JP5381118B2 - プローブ装置 - Google Patents
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Description
検査部の載置台に配置された被検査対象の基板の電極パッドとプローブカードのプローブとを接触させて前記基板の被検査部の電気的特性を測定するプローブ装置において、
複数の基板を収納した搬送容器を載置するためのロードポートと、
このロードポートに載置された前記搬送容器と前記検査部の載置台との間で前記基板の受け渡しを行い、互いに独立して進退自在な複数の基板支持部材を有すると共に、未検査の前記基板を支持して待機しているときに空になる前記基板支持部材が1個になる基板搬送機構と、
前記ロードポートと前記検査部とを接続し、その内部を前記基板搬送機構が移動する搬送室と、
前記搬送容器から取り出した基板の向きと中心の位置合わせとを行うために、基板を保持して回転する回転ステージとこの回転ステージ上の基板の周縁を検出する周縁検出部とを有する、前記搬送室内に設けられたプリアライメント機構と、
前記搬送室内に設けられた、前記検査部の保守作業を行うための保守用基板が収納された基板収納部と、
前記搬送室内に設けられ、前記基板搬送機構から前記基板を受け取って吸着して保持する吸着機構を有する基板保持装置と、
前記検査部の載置台に基板が載置されているときに、当該検査部の保守作業の割込み処理が発せられたときに、前記基板支持部材に支持されている前記基板を前記基板保持装置に保持させると共に、前記基板支持部材により基板収納部から前記保守用基板を取り出して前記載置台の基板と交換するように、前記基板搬送機構を制御する制御部と、
を備えたことを特徴とする。
本発明の第2の実施形態に係るプローブ装置について図13ないし図16を参照して説明する。第2の実施形態のプローブ装置は、基板保持装置170の構造を除いては、第1の実施形態と同じであるため、第1の実施形態と同一部分または相当部分には、同一の符号を付して説明する。第1の実施形態では、基板保持装置70はウエハWを吸着して保持するのみであったが、本実施形態の基板保持装置170では、保持しているウエハWに対して必要に応じてプリアライメントを行うことが可能となっている。
4 ウエハチャック(載置台)
5 制御部
6 プローブカード
7 プローブ針
8 下側撮像部
9 上側撮像部
10 搬送室
11、12 ロードポート
21 検査部
24 ステージユニット
35 第1のアーム体
36 第2のアーム体
40 プリアライメント機構
50 プローブテストプログラム
51 割込み処理プログラム
60 基板収納部
61 基台
70 基板保持装
71 支持部
72 腕部
73 吸着部
74 真空吸着孔
75 凹部
168 設置部
169 平板
170 基板保持装置
171 チャック部
172 センサブリッジ
173 受光センサ
174 発光部
100 FOUP(キャリア)
W ウエハ
Wb 針研ウエハ
Claims (5)
- 検査部の載置台に配置された被検査対象の基板の電極パッドとプローブカードのプローブとを接触させて前記基板の被検査部の電気的特性を測定するプローブ装置において、
複数の基板を収納した搬送容器を載置するためのロードポートと、
このロードポートに載置された前記搬送容器と前記検査部の載置台との間で前記基板の受け渡しを行い、互いに独立して進退自在な複数の基板支持部材を有すると共に、未検査の前記基板を支持して待機しているときに空になる前記基板支持部材が1個になる基板搬送機構と、
前記ロードポートと前記検査部とを接続し、その内部を前記基板搬送機構が移動する搬送室と、
前記搬送容器から取り出した基板の向きと中心の位置合わせとを行うために、基板を保持して回転する回転ステージとこの回転ステージ上の基板の周縁を検出する周縁検出部とを有する、前記搬送室内に設けられたプリアライメント機構と、
前記搬送室内に設けられた、前記検査部の保守作業を行うための保守用基板が収納された基板収納部と、
前記搬送室内に設けられ、前記基板搬送機構から前記基板を受け取って吸着して保持する吸着機構を有する基板保持装置と、
前記検査部の載置台に基板が載置されているときに、当該検査部の保守作業の割込み処理が発せられたときに、前記基板支持部材に支持されている前記基板を前記基板保持装置に保持させると共に、前記基板支持部材により基板収納部から前記保守用基板を取り出して前記載置台の基板と交換するように、前記基板搬送機構を制御する制御部と、
を備えたことを特徴とするプローブ装置。 - 前記保守用基板は、前記プローブカードのプローブ針を研磨する専用の基板であることを特徴とする請求項1に記載のプローブ装置。
- 前記基板保持装置は、前記基板収納部の上下左右のいずれか一方の領域に隣接して設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載のプローブ装置。
- 前記検査部は、複数台設けられており、前記制御部は、第1の検査部から検査済みの前記基板を前記基板支持部材で搬出したときに、第2の検査部で前記保守作業の割り込み処理が発せられた場合、前記基板支持部材で支持している検査済みの前記基板を前記基板保持装置に保持させて、前記保守作業を行うことを特徴とする請求項1ないし3の何れか一項に記載のプローブ装置。
- 前記プリアライメント機構に加えて、前記基板保持装置に更にプリアライメント機構が設けられ、当該基板保持装置はプリアライメントのための回転ステージとして機能し、保持している前記基板のプリアライメントを行うことを特徴とする請求項4に記載のプローブ装置。
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