TWM466352U - 基板傳送裝置 - Google Patents
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Description
本創作係有關一種基板傳送裝置，尤指一種可快速傳送基板，具有提高產能功效之基板傳送裝置。
按，在各種加工作業的流程中，加工物件的運送是最重要也最繁瑣的步驟，利用輸送帶或機械手臂等，將加工物件移送至各個加工作業區中，進行不同的加工作業，以將加工物件製造為成品後，完成加工作業的流程。
一般運送裝置中，包括有至少一滑軌以及一機械手臂。該機械手臂係設置於一滑軌上，且具有X與Y方向之自由度。其中該機械手臂可自一上游設備擷取一基板，並將其傳送至一加工設備之工作區進行加工，待加工後，再由機械手臂將其載出，並送至下游設備進行下一階段之製程，最後，再由該機械手臂至上游設備取一新基板載入工作區，進行加工。
如前述之運作模式，可以了解在該機械手臂將完成加工之基板載出時，新基板必須在工作區等待，如此一來，在更換過程的等待時間就造成了時間上的浪費，進而影響產量。
有鑑於此，本創作係在提供一種基板傳送裝置，尤指一種可快速傳送基板，具有提高產能功效之基板傳送裝置，為其主要目的者。
為達上揭目的，本創作之基板傳送裝置至少包含
有：入料區、出料區、加工區、第一軌道、第二軌道、第一搬動模組以及第二搬動模組，該加工區係位於該入料區及出料區之間，該第一軌道係位於該入料區及該加工區上方，且橫跨於該入料區及該加工區之間，該第二軌道係位於該出料區及該加工區上方，且橫跨於該出料區及該加工區之間，該第一搬動模組係裝設於該第一軌道處，用以將位於入料區之基板傳送至該加工區，該第二搬動模組係裝設於該第二軌道處，用以將位於加工區之基板傳送至該出料區，以達到快速傳送具有提高產能之功效。
為達上述目的，所述第一搬動模組設有抓取件、上/下驅動件以及橫向驅動件，該上/下驅動件與該抓取件連接，可控制該抓取件上下移動，而該橫向驅動件與該抓取件連接，可控制該抓取件沿該第一軌道形成橫向移動。
為達上述目的，所述第二搬動模組設有抓取件、上/下驅動件以及橫向驅動件，該上/下驅動件與該抓取件連接，可控制該抓取件上下移動，而該橫向驅動件與該抓取件連接，可控制該抓取件沿該第二軌道形成橫向移動。
上述之抓取件具有一基座以及位於該基座一側之複數吸嘴。
為達上述目的，所述上/下驅動件具有一動力件以及與該動力件連接之伸縮桿，該伸縮桿係與該抓取件之基座連接。
1‧‧‧基板傳送裝置
10‧‧‧入料區
20‧‧‧出料區
30‧‧‧加工區
40‧‧‧第一軌道
50‧‧‧第二軌道
60‧‧‧第一搬動模組
61‧‧‧抓取件
611‧‧‧基座
612‧‧‧吸嘴
62‧‧‧上/下驅動件
621‧‧‧動力件
622‧‧‧伸縮桿
63‧‧‧橫向驅動件
70‧‧‧第二搬動模組
71‧‧‧抓取件
711‧‧‧基座
712‧‧‧吸嘴
72‧‧‧上/下驅動件
721‧‧‧動力件
722‧‧‧伸縮桿
73‧‧‧橫向驅動件
80‧‧‧基板
第一圖係為本創作中基板傳送裝置之結構示意圖。
第二圖係為本創作中第一搬動模組之動作示意圖。
第三圖係為本創作中第一、第二搬動模組同時橫向移動之動作示意圖。
第四圖係為本創作中第一、第二搬動模組同時上下移動之動作示意圖。
第五圖係為本創作中第一、第二搬動模組同時橫向移動之另一動作示意圖。
本創作之特點，可參閱本案圖式及實施例之詳細說明而獲得清楚地瞭解。
如第一圖為本創作基板傳送裝置之結構示意圖所示，本創作之基板傳送裝置1至少包含有：入料區10、出料區20、加工區30、第一軌道40、第二軌道50、第一搬動模組60以及第二搬動模組70。
如圖所示之實施例中，該加工區30係位於該入料區10及出料區20之間；該第一軌道40係位於該入料區10及該加工區30上方，且橫跨於該入料區10及該加工區30之間；該第二軌道50係位於該出料區20及該加工區30上方，且橫跨於該出料區20及該加工區30之間。
該第一搬動模組60係裝設於該第一軌道40處，該第二搬動模組70則裝設於該第二軌道50處，其中，該第一搬動模組60設有抓取件61、上/下驅動件62以及橫向驅動件63，該抓取件61具有一基座611以及位於該基座611一側之複數吸嘴612，該上/下驅動件62與該抓取件61連接，該上/下驅動件62具有一動力件621以及與該動力件621連接之伸縮桿622，該伸縮桿622係與該抓取件之基座611連接，可控制該抓取件61上下移動，而該橫向驅動件63與該抓取件61連接，可控制該抓取件61沿該第一軌道40形成橫向移動。
而該第二搬動模組70與該第一搬動模組60之結構
大致相同，同樣設有抓取件71、上/下驅動件72以及橫向驅動件73，該抓取件71具有一基座711以及位於該基座711一側之複數吸嘴712，該上/下驅動件72與該抓取件71連接，該上/下驅動件72具有一動力件721以及與該動力件721連接之伸縮桿722，該伸縮桿722係與該抓取件之基座711連接，可控制該抓取件71上下移動，而該橫向驅動件73與該抓取件71連接，可控制該抓取件71沿該第二軌道50形成橫向移動。
整體使用時，如第一圖所示，於該入料區10放置有複數重疊排列之基板80，先由該第一搬動模組60將位於入料區10之基板傳送至該加工區30，先藉由該上/下驅動件62使該抓取件61往下移動，令該抓取件61之吸嘴612吸取該基板80，再利用該上/下驅動件62使該抓取件61往上移動，並藉由該橫向驅動件63作動，使該抓取件61連同基板80橫向移動至該加工區30之上，如第二圖所示，再由該上/下驅動件62使該抓取件61往下移動，讓該基板80放置於該加工區30，以進行加作業。如第三圖所示，此時，該抓取件61則回復至該入料區10之上，而該第二搬動模組70之抓取件71並同時移動至該加工區30上方待命；當然，亦可於該第一搬動模組60之抓取件61以及第二搬動模組70之抓取件71可於加工區30之上形成交錯，進一步縮短交換基板80之時間。
待位於加工區之基板80完成加工後，則由該第二搬動模組70以將位於加工區之基板80傳送至該出料區20，藉由加工區30上方之上/下驅動件72作動，使該抓取件71往下移動吸取該基板80，如第四圖所示，再利用該上/下驅動件72使該抓取件71往上移動，並藉由該橫向驅動件73作動，如第五圖所示，使該抓取件71連同基板80橫向移動至該出料區20之上，再由該基板
80放置於該加工區30。於該抓取件71連同基板80橫向移動至該出料區20上方之同時，該第一搬動模組60將位於入料區10之基板傳送至該加工區30。
故當在第二搬動模組由加工區將基板移出之同時，第一搬動模組便馬上將下一基板傳送至加工區進行加工，如此一來，即可提高加工區之效率。
綜上所述，本創作提供一較佳可行之基板傳送裝置，爰依法提呈新型專利之申請；本創作之技術內容及技術特點巳揭示如上，然而熟悉本項技術之人士仍可能基於本創作之揭示而作各種不背離本案創作精神之替換及修飾。因此，本創作之保護範圍應不限於實施例所揭示者，而應包括各種不背離本創作之替換及修飾，並為以下之申請專利範圍所涵蓋。
1‧‧‧基板傳送裝置
10‧‧‧入料區
20‧‧‧出料區
30‧‧‧加工區
40‧‧‧第一軌道
50‧‧‧第二軌道
60‧‧‧第一搬動模組
61‧‧‧抓取件
611‧‧‧基座
612‧‧‧吸嘴
62‧‧‧上/下驅動件
621‧‧‧動力件
622‧‧‧伸縮桿
63‧‧‧橫向驅動件
70‧‧‧第二搬動模組
71‧‧‧抓取件
711‧‧‧基座
712‧‧‧吸嘴
72‧‧‧上/下驅動件
721‧‧‧動力件
722‧‧‧伸縮桿
73‧‧‧橫向驅動件
80‧‧‧基板
Claims (5)
- 一種基板傳送裝置，其至少包含有：入料區；出料區；加工區，係位於該入料區及出料區之間；第一軌道，係位於該入料區及該加工區上方，且橫跨於該入料區及該加工區之間；第二軌道，係位於該出料區及該加工區上方，且橫跨於該出料區及該加工區之間；第一搬動模組，係裝設於該第一軌道處，用以將位於入料區之基板傳送至該加工區；以及第二搬動模組，係裝設於該第二軌道處，用以將位於加工區之基板傳送至該出料區。
- 如請求項1所述之基板傳送裝置，其中，該第一搬動模組設有抓取件、上/下驅動件以及橫向驅動件，該上/下驅動件與該抓取件連接，可控制該抓取件上下移動，而該橫向驅動件與該抓取件連接，可控制該抓取件沿該第一軌道形成橫向移動。
- 如請求項1或2所述之基板傳送裝置，其中，該第二搬動模組設有抓取件、上/下驅動件以及橫向驅動件，該上/下驅動件與該抓取件連接，可控制該抓取件上下移動，而該橫向驅動件與該抓取件連接，可控制該抓取件沿該第二軌道形成橫向移動。
- 如請求項3所述之基板傳送裝置，其中，該抓取件具有一基座以及位於該基座一側之複數吸嘴。
- 如請求項3所述之基板傳送裝置，其中，該上/下驅動件具有一動力件以及與該動力件連接之伸縮桿，該伸縮桿係與該抓取件之基座連接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW102213097U TWM466352U (zh) | 2013-07-11 | 2013-07-11 | 基板傳送裝置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW102213097U TWM466352U (zh) | 2013-07-11 | 2013-07-11 | 基板傳送裝置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TWM466352U true TWM466352U (zh) | 2013-11-21 |
Family
ID=49993174
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW102213097U TWM466352U (zh) | 2013-07-11 | 2013-07-11 | 基板傳送裝置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| TW (1) | TWM466352U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI667554B (zh) * | 2017-02-28 | 2019-08-01 | 大陸商上海微電子裝備（集團）股份有限公司 | Substrate transfer device and method |
-
2013
- 2013-07-11 TW TW102213097U patent/TWM466352U/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI667554B (zh) * | 2017-02-28 | 2019-08-01 | 大陸商上海微電子裝備（集團）股份有限公司 | Substrate transfer device and method |
| US10529610B2 (en) | 2017-02-28 | 2020-01-07 | Shanghai Micro Electronics Equipment (Group) Co., Ltd. | Apparatus and method for transferring a substrate |
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