JP2006108145A - ウェハカセット及びウェハ位置指示装置 - Google Patents

Abstract

【課題】同一高さの溝を容易に認識可能にして、ウェハを水平に配置する。
【解決手段】 開口した前面を有する筐体を構成する一対の側壁１１ａ，１１ｂと、前記一対の側壁に夫々複数設けられた溝部３と、前記一対の側壁近傍に配置されて、前記溝部へのウェハの挿入を検出する一対のセンサ部５ａ，５ｂとを具備したことを特徴とする。
【選択図】 図１

Description

本発明は、複数枚の半導体基板、ガラス基板、石英基板等を収納可能なウェハカセットに関する。

一般に電気光学装置、例えば、電気光学物質に液晶を用いて所定の表示を行う液晶装置は、一対の基板間に液晶が挟持された構成となっている。このうち、ＴＦＴ駆動、ＴＦＤ駆動等によるアクティブマトリクス駆動方式の液晶装置等の電気光学装置においては、縦横に夫々配列された多数の走査線（ゲート線）及びデータ線（ソース線）の各交点に対応して、画素電極及びスイッチング素子を基板（アクティブマトリクス基板）上に設けて構成される。

ＴＦＴ素子等のスイッチング素子は、ゲート線に供給されるオン信号によってオンとなり、ソース線を介して供給される画像信号を画素電極（透明電極（ＩＴＯ））に書込む。これにより、画素電極と対向電極相互間の液晶層に画像信号に基づく電圧を印加して、液晶分子の配列を変化させる。こうして、画素の透過率を変化させ、画素電極及び液晶層を通過する光を画像信号に応じて変化させて画像表示を行う。

このようなスイッチング素子を構成する素子基板は、集積回路等の半導体装置と同様に、半導体プロセスによって製造される。即ち、シリコンウェハに相当するガラス又は石英基板（以下、これらを総称してウェハという）上に、所定のパターンを有する半導体薄膜、絶縁性薄膜又は導電性薄膜を積層することによって構成される。即ち、各種膜の成膜工程とフォトリソグラフィ工程の繰返しによって、ＴＦＴ基板等は形成されている。

このような半導体プロセスによって製造される電気光学装置等を含む半導体装置においては、一般的には、各プロセスの処理を行う装置間の搬送に際して、多数枚のウェハを一旦カセット（ウェハ治具又はウェハカセットともいう）に収納してウェハ治具毎に搬送する方法が採用される。

ウェハ治具は、例えば前面が開口した筐体であり、筐体内の左右の側面には、ウェハを支持するための複数の溝が形成されている。この溝内にウェハの両端を挿入することで各ウェハを支持するようになっている。

この場合において、ウェハのカセットへのローディング（収納）又はアンローディングを容易にするものとして、特許文献１においては、自動ロボットを採用した装置が開示されている。
特開平５−１１４６４１号公報

ところで、半導体プロセス中の実験、試験や検査のための工程にウェハが投入されることがある。また、製品とするウェハ以外のダミーウェハが工程中に投入されることもある。このような場合には、搬送工程において自動ロボットを利用することができず、人手でウェハをウェハ治具に収納する必要があることがある。

しかしながら、ウェハ治具の溝の上下の間隔が左右の溝間の距離に比べて極めて小さいことから、同一高さの左右の溝を確認することが困難である。しかも、人手による収納作業では人はウェハに神経を集中する必要があり、溝の幅は極めて狭く、目視による溝の確認は極めて困難である。このため、左右で異なる高さの溝にウェハを挿入してしまうこともあり、また、同一高さの左右の溝に正確にウェハを挿入するために、比較的長時間を要してしまうことがあるという問題点があった。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、ウェハが挿入された溝の高さに応じた音響を出力することで、容易に対応する一対の溝を確認することができるウェハカセット及びウェハ位置指示装置を提供することを目的とする。

本発明に係るウェハカセットは、開口した前面を有する筐体を構成する一対の側壁と、前記一対の側壁に夫々複数設けられた溝部と、前記一対の側壁近傍に配置されて、前記溝部へのウェハの挿入を検出する一対のセンサ部とを具備したことを特徴とする。

このような構成によれば、筐体を構成する一対の側壁には、夫々溝部が複数設けられる。一対の側壁には夫々一対のセンサ部が配置される。一対のセンサ部は、前記溝部へのウェハの挿入を検出する。これにより、ウェハが一対の側壁に夫々設けられた溝部の同一位置に挿入されたか否かを検出することが可能となる。

本発明に係るウェハカセット用音声発生装置は、上記ウェハカセットのセンサ部の出力が与えられて、前記一対の側壁のうちの一方の側壁に設けられた溝部中のウェハが挿入された溝部の位置に応じた第１の音響及び前記一対の側壁のうちの他方の側壁に設けられた溝部中のウェハが挿入された溝部の位置に応じた第２の音響を出力する音響出力手段を具備したことを特徴とする。

このような構成によれば、音響出力手段は、一対の側壁のうちの一方の側壁に設けられた溝部中のウェハが挿入された溝部の位置に応じた第１の音響を出力すると共に、一対の側壁のうちの他方の側壁に設けられた溝部中のウェハが挿入された溝部の位置に応じた第２の音響を出力する。第１及び第２の音響を聞くことにより、ウェハが一対の側壁に夫々設けられた溝部の同一位置に挿入されたか否かを認識することができ、ウェハを同一位置の溝部に挿入することが容易となる。

また、前記音響出力手段は、前記第１及び第２の音響として、前記溝部の位置に応じた周波数の音響を出力することを特徴とする。

このような構成によれば、第１及び第２の音響の周波数が一致している場合には、ウェハが一対の側壁に夫々設けられた溝部の同一位置に挿入されたものと判断することができ、一致していない場合には異なる位置の溝部同士に挿入されたものと判断することができる。

また、前記音響出力手段は、前記第１及び第２の音響を、所定の時間差を有して出力することを特徴とする。

このような構成によれば、第１の音響と第２の音響とが同時に出力されずに時間差を有して出力されるので、第１及び第２の音響を聞き取りやすい。

また、本発明に係るウェハカセット用音声発生装置は、上記ウェハカセットのセンサ部の出力が与えられて、前記一対の側壁のうちの一方の側壁に設けられた溝部中のウェハが挿入された溝部の第１の位置と前記一対の側壁のうちの一方の側壁に設けられた溝部中のウェハが挿入された溝部の第２の位置との差を判定する判定手段と、前記判定手段の判定結果に基づく音響を出力する音響出力手段とを具備したことを特徴とする。

このような構成によれば、判定手段は、センサ部の出力に基づいて、一対の側壁のうちの一方の側壁に設けられた溝部中のウェハが挿入された溝部の第１の位置と一対の側壁のうちの一方の側壁に設けられた溝部中のウェハが挿入された溝部の第２の位置との差を判定する。この判定結果に基づく音響が、音響出力手段から出力される。この音響を聞くことにより、ウェハが一対の側壁に夫々設けられた溝部の同一位置に挿入されたか否か、異なる位置に挿入された場合にはそのずれを認識することができ、ウェハを同一位置の溝部に挿入することが容易となる。

また、前記音響出力手段は、前記第１及び第２の位置が一致している場合には、一致していることを示す音響を出力することを特徴とする。

このような構成によれば、ウェハが一対の側壁に夫々設けられた溝部の同一位置に挿入されたことを容易に認識することができる。

また、前記音響出力手段は、前記第１及び第２の位置が一致していない場合には、第１及び第２の位置の差に応じた音響を出力することを特徴とする。

このような構成によれば、ウェハが一対の側壁に夫々設けられた溝部の同一位置に挿入されていない場合において、挿入されている位置の差を容易に認識することができる。

また、前記音響出力手段は、前記一致していることを示す音響並びに前記第１及び第２の位置の差に応じた音響として、音声メッセージを出力することを特徴とする。

このような構成によれば、ウェハが挿入された溝部の位置についての情報を容易に把握することができる。

本発明に係る電気光学装置の製造方法は、電気光学装置用基板を、上記ウェハカセットの前記一対の側壁に夫々複数設けられた溝部のうちの対応する位置の溝部に挿入する工程を具備したことを特徴とする。

このような構成によれば、一対の側壁の対応する位置の溝部同士を容易に認識することができるので、電気光学装置用基板を確実に対応する位置の突部又は溝部に配置することができる。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について詳細に説明する。図１はウェハカセットを示す正面図であり、図２は図１の上方から見た上面図である。また、図３はウェハカセットを立体的に示す説明図であり、図４はセンサによる検出を説明するための説明図である。

図１において、ウェハカセット１は前面が開口した筐体である。ウェハカセット１は、平面的にはウェハ４よりも若干大きなサイズに構成されて、ウェハ４を収納可能である。即ち、ウェハ４が円形状である場合には、平面的にはウェハカセット１の縦方向及び横方向の寸法は、ウェハ４の直径よりも若干大きなサイズに設定され、ウェハ４が四角形の場合には、平面的には、ウェハカセット１の縦方向及び横方向の寸法は、ウェハ４の縦方向及び横方向の寸法よりも夫々若干大きなサイズに設定される。

ウェハカセット１は、高さ方向には所定の高さを有して、所定枚数のウェハ４を収納することができるようになっている。ウェハカセット１は左右方向の一対の側壁１１ａ，１１ｂに、内側に向けて突出した複数の段部２が設けられている。段部２はウェハカセット１の前面から奥行き方向に延出し、上下の段部２同士でウェハカセット１の前面から奥行き方向まで延びた溝部３を構成する。

左右の側壁１１ａ，１１ｂに設けた各段部２は、対応する左右の段同士で相互に同一の高さに配置され、左右の溝部３はウェハカセット１の同一高さの位置に設けられる。なお、各段部２の高さ方向の寸法（肉厚）は、必ずしも同一でなくてもよいが、例えば、各段部２の上面、即ち、溝部３の底面の位置は、少なくとも左右の対応する段部同士で同一となっている。

本実施の形態においては、ウェハカセット１の側壁部１１ａ，１１ｂには、夫々後述するウェハ挿入位置確認用の光を透過させるための開口部６ａ，６ｂが設けられている。開口部６ａ，６ｂは、図２及び図３に示すように、側壁部１１ａ，１１ｂの奥行き方向の所定位置において、各溝部３毎に設けられる。即ち、側壁部１１ａの各溝部（以下、左の溝部という）３の全てに開口部６ａが形成され、側壁部１１ｂの各溝部（以下、右の溝部という）３の全てに開口部６ｂが形成される。

ウェハカセット１の側壁部１１ａの外側にはセンサ部５ａが開口部６ａに臨んで配置されている。また、側壁部１１ｂの外側にはセンサ部５ｂが開口部６ｂに臨んで配置されている。センサ部５ａは、ウェハカセット１の内部から、左の溝部３の位置に設けられている各開口部６ａを介して例えば反射した光を検出する図示しない各センサを有している。また、センサ部５ｂは、ウェハカセット１の内部から、右の溝部３の位置に設けられている各開口部６ｂを介して例えば反射した光を検出する図示しない各センサを有している。センサ部５ａ，５ｂの各センサの検出結果は、センサ出力として後述するウェハカセット用音声発生装置に供給されるようになっている。

なお、センサ部５ａ，５ｂによって左右の溝部３にウェハが挿入されたか否かを検出することができれば、例えば透光性の材料を用いた場合等においては、必ずしも開口部６ａ，６ｂを設ける必要はない。

センサ部５ａ，５ｂの各センサは、いずれも光を検出するものとして説明したが、センサ部５ａの各センサ又はセンサ部５ｂの各センサの一方が発光部を備え、他方が受光部を備えるものであってもよい。例えば、センサ部５ａの各センサが発光素子であり、センサ部５ｂの各センサが受光素子であってもよい。

センサ部５ａ，５ｂには、夫々ウェハカセット用音声発生装置３０ａ，３０ｂが内蔵されている。図５はウェハカセット音声発生装置３０ａ，３０ｂの具体的な回路構成を示すブロック図である。

センサ部５ａの各センサの出力はウェハカセット用音声発生装置３０ａのセンサ出力判定部３１ａに供給される。センサ出力判定部３１ａは、各センサの出力が対応する左の溝部３にウェハが挿入されている場合の出力であるか否かを判定して判定結果を判定結果評価部３２ａに出力する。判定結果評価部３２ａは、ウェハが挿入されていると判定された溝部３の段数（高さに）応じた出力（評価結果）を音声出力発生部３３ａに出力する。音声出力発生部３３ａは、入力された評価結果に応じた音声信号を発生してスピーカ３４ａに供給する。スピーカ３４ａは入力された音声信号に基づく音響を出力する。

同様に、センサ部５ｂの各センサの出力はウェハカセット用音声発生装置３０ｂのセンサ出力判定部３１ｂに供給される。センサ出力判定部３１ｂは、各センサの出力が対応する左の溝部３にウェハが挿入されている場合の出力であるか否かを判定して判定結果を判定結果評価部３２ｂに出力する。判定結果評価部３２ｂは、ウェハが挿入されていると判定された溝部３の段数（高さに）応じた出力（評価結果）を音声出力発生部３３ｂに出力する。音声出力発生部３３ｂは、入力された評価結果に応じた音声信号を発生してスピーカ３４ｂに供給する。スピーカ３４ｂは入力された音声信号に基づく音響を出力する。

スピーカ３４ａ，３４ｂは夫々センサ部５ａ，５ｂに夫々設けた音声出力用の開口部（図３ではセンサ部５ｂに設けた開口部３４のみ図示）に臨んでおり、スピーカ３４ａ，３４ｂからの音響はこの開口部を介して外部に出力される。

次に、このように構成された実施の形態の動作について説明する。

オペレータは、左右の側壁部１１ａ，１１ｂの外側に配置されたセンサ部５ａ，５ｂ内のスピーカ３４ａ，３４ｂからの音響出力を参考にしながら、ウェハ４をウェハカセット１内に収納する。

いま、オペレータが、図示しないウェハピンセットを用いてウェハ４を保持し、両側壁部１１ａ，１１ｂに設けられた左右の溝部３にウェハ４を収納するものとする。センサ部５ａ，５ｂの各センサは、夫々左右の溝部３に設けた開口部６ａ，６ｂを介して例えば反射した光を検出する。

いま、図４に示すように、側壁部１１ａについては、側壁部１１ｂよりも１段低い溝部３にウェハ４が挿入されるものとする。センサ部５ａ，５ｂの各センサは、出射した光の反射光又は対向するセンサの出射光が入射され、入射光のレベルに応じた出力をウェハカセット用音声発生装置３０ａ，３０ｂに出力する。ウェハカセット用音声発生装置３０ａ，３０ｂのセンサ出力判定部３１ａ，３１ｂは、各センサの出力がウェハ４が対応する溝部３に挿入されている場合のものであるか否かを判定する。例えば、図４の例では、側壁部１１ａの外側のセンサ５ａについては、図４の一番下の溝部３にウェハ４が挿入されていることを示す判定結果を出力する。同様に、側壁部１１ｂの外側のセンサ５ｂについては、図４の下から２つ目の溝部３にウェハ４が挿入されていることを示す判定結果を出力する。

判定結果評価部３２ａ，３２ｂは、判定結果によって示される段数に応じた音声を出力させる。例えば、判定結果評価部３２ａ，３２ｂは、溝部３の高さに応じた周波数の音声を出力するための評価結果を出力する。ウェハ４が挿入されていると判定された溝部３が高い位置にある場合には、高い周波数の音声を出力させ、低くなるほど低い周波数の音声を出力させるのである。例えば、図４の例において左側の側壁部１１ａの溝部３に対するウェハ４の挿入によって、音階「ド」の周波数の音声を出力させるものとすると、右側の側壁部１１ｂの溝部３に対するウェハ４の挿入によって、少し高い音階「レ」の周波数の音声を出力させるのである。

判定結果評価部３２ａ，３２ｂからの評価結果は音声出力発生部３３ａ，３３ｂに与えられ、評価結果に基づく音声信号が発生される。音声出力発生部３３ａ，３３ｂからの音声信号は夫々スピーカ３４ａ，３４ｂに与えられて音響出力される。この場合には、図４の例では、左側のセンサ部５ａに内蔵されたスピーカ３４ａから比較的低い周波数（例えば音階の「ド」）の音声が出力され、右側のセンサ部５ｂに内蔵されたスピーカ３４ｂから比較的高い周波数（例えば音階の「レ」）の音声が出力される。

オペレータは、左右のスピーカ３４ａ，３４ｂからの音響出力によって、左右で同一高さの溝部３にウェハ４を挿入したか否かを確認することができる。図４の例では、左側のスピーカ３４ａの出力音声の周波数が右側のスピーカ３４ｂの出力音声の周波数よりも低いので、オペレータはウェハ４を左側を低い傾いた状態で挿入したことを確認することができる。

オペレータは、ウェハ４の左側を持ち上げるか又は右側を下げて、両側壁部１１ａ，１１ｂの溝部３にウェハ４を挿入する。これにより、ウェハ４が左右の同一高さの溝部３に挿入されたものとする。そうすると、判定結果評価部３２ａ，３２ｂからは、左右の所定の同一高さにウェハが挿入されていることを示す評価結果が出力される。音声出力発生部３３ａ，３３ｂは、相互に同一高さの周波数の音声信号を発生して夫々スピーカ３４ａ，３４ｂに出力する。こうして、この場合には、左右のスピーカ３４ａ，３４ｂから同一音程（ユニゾン）の音響が出力される。

一般的には、２つの音の音程にどれくらいの差があるかを認識することは困難であるが、２つの音がユニゾンであるか否かを判定することは比較的容易である。こうして、オペレータは簡単且つ確実に、ウェハ４が左右で同一高さの溝部３に挿入されたことを認識することができる。

このように、本実施の形態においては、段部同士の間隔が狭い場合でも、ウェハの挿入位置を検出するセンサ出力に基づく音声を発生することで、ウェハが傾いて挿入されたことを容易に認識可能にしており、ウェハを確実に水平にして収納することができる。

なお、上記実施の形態においては、左右のスピーカ３４ａ，３４ｂから同一タイミングで音声を出力させる例について説明したが、両者に時間差を設けて音響出力させるようにしてもよい。

また、上記実施の形態においては、高い位置の溝部ほど高い周波数を割り当てたが、オペレータは、左右で数段以上のずれを有してウェハを挿入したことを感覚的に理解することができるので、周波数の増減を複数の段毎に繰返すようにしてもよい。即ち、同一高さの左右の溝に同一周波数の音を割り当てればよく、必ずしも溝の高さに応じた周波数に設定する必要はない。この場合でも、ウェハの挿入時に左右のいずれを高く挿入したかについてはオペレータが目視又は手の感覚等によって分かることが多いので、単に左右で異なる高さにウェハを挿入したか否かを音声によって示せばよい。例えば、周波数に限らず、同じ高さの左右の溝に同一音響を割り当てればよい。同一人の音声や同一音量の音や、同一音色の音等を割り当て、高さの違いが感覚的に認識しにくい隣接する複数段の高さ以内では、異なる音にするようにすればよい。

図６は本発明の第２の実施の形態において採用されるウェハカセット用音声発生装置を示すブロック図である。図６において図５と同一の構成要素には同一符号を付して説明を省略する。本実施の形態はセンサ部５ａ，５ｂに内蔵されるウェハカセット用音声発生装置として、図５のウェハカセット用音声発生装置３０ａ，３０ｂに代えて図６のウェハカセット用音声発生装置４０を用いた点が第１の実施の形態と異なる。

第１の実施の形態においては、実際に挿入された溝の高さに応じた２つの音声を出力する例について説明したが、本実施の形態はウェハが挿入された左右の溝の高さの相違についての判定結果を音声出力するものである。

図６において、センサ出力判定部３１ａ，３１ｂは、各センサの出力が対応する溝部３にウェハが挿入されている場合の出力であるか否かを判定して判定結果を判定結果評価部４２に出力するようになっている。判定結果評価部４２は、センサ出力判定部３１ａ，３１ｂの判定結果に基づいて、ウェハが挿入されていると判定された左右の溝部３の段数を求める。判定結果評価部４２は、判定結果である左右の溝の高さに差があるか否か、差がある場合には左右のいずれがどれだけ高いか又は低いかを評価し、評価結果を音声出力発生部４３に出力する。音声出力発生部４３は、入力された評価結果に応じた音声信号を発生してスピーカ４４に供給する。スピーカ４４は入力された音声信号に基づく音響を出力する。

次に、このように構成された実施の形態の動作について説明する。

いま、オペレータが、図示しないウェハピンセットを用いてウェハ４を保持し、図４に示すように、側壁部１１ａについては、側壁部１１ｂよりも１段低い溝部３にウェハ４を挿入するものとする。センサ出力判定部３１ａ，３１ｂは、側壁部１１ａの外側のセンサ５ａについては、図４の一番下の溝部３にウェハ４が挿入されていることを示す判定結果を出力し、側壁部１１ｂの外側のセンサ５ｂについては、図４の下から２つ目の溝部３にウェハ４が挿入されていることを示す判定結果を出力する。

判定結果評価部４２は、判定結果によって示される左右の溝部３の段数の差を求める。この場合には、左側の溝部３の段数が右側の溝部３の段数よりも１段低いので、左側が１段低い又は右側が１段高いことを示す評価結果を音声出力発生部４３に出力する。音声出力発生部４３は、ウェハ４が挿入された左右の溝部３の高さの差に応じた音声信号を発生する。

例えば、図４の例においては、ウェハ４は左側が右側よりも１段低い溝部３に挿入されているので、例えば「左が下」というメッセージを出力させるための音声信号を発生する。音声出力発生部４３からの音声信号はスピーカ４４に与えられて音響出力される。即ち、スピーカ４４からは、図４の例では、「左が下」という音声メッセージを出力する。

同様に、オペレータが左右の同一高さの溝部３にウェハ４を挿入すると、音声出力発生部４３は、例えば、「同一高さ」という音声メッセージを出力する。

なお、音声メッセージに代えて、予め定めた音響を出力してもよいことは明らかである。例えば、ウェハ４が挿入された左右の溝部３の高さが一致した場合には、「ピー」という音響を出力し、左の溝部３の方が高い場合には高さの差に応じた数の短い「ピッ」という音響を出力し、右の溝部３の方が高い場合には高さの差に応じた数の短い「ピピッ」という音響を出力するようにしてもよい。

このように、本実施の形態においては、ウェハカセット用音声発生装置が左右の溝部の高さの差を検出して、検出結果をオペレータに音声メッセージとして供給しており、第１の実施の形態と同様の効果が得られると共に、左右のウェハの傾きの方向を容易に認識することができる。

また、ウェハの挿入位置が左右で複数段ずれている場合には、「右が２段低い」等の音声メッセージを出力させることも可能である。更に、オペレータがすべき指示を与えるようにしてもよい。例えば、ウェハの挿入位置が右側が左側に比べて２段低い場合には、「右を２段あげて」等の音声メッセージを出力させるようにしてもよい。

図７及び図８は上記各実施の形態のウェハカセットを用いて製造された電気光学装置を示している。図７は電気光学装置用基板であるＴＦＴ基板等の素子基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板側から見た平面図であり、図８は素子基板と対向基板とを貼り合わせて液晶を封入する組立工程終了後の電気光学装置である液晶装置を、図７のＨ−Ｈ'線の位置で切断して示す断面図である。

電気光学装置である液晶装置は、図７及び図８に示すように、例えば、石英基板、ガラス基板、シリコン基板を用いた素子基板１０と、これに対向配置される、例えばガラス基板や石英基板を用いた対向基板２０との間に液晶５０を封入して構成される。対向配置された素子基板１０と対向基板２０とは、シール材４１によって貼り合わされている。

素子基板１０上には画素を構成する画素電極（ＩＴＯ）９ａ等がマトリクス状に配置される。また、対向基板２０上には全面に対向電極（ＩＴＯ）２１が設けられる。素子基板１０の画素電極９ａ上には、配向処理が施された配向膜１６が設けられている。一方、対向基板２０条には第１遮光膜２３が形成され、第１遮光膜２３上には、対向電極（共通電極）２１が基板２０全面に亘って形成されている。対向電極２１上に配向処理が施された配向膜２２が積層されている。また、対向基板２０には表示領域を区画する額縁としての遮光膜４２が設けられている。遮光膜４２は例えば遮光膜２３と同一又は異なる遮光性材料によって形成されている。

液晶を封入するためのシール材４１は、遮光膜４２の外側の領域の素子基板１０と対向基板２０との間に形成される。シール材４１は対向基板２０の輪郭形状に略一致するように配置され、素子基板１０と対向基板２０を相互に固着する。シール材４１は、素子基板１０の１辺の一部において欠落しており、液晶５０を注入するための液晶注入口７８が形成される。貼り合わされた素子基板１０及び対向基板２０相互の間隙には、液晶注入口７８より液晶が注入される。液晶注入後に、液晶注入口７８を封止材７９で封止するようになっている。

素子基板１０のシール材４１の外側の領域には、データ線駆動回路６１及び実装端子６２が素子基板１０の一辺に沿って設けられており、この一辺に隣接する２辺に沿って、走査線駆動回路６３が設けられている。素子基板１０の残る一辺には、画面表示領域の両側に設けられた走査線駆動回路６３間を接続するための複数の配線６４が設けられている。また、対向基板２０のコーナー部の少なくとも１箇所においては、素子基板１０と対向基板２０との間を電気的に導通させるための導通材６５が設けられている。

上記各実施の形態に係るウェハカセットは、図７及び図８に示す素子基板１０又は対向基板２０の種々の製造工程において採用される。例えば、素子基板１０又は対向基板２０の搬送に際して、素子基板１０又は対向基板２０を上記各実施の形態のウェハカセットに挿入して、搬送するのである。上記各実施の形態のウェハカセットは、左右の対応する溝部に素子基板１０又は対向基板２０を挿入することを支援する音響を出力することができ、素子基板１０又は対向基板２０を確実に同一段に挿入することができる。

ウェハカセットを示す正面図。 図１の上方から見た上面図。 ウェハカセットを立体的に示す説明図。 センサによる検出を説明するための説明図。 ウェハカセット音声発生装置３０ａ，３０ｂの具体的な回路構成を示すブロック図。 本発明の第２の実施の形態において採用されるウェハカセット用音声発生装置を示すブロック図。 各実施の形態のウェハカセットを用いて製造された電気光学装置を示す平面図。 各実施の形態のウェハカセットを用いて製造された電気光学装置を示す断面図。

符号の説明

１…ウェハカセット、２…段部、３…溝部、４…ウェハ、５ａ，５ｂ…センサ部、６ａ，６ｂ…開口部、１１ａ，１１ｂ…側壁。

Claims (9)

1. 開口した前面を有する筐体を構成する一対の側壁と、
   前記一対の側壁に夫々複数設けられた溝部と、
   前記一対の側壁近傍に配置されて、前記溝部へのウェハの挿入を検出する一対のセンサ部とを具備したことを特徴とするウェハカセット。
2. 請求項１に記載のウェハカセットのセンサ部の出力が与えられて、前記一対の側壁のうちの一方の側壁に設けられた溝部中のウェハが挿入された溝部の位置に応じた第１の音響及び前記一対の側壁のうちの他方の側壁に設けられた溝部中のウェハが挿入された溝部の位置に応じた第２の音響を出力する音響出力手段を具備したことを特徴とするウェハカセット用音声発生装置。
3. 前記音響出力手段は、前記第１及び第２の音響として、前記溝部の位置に応じた周波数の音響を出力することを特徴とする請求項２に記載のウェハカセット用音声発生装置。
4. 前記音響出力手段は、前記第１及び第２の音響を、所定の時間差を有して出力することを特徴とする請求項２に記載のウェハカセット用音声発生装置。
5. 請求項１に記載のウェハカセットのセンサ部の出力が与えられて、前記一対の側壁のうちの一方の側壁に設けられた溝部中のウェハが挿入された溝部の第１の位置と前記一対の側壁のうちの一方の側壁に設けられた溝部中のウェハが挿入された溝部の第２の位置との差を判定する判定手段と、
   前記判定手段の判定結果に基づく音響を出力する音響出力手段とを具備したことを特徴とするウェハカセット用音声発生装置。
6. 前記音響出力手段は、前記第１及び第２の位置が一致している場合には、一致していることを示す音響を出力することを特徴とする請求項５に記載のウェハカセット用音声発生装置。
7. 前記音響出力手段は、前記第１及び第２の位置が一致していない場合には、第１及び第２の位置の差に応じた音響を出力することを特徴とする請求項５に記載のウェハカセット用音声発生装置。
8. 前記音響出力手段は、前記一致していることを示す音響並びに前記第１及び第２の位置の差に応じた音響として、音声メッセージを出力することを特徴とする請求項６又は７のいずれか一方に記載のウェハカセット用音声発生装置。
9. 電気光学装置用基板を、請求項１乃至８のいずれか１つに記載のウェハカセットの前記一対の側壁に夫々複数設けられた溝部のうちの対応する位置の溝部に挿入する工程を具備したことを特徴とする電気光学装置の製造方法。

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