KR101922231B1 - 일시 보관 시스템과, 이를 이용한 반송 시스템, 및 일시 보관 방법 - Google Patents

일시 보관 시스템과, 이를 이용한 반송 시스템, 및 일시 보관 방법 Download PDF

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Abstract

대용량이며 또한 물품을 원활하게 반출입할 수 있는 일시 보관 시스템을 제공한다. 일시 보관 시스템(2)은 처리 장치(53)의 상부이며 또한 로드 포트(54)의 직상부를 제외한 위치에 격자 형상의 주행 레일(9, 11)과 버퍼(6)를 구비하여, 로컬 대차(8)를 주행시킨다. 로컬 대차(8)의 주행부(24)는 종방향의 주행 유닛(35)과, 횡방향의 주행 유닛(35)과, 종횡의 어느 하나의 주행 유닛(35)을 주행 레일(9, 11)에 지지되는 위치로 선택적으로 진출시키는 출퇴 기구(28, 30)를 구비하고, 주행 레일(9, 11) 상을 종횡으로 주행하며, 이동 재치부(26)는 호이스트(45)와 호이스트(45)를 수평 이동시키는 암(40)을 구비한다. 로컬 대차(8)는 로드 포트(54)에 대응하는 위치에 정지하고 암(40)을 로드 포트(54)측으로 진출시킴으로써, 로드 포트(54)와의 사이에서 물품(50)을 이동 재치한다.

Description

일시 보관 시스템과, 이를 이용한 반송 시스템, 및 일시 보관 방법 {TEMPORARY STORAGE SYSTEM, CONVEYANCE SYSTEM USING SAME, AND TEMPORARY STORAGE METHOD}
이 발명은 카세트 등의 물품의 일시 보관 시스템과, 이것을 이용한 반송 방법, 및 일시 보관 방법에 관한 것이다.
천장 주행차 시스템에서의 로드 포트의 부근에, 로컬인 대차와 버퍼를 구비하는 일시 보관 시스템을 증설하는 것이 제안되고 있다(특허 문헌 1 : JP2012-111635). 그러나 한정된 스페이스에 대용량의 버퍼를 마련하는 것은 어렵고, 가령 이 점이 실현되어도 복수 대의 로컬 대차를 배치하여 반출입 능력을 높이는 것은 어렵다.
JP 2012-111635
이 발명의 과제는 대용량이며 또한 물품을 원활하게 반출입할 수 있는 일시 보관 시스템과 반송 방법과 일시 보관 방법을 제공하는 것에 있다.
이 발명은, 천장 주행차와 처리 장치의 로드 포트와의 사이에서 물품을 일시 보관하는 일시 보관 시스템으로서,
처리 장치의 상부이며 또한 로드 포트의 직상부(直上部)를 제외한 위치에, 종방향의 레일과 횡방향의 레일이 물품을 통과할 수 있는 개구가 형성되도록 간격을 두고 배치되는 주행 레일과,
상기 주행 레일의 개구의 하부에 마련되는 버퍼와,
상기 주행 레일의 상부를 주행하는 주행부와 주행부에 의해 지지되는 이동 재치부(載置部)를 구비하는 로컬 대차로 이루어지고,
상기 주행부는 종방향으로 주행하기 위한 주행 유닛과 횡방향으로 주행하기 위한 주행 유닛과 종횡 어느 하나의 주행 유닛을 상기 주행 레일에 지지되는 위치로 선택적으로 진출시키는 출퇴 기구를 구비하여, 상기 주행 레일 상을 종횡으로 주행 가능하게 구성되고,
상기 이동 재치부는 물품을 승강시키는 호이스트와 이 호이스트를 횡방향으로 이동시키는 호이스트 이동부를 구비하고,
상기 로컬 대차는 로드 포트에 대응하는 위치에 정지하고 호이스트 이동부를 로드 포트측으로 진출시킴으로써, 로드 포트에 대하여 물품을 이동 재치하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한 이 발명은, 상기의 일시 보관 시스템과 천장 주행차와 천장 주행차의 주행 레일로 이루어지고, 천장 주행차의 주행 레일은, 공통의 주행 레일로부터, 로드 포트의 직상부를 통과하는 주행 레일과 중간 버퍼의 직상부를 지나는 주행 레일로 분기한 후에 합류하도록 구성되어 있는 반송 시스템이다. 분기한 후에 합류한다는 것은 천장 주행차의 주행 방향을 따라 분기한 후에 합류하는 것이다. 이와 같이 하면, 일시 보관 시스템과 천장 주행차 간의 물품의 전달을 용이하게 할 수 있다. 또한 천장 주행차 시스템에서는 물품의 이동 재치를 위하여 천장 주행차가 정지하고 있어도, 후속의 천장 주행차는 우회할 수 있다. 또한 2 개의 루트의 일방을 통상 반송용으로 타방을 긴급 반송 등의 비통상형의 반송으로 할당하면, 비통상형의 반송에서는 천장 주행차의 추월을 할 수 있다.
이 발명은 또한, 상기의 일시 보관 시스템을 이용하여, 로컬 대차에 의해 로드 포트와 버퍼와의 사이에서 물품을 반송하고 또한 버퍼에 물품을 일시 보관하는, 일시 보관 방법이다.
이 발명에서는, 처리 장치 상의 스페이스에 주행 레일을 배치할 수 있어 주행 레일의 셀의 하부가 물품의 재치 위치가 되므로, 대용량의 일시 보관 시스템이 얻어진다. 로컬 대차는 주행 레일 상을 종횡으로 주행할 수 있어 개개의 셀 단위로 주행 방향을 변경할 수 있으므로, 목적지까지의 주행 경로를 자유롭게 선택하여 다른 로컬 대차를 회피할 수 있다. 이 때문에 신속하고 또한 유연하게 물품을 반출입할 수 있는 일시 보관 시스템이 얻어진다. 또한 로컬 대차는 주행부와 이동 재치부를 연결하는 방향에 대하여 물품을 횡이동시켜 이동 재치할 수 있으므로, 로드 포트의 상부에는 주행 레일을 마련할 필요가 없고, 천장 주행차는 일시 보관 시스템의 주행 레일을 무시하여 작업할 수 있다. 이 명세서에서는, 일시 보관 시스템에 관한 기재는 그대로 반송 시스템 및 일시 보관 방법에도 적용된다. 또한 호이스트는 예를 들면 감아올림 기구를 구비하는 승강 장치와 승강대로 이루어지고, 호이스트 이동부는 예를 들면 슬라이드 포크 혹은 스칼라 암 등으로 이루어진다.
바람직하게는, 로컬 대차는 주행 레일 상의 주행과 병행하여, 슬라이드 포크, 혹은 스칼라 암 등의 호이스트 이동부에 의해 호이스트를 이동시키도록 구성되어 있다. 주행과 슬라이드 포크 혹은 스칼라 암 등의 암의 진퇴를 병행하여 동시에 행하면, 반송의 사이클 타임을 단축할 수 있다.
바람직하게는 로컬 대차는,
종방향의 레일과 횡방향의 레일과의 교차부를 검출하는 교차부 센서와,
종방향의 레일 또는 횡방향의 레일에 마련되고 또한 정지 위치를 지시하는 마크를 판독하는 마크 검출 센서를 구비하고,
상기 로컬 대차는,
교차부를 교차부 센서가 검출하는 위치에서 정지함으로써, 이동 재치부가 목적의 개구의 직상부에 위치하고,
또한 마크 검출 센서가 판독한 마크에 의해 지시를 받는 위치에 정지함으로써, 이동 재치부가 로드 포트에 대응하는 위치에 위치하도록 구성되어 있다.
이와 같이 하면, 셀의 직상부와 로드 포트에 대응하는 위치에 용이하게 또한 정확하게 정지할 수 있다.
바람직하게는 주행 레일은, 평면에서 봤을 때 주행 레일에 관하여 로드 포트와는 반대측이며 또한 주행 레일의 직하(直下)를 제외한 위치에, 천장 주행차와 로컬 대차가 모두 물품을 이동 재치 가능한 중간 버퍼를 구비하고 있다. 이 경우, 천장 주행차 시스템은 로드 포트의 상부를 통과하는 주행 루트와 중간 버퍼의 상부를 통과하는 주행 루트를 구비하도록 하고, 2 개의 주행 루트의 사이에서 분기 및 합류시킨다. 이와 같이 하면, 일시 보관 시스템과 천장 주행차 간의 물품의 전달을 용이하게 할 수 있다. 또한 천장 주행차 시스템에서는 물품의 이동 재치를 위하여 천장 주행차가 정지하고 있어도, 후속의 천장 주행차는 우회할 수 있다. 또한 2 개의 주행 루트의 일방을 통상 반송용으로 타방을 긴급 반송 등의 비통상형의 반송용으로 할당하면, 비통상형의 반송에서는 천장 주행차의 추월을 할 수 있다.
이동 재치부는 바람직하게는, 호이스트 이동부의 암 등에 지지되고 또한 호이스트를 회전시키는 턴테이블을 더 구비하고 있다. 턴테이블에 의해 물품을 원하는 방향으로 회전할 수 있다. 또한 바람직하게는, 호이스트 이동부는, 이동 재치부의 직하 및 상기 횡방향을 따라 이동 재치부의 양측의 3 위치에 대하여, 물품을 이동 재치 가능하게 구성되어 있다. 이와 같이 하면, 격자 형상의 주행 레일에 대하여 로드 포트를 배치할 수 있는 범위가 늘어난다.
바람직하게는, 출퇴 기구는 종횡의 적어도 어느 하나의 주행 유닛을 승강시키도록 구성되어 있다. 종횡의 주행 유닛을 상대적으로 승강시키고, 사용하는 주행 유닛을 선택한다. 여기서 종횡의 주행 유닛을 모두 승강시키면, 주행 유닛을 전환해도 로컬 대차의 높이를 일정하게 유지할 수 있다. 그러나, 일방의 주행 유닛만을 승강시키고 타방의 주행 유닛의 높이를 고정하면, 출퇴 기구가 간단해진다.
도 1은 실시예의 일시 보관 시스템의 주요부 측면도이다.
도 2는 실시예의 격자 형상의 주행 레일의 주요부 평면도이다.
도 3은 변형예의 격자 형상의 주행 레일의 주요부 평면도이다.
도 4는 실시예의 로컬 대차의 저면도이다.
도 5는 실시예의 로컬 대차가 슬라이드 포크를 신장했을 때의 저면도이다.
도 6은 실시예의 반송 시스템의 주요부 평면도이다.
도 7은 변형예의 반송 시스템의 주요부 평면도이다.
도 8은 실시예의 로컬 대차의 제어 알고리즘을 나타내는 순서도이다.
도 9는 변형예의 로컬 대차의 측면도이다.
이하에 본 발명을 실시하기 위한 최적 실시예를 나타낸다. 이 발명의 범위는, 특허 청구의 범위의 기재에 기초하고, 명세서의 기재와 이 분야에서의 주지 기술을 참작하여, 당업자의 이해에 따라 정해져야 하는 것이다.
<실시예>
도 1 ~ 도 9에 이 발명의 실시예와 그 변형을 나타낸다. 도 1은 일시 보관 시스템(2)의 격자 형상의 주행 레일(4)과, 버퍼(6), 및 로컬 대차(8)를 나타낸다. 격자 형상으로 로컬 대차(8)가 종횡으로 주행할 수 있는 격자 형상의 주행 레일(4)의 하방에 버퍼(6)가 마련되고, 반도체 웨이퍼를 수납하는 FOUP 등의 카세트(50)를 일시 보관한다. 격자 형상의 주행 레일(4)을 도시하지 않은 지지 기둥에 의해, 예를 들면 클린룸의 천장에 지지시키고, 지지 기둥(20)에 의해 버퍼(6)를 격자 형상의 주행 레일(4)에 지지시킨다.
도 2는 격자 형상의 주행 레일(4)의 구조를 나타낸다. 횡방향의 C 자 형상의 주행 레일(9)에는 홈 형상의 가이드(10)가 마련되고, 종방향의 C 자 형상의 주행 레일(11)에는 홈 형상의 가이드(12)가 마련되고, 주행 레일(9, 11)이 종횡으로 접속되어 격자 형상의 주행 레일(4)을 구성한다. 가이드(10, 12)가 크로스하는 위치가 크로스 포인트(14)로, 로컬 대차의 차륜(32)(도 1 참조)이 통과할 수 있으며, 주행 레일(9, 11)에 의해 셀(16)이 구획되어 있다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 버퍼(6)에서의 셀(16)의 하방의 스페이스를 버퍼 셀(22)이라고 하고, 예를 들면 버퍼 셀(22)마다 카세트(50)를 1 개씩 수납하고, 셀(16)을 통과시키도록 카세트(50)를 출납한다. 또한 카세트(50)는 전면(前面)에 덮개(52)를 구비하고, 카세트(50)에는 전후의 방향이 있다. 또한 도 1에 나타내는 바와 같이, 로컬 대차(8)는 주행부(24)와 이동 재치부(26)를 구비하고, 셀 2 개 분의 사이즈이다. 또한 버퍼 셀(22)당 카세트(50)의 수납 개수를 2 개, 4 개 등으로 해도 된다.
도 2의 격자 형상의 주행 레일(4)에서는 인접한 셀(16, 16)을 2 대의 로컬 대차(8, 8)가 동시에 주행할 수는 없다. 인접한 셀(16, 16)을 2 대의 로컬 대차(8, 8)가 동시에 주행할 수 있도록 한 격자 형상의 주행 레일(17)을 도 3에 나타낸다. 18은 횡방향의 주행 레일로, 2 개의 가이드(10, 10)를 구비하고, 19는 종방향의 주행 레일로, 2 개의 가이드(12, 12)를 구비하고 있다. 분리대(21)는 가이드(10, 10), 가이드(12, 12)를 분리하고, 분리대(21)의 형상은 좁고 긴 돌출부이다.
도 1, 도 4, 도 5에 로컬 대차(8)의 구조를 나타낸다. 셀 1 개분의 사이즈의 주행부(24)에 의해, 인접하는 셀 상으로 연장되는 이동 재치부(26)가 지지되어 있다. 주행부(24)의 4 변에 각각 복수의 차륜(32)이 마련되고, 셀(16)의 4 변의 가이드(10, 10, 12, 12)에 의해 가이드되고, 또한 주행 모터(34)에 의해 구동된다. 또한 차륜(32)과 주행 모터(34) 등을 전체로서 주행 유닛(35)이라 하고, 셀(16)의 4 변 상에 4 개의 주행 유닛(35)이 있다. 팬터그래프 혹은 캠 등으로 이루어지는 상하 이동 기구(28, 30)에 의해, 차륜(32)과 주행 모터(34) 등을 상하로 이동시키고, 주행부(24)에서는 차륜(32)이 가이드(10, 10) 혹은 가이드(12, 12)에 선택적으로 접촉하고, 주행부(24)는 종횡으로 주행한다. 또한, 차륜(32) 이외의 가이드 롤러를 주행부(24)에 추가해도 된다. 주행부(24)는, 예를 들면 저면의 4 모서리에 센서(36)(교차부 센서)를 구비하여 크로스 포인트(14)를 검출하고, 셀(16)의 중심과 주행부(24)의 중심이 상하로 중첩되는 위치에서 정지할 수 있도록 한다. 또한, 바코드 리더(38)(마크 검출 센서)를 주행부(24)의 저면의 예를 들면 4 둘레에 마련하여, 주행 레일(9, 11)에 배치한 바코드를 판독할 수 있도록 한다. 이 바코드는 후술하는 로드 포트(54)에 대한 정지 위치에 장착되고, 자기 마크, 광학 마크, 리니어 스케일 등이어도 되며, 그 경우, 바코드 리더(38) 대신에 마크에 따른 센서를 마련한다.
이동 재치부(26)는 슬라이드 포크(40)를 구비하고, 41은 고정의 베이스부, 42는 미들부, 43은 탑부이다. 탑부(43)는 베이스부(41)에 대하여, 예를 들면 셀(16)의 1 변의 길이에 상당하는 스트로크로 이동 재치부(26)의 양측으로 진출할 수 있으며, 슬라이드 포크(40)를 신장한 상태를 도 5에 나타낸다. 슬라이드 포크(40) 대신에, 스칼라 암 등의 수평 방향으로 진퇴하는 암을 이용해도 된다. 슬라이드 포크(40)의 탑부(43)의 하부에 턴테이블(44)이 마련되고, 승강 장치(45)와 승강대(46) 및 카세트(50)를 예를 들면 180˚ 회동시켜, 카세트(50)의 방향을 조정한다. 승강 장치(45)는 턴테이블(44)의 하부에 장착되고, 벨트 혹은 로프 혹은 와이어 등에 의해 승강대(46)를 승강시키고, 카세트(50)의 플랜지(51)를 척하고, 버퍼 셀(22) 등과의 사이에서 이동 재치한다. 47, 48은 룩 다운 센서로, 도 6, 도 7의 로드 포트(54)와의 사이에서 카세트(50)를 이동 재치할 시, 로드 포트(54) 부근의 사람 등의 간섭물을 검출한다. 룩 다운 센서(47, 48)는 예를 들면 탑부(43)의 길이 방향의 양 단부 부근에 마련하여, 승강대(46)에 척되어 있는 카세트(50)에 방해받지 않고 하방을 검출할 수 있도록 한다.
룩 다운 센서(47, 48) 이외에, 버퍼(22) 등에서의 카세트의 유무를 검출하는 센서, 혹은 카세트(50)의 ID 등을 읽어내는 ID 리더 등을 마련해도 된다. 또한 로컬 대차(8)는 주행하면서 슬라이드 포크(40)를 진출시킬 수 있다. 이 때문에, 도 6, 도 7에 나타내는 천장 주행차(56)로부터 하강하고 있는 승강대 등과 간섭할 우려가 있다. 따라서, 이러한 간섭물을 검출하는 센서를 마련해도 된다. 또한 49는 카운터 웨이트로, 이동 재치부(26)로부터 차륜(32)에 가해지는 힘의 모멘트를 상쇄하고, 로컬 대차의 중심이 복수의 차륜(32)으로 둘러싸이는 범위 내로 유지되도록 한다.
도 6은 실시예에서의 일시 보관 시스템(2)과 천장 주행차 시스템(57)의 배치를 나타낸다. 격자 형상의 주행 레일(4)의 하부에 도시하지 않은 처리 장치가 배치되고, 처리 장치의 로드 포트(54)가 평면에서 봤을 때 격자 형상의 주행 레일(4)로부터 돌출되고, 로드 포트(54)의 상부를 천장 주행차 시스템(57)의 주행 레일(58)이 통과하고 있다. 또한 실제의 격자 형상의 주행 레일(4)은 도 6보다 셀의 수가 많고, 격자 형상의 주행 레일(4)의 하부에 처리 장치를 배치할 수 있는 것으로 한다. 격자 형상의 주행 레일(4)을 따라 로컬 대차(8)가 종횡으로 주행하고, 로컬 대차(8)는 종횡으로 주행할 수 있지만 회전 및 주회 주행 등은 할 수 없어 그 자세는 일정한 상태이다. 로컬 대차(8)는, 격자 형상의 주행 레일(4)의 하부의 버퍼 셀(22)과의 사이에서의 카세트의 전달을 행할 시에는 슬라이드 포크를 신장시키지 않고, 이동 재치부(26)의 직하의 버퍼 셀(22)과 전달한다. 로드 포트(54)는 격자 형상의 주행 레일(4)과는 독립하여 배치되어 있으므로, 로컬 대차(8)는 이동 재치부(26)가 로드 포트(54)에 면하는 위치에서 정지하여 슬라이드 포크를 신장시켜 카세트를 전달하거나, 혹은 이동 재치부(26)를 격자 형상의 주행 레일(4)로부터 로드 포트(54) 상으로 돌출시켜 이동 재치한다.
도 7은 변형예에서의 일시 보관 시스템(2)과 처리 장치(53) 및 천장 주행차 시스템(60)의 배치를 나타낸다. 천장 주행차 시스템(60)의 주행 루트(61)는, 일시 보관 시스템(2)의 부근에서, 메인 루트(62)와 바이패스 루트(63)로 분기한 후에 합류한다. 그리고 격자 형상의 주행 레일(4)은 처리 장치(53)의 상부에서 루트(62, 63)에 개재되는 위치에 마련되고, 슬라이드 포크(40)를 진출시킴으로써 로컬 대차(8)는 루트(62, 63)의 하방의 위치와의 사이에서 카세트(50)를 이동 재치할 수 있다. 메인 루트(62)의 하부로 또한 평면에서 봤을 때 격자 형상의 주행 레일(4)의 개구와 중첩되지 않는 위치에, 처리 장치(53)는 로드 포트(54)를 구비하고 있다. 바이패스 루트(63)의 하부로 예를 들면 처리 장치(53)의 상부의 위치에 일시 보관 시스템(2)은 중간 버퍼(64)를 구비하고, 천장 주행차(56)와 로컬 대차(8) 사이의 버퍼로 한다. 여기서 중간 버퍼(64)의 상부에는 주행 레일(4)을 마련하지 않고, 천장 주행차(56)에 의한 이동 재치가 주행 레일(4)과 간섭하지 않도록 하는 것이 바람직하다. 66은 일시 보관 시스템(2)의 컨트롤러, 68은 천장 주행차 시스템(60)의 컨트롤러로, 컨트롤러(66, 68) 간의 통신에 의해 천장 주행차(56)의 이동 재치 동작과 로컬 대차(8)에서의 슬라이드 포크(40)의 진출 간의 간섭 등을 방지한다. 도시하지 않은 주행 레일로 이루어지는 루트(62, 63)는 천장 부근의 가장 높은 높이에 있으며, 격자 형상의 주행 레일(4)과 버퍼(6) 및 중간 버퍼(64)는 처리 장치(53)의 상부의 중간의 높이에 있다. 로컬 대차(8)는 천장 주행차(56)보다 낮은 높이를 주행하지만, 동일한 높이여도 되며, 로드 포트(54)는 작업자가 액세스 가능한 가장 낮은 높이에 있다.
도 8은 로컬 대차(8)의 기상(機上) 컨트롤러에 의한 제어 알고리즘을 나타낸다. 로컬 대차(8)는 컨트롤러(66)로부터 지령을 수신하고, 예를 들면 이 때, 슬라이드 포크를 진출시켜도 되는 범위의 데이터도 수신한다(단계 S1). 이 데이터는 로컬 대차의 위치(주행부(24)의 위치를 셀(16)의 번호로 나타내는 것)마다 슬라이드 포크의 진출 가능한 거리의 데이터로 이루어진다. 로컬 대차(8)는 컨트롤러(66)로부터 지시받은 경로를 따라 주행하고(단계 S2), 이와 동시에 슬라이드 포크(40)를 허가된 범위 내에서 진출시킨다(단계 S3). 또한 카세트의 방향이 부적당한 경우(단계 S4), 주행 중에 턴테이블(44)을 회전시켜 카세트의 방향을 조정한다(단계 S5). 그리고 목적지에 도착하도록 주행하는 것과 병행하여, 슬라이드 포크를 진출시키고 또한 카세트의 방향을 조정한다(단계 S6).
목적의 셀에 도착하고, 필요에 따라 슬라이드 포크를 진출시키고, 또한 카세트의 방향이 조정되어 있으면, 이동 재치의 준비가 완료되어 있는 것이 된다.
그 후 승강대를 하강시키고(단계 S7), 척을 동작시켜 카세트를 척하거나 또는 척을 해제하고(단계 S8), 승강대를 상승시킨다(단계 S9). 이와 같이 하여, 버퍼(6)의 버퍼 셀(22), 혹은 로드 포트(54), 혹은 중간 버퍼(64)와의 사이에서 카세트를 이동 재치한다. 이동 재치 후의 주행처 등의 지령을 수신하고 있지 않은 경우에는, 다음의 주행처 등의 지령을 수신하고, 주행 중에 슬라이드 포크를 진출시켜도 되는 범위의 데이터를 수신한다(단계 S10). 그리고 주행(단계 S11)과 동시에, 슬라이드 포크의 진퇴(단계 S12), 및 필요에 따른 카세트의 회전(단계 S13)을 행하고, 단계 S6 ~ 단계 S9와 동일한 처리를 행한다. 예를 들면 슬라이드 포크를 진출시킨 위치에서 이동 재치를 행하고, 다음의 목적지에서 슬라이드 포크를 역방향으로 진출시킬 필요가 있는 경우, 주행 중에 슬라이드 포크를 역방향으로 진출시킨다.
로컬 대차(8)의 정지 제어에 대하여 설명한다. 로컬 대차(8)는 센서(36)에 의해 셀(16)의 4 모서리의 크로스 포인트(14)를 검출하고, 센서(36)가 크로스 포인트(14)를 검출하고 있는 위치에서 정지하면, 주행부(24)는 셀(16)의 직상부 등에서 정지할 수 있다. 또한 중간 버퍼(64)는 격자 형상의 주행 레일(4)에 의해 지지되어 있으므로, 버퍼 셀(22) 및 중간 버퍼(64) 간의 이동 재치에서도, 격자 형상의 주행 레일(4)의 1 개의 셀(16)의 직상부에 주행부(24)가 정지한다. 로드 포트(54)와 격자 형상의 주행 레일(4)의 셀(16)과의 위치를 일치시키는 것은 어려우므로, 로컬 대차(8)는 로드 포트(54)와의 이동 재치 시에, 로드 포트(54)에 따라 셀(16)의 중심과는 상이한 위치에 정지한다. 이 때문에, 셀(16)의 4 둘레의 주행 레일(9, 11)에 정지 위치를 나타내는 바코드 혹은 광학적 마크 혹은 자기 마크 혹은 리니어 센서용의 스케일 등을 장착한다. 그리고, 바코드 리더(38) 등의 마크 검출 센서가 바코드 등의 마크에 의해 지시를 받는 위치에서 정지하면, 로드 포트(54)와의 이동 재치에 적합한 위치에 정지할 수 있다.
로컬 대차(8)와 천장 주행차(56)와의 간섭 회피에 대하여 설명한다. 동일한 로드 포트(54)에 혹은 동일한 중간 버퍼(64)에, 로컬 대차(8)와 천장 주행차(56)가 동시에 이동 재치를 시도하면 간섭이 발생한다. 따라서 배타 제어를 행하기 위하여, 로드 포트(54) 혹은 중간 버퍼(64)측의 단말에 로컬 대차(8) 및 천장 주행차(56)는 이동 재치의 허가를 요구하고, 허가 후에 이동 재치한다. 천장 주행차(56)는 주행 중에 승강대를 횡이동시키지 않고 또한 승강대를 승강시키지도 않는다. 그러나 천장 주행차(56)가 정지하여 승강대를 승강 중에 로컬 대차(8)가 슬라이드 포크를 루트(62, 63)측으로 진출시키면, 간섭이 발생할 수 있다. 따라서 컨트롤러(66, 68) 간의 통신에 의해, 혹은 로컬 대차(8)에 마련한 센서 등에 의해, 슬라이드 포크의 진출 가능한 범위를 결정한다.
실시예의 로컬 대차(8)는, 주행부(24)와 이동 재치부(26)에서 적어도 2 개분의 셀(16, 16)을 필요로 한다. 1 개의 셀(16)을 크게 함으로써, 주행부(72)의 상부에 슬라이드 포크(40)를 배치한 로컬 대차(70)를 도 9에 나타낸다. 주행부(72)는 복수의 차륜(32)과 그 구동용의 주행 모터, 및 이들의 상하 이동 기구를 구비하고, 지지 기둥(74)에 의해 이동 재치부(26)를 지지하고 있다. 이동 재치 시에 카세트가 상하 이동 기구(28) 등을 넘어갈 필요가 있으므로, 로컬 대차(70)는 높이가 증가한다. 도 9의 쇄선으로 슬라이드 포크(40)를 신장한 상태를 나타낸다.
실시예의 반송 시스템 및 일시 보관 시스템(2)의 운용에 대하여 설명한다.
1) 천장 주행차 시스템(60)은 메인 루트(62)와 바이패스 루트(63)를 가지고, 천장 주행차(56)는 로드 포트(54)와 중간 버퍼(64)에 액세스할 수 있다. 이 때문에 카세트의 이동 재치를 위하여 천장 주행차가 정지하고 있어도, 후속의 천장 주행차는 타방의 루트를 주행하여 우회할 수 있다. 또한 루트(62, 63)의 일방을 통상 반송용으로, 타방을 긴급 반송 등의 비통상형의 반송용으로 할당하면, 비통상형의 반송에서는 천장 주행차가 추월을 할 수 있다.
2) 처리 장치(53) 상의 넓은 스페이스에 격자 형상의 주행 레일(4)을 배치할 수 있다. 로컬 대차(8)는 격자 형상의 주행 레일(4) 상을 종횡으로 주행할 수 있고, 예를 들면 종방향으로 셀 5개분의 주행 레일에서는, 3 대의 로컬 대차(8)가 평행하게 횡방향으로 이동할 수 있다. 로컬 대차(8)는 셀(16) 단위로 주행 방향을 변경할 수 있으므로, 목적지까지의 주행 경로를 자유롭게 선택할 수 있다. 이 때문에 주회 주행과는 달리, 다른 로컬 대차를 추월하도록 우회하여, 다른 로컬 대차가 작업을 끝내는 것을 기다리지 않고 목적의 셀(16)까지 이동할 수 있다. 그리고 각 셀(16)마다 카세트를 1 개 이상 보관할 수 있으므로, 카세트를 보관할 수 있는 용량이 크다. 이 때문에 대용량으로 신속하게 카세트를 반출입할 수 있는 일시 보관 시스템(2)이 얻어진다.
3) 주행부(24)로부터 인접하는 셀 상으로 돌출되도록 이동 재치부(26)를 마련한다. 그리고 슬라이드 포크(40)에 의해, 로컬 대차(8)는 1 개의 정지 위치로부터 3 개의 위치에 대하여 카세트(50)를 이동 재치할 수 있다. 이 때문에, 로드 포트(54) 및 중간 버퍼(64)의 상부에는 격자 형상의 주행 레일(4)을 마련할 필요가 없다. 또한 목적의 셀과의 사이에서 카세트를 이동 재치할 수 있는 정지 위치가 원칙으로서 3 개소가 되므로, 로컬 대차(8)는 주행 경로를 유연하게 선택할 수 있다.
4) 로컬 대차(8)는 주행과 동시에 슬라이드 포크(40)의 진퇴 및 카세트(50)의 회전을 할 수 있다. 주행 거리가 짧으므로 주행과 슬라이드 포크의 진퇴는 동일 정도의 시간을 요하고, 이들을 동시에 행할 수 있으므로 반송의 사이클 타임을 단축할 수 있다.
2 : 일시 보관 시스템
4, 17 : 격자 형상의 주행 레일
6 : 버퍼
8 : 로컬 대차
9, 11 : 주행 레일
10, 12 : 가이드
14 : 크로스 포인트
16 : 셀
18, 19 : 주행 레일
20 : 지지 기둥
21 : 분리대
22 : 버퍼 셀
24 : 주행부
26 : 이동 재치부
28, 30 : 상하 이동 기구
32 : 차륜
34 : 주행 모터
35 : 주행 유닛
36 : 센서
38 : 바코드 리더
40 : 슬라이드 포크
41 : 베이스부
42 : 미들부
43 : 탑부
44 : 턴테이블
45 : 승강 장치
46 : 승강대
47, 48 : 룩 다운 센서
49 : 카운터 웨이트
50 : 카세트
51 : 플랜지
52 : 덮개
53 : 처리 장치
54 : 로드 포트
56 : 천장 주행차
57 : 천장 주행차 시스템
58 : 주행 루트
60 : 천장 주행차 시스템
61 : 주행 루트
62 : 메인 루트
63 : 바이패스 루트
64 : 중간 버퍼
66, 68 : 컨트롤러
70 : 로컬 대차
72 : 주행부
74 : 지지 기둥

Claims (9)

  1. 천장 주행차와 처리 장치의 로드 포트와의 사이에서 물품을 일시 보관하는 일시 보관 시스템으로서,
    처리 장치의 상부이며 또한 로드 포트의 직상부를 제외한 위치에, 종방향의 레일과 횡방향의 레일이 물품을 통과할 수 있는 개구가 형성되도록 간격을 두고 배치되는 주행 레일과,
    상기 주행 레일의 개구의 하부에 마련되는 버퍼와,
    상기 주행 레일의 상부를 주행하는 주행부와 주행부에 의해 지지되는 이동 재치부를 구비하는 로컬 대차로 이루어지고,
    상기 주행부는 종방향으로 주행하기 위한 주행 유닛과 횡방향으로 주행하기 위한 주행 유닛과 종횡 어느 하나의 주행 유닛을 상기 주행 레일에 지지되는 위치로 선택적으로 진출시키는 출퇴 기구를 구비하여, 상기 주행 레일 상을 종횡으로 주행 가능하게 구성되고,
    상기 이동 재치부는 물품을 승강시키는 호이스트와 이 호이스트를 횡방향으로 이동시키는 호이스트 이동부를 구비하고,
    상기 로컬 대차는 로드 포트에 대응하는 위치에 정지하고 호이스트 이동부를 로드 포트측으로 진출시킴으로써, 로드 포트에 대하여 물품을 이동 재치하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는, 일시 보관 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 로컬 대차는 상기 주행 레일 상의 주행과 병행하여, 상기 호이스트 이동부에 의해 호이스트를 이동시키도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는, 일시 보관 시스템.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 로컬 대차는,
    종방향의 레일과 횡방향의 레일과의 교차부를 검출하는 교차부 센서와,
    종방향의 레일 또는 횡방향의 레일에 마련되고 또한 정지 위치를 지시하는 마크를 판독하는 마크 검출 센서를 구비하고,
    상기 로컬 대차는,
    교차부를 교차부 센서가 검출하는 위치에서 정지함으로써, 이동 재치부가 목적의 개구의 직상부에 위치하고,
    또한 마크 검출 센서가 판독한 마크에 의해 지시를 받는 위치에 정지함으로써, 이동 재치부가 로드 포트에 대응하는 위치에 위치하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는, 일시 보관 시스템.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 주행 레일은, 평면에서 봤을 때 주행 레일에 관하여 로드 포트와는 반대측이며 또한 상기 주행 레일의 직하를 제외한 위치에, 천장 주행차와 로컬 대차가 모두 물품을 이동 재치 가능한 중간 버퍼를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는, 일시 보관 시스템.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 이동 재치부는 상기 호이스트 이동부에 지지되고 또한 상기 호이스트를 회전시키는 턴테이블을 더 구비하는 것을 특징으로 하는, 일시 보관 시스템.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 호이스트 이동부는 이동 재치부의 직하 및 상기 호이스트가 이동하는 횡방향을 따라 이동 재치부의 양측의 3 위치에 대하여, 물품을 이동 재치 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는, 일시 보관 시스템.
  7. 제 4 항의 일시 보관 시스템과 천장 주행차와 천장 주행차의 주행 레일로 이루어지고,
    천장 주행차의 주행 레일은, 공통의 주행 레일로부터, 로드 포트의 직상부를 통과하는 주행 레일과 중간 버퍼의 직상부를 지나는 주행 레일로 분기한 후에 합류하도록 구성되어 있는, 반송 시스템.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 출퇴 기구는 종횡의 적어도 어느 하나의 주행 유닛을 승강시키도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는, 반송 시스템.
  9. 제 1 항 또는 제 2 항의 일시 보관 시스템을 구비하고,
    로컬 대차에 의해 로드 포트와 버퍼와의 사이에서 물품을 반송하고 또한 버퍼에 물품을 일시 보관하는, 일시 보관 방법.
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