JP4913201B2 - 基板搬送方法 - Google Patents
基板搬送方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4913201B2 JP4913201B2 JP2009255159A JP2009255159A JP4913201B2 JP 4913201 B2 JP4913201 B2 JP 4913201B2 JP 2009255159 A JP2009255159 A JP 2009255159A JP 2009255159 A JP2009255159 A JP 2009255159A JP 4913201 B2 JP4913201 B2 JP 4913201B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- substrate
- wafer
- chamber
- inspected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
Claims (2)
- 直線上に隣接して配設された偶数台のプローブ検査室と、
前記プローブ検査室の列の前方をこの列と平行に移動し、収納容器から取出した被検査基板を前記プローブ検査室内へ搬送する搬送機構を有するローダ室とを備え、
前記プローブ検査室内に設けられた載置台に載置された被検査基板上の電極パッドと、プローブカードのプローブとを接触させて、前記被検査基板の被検査チップの電気的特性を測定するプローブ装置における基板搬送方法において、
隣接する前記プローブ検査室同士を仕切る筺体の側面と前記ローダ室側に位置する前記筺体の前面との交差部に、角を面取りするように、前記側面と前記前面とを接続する傾斜面部を配設し、かつ、
前記前面から前記傾斜面部に回り込んで開口する、屈曲又は湾曲した形状の搬入出口を設け、
前記搬送機構を移動させて、隣接する2つの前記プローブ検査室の中央正面位置に前記搬送機構を停止させ、この搬送機構により、前記搬入出口を介して2つの前記プローブ検査室に被検査基板を搬入または搬出することを特徴とする基板搬送方法。 - 前記搬入出口を開閉するシャッタ部材を設け、被検査基板の搬入、搬出時以外はシャッタ部材によって前記搬入出口を閉じることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009255159A JP4913201B2 (ja) | 2009-11-06 | 2009-11-06 | 基板搬送方法 |
CN201010532051.0A CN102116835B (zh) | 2009-11-06 | 2010-10-27 | 探测装置以及衬底运送方法 |
KR1020100105873A KR101147787B1 (ko) | 2009-11-06 | 2010-10-28 | 프로브 장치 및 기판 반송 방법 |
US12/939,323 US8726748B2 (en) | 2009-11-06 | 2010-11-04 | Probe apparatus and substrate transfer method |
TW099138043A TWI412767B (zh) | 2009-11-06 | 2010-11-05 | Probe device and substrate transfer method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009255159A JP4913201B2 (ja) | 2009-11-06 | 2009-11-06 | 基板搬送方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011100884A JP2011100884A (ja) | 2011-05-19 |
JP4913201B2 true JP4913201B2 (ja) | 2012-04-11 |
Family
ID=44191837
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009255159A Active JP4913201B2 (ja) | 2009-11-06 | 2009-11-06 | 基板搬送方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4913201B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5032170B2 (ja) * | 2007-03-23 | 2012-09-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査装置 |
JP4961894B2 (ja) * | 2006-08-25 | 2012-06-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 |
JP5120018B2 (ja) * | 2007-05-15 | 2013-01-16 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブ装置 |
JP5120017B2 (ja) * | 2007-05-15 | 2013-01-16 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブ装置 |
-
2009
- 2009-11-06 JP JP2009255159A patent/JP4913201B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011100884A (ja) | 2011-05-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI503915B (zh) | FOUP opening and closing device and probe device | |
JP5381118B2 (ja) | プローブ装置 | |
JP4767896B2 (ja) | 被検査体の搬送装置及び検査装置 | |
US7859283B2 (en) | Probe apparatus, probing method, and storage medium | |
TWI470712B (zh) | Probe device | |
JP6887332B2 (ja) | 検査システム | |
TW201615526A (zh) | 電子元件運搬裝置及電子元件測試裝置 | |
JP2017174852A (ja) | プローバ | |
KR101147787B1 (ko) | 프로브 장치 및 기판 반송 방법 | |
JP2022060452A (ja) | プローバ | |
JP2017022342A (ja) | プローブカード搬送装置、プローブカード搬送方法及びプローブ装置 | |
JP6425027B2 (ja) | プローバ及びウエハチャック温度測定方法 | |
JP4910033B2 (ja) | プローブ装置 | |
JP4949454B2 (ja) | プローブ装置 | |
JP4913201B2 (ja) | 基板搬送方法 | |
JP2016180680A (ja) | プローブカード型温度センサ | |
KR101218507B1 (ko) | 프로브 장치 | |
JP2004363455A (ja) | ウエハ検査装置 | |
KR20230156413A (ko) | 처리 장치 및 위치 결정 방법 | |
JP2021185636A (ja) | プローバおよびプリアライメント方法 | |
JP2019050389A (ja) | プローブカード型温度センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110825 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111004 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111202 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111227 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120118 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4913201 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150127 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |