TW200811022A - Apparatus and method for receiving and transferring glass substrate plates - Google Patents

Description

200811022 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明包括一種承接及轉送玻璃基板的設備，具有一 個雙重叉形抓斗及一個輸送單元，其中雙重叉形抓斗具有 兩個上下疊放在一起的單一叉形抓斗，而輸送單元的任務 則是將玻璃基板送入及送出在製程中對玻璃基板進行加工 的工作站’爲此輸送單元具有至少一個將玻璃基板送入及 送出這個工作站的輸送裝置。此外，本發明還包括一種從 接收站（例如輸送單元或存儲箱）承接玻璃基板及將玻璃 基板轉送到接收站（例如輸送單元或存儲箱）的方法。 【先前技術】 HI[面提及的玻璃基板（FPD: Flat Panel Display)是 用來製造從玻璃基板切割出的單片液晶顯示器。爲此玻璃 基板必須在一個加工製程中接受鍍膜、曝光、腐蝕等加工 作業，在這些加工過程中，玻璃基板必須被送入一個工作 站，然後再從這個工作站被送出。 經過加工的玻璃基板具有一個作業面及一個非作業面 ’液晶顯示器就是設置在這作業面上。爲了避免玻璃基板 的品質受損，在製造及輸送過程中需要承接或卸下玻璃基 板時’只能碰觸到玻璃基板的非作業面，也就是說絕對不 能碰觸到玻璃基板的作業面。因此玻璃基板被碰觸到的那 一個面必須始終是同一個面。 在製造過程中，玻璃基板會被存放到庫房（也就是所 -4- 200811022 (2) 謂的存儲箱）中及被輸送到各個工作站。在將玻璃基板存 放到存儲箱中時，必須將玻璃基板的非作業面朝下以水個 方向放置在存儲箱中。每一個存儲箱中可以放置的玻璃基 板的數量應視玻璃基板的尺寸而定，但最多不應超過5 0 片。玻璃基板是安放在存儲箱內的支桿上。 在製造過程中必須從存儲箱中將玻璃基板取出，並放 到工作站上（在加工之前），以及從工作站上將玻璃基板 取出（在加工之後）。在一般情況下是以輥式輸送機作爲 工作站上的轉送介面，在被轉送時，玻璃基板的非作業面 又可以朝下被放置在作爲轉送介面的輥式輸送機上。除了 具有運送單元的工作站外，也有些工作站是沒有運送單元 的，也就是說玻璃基板是直接被放入這些工作站。當玻璃 基板在各工作站中的加工作業完成後，必須再將玻璃基板 從各工作站中取出（通常是經由轉送介面），並送入存儲 目前業界是以提升機構來執行前面描述的將玻璃基板 從存儲箱及工作站取出及送入存儲箱及工作站的動作，這 種提升機構可能是直接位於工作站的轉送介面上，也可能 是以爲此特別設計的帶有適當的抓斗裝置的機器人作爲提 升機構。如果是使用機器人，則是以機器人身上的叉形抓 斗作爲承接（包括拿起與卸下）玻璃基板的工具。叉形抓 斗的配置方式要使叉形抓斗能夠被定位在存儲箱內的支桿 之間，及/或被定位在或運送單元的輥子之間。同時在進 行承接動作時，叉形抓斗要位於要拿起的玻璃基板的下面 -5- 200811022 (3) ’也就是只能接觸到玻璃基板的非作業面。 爲了防止玻璃基板在叉形抓斗上滑脫，叉形 會配備真空吸取器，以便將玻璃基板固定在叉形 現有技術所使用的基本操作過程如下： 1 ·將叉形抓斗移入存儲箱； 2 ·升局叉形抓斗，同時將未經加工的玻璃基板 中的支桿拿起； 3 .將未經加工的玻璃基板固定在叉形抓斗上（ 住或夾住的方式固定）； 4 ·將帶有玻璃基板的叉形抓斗移出存儲箱； 5·將玻璃基板運送到適當的工作站； 6 ·將玻璃基板定位在運送單元爆，或是直接送 j 7 ·鬆開玻璃基板，並將玻璃基板卸下（叉形抓 送單兀或工作站的_子或放置元件之間）； 8 ·加工完成後，升局叉形抓斗，同時將加工過 板拿起； 9 ·將未經加工的玻璃基板固定在叉形抓斗上（ 住或夾住的方式固定）； 1 〇.將加工過的的玻璃基板運送到存儲箱； 1 1.將帶有加工過的的玻璃基板的叉形抓斗移人: 1 2 ·將加工過的的玻璃基板定位在支桿的上方； 1 3 ·鬆開玻璃基板，並將玻璃基板卸下（叉形抓 儲箱的支桿之間）； •抓斗通常 抓斗上。 從存儲箱 例如以吸 入工作站 斗進到運 的玻璃基 例如以吸 _儲箱； 斗進到存 -6- 200811022 (4) 14·將叉形抓斗移出存儲箱，並將叉形抓斗定位在承接下 一片未經加工的玻璃基板的位置。 以現今業界使用的操作系統執行上述的操作動作每次 只能運送一片玻璃基板。這表示爲處理一片玻璃基板，機 器人必須從存儲箱移動到工作站的運送單元，然後再移回 原來的位置。 一種已知的改良方式是使用能夠同時承接兩片玻璃基 板的雙重抓斗。這種雙重抓斗被用來從存儲箱中取出一片 未經加工的玻璃基板，並在工作站承接一片加工過的玻璃 基板，而且機器人不需另外移動就可以在該處將下一片未 經加工的玻璃基板再度轉交出去。也就是說，雙重抓斗只 有在工作站的轉送介面會被利用，以便在在加工過的玻璃 基板被取出後，將已被承接的未經加工的玻璃基板放置在 輸送單元上，或是直接放入工作站。這樣就可以減少機器 人的移動，縮短作業的循環時間。 這種雙重抓斗是由兩個上下疊放在一起的抓斗所構成 ’而且這兩個抓斗通常可以經由一個導向聯動裝置在水平 方向上各自獨立移動。但是在存儲箱或工作站中提升抓斗 以承接或卸下玻璃基板的動作卻是彼此聯結在一起的，這 樣做的缺點是，兩個抓斗不能在存儲箱或工作站中同時完 成卸下及承接玻璃基板的動作，而是必須依序完成這兩個 操作動作（操作動作1 ··將第1個抓斗移入存儲箱，並卸 下一片加工過的玻璃基板；操作動作2 :將第2個抓斗移 入存儲箱，並承接一片未經加工的玻璃基板）。如果兩個 200811022 (5) 抓斗同時在存儲箱中操作，則一片被第1個抓斗在存儲箱 中卸下的加工過的玻璃基板就會在第2個抓斗在承接_ # 未經加工的玻璃基板時被再度承接。因此，雖然使用胃罕重 屬於現有技術的雙重抓斗可以經由避免非必要的運送5皮壬离 基板的動作而提高設備的生產效率，但是這種在存儲箱中 按順序完成操作動作的方式仍然和前面提及的單一抓斗一 樣需要很長的操作時間。 這種已知的雙重抓斗的另外一個缺點是，抓住上方抓 斗的機器手臂會使位於下方的玻璃基板受到污染的可能性 變大。原因是這支手臂會直接在玻璃基板的上方移動。這 是因爲機器手臂關節處的軸承摩擦可能會產生具污染性的 微粒’並可能掉落在玻璃基板的作業面上。由於玻璃基板 的處理過程對於無微粒環境的要求非常高（潔淨室），因 此這個缺點會造成很大的風險。 例如在日本專利JP 2005-23 094 1 A中有關於這種雙重 抓斗的描述。 本發明的目的是以上述的現有技術爲基礎，提出一種 能夠避免上述缺點的承接及轉送玻璃基板的設備與方法， 而且本發明的設備與方法要能夠將抓斗的移動及玻璃基板 的運送過程降到最低，以縮短作業的循環時間及提高設備 的生產效率。 【發明內容】 爲了達到上述目的，本發明提出的設備的特徵是兩個 -8 - 200811022 (6) 叉形抓斗可以在垂直於其延伸平面的方向上相對移動。此 外，爲了達到上述目的，本發明提出的方法的特徵是雙重 叉开抓斗的兩個上下疊放在一起並能夠在垂直於其延伸平 面的方向上相對移動的叉形抓斗可以同時移入至少具有兩 個卸料平面的接收站’並經由叉形抓斗在垂直於其延伸平 面的方向上的相對移動將一片玻璃基板轉送到接收站，並 將另外一片玻璃基板從接收站取出。 此外，爲了達到上述目的，本發明提出的設備在工作 敦上還具有一個輸送單元’這個輸送單元的特徵是具有兩 個上下垂直疊放在一起並能夠在垂直方向上移動的輸送裝 置° 本發明是將已知的雙重叉形抓斗的構造及運動方式修 改成卓一'又形抓斗不只hS夠各自移入其延伸平面及從其延 伸平面移出’而且可以在垂直於其延伸平面或是在其最短 的連接線的方向上彼此相對移動，也就是說可以彼此相互 移近或移遠，而且可以被應用在從接收站（例如輸送單元 )承接玻璃基板及將玻璃基板轉送到工作站或存儲箱的方 法中。 本發明的兩個叉形抓斗的可以移入存儲箱及經過適當 的改造後也可以移入輸送單及及工作站，並能夠同時執行 卸下及承接加工過的玻璃基板及未經加工的玻瑙基板的動 作。經由這種同時在存儲箱及工作站執行動作的方式，可 以大幅提升設備的生產效率。也就是說本發明的設備及方 法可以同時執行承接及轉送玻璃基板的動作。 -9 - 200811022 (7) 依據本發明的設備的一種有利的實施方式，兩個叉形 抓斗可以經由一個共同的傳動裝置及一個耦合機構或聯動 裝置被移動，或是兩個叉形抓斗各自被一個屬其所有的傳 動裝置移動。 另外一種可行的方式是，一個叉形抓斗可以對另外一 個叉形抓斗及一個承載這兩個叉形抓斗的基架作相對移動 ’同時這個基架的構造使其可以對相對於其移動的叉形抓 斗在反方向上作出一個平衡移動。 本發明的設備的一種特別有利的實施方式是具有一個 配備雙重叉形抓斗的機器人。 玻璃基板最好是被固定在叉形抓斗上，固定方式可分 爲以非閉合方式固定，例如以真空吸取器固定，或是以剛 性方式固定，例如以抓住玻璃基板邊緣的固定元件固定。 如果輸送單元具有輸送裝置，則這個輸送裝置最好是 一種輕式輸送機。此外，本發明還提出一種由本發明的承 接及轉送玻璃基板的設備及本的一個工作站構成的系統。 本發明提出的方法原則上可以同時將兩個叉形抓斗移 入接收站’並首先卸下一片被輸入的玻璃基板，然後再承 接一片要承接的玻璃基板，或是首先承接一片要承接的玻 璃基板’然後再卸下一片被輸入的玻璃基板，在此過程中 這兩個叉形抓斗最好是同時朝對方移動。 依據本發明的另外一種有利的實施方式，玻璃基板是 以非閉合的方式被固定在叉形抓斗，例如以吸力固定，及 /或ί皮璃基板是以剛性方式被固定在叉形抓斗，例如以抓 -10- 200811022 (8) 住玻璃基板邊緣的夾緊爪固定° 【實施方式】 第1圖顯不一個對玻璃基板（2 ’ 2 a )逐片進行力口工 的工作站（1)。第1圖中的本發明的〜個輸送單元（3) 的任務將玻璃基板（2，2a )送入及/或送出工作站（i ) ，在下面的說明中將有關於輸送單元（3 )的進_ $ §兌曰月 。一個由機器人（4 )控制的雙重叉形抓斗〇 }會從_ _ 顯示於第6、7a、7b圖中的存儲箱（13)將玻璃基板（2 ，2a)取出並送到輸送單元（3 )，讓玻璃義板（2，2a) 在工作站（1 )內被加工，然後再從輸送單元（3 )將加工 過的玻璃基板（2，2a)送回存儲箱（13 )。 第1圖顯示的由機器人（4 )控制的雙重叉形抓斗（5 )的移動階段可以被理解爲：雙重叉形抓斗（5 )先將$ 經加工的玻璃基板（2a )送入輸送單元（3 ),然後將之 前已在工作站（1 )中被加工過的玻璃基板（2 )取出並轉 送出去。（也可以用另外一種方式來理解第1圖顯示的雙 重叉形抓斗（5 )的移動階段：雙重叉形抓斗（5 )在將未 經加工的玻璃基板（2 )卸放到輸送單元（3 )後，接著將 之前已在工作站（1 )中被加工過的玻璃基板（2a )拿起 並送出出輸送單元（3)，不過以下的所有說明都是從第 一種理解方式出發）。 依據第2圖及第3a至3d圖，本發明的雙重叉形抓斗 (5)具有一個基架（6)。基架（6)上承載兩個上下疊 -11 - 200811022 (9) 放在一起並可以彼此相對移近或移遠的單一叉形抓斗（7 ’ 7a )。叉形抓斗（7，7a )具有若干彼此間隔一定距離 的叉尖（7.1 )，叉尖（7.1 )所在的叉形抓斗（7，7a)的 一個平面是由叉尖（7.1)決定。因此叉形抓斗（7，7a) 在其所定義的平面上可以在重直方向上彼此相對移動。基 架（6 )上設有供叉形抓斗（7，7a )移動用的導軌（8 ) 。叉形抓斗（7，7a )是受到傳動裝置（9 )的推動而移動 。傳動裝置（9)可以是一種電動式、氣動式、或是液壓 式的傳動裝置。爲了對由叉形抓斗（7，7a )張拉成的平 面進行垂直相對移動，兩個叉形抓斗（7，7a )對基架（6 )都可以作相對移動，或是只有~個叉形抓斗可以對另外 一個叉形抓斗及基架（6 )作相對移動，在這種情況下， 經由一片凸緣板將雙重叉形抓斗（5 )固定住的機器人會 作出一個平衡移動。兩個叉形抓斗（7，7a)對基架（6) 進行的相對移動時可以是由一個分離式的傳動裝置（9 ) 推動，或是由一個傳動經置及一個適當的耦合機構或聯動 裝置所推動。 爲了將玻璃基板精確疋fii及固定住，叉形抓斗（7， 7a)的叉尖（7.1 )上帶有吸力元件（7· 2 )，例如真空罩 之類能夠能產生負壓的裝置。 第4圖及第5a至5c圖顯示以一個輸入裝置（3)作 爲玻璃基板（2 )在一個工作站（1 )上的接收站。輸送裝 置（3)具有兩個上下垂直疊放在一起輸送裝置（12，i2a )。在這個實施例中，輸送裝置（12，12a)是一種輥式 -12- 200811022 (10) 輸送機。輥式輸送機（1 2，1 2a )可以在垂直方向上移動 ，也就是也就是可以在垂直於輥式輸送機（1 2 ’ 1 2a )定 義的平面的方向上移動，也就是位於上方的輥式輸送機（ 1 2 )是從一個對工作站（1 )中間的輸入位置向上移入一 個轉送站，位於下方的輥式輸送機（1 2a )則是從前面提 及的對工作站（1 )中間的輸入位置向下移動。輸送裝置 (12，12a)的垂直提升移動是由一未在圖式中繪出的傳 動機負責推動。第6圖及第7a至7圖顯示在以本發明的 雙重叉形抓斗（5 )從存儲箱（1 3 )中將未經加工的玻璃 基板取出，並在加工過後將同一片玻璃基板再度放回存儲 箱（1 3 )的過程中所使用的存儲箱（1 3 )。 如果輸送裝置（1 2a )位於中間輸入位置，則對未經 加工的玻璃基板（2a )進行的加工步驟如下： 將加工過的玻璃基板（2 a )從工作站（1 )轉送到輸 送裝置（12a)上。輸送裝置（12，12a)同時向下移動。 輸送裝置（1 2 )到達中間輸入位置。雙重叉形抓斗（5 ) 移入輸送單元（3 )。同時一片未經加工的玻璃基板（2 a )被卸放在輸送裝置（12 )上，並從輸送裝置（12a )承 接加工過的玻璃基板（2a )。未經加工的玻璃基板（2a ) 從輸送裝置（12 )被轉送到工作站（1 )。雙重叉形抓斗 (5 )將加工過的玻璃基板（2a )移出輸送單元（3 )，並 轉送到存儲箱中。 堆疊式存儲箱（1 3 )具有許多根沿水平方向排列且上 下相疊的支桿（1 4 )，並在這些支桿（1 4 )之間形成玻璃 -13- 200811022 (11) 基板（2 )的接收平面及卸放平面。從第7a圖可以看出， 將玻璃基板（2’ 2a)取出及放入存儲箱（I〗）的作業原 則上都是經由存儲箱（1 3 )的正面進行。只要存儲箱具有 適當的構造方式，就可以經由如第7b圖顯示的存儲箱的 一個面進行玻璃基板的轉送作業。在這種情況下，玻璃基 板是從寬邊被拿起，而且如第8圖所示也是從這個邊被拿 起並轉送到輸送單元（3)或是從輸送單元（3)被取出。 從玻璃基板（2 )的寬邊將玻璃基板（2 )拿起的好處是可 以縮短轉迭及取出玻璃基板的移動距離，達到進一^步縮短 作業的循環時間。 本發明的方法的作業過程如下： 在以雙重叉形抓斗（例如雙重叉形抓斗中位於下方的 叉形抓斗（7a ))取出未經加工的玻璃基板（2a )，並以 真空罩（7.2)將玻璃基板（2a)固定在叉形抓斗（7a)上 後，機器人（4 )會以雙重叉形抓斗（5 )將玻璃基板（2a )運送到輸送單元（3 )，並將玻璃基板（2 a )送到輸送 單元（3)中位於上方的輸送裝置（12)及位於下方的輸 达I置（1 2 a )之間的位置，也就是送到如第1圖所示的 在位於下方的輸送裝置（1 2 a )上方的位置。此時兩個叉 形抓斗（7 ’ 7a )會移動到彼此靠得很近的位置（但是位 於上方的叉形抓斗（7 )並不會碰觸到玻璃基板（2 a )) ，以便使位於上方的叉形抓斗（7 )也會移入輸送單元（3 )’而且能夠進到位於輸送單元（3 )內已經加工過的玻 璃基板（2)的下方。在雙重叉形抓斗（5)整個移入輸送 ，14- 200811022 (12) 單兀（3 )後，位於下方的叉形抓斗（7 a )會下沉，直到 將被輸入的玻璃基板（2a)安放在輸送裝置（i2a)之上 爲止。重要的是，這個移動作業是可以同時進行的。如前 面所述，位於下方的叉形抓斗的下沉動作及位於上方的叉 形抓斗的提升動作可以是在雙重叉形抓斗的基架及機器人 均處於靜止狀態下所發生的動作，但也可以是在叉形抓斗 (7 ’ 7 a )中的一個叉形抓斗有移動及機器人經由雙重叉 开夕抓斗（5 )的基架（6 )有進行一個平衡移動的情況下發 生的動作。 然後機益人（4 )會以雙重叉形抓斗（5 )將玻璃基板 (2)從輸送單兀（3)取出’並移到堆疊式存儲箱（13) 。然後機器人（4 )會將玻璃基板（2 )移入堆疊式存儲箱 (13)，此時叉形抓斗（7 ’ 7 a )會停留在互相分開的位 置’這樣位於上方的叉形抓斗（7 )在移入堆疊式存儲箱 (1 3 )時，會將玻璃基板（2 )輸送到將接收玻璃基板（2 )的支桿（14 )上方，同時位於下方的叉形抓斗（7 a )在 移入堆疊式存儲箱（1 3 )時會從位於玻璃基板（2 )所在 平面下方的平面上的另外一片玻璃基板（2a )的下方通過 ，而且不會發生碰觸。在叉形抓斗（7，7a)整個移入堆 疊式存儲箱（1 3 )後，玻璃基板（2 )會因爲位於上方的 叉形抓斗（7 )下沉而被卸放在相對應的支桿（i 4 )上， 一片位於玻璃基板（2 )下方的未經加工的玻璃基板（2 a )則會因爲位於下方的叉形抓斗（7 )上升而被拿起，這 樣雙重叉形抓斗（5 )就會帶著玻璃基板（2 a )再度移出 -15- 200811022 (13) 堆疊式存儲箱（1 3 )，並將玻璃基板（2a )運送到輸送單 元（3 )，以便在輸送單元（3 )將然玻璃基板（2a )卸下 ，並按照前面說明的方式承接一片加工過的玻璃基板（2 【圖式簡單說明】 本發明的其他優點及特徵均記載於申請專利範圍的項 目中，並在以下的說明中配合圖式對本發明的內容及有利 的實施方式做進一步的說明。 第1圖：工作站、輸送單元、以及一個由機器人移動 的雙重叉形抓斗的立體透視全圖。 第2圖：本發明的一個雙重叉形抓斗的立體透視圖。 第3 a至3 c圖··本發明的一個雙重叉形抓斗的側視圖 、上視圖、以及正視圖。 第3 d圖：第3 a圖的A區城的放大圖。 第4圖：本發明的一個設置在工作站上的輸送單元的 立體透視圖。 第5a至5c圖：本發明的一個設置在工作站上的輸送 單元的側視圖、正視圖、以及上視圖。 第6圖：一個可以在本發明中用來存放玻璃基板用的 堆疊式存儲箱的立體透視圖。 第7a至7c圖：一個可以在本發明中用來存放玻璃基 板的堆疊式存儲箱的前視圖、側視圖、以及第6a圖的B 區域的放大圖。 -16- 200811022 (14) 第8圖：一個雙重叉形抓斗從側面向一個工作站的輸 送單元移動。 【主要元件符號說明】 1 :工作站 2，2a :玻璃基板 3 :輸送單元 4 :機器人 5 :雙重叉形抓斗 6 :基架 7，7a :叉形抓斗 7.1 :叉尖 7.2 :吸力元件 8 :導軌 9 :傳動裝置 1 1 :凸緣板 1 2，1 2a :輸送裝置 1 3 :存儲箱 1 4 :支桿 1 5 :存儲箱（1 3 )的正面 -17-

Claims (1)

1. 200811022 (1) 十、申請專利範圍 1 · 一種承接及轉送玻璃基板的設備，具有一個帶有 兩個上下疊放在一起的單一叉形抓斗的雙重抓斗，這種設 備的特徵爲：叉形抓斗（7，7a)可以在垂直於其延伸平 面的方向上彼此相對移動。 2.如申請專利範圍第1項的設備，其中該叉形抓斗 (7 ’ 7 a )可以對一個將其承載住的基架（6 )作相對移動 〇 3 ·如申請專利範圍第1項或第2項的設備，其中該 叉形抓斗（7，7a )經由一個共同的傳動裝置及一個耦合 機構或聯動裝置被移動。 4·如申請專利範圍第1項或第2項的設備，其中該 叉开抓斗（7’ 7a)各自被一個屬其所有的傳動裝置（9) 移動。 5 ·如申請專利範圍第1項的設備，其中一個叉形抓 斗（7 ; 7a)可以對另外一個叉形抓斗（7a ; 7 )及一個承 載這兩個叉形抓斗的基架（6 )作相對移動，同時基架（6 )的構造使其可以對相對於其移動的叉形抓斗（7 ; 7a ) 在反方向上作出一個平衡移動。 6.如前述申請專利範圍中任一項的設備，其具有一 個配備雙重叉形抓斗（5 )的機器人。 7 ·如前述申請專利範圍中任一項的設備，其中該叉 形抓斗（7，7 a )具有固定玻璃基板（2 )用的固定元件， 例如真空罩。 -18- 200811022 (2) 8 · —種將玻璃基板送入及送出在製程中對玻璃基板 進行加工的工作站的輸送單元，具有至少一個將玻璃基板 送入及送出這個工作站的輸送裝置，這種輸送單元的特徵 爲：具有兩個上下垂直疊放在一起並能夠在垂直方向上移 動的輸送裝置（12，12a)。 9·如申請專利範圍第8項的輸送單元，其中該輸送 裝置（12，12a)是一種輥式輸送機。 10· —種將玻璃基板送入及送出工作站的系統，其特 徵爲：其係由如申請專利範圍第1項至第7項中任一項的 設備及如申請第圍第8項或第9項的輸送單元所構成。 11. 一種從接收站（例如轉送站或存儲箱）承接玻璃 基板及將玻璃基板轉送到接收站（例如轉送站或存儲箱） 的方法，這種方法的特徵爲：雙重叉形抓斗（5 )的兩個 上下疊放在一起並能夠在垂直於其延伸平面的方向上相對 移動的叉形抓斗可以同時移入至少具有兩個卸料平面的接 收站’並經由叉形抓斗在垂直於其延伸平面的方向上的相 對移動將一片玻璃基板轉送到接收站，並將另外一片玻璃 基板從接收站取出。 1 2 ·如申請專利範圍第1 1項的方法，其更包含同時 將一片玻璃基板在接收站中卸下，以及將另外一片玻璃基 板從接收站取出。 1 3 ·如申請專利範圍第i〗項的方法，其更包含：同 日寸將兩個叉形抓斗移入接收站，並首先卸下一片被輸入的 玻璃基板，然後再承接一片要承接的玻璃基板，或是首先 -19- 200811022 (3) 承接-片要承接的玻璃基板，然後再卸下—片被輸入的玻 璃基板。 14·如申請專利範圍第U項至第13項中任一項的方 法’其中該玻璃基板被固定在該叉形抓斗上。 15·如申請專利範圍第14項的方法，其中該玻璃基 板是以非閉合的方式被固定在該叉形抓斗上。 16·如申請專利範圍第15項的方法，其中該玻璃基 板受吸力作用被固定在該叉形抓斗上。 1 7 ·如申請專利範圍第丨5項的方法，其中該玻璃基 板是以其邊緣被叉形抓斗的夾緊爪抓住的方式固定在叉形 抓斗上。 -20-