JP2001213588A - 天井走行搬送装置 - Google Patents
天井走行搬送装置Info
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- JP2001213588A JP2001213588A JP2000380705A JP2000380705A JP2001213588A JP 2001213588 A JP2001213588 A JP 2001213588A JP 2000380705 A JP2000380705 A JP 2000380705A JP 2000380705 A JP2000380705 A JP 2000380705A JP 2001213588 A JP2001213588 A JP 2001213588A
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 搬送物を半導体製造装置のロードポートへ吊
り下げる際に、搬送物が人や不用意に置かれた物などの
障害物と接触する前にこれを検知して避ける対策を、安
価に講じることができる天井走行搬送装置の提供を課題
とする。 【解決手段】 ホイスト付台車３と各半導体製造装置７
のロードポート８との間の昇降経路を光探索して障害物
２１の有無を検知する障害物検知センサ２２を、各半導
体製造装置７よりも台数の少ないホイスト付台車３側に
設け、障害物検知センサ２２が、該障害物検知センサ２
２の下方に向かってかつホイスト付台車３の走行方向に
幅広い監視範囲を有する構成を採用した。
り下げる際に、搬送物が人や不用意に置かれた物などの
障害物と接触する前にこれを検知して避ける対策を、安
価に講じることができる天井走行搬送装置の提供を課題
とする。 【解決手段】 ホイスト付台車３と各半導体製造装置７
のロードポート８との間の昇降経路を光探索して障害物
２１の有無を検知する障害物検知センサ２２を、各半導
体製造装置７よりも台数の少ないホイスト付台車３側に
設け、障害物検知センサ２２が、該障害物検知センサ２
２の下方に向かってかつホイスト付台車３の走行方向に
幅広い監視範囲を有する構成を採用した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、天井に配設された
軌道を走行し、搬送物を吊り下げ状態でクリーンルーム
内等に配置された各半導体製造装置間で搬送する天井走
行搬送装置に関するものである。
軌道を走行し、搬送物を吊り下げ状態でクリーンルーム
内等に配置された各半導体製造装置間で搬送する天井走
行搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体デバイスの製造を行う製造設備に
あっては、種々装置間において半導体ウェーハの搬送を
自動的に行う搬送装置が用いられているが、この種の搬
送装置としては、軌道式の搬送装置を用いることが多
い。一般的な軌道式の搬送装置は、天井または床面に設
置された軌道にて搬送台車を走行させるよう構成されて
おり、通常、軌道の側方に各種半導体ウェーハの加工を
行う製造装置を備えている。
あっては、種々装置間において半導体ウェーハの搬送を
自動的に行う搬送装置が用いられているが、この種の搬
送装置としては、軌道式の搬送装置を用いることが多
い。一般的な軌道式の搬送装置は、天井または床面に設
置された軌道にて搬送台車を走行させるよう構成されて
おり、通常、軌道の側方に各種半導体ウェーハの加工を
行う製造装置を備えている。
【０００３】一般に、半導体デバイスは、シリコンなど
の半導体ウエーハが、様々な半導体製造装置（ウエーハ
処理装置、保管装置、作業台、バッファ装置等）の間を
天井走行搬送装置等の搬送により往来して何百工程とい
う工程処理を経て製造される。図６を参照しながら、以
下に説明する。例えば、クリーンルームにおける半導体
製造装置用の天井走行搬送装置においては、図示されな
い天井側の軌道１を走行するホイスト付台車３を用い、
半導体ウェーハ２の入ったウェーハキャリア６を半導体
製造装置７同志の間又は半導体製造装置７とストッカ７
Ａとの間で搬送しながら処理することが行われている。
の半導体ウエーハが、様々な半導体製造装置（ウエーハ
処理装置、保管装置、作業台、バッファ装置等）の間を
天井走行搬送装置等の搬送により往来して何百工程とい
う工程処理を経て製造される。図６を参照しながら、以
下に説明する。例えば、クリーンルームにおける半導体
製造装置用の天井走行搬送装置においては、図示されな
い天井側の軌道１を走行するホイスト付台車３を用い、
半導体ウェーハ２の入ったウェーハキャリア６を半導体
製造装置７同志の間又は半導体製造装置７とストッカ７
Ａとの間で搬送しながら処理することが行われている。
【０００４】同図に示すホイスト付台車３は、軌道１に
沿って走行する走行部３ａ、この走行部３ａに設けられ
たハンド吊り下げ部４により昇降自在に吊り下げられた
ハンド５からなり、半導体製造装置７のロードポート８
に置かれたウェーハキャリア６をハンド５で把持し、ハ
ンド吊り下げ部４がハンド５を上昇させた後、走行部３
ａにより軌道１に沿って走行する構造となっている。と
ころで、前記クリーンルーム内には、同図に示すよう
に、前記天井側に設けられた軌道１に沿って複数の半導
体製造装置７が並設されており、複数のホイスト付台車
３により各半導体製造装置７のロードポート８上からウ
ェーハキャリア６を把持して、他の半導体製造装置７に
搬送するようになっている。
沿って走行する走行部３ａ、この走行部３ａに設けられ
たハンド吊り下げ部４により昇降自在に吊り下げられた
ハンド５からなり、半導体製造装置７のロードポート８
に置かれたウェーハキャリア６をハンド５で把持し、ハ
ンド吊り下げ部４がハンド５を上昇させた後、走行部３
ａにより軌道１に沿って走行する構造となっている。と
ころで、前記クリーンルーム内には、同図に示すよう
に、前記天井側に設けられた軌道１に沿って複数の半導
体製造装置７が並設されており、複数のホイスト付台車
３により各半導体製造装置７のロードポート８上からウ
ェーハキャリア６を把持して、他の半導体製造装置７に
搬送するようになっている。
【０００５】上記説明の天井走行搬送装置による半導体
ウェーハ２の搬送は、以下のように行われる。まず、軌
道１に沿ってホイスト付台車３を走行させ、これから搬
送を行うウェーハキャリア６のあるロードポート８の上
方にて停止させる。そして、ハンド吊り下げ部４を巻下
げてハンド５を下降させ、該ハンド５によってウェーハ
キャリア６を保持する。そして、ハンド吊り下げ部４を
巻き上げてウェーハキャリア６をロードポート８から取
り上げ、最上位高さに巻き上げた後、再びホイスト付台
車３は走行を開始する。
ウェーハ２の搬送は、以下のように行われる。まず、軌
道１に沿ってホイスト付台車３を走行させ、これから搬
送を行うウェーハキャリア６のあるロードポート８の上
方にて停止させる。そして、ハンド吊り下げ部４を巻下
げてハンド５を下降させ、該ハンド５によってウェーハ
キャリア６を保持する。そして、ハンド吊り下げ部４を
巻き上げてウェーハキャリア６をロードポート８から取
り上げ、最上位高さに巻き上げた後、再びホイスト付台
車３は走行を開始する。
【０００６】そして、次工程を行う他の半導体製造装置
７やストッカ７Ａのロードポート８などの上方にて停止
する。ハンド吊り下げ部４を巻下げてハンド５を下降さ
せ、このロードポート８上にウェーハキャリア６が完全
に載置された後、ハンド５はウェーハキャリア６を放し
てハンド吊り下げ部４の巻き上げとともに上昇し、次の
搬送作業へと移る。
７やストッカ７Ａのロードポート８などの上方にて停止
する。ハンド吊り下げ部４を巻下げてハンド５を下降さ
せ、このロードポート８上にウェーハキャリア６が完全
に載置された後、ハンド５はウェーハキャリア６を放し
てハンド吊り下げ部４の巻き上げとともに上昇し、次の
搬送作業へと移る。
【０００７】ところで、天井走行搬送装置は、ウェーハ
キャリア６等の搬送物をロードポート８上で上げ下げす
る関係上、搬送物の落下や、搬送物の吊り下げ時におけ
る、人や不用意に置かれた物などの障害物（図示せず）
との接触などの不具合を避けるために、様々な対策が検
討されている。
キャリア６等の搬送物をロードポート８上で上げ下げす
る関係上、搬送物の落下や、搬送物の吊り下げ時におけ
る、人や不用意に置かれた物などの障害物（図示せず）
との接触などの不具合を避けるために、様々な対策が検
討されている。
【０００８】この従来の対策案の例について、図７から
図１０を参照しながら、以下に説明する。これら対策案
は、Ｊ３００（Ｊａｐａｎ ３００ｍｍ Ｓｅｍｉｃｏ
ｎｄｕｃｔｏｒ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｃｏｎｆｅｒ
ｅｎｃｅ）とＩ３００Ｉ（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ
３００ｍｍ Ｉｎｉｔｉａｔｉｖｅ）とのジョイント
ガイダンスで発表されたものである。なお、図６に説明
したものと同一構成要素には、同一符号を付し、その説
明を省略する。
図１０を参照しながら、以下に説明する。これら対策案
は、Ｊ３００（Ｊａｐａｎ ３００ｍｍ Ｓｅｍｉｃｏ
ｎｄｕｃｔｏｒ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｃｏｎｆｅｒ
ｅｎｃｅ）とＩ３００Ｉ（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ
３００ｍｍ Ｉｎｉｔｉａｔｉｖｅ）とのジョイント
ガイダンスで発表されたものである。なお、図６に説明
したものと同一構成要素には、同一符号を付し、その説
明を省略する。
【０００９】図７は、非常停止スイッチ９を半導体製造
装置７の近傍（例えば、この図では、ロードポート８の
上面）に設け、不具合が発生する前、または発生後に図
示されない運転者がこれを押すことで、ハンド５やウェ
ーハキャリア６の昇降動作を停止させるものである。な
お、説明のために、以降、この案を対策案Ａと呼ぶ。図
８は、ロードポート８の手前側に、光センサによる光の
カーテン１０を巡らせ、人などの障害物がこの光のカー
テン１０を遮った場合に、半導体製造装置７が異常を検
知してウェーハキャリア６の昇降動作を停止させるもの
である。なお、説明のために、以降、この案を対策案Ｂ
と呼ぶ。
装置７の近傍（例えば、この図では、ロードポート８の
上面）に設け、不具合が発生する前、または発生後に図
示されない運転者がこれを押すことで、ハンド５やウェ
ーハキャリア６の昇降動作を停止させるものである。な
お、説明のために、以降、この案を対策案Ａと呼ぶ。図
８は、ロードポート８の手前側に、光センサによる光の
カーテン１０を巡らせ、人などの障害物がこの光のカー
テン１０を遮った場合に、半導体製造装置７が異常を検
知してウェーハキャリア６の昇降動作を停止させるもの
である。なお、説明のために、以降、この案を対策案Ｂ
と呼ぶ。
【００１０】図９は、ロードポート８の上部に壁部１１
と手動扉１２とを設けて、ロードポート８の上方の空間
を覆ったものである。メンテナンスなどのためにロード
ポート８内にアクセスする必要がある場合には、手動扉
１２を手動で開いて行うが、この手動扉１２には、その
開状態を感知するセンサー１３が設けられており、手動
扉１２が開かれた状態では、センサー１３が感知してウ
ェーハキャリア６の昇降動作を停止させるものである。
なお、説明のために、以降、この案を対策案Ｃと呼ぶ。
図１０は、対策案Ｃにおける手動扉１２の代わりに、自
動的に開閉する自動扉１４を設けたものである。この案
においても、対策案Ｃと同様にセンサー１３が設けられ
ている。なお、説明のために、以降、この案を対策案Ｄ
と呼ぶ。
と手動扉１２とを設けて、ロードポート８の上方の空間
を覆ったものである。メンテナンスなどのためにロード
ポート８内にアクセスする必要がある場合には、手動扉
１２を手動で開いて行うが、この手動扉１２には、その
開状態を感知するセンサー１３が設けられており、手動
扉１２が開かれた状態では、センサー１３が感知してウ
ェーハキャリア６の昇降動作を停止させるものである。
なお、説明のために、以降、この案を対策案Ｃと呼ぶ。
図１０は、対策案Ｃにおける手動扉１２の代わりに、自
動的に開閉する自動扉１４を設けたものである。この案
においても、対策案Ｃと同様にセンサー１３が設けられ
ている。なお、説明のために、以降、この案を対策案Ｄ
と呼ぶ。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記説明の
従来の対策案Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄは、以下のような問題を有
しているため、現実的なものではなかった。すなわち、
対策案Ａは、多数有る各半導体製造装置７の全てを前記
運転者が監視していなければならず、この運転者の咄嗟
の判断を必要とすることから、常時適切に対応できるも
のではなかった。また、対策案Ｂ、Ｃ、Ｄは、多数（一
般的には、３００台〜４００台。ちなみに、この場合の
ホイスト付台車３は、数十台程度）有る半導体製造装置
７の各ロードポート８（一般的には、１台あたり２〜４
個）全てに対応するには、１０００箇所以上に対策を講
じる必要があり、半導体製造装置７の製造コストや保守
費用が高くなるという問題を起こすことになる。
従来の対策案Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄは、以下のような問題を有
しているため、現実的なものではなかった。すなわち、
対策案Ａは、多数有る各半導体製造装置７の全てを前記
運転者が監視していなければならず、この運転者の咄嗟
の判断を必要とすることから、常時適切に対応できるも
のではなかった。また、対策案Ｂ、Ｃ、Ｄは、多数（一
般的には、３００台〜４００台。ちなみに、この場合の
ホイスト付台車３は、数十台程度）有る半導体製造装置
７の各ロードポート８（一般的には、１台あたり２〜４
個）全てに対応するには、１０００箇所以上に対策を講
じる必要があり、半導体製造装置７の製造コストや保守
費用が高くなるという問題を起こすことになる。
【００１２】本発明は、上記事情を鑑みてなされたもの
であって、下記をその目的としている。すなわち、吊り
下げ時の搬送物が、人や不用意に置かれた物などの障害
物と接触する前にこれを検知してこれを避ける対策を、
安価に講じることができる天井走行搬送装置の提供を目
的とする。
であって、下記をその目的としている。すなわち、吊り
下げ時の搬送物が、人や不用意に置かれた物などの障害
物と接触する前にこれを検知してこれを避ける対策を、
安価に講じることができる天井走行搬送装置の提供を目
的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明の天井走行搬送装
置は、上記課題を解決するために以下の手段を採用し
た。すなわち、請求項１記載の天井走行搬送装置は、天
井に設置された軌道と、該軌道に沿って走行するホイス
ト付台車とを備えた天井走行搬送装置において、前記ホ
イスト付台車と各製造装置のロードポートとの間の昇降
経路を光探索して障害物の有無を検知する障害物検知セ
ンサを、前記各製造装置よりも台数の少ない前記ホイス
ト付台車側に設け、前記障害物検知センサが、該障害物
検知センサの下方に向かってかつ前記ホイスト付台車の
走行方向に幅広い監視範囲を有することを特徴とする。
置は、上記課題を解決するために以下の手段を採用し
た。すなわち、請求項１記載の天井走行搬送装置は、天
井に設置された軌道と、該軌道に沿って走行するホイス
ト付台車とを備えた天井走行搬送装置において、前記ホ
イスト付台車と各製造装置のロードポートとの間の昇降
経路を光探索して障害物の有無を検知する障害物検知セ
ンサを、前記各製造装置よりも台数の少ない前記ホイス
ト付台車側に設け、前記障害物検知センサが、該障害物
検知センサの下方に向かってかつ前記ホイスト付台車の
走行方向に幅広い監視範囲を有することを特徴とする。
【００１４】また、請求項２記載の天井走行搬送装置
は、請求項１記載の天井走行搬送装置において、前記監
視範囲が、前記障害物検知センサを中心とする扇型形状
のスキャン範囲をスキャンするとともに、該スキャン範
囲を２枚の互いに平行な鉛直方向仮想平面で区切って形
成した略五角形状の光の膜であることを特徴とする。ま
た、請求項３記載の天井走行搬送装置は、請求項１記載
の天井走行搬送装置において、前記障害物検知センサ
が、網目状の検出エリアを持ち、光学的三角測距離検出
により前記障害物の検知を行う一対のセンサであり、前
記監視範囲が、一定間隔を置いて設けられた前記一対の
センサによる光の膜として形成されることを特徴とす
る。
は、請求項１記載の天井走行搬送装置において、前記監
視範囲が、前記障害物検知センサを中心とする扇型形状
のスキャン範囲をスキャンするとともに、該スキャン範
囲を２枚の互いに平行な鉛直方向仮想平面で区切って形
成した略五角形状の光の膜であることを特徴とする。ま
た、請求項３記載の天井走行搬送装置は、請求項１記載
の天井走行搬送装置において、前記障害物検知センサ
が、網目状の検出エリアを持ち、光学的三角測距離検出
により前記障害物の検知を行う一対のセンサであり、前
記監視範囲が、一定間隔を置いて設けられた前記一対の
センサによる光の膜として形成されることを特徴とす
る。
【００１５】また、請求項４記載の天井走行搬送装置
は、請求項１記載の天井走行搬送装置において、前記障
害物検知センサが、反射光量を見る反射型であり、前記
監視範囲が、発光及び受光範囲が下方に向かって広い放
物線外形の光の膜として形成されることを特徴とする。
また、請求項５記載の天井走行搬送装置は、請求項１記
載の天井走行搬送装置において、前記障害物検知センサ
が、前記ロードポート上、または平面視して前記ロード
ポートに隣接する床面上に設けられたリフレクタ反射板
上の検出エリアに光を照射すると共に該検出エリアから
の反射光を受光する回帰反射型であり、前記監視範囲
が、下方に向かって三角形状に広がる光の膜として形成
されることを特徴とする。
は、請求項１記載の天井走行搬送装置において、前記障
害物検知センサが、反射光量を見る反射型であり、前記
監視範囲が、発光及び受光範囲が下方に向かって広い放
物線外形の光の膜として形成されることを特徴とする。
また、請求項５記載の天井走行搬送装置は、請求項１記
載の天井走行搬送装置において、前記障害物検知センサ
が、前記ロードポート上、または平面視して前記ロード
ポートに隣接する床面上に設けられたリフレクタ反射板
上の検出エリアに光を照射すると共に該検出エリアから
の反射光を受光する回帰反射型であり、前記監視範囲
が、下方に向かって三角形状に広がる光の膜として形成
されることを特徴とする。
【００１６】上記請求項１〜５の何れかに記載の天井走
行搬送装置によれば、障害物検知センサにより、ホイス
ト付台車及びロードポート間における障害物の有無が監
視され、障害物を発見した場合には、搬送物がこれと干
渉する前に、搬送物の吊り下げ動作が停止される。この
障害物検知センサは、製造装置よりも台数の少ないホイ
スト付台車側に設けることで、その所要台数が少なくさ
れている。
行搬送装置によれば、障害物検知センサにより、ホイス
ト付台車及びロードポート間における障害物の有無が監
視され、障害物を発見した場合には、搬送物がこれと干
渉する前に、搬送物の吊り下げ動作が停止される。この
障害物検知センサは、製造装置よりも台数の少ないホイ
スト付台車側に設けることで、その所要台数が少なくさ
れている。
【００１７】また、請求項６記載の天井走行搬送装置
は、請求項１〜５の何れかに記載の天井走行搬送装置に
おいて、前記監視範囲が、前記製造装置のロードポート
高さに応じて可変とすることを特徴とする。上記請求項
６記載の天井走行搬送装置によれば、光探索範囲を、各
製造装置毎にそれぞれのロードポートの床面からの高さ
に応じて予め設定しておくことで、異なる高さのロード
ポートを有する製造装置にも適用できる。
は、請求項１〜５の何れかに記載の天井走行搬送装置に
おいて、前記監視範囲が、前記製造装置のロードポート
高さに応じて可変とすることを特徴とする。上記請求項
６記載の天井走行搬送装置によれば、光探索範囲を、各
製造装置毎にそれぞれのロードポートの床面からの高さ
に応じて予め設定しておくことで、異なる高さのロード
ポートを有する製造装置にも適用できる。
【００１８】
【発明の実施の形態】図１を参照しながら、本発明の第
１の実施の形態について以下に説明する。なお、従来の
技術で説明した図６と同一構成要素には、同一符号を付
し、その説明を省略する。本発明の天井走行搬送装置
は、天井に設置された軌道１と、該軌道１に沿って走行
するホイスト付台車３とを備えた天井走行搬送装置にお
いて、ホイスト付台車３が、各半導体製造装置７のロー
ドポート８へのウェーハキャリア６の吊り下げ時におけ
る、当台車３と各半導体製造装置７のロードポート８間
の昇降経路を光探索し、障害物２１の有無を検知する障
害物検知センサ２２を備えていることが従来と特に異な
っているので、この点を中心に説明を行う。
１の実施の形態について以下に説明する。なお、従来の
技術で説明した図６と同一構成要素には、同一符号を付
し、その説明を省略する。本発明の天井走行搬送装置
は、天井に設置された軌道１と、該軌道１に沿って走行
するホイスト付台車３とを備えた天井走行搬送装置にお
いて、ホイスト付台車３が、各半導体製造装置７のロー
ドポート８へのウェーハキャリア６の吊り下げ時におけ
る、当台車３と各半導体製造装置７のロードポート８間
の昇降経路を光探索し、障害物２１の有無を検知する障
害物検知センサ２２を備えていることが従来と特に異な
っているので、この点を中心に説明を行う。
【００１９】この障害物検知センサ２２は、図示されな
い発光部と受光部とが一体となった光学式の距離センサ
であり、該障害物検知センサ２２を中心に扇型形状のス
キャン範囲２０ａをスキャンするとともに、そのスキャ
ン範囲２０ａを２枚の互いに平行な鉛直方向仮想平面
（図示せず）で区切るようにして監視範囲２０とし、こ
の監視範囲２０内のデータをメモリに取り込み、その他
の範囲のデータは除去するものである。
い発光部と受光部とが一体となった光学式の距離センサ
であり、該障害物検知センサ２２を中心に扇型形状のス
キャン範囲２０ａをスキャンするとともに、そのスキャ
ン範囲２０ａを２枚の互いに平行な鉛直方向仮想平面
（図示せず）で区切るようにして監視範囲２０とし、こ
の監視範囲２０内のデータをメモリに取り込み、その他
の範囲のデータは除去するものである。
【００２０】このような調整により、障害物検知センサ
２２とロードポート８との間に形成される略五角形状の
光の膜が、監視範囲２０として形成される。監視範囲２
０をこのような形状とした理由と、障害物検知センサ２
２を側壁３ａ側に設けた理由は、ウェーハキャリア６の
移動範囲に障害物２１が最も接近する恐れのある手前側
に監視範囲２０を重点的に設けて覆うことで、効率良く
監視を行うためである。また、監視範囲２０の幅ｔは、
前記発光部からの光線の径で決められるものであり、レ
ーザービームを使用すれば、非常に薄くすることが可能
となる。
２２とロードポート８との間に形成される略五角形状の
光の膜が、監視範囲２０として形成される。監視範囲２
０をこのような形状とした理由と、障害物検知センサ２
２を側壁３ａ側に設けた理由は、ウェーハキャリア６の
移動範囲に障害物２１が最も接近する恐れのある手前側
に監視範囲２０を重点的に設けて覆うことで、効率良く
監視を行うためである。また、監視範囲２０の幅ｔは、
前記発光部からの光線の径で決められるものであり、レ
ーザービームを使用すれば、非常に薄くすることが可能
となる。
【００２１】さらに、監視範囲２０は、各半導体製造装
置７のロードポート８の高さに応じて可変とされてい
る。すなわち、障害物検知センサ２２が検知を行う範囲
である監視範囲２０の鉛直方向最大長さＬｍａｘは、障
害物検知センサ２２から各ロードポート８の上面までの
鉛直方向長さＬａに応じて各半導体製造装置７毎に可変
とされており、いずれの半導体製造装置７にも対応でき
るようになっている。
置７のロードポート８の高さに応じて可変とされてい
る。すなわち、障害物検知センサ２２が検知を行う範囲
である監視範囲２０の鉛直方向最大長さＬｍａｘは、障
害物検知センサ２２から各ロードポート８の上面までの
鉛直方向長さＬａに応じて各半導体製造装置７毎に可変
とされており、いずれの半導体製造装置７にも対応でき
るようになっている。
【００２２】以上に説明した本実施の形態の天井走行搬
送装置によるウェーハキャリア６の吊り下げ時には、障
害物検知センサ２２により監視範囲２０内における障害
物２１の有無が非接触で監視され、障害物２１を発見し
た場合には、ウェーハキャリア６がこれと干渉する前
に、ウェーハキャリア６の吊り下げ動作を停止させる。
障害物検知センサ２２は、半導体製造装置７よりも台数
の少ないホイスト付台車３側に設けることで、その所要
台数が少なくされている。
送装置によるウェーハキャリア６の吊り下げ時には、障
害物検知センサ２２により監視範囲２０内における障害
物２１の有無が非接触で監視され、障害物２１を発見し
た場合には、ウェーハキャリア６がこれと干渉する前
に、ウェーハキャリア６の吊り下げ動作を停止させる。
障害物検知センサ２２は、半導体製造装置７よりも台数
の少ないホイスト付台車３側に設けることで、その所要
台数が少なくされている。
【００２３】したがって、本実施の形態の天井走行搬送
装置によれば、半導体製造装置７よりもはるかに台数の
少ないホイスト付台車３側に障害物検知センサ２２を設
けたことで、吊り下げ時のウェーハキャリア６が、人や
不用意に置かれた物などの障害物２１と接触する前にこ
れを検知して避ける対策を、安価に講じることができる
天井走行搬送装置を提供することが可能となる。
装置によれば、半導体製造装置７よりもはるかに台数の
少ないホイスト付台車３側に障害物検知センサ２２を設
けたことで、吊り下げ時のウェーハキャリア６が、人や
不用意に置かれた物などの障害物２１と接触する前にこ
れを検知して避ける対策を、安価に講じることができる
天井走行搬送装置を提供することが可能となる。
【００２４】また、障害物検知センサ２２として光学式
のセンサを採用することで、非接触で障害物２１の有無
の確認がなされるので、障害物２１を傷つけることなく
監視を行える天井走行搬送装置とすることも可能とな
る。
のセンサを採用することで、非接触で障害物２１の有無
の確認がなされるので、障害物２１を傷つけることなく
監視を行える天井走行搬送装置とすることも可能とな
る。
【００２５】また、監視範囲２０の設定において、該監
視範囲２０の鉛直方向最大長さＬｍａｘが、各半導体製
造装置７のロードポート８と障害物検知センサ２２との
間の鉛直方向長さＬａに合うように予めを設定しておく
ことで、床面Ｆからの高さＨが異なるロードポート８を
有する全ての半導体製造装置７に適用できる天井走行搬
送装置とすることも可能となる。
視範囲２０の鉛直方向最大長さＬｍａｘが、各半導体製
造装置７のロードポート８と障害物検知センサ２２との
間の鉛直方向長さＬａに合うように予めを設定しておく
ことで、床面Ｆからの高さＨが異なるロードポート８を
有する全ての半導体製造装置７に適用できる天井走行搬
送装置とすることも可能となる。
【００２６】次に、図２を参照しながら第２の実施の形
態について以下に説明する。なお、第１の実施の形態で
説明した図１と同一構成要素には、同一符号を付し、そ
の説明を省略する。本実施の形態では、第１の実施の形
態における単一の障害物検知センサ２２の代わりに、一
対のスキャン式の障害物検知センサ２４及び２５を一定
間隔Ｗを置いて側壁３ａに設けたものである。これら障
害物検知センサ２４及び２５は、スキャニングビームと
位置検出素子（ＰＳＤ）により網目状の検出エリアを持
つ障害物検知用光電センサであり、光学的三角側距離検
出により検知を行うものである。本実施の形態において
も、第１の実施の形態と同様の作用効果を得ることが可
能である。
態について以下に説明する。なお、第１の実施の形態で
説明した図１と同一構成要素には、同一符号を付し、そ
の説明を省略する。本実施の形態では、第１の実施の形
態における単一の障害物検知センサ２２の代わりに、一
対のスキャン式の障害物検知センサ２４及び２５を一定
間隔Ｗを置いて側壁３ａに設けたものである。これら障
害物検知センサ２４及び２５は、スキャニングビームと
位置検出素子（ＰＳＤ）により網目状の検出エリアを持
つ障害物検知用光電センサであり、光学的三角側距離検
出により検知を行うものである。本実施の形態において
も、第１の実施の形態と同様の作用効果を得ることが可
能である。
【００２７】次に、図３を参照しながら第３の実施の形
態について以下に説明する。なお、第１の実施の形態で
説明した図１と同一構成要素には、同一符号を付し、そ
の説明を省略する。本実施の形態では、第１の実施の形
態におけるスキャニング式の障害物検知センサ２２の代
わりに、図示されない光源や受光素子やレンズの形状に
より発光及び受光範囲が下方に向かって広い放物線外形
となるように監視範囲２０を形成できる障害物検知セン
サ２６を側壁３ａに備えたものである。この障害物検知
センサ２６は、反射光量を見る反射型であり、ロードポ
ート８の上面で光が反射して誤作動を引き起こさないよ
うに、該ロードポート８の上面には、艶消し黒の表面処
理２７が施されている。本実施の形態においても、第１
の実施の形態と同様の作用効果を得ることが可能であ
る。
態について以下に説明する。なお、第１の実施の形態で
説明した図１と同一構成要素には、同一符号を付し、そ
の説明を省略する。本実施の形態では、第１の実施の形
態におけるスキャニング式の障害物検知センサ２２の代
わりに、図示されない光源や受光素子やレンズの形状に
より発光及び受光範囲が下方に向かって広い放物線外形
となるように監視範囲２０を形成できる障害物検知セン
サ２６を側壁３ａに備えたものである。この障害物検知
センサ２６は、反射光量を見る反射型であり、ロードポ
ート８の上面で光が反射して誤作動を引き起こさないよ
うに、該ロードポート８の上面には、艶消し黒の表面処
理２７が施されている。本実施の形態においても、第１
の実施の形態と同様の作用効果を得ることが可能であ
る。
【００２８】次に、図４を参照しながら第４の実施の形
態について以下に説明する。なお、第１の実施の形態で
説明した図１と同一構成要素には、同一符号を付し、そ
の説明を省略する。本実施の形態では、第１の実施の形
態における単一のスキャニング式の障害物検知センサ２
２の代わりに、３個の測距タイプの障害物検知センサ２
８、２９、３０を側壁３ａに設けたものである。これら
障害物検知センサ２８、２９、３０は、それぞれの監視
エリアの和により、監視範囲２０を形成するようになっ
ている。本実施の形態においても、第１の実施の形態と
同様の作用効果を得ることが可能である。
態について以下に説明する。なお、第１の実施の形態で
説明した図１と同一構成要素には、同一符号を付し、そ
の説明を省略する。本実施の形態では、第１の実施の形
態における単一のスキャニング式の障害物検知センサ２
２の代わりに、３個の測距タイプの障害物検知センサ２
８、２９、３０を側壁３ａに設けたものである。これら
障害物検知センサ２８、２９、３０は、それぞれの監視
エリアの和により、監視範囲２０を形成するようになっ
ている。本実施の形態においても、第１の実施の形態と
同様の作用効果を得ることが可能である。
【００２９】次に、図５を参照しながら第５の実施の形
態について以下に説明する。なお、第１の実施の形態で
説明した図１と同一構成要素には、同一符号を付し、そ
の説明を省略する。本実施の形態では、第１の実施の形
態におけるスキャニング式の障害物検知センサ２２の代
わりに、各半導体製造装置７のロードポート８上にリフ
レクタ反射板４１を設けると共に、ホイスト付台車３の
側壁３ａに、リフレクタ反射板４１上面の所定の検出エ
リア４２に光を照射して該検出エリア４２からの反射光
を受光する回帰反射型の障害物検知センサ４０を取り付
けた構成を採用している。さらに、この回帰反射型の障
害物検知センサ４０は、図示されない制御手段に接続さ
れている。この制御手段は、障害物検知センサ４０が検
出エリア４２の全面から反射光を受光した場合には、出
力をＯＮとし、「リフレクタ反射板４１の全面の存在が
確認できたので、キャリア６が移載可能である」と判断
する。逆に、障害物検知センサ４０において検出エリア
４２の全面から反射光が得られない場合（すなわち、障
害物検知センサ４０側から見て、検出エリア４２のどこ
か一箇所でも障害物２１が遮ったり、リフレクタ反射板
４１が真下に存在しない場合）には、出力をＯＦＦと
し、キャリア６の移載は不可であると判断する。なお、
この障害物検知センサ４０は、各半導体製造装置７の構
造により検出したい範囲が狭くなってしまう場合には、
これに備えられている検出エリア選択機能を使用するこ
とにより、検出エリア幅を制限させることも可能となっ
ている。逆に、大型の天井走行搬送装置など、検出エリ
アを広げる必要がある場合には、障害物検知センサ４０
に備えられている相互干渉防止機能（投光周波数の切り
替え機能）を使用することによって、複数の障害物検知
センサ４０を用いて広い検出エリアをカバーすることも
可能となる。また、本実施の形態ではリフレクタ反射板
４１をロードポート８上に設ける構成を採用している
が、このロードポート８上への設置が難しい場合には、
このロードポート８が面している手前側の、平面視して
装置７に隣接している床面Ｆ上（図５に二点鎖線で示す
設置場所４５）に設けるようにしても良い。本実施の形
態においても、第１の実施の形態と同様の作用効果を得
ることが可能である。
態について以下に説明する。なお、第１の実施の形態で
説明した図１と同一構成要素には、同一符号を付し、そ
の説明を省略する。本実施の形態では、第１の実施の形
態におけるスキャニング式の障害物検知センサ２２の代
わりに、各半導体製造装置７のロードポート８上にリフ
レクタ反射板４１を設けると共に、ホイスト付台車３の
側壁３ａに、リフレクタ反射板４１上面の所定の検出エ
リア４２に光を照射して該検出エリア４２からの反射光
を受光する回帰反射型の障害物検知センサ４０を取り付
けた構成を採用している。さらに、この回帰反射型の障
害物検知センサ４０は、図示されない制御手段に接続さ
れている。この制御手段は、障害物検知センサ４０が検
出エリア４２の全面から反射光を受光した場合には、出
力をＯＮとし、「リフレクタ反射板４１の全面の存在が
確認できたので、キャリア６が移載可能である」と判断
する。逆に、障害物検知センサ４０において検出エリア
４２の全面から反射光が得られない場合（すなわち、障
害物検知センサ４０側から見て、検出エリア４２のどこ
か一箇所でも障害物２１が遮ったり、リフレクタ反射板
４１が真下に存在しない場合）には、出力をＯＦＦと
し、キャリア６の移載は不可であると判断する。なお、
この障害物検知センサ４０は、各半導体製造装置７の構
造により検出したい範囲が狭くなってしまう場合には、
これに備えられている検出エリア選択機能を使用するこ
とにより、検出エリア幅を制限させることも可能となっ
ている。逆に、大型の天井走行搬送装置など、検出エリ
アを広げる必要がある場合には、障害物検知センサ４０
に備えられている相互干渉防止機能（投光周波数の切り
替え機能）を使用することによって、複数の障害物検知
センサ４０を用いて広い検出エリアをカバーすることも
可能となる。また、本実施の形態ではリフレクタ反射板
４１をロードポート８上に設ける構成を採用している
が、このロードポート８上への設置が難しい場合には、
このロードポート８が面している手前側の、平面視して
装置７に隣接している床面Ｆ上（図５に二点鎖線で示す
設置場所４５）に設けるようにしても良い。本実施の形
態においても、第１の実施の形態と同様の作用効果を得
ることが可能である。
【００３０】なお、上記説明の第１から第５の実施の形
態において、各障害物検知センサ２２、２４、２５、２
６、２８、２９、３０、４０は、ホイスト付台車３の側
壁３ａに設けた構成としたが、これに限らず、ウェーハ
キャリア６の吊り下げ時移動範囲または該移動範囲の近
傍のいずれか一方もしくはその両方を含む監視範囲２０
内における障害物２１を検知できれば良く、ホイスト付
台車３の前後または下端など、その他の位置に固定した
り、または異なる複数箇所に併設する構成を採用しても
良い。
態において、各障害物検知センサ２２、２４、２５、２
６、２８、２９、３０、４０は、ホイスト付台車３の側
壁３ａに設けた構成としたが、これに限らず、ウェーハ
キャリア６の吊り下げ時移動範囲または該移動範囲の近
傍のいずれか一方もしくはその両方を含む監視範囲２０
内における障害物２１を検知できれば良く、ホイスト付
台車３の前後または下端など、その他の位置に固定した
り、または異なる複数箇所に併設する構成を採用しても
良い。
【００３１】また、上記説明の第１から第５の実施の形
態に示した各障害物検知センサ２２、２４、２５、２
６、２８、２９、３０、４０は、一例であり、これらに
限らず、その他のタイプの光学式センサを採用しても良
い。また、上記説明の第４の実施の形態においては、３
個の測距タイプの障害物検知センサ２８、２９、３０を
側壁３ａに設ける構成を採用したが、この代わりに、上
記第５の実施の形態で説明した回帰反射型の障害物検知
センサ４０と同様のものを側壁３ａに複数個（例えば３
個）設けると共に、ロードポート８上に前記リフレクタ
反射板４１と同様のものを設けて（図示せず）、これら
障害物検知センサの監視エリアの和によって、監視範囲
２０を形成する構成を採用しても良い。この場合におい
ても、上記第１の実施の形態と同様の作用効果を得るこ
とが可能である。なお、この場合のリフレクタ反射板４
１の配置としては、ロードポート８上への設置が難しい
場合には、このロードポート８が面している手前側の、
平面視して装置７に隣接している床面Ｆ上に設けるよう
にしても良い。また、上記説明の第４の実施の形態にお
いて、障害物検知センサ２８、２９、３０の個数は３個
としたが、これに限らず、必要十分な広さ又は大きさの
監視範囲２０を形成できれば良く、２個又は４個以上と
しても良い。また、上記説明の第１から第５の実施の形
態においては、本発明の天井走行搬送装置を、半導体ウ
ェーハを処理して半導体デバイスの製造を行う半導体製
造設備に設けた場合を例に説明を行ったが、これに限ら
ず、工場におけるファクトリーオートメーションライン
等、その他の設備にも適用可能である。
態に示した各障害物検知センサ２２、２４、２５、２
６、２８、２９、３０、４０は、一例であり、これらに
限らず、その他のタイプの光学式センサを採用しても良
い。また、上記説明の第４の実施の形態においては、３
個の測距タイプの障害物検知センサ２８、２９、３０を
側壁３ａに設ける構成を採用したが、この代わりに、上
記第５の実施の形態で説明した回帰反射型の障害物検知
センサ４０と同様のものを側壁３ａに複数個（例えば３
個）設けると共に、ロードポート８上に前記リフレクタ
反射板４１と同様のものを設けて（図示せず）、これら
障害物検知センサの監視エリアの和によって、監視範囲
２０を形成する構成を採用しても良い。この場合におい
ても、上記第１の実施の形態と同様の作用効果を得るこ
とが可能である。なお、この場合のリフレクタ反射板４
１の配置としては、ロードポート８上への設置が難しい
場合には、このロードポート８が面している手前側の、
平面視して装置７に隣接している床面Ｆ上に設けるよう
にしても良い。また、上記説明の第４の実施の形態にお
いて、障害物検知センサ２８、２９、３０の個数は３個
としたが、これに限らず、必要十分な広さ又は大きさの
監視範囲２０を形成できれば良く、２個又は４個以上と
しても良い。また、上記説明の第１から第５の実施の形
態においては、本発明の天井走行搬送装置を、半導体ウ
ェーハを処理して半導体デバイスの製造を行う半導体製
造設備に設けた場合を例に説明を行ったが、これに限ら
ず、工場におけるファクトリーオートメーションライン
等、その他の設備にも適用可能である。
【００３２】
【発明の効果】本発明の請求項１〜５の何れかに記載の
天井走行搬送装置によれば、製造装置よりもはるかに台
数の少ないホイスト付台車側に障害物検知センサを設け
ることで、吊り下げ時の搬送物が、人や不用意に置かれ
た物等の障害物と接触する前にこれを検知して避ける対
策を、安価に講じることができる天井走行搬送装置を提
供することが可能となる。
天井走行搬送装置によれば、製造装置よりもはるかに台
数の少ないホイスト付台車側に障害物検知センサを設け
ることで、吊り下げ時の搬送物が、人や不用意に置かれ
た物等の障害物と接触する前にこれを検知して避ける対
策を、安価に講じることができる天井走行搬送装置を提
供することが可能となる。
【００３３】また、本発明の請求項６記載の天井走行搬
送装置によれば、監視範囲の設定において、光探索範囲
を、各製造装置毎にそれぞれのロードポートの高さに応
じて予め設定しておくことで、異なる高さのロードポー
トを有する全ての製造装置に適用できる天井走行搬送装
置とすることも可能となる。
送装置によれば、監視範囲の設定において、光探索範囲
を、各製造装置毎にそれぞれのロードポートの高さに応
じて予め設定しておくことで、異なる高さのロードポー
トを有する全ての製造装置に適用できる天井走行搬送装
置とすることも可能となる。
【図１】 本発明の天井走行搬送装置の第１の実施の形
態を示す図であって、斜視図である。
態を示す図であって、斜視図である。
【図２】 本発明の天井走行搬送装置の第２の実施の形
態を示す図であって、斜視図である。
態を示す図であって、斜視図である。
【図３】 本発明の天井走行搬送装置の第３の実施の形
態を示す図であって、斜視図である。
態を示す図であって、斜視図である。
【図４】 本発明の天井走行搬送装置の第４の実施の形
態を示す図であって、斜視図である。
態を示す図であって、斜視図である。
【図５】 本発明の天井走行搬送装置の第５の実施の形
態を示す図であって、斜視図である。
態を示す図であって、斜視図である。
【図６】 従来の天井走行搬送装置を示す図であって、
斜視図である。
斜視図である。
【図７】 従来の他の天井走行搬送装置を示す図であっ
て、斜視図である。
て、斜視図である。
【図８】 従来の他の天井走行搬送装置を示す図であっ
て、斜視図である。
て、斜視図である。
【図９】 従来の他の天井走行搬送装置を示す図であっ
て、斜視図である。
て、斜視図である。
【図１０】 従来の他の天井走行搬送装置を示す図であ
って、斜視図である。
って、斜視図である。
１・・・軌道 ３・・・ホイスト付台車 ７・・・半導体製造装置（製造装置） ７Ａ・・・ストッカ（製造装置） ８・・・ロードポート ２０・・・監視範囲 ２０ａ・・・スキャン範囲 ２１・・・障害物 ２２、２４、２５、２６、２８、２９、３０、４０・・・
障害物検知センサ ４１・・・リフレクタ反射板 ４２・・・検出エリア Ｆ・・・床面 Ｗ・・・一定間隔
障害物検知センサ ４１・・・リフレクタ反射板 ４２・・・検出エリア Ｆ・・・床面 Ｗ・・・一定間隔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ６６Ｃ 11/06 Ｂ６６Ｃ 11/06 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ
Claims (6)
- 【請求項１】 天井に設置された軌道と、該軌道に沿っ
て走行するホイスト付台車とを備えた天井走行搬送装置
において、 前記ホイスト付台車と各製造装置のロードポートとの間
の昇降経路を光探索して障害物の有無を検知する障害物
検知センサを、前記各製造装置よりも台数の少ない前記
ホイスト付台車側に設け、 前記障害物検知センサは、該障害物検知センサの下方に
向かってかつ前記ホイスト付台車の走行方向に幅広い監
視範囲を有することを特徴とする天井走行搬送装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の天井走行搬送装置におい
て、 前記監視範囲は、前記障害物検知センサを中心とする扇
型形状のスキャン範囲をスキャンするとともに、該スキ
ャン範囲を２枚の互いに平行な鉛直方向仮想平面で区切
って形成した略五角形状の光の膜であることを特徴とす
る天井走行搬送装置。 - 【請求項３】 請求項１記載の天井走行搬送装置におい
て、 前記障害物検知センサは、網目状の検出エリアを持ち、
光学的三角測距離検出により前記障害物の検知を行う一
対のセンサであり、 前記監視範囲は、一定間隔を置いて設けられた前記一対
のセンサによる光の膜として形成されることを特徴とす
る天井走行搬送装置。 - 【請求項４】 請求項１記載の天井走行搬送装置におい
て、 前記障害物検知センサは、反射光量を見る反射型であ
り、 前記監視範囲は、発光及び受光範囲が下方に向かって広
い放物線外形の光の膜として形成されることを特徴とす
る天井走行搬送装置。 - 【請求項５】 請求項１記載の天井走行搬送装置におい
て、 前記障害物検知センサは、前記ロードポート上、または
平面視して前記ロードポートに隣接する床面上に設けら
れたリフレクタ反射板上の検出エリアに光を照射すると
共に該検出エリアからの反射光を受光する回帰反射型で
あり、 前記監視範囲は、下方に向かって三角形状に広がる光の
膜として形成されることを特徴とする天井走行搬送装
置。 - 【請求項６】 請求項１〜５の何れかに記載の天井走行
搬送装置において、 前記監視範囲は、前記製造装置のロードポート高さに応
じて可変とすることを特徴とする天井走行搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000380705A JP3371897B2 (ja) | 1998-12-02 | 2000-12-14 | 天井走行搬送装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10-343472 | 1998-12-02 | ||
| JP34347298 | 1998-12-02 | ||
| JP2000380705A JP3371897B2 (ja) | 1998-12-02 | 2000-12-14 | 天井走行搬送装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10591599A Division JP3375907B2 (ja) | 1998-12-02 | 1999-04-13 | 天井走行搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001213588A true JP2001213588A (ja) | 2001-08-07 |
| JP3371897B2 JP3371897B2 (ja) | 2003-01-27 |
Family
ID=26577540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000380705A Expired - Lifetime JP3371897B2 (ja) | 1998-12-02 | 2000-12-14 | 天井走行搬送装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
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| JP2006298567A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Murata Mach Ltd | 天井走行車 |
| US7261510B2 (en) | 2003-02-03 | 2007-08-28 | Murata Kikai Kabushiki Kaisha | Overhead travelling carriage system |
| JP2008137738A (ja) * | 2006-11-30 | 2008-06-19 | Asyst Technologies Japan Inc | 天井走行搬送装置 |
| US7845284B2 (en) | 2006-10-20 | 2010-12-07 | Murata Machinery, Ltd. | Overhead traveling vehicle having safety member |
| WO2013150841A1 (ja) * | 2012-04-05 | 2013-10-10 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
| WO2013182676A1 (en) * | 2012-06-07 | 2013-12-12 | Jaguar Land Rover Limited | Crane and related method of operation |
| GB2504818A (en) * | 2012-06-07 | 2014-02-12 | Jaguar Land Rover Ltd | Personnel sensing to inhibit crane operation |
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| US9714099B2 (en) | 2014-02-28 | 2017-07-25 | Icm Airport Technics Australia Pty Ltd | Luggage processing station and system thereof |
| US9940588B2 (en) | 2010-07-28 | 2018-04-10 | Icm Airport Technics Australia Pty Ltd | Luggage processing station |
| CN108706468A (zh) * | 2018-06-21 | 2018-10-26 | 莱芜钢铁集团有限公司 | 料车过卷的保护装置 |
| WO2020090254A1 (ja) * | 2018-10-29 | 2020-05-07 | 村田機械株式会社 | 天井走行車、天井走行車システム、及び障害物の検出方法 |
| CN111422570A (zh) * | 2019-01-10 | 2020-07-17 | 株式会社大福 | 吊顶输送车 |
| JP7458760B2 (ja) | 2019-12-03 | 2024-04-01 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
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|---|---|---|---|---|
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| USD1002411S1 (en) | 2019-10-25 | 2023-10-24 | Icm Airport Technics Australia Pty Ltd | Baggage scanner array |
-
2000
- 2000-12-14 JP JP2000380705A patent/JP3371897B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP4711116B2 (ja) * | 2005-04-19 | 2011-06-29 | 村田機械株式会社 | 天井走行車 |
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