JPH11163080A - ロボットハンド - Google Patents
ロボットハンドInfo
- Publication number
- JPH11163080A JPH11163080A JP9324625A JP32462597A JPH11163080A JP H11163080 A JPH11163080 A JP H11163080A JP 9324625 A JP9324625 A JP 9324625A JP 32462597 A JP32462597 A JP 32462597A JP H11163080 A JPH11163080 A JP H11163080A
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- JP
- Japan
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- light
- hand
- cassette
- optical sensor
- input end
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 省スペース化及びコスト低減を図ることがで
きる薄型基板有無検出方法を実施可能なロボットハンド
を提供すること。 【解決手段】 先端には、第１反射形光センサ４の第１
光出力端４２と第１光入力端４３とが設けられ、第１光
出力端４２から出射された光はカセット内の薄型基板３
の外周端面３１に照射され、外周端面３１で反射された
反射光は第１光入力端４３で受光される。さらに先端に
は、第２反射形光センサ５の第２光出力端５２と第２光
入力端５３とが設けられ、第２光出力端５２から出射さ
れた光はカセット内の薄型基板３の基板面３２に照射さ
れ、基板面３２で反射された反射光は第２光入力端５４
で受光される。
きる薄型基板有無検出方法を実施可能なロボットハンド
を提供すること。 【解決手段】 先端には、第１反射形光センサ４の第１
光出力端４２と第１光入力端４３とが設けられ、第１光
出力端４２から出射された光はカセット内の薄型基板３
の外周端面３１に照射され、外周端面３１で反射された
反射光は第１光入力端４３で受光される。さらに先端に
は、第２反射形光センサ５の第２光出力端５２と第２光
入力端５３とが設けられ、第２光出力端５２から出射さ
れた光はカセット内の薄型基板３の基板面３２に照射さ
れ、基板面３２で反射された反射光は第２光入力端５４
で受光される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カセット内のガラ
ス基板等薄型基板の有無を検出するための機能を有する
ロボットハンドに関する。
ス基板等薄型基板の有無を検出するための機能を有する
ロボットハンドに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、液晶表示器等の製造工程等にお
いては、複数枚のガラス基板を多段に収納可能なカセッ
ト内に搬送ロボットを使用してガラス基板を収納し、そ
の後、各段毎のガラス基板の有無を検出した上で搬送ロ
ボットによりガラス基板をカセットから取り出す作業が
行なわれている。
いては、複数枚のガラス基板を多段に収納可能なカセッ
ト内に搬送ロボットを使用してガラス基板を収納し、そ
の後、各段毎のガラス基板の有無を検出した上で搬送ロ
ボットによりガラス基板をカセットから取り出す作業が
行なわれている。
【０００３】従来、カセット内の各段毎のガラス基板の
有無を検出するガラス基板有無検出方法として、カセッ
トの各段毎にガラス基板検出用の反射形光センサ又は透
過形光センサを設け、これらのセンサを一斉に駆動して
各段毎のガラス基板の有無を検出する方法が知られてい
る。
有無を検出するガラス基板有無検出方法として、カセッ
トの各段毎にガラス基板検出用の反射形光センサ又は透
過形光センサを設け、これらのセンサを一斉に駆動して
各段毎のガラス基板の有無を検出する方法が知られてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようなガラス基板有無検出方法には、センサ設置のため
のスペースが必要とされ、また、カセット段数に対応す
る数だけセンサが必要とされることなどからコスト高に
なるなどの問題があった。
ようなガラス基板有無検出方法には、センサ設置のため
のスペースが必要とされ、また、カセット段数に対応す
る数だけセンサが必要とされることなどからコスト高に
なるなどの問題があった。
【０００５】本発明によるロボットハンドは、上記ガラ
ス基板の他に半導体ウエハにも適用可能であり、上記問
題点を解決し、省スペース化及びコスト低減を図ること
ができる薄型基板有無検出方法を実施することを目的と
してなされたものである。
ス基板の他に半導体ウエハにも適用可能であり、上記問
題点を解決し、省スペース化及びコスト低減を図ること
ができる薄型基板有無検出方法を実施することを目的と
してなされたものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のロボットハンド
は、カセット内の薄型基板の有無を検出するための機能
を有するロボットハンドであって、第１反射形光センサ
の第１光出力端と第１光入力端とが先端に設けられ、前
記第１光出力端から出射された光をカセット内の薄型基
板の外周端面に照射するとともに、前記外周端面で反射
された反射光を前記第１光入力端で受光するよう構成さ
れることを特徴とする。
は、カセット内の薄型基板の有無を検出するための機能
を有するロボットハンドであって、第１反射形光センサ
の第１光出力端と第１光入力端とが先端に設けられ、前
記第１光出力端から出射された光をカセット内の薄型基
板の外周端面に照射するとともに、前記外周端面で反射
された反射光を前記第１光入力端で受光するよう構成さ
れることを特徴とする。
【０００７】
【発明の作用効果】本発明によると、カセット内の各段
毎の薄型基板の有無を、ロボットハンドに設けられた共
通の反射形光センサによって検出することができるよう
になるため、省スペース化及びコスト低減を図ることが
可能となる。
毎の薄型基板の有無を、ロボットハンドに設けられた共
通の反射形光センサによって検出することができるよう
になるため、省スペース化及びコスト低減を図ることが
可能となる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【０００９】図１は一実施例によるロボットハンドの平
面図、図２は同ロボットハンドの左右一対の先端部のう
ち一方の先端部の側面図、図３は他方の先端部の側面図
をそれぞれ示す。
面図、図２は同ロボットハンドの左右一対の先端部のう
ち一方の先端部の側面図、図３は他方の先端部の側面図
をそれぞれ示す。
【００１０】図１〜図３において、本実施例のロボット
ハンド（以下、単にハンドという。）１は、カセット２
（図４、５）内の薄型基板３の有無を検出するための機
能を有するハンドである。
ハンド（以下、単にハンドという。）１は、カセット２
（図４、５）内の薄型基板３の有無を検出するための機
能を有するハンドである。
【００１１】ハンド１には第１反射形光センサ４及び第
２反射形光センサ５が設けられている。
２反射形光センサ５が設けられている。
【００１２】第１反射形光センサ４は、第１光源部４１
と第１光出力端４２と第１光入力端４３と第１受光部４
４とを備える。第１光源部４１及び第１受光部４４はハ
ンド１の厚肉の元部１１に配設される。第１光出力端４
２は、一端が第１光源部４１に接続された第１送光用光
ファイバー４５の他端によって構成され、ハンド１の左
右一対の先端部１２、１３のうちの一方の先端部１２の
先端に配されている。第１光入力端４３は、一端が第１
受光部４４に接続された第１受光用光ファイバー４６の
他端によって構成され、上記第１光出力端４２と同様、
上記一方の先端部１２の先端に配されている。第１光出
力端４２及び第１光入力端４３は、第１光出力端４２か
ら出射された光をカセット２内の薄型基板３の外周端面
３１に照射し、その反射光を第１光入力端４３で受光可
能な位置関係をもつように配置されている。
と第１光出力端４２と第１光入力端４３と第１受光部４
４とを備える。第１光源部４１及び第１受光部４４はハ
ンド１の厚肉の元部１１に配設される。第１光出力端４
２は、一端が第１光源部４１に接続された第１送光用光
ファイバー４５の他端によって構成され、ハンド１の左
右一対の先端部１２、１３のうちの一方の先端部１２の
先端に配されている。第１光入力端４３は、一端が第１
受光部４４に接続された第１受光用光ファイバー４６の
他端によって構成され、上記第１光出力端４２と同様、
上記一方の先端部１２の先端に配されている。第１光出
力端４２及び第１光入力端４３は、第１光出力端４２か
ら出射された光をカセット２内の薄型基板３の外周端面
３１に照射し、その反射光を第１光入力端４３で受光可
能な位置関係をもつように配置されている。
【００１３】第２反射形光センサ５は、第２光源部５１
と第２光出力端５２と第２光入力端５３と第２受光部５
４とを備える。第２光源部５１及び第２受光部５４はハ
ンド１の厚肉の元部１１に配設される。第２光出力端５
２は、一端が第２光源部５１に接続された第２送光用光
ファイバー５５の他端によって構成され、ハンド１の左
右一対の先端部１２、１３のうちの他方の先端部１３の
先端に配されている。第２光入力端５３は、一端が第２
受光部５４に接続された第２受光用光ファイバー５６の
他端によって構成され、上記第２光出力端５２と同様、
上記他方の先端部１３の先端に配されている。第２光出
力端５２及び第２光入力端５３は、第２光出力端５２か
ら出射された光をカセット２内の薄型基板３の基板面
（裏面又は表面）３２に照射し、その反射光を第２光入
力端５３で受光可能な位置関係をもつように配置されて
いる。
と第２光出力端５２と第２光入力端５３と第２受光部５
４とを備える。第２光源部５１及び第２受光部５４はハ
ンド１の厚肉の元部１１に配設される。第２光出力端５
２は、一端が第２光源部５１に接続された第２送光用光
ファイバー５５の他端によって構成され、ハンド１の左
右一対の先端部１２、１３のうちの他方の先端部１３の
先端に配されている。第２光入力端５３は、一端が第２
受光部５４に接続された第２受光用光ファイバー５６の
他端によって構成され、上記第２光出力端５２と同様、
上記他方の先端部１３の先端に配されている。第２光出
力端５２及び第２光入力端５３は、第２光出力端５２か
ら出射された光をカセット２内の薄型基板３の基板面
（裏面又は表面）３２に照射し、その反射光を第２光入
力端５３で受光可能な位置関係をもつように配置されて
いる。
【００１４】次に、上記のように構成されたハンド１の
一使用方法を図４及び図５に基づいて説明する。
一使用方法を図４及び図５に基づいて説明する。
【００１５】図４において、カセット２は複数枚の一枚
ガラス基板３Ａを上下方向に多段に収納できるよう構成
されている。ロボット１００は本体部２０とアーム３０
とハンド１とを備え、図示しないコントローラによって
ハンド１がＸ軸方向及びＺ軸方向に往復動するとともに
θ軸方向に回動するよう制御される。
ガラス基板３Ａを上下方向に多段に収納できるよう構成
されている。ロボット１００は本体部２０とアーム３０
とハンド１とを備え、図示しないコントローラによって
ハンド１がＸ軸方向及びＺ軸方向に往復動するとともに
θ軸方向に回動するよう制御される。
【００１６】カセット２内に収納された各々の一枚ガラ
ス基板３Ａの有無を検出するにあたっては、まず、ハン
ド１の先端を最下段の一枚ガラス基板３Ａの外周端面３
１に近接して対向させ、この状態からハンド１の先端が
最上段の一枚ガラス基板３Ａの外周端面３１と対向する
位置までハンド１をＺ軸方向に上昇させる。この間、第
１反射形光センサ４により各段の一枚ガラス基板３Ａの
有無を検出するとともに、第２反射形光センサ５により
ハンド１の上方に一枚ガラス基板３Ａが存在しているか
否か、換言すると、前方に突出した一枚ガラス基板が存
在するか否かを検出するようにする。図４の場合、前方
へ突出した一枚ガラス基板が存在しておらず、ハンド１
をＺ軸方向に上昇させてもハンド１によって一枚ガラス
基板３Ａを損傷させるおそれがないことから、ハンド１
は最下段の一枚ガラス基板３Ａの位置から最上段の一枚
ガラス基板３Ａの位置までＺ軸方向に上昇できることと
なる。
ス基板３Ａの有無を検出するにあたっては、まず、ハン
ド１の先端を最下段の一枚ガラス基板３Ａの外周端面３
１に近接して対向させ、この状態からハンド１の先端が
最上段の一枚ガラス基板３Ａの外周端面３１と対向する
位置までハンド１をＺ軸方向に上昇させる。この間、第
１反射形光センサ４により各段の一枚ガラス基板３Ａの
有無を検出するとともに、第２反射形光センサ５により
ハンド１の上方に一枚ガラス基板３Ａが存在しているか
否か、換言すると、前方に突出した一枚ガラス基板が存
在するか否かを検出するようにする。図４の場合、前方
へ突出した一枚ガラス基板が存在しておらず、ハンド１
をＺ軸方向に上昇させてもハンド１によって一枚ガラス
基板３Ａを損傷させるおそれがないことから、ハンド１
は最下段の一枚ガラス基板３Ａの位置から最上段の一枚
ガラス基板３Ａの位置までＺ軸方向に上昇できることと
なる。
【００１７】図５は、一枚ガラス基板３Ａを収納可能な
図４図示のカセット２と同一のカセット２内に分割ガラ
ス基板３Ｂが収納されている場合のハンド１の使用方法
を表している。
図４図示のカセット２と同一のカセット２内に分割ガラ
ス基板３Ｂが収納されている場合のハンド１の使用方法
を表している。
【００１８】この場合には、ハンド１の先端をカセット
２の内部まで侵入させてハンド１の先端を最下段の分割
ガラス基板３Ｂの外周端面３１に近接して対向させる。
そして、この状態からハンド１をＺ軸方向に上昇させ
る。この上昇時、第１反射形光センサ４によりハンド１
が通過してきた各段の分割ガラス基板３Ｂの有無が検出
されるとともに、第２反射形光センサ５によりハンド１
の上方に突出した分割ガラス基板が存在するか否かを検
出するようにする。図５の場合、突出した分割ガラス基
板３Ｂ’が存在している。このような場合、ハンド１が
この突出した分割ガラス基板３Ｂ’の基板面３２に近接
した位置まで上昇してきたとき、第２反射形光センサ５
によりこの分割ガラス基板３Ｂ’の存在が検出され、こ
の検出結果に基づいてハンド１は上昇を停止する。この
ハンド１の上昇停止により、ハンド１が突出した分割ガ
ラス基板３Ｂ’を損傷させる事態を回避することができ
る。
２の内部まで侵入させてハンド１の先端を最下段の分割
ガラス基板３Ｂの外周端面３１に近接して対向させる。
そして、この状態からハンド１をＺ軸方向に上昇させ
る。この上昇時、第１反射形光センサ４によりハンド１
が通過してきた各段の分割ガラス基板３Ｂの有無が検出
されるとともに、第２反射形光センサ５によりハンド１
の上方に突出した分割ガラス基板が存在するか否かを検
出するようにする。図５の場合、突出した分割ガラス基
板３Ｂ’が存在している。このような場合、ハンド１が
この突出した分割ガラス基板３Ｂ’の基板面３２に近接
した位置まで上昇してきたとき、第２反射形光センサ５
によりこの分割ガラス基板３Ｂ’の存在が検出され、こ
の検出結果に基づいてハンド１は上昇を停止する。この
ハンド１の上昇停止により、ハンド１が突出した分割ガ
ラス基板３Ｂ’を損傷させる事態を回避することができ
る。
【００１９】以上説明したように、本実施例のハンド１
は、カセット２内の薄型基板３、３Ａ、３Ｂの有無を検
出するための機能を有するハンドであって、第１反射形
光センサ４の第１光出力端４２と第１光入力端４３とが
先端に設けられ、第１光出力端４２から出射された光を
カセット２内の薄型基板３、３Ａ、３Ｂの外周端面３１
に照射するとともに、外周端面３１で反射された反射光
を第１光入力端４３で受光するよう構成される。このた
め、本実施例によると、カセット２内の各段毎の薄型基
板３、３Ａ、３Ｂの有無を、ハンド１に設けられた共通
の反射形光センサ４によって検出することができるよう
になるため、省スペース化及びコスト低減を図ることが
可能となる。
は、カセット２内の薄型基板３、３Ａ、３Ｂの有無を検
出するための機能を有するハンドであって、第１反射形
光センサ４の第１光出力端４２と第１光入力端４３とが
先端に設けられ、第１光出力端４２から出射された光を
カセット２内の薄型基板３、３Ａ、３Ｂの外周端面３１
に照射するとともに、外周端面３１で反射された反射光
を第１光入力端４３で受光するよう構成される。このた
め、本実施例によると、カセット２内の各段毎の薄型基
板３、３Ａ、３Ｂの有無を、ハンド１に設けられた共通
の反射形光センサ４によって検出することができるよう
になるため、省スペース化及びコスト低減を図ることが
可能となる。
【００２０】また、本実施例のハンド１は、上記第１反
射形光センサ４の他に、第２反射形光センサ５の第２光
出力端５２と第２光入力端５３とが先端に設けられ、第
２光出力端５２から出射された光をカセット２内の薄型
基板３、３Ａ、３Ｂの基板面３２に照射可能にするとと
もに、基板面３２で反射された反射光を第２光入力端５
３で受光可能にするよう構成される。このため、本実施
例によると、上記のような薄型基板有無検出のためのハ
ンド移動中に、このハンド１の移動に障害となるような
突出した薄型基板３Ｂ’が存在している場合には、この
突出した薄型基板３Ｂ’の存在を第２反射形光センサ５
によって検出できるようなり、この検出時にはハンド１
の移動を停止させることによりハンド１が突出した薄型
基板３Ｂ’を損傷させてしまう事態を回避することがで
きる。
射形光センサ４の他に、第２反射形光センサ５の第２光
出力端５２と第２光入力端５３とが先端に設けられ、第
２光出力端５２から出射された光をカセット２内の薄型
基板３、３Ａ、３Ｂの基板面３２に照射可能にするとと
もに、基板面３２で反射された反射光を第２光入力端５
３で受光可能にするよう構成される。このため、本実施
例によると、上記のような薄型基板有無検出のためのハ
ンド移動中に、このハンド１の移動に障害となるような
突出した薄型基板３Ｂ’が存在している場合には、この
突出した薄型基板３Ｂ’の存在を第２反射形光センサ５
によって検出できるようなり、この検出時にはハンド１
の移動を停止させることによりハンド１が突出した薄型
基板３Ｂ’を損傷させてしまう事態を回避することがで
きる。
【図１】一実施例によるハンドの平面図である。
【図２】同ハンドの左右一対の先端部のうち一方の先端
部の側面図である。
部の側面図である。
【図３】他方の先端部の側面図である。
【図４】同ハンドの使用方法を説明するための説明図で
ある。
ある。
【図５】同じく同ハンドの使用方法を説明するための説
明図である。
明図である。
１ ロボットハンド ２ カセット ３、３Ａ、３Ｂ、３Ｂ’ 薄型基板 ３１ 外周端面 ３２ 基板面 ４ 第１反射形光センサ ４２ 第１光出力端 ４３ 第１光入力端 ５ 第２反射形光センサ ５２ 第２光出力端 ５３ 第２光入力端
Claims (2)
- 【請求項１】 カセット内の薄型基板の有無を検出する
ための機能を有するロボットハンドであって、第１反射
形光センサの第１光出力端と第１光入力端とが先端に設
けられ、前記第１光出力端から出射された光をカセット
内の薄型基板の外周端面に照射するとともに、前記外周
端面で反射された反射光を前記第１光入力端で受光する
よう構成されることを特徴とするロボットハンド。 - 【請求項２】 請求項１において、第２反射形光センサ
の第２光出力端と第２光入力端とが先端に設けられ、前
記第２光出力端から出射された光をカセット内の薄型基
板の基板面に照射可能にするとともに、前記基板面で反
射された反射光を前記第２光入力端で受光可能にするよ
う構成されることを特徴とするロボットハンド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9324625A JPH11163080A (ja) | 1997-11-26 | 1997-11-26 | ロボットハンド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9324625A JPH11163080A (ja) | 1997-11-26 | 1997-11-26 | ロボットハンド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11163080A true JPH11163080A (ja) | 1999-06-18 |
Family
ID=18167917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9324625A Withdrawn JPH11163080A (ja) | 1997-11-26 | 1997-11-26 | ロボットハンド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11163080A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1471565A3 (en) * | 2003-04-21 | 2006-02-01 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Mapping device for semiconductor wafers |
| JP2006040913A (ja) * | 2004-07-22 | 2006-02-09 | Takenaka Electronic Industrial Co Ltd | 光電センサ |
| KR20190143368A (ko) * | 2018-06-20 | 2019-12-30 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 자동 교시 방법 및 제어 장치 |
-
1997
- 1997-11-26 JP JP9324625A patent/JPH11163080A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1471565A3 (en) * | 2003-04-21 | 2006-02-01 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Mapping device for semiconductor wafers |
| US7043335B2 (en) | 2003-04-21 | 2006-05-09 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Mapping device |
| JP2006040913A (ja) * | 2004-07-22 | 2006-02-09 | Takenaka Electronic Industrial Co Ltd | 光電センサ |
| KR20190143368A (ko) * | 2018-06-20 | 2019-12-30 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 자동 교시 방법 및 제어 장치 |
| CN110634782A (zh) * | 2018-06-20 | 2019-12-31 | 东京毅力科创株式会社 | 自动示教方法和控制装置 |
| US11495482B2 (en) | 2018-06-20 | 2022-11-08 | Tokyo Electron Limited | Automatic supervising method and control device |
| TWI794507B (zh) * | 2018-06-20 | 2023-03-01 | 日商東京威力科創股份有限公司 | 自動教示方法及控制裝置 |
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