JP2015097734A - 超音波デバイスおよびその製造方法並びに電子機器および超音波画像装置 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 9
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 title abstract 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 122
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 55
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 54
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 54
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 49
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 claims description 42
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 24
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 22
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 8
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 description 66
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 36
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 10
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 8
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 8
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 6
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 3
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 2
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 230000031070 response to heat Effects 0.000 description 2
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
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- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B8/00—Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
- A61B8/44—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device
- A61B8/4427—Device being portable or laptop-like
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- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B8/00—Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
- A61B8/44—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device
- A61B8/4444—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device related to the probe
- A61B8/4455—Features of the external shape of the probe, e.g. ergonomic aspects
-
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- A61B8/4483—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device characterised by features of the ultrasound transducer
- A61B8/4494—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device characterised by features of the ultrasound transducer characterised by the arrangement of the transducer elements
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0607—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
- B06B1/0622—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface
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- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/02—Mechanical acoustic impedances; Impedance matching, e.g. by horns; Acoustic resonators
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- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/18—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound
- G10K11/26—Sound-focusing or directing, e.g. scanning
- G10K11/30—Sound-focusing or directing, e.g. scanning using refraction, e.g. acoustic lenses
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- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B8/00—Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
- A61B8/44—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device
- A61B8/4411—Device being modular
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49005—Acoustic transducer
Abstract
Description
図1は本発明の一実施形態に係る電子機器の一具体例すなわち超音波診断装置(超音波画像装置)11の構成を概略的に示す。超音波診断装置11は装置端末(処理部)12と超音波プローブ(プローブ)13とを備える。装置端末12と超音波プローブ13とはケーブル14で相互に接続される。装置端末12と超音波プローブ13とはケーブル14を通じて電気信号をやりとりする。装置端末12にはディスプレイパネル(表示装置)15が組み込まれる。ディスプレイパネル15の画面は装置端末12の表面で露出する。装置端末12では、超音波プローブ13で検出された超音波に基づき画像が生成される。画像化された検出結果がディスプレイパネル15の画面に表示される。
次に超音波診断装置11の動作を簡単に説明する。超音波の送信にあたって圧電素子25にはパルス信号が供給される。パルス信号は下電極端子35、37および上電極端子34、36を通じて列ごとに素子23に供給される。個々の素子23では下電極27および上電極26の間で圧電体膜28に電界が作用する。圧電体膜28は超音波の周波数で振動する。圧電体膜28の振動は振動膜24に伝わる。こうして振動膜24は超音波振動する。その結果、対象物(例えば人体の内部)に向けて所望の超音波ビームは発せられる。
次に超音波デバイス17の製造方法を説明する。図7に示されるように、基板61が用意される。基板61は、基材62上にアレイ状に配置された複数の素子23を含む素子アレイ22を有する。基材62は前述の基体21に相当する。基材62上にマスキング材63が積層される。マスキング材63は平面視で素子アレイ22の輪郭と基材62の周縁との間に囲い形状に形成される。マスキング材63は素子アレイ22上に開口64を形成する。開口64は基材62上に素子アレイ22を囲む枠体を区画する。したがって、マスキング材63は平面視で第2導電体33の延伸方向に素子アレイ22の輪郭の両側に配置されると同時に第1導電体29の延伸方向に素子アレイ22の輪郭の両側に配置される。ここでは、マスキング材63は2層の積層構造に形成される。下層63aの厚みは音響整合層51の膜厚に一致する。下層63aと上層63bとの界面65は音響整合層51の膜厚を示すマーカーとして機能することができる。マスキング材63にはメタルマスクやフォトレジストが用いられることができる。
図12は第1変形例に係る超音波デバイス17aを概略的に示す。超音波デバイス17aでは、音響整合層71および音響レンズ72は基体21の第1辺21aおよび第2辺21bから離れた輪郭を有する。したがって、音響レンズ72の母線に直角に交差する方向に音響整合層71および音響レンズ72は基体21よりも小さく形成される。その一方で、音響レンズ72の母線に平行な方向に音響整合層71および音響レンズ72は基体21と同じ大きさに広がる。したがって、母線に平行な方向に音響整合層71および音響レンズ72は基体21上で最大限に延びる。音響レンズ72および音響整合層71の側面72b、71bは基体21の側面21cに面一に広がる。保護膜73は音響レンズ72の母線に平行に音響整合層71および音響レンズ72に並列に延びる。保護膜73は音響レンズ72および音響整合層71の側面72a、71aに固着される。保護膜73は、音響レンズ52の母線に平行に広がり基体21に直角に交差する2つの仮想平面74a、74bにそれぞれ沿った接触面73aで音響レンズ72および音響整合層71を挟む。その他の構造は前述の超音波デバイス17と同様である。
Claims (18)
- アレイ状に配置された複数の薄膜型超音波トランスデューサー素子を含む素子アレイを有する基板と、
前記素子アレイを覆う音響整合層と、
前記音響整合層の上に配置された音響レンズと、
前記音響レンズに接触し、かつ前記基板に固定されて、前記音響レンズの剛性率よりも大きい剛性率を有する構造体と、
を備えることを特徴とする超音波デバイス。 - 請求項1に記載の超音波デバイスにおいて、前記音響整合層は前記構造体に接触し、かつ前記基板に固定されることを特徴とする超音波デバイス。
- 請求項1または2に記載の超音波デバイスにおいて、前記構造体は、前記音響レンズの母線に平行に広がって前記音響レンズの側面にそれぞれ接触する2つの側面で前記音響レンズを挟むことを特徴とする超音波デバイス。
- 請求項3に記載の超音波デバイスにおいて、前記音響整合層は、前記音響レンズの側面に面一に広がる側面を有することを特徴とする超音波デバイス。
- 請求項3または4に記載の超音波デバイスにおいて、前記構造体は、前記音響レンズの母線に交差する前記音響レンズの側面にそれぞれ接触する2つの側面で前記音響レンズを挟むことを特徴とする超音波デバイス。
- 請求項5に記載の超音波デバイスにおいて、前記音響整合層は、前記母線に交差する前記音響レンズの前記側面に面一に広がる側面を有することを特徴とする超音波デバイス。
- 請求項4に記載の超音波デバイスにおいて、前記音響レンズの母線に交差する前記音響レンズの前記側面および前記音響整合層の前記側面は前記基板の側面に面一であることを特徴とする超音波デバイス。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の超音波デバイスにおいて、前記基板の厚み方向の平面視で前記音響整合層の輪郭の外側で前記基板に結合されるフレキシブルプリント配線板をさらに備え、前記構造体は前記音響整合層と前記フレキシブルプリント配線板との間で前記基板上の導電体上に配置されていることを特徴とする超音波デバイス。
- 請求項8に記載の超音波デバイスにおいて、前記構造体は前記フレキシブルプリント配線板上に配置されていることを特徴とする超音波デバイス。
- 請求項1〜9のいずれか1項に記載の超音波デバイスと、前記超音波デバイスを支持する筐体とを備えることを特徴とするプローブ。
- 請求項10に記載のプローブにおいて、前記構造体は前記筐体に固定されることを特徴とするプローブ。
- 請求項1〜9のいずれか1項に記載の超音波デバイスと、前記超音波デバイスに接続されて、前記超音波デバイスの出力を処理する処理部とを備えることを特徴とする電子機器。
- 請求項1〜9のいずれか1項に記載の超音波デバイスと、前記超音波デバイスに接続されて、前記超音波デバイスの出力を処理し、画像を生成する処理部と、前記画像を表示する表示装置とを備えることを特徴とする超音波画像装置。
- アレイ状に配置された複数の薄膜型超音波トランスデューサー素子を含む素子アレイを有する基板に、前記基板の厚み方向の平面視で前記素子アレイが配置される領域の両側にマスキング材を配置する工程と、
前記マスキング材の間で前記素子アレイ上に音響整合層および音響レンズを配置する工程と、
前記マスキング材を外して、前記音響レンズに接触し、かつ前記基板に固定されて、前記音響レンズの剛性率よりも大きい剛性率を有する構造体を形成する工程と、
を備えることを特徴とする超音波デバイスの製造方法。 - 請求項14に記載の超音波デバイスの製造方法において、
前記マスキング材を外した後に、前記領域の両側で前記領域と前記基板の縁との間にフレキシブルプリント配線板を結合する工程と、
前記音響整合層および前記フレキシブルプリント配線板の間に流動性を有する樹脂材を流し込み、当該樹脂材を硬化させて前記構造体を形成する工程と、
を備えることを特徴とする超音波デバイスの製造方法。 - 請求項14または15に記載の超音波デバイスの製造方法において、
前記音響レンズの配置にあたって前記マスキング材は両側から前記音響レンズを位置決めすることを特徴とする超音波デバイスの製造方法。 - 請求項16に記載の超音波デバイスの製造方法において、
前記マスキング材は開口を有し、前記マスキング材は開口内の前記音響レンズに対して四方から位置決めを実施することを特徴とする超音波デバイスの製造方法。 - 請求項17に記載の超音波デバイスの製造方法において、前記音響整合層の配置にあたって前記開口には流動性を有する樹脂材が流し込まれ、前記樹脂材の厚みは前記マスキング材の厚みで制御されることを特徴とする超音波デバイスの製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013240277A JP6252130B2 (ja) | 2013-11-20 | 2013-11-20 | 超音波デバイスおよびその製造方法並びに電子機器および超音波画像装置 |
US14/524,260 US20150141825A1 (en) | 2013-11-20 | 2014-10-27 | Ultrasonic device and manufacturing method thereof, electronic equipment, and ultrasonic image device |
CN201410654181.XA CN104644212A (zh) | 2013-11-20 | 2014-11-17 | 超声波器件及其制造方法、电子设备及超声波图像装置 |
EP14193632.8A EP2875783A1 (en) | 2013-11-20 | 2014-11-18 | Ultrasonic device and manufacturing method thereof, electronic equipment, and ultrasonic image device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013240277A JP6252130B2 (ja) | 2013-11-20 | 2013-11-20 | 超音波デバイスおよびその製造方法並びに電子機器および超音波画像装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015097734A true JP2015097734A (ja) | 2015-05-28 |
JP2015097734A5 JP2015097734A5 (ja) | 2016-12-08 |
JP6252130B2 JP6252130B2 (ja) | 2017-12-27 |
Family
ID=52020931
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013240277A Active JP6252130B2 (ja) | 2013-11-20 | 2013-11-20 | 超音波デバイスおよびその製造方法並びに電子機器および超音波画像装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20150141825A1 (ja) |
EP (1) | EP2875783A1 (ja) |
JP (1) | JP6252130B2 (ja) |
CN (1) | CN104644212A (ja) |
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---|---|
JP6252130B2 (ja) | 2017-12-27 |
CN104644212A (zh) | 2015-05-27 |
EP2875783A1 (en) | 2015-05-27 |
US20150141825A1 (en) | 2015-05-21 |
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