ｚ）およ
び姿勢（φ，θ，ψ）の他に、各半導体製造装置毎に、
該半導体製造装置に貼り付けられた補正用マーク上の照
度に対応した最適なスレショルド値（以下、「最適スレ
ショルド値」と称する）を記憶する。
す説明図である。この図に示すように、補正データテー
ブル６は、補正用マークの重心位置（ｘ，ｙ，ｚ）およ
び姿勢（φ，θ，ψ）の他に、各半導体製造装置毎に、
該半導体製造装置に貼り付けられた補正用マーク上の照
度に対応した最適なスレショルド値（以下、「最適スレ
ショルド値」と称する）を記憶する。
【００２９】次に、上記構成による移動ロボットのハン
ドリング位置・姿勢補正装置の動作を説明する。 （１）教示時 オペレータが、図示しない操作装置（一例としては、テ
ィーチングペンダント）を用いて、移動ロボット１０１
を装置番号ｍの半導体製造装置の前に移動させ、該移動
ロボット１０１に搭載されたハンドリング部２０２のハ
ンド２０２ｂを、ウェーハカセットのハンドリング位置
および姿勢へ移動させた後、該ハンドリング位置に貼り
付けられた補正用マークの位置および姿勢の記憶指令を
入力すると、本装置は、補正用マークの重心位置（ｘ，
ｙ，ｚ）および姿勢（φ，θ，ψ）の算出・記憶に先立
って、以下に述べる動作で、最適スレショルド値の決定
・記憶を行う。
ドリング位置・姿勢補正装置の動作を説明する。 （１）教示時 オペレータが、図示しない操作装置（一例としては、テ
ィーチングペンダント）を用いて、移動ロボット１０１
を装置番号ｍの半導体製造装置の前に移動させ、該移動
ロボット１０１に搭載されたハンドリング部２０２のハ
ンド２０２ｂを、ウェーハカセットのハンドリング位置
および姿勢へ移動させた後、該ハンドリング位置に貼り
付けられた補正用マークの位置および姿勢の記憶指令を
入力すると、本装置は、補正用マークの重心位置（ｘ，
ｙ，ｚ）および姿勢（φ，θ，ψ）の算出・記憶に先立
って、以下に述べる動作で、最適スレショルド値の決定
・記憶を行う。
【００３０】すなわち、まず、ＣＰＵ・５は、２値化の
ためのスレショルド値を、該スレショルド値の上限値
（一例としては２５５）から下限値（一例としては０）
へ向かって徐々に変化させる。そして、ＣＰＵ・５は、
所定図形（図６に示す補正用マーク例では円）が所定個
数（図６に示す補正用マーク例では６個）正しく認識さ
れ始めた時点のスレショルド値を、第１スレショルド値
として、該ＣＰＵ・５の内蔵レジスタに記憶する。その
後、ＣＰＵ・５は、上記スレショルド値をさらに変化さ
せ、上記所定図形が上記所定個数だけ正しく認識されな
くなった時点のスレショルド値を、第２スレショルド値
として、該ＣＰＵ・５の他の内蔵レジスタに記憶する。
最後に、ＣＰＵ・５は、第１スレショルド値と第２スレ
ショルド値との中間値を求め、該中間値を最適スレショ
ルド値として、補正データテーブル６の装置番号ｍの欄
に書き込む。
ためのスレショルド値を、該スレショルド値の上限値
（一例としては２５５）から下限値（一例としては０）
へ向かって徐々に変化させる。そして、ＣＰＵ・５は、
所定図形（図６に示す補正用マーク例では円）が所定個
数（図６に示す補正用マーク例では６個）正しく認識さ
れ始めた時点のスレショルド値を、第１スレショルド値
として、該ＣＰＵ・５の内蔵レジスタに記憶する。その
後、ＣＰＵ・５は、上記スレショルド値をさらに変化さ
せ、上記所定図形が上記所定個数だけ正しく認識されな
くなった時点のスレショルド値を、第２スレショルド値
として、該ＣＰＵ・５の他の内蔵レジスタに記憶する。
最後に、ＣＰＵ・５は、第１スレショルド値と第２スレ
ショルド値との中間値を求め、該中間値を最適スレショ
ルド値として、補正データテーブル６の装置番号ｍの欄
に書き込む。
【００３１】なお、上記動作例では、スレショルド値を
上限値から下限値へ向かって変化させたが、これとは逆
に、スレショルド値を下限値から上限値へ向かって変化
させても良い。
上限値から下限値へ向かって変化させたが、これとは逆
に、スレショルド値を下限値から上限値へ向かって変化
させても良い。
【００３２】上述した動作により最適スレショルド値の
決定・記憶が終了すると、次に、本装置は、従来技術と
同様の動作を行って、補正用マークの重心位置（ｘ，
ｙ，ｚ）および姿勢（φ，θ，ψ）を算出し、該重心位
置（ｘ，ｙ，ｚ）および姿勢（φ，θ，ψ）を補正デー
タテーブル６の装置番号ｍの欄に書き込む。ただし、従
来のハンドリング位置・姿勢補正装置では、ビデオＲＡ
Ｍ・４に格納されたビデオ信号を２値化する際に、固定
のスレショルド値を用いたのに対して、本実施形態によ
るハンドリング位置・姿勢補正装置では、ビデオＲＡＭ
・４に格納されたビデオ信号を２値化する際に、先に算
出した最適スレショルド値を用いる。
決定・記憶が終了すると、次に、本装置は、従来技術と
同様の動作を行って、補正用マークの重心位置（ｘ，
ｙ，ｚ）および姿勢（φ，θ，ψ）を算出し、該重心位
置（ｘ，ｙ，ｚ）および姿勢（φ，θ，ψ）を補正デー
タテーブル６の装置番号ｍの欄に書き込む。ただし、従
来のハンドリング位置・姿勢補正装置では、ビデオＲＡ
Ｍ・４に格納されたビデオ信号を２値化する際に、固定
のスレショルド値を用いたのに対して、本実施形態によ
るハンドリング位置・姿勢補正装置では、ビデオＲＡＭ
・４に格納されたビデオ信号を２値化する際に、先に算
出した最適スレショルド値を用いる。
【００３３】（２）搬送作業時 第１実施形態によるハンドリング位置・姿勢補正装置の
搬送作業時の動作は、従来のハンドリング位置・姿勢補
正装置の搬送作業時の動作と基本的に同じものである。
ただし、以下に示す各点において異なる。 第１実施形態では、移動ロボット１０１が装置番号
ｍの半導体製造装置の前に移動すると、ＣＰＵ・５は、
該装置番号ｍに対応する補正用マークの重心位置（ｘ，
ｙ，ｚ）および姿勢（φ，θ，ψ）の他に、該装置番号
ｍに対応する最適スレショルド値を、補正データテーブ
ル６から読み出す。 第１実施形態では、ビデオＲＡＭ・４に格納された
ビデオ信号を２値化する際に、ＣＰＵ・５は、上記に
おいて補正データテーブル６から読み出した最適スレシ
ョルド値を用いて該２値化を行う。以上で、上記構成に
よる移動ロボットのハンドリング位置・姿勢補正装置の
動作説明を終了する。
搬送作業時の動作は、従来のハンドリング位置・姿勢補
正装置の搬送作業時の動作と基本的に同じものである。
ただし、以下に示す各点において異なる。 第１実施形態では、移動ロボット１０１が装置番号
ｍの半導体製造装置の前に移動すると、ＣＰＵ・５は、
該装置番号ｍに対応する補正用マークの重心位置（ｘ，
ｙ，ｚ）および姿勢（φ，θ，ψ）の他に、該装置番号
ｍに対応する最適スレショルド値を、補正データテーブ
ル６から読み出す。 第１実施形態では、ビデオＲＡＭ・４に格納された
ビデオ信号を２値化する際に、ＣＰＵ・５は、上記に
おいて補正データテーブル６から読み出した最適スレシ
ョルド値を用いて該２値化を行う。以上で、上記構成に
よる移動ロボットのハンドリング位置・姿勢補正装置の
動作説明を終了する。
【００３４】§２．第２実施形態 次に、この発明の第２実施形態について説明する。図３
は、この発明の第２実施形態による移動ロボットのハン
ドリング位置・姿勢補正装置の構成例を示すブロック図
である。この図において、図１の各部に対応する部分に
は同一の符号を付け、その説明を省略する。この図に示
す移動ロボットのハンドリング位置・姿勢補正装置が図
１のものと異なる点は、画像表示装置７およびコントロ
ールパネル８が追加された点である。
は、この発明の第２実施形態による移動ロボットのハン
ドリング位置・姿勢補正装置の構成例を示すブロック図
である。この図において、図１の各部に対応する部分に
は同一の符号を付け、その説明を省略する。この図に示
す移動ロボットのハンドリング位置・姿勢補正装置が図
１のものと異なる点は、画像表示装置７およびコントロ
ールパネル８が追加された点である。
【００３５】画像表示装置７は、ＣＰＵ・５が求めた２
値化データに基づいて、ＣＣＤカメラ１の現在の撮影画
像を表示するもの（具体的には、ＣＲＴモニタ，液晶表
示装置等）である。コントロールパネル８は、スレショ
ルド値を変化させるためのアップスイッチおよびダウン
スイッチと、最適スレショルド値を決定するためのセッ
トスイッチを有する。なお、コントロールパネル８は、
移動ロボット１０１の操作装置（図示略、一例として
は、ティーチングペンダント）と共用にしても良い。
値化データに基づいて、ＣＣＤカメラ１の現在の撮影画
像を表示するもの（具体的には、ＣＲＴモニタ，液晶表
示装置等）である。コントロールパネル８は、スレショ
ルド値を変化させるためのアップスイッチおよびダウン
スイッチと、最適スレショルド値を決定するためのセッ
トスイッチを有する。なお、コントロールパネル８は、
移動ロボット１０１の操作装置（図示略、一例として
は、ティーチングペンダント）と共用にしても良い。
【００３６】次に、上記構成による移動ロボットのハン
ドリング位置・姿勢補正装置の動作を説明する。 （１）教示時 第２実施形態によるハンドリング位置・姿勢補正装置の
教示時の動作は、第１実施形態によるハンドリング位置
・姿勢補正装置の教示時の動作と基本的に同じものであ
る。ただし、第１実施形態と第２実施形態とでは、最適
スレショルド値の決定・記憶動作が異なる。
ドリング位置・姿勢補正装置の動作を説明する。 （１）教示時 第２実施形態によるハンドリング位置・姿勢補正装置の
教示時の動作は、第１実施形態によるハンドリング位置
・姿勢補正装置の教示時の動作と基本的に同じものであ
る。ただし、第１実施形態と第２実施形態とでは、最適
スレショルド値の決定・記憶動作が異なる。
【００３７】すなわち、まず、オペレータが、コントロ
ールパネル８に設けられたダウンスイッチを操作する
と、ＣＰＵ・５は、２値化のためのスレショルド値を、
該スレショルド値の上限値から下限値へ向かって徐々に
変化させる。ＣＰＵ・５は、刻々と変化する上記スレシ
ョルド値を用いて、ＣＣＤカメラ１が現在撮影している
画像に基づくビデオ信号を２値化し、該２値化された画
像（以下、「２値化画像」と称する）を画像表示装置７
に表示する。オペレータは、上記画像表示装置７に表示
された２値化画像を見ながら、補正用マークに印刷され
ている図形がハッキリと認識され始めた時点で、コント
ロールパネル８に設けられたセットスイッチを操作す
る。オペレータが上記セットスイッチを操作すると、Ｃ
ＰＵ・５は、その時点のスレショルド値を、第１スレシ
ョルド値として、該ＣＰＵ・５の内蔵レジスタに記憶す
る。
ールパネル８に設けられたダウンスイッチを操作する
と、ＣＰＵ・５は、２値化のためのスレショルド値を、
該スレショルド値の上限値から下限値へ向かって徐々に
変化させる。ＣＰＵ・５は、刻々と変化する上記スレシ
ョルド値を用いて、ＣＣＤカメラ１が現在撮影している
画像に基づくビデオ信号を２値化し、該２値化された画
像（以下、「２値化画像」と称する）を画像表示装置７
に表示する。オペレータは、上記画像表示装置７に表示
された２値化画像を見ながら、補正用マークに印刷され
ている図形がハッキリと認識され始めた時点で、コント
ロールパネル８に設けられたセットスイッチを操作す
る。オペレータが上記セットスイッチを操作すると、Ｃ
ＰＵ・５は、その時点のスレショルド値を、第１スレシ
ョルド値として、該ＣＰＵ・５の内蔵レジスタに記憶す
る。
【００３８】その後、ＣＰＵ・５は、上記スレショルド
値をさらに変化させ、該スレショルド値に基づく２値化
画像を画像表示装置７に表示する。オペレータは、補正
用マークに印刷されている図形がハッキリとは認識され
なくなった時点で、コントロールパネル８に設けられた
セットスイッチを再び操作する。オペレータが上記セッ
トスイッチを操作すると、ＣＰＵ・５は、その時点のス
レショルド値を、第２スレショルド値として、該ＣＰＵ
・５の他の内蔵レジスタに記憶する。
値をさらに変化させ、該スレショルド値に基づく２値化
画像を画像表示装置７に表示する。オペレータは、補正
用マークに印刷されている図形がハッキリとは認識され
なくなった時点で、コントロールパネル８に設けられた
セットスイッチを再び操作する。オペレータが上記セッ
トスイッチを操作すると、ＣＰＵ・５は、その時点のス
レショルド値を、第２スレショルド値として、該ＣＰＵ
・５の他の内蔵レジスタに記憶する。
【００３９】最後に、ＣＰＵ・５は、第１スレショルド
値と第２スレショルド値との中間値を求め、該中間値を
最適スレショルド値として、補正データテーブル６の装
置番号ｍの欄に書き込む。
値と第２スレショルド値との中間値を求め、該中間値を
最適スレショルド値として、補正データテーブル６の装
置番号ｍの欄に書き込む。
【００４０】なお、第２実施形態の場合も、第１実施形
態と同様に、スレショルド値を下限値から上限値へ向か
って変化させても良い。この場合、オペレータは、コン
トロールパネル８に設けられたダウンスイッチの代わり
に、同コントロールパネル８に設けられたアップスイッ
チを用いる。
態と同様に、スレショルド値を下限値から上限値へ向か
って変化させても良い。この場合、オペレータは、コン
トロールパネル８に設けられたダウンスイッチの代わり
に、同コントロールパネル８に設けられたアップスイッ
チを用いる。
【００４１】（２）搬送作業時 第２実施形態によるハンドリング位置・姿勢補正装置の
搬送作業時の動作は、第１実施形態によるハンドリング
位置・姿勢補正装置の搬送作業時の動作と同じものであ
るので、その説明を省略する。以上で、上記構成による
移動ロボットのハンドリング位置・姿勢補正装置の動作
説明を終了する。
搬送作業時の動作は、第１実施形態によるハンドリング
位置・姿勢補正装置の搬送作業時の動作と同じものであ
るので、その説明を省略する。以上で、上記構成による
移動ロボットのハンドリング位置・姿勢補正装置の動作
説明を終了する。
【００４２】次に、請求項記載の発明と本実施形態との
対応関係を説明する。 記憶手段……補正データテーブル６ 読出手段……ＣＰＵ・５ カメラ……ＣＣＤカメラ１ ２値化手段，算出手段，補正手段……ＣＰＵ・５ 変化手段……ＣＰＵ・５（第１実施形態） ＣＰＵ・５，コントロールパネル８（第２実施形態） 第２の２値化手段，スレショルド値算出手段，書込手段……ＣＰＵ・５ 表示手段……画像表示装置７ 第１の操作手段，第２の操作手段……コントロールパネル８
対応関係を説明する。 記憶手段……補正データテーブル６ 読出手段……ＣＰＵ・５ カメラ……ＣＣＤカメラ１ ２値化手段，算出手段，補正手段……ＣＰＵ・５ 変化手段……ＣＰＵ・５（第１実施形態） ＣＰＵ・５，コントロールパネル８（第２実施形態） 第２の２値化手段，スレショルド値算出手段，書込手段……ＣＰＵ・５ 表示手段……画像表示装置７ 第１の操作手段，第２の操作手段……コントロールパネル８
【００４３】以上、この発明の実施形態を図面を参照し
て詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限ら
れるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の
設計の変更等があってもこの発明に含まれる。例えば、
上述した第１実施形態および第２実施形態では、補正用
マーク上の図形および該図形の個数として、図６に示す
ものを用いたが、補正用マーク上の図形および該図形の
個数はこれに限定されず、該補正用マークの重心位置お
よび姿勢が算出できるならば、どのようなものであって
も構わない。
て詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限ら
れるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の
設計の変更等があってもこの発明に含まれる。例えば、
上述した第１実施形態および第２実施形態では、補正用
マーク上の図形および該図形の個数として、図６に示す
ものを用いたが、補正用マーク上の図形および該図形の
個数はこれに限定されず、該補正用マークの重心位置お
よび姿勢が算出できるならば、どのようなものであって
も構わない。
【００４４】また、上述した第１実施形態および第２実
施形態では、図１または図３に示すように、カメラ系の
構成をＣＣＤカメラ１，カメラモジュール２，ビデオ入
力回路３からなるものとしたが、カメラ系の構成はこれ
に限定されず、最終的にビデオＲＡＭ・４内にビデオ信
号が書き込まれるものであれば、どのようなものであっ
ても構わない。
施形態では、図１または図３に示すように、カメラ系の
構成をＣＣＤカメラ１，カメラモジュール２，ビデオ入
力回路３からなるものとしたが、カメラ系の構成はこれ
に限定されず、最終的にビデオＲＡＭ・４内にビデオ信
号が書き込まれるものであれば、どのようなものであっ
ても構わない。
【００４５】また、上述した第１実施形態および第２実
施形態では、ハンドリング作業として半導体製造装置か
らウェーハカセットを取り出す作業を例にとり説明した
が、本発明が適用可能なハンドリング作業は、図４に示
す半導体クリーンルーム内での搬送作業に限定されず、
例えば一般の工場内の搬送作業等、どのようなものであ
っても構わない。
施形態では、ハンドリング作業として半導体製造装置か
らウェーハカセットを取り出す作業を例にとり説明した
が、本発明が適用可能なハンドリング作業は、図４に示
す半導体クリーンルーム内での搬送作業に限定されず、
例えば一般の工場内の搬送作業等、どのようなものであ
っても構わない。
【００４６】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、いかなる照度下および照明条件下でも補正用マーク
を安定かつ正確に認識することができる。また、カメラ
に付加装置を追加することがないため、低価格化・小型
化・計量化が行え、ハンドリング部の負荷・占有容積を
低減することができる。
ば、いかなる照度下および照明条件下でも補正用マーク
を安定かつ正確に認識することができる。また、カメラ
に付加装置を追加することがないため、低価格化・小型
化・計量化が行え、ハンドリング部の負荷・占有容積を
低減することができる。
【図１】この発明の第１実施形態による移動ロボットの
ハンドリング位置・姿勢補正装置の構成例を示すブロッ
ク図である。
ハンドリング位置・姿勢補正装置の構成例を示すブロッ
ク図である。
【図２】同実施形態による補正データテーブルの一例を
示す説明図である。
示す説明図である。
【図３】この発明の第２実施形態による移動ロボットの
ハンドリング位置・姿勢補正装置の構成例を示すブロッ
ク図である。
ハンドリング位置・姿勢補正装置の構成例を示すブロッ
ク図である。
【図４】半導体クリーンルーム内における搬送システム
の一例を示す説明図である。
の一例を示す説明図である。
【図５】移動ロボットの一例を示す説明図である。
【図６】補正用マークの一例を示す説明図である。
【図７】従来の移動ロボットのハンドリング位置・姿勢
補正装置の構成例を示すブロック図である。
補正装置の構成例を示すブロック図である。
【図８】従来の補正データテーブルの一例を示す説明図
である。
である。
【図９】図６のラインＡ−Ａ’上の画像を示すビデオ信
号の一例を示す説明図である。
号の一例を示す説明図である。
【図１０】（ａ）は、補正用マーク上の照度が足りない
場合における上記ビデオ信号の一例を示す説明図であ
り、（ｂ）は、補正用マーク上の照度が不均一である場
合における上記ビデオ信号の一例を示す説明図である。
場合における上記ビデオ信号の一例を示す説明図であ
り、（ｂ）は、補正用マーク上の照度が不均一である場
合における上記ビデオ信号の一例を示す説明図である。
１……ＣＣＤカメラ、 ２……カメラモジュール、３…
…ビデオ入力回路、 ４……ビデオＲＡＭ、 ５……Ｃ
ＰＵ、６……補正データテーブル、 ７……画像表示装
置、８……コントロールパネル
…ビデオ入力回路、 ４……ビデオＲＡＭ、 ５……Ｃ
ＰＵ、６……補正データテーブル、 ７……画像表示装
置、８……コントロールパネル
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G05B 19/18 - 19/46 B25J 3/00 - 3/04 B25J 9/10 - 9/22 B25J 13/00 - 13/08 B25J 19/02 - 19/06 H05N 7/18 H01L 21/68 G01B 11/00 - 11/30
Claims (5)
- 【請求項１】 ハンドリング部を有する移動ロボットの
ハンドリング位置・姿勢補正装置において、 前記移動ロボットの各移動先に対応するスレショルド値
を記憶する記憶手段と、 前記記憶手段に記憶された各スレショルド値の中から、
前記移動ロボットの現在の移動位置に対応するスレショ
ルド値を読み出す読出手段と、 前記ハンドリング部の現在のハンドリング位置に設けら
れたハンドリング位置・姿勢補正用マークを撮影するカ
メラと、 前記カメラが出力したデータを、前記読出手段が読み出
したスレショルド値で２値化する２値化手段と、 前記２値化手段が２値化したデータに基づいて、前記ハ
ンドリング部の現在のハンドリング位置および姿勢を算
出する算出手段と、 予め教示されたハンドリング位置および姿勢と、前記算
出手段が算出した現在のハンドリング位置および姿勢と
の比較に基づいて、前記ハンドリング部のハンドリング
位置および姿勢を補正する補正手段とを具備することを
特徴とする移動ロボットのハンドリング位置・姿勢補正
装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の移動ロボットのハンドリ
ング位置・姿勢補正装置において、 前記記憶手段における記憶内容（すなわち、前記移動ロ
ボットの各移動先に対応するスレショルド値）を設定す
る設定手段を具備することを特徴とする移動ロボットの
ハンドリング位置・姿勢補正装置。 - 【請求項３】 請求項２記載の移動ロボットのハンドリ
ング位置・姿勢補正装置において、 前記予め教示されたハンドリング位置および姿勢は、前
記設定手段が設定したスレショルド値に基づいて算出さ
れたものであることを特徴とする移動ロボットのハンド
リング位置・姿勢補正装置。 - 【請求項４】 請求項２または請求項３のいずれかに記
載の移動ロボットのハンドリング位置・姿勢補正装置に
おいて、 前記設定手段は、 前記スレショルド値を徐々に変化させる変化手段と、 前記カメラが出力したデータを、前記変化手段が変化さ
せたスレショルド値で２値化する第２の２値化手段と、 前記第２の２値化手段が２値化したデータに基づく画像
において、前記ハンドリング位置・姿勢補正用マークが
正しく認識され始めた時点のスレショルド値と、該マー
クが正しく認識されなくなった時点のスレショルド値と
の中間値を算出するスレショルド値算出手段と、 前記スレショルド値算出手段が算出した中間値を、前記
移動ロボットの現在位置に対応するスレショルド値とし
て、前記記憶手段に書き込む書込手段とからなることを
特徴とする移動ロボットのハンドリング位置・姿勢補正
装置。 - 【請求項５】 請求項２または請求項３のいずれかに記
載の移動ロボットのハンドリング位置・姿勢補正装置に
おいて、 前記設定手段は、 前記スレショルド値を徐々に変化させる変化手段と、 前記カメラが出力したデータを、前記変化手段が変化さ
せたスレショルド値で２値化する第２の２値化手段と、 前記第２の２値化手段が２値化したデータに基づく画像
を表示する表示手段と、 前記表示手段が表示する画像において、前記ハンドリン
グ位置・姿勢補正用マークが正しく認識され始めた時点
で操作される第１の操作手段と、 前記表示手段が表示する画像において、前記ハンドリン
グ位置・姿勢補正用マークが正しく認識されなくなった
時点で操作される第２の操作手段と、 前記第１の操作手段が操作された時点のスレショルド値
と、前記第２の操作手段が操作された時点のスレショル
ド値との中間値を算出するスレショルド値算出手段と、 前記スレショルド値算出手段が算出した中間値を、前記
移動ロボットの現在位置に対応するスレショルド値とし
て、前記記憶手段に書き込む書込手段とからなることを
特徴とする移動ロボットのハンドリング位置・姿勢補正
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05970496A JP3351228B2 (ja) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | 移動ロボットのハンドリング位置・姿勢補正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05970496A JP3351228B2 (ja) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | 移動ロボットのハンドリング位置・姿勢補正装置 |
Publications (2)
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