KR20200136323A - 물품 반송체 - Google Patents

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KR20200136323A
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히로시 사카타
히로시 오쓰카
도모타카 기누가와
히로아키 아사쿠라
게이스케 나카쿠보
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Abstract

물품 반송체는, 주행체에 연결된 제1 부재와, 유지부에 연결된 제2 부재와, 제1 부재와 제2 부재와의 대향 방향으로 교차하는 면을 교차면으로 하여, 교차면을 따른 방향의 제1 부재와 제2 부재와의 상대 이동을 안내하는 안내 장치와, 제1 부재와 제2 부재와의 상대 위치를 기준 위치로 복귀시키는 복귀 장치를 구비한다. 자석 유닛 및 도전체가, 제1 대향부와 제2 대향부가 대향하는 영역에 있어서 자석 유닛과 도전체가 대향하도록 설치되고, 물품 반송체는, 제1 부재와 제2 부재와의 상대 이동에 따라 자석 유닛과 도전체가 상대 이동하도록 구성되어 있다.

Description

물품 반송체{ARTICLE TRANSPORT BODY}
본 발명은, 주행체와, 물품을 유지하는 유지부(holding portion)를 구비한 물품 반송체에 관한 것이다.
상기와 같은 물품 반송체의 일례가, 일본 공개특허 제2016-94263호 공보(특허문헌 1)에 개시되어 있다. 이하, 배경 기술의 설명에 있어서 괄호 내에 나타내는 부호는 특허문헌 1의 것이다. 특허문헌 1에는, 주행 이동부(16)와, 반송물(搬送物)(6)을 지지하는 반송물 지지부(32)와, 주행 이동부(16)에 대하여 반송물 지지부(32)를 지지하는 지지 기구(機構)(23)를 구비한 천정 반송차(overhead transport vehicle)(1)가 개시되어 있다. 지지 기구(23)는, 승강 조작 기구(24)를 통해 주행 이동부(16)에 지지된 승강체(31)와, 반송물 지지부(32)를 지지하는 안내 지지부(35)를 구비하고 있다. 그리고, 이 천정 반송차(1)에서는, 승강체(31)와 안내 지지부(35)와의 사이에 탄성 변형 가능한 완충체(36)를 설치함으로써, 반송물 지지부(32)에 지지된 반송물(6)에 대한 주행 이동부(16) 측으로부터의 진동의 전달을 억제하고 있다.
일본 공개특허 제2016-94263호 공보
상기한 바와 같이, 특허문헌 1에 기재된 구성에서는, 주행체에 연결된 제1 부재(특허문헌 1에서는 승강체)와, 유지부에 연결된 제2 부재(특허문헌 1에서는 안내 지지부)와의 사이에, 완충체를 설치함으로써, 이들 2개의 부재의 사이에서의 진동의 전달을 억제하여, 유지부에 유지된 물품으로의 주행체 측으로부터의 진동의 전달을 억제하고 있다. 이와 같은 구성에서는, 제1 부재와 제2 부재와의 상대(相對) 이동에 따라 완충체가 변형되므로, 특허문헌 1의 단락 [0013]에 기재되어 있는 바와 같이, 완충체의 교환 등의 완충체에 대한 유지보수 작업이 필요해진다. 물품 반송체가 사용되는 설비의 러닝 비용(running cost)의 저감의 관점에서, 유지보수 작업의 빈도는 적게 억제되는 것이 바람직하다.
따라서, 유지부에 유지된 물품으로의 주행체 측으로부터의 진동의 전달을 억제하기 위한 구조를, 유지보수의 필요성이 낮은 구조로 할 수 있는 기술의 실현이 요구된다.
본 개시에 관한 물품 반송체는, 주행체와, 물품을 유지하는 유지부와, 상기 주행체에 연결된 제1 부재와, 상기 유지부에 연결되고, 상기 제1 부재와 대향하도록 배치된 제2 부재와, 상기 제1 부재와 상기 제2 부재와의 대향 방향으로 교차하는 면을 교차면으로 하여, 상기 교차면을 따른 방향의 상기 제1 부재와 상기 제2 부재와의 상대 이동을 안내하는 안내 장치와, 상기 제1 부재와 상기 제2 부재와의 상대 위치를 기준 위치로 복귀시키는 복귀 장치를 구비하고, 상기 제1 부재에서의 상기 제2 부재와의 대향부를 제1 대향부로 하여, 상기 제2 부재에서의 상기 제1 부재와의 대향부를 제2 대향부로 하고, 자석 유닛 및 도전체가, 상기 제1 대향부와 상기 제2 대향부가 대향하는 영역에 있어서 상기 자석 유닛과 상기 도전체가 대향하도록 설치되고, 상기 제1 부재와 상기 제2 부재와의 상대 이동에 따라 상기 자석 유닛과 상기 도전체가 상대 이동하도록 구성되어 있다.
이 구성에 의하면, 물품 반송체가, 제1 부재와 제2 부재와의 상대 이동에 따라 자석 유닛과 도전체가 상대 이동하도록 구성되므로, 제1 부재와 제2 부재가 상대 이동한 경우에는, 도전체에 발생하는 와전류(渦電流)와 자석 유닛에 의한 자계와의 상호 작용에 의해, 제1 부재와 제2 부재와의 상대 이동을 방해하는 제동력을 발생시킬 수 있다. 즉, 자석 유닛과 도전체를 사용하여 자기(磁氣) 댐퍼를 구성할 수 있다. 따라서, 복귀 장치의 작용에 의해 제1 부재와 제2 부재와의 상대 위치를 기준 위치로 복귀시키면서, 자기 댐퍼의 작용에 의해, 제1 부재와 제2 부재와의 사이에서의 진동의 전달을 억제하여, 유지부에 유지된 물품으로의 주행체 측으로부터의 진동의 전달을 억제할 수 있다. 그리고, 상기한 제동력은, 자석 유닛과 도전체를 접촉시키지 않고 발생시킬 수 있으므로, 자석 유닛이나 도전체의 유지보수의 필요성을 낮게 억제할 수 있다.
이상과 같이, 상기한 구성에 의하면, 유지부에 유지된 물품으로의 주행체 측으로부터의 진동의 전달을 억제하기 위한 구조를, 유지보수의 필요성이 낮은 구조로 하는 것이 가능하도록 되어 있다.
물품 반송체의 다른 특징과 장점은, 도면을 참조하여 설명하는 실시형태에 대한 이하의 기재로부터 명확해진다.
도 1은 제1 실시형태에 관한 물품 반송체의 측면도
도 2는 제1 실시형태에 관한 지지부의 종단 정면도
도 3는 제1 실시형태에 관한 지지부의 횡단 평면도
도 4는 제2 실시형태에 관한 물품 반송체의 종단 정면도
도 5는 제2 실시형태에 관한 지지부의 횡단 평면도
도 6은 그 외의 실시형태에 관한 지지부의 종단 정면도
[제1 실시형태]
물품 반송체의 제1 실시형태에 대하여, 도면(도 1 내지 도 3)을 참조하여 설명한다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 반송체(1)는, 주행체(4)와, 물품(9)을 유지하는 유지부(5)를 구비하고 있다. 유지부(5)는, 지지부(3)를 통해 주행체(4)에 지지되어 있다. 여기서는, 주행체(4)는, 주행 레일(2)[여기서는, 한 쌍의 주행 레일(2)]을 따라 주행하도록 구성되어 있다. 구체적으로는, 주행체(4)가 구비하는 주행 기구(41)는, 주행 레일(2) 상을 전동(轉動)하는 주행륜(43)과, 주행륜(43)을 구동시키는 주행용 모터(42)(구동력원의 일례)를 구비하고 있다. 주행륜(43)이 주행용 모터(42)에 의해 구동됨으로써, 주행체(4)가 주행 레일(2)을 따라 주행한다. 주행 기구(41)에는, 주행체(4)의 주행 레일(2)에 따른 주행을 안내하는 안내륜(guiding wheel)(44)이 설치되어 있고, 안내륜(44)이 주행 레일(2)의 측면에 접촉 안내된 상태에서, 주행체(4)가 주행 레일(2)을 따라 주행한다.
주행 레일(2)은, 수평 방향 H을 따라 연장되도록 설치되어 있고, 주행체(4)는, 수평 방향 H을 따라 주행한다. 여기서는, 주행 레일(2)은, 천정(ceiling)으로부터 현수 지지된(suspended and supported) 상태로 천정에 고정되어 있다. 즉, 물품 반송체(1)는, 천정측에 설치된 주행 레일(2)을 따라 주행하는 천정 반송차이다. 그리고, 지지부(3)는, 유지부(5)가 주행체(4)에 대하여 하측[연직(沿直) 방향 V의 하측, 이하 마찬가지임]에 배치된 상태에서, 유지부(5)를 주행체(4)에 대하여 지지하고 있다. 여기서는, 지지부(3)는, 주행체(4)가 구비하는 승강 기구(45)에 의해 현수 지지된 상태에서, 유지부(5)를 지지하고 있다. 즉, 유지부(5)는, 주행체(4)에 현수 지지되어 있다.
승강 기구(45)는, 벨트나 와이어 등의 전동 부재(48)와, 전동 부재(48)가 권취된 권취체(47)와, 권취체(47)를 회전시키는 승강용 모터(46)(구동력원의 일례)을 구비하고 있다. 전동 부재(48)의 선단부에는 지지부(3)[구체적으로는, 후술하는 제1 부재(10)]가 연결되어 있고(도 2 참조), 권취체(47)가 승강용 모터(46)에 의해 플러스 방향 또는 역방향으로 회전되어 전동 부재(48)가 권취 또는 송출됨으로써, 전동 부재(48)에 의해 현수 지지된 상태로 지지부(3)가 상승 또는 하강된다. 승강 기구(45)는, 주행체(4)의 주행 시의 높이인 제1 높이(도 1에 나타낸 높이)와, 제1 높이보다 낮은 높이로서 물품(9)의 이송탑재(移載; transfer) 대상 개소(箇所)[예를 들면, 처리 장치의 로드 포트(load port)]와의 사이에서 물품(9)을 이송탑재하는 높이인 제2 높이와의 사이에서, 지지부(3)를 승강시킨다. 주행체(4)는 커버부(40)를 구비하고 있고, 지지부(3)가 제1 높이에 위치하는 상태에서, 유지부(5)에 유지된 물품(9)의 상측(연직 방향 V의 상측, 이하 마찬가지임) 및 주행 방향(여기서는, 수평 방향 H)의 양측이 커버부(40)에 의해 덮힌다. 자세한 것은 후술하지만, 유지부(5)는, 이와 같이, 주행체(4)에 현수 지지된 지지부(3)[구체적으로는, 후술하는 제2 부재(20)]에 연결되어 있다. 이로써, 유지부(5)는, 지지부(3)를 통하여, 주행체(4)에 현수 지지되어 있다.
유지부(5)는, 물품(9)을 상측으로부터 유지하도록 구성되어 있다. 여기서는, 물품 반송체(1)가 반송(搬送; transport)하는 물품(9)은, 반도체 웨이퍼를 수용하는 용기이며, 구체적으로는, FOUP(Front Opening Unified Pod)이다. 그리고, 유지부(5)는, 물품(9)의 상부에 형성된 플랜지부(9a)를 파지하는 파지부(把持部; gripping part)(50)[여기서는, 한 쌍의 파지부)(50)를 구비하고 있다. 즉, 유지부(5)는, 물품(9)을 파지함으로써 상기 물품(9)을 유지한다. 플랜지부(9a)의 상면에는, 아래쪽으로 오목한 오목부가 형성되어 있고, 물품(9)이 파지부(50)에 파지되어 있는 상태에서, 유지부(5)가 구비하는 걸어맞춤부(52)가 상기 오목부에 대하여 상측으로부터 끼워맞추어지도록 구성되어 있다. 이로써, 유지부(5)에 의한 물품(9)의 유지의 안정성을 향상시키는 것이 가능하도록 되어 있다. 그리고, 물품(9)은, 반도체 웨이퍼를 수용하는 용기에 한정되지 않고, 예를 들면, 물품(9)을, 반도체 웨이퍼 이외의 수용물[레티클(reticle)나 유리 기판 등]을 수용하는 용기나, 용기 이외의 물품으로 할 수도 있다.
유지부(5)는, 파지부(50) 상태를 전환하는 파지용 모터(51)(구동력원의 일례, 도 2 참조)를 구비하고 있고, 파지부(50) 상태는, 파지용 모터(51)의 구동에 의해, 플랜지부(9a)를 지지하는 지지 상태(도 1에 나타낸 상태)와, 플랜지부(9a)에 대한 지지를 해제하는 해제 상태로 전환된다. 구체적으로는, 한 쌍의 파지부(50)의 각각의 위치 및 자세 중 적어도 한쪽을 변화시켜 한 쌍의 파지부(50)를 서로 근접시킴으로써, 파지부(50) 상태가 해제 상태로부터 지지 상태로 전환하고, 한 쌍의 파지부(50)의 각각의 위치 및 자세 중 적어도 한쪽을 변화시켜 한 쌍의 파지부(50)를 서로 이격시킴으로써, 파지부(50) 상태가 지지 상태로부터 해제 상태로 전환된다. 물품(9)을 물품 반송체(1)로부터 이송탑재 대상 개소에 이송탑재하는 경우에는, 지지부(3)가 전술한 제2 높이에 위치하는 상태로 파지부(50) 상태가 지지 상태로부터 해제 상태로 전환되고, 물품(9)을 이송탑재 대상 개소로부터 물품 반송체(1)로 이송탑재하는 경우에는, 지지부(3)가 제2 높이에 위치하는 상태로 파지부(50) 상태가 해제 상태로부터 지지 상태로 전환된다.
이하, 본 실시형태의 물품 반송체(1)에서의, 유지부(5)에 유지된 물품(9)에 대한 주행체(4) 측으로부터의 진동의 전달을 억제하기 위한 구조에 대하여 설명한다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 물품 반송체(1)는, 주행체(4)에 연결된 제1 부재(10)와, 유지부(5)에 연결된 제2 부재(20)을 구비하고 있다. 제1 부재(10)는, 주행체(4)에 연결됨으로써 주행체(4)에 지지되고, 제2 부재(20)는, 유지부(5)에 연결됨으로써 유지부(5)를 지지한다. 제1 부재(10)는, 제2 부재(20)를 통하지 않고 주행체(4)에 연결되고, 제2 부재(20)는, 제1 부재(10)를 통하지 않고 유지부(5)에 연결된다. 본 실시형태에서는, 제1 부재(10)는, 승강 기구(45)를 통하여, 주행체(4)[구체적으로는, 주행 기구(41)를 구비하는 본체부]에 연결되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 제2 부재(20)는, 지지 기구(80)를 통하여, 유지부(5)에 연결되어 있다. 지지 기구(80)는, 파지부(50) 상태를 지지 상태와 해제 상태로 전환하는 것이 가능하고, 제2 부재(20)에 대하여 파지부(50)를 지지하는 기구이다. 자세한 것은 생략하지만, 도 2에 나타낸 예에서는, 지지 기구(80)는, 후술하는 직동(直動) 기구(60)와 마찬가지의 직동 기구로 되어 있다.
제2 부재(20)는, 제1 부재(10)와 대향하도록 배치되어 있다. 구체적으로는, 제2 부재(20)는, 제1 부재(10)와 간극을 두고 대향하도록 배치되어 있다. 그리고, 제2 부재(20)는, 제1 부재(10)를 통해 주행체(4)에 지지되어 있다. 본 실시형태에서는, 제2 부재(20)는, 제1 부재(10)에 대하여 아래쪽에 배치된 상태에서, 제1 부재(10)에 지지되어 있다. 여기서, 제1 부재(10)에서의 제2 부재(20)와의 대향부를 제1 대향부(11)로 하고, 제2 부재(20)에서의 제1 부재(10)와의 대향부를 제2 대향부(21)로 한다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 제1 부재(10)의 일부가 제1 대향부(11)를 구성하고, 제2 부재(20)의 전체가 제2 대향부(21)를 구성하고 있다. 제1 대향부(11) 및 제2 대향부(21)는 평판형으로 형성되어 있고, 제1 대향부(11)와 제2 대향부(21)는, 서로 평행하게 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 제1 부재(10)와 제2 부재(20)와의 대향 방향 Z[구체적으로는, 제1 대향부(11)와 제2 대향부(21)와의 대향 방향]가 연직 방향 V을 따르도록, 제1 부재(10) 및 제2 부재(20)가 배치되어 있다. 바꾸어 말하면, 제1 부재(10)는, 제1 대향부(11)가 수평면을 따르는 방향으로 배치되고, 제2 부재(20)는, 제2 대향부(21)가 수평면을 따르는 방향으로 배치되어 있다.
본 실시형태에서는, 제1 부재(10) 및 제2 부재(20)는, 지지부(3)에 설치되어 있다. 구체적으로는, 지지부(3)는, 상자형으로 형성된 케이스(3a)를 구비하고 있고, 케이스(3a)의 내부에, 후술하는 자석 유닛(30) 등의 수용 공간이 형성되어 있다. 그리고, 제1 부재(10)는, 케이스(3a) 상벽부(상기 수용 공간을 상측으로부터 덮는 부분)를 구성하고 있다. 도 2에 나타낸 예에서는, 제1 부재(10)의 전체가 케이스(3a) 상벽부를 구성하고 있다. 그리고, 전동 부재(48)의 선단부가 제1 부재(10)에 연결됨으로써, 제1 부재(10)는 주행체(4)에 현수 지지되어 있다. 한편, 제2 부재(20)는, 케이스(3a)의 상기 수용 공간에 수용되어 있다.
도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 물품 반송체(1)는, 교차면을 따른 방향의 제1 부재(10)와 제2 부재(20)와의 상대 이동을 안내하는 안내 장치(6)와, 제1 부재(10)와 제2 부재(20)와의 상대 위치를 기준 위치로 복귀시키는 복귀 장치(7)를 구비하고 있다. 여기서, 교차면은, 대향 방향 Z로 교차하는 면이다. 본 실시형태에서는, 교차면은, 대향 방향 Z와 직교하는 면이다. 전술한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 대향 방향 Z는 연직 방향 V에 따른 방향으로 되므로, 교차면은, 수평면을 따르는 면으로 된다. 여기서, 교차면을 따라 서로 직교하는 2개의 방향을 제1 방향 X 및 제2 방향 Y로 한다. 본 실시형태에서는, 제1 방향 X 및 제2 방향 Y는, 모두 수평면을 따르는 수평 방향이다. 그리고, 본 실시형태에서는, 제2 방향 Y를, 주행체(4)의 주행 방향(도 1에서의 수평 방향 H를 따른 방향으로 하고 있다).
본 실시형태에서는, 안내 장치(6)는, 교차면을 따르는 특정한 방향(여기서는, 제2 방향 Y)에서의 제1 부재(10)와 제2 부재(20)와의 상대 이동을 안내하도록 구성되어 있다. 구체적으로는, 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 안내 장치(6)는, 제1 방향 X로 이격되어 배치된 한 쌍의 직동 기구(60)를 구비하고 있다. 한 쌍의 직동 기구(60)의 각각은, 안내부(61)와 피안내부(62)를 구비하고 있다. 안내부(61)는, 제2 방향 Y를 따라 연장되도록 제1 대향부(11) 및 제2 대향부(21)의 한쪽에 설치되고, 피안내부(62)는, 제1 대향부(11) 및 제2 대향부(21)의 다른 쪽에 설치된다. 피안내부(62)는, 안내부(61)에 안내되어 제2 방향 Y로 이동 가능하게 구성된다. 본 예에서는, 안내부(61)는, 제2 대향부(21)에 설치되고, 피안내부(62)는, 제1 대향부(11)에 설치되어 있다. 구체적으로는, 안내부(61)는, 제2 대향부(21)에서의 제1 대향부(11) 측의 면인 제2 대향면(21a)에 설치되고, 피안내부(62)는, 제1 대향부(11)에서의 제2 대향부(21) 측의 면인 제1 대향면(11a)에 설치되어 있다. 제1 대향면(11a) 및 제2 대향면(21a)는, 교차면을 따르는 평면형으로 형성되어 있고, 제1 대향면(11a) 및 제2 대향면(21a)는, 간극을 두고 서로 평행하게 배치되어 있다. 그리고, 이와 같은 구성과는 달리, 제1 대향부(11)에 안내부(61)가 설치되고, 제2 대향부(21)에 피안내부(62)가 설치되는 구성으로 할 수도 있다.
본 실시형태에서는, 안내부(61)는, 제2 방향 Y를 따라 연장되도록 설치되는 안내 레일이며, 피안내부(62)는, 안내 레일에 걸어맞추어지는 안내 블록이다. 여기서는, 안내부(61)를 구성하는 안내 레일은, 제2 대향부(21)[구체적으로는, 제2 대향면(21a)에 고정되고, 피안내부(62)]를 구성하는 안내 블록은, 제1 대향부(11)(구체적으로는, 제1 대향면(11a)에 고정되어 있다. 본 예에서는, 한 쌍의 직동 기구(60)의 각각은, 제2 방향 Y의 서로 다른 위치에 있어서 안내부(61)에 걸어맞추어지는 한 쌍의 피안내부(62)를 구비하고 있다. 피안내부(62)는, 안내부(61)에 대한 제2 방향 Y의 상대 이동이 허용되고, 또한 안내부(61)에 대한 제2 방향 Y와 직교하는 각각의 방향의 상대 이동이 규제되는 상태에서, 안내부(61)에 걸어맞추어져 있다. 따라서, 제2 부재(20)는, 제1 부재(10)에 대한 제2 방향 Y의 상대 이동이 허용되고, 또한 제1 부재(10)에 대한 제1 방향 X 및 대향 방향 Z의 이동이 규제되는 상태에서, 제1 부재(10)에 지지되어 있다. 이와 같이, 제1 부재(10)와 제2 부재(20)와의 대향 방향 Z의 상대 이동이 규제되는 결과, 제1 대향부(11)와 제2 대향부(21)와의 대향 거리[바꾸어 말하면, 제1 대향면(11a)과 제2 대향면(21a)과의 대향 거리]는, 일정한 간격으로 유지된다. 즉, 안내 장치(6)는, 제1 대향부(11)와 제2 대향부(21)와의 간격을 유지하면서, 교차면을 따른 방향의 제1 부재(10)와 제2 부재(20)와의 상대 이동을 안내하도록 구성되어 있다.
안내 장치(6)가 제1 부재(10)와 제2 부재(20)와의 상대 이동을 안내하는 방향을 안내 방향으로 하여, 복귀 장치(7)는, 제1 부재(10)와 제2 부재(20)와의 안내 방향에서의 상대 위치를, 기준 위치로 복귀시키도록 구성된다. 본 실시형태에서는, 안내 방향은 제2 방향 Y이며, 복귀 장치(7)는, 제1 부재(10)와 제2 부재(20)와의 제2 방향 Y에서의 상대 위치를, 기준 위치로 복귀시키도록 구성되어 있다. 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 복귀 장치(7)는, 제1 부재(10)와 제2 부재(20)와의 상대 위치를 기준 위치로 복귀시키기 위한 가압 부재(70)(여기서는, 코일 스프링)를 구비하고 있다. 가압 부재(70)는, 제2 방향 Y로 신축되도록 배치되어 있다.
본 실시형태에서는, 복귀 장치(7)는, 제2 부재(20)를 제1 부재(10)에 대하여 제2 방향 Y의 한쪽 측으로 가압하는 가압 부재(70)와, 제2 부재(20)를 제1 부재(10)에 대하여 제2 방향 Y의 다른 쪽 측으로 가압하는 가압 부재(70)와의, 2종류의 가압 부재(70)를 구비하고 있고, 이들 2종류의 가압 부재(70)의 가압력이 균형잡힌 위치(도 3에 나타낸 위치)가 기준 위치로 되어 있다. 여기서는, 2종류의 가압 부재(70)는, 제2 방향 Y로 배열되어 배치되어 있다. 그리고, 제2 방향 Y로 배열되어 배치되고 2종류의 가압 부재(70)의 조(組)는, 한 쌍의 직동 기구(60)의 사이의 제1 방향 X에서의 중심 위치에 대하여 제1 방향 X의 양측의 각각에 배치되어 있다. 제1 방향 X의 한쪽 측에 배치된 2종류의 가압 부재(70)의 조와, 제1 방향 X의 다른 쪽 측에 배치된 2종류의 가압 부재(70)의 조는, 상기 중심 위치로부터 제1 방향 X로 서로 같은 거리만큼 이격된 위치에 배치되어 있다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 물품 반송체(1)는, 자석 유닛(30)과 도전체(35)를 구비하고 있다. 이하에 설명하는 바와 같이, 이들 자석 유닛(30) 및 도전체(35)는, 제1 부재(10)와 제2 부재(20) 사이에서의 진동의 전달(여기서는, 제2 방향 Y에서의 진동의 전달)을 억제하기 위한 자기 댐퍼를 구성하고 있다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 대향 영역(A)에 있어서 자석 유닛(30)과 도전체(35)가 대향하도록, 자석 유닛(30) 및 도전체(35)가 설치되어 있다. 여기서, 대향 영역(A)는, 제1 대향부(11)와 제2 대향부(21)가 대향하는 영역이다. 자석 유닛(30)은, 도전체(35)와 간극을 두고 대향하도록 배치되어 있다. 제1 대향면(11a)는, 대향 영역(A)에서의 제1 대향부(11) 측의 단부(端部)에 배치되고, 제2 대향면(21a)는, 대향 영역(A)에서의 제2 대향부(21) 측의 단부에 배치되어 있다.
물품 반송체(1)는, 제1 부재(10)와 제2 부재(20)와의 상대 이동에 따라 자석 유닛(30)과 도전체(35)가 상대 이동하도록 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 자석 유닛(30)과 도전체(35)는, 대향 방향 Z로 대향하도록 배치되어 있다. 그리고, 제1 부재(10)와 제2 부재(20)와의 상대 이동에 따라, 자석 유닛(30) 및 도전체(35)는, 자석 유닛(30)과 도전체(35)와의 간격[자석 유닛(30)과 도전체(35)와의 대향 거리]을 유지하면서 상대 이동하도록 구성되어 있다. 여기서는, 제1 부재(10)와 제2 부재(20)와의 제2 방향 Y에서의 상대 이동에 따라, 자석 유닛(30)과 도전체(35)가 제2 방향 Y로 상대 이동하도록 구성되어 있다. 따라서, 제1 부재(10)와 제2 부재(20)가 상대 이동한 경우에는, 도전체(35)에 발생하는 와전류와 자석 유닛(30)에 의한 자계와의 상호 작용에 의해, 제1 부재(10)와 제2 부재(20)와의 상대 이동을 방해하는 제동력을 발생시킬 수 있고, 이로써, 제1 부재(10)와 제2 부재(20) 사이에서의 진동의 전달을 억제하여, 유지부(5)에 유지된 물품(9)에 대한 주행체(4) 측으로부터의 진동의 전달을 억제하는 것이 가능하도록 되어 있다.
그리고, 상기한 제동력은, 자석 유닛(30)과 도전체(35)를 접촉시키지 않고 발생시킬 수 있다. 따라서, 자석 유닛(30)이나 도전체(35)의 유지보수의 필요성을 낮게 억제할 수 있는 동시에, 먼지의 발생을 억제할 수도 있다. 또한, 주행체(4)에는, 가감속(加減速) 등에 의해 비교적 큰 주행 방향의 진동이 발생할 수 있지만, 본 실시형태에서는, 유지부(5)에 유지된 물품(9)에 대한 주행체(4) 측으로부터의 제2 방향 Y에서의 진동의 전달을 억제할 수 있고, 제2 방향 Y는 주행체(4)의 주행 방향을 따르는 방향이다. 이로써, 유지부(5)에 유지된 물품(9)에 대하여 주행체(4) 측으로부터 큰 진동이 전달되는 것을 적절히 억제하는 것이 가능하도록 되어 있다.
제1 부재(10)와 제2 부재(20)와의 상대 이동을 방해하는 상기한 제동력을 적절히 발생시키기 위해, 도전체(35)를 구성하는 도전성(導電性) 재료를, 양도체(良導體) 재료로 하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 도전체(35)를 구성하는 도전성 재료를, 양도체 재료이면서 또한 비자성체(非磁性體) 재료로 할 수 있다. 구체적으로는, 도전체(35)를 구성하는 도전성 재료가, 알루미늄, 알루미늄 합금, 구리, 또는 구리 합금인 것이 바람직하다. 그리고, 도전체(35)를 구성하는 도전성 재료를, 금속의 도전성 재료가 아니고, 비금속의 도전성 재료로 할 수도 있다.
본 실시형태에서는, 제1 대향부(11) 및 제2 대향부(21) 중 적어도 한쪽이, 도전체(35)를 구성하고 있다. 구체적으로는, 제1 대향부(11)가 도전체(35)를 구성하고 있다. 즉, 제1 부재(10)에서의 적어도 제1 대향부(11)를 구성하는 부분[본 실시형태에서는, 제1 부재(10)의 전체]은, 도전성 재료를 사용하여 형성되어 있다. 한편, 자석 유닛(30)은, 제1 부재(10) 및 제2 부재(20)는 다른 부재에 의해 구성되어 있다. 구체적으로는, 자석 유닛(30)은, 제2 대향면(21a)에 고정된 영구 자석(31)을 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 영구 자석(31)은, 대향 방향 Z가 두께 방향으로 되는 판형(여기서는, 대향 방향 Z를 따르는 대향 방향에서 볼 때 직사각형의 판형)으로 형성되어 있다. 이로써, 제1 대향부(11)와 제2 대향부(21)와의 대향 거리를 짧게 억제하면서, 자기 댐퍼로서 적절히 기능하도록 자석 유닛(30)과 도전체(35)를 설치하는 것이 가능하도록 되어 있다.
영구 자석(31)에서의 도전체(35)에 대향하는 면[즉, 도전체(35) 측의 면], 및 도전체(35)에서의 영구 자석(31)에 대향하는 면[즉, 영구 자석(31) 측의 면]은, 교차면을 따르는 평면형으로 형성되어 있다. 그리고, 영구 자석(31)에서의 도전체(35)에 대향하는 면과, 도전체(35)에서의 영구 자석(31)에 대향하는 면은, 간극을 두고 서로 평행하게 배치되어 있다. 그리고, 영구 자석(31)으로서, 도전체(35)에 대향하는 면의 극성(極性)이 상기 면의 전역(全域)에 걸쳐 동일한 영구 자석과, 도전체(35)에 대향하는 면의 극성이 장소에 따라서 변화하는 영구 자석 중 어느 것을 사용해도 된다. 후자의 경우, 일례로서, 도전체(35)에 대향하는 면에 N극과 S극이 제2 방향 Y를 따라 교호적(交互的)으로 형성된 영구 자석(31)을 사용할 수 있다. 이와 같은 영구 자석(31)은, 예를 들면, 다극(多極) 착자(着磁)된 1개의 자석에 의하거나, 또는 제2 방향 Y로 배열되어 배치된 복수의 자석편에 의해 구성할 수 있다.
도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 대상 영역(B) 내에 있어서 대향하도록, 자석 유닛(30)과 도전체(35)가 배치되어 있다. 구체적으로는, 자석 유닛(30)이 구비하는 영구 자석(31)이, 대상 영역(B)에 배치되어 있다. 여기서, 대상 영역(B)는, 한 쌍의 직동 기구(60)에 끼워진 영역이다. 여기서는, 대상 영역(B) 내에 부가하여 대상 영역(B)에 대하여 제2 방향 Y의 양측의 영역에 있어서도 대향하도록, 자석 유닛(30)과 도전체(35)가 배치되어 있다. 즉, 영구 자석(31)은, 대상 영역(B)에 배치되는 부분과, 대상 영역(B)에 대하여 제2 방향 Y로 인접하는 영역에 배치되는 부분을 구비하고 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 자석 유닛(30)[구체적으로는, 영구 자석(31)]은, 제1 방향 X의 한쪽 측에 배치된 2종류의 가압 부재(70)의 조와, 제1 방향 X의 다른 쪽 측에 배치된 2종류의 가압 부재(70)의 조와의 사이에 배치되어 있다.
전술한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 유지부(5)가 걸어맞춤부(52)를 구비하고 있다. 자세한 것은 생략하지만, 걸어맞춤부(52)는, 유지부(5)가 물품(9)을 유지하고 있지 않은 상태에서의 위치로부터, 가압 부재의 가압력에 저항하여 위쪽으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 그리고, 걸어맞춤부(52)와 일체로 연직 방향 V로 이동하는 축(軸) 부재(53)가, 대상 영역(B)에 있어서 제1 부재(10) 및 제2 부재(20)를 연직 방향 V으로 관통하도록 배치되어 있다. 자석 유닛(30)은, 이 축 부재(53)와의 간섭을 피하도록 설치되어 있다. 구체적으로는, 자석 유닛(30)은, 축 부재(53)에 대하여 제2 방향 Y의 한쪽 측에 배치되는 영구 자석(31)과, 축 부재(53)에 대하여 제2 방향 Y의 다른 쪽 측에 배치되는 영구 자석(31)을 구비하고 있다. 즉, 자석 유닛(30)을 구성하는 영구 자석(31)은, 제2 방향 Y에 있어서 불연속하여 설치되어 있다. 이와 같이, 타부재와의 간섭을 피해 자석 유닛(30)이 설치되는 경우라도, 도전체(35)에서의 영구 자석(31)과 대향하는 영역의 각각에 의해 와전류를 발생시켜 전술한 제동력을 얻을 수 있으므로, 본 발명의 기술은, 이와 같이, 타부재와의 간섭을 피해 자석 유닛(30)을 배치할 필요가 있는 경우에도, 제1 부재(10)와 제2 부재(20) 사이에서의 진동의 전달을 유효하게 억제하는 것이 가능하도록 되어 있다.
[제2 실시형태]
물품 반송체의 제2 실시형태에 대하여, 도면(도 4 및 도 5)을 참조하여 설명한다. 이하에서는, 본 실시형태의 물품 반송체에 대하여, 제1 실시형태와의 상위점을 중심으로 설명한다. 특히, 명기하지 않는 점에 대해서는, 제1 실시형태와 마찬가지이고, 동일한 부호를 부여하고, 상세한 설명은 생략한다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 물품 반송체(1)는, 바닥면 주행식의 물품 반송차(article transport vehicle)이다. 구체적으로는, 주행체(4)는, 바닥면 상을 전동하는 주행륜(43)을 구비하고 있다. 여기서는, 주행체(4)는, 주행 레일에 따르지 않고(즉, 주행 레일로 안내되지 않고) 주행하도록 구성되어 있다. 즉, 물품 반송체(1)는, 자신의 현재 위치를 인식하면서 자율 주행하도록 구성되어 있다.
도 4에서는 주행체(4) 및 유지부(5)를 간략화하여 나타내고 있지만, 본 실시형태에서는, 지지부(3)는, 유지부(5)가 주행체(4)에 대하여 위쪽에 배치된 상태에서, 유지부(5)를 주행체(4)에 대하여 지지하고 있다. 즉, 본 실시형태에서는, 유지부(5)는 주행체(4)에 현수 지지되어 있지 않다. 본 실시형태에서는, 제2 부재(20)는, 제1 부재(10)에 대하여 위쪽에 배치된 상태에서, 제1 부재(10)에 지지되어 있다. 그리고, 유지부(5)는, 물품을 하측으로부터 지지함으로써 상기 물품을 유지하도록 구성되어 있다.
도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 안내 장치(6)는, 제1 대향부(11)와 제2 대향부(21)와의 사이에 복수의 안내체(63)를 구비하고 있다. 복수의 안내체(63)의 각각은, 제1 대향부(11)와 제2 대향부(21)와의 양쪽에 접하도록 배치되어 있다. 즉, 복수의 안내체(63)는, 제1 부재(10)와 제2 부재(20)와의 사이에서 하중(荷重; load)(여기서는, 연직 하중)를 지지하도록 구성되어 있고, 이들 복수의 안내체(63)를 사용하여, 유지부(5)를 주행체(4)에 대하여 지지하는 지지부(3)가 구성되어 있다. 복수의 안내체(63)는, 교차면 내에 분산시켜 배치되어 있다. 전술한 바와 같이, 교차면은, 대향 방향 Z로 교차하는 면이며, 여기서는, 대향 방향 Z와 직교하는 면이다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 복수의 안내체(63)는, 대향 방향 Z를 따르는 대향 방향에서 볼 때 격자형(본 예에서는, 정방 격자형)으로 배치되어 있다.
복수의 안내체(63)의 각각은, 교차면을 따른 방향으로 전동 가능한 상태로 배치되어 있다. 그리고, 복수의 안내체(63)의 상대 위치 관계는, 복수의 안내체(63)를 전동 가능하게 유지하는 유지기(retainer)(64)에 의해 유지되도록 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 복수의 안내체(63)의 각각은, 서로 같은 직경의 구형(球形)으로 형성되어 있고, 교차면을 따르는 임의의 방향으로 전동 가능한 상태로 배치되어 있다. 이로써, 안내 장치(6)는, 교차면을 따르는 임의의 방향에서의 제1 부재(10)와 제2 부재(20)와의 상대 이동을 안내하도록 구성되어 있다. 그리고, 안내체(63)는, 제1 부재(10)와 제2 부재(20)와의 상대 이동에 따라 회전하므로, 제1 부재(10)와 제2 부재(20)가 상대 이동한 경우에는, 복수의 안내체(63) 및 유지기(64)는, 제1 부재(10)와 제2 부재(20)와의 상대 이동 거리의 절반의 거리만큼, 제1 대향부(11) 및 제2 대향부(21)의 각각에 대하여 상대 이동한다. 본 실시형태에서는, 안내 장치(6)에 의한 제1 부재(10)와 제2 부재(20)와의 상대 이동의 안내 방향이, 교차면을 따르는 임의의 방향으로 되므로, 자세한 것은 생략하지만, 복귀 장치(7)는, 교차면을 따르는 모든 방향에서의 제1 부재(10)와 제2 부재(20)와의 상대 위치를, 기준 위치로 복귀시키도록 구성된다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 제1 대향부(11) 및 제2 대향부(21)의 양쪽이 도전체(35)를 구성하고 있다. 즉, 제1 부재(10)에서의 적어도 제1 대향부(11)를 구성하는 부분과, 제2 부재(20)에서의 적어도 제2 대향부(21)를 구성하는 부분은, 도전성 재료를 사용하여 형성되어 있다. 그리고, 본 실시형태에서는, 자석 유닛(30)은, 제1 대향부(11)와 제2 대향부(21)와의 사이에, 제1 대향부(11) 및 제2 대향부(21) 중 어느 것과도 간극을 두고 배치되어 있다. 자석 유닛(30)은, 유지기(64)에 유지되므로, 복수의 안내체(63)와 일체로 교차면을 따른 방향으로 이동하도록 구성되어 있다. 따라서, 제1 부재(10)와 제2 부재(20)가 상대 이동한 경우에는, 자석 유닛(30)은, 제1 대향부(11)가 구성하는 도전체(35) 및 제2 대향부(21)가 구성하는 도전체(35)의 각각에 대하여, 제1 부재(10)와 제2 부재(20)와의 상대 이동 거리의 절반의 거리만큼 상대 이동한다. 이로써, 제1 대향부(11)가 구성하는 도전체(35) 및 제2 대향부(21)가 구성하는 도전체(35)의 각각에 와전류를 발생시켜, 제1 부재(10)와 제2 부재(20)와의 상대 이동을 방해하는 제동력을 발생시키는 것이 가능하도록 되어 있다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 자석 유닛(30)은, 교차면 내에 분산시켜 배치된 복수의 영구 자석(31)을 구비하고 있다. 전술한 바와 같이, 본 실시형태에서는 복수의 안내체(63)가 교차면 내에 격자형으로 배치되어 있고, 복수의 영구 자석(31)은, 일부의 안내체(63) 대신에 배치되어 있다. 이로써, 자석 유닛(30)은, 대향 방향 Z를 따르는 대향 방향에서 볼 때 복수의 안내체(63)의 군의 배치 영역(C) 내에 배치되어 있다. 구체적으로는, 자석 유닛(30)의 전체[즉, 자석 유닛(30)이 구비하는 모든 영구 자석(31)]가, 대향 방향에서 볼 때 복수의 안내체(63)의 군의 배치 영역(C) 내에 배치되어 있다. 그리고, 배치 영역(C)는, 대향 방향에서 볼 때 복수의 안내체(63)의 군에 외접(外接)하는 도형으로 에워싸인 영역이라고 정의할 수 있고, 도 5에서는, 대향 방향에서 볼 때 복수의 안내체(63)의 군에 외접하는 직사각형[구체적으로는, 각부(角部)가 원호형의 직사각형]으로 에워싸인 영역을, 배치 영역(C)으로 하고 있다.
여기서는, 복수의 안내체(63)의 각각이, 서로 같은 직경의 구형으로 형성되고, 교차면을 따르는 임의의 방향으로 전동 가능한 상태로 배치되는 구성을 예로 들어 설명하였으나, 예를 들면, 복수의 안내체(63)의 각각이, 서로 같은 직경의 원기둥형으로 형성되고, 교차면을 따르는 특정한 방향으로 전동 가능한 상태로 배치되는 구성으로 할 수도 있다. 이 경우, 안내 장치(6)는, 상기 제1 실시형태와 마찬가지로, 교차면을 따르는 특정한 방향에서의 제1 부재(10)와 제2 부재(20)와의 상대 이동을 안내하도록 구성된다.
[그 외의 실시형태]
다음에, 물품 반송체의 그 외의 실시형태에 대하여 설명한다.
(1) 상기 제1 실시형태에서는, 제1 대향부(11)가 도전체(35)를 구성하고, 자석 유닛(30)[구체적으로는, 영구 자석(31)]이 제2 대향면(21a)에 고정되는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 제2 대향부(21)가 도전체(35)를 구성하고, 자석 유닛(30)[구체적으로는, 영구 자석(31)]이 제1 대향면(11a)에 고정되는 구성으로 할 수도 있다.
(2) 상기한 각각의 실시형태에서는, 제1 대향부(11) 및 제2 대향부(21) 중 적어도 한쪽이, 도전체(35)를 구성하는 경우를 예로 들어 설명하였다. 구체적으로는, 상기 제1 실시형태에서는, 제1 대향부(11)가 도전체(35)를 구성하는 경우를 예로 들어 설명하고, 상기 제2 실시형태에서는, 제1 대향부(11) 및 제2 대향부(21)의 양쪽이 도전체(35)를 구성하는 경우를 예로 들어 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 도전체(35)를, 제1 부재(10) 및 제2 부재(20)는 다른 부재에 의해 구성해도 된다. 상기 제1 실시형태의 구성에 있어서 도전체(35)를 제1 부재(10)는 다른 부재에 의해 구성한 예를 도 6에 나타낸다. 도 6에 나타낸 예에서는, 도전체(35)는, 제1 대향면(11a)에 고정된 도체판(36)에 의해 구성되어 있다.
(3) 상기 제1 실시형태에서는, 대상 영역(B) 내에 부가하여 대상 영역(B)에 대하여 제2 방향 Y의 양측의 영역에 있어서도 대향하도록, 자석 유닛(30)과 도전체(35)가 배치되는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 대상 영역(B) 내에 있어서만 대향하도록 자석 유닛(30)과 도전체(35)가 배치되는 구성으로 할 수도 있다. 또한, 대상 영역(B) 내에 있어서 대향하지 않도록[바꾸어 말하면, 대상 영역(B) 외에 있어서만 대향하도록], 자석 유닛(30)과 도전체(35)가 배치되는 구성으로 할 수도 있다.
(4) 상기 제2 실시형태에서는, 자석 유닛(30)의 전체가, 대향 방향 Z를 따르는 대향 방향에서 볼 때 복수의 안내체(63)의 군의 배치 영역(C) 내에 배치되는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 자석 유닛(30) 중 적어도 일부가, 대향 방향 Z를 따르는 대향 방향에서 볼 때 복수의 안내체(63)의 군의 배치 영역(C) 외에 배치되는 구성으로 할 수도 있다.
(5) 상기한 각각의 실시형태에서는, 자석 유닛(30)이 영구 자석(31)을 구비하는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 자석 유닛(30)이 영구 자석(31) 대신에 전자석 등을 구비하는 구성으로 할 수도 있다.
(6) 상기 제1 실시형태에서는, 물품 반송체(1)가 천정 반송차인 구성을 예로 들어 설명하고, 상기 제2 실시형태에서는, 물품 반송체(1)가 바닥면을 자율 주행하는 물품 반송차인 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 물품 반송체(1)를, 예를 들면, 수납 선반(storage rack)의 각각의 단(段; step)에 대응하여 수평 방향을 따라 설치된 이동 경로를 주행하는 물품 반송체로 하는 것이나, 바닥부에 설치된 주행 레일을 따라 주행하는 물품 반송체로 할 수도 있다. 후자의 물품 반송체로서, 예를 들면, 바닥부에 설치된 주행 레일을 따라 주행하는 주행 캐리지(travel carriage)와, 주행 캐리지에 세워 설치된 마스트(mast)를 따라 승강하는 승강체를 구비한 스태커 크레인(stacker crane)을 예시할 수 있다.
(7) 그리고, 전술한 각각의 실시형태에서 개시된 구성은, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시된 구성과 조합시켜 적용하는 것(그 외의 실시형태로서 설명한 실시형태끼리의 조합을 포함함)도 가능하다. 그 외의 구성에 관해서도, 본 명세서에 있어서 개시된 실시형태는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않는다. 따라서, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서, 적절히, 각종 개변(改變; modification)을 행할 수 있다.
[상기 실시형태의 개요]
이하, 상기에 있어서 설명한 물품 반송체의 개요에 대하여 설명한다.
물품 반송체는, 주행체와, 물품을 유지하는 유지부와, 상기 주행체에 연결된 제1 부재와, 상기 유지부에 연결되고, 상기 제1 부재와 대향하도록 배치된 제2 부재와, 상기 제1 부재와 상기 제2 부재와의 대향 방향으로 교차하는 면을 교차면으로 하여, 상기 교차면을 따른 방향의 상기 제1 부재와 상기 제2 부재와의 상대 이동을 안내하는 안내 장치와, 상기 제1 부재와 상기 제2 부재와의 상대 위치를 기준 위치로 복귀시키는 복귀 장치를 구비하고, 상기 제1 부재에서의 상기 제2 부재와의 대향부를 제1 대향부로 하고, 상기 제2 부재에서의 상기 제1 부재와의 대향부를 제2 대향부로 하고, 자석 유닛 및 도전체가, 상기 제1 대향부와 상기 제2 대향부가 대향하는 영역에 있어서 상기 자석 유닛과 상기 도전체가 대향하도록 설치되고, 상기 제1 부재와 상기 제2 부재와의 상대 이동에 따라 상기 자석 유닛과 상기 도전체가 상대 이동하도록 구성되어 있다.
이 구성에 의하면, 물품 반송체가, 제1 부재와 제2 부재와의 상대 이동에 따라 자석 유닛과 도전체가 상대 이동하도록 구성되므로, 제1 부재와 제2 부재가 상대 이동한 경우에는, 도전체에 발생하는 와전류와 자석 유닛에 의한 자계와의 상호 작용에 의해, 제1 부재와 제2 부재와의 상대 이동을 방해하는 제동력을 발생시킬 수 있다. 즉, 자석 유닛과 도전체를 사용하여 자기 댐퍼를 구성할 수 있다. 따라서, 복귀 장치의 작용에 의해 제1 부재와 제2 부재와의 상대 위치를 기준 위치로 복귀시키면서, 자기 댐퍼의 작용에 의해, 제1 부재와 제2 부재와의 사이에서의 진동의 전달을 억제하여, 유지부에 유지된 물품으로의 주행체 측으로부터의 진동의 전달을 억제할 수 있다. 그리고, 상기한 제동력은, 자석 유닛과 도전체를 접촉시키지 않고 발생시킬 수 있으므로, 자석 유닛이나 도전체의 유지보수의 필요성은 낮게 억제할 수 있다.
이상과 같이, 상기한 구성에 의하면, 유지부에 유지된 물품으로의 주행체 측으로부터의 진동의 전달을 억제하기 위한 구조를, 유지보수의 필요성이 낮은 구조로 하는 것이 가능하도록 되어 있다.
여기서, 상기 교차면을 따라 서로 직교하는 2개의 방향을 제1 방향 및 제2 방향으로 하여, 상기 안내 장치는, 상기 제1 방향으로 이격되어 배치된 한 쌍의 직동 기구를 구비하고, 한 쌍의 상기 직동 기구의 각각은, 상기 제2 방향을 따라 연장되도록 상기 제1 대향부 및 상기 제2 대향부의 한쪽에 설치된 안내부와, 상기 제1 대향부 및 상기 제2 대향부의 다른 쪽에 설치되고, 상기 안내부로 안내되어 상기 제2 방향으로 이동 가능한 피안내부를 구비하고, 한 쌍의 상기 직동 기구에 끼워진 영역 내에 있어서 대향하도록, 상기 자석 유닛과 상기 도전체가 배치되어 있는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 제1 부재와 제2 부재와의 사이에서의 제2 방향에서의 진동의 전달을 억제하여, 유지부에 유지된 물품으로의 주행체 측으로부터의 제2 방향에서의 진동의 전달을 억제할 수 있다. 그리고, 상기한 구성에 의하면, 한 쌍의 직동 기구에 끼워진 영역 내에 있어서 대향하도록 자석 유닛과 도전체가 배치되므로, 한 쌍의 직동 기구에 끼워진 공간을 유효하게 이용하여, 제1 방향 및 제2 방향에서의 물품 반송체의 대형화를 억제하면서 자석 유닛 및 도전체를 설치하는 것이 가능하도록 되어 있다.
또는, 상기 안내 장치는, 상기 제1 대향부와 상기 제2 대향부와의 사이에 복수의 안내체를 구비하고, 상기 복수의 안내체의 각각은, 상기 교차면을 따른 방향으로 전동 가능한 상태에서, 상기 제1 대향부와 상기 제2 대향부와의 양쪽에 접하도록 배치되고, 상기 자석 유닛은, 상기 대향 방향을 따르는 대향 방향에서 볼 때 상기 복수의 안내체의 군의 배치 영역 내에 배치되어 있는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 제1 부재와 제2 부재와의 사이에서의, 안내체가 전동 가능한 방향에서의 진동의 전달을 억제하여, 유지부에 유지된 물품으로의 주행체 측으로부터의 상기 방향에서의 진동의 전달을 억제할 수 있다. 그리고, 상기한 구성에 의하면, 자석 유닛이, 대향 방향에서 볼 때 복수의 안내체의 군의 배치 영역 내에 배치되므로, 대향 방향으로 교차하는 방향에서의 물품 반송체의 대형화를 억제하면서 자석 유닛을 설치하는 것이 가능하도록 되어 있다.
상기한 각각의 구성의 물품 반송체에 있어서, 상기 제1 대향부 및 상기 제2 대향부 중 적어도 한쪽이, 상기 도전체를 구성하고 있는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 도전체가 제1 부재 및 제2 부재와는 다른 부재에 의해 구성되는 경우와 비교하여, 제1 대향부와 제2 대향부를 대향 방향으로 접근해 배치하여, 대향 방향에서의 물품 반송체의 소형화를 도모할 수 있다.
또한, 상기 도전체를 구성하는 도전성 재료가, 알루미늄, 알루미늄 합금, 구리, 또는 구리 합금인 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 도전체에 와전류를 발생시키기 쉽기 때문에, 제1 부재와 제2 부재와의 상대 이동을 방해하는 제동력을 적절히 발생시키는 것이 용이해진다.
또한, 상기 유지부는, 상기 주행체에 현수 지지되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같이, 유지부가 주행체에 현수지지된 구성에서는, 주행체의 가감속 등에 의한 진동에 의해 유지부가 크게 요동하기 쉽다. 본 개시에 관한 물품 반송체에서는, 전술한 바와 같이 자석 유닛과 도전체를 사용하여 자기 댐퍼를 구성할 수 있으므로, 이와 같은 구성에 있어서도, 유지부에 유지된 물품으로의 주행체 측으로부터의 진동의 전달을 유효하게 억제할 수 있다.
본 개시에 관한 물품 반송체는, 전술한 각 효과 중, 적어도 하나를 얻을 수 있으면 된다.
1: 물품 반송체
4: 주행체
5: 유지부
6: 안내 장치
7: 복귀 장치
9: 물품
10: 제1 부재
11: 제1 대향부
20: 제2 부재
21: 제2 대향부
30: 자석 유닛
35: 도전체
60: 직동 기구
61: 안내부
62: 피안내부
63: 안내체
A: 대향 영역(제1 대향부와 제2 대향부가 대향하는 영역)
B: 대상 영역(한 쌍의 직동 기구에 끼워진 영역)
C: 배치 영역
X: 제1 방향
Y: 제2 방향
Z: 대향 방향

Claims (6)

  1. 주행체; 및 물품을 유지하는 유지부(holding portion);를 포함하는 물품 반송체(搬送體)로서,
    상기 주행체에 연결된 제1 부재;
    상기 유지부에 연결되고, 상기 제1 부재와 대향하도록 배치된 제2 부재;
    상기 제1 부재와 상기 제2 부재와의 대향 방향으로 교차하는 면을 교차면으로 하여, 상기 교차면을 따른 방향의 상기 제1 부재와 상기 제2 부재와의 상대(相對) 이동을 안내하는 안내 장치; 및
    상기 제1 부재와 상기 제2 부재와의 상대 위치를 기준 위치로 복귀시키는 복귀 장치;
    를 포함하고,
    상기 제1 부재에서의 상기 제2 부재와의 대향부를 제1 대향부로 하고, 상기 제2 부재에서의 상기 제1 부재와의 대향부를 제2 대향부로 하여, 자석 유닛 및 도전체가, 상기 제1 대향부와 상기 제2 대향부가 대향하는 영역에 있어서 상기 자석 유닛과 상기 도전체가 대향하도록 설치되고,
    상기 제1 부재와 상기 제2 부재와의 상대 이동에 따라 상기 자석 유닛과 상기 도전체가 상대 이동하도록 구성되어 있는,
    물품 반송체.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 교차면을 따라 서로 직교하는 2개의 방향을 제1 방향 및 제2 방향으로 하여,
    상기 안내 장치는, 상기 제1 방향으로 이격되어 배치된 한 쌍의 직동(直動) 기구를 구비하고,
    한 쌍의 상기 직동 기구의 각각은, 상기 제2 방향을 따라 연장되도록 상기 제1 대향부 및 상기 제2 대향부의 한쪽에 설치된 안내부와, 상기 제1 대향부 및 상기 제2 대향부의 다른 쪽에 설치되고, 상기 안내부로 안내되어 상기 제2 방향으로 이동 가능한 피안내부를 구비하고,
    한 쌍의 상기 직동 기구에 끼워진 영역 내에 있어서 대향하도록, 상기 자석 유닛과 상기 도전체가 배치되어 있는, 물품 반송체.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 안내 장치는, 상기 제1 대향부와 상기 제2 대향부 사이에 복수의 안내체를 구비하고,
    상기 복수의 안내체의 각각은, 상기 교차면을 따른 방향으로 전동(轉動) 가능한 상태에서, 상기 제1 대향부와 상기 제2 대향부와의 양쪽에 접하도록 배치되고,
    상기 자석 유닛은, 상기 대향 방향을 따르는 대향 방향에서 볼 때 상기 복수의 안내체의 군의 배치 영역 내에 배치되어 있는, 물품 반송체.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 대향부 및 상기 제2 대향부 중 적어도 한쪽이, 상기 도전체를 구성하고 있는, 물품 반송체.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 도전체를 구성하는 도전성(導電性) 재료가, 알루미늄, 알루미늄 합금, 구리, 또는 구리 합금인, 물품 반송체.
  6. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유지부는, 상기 주행체에 현수 지지(suspended and supported)되어 있는, 물품 반송체.
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