WO2024070298A1 - 有軌道台車システム - Google Patents

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WO2024070298A1
WO2024070298A1 PCT/JP2023/029633 JP2023029633W WO2024070298A1 WO 2024070298 A1 WO2024070298 A1 WO 2024070298A1 JP 2023029633 W JP2023029633 W JP 2023029633W WO 2024070298 A1 WO2024070298 A1 WO 2024070298A1
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WO
WIPO (PCT)
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rail
rails
cell
running
traveling vehicle
Prior art date
Application number
PCT/JP2023/029633
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English (en)
French (fr)
Inventor
政佳 虎澤
Original Assignee
村田機械株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 村田機械株式会社 filed Critical 村田機械株式会社
Publication of WO2024070298A1 publication Critical patent/WO2024070298A1/ja

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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B13/00—Other railway systems
    • B61B13/04—Monorail systems
    • B61B13/06—Saddle or like balanced type
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B3/00—Elevated railway systems with suspended vehicles
    • B61B3/02—Elevated railway systems with suspended vehicles with self-propelled vehicles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations

Definitions

  • One aspect of the present disclosure relates to a tracked vehicle system.
  • Patent Document 1 discloses a ceiling transport vehicle system as a technology related to a tracked vehicle system.
  • This ceiling transport vehicle system includes rails including a first rail (first track) extending in a first direction and a second rail (second track) extending in a second direction perpendicular to the first direction, and a tracked vehicle (ceiling transport vehicle) that runs along the rails.
  • the first and second rails are arranged in a lattice pattern to form a plurality of cells (sections) in a plan view.
  • the tracked vehicle moves in the first direction by running on a pair of adjacent first rails, and moves in the second direction by running on a pair of adjacent second rails.
  • the tracked vehicle can move from one cell to another cell adjacent to the one cell by running in the first or second direction.
  • Marks indicating specific information that can be detected by a sensor provided on the track-guided vehicle are placed on the first and second rails that make up the rail.
  • the track-guided vehicle can detect the marks with the sensor and obtain the information, enabling control based on the information.
  • the above-mentioned conventional rails only have one surface for placing marks, so it is not possible to place two types of marks.
  • the tracked vehicle is configured so that a sensor faces the surface on which the marks are placed, but there is a demand to make the size of the tracked vehicle, including the configuration for placing such sensors, compact.
  • an object of one aspect of the present disclosure is to provide a tracked vehicle system that can place two different types of marks on the rails while suppressing the increase in size of the tracked vehicle.
  • a tracked vehicle system includes rails arranged in a grid pattern with a plurality of first rails extending in a first direction and second rails extending in a second direction perpendicular to the first direction, and a tracked vehicle that moves in the first direction by running a pair of first rails adjacent to each other in the second direction with its running part running on the pair of second rails adjacent to each other in the first direction, and moves in the second direction by running a pair of second rails adjacent to each other in the first direction, and the tracked vehicle has a first sensor that acquires first information from a first mark indicating the first information, and a second sensor that acquires second information from a second mark indicating second information that is different from the first information, and each of the first and second rails has a first surface facing the first sensor and on which the first mark is arranged, and a second surface facing the second sensor and on which the second mark is arranged, the second surface being arranged outside the first surface and inclined toward the tracked vehicle with respect to the first surface when viewed
  • a first surface and a second surface separate from the first surface are provided on each of the first and second rails that form the rails, so that by placing two different types of marks, one type on each surface, the two different types of marks can be placed at the same position in the running direction of the rail.
  • the second surface which is placed on the outside of the first surface when viewed from the center of the cell in a plan view, is positioned so that it is inclined toward the tracked vehicle relative to the first surface. This eliminates the need to position the second sensor so that it protrudes from the tracked vehicle in order to face the second surface, which makes it possible to prevent the tracked vehicle from becoming larger.
  • the track guided vehicle system further includes a control unit for controlling the track guided vehicle, and one of the first and second marks is a position recognition mark indicating position information on the rail, and one of the first and second sensors facing the position recognition mark is arranged to face the first or second surface on which the position recognition mark is arranged on each of the pair of first rails when the track guided vehicle moves in the first direction, and is arranged to face the first or second surface on which the position recognition mark is arranged on each of the pair of second rails when the track guided vehicle moves in the second direction, and is four position recognition sensors that acquire the position information from the position recognition mark, and the control unit may derive the amount of deviation between a predetermined position in the cell and the stopping position of the track guided vehicle based on the position information acquired by the position recognition sensors. In this case, the position deviation when the track guided vehicle is stopped can be detected.
  • the tracked vehicle has a transfer device for transferring an object
  • the control unit may control the drive amount of the transfer device when moving the object horizontally based on the amount of deviation. In this case, even if the tracked vehicle is not stopped at a predetermined position within the cell, the position to which the object is transferred is adjusted by the transfer device, so that the object can be accurately transferred to the predetermined transfer position.
  • the tracked vehicle has a transfer device for transferring an object, and a horizontal rotation mechanism for horizontally rotating the object around a third direction perpendicular to both the first direction and the second direction, and the control unit may control the drive amount of the horizontal rotation mechanism when horizontally rotating the object based on the amount of deviation.
  • the control unit may control the drive amount of the horizontal rotation mechanism when horizontally rotating the object based on the amount of deviation.
  • control unit may control the traveling unit so that the tracked vehicle moves to a predetermined position within the cell based on the amount of deviation. In this case, even if the tracked vehicle is not stopped at a predetermined position within the cell, the position of the tracked vehicle is adjusted, so that the object can be transferred to the predetermined transfer position more accurately.
  • FIG. 1 is a perspective view illustrating an example of an overhead traveling vehicle system according to an embodiment.
  • FIG. 2 is an exploded perspective view showing four rail units constituting the rail assembly in FIG. 1 and a connecting member connecting the rail units.
  • FIG. 3 is a side view showing the traveling vehicle in FIG.
  • FIG. 4 is a perspective view showing the traveling vehicle in FIG.
  • FIG. 5 is a perspective view showing only the rail portion of the rail assembly.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view showing a connection portion between a plurality of rail units.
  • FIG. 7 is a perspective view showing the rail unit in FIG. 2.
  • FIG. FIG. 8 is a schematic cross-sectional view of the first rail taken along a plane perpendicular to the X direction.
  • FIG. 9 is a block diagram showing a functional configuration of the traveling vehicle in FIG. 5A and 5B are schematic plan views showing an example of the operation of the traveling vehicle when an article is placed on a load port while controlling the drive amount of the slide mechanism.
  • 13A and 13B are schematic plan views showing an example of the operation of the traveling vehicle when placing an article on a load port while controlling the drive amount of the rotation drive unit.
  • 13A and 13B are schematic plan views showing an example of the operation of a traveling vehicle when placing an article on a load port while controlling the drive amount of a traveling drive motor.
  • X direction first direction
  • Y direction second direction
  • Z direction vertical direction perpendicular to both the X direction and the Y direction
  • the overhead traveling vehicle system (railed vehicle system) 1 is a grid system (transport system) for transporting an item (object) M by an overhead traveling vehicle (railed vehicle) 2, for example, in a clean room of a semiconductor manufacturing factory.
  • the overhead traveling vehicle system 1 includes, for example, a plurality of overhead traveling vehicles 2 (hereinafter collectively referred to as "traveling vehicles 2"), a system controller 5 that controls the plurality of traveling vehicles 2, and a track R on which the plurality of traveling vehicles 2 travel.
  • the traveling vehicles 2 move along the track R of the overhead traveling vehicle system 1.
  • the traveling vehicles 2 travel along the track R and transport items M such as FOUPs (Front Opening Unified Pods) that house semiconductor wafers or reticle pods that house reticles.
  • the traveling vehicles 2 may be referred to as carts, transport vehicles, transporting vehicles, traveling vehicles, etc.
  • the plurality of traveling vehicles 2 enables high-density transport of items M, improving the efficiency of transporting items M.
  • the overhead traveling vehicle system 1 may include only one traveling vehicle 2.
  • the track R is provided on or near the ceiling of a building such as a clean room.
  • the track R is provided adjacent to, for example, a processing device, a stocker (automated warehouse), etc.
  • the processing device is, for example, an exposure device, a coater developer, a film forming device, an etching device, etc., and performs various processes on the semiconductor wafers in the goods M transported by the traveling vehicle 2.
  • the stocker stores the goods M transported by the traveling vehicle 2.
  • the track R is arranged in a lattice shape in a plan view (see also FIG. 5).
  • the track R extends horizontally.
  • the track R is constructed by arranging a plurality of rail units 100, each having a first rail R1, a second rail R2, and an intersection rail R3, in the X and Y directions.
  • the overhead traveling vehicle system 1 includes a plurality of rail units 100 arranged in the X and Y directions, and a plurality of connecting members 140 that connect the plurality of rail units 100 to each other.
  • the plurality of rail units 100 and the plurality of connecting members 140 form a rail assembly 200.
  • the rail assembly 200 is suspended from a ceiling (not shown) by a plurality of hanging members H at the portion where the rail units 100 are connected to each other by the connecting members 140.
  • Each rail unit 100 is a rectangular parallelepiped (frame-shaped) member and has the same configuration.
  • Each rail unit 100 includes two first rail members 110 arranged along the X direction, two second rail members 120 arranged along the Y direction, and four intersection rail members 130 arranged so that gaps are formed on the extension lines of the first rail members 110 and the second rail members 120 (i.e., the positions of the intersection points of the lattice).
  • the two parallel first rail members 110 and the two parallel second rail members 120 are arranged in a square shape, and the four intersection rail members 130 are arranged at the vertices of the square.
  • Each rail unit 100 is made of, for example, metal, and is an integrated unit formed after each part of the first rail member 110, the second rail member 120, and the cross rail member 130 is molded.
  • Each first rail member 110 includes a first beam portion 111 arranged at the upper end position of the rail unit 100 and extending in the X direction, a first rail R1 arranged at the lower end position of the rail unit 100 and extending in the X direction, and a first support wall 113 arranged between the first beam portion 111 and the first rail R1 and joined to the first beam portion 111 and the first rail R1.
  • Each second rail member 120 includes a second beam portion 121 arranged at the upper end position of the rail unit 100 and extending in the Y direction, a second rail R2 arranged at the lower end position of the rail unit 100 and extending in the Y direction, and a second support wall 123 arranged between the second beam portion 121 and the second rail R2 and joined to the second beam portion 121 and the second rail R2.
  • the multiple first beam portions 111 and the multiple second beam portions 121 form a lattice-like structure extending along the XY plane at the upper end position of the rail assembly 200.
  • the first support wall 113 extends along the XZ plane.
  • the second support wall 123 extends along the YZ plane.
  • the intersection rail member 130 includes an intersection support pillar 133 that extends along the Z direction (vertical direction) at the position where the first beam portion 111 and the second beam portion 121 are joined at a right angle, and an intersection rail R3 that is provided at the lower end of the intersection support pillar 133.
  • the first rails R1 each extend along the X direction.
  • the second rails R2 each extend along the Y direction.
  • the first rails R1 and the second rails R2 are arranged in a lattice pattern in a plan view.
  • the track R forms multiple squares with the first rails R1 and the second rails R2.
  • the track R forms a cell C, which is a space surrounded by a pair of the first rails R1 and a pair of the second rails R2 in a plan view.
  • the intersection rail R3 is arranged at a portion corresponding to the intersection of the first rail R1 and the second rail R2.
  • the intersection rail R3 is adjacent to the first rail R1 with a gap in the X direction and has a portion (first rail) that extends in the X direction.
  • the intersection rail R3 is adjacent to the second rail R2 in the Y direction and has a portion (second rail) that extends in the Y direction.
  • the crossing rail R3 is used when the traveling vehicle 2 travels along the first rail R1, when the traveling vehicle 2 travels along the second rail R2, and when the traveling vehicle 2 travels from the first rail R1 to the second rail R2 or from the second rail R2 to the first rail R1.
  • Each rail unit 100 forms a square (or rectangular) track R corresponding to one square on the inside.
  • a plurality of first rails R1 extend in a row in the X direction
  • a plurality of second rails R2 extend in a row in the Y direction.
  • two intersecting rails R3 are arranged at intervals between one first rail R1 and another first rail R1.
  • two intersecting rails R3 are arranged at intervals between one second rail R2 and another second rail R2.
  • a plurality of first rails R1, a plurality of second rails R2, and a plurality of intersection rails R3 are arranged at a predetermined interval from each other, thereby constructing a track R. Between each of the first rails R1 and each of the intersection rails R3, a gap G corresponding to the above-mentioned interval is formed. Between each of the second rails R2 and each of the intersection rails R3, a gap G corresponding to the above-mentioned interval is formed.
  • the gap G in the track R has a constant size.
  • Each of the first rails R1 includes a first running surface R1a that is flat and horizontal on the upper surface, and the running wheels 31 of the running vehicle 2 run on the first running surface R1a in the X direction (first running direction D1).
  • Each of the second rails R2 includes a second running surface R2a that is flat and horizontal on the upper surface, and the running wheels 31 of the running vehicle 2 run on the second running surface R2a in the Y direction (second running direction D2).
  • the intersection rail R3 includes a crossing running surface R3a that is flat and horizontal on the upper surface.
  • the heights of the first running surface R1a, the second running surface R2a, and the intersection running surface R3a are equal throughout the entire track R.
  • the first running surface R1a, the second running surface R2a, and the intersection running surface R3a are arranged on the same or nearly the same horizontal plane.
  • no gaps as large as the gap G are formed between the four intersecting rails R3 described above.
  • the traveling wheels 31 of the traveling vehicle 2 run on the intersecting running surface R3a. At that time, the traveling wheels 31 pass over any two of the four intersecting rails R3 described above.
  • the traveling vehicle 2 changes its traveling direction between the rail units 100 (changing its traveling direction by 90 degrees, i.e., when steering), the traveling wheels 31 of the traveling vehicle 2 pass over the intersecting running surface R3a (while changing direction).
  • a lattice-shaped track R is formed by the first rail member 110, the second rail member 120, and the intersection rail member 130.
  • the layout of the lattice-shaped track R in the overhead traveling vehicle system 1 can be adjusted or changed as appropriate by arranging the multiple rail units 100 in any desired arrangement (including adding or deleting rail units 100).
  • each connecting member 140 includes an upper connecting member 141 and a lower connecting member 142.
  • the upper connecting member 141 which is a plate-like or frame-like member extending horizontally, is attached to the upper surface of one of the four corners of the multiple (typically four) rail units 100.
  • the upper connecting member 141 abuts near the intersection of the first beam portion 111 and the second beam portion 121 in each rail unit 100.
  • the lower connecting member 142 which is a plate-like or frame-like member extending horizontally, supports the lower surface of one of the four corners of the multiple (typically four) rail units 100.
  • the lower connecting member 142 abuts against the intersection rail R3 in each rail unit 100.
  • the upper connecting member 141 and/or the lower connecting member 142 are fixed to the rail units 100 by fastening members (not shown) or the like, thereby connecting the rail units 100 to each other.
  • a space 100e extending in the Z direction is formed between the rail units 100, and a space R3e extending in the Z direction is formed between the four intersection rails R3 adjacent in the X and Y directions (the central parts in a plan view).
  • the hanging member H is inserted into the space 100e and the space R3e, and the upper connecting member 141 and/or the lower connecting member 142 are fixed to the hanging member H.
  • the overhead traveling vehicle system 1 includes a communication system (not shown).
  • the communication system is used for communication between the traveling vehicles 2 and the system controller 5.
  • the traveling vehicles 2 and the system controller 5 are each connected to each other so that they can communicate with each other via the communication system.
  • the traveling vehicle 2 is provided so as to be able to travel along the track R.
  • the traveling vehicle 2 has a traveling carriage 20 that travels on the track R, and a main body 10 that is attached to the lower part of the traveling carriage 20 and can freely turn with respect to the traveling carriage 20.
  • the traveling carriage 20 includes a carriage unit 50, for example, of a rectangular shape, that is arranged below the track R, a running section 30 that is provided at the four corners of the carriage unit 50 in a plan view and protrudes upward from the carriage unit 50, and four wheel turning mechanisms 40 that turn each of the four running wheels 31 of the running section 30 with respect to the carriage unit 50.
  • a carriage controller (control unit) 8 is provided inside the carriage unit 50.
  • the main body 10 is disposed below the track R. As shown in Figures 3 and 4, the main body 10 has a main body frame 12 formed, for example, in a cylindrical shape.
  • the main body frame 12 includes a disk-shaped top plate portion 12a and a cylindrical frame 12b that hangs down from the periphery of the top plate portion 12a, and has a shape with an open bottom.
  • the main body 10 is formed to a size that fits into one square (see Figure 1) on the track R in a plan view.
  • the traveling vehicle 2 can pass other traveling vehicles 2 traveling on the adjacent first rail R1 or second rail R2.
  • the main body 10 is equipped with a transfer device 18 disposed inside the main body frame 12.
  • the transfer device 18 is, for example, rectangular in a plan view.
  • the cylindrical frame 12b is open in a portion of the circumferential direction. The range in which the open portion (notch) is formed is large enough to allow the transfer device 18 to pass through. When moving horizontally, the transfer device 18 passes through an opening in the cylindrical frame 12
  • the main body 10 is attached to the bottom of the bogie unit 50 and can rotate freely around a rotation axis L10 in the Z direction relative to the bogie unit 50.
  • the running wheels 31 provided at the four corners of the bogie unit 50 are placed on the track R (on the first running surface R1a, the second running surface R2a, or the intersection running surface R3a).
  • the bogie unit 50 is suspended from the track R via the four running wheels 31 and the four wheel turning mechanisms 40.
  • the four running wheels 31 allow the bogie unit 50 and the main body 10 to be stably suspended, and the main body 10 to run stably.
  • the running vehicle 2 is suspended and supported by the running wheels 31 that run along the track R, and moves below the track R.
  • the transfer device 18 moves horizontally relative to the main body 10 to transfer the item M between the load port (mounting platform).
  • the transfer device 18 is provided below the top plate 12a of the main frame 12.
  • the main body 10 including the transfer device 18 can be rotated around the rotation axis L10 by a rotation drive unit (horizontal turning mechanism) 12c such as an electric motor provided on the top plate 12a.
  • the transfer device 18 has an item holding unit 13 that holds the item M below the track R, a lifting drive unit 14 that raises and lowers the item holding unit 13 in the vertical direction, and a slide mechanism 11 that slides the lifting drive unit 14 in the horizontal direction.
  • the slide mechanism 11 is held on the underside of the top plate 12a.
  • a rotation drive unit 16 that rotates the lifting drive unit 14 around the rotation axis L14 relative to the slide mechanism 11 is provided between the slide mechanism 11 and the lifting drive unit 14.
  • the rotation drive unit 16 is provided below the slide mechanism 11, and the lift drive unit 14 is provided below the rotation drive unit 16.
  • the item holder 13 is provided below the lift drive unit 14 via multiple hanging members 13b.
  • the load port is the transfer destination or source of the traveling vehicle 2, and is the point where the item M is handed over to and from the traveling vehicle 2.
  • the item holding part 13 holds the item M by suspending it by gripping the flange part Ma of the item M.
  • the item holding part 13 is, for example, a chuck having a claw part 13a that can move horizontally.
  • the item holding part 13 holds the item M by inserting the claw part 13a below the flange part Ma of the item M and raising the item holding part 13.
  • the item holding part 13 is connected to a hanging member 13b such as a wire or belt.
  • the lifting drive unit 14 is, for example, a hoist, which lowers the item holding unit 13 by paying out the hanging member 13b, and raises the item holding unit 13 by winding up the hanging member 13b.
  • the lifting drive unit 14 is controlled by the cart controller 8, and lowers or raises the item holding unit 13 at a predetermined speed.
  • the lifting drive unit 14 is also controlled by the cart controller 8, and holds the item holding unit 13 at a target height.
  • the slide mechanism 11 has multiple movable plates arranged, for example, stacked in the Z direction.
  • the slide mechanism 11 moves the rotation drive unit 16, the lift drive unit 14, and the item holding unit 13 attached to the lowest movable plate in any direction in the horizontal plane.
  • the direction of movement of the movable plate in the slide mechanism 11 is determined by the rotation angle of the main body 10 relative to the cart unit 50.
  • the orientation of the transfer device 18 and the main body frame 12 is set so that the direction of movement of the movable plate coincides with the position of the opening of the cylindrical frame 12b.
  • the rotation drive unit 16 includes, for example, an electric motor, and rotates the lift drive unit 14 (and the item holding unit 13) within a predetermined angle range around a rotation axis L14 extending vertically.
  • the angle at which the lift drive unit 14 can be rotated by the rotation drive unit 16 is, for example, any angle less than 180 degrees, but the upper limit is not limited to 180 degrees.
  • the rotation drive unit 16 can orient the item holding unit 13 (or the item M held by the item holding unit 13) protruding from the side in a desired direction.
  • the slide mechanism 11 and the rotation drive unit 16 are controlled by the cart controller 8.
  • the lift drive unit 14 can be rotated by the rotation drive unit 16 even when the movable plate of the slide mechanism 11 is stored without moving (as shown by the solid line in FIG. 3). In that case, for example, the rotation axis L14 of the lift drive unit 14 coincides with the rotation axis L10 of the main body unit 10.
  • the cart unit 50 has a cylindrical support member (cylindrical member) 52 at the lower end.
  • the top plate portion 12a of the main body frame 12 is rotatably attached to the underside of the support member 52.
  • a rotation drive unit 12c such as an electric motor is provided on the top plate portion 12a.
  • the main body frame 12 rotates around a rotation axis L10 extending vertically to the cart unit 50.
  • the angle at which the main body frame 12 can rotate is, for example, any angle between 360 degrees and 540 degrees, but the upper limit is not limited to 540 degrees and the lower limit is not limited to 360 degrees.
  • the slide mechanism 11 is attached to the underside of the top plate portion 12a, and the top plate portion 12a supports the slide mechanism 11.
  • the main body frame 12 and the transfer device 18 are integrated, and the main body frame 12 and the transfer device 18 rotate together.
  • the traveling vehicle 2 can transfer the item M to and from the load port by using the transfer device 18.
  • a cover may be attached to the outer surface of the cylindrical frame 12b.
  • the cover surrounds the transfer device 18 and the item M held by the transfer device 18.
  • the cover is cylindrical with an open bottom end, and has a cutout at the portion where the movable plate of the slide mechanism 11 protrudes (the above-mentioned open portion).
  • the running unit 30 has four running wheels 31. Two auxiliary wheels 32 are provided for each running wheel 31. As shown in FIG. 4, the running wheels 31 are provided at the four corners of the cart unit 50 so as to protrude upward from the top cover 51. Each running wheel 31 can rotate around a horizontal or nearly horizontal axle axis along the XY plane.
  • a running drive motor 33 is provided on the rotation axis of each running wheel 31. Each running wheel 31 is driven to rotate by the driving force of the running drive motor 33.
  • the running drive motor 33 is configured to be able to switch between forward and reverse rotation, for example. Each running wheel 31 rolls on the track R.
  • Each running wheel 31 rolls on the running surfaces R1a, R2a, and R3a of the first rail R1, the second rail R2, and the intersection rail R3, causing the running vehicle 2 to run. Note that it is not limited to the configuration in which all four running wheels 31 are rotated by the driving force of the running drive motor 33, but it is also possible to configure the running wheels 31 to be rotated only in part.
  • the running wheels 31 of the running unit 30 run on the first running surfaces R1a of a pair of first rails R1 adjacent to each other in the Y direction, causing the running vehicle 2 to move in the X direction.
  • the running wheels 31 of the running unit 30 run on the second running surfaces R2a of a pair of second rails R2 adjacent to each other in the X direction, causing the running vehicle 2 to move in the Y direction.
  • Each wheel swivel mechanism 40 is fixed to a frame (not shown) within the cart unit 50, and a pedestal 34 is connected to each wheel swivel mechanism 40 via the swivel shaft of the wheel swivel mechanism 40.
  • a running wheel 31, two auxiliary wheels 32, and one running drive motor 33 are attached to the pedestal 34 via a connecting portion 35 and a support member 36.
  • a square-shaped top cover 51 is provided on the top surface of the housing 53, and the pedestal 34 is disposed in notches formed in the four corners of the top cover 51.
  • the connecting portion 35, running wheels 31, auxiliary wheels 32, and running drive motor 33 are disposed above the top cover 51.
  • the connecting portion 35 connects the bogie unit 50 (specifically, the wheel turning mechanism 40 fixed in the bogie unit 50) and the running wheels 31.
  • This connecting structure places the bogie unit 50 and the main body 10 below the track R and suspended from the running portion 30.
  • the connecting portion 35 is formed to a thickness that allows it to pass through the gap G between the first rail R1 and the intersection rail R3, and between the second rail R2 and the intersection rail R3.
  • the support member 36 is provided on the upper portion of the connecting portion 35, and rotatably supports the rotation shaft of the running wheels 31 and the rotation shaft of the auxiliary wheels 32. The support member 36 maintains the relative positions of the running wheels 31 and the auxiliary wheels 32.
  • the running wheels 31 are arranged to be rotatable around the pivot lines L30 extending vertically.
  • the four pivot lines L30 are arranged at the vertices of a square in a plan view, and the rotation axis L10 is arranged at the center of the pivot lines L30.
  • the four pivot lines L30 are arranged at positions that are four-fold symmetrical with respect to the rotation axis L10 of the main body 10.
  • the positions of the running wheels 31 and the pivot lines L30 are different (displaced).
  • the running wheels 31 are rotated by the wheel rotation mechanism 40, and as a result, the running direction of the running vehicle 2 can be changed.
  • the auxiliary wheels 32 are arranged one each in front and behind the running wheel 31 in the running direction. Each of the auxiliary wheels 32 can rotate around a horizontal or nearly horizontal axle axis along the XY plane.
  • the lower end of the auxiliary wheel 32 is set, for example, to be higher than the lower end of the running wheel 31. Therefore, when the running wheel 31 is running on the running surfaces R1a, R2a, R3a, the auxiliary wheel 32 does not contact the running surfaces R1a, R2a, R3a.
  • auxiliary wheel 32 comes into contact with auxiliary members (not shown) provided on the first rail R1 and the second rail R2, suppressing the sagging of the running wheel 31.
  • auxiliary wheels 32 there is no limitation to providing two auxiliary wheels 32 for one running wheel 31; for example, one auxiliary wheel 32 may be provided for one running wheel 31, or no auxiliary wheel 32 may be provided.
  • the four wheel turning mechanisms 40 are arranged, for example, at the four corners of the housing 53 of the bogie unit 50.
  • Each wheel turning mechanism 40 has a steering motor 43 and a driving force transmission unit 42 provided between the steering motor 43 and the running wheels 31.
  • the driving force transmission unit 42 is fixed to a frame (not shown) in the bogie unit 50.
  • the driving force transmission unit 42 and the base unit 34 are connected via a turning shaft.
  • Each wheel turning mechanism 40 turns the base unit 34, the connecting unit 35, the support member 36, the running wheels 31, the auxiliary wheels 32, and the running drive motor 33 together around the turning axis L30. With the running vehicle 2 positioned at the center of each rail unit 100, each running wheel 31 is turned 90 degrees around each turning axis L30.
  • Turning refers to switching from a first state in which the traveling vehicle 2 travels in the first traveling direction D1 to a second state in which the traveling vehicle 2 travels in the second traveling direction D2, or from the second state in which the traveling vehicle 2 travels in the second traveling direction D2 to the first state in which the traveling vehicle 2 travels in the first traveling direction D1.
  • the traveling vehicle 2 turns, for example, when the traveling vehicle 2 is stopped.
  • the traveling vehicle 2 may also turn when the traveling vehicle 2 is stopped but the object M is moving (for example, turning).
  • the driving of the wheel turning mechanism 40 is controlled by the cart controller 8.
  • a gap G is formed in the track R.
  • a part of the traveling vehicle 2 passes through the gap G.
  • a guide roller that abuts against the side of the intersection rail R3 may be provided between the running wheel 31 and the wheel turning mechanism 40 (for example, near the connecting portion 35). The guide roller prevents the running carriage 20 (running vehicle 2) from shifting position relative to the track R.
  • the traveling vehicle 2 is equipped with one cell recognition sensor (first sensor) S1 and four position recognition sensors (second sensors) S2. Note that in the example of FIG. 4, only three of the four position recognition sensors S2 are shown.
  • the cell recognition sensor S1 and the position recognition sensor S2 are housed in the housing 53 of the bogie unit 50.
  • the cell recognition sensor S1 is arranged so that its detection direction faces upward and approximately perpendicular to the top cover 51.
  • the position recognition sensor S2 is arranged so that its detection direction faces approximately upward. More specifically, the position recognition sensor S2 is arranged so that its detection direction faces in a direction inclined outward from the center of the cell C with respect to the Z direction.
  • a cell recognition mark (first mark) M1 and a position recognition mark (second mark) M2 are arranged on the track R (see FIG. 7).
  • the cell recognition sensor S1 detects the cell recognition mark M1 arranged on the track R in a non-contact manner.
  • the position recognition sensor S2 detects the position recognition mark M2 arranged on the track R in a non-contact manner.
  • the position recognition sensor S2 detects the position recognition mark M2 through a notch 51a provided in the top cover 51.
  • the cell recognition sensor S1 faces the cell recognition mark M1 when the traveling vehicle 2 is located at a predetermined position within the cell C (when the traveling vehicle 2 is stopped or traveling). At this time, the cell recognition sensor S1 acquires information (first information) about the cell C from the cell recognition mark M1.
  • the position recognition sensor S2 is arranged to face each of the second surfaces 62 (see FIG. 8) on which the position recognition mark M2 is arranged on each of the pair of first rails R1 included in the rail unit 100 when the traveling vehicle 2 moves in the X direction.
  • the position recognition sensor S2 is also arranged to face each of the second surfaces 62 on which the position recognition mark M2 is arranged on each of the pair of second rails R2 included in the rail unit 100 when the traveling vehicle 2 moves in the Y direction.
  • the position recognition sensor S2 acquires position information (second information) on the track R from the position recognition mark M2.
  • the bogie controller 8 performs overall control of the traveling vehicle 2.
  • the bogie controller 8 is a computer consisting of a CPU (Central Processing Unit), a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), etc.
  • the bogie controller 8 can be configured as software in which a program stored in the ROM is loaded onto the RAM and executed by the CPU, for example.
  • the bogie controller 8 may be configured as hardware such as electronic circuits.
  • the bogie controller 8 may be configured as a single device, or may be configured as multiple devices. When configured as multiple devices, these are connected via a communication network such as the Internet or an intranet to logically construct a single bogie controller 8.
  • the bogie controller 8 is provided in the bogie unit 50, for example.
  • the cart controller 8 controls the traveling of the traveling vehicle 2 based on the transport command.
  • the cart controller 8 controls the traveling of the traveling vehicle 2 by controlling the travel drive motor 33 and the steering motor 43, etc.
  • the cart controller 8 controls, for example, the traveling speed, the operation related to stopping, and the operation related to changing direction.
  • the cart controller 8 controls the transfer operation of the traveling vehicle 2 based on the transport command.
  • the cart controller 8 controls the rotation (rotation) of the main body 10 (main body frame 12 and transfer device 18) to control the transfer direction of the transfer device 18.
  • the cart controller 8 controls the transfer operation of the traveling vehicle 2 by controlling the transfer device 18, etc.
  • the cart controller 8 controls the operation of the load grabber that grasps the item M placed at the specified load port, and the unloading operation that lowers the held item M to the specified load port.
  • the system controller 5 is a computer consisting of a CPU, ROM, RAM, etc.
  • the system controller 5 can be configured as software, for example, in which a program stored in the ROM is loaded onto the RAM and executed by the CPU.
  • the system controller 5 may be configured as hardware such as electronic circuits.
  • the system controller 5 may be configured as one device, or multiple devices. When configured as multiple devices, these are connected via a communication network such as the Internet or an intranet to logically construct a single system controller 5. At least some of the various controls of the system controller 5 may be executed by the trolley controller 8.
  • the system controller 5 selects one of the multiple traveling vehicles 2 capable of transporting the item M, and assigns a transport command to the selected traveling vehicle 2.
  • the transport command includes a travel command to cause the traveling vehicle 2 to travel to the load port, and a command to grab the item M placed at the load port or a command to unload the held item M to the load port.
  • Figure 7 is a perspective view showing the rail unit 100 in Figure 2.
  • Figure 8 is a schematic cross-sectional view of the first rail R1 when cut along a plane perpendicular to the X direction. The example of Figure 7 illustrates one rail unit 100 as viewed from the negative side in the Z direction.
  • Each of the first rail R1 and second rail R2 included in the rail unit 100 has a first surface 61 and a second surface 62.
  • the first rail R1 will be described.
  • the first surface 61 is perpendicular to the Z direction.
  • the first surface 61 is parallel to the first running surface R1a in the Z direction.
  • the shape of the first surface 61 is a rectangle extending in the X direction in a plan view.
  • the first surface 61 is formed to face the cell recognition sensor S1 of the running vehicle 2.
  • the first surface 61 is formed so that the running vehicle 2 can run in the X direction with the cell recognition sensor S1 of the running vehicle 2 facing it.
  • a cell recognition mark M1 indicating information about the cell C is arranged on the first surface 61. It can also be said that the cell recognition mark M1 indicates information about which cell is which among the multiple cells C formed by the track R.
  • the information about the cell C may be an ID that uniquely identifies the cell C, or may be information about the position of the cell C.
  • the cell recognition mark M1 is composed of one barcode Ba.
  • the barcode Ba is arranged in the center of the first rail R1 (first surface 61) in the X direction.
  • the cell recognition mark M1 faces the cell recognition sensor S1 when the traveling vehicle 2 is located at a predetermined position in the cell C.
  • the cell recognition sensor S1 acquires information about the cell C from the cell recognition mark M1.
  • the predetermined position refers to the cell center.
  • the state in which the traveling vehicle 2 is located at the cell center in the cell C refers to a state in which the bogie unit 50 is not misaligned horizontally relative to the cell C and is not misaligned in the rotational direction relative to the cell C.
  • the bogie unit 50 is not misaligned horizontally relative to the cell C refers to the center of the bogie unit 50 and the center of the cell C being aligned in a plan view.
  • the bogie unit 50 is not misaligned in the rotational direction relative to the cell C” refers to the two sides of the rectangular bogie unit 50 that extend in the X direction being parallel to the pair of first rails R1 that constitute the cell C in a plan view, and the two sides that extend in the Y direction being parallel to the pair of second rails R2 that constitute the cell C in a plan view.
  • the center of the first rail R1 or the center of the cell C does not need to be strictly the center or center, and may have a certain width.
  • the second surface 62 is disposed outside the first surface 61 when viewed from the center of the cell C.
  • the second surface 62 is inclined toward the traveling vehicle 2 (vertically downward in the example of FIG. 7) with respect to the first surface 61.
  • the shape of the second surface 62 is a rectangle extending in the X direction when viewed from a direction perpendicular to the second surface 62.
  • the second surface 62 is formed to face the position recognition sensor S2 of the traveling vehicle 2.
  • the second surface 62 is formed so that the traveling vehicle 2 can travel in the X direction with the position recognition sensor S2 of the traveling vehicle 2 facing it.
  • a position recognition mark M2 indicating position information on the track R (first rail R1) is arranged on the second surface 62.
  • the position information on the first rail R1 may be information regarding the position in the X direction on the first rail R1, or information regarding the distance from the center of the first rail R1 (center of the cell) in the X direction.
  • the information indicated by the position recognition mark M2 is different from the information indicated by the cell recognition mark M1.
  • the position recognition mark M2 is composed of multiple (14, for example) barcodes Bb arranged in the X direction.
  • the multiple barcodes Bb are arranged on the second surface 62 along the X direction with no gaps.
  • the position recognition mark M2 faces the position recognition sensor S2 when the traveling vehicle 2 is traveling or stopped along the first rail R1.
  • the position recognition sensor S2 acquires position information on the first rail R1 from the position recognition mark M2.
  • the second rail R2 will be described.
  • the configuration of the second rail R2 is the same as the configuration of the first rail R1. Therefore, descriptions that overlap with the first rail R1 described above will be omitted as appropriate.
  • the first surface 61 is parallel to the second running surface R2a (see Figures 1, 2 and 5) in the Z direction.
  • the shape of the first surface 61 is a rectangle extending in the Y direction in a plan view.
  • the first surface 61 is formed so that the running vehicle 2 can run in the Y direction with the cell recognition sensor S1 facing it.
  • a barcode Ba which is the cell recognition mark M1, is arranged on the first surface 61.
  • the barcode Ba is arranged in the center of the second rail R2 (first surface 61) in the Y direction.
  • the shape of the second surface 62 is a rectangle extending in the Y direction when viewed from a direction perpendicular to the second surface 62.
  • the second surface 62 is formed so that the traveling vehicle 2 can travel in the Y direction with the position recognition sensor S2 of the traveling vehicle 2 facing it.
  • a position recognition mark M2 is arranged on the second surface 62.
  • the position information on the second rail R2 may be information about the position in the Y direction on the second rail R2, or information about the distance from the center of the second rail R2 (center of the cell) in the Y direction.
  • the position recognition mark M2 is composed of a plurality of barcodes Bb (14 as an example) arranged in the Y direction.
  • the plurality of barcodes Bb are arranged on the second surface 62 along the Y direction with no gaps.
  • the position recognition mark M2 faces the position recognition mark M2 when the traveling vehicle 2 is traveling or stopped along the second rail R2.
  • the position recognition sensor S2 acquires position information on the second rail R2 from the position recognition mark M2.
  • FIG. 9 is a block diagram showing the functional configuration of the traveling vehicle 2 in FIG. 3.
  • the bogie controller 8 acquires the detection result of the cell recognition sensor S1. Specifically, the bogie controller 8 acquires information on the cell C acquired by the cell recognition sensor S1. Furthermore, the bogie controller 8 identifies the cell C in which the traveling vehicle 2 is located based on the information on the cell C.
  • the trolley controller 8 acquires the detection result of the position recognition sensor S2. Specifically, the trolley controller 8 acquires the position information acquired by the position recognition sensor S2. Based on the position information, the trolley controller 8 also derives the amount of deviation between a predetermined position in the cell C and the stopping position of the traveling vehicle 2.
  • the amount of deviation includes the amount of deviation in the horizontal direction (X direction and Y direction) as well as the amount of deviation in the rotational direction around the Z direction.
  • the amount of deviation in the X direction can be derived, for example, by performing a predetermined calculation process using position information acquired by at least one of the two position recognition sensors S2 facing the second surface 62 of the first rail R1 and pre-stored position information of the center of cell C.
  • the amount of deviation in the X direction can also be derived by pre-storing a table in which the relationship between the position information indicated by the position recognition mark M2 and the above-mentioned amount of deviation is associated and stored, and performing a read process to read out from the table the above-mentioned amount of deviation that corresponds to the position information indicated by the position recognition mark M2 acquired by the position recognition sensor S2.
  • the amount of deviation in the Y direction can also be derived by the above-mentioned calculation process or read process, similar to the amount of deviation in the X direction.
  • the amount of deviation in the rotation direction around the Z direction can be derived by performing a predetermined calculation process using four pieces of position information acquired from two position recognition sensors S2 facing the second surface 62 of the first rail R1 and two position recognition sensors S2 facing the second surface 62 of the second rail R2, for example.
  • the amount of deviation in the rotation direction around the Z direction can be derived by performing a predetermined calculation process using at least the above three pieces of position information.
  • the amount of deviation in the rotation direction around the Z direction can be derived by previously storing a table in which the relationship between the position information and the amount of deviation for each of the four rails that make up one cell C is associated and stored, and by performing a read process to read out the above amount of deviation corresponding to the three pieces of position information acquired by the position recognition sensors S2 from the table.
  • the cart controller 8 controls the slide mechanism 11 included in the transfer device 18 to move the item M in the horizontal direction. Specifically, the cart controller 8 controls the amount of movement of the movable plate of the slide mechanism 11 to control the amount of movement of the item M. The cart controller 8 controls the amount of drive of the slide mechanism 11 when moving the item M in the horizontal direction based on the amount of horizontal deviation.
  • Figure 10(a) illustrates a state in which the traveling vehicle 2 transporting the item M in the first traveling direction D1 is stopped at a position horizontally shifted from a predetermined position in the cell C. Specifically, the stopping position of the traveling vehicle 2 is shifted in the X direction from the predetermined position. As a result, the position of the item M is shifted in the X direction from the load port LP that transfers the item M in a plan view.
  • the load port LP is located directly below the center of the cell C in the vertical direction.
  • two position recognition sensors S2 facing the second surface 62 of the pair of first rails R1 acquire position information on the first rail R1 from the position recognition mark M2.
  • the bogie controller 8 derives the amount of deviation between a predetermined position in the cell C and the stopping position of the traveling vehicle 2 based on the position information acquired by the two position recognition sensors S2.
  • the cart controller 8 drives the slide mechanism 11 to move the item M in the horizontal direction (X direction).
  • the cart controller 8 controls the movement amount of the movable plate of the slide mechanism 11 based on the amount of horizontal deviation.
  • the item M is moved in the X direction based on the amount of deviation derived by the cart controller 8. Therefore, as shown in FIG. 10(b), the position of the item M is adjusted relative to the position of the load port LP.
  • the cart controller 8 also controls the rotation drive unit 12c provided on the top plate 12a to horizontally rotate the transfer device 18 and the item M held by the transfer device 18 around the Z direction. Specifically, the cart controller 8 controls the drive amount of the rotation drive unit 12c to control the horizontal rotation amount of the transfer device 18 and the item M held by the transfer device 18. The cart controller 8 controls the drive amount of the rotation drive unit 12c when horizontally rotating the item M based on the deviation amount in the rotation direction derived as described above.
  • Figure 11(a) illustrates a state in which the traveling vehicle 2 transporting the item M is stopped at a position that is shifted in the rotational direction from a predetermined position in the cell C. Specifically, the stopping position of the traveling vehicle 2 is shifted in the clockwise direction from the predetermined position. As a result, the position of the item M is shifted in the clockwise direction with respect to the load port LP.
  • the load port LP is located directly below the center of the cell C in the vertical direction.
  • the bogie controller 8 derives the amount of deviation between a predetermined position in the cell C and the stopping position of the traveling vehicle 2 based on the position information acquired by the four position recognition sensors S2.
  • the cart controller 8 drives the rotation drive unit 12c provided on the top plate portion 12a to rotate the item M horizontally in a counterclockwise direction around the Z direction.
  • the cart controller 8 controls the drive amount of the rotation drive unit 12c based on the amount of deviation in the rotation direction.
  • the item M is horizontally rotated in a counterclockwise direction based on the amount of deviation derived by the cart controller 8. Therefore, as shown in FIG. 11(b), the position of the item M is adjusted relative to the position of the load port LP.
  • the first rail R1 and the second rail R2 forming the track R are each provided with a first surface 61 and a second surface 62 separate from the first surface 61.
  • the second surface 62 which is arranged on the outside of the first surface 61 when viewed from the center of the cell C in a plan view, is arranged so as to be inclined toward the traveling vehicle 2 with respect to the first surface 61.
  • the overhead traveling vehicle system 1 of the above embodiment further includes a carriage controller 8 that controls the traveling vehicle 2, and one of the two different types of marks is a position recognition mark M2 that indicates position information on the track R, and the position recognition sensor S2 facing the position recognition mark M2 is arranged so as to face each of the position recognition marks M2 arranged on each of the pair of first rails R1 when the traveling vehicle 2 moves in the X direction.
  • the position recognition sensor S2 is arranged so as to face each of the position recognition marks M2 arranged on each of the pair of second rails R2 when the traveling vehicle 2 moves in the Y direction.
  • the position recognition sensor S2 is four position recognition sensors S2 that acquire position information from the position recognition mark M2.
  • the carriage controller 8 derives the amount of deviation between a predetermined position in the cell C and the stop position of the traveling vehicle 2 based on the position information acquired by the position recognition sensor S2. In this case, the carriage controller 8 can detect the position deviation when the traveling vehicle 2 is stopped.
  • the traveling vehicle 2 has a transfer device 18 that transfers the item M, and the cart controller 8 controls the drive amount of the transfer device 18 when moving the item M in the horizontal direction (X direction and Y direction) based on the amount of deviation.
  • the traveling vehicle 2 is not stopped at a predetermined position in the cell C, the position to which the item M is transferred is adjusted by the transfer device 18, so that the item M can be accurately transferred to the predetermined transfer position.
  • the traveling vehicle 2 has a transfer device 18 that transfers the item M.
  • the traveling vehicle 2 has a top plate portion 12a and a rotation drive unit 16 that rotates the item M horizontally around the Z direction.
  • the cart controller 8 controls the drive amount of the rotation drive unit 12c provided on the top plate portion 12a when rotating the item M horizontally, and the drive amount of the rotation drive unit 16 included in the transfer device 18, based on the amount of deviation. In this case, even if the traveling vehicle 2 is not stopped at a predetermined position in the cell C, the position to which the item M is transferred by the transfer device 18 is adjusted by the top plate portion 12a and the rotation drive unit 16, so that the item M can be transferred more accurately to the predetermined transfer position.
  • the cart controller 8 controls the traveling unit 30 so that the traveling vehicle 2 moves to a predetermined position within the cell C based on the amount of deviation. In this case, even if the traveling vehicle 2 is not stopped at a predetermined position within the cell C, the position of the traveling vehicle 2 is adjusted, so that the item M can be transferred to the predetermined transfer position more accurately.
  • the item M is transferred to a predetermined position on the load port LP by controlling the movement amount of the movable plate of the slide mechanism 11 and/or the drive amount of the rotation drive units 12c, 16, but this is not limited to the above.
  • the cart controller 8 may control the movement amount of the traveling vehicle 2 in the X direction and Y direction by controlling the running unit 30. Specifically, the cart controller 8 may control the drive amount of the running drive motor 33 that drives the running wheels 31 included in the running unit 30.
  • the cart controller 8 controls the running unit 30 so that the traveling vehicle 2 moves to the predetermined position based on the amount of offset in the horizontal and rotational directions.
  • Figure 12(a) illustrates a state in which the traveling vehicle 2 transporting the item M in the first traveling direction D1 is stopped at a position horizontally shifted from a predetermined position in the cell C. Specifically, the stopping position of the traveling vehicle 2 is shifted in the X direction from the predetermined position. As a result, the position of the item M is shifted in the X direction from the load port LP.
  • the load port LP is also located directly below the center of the cell C in the vertical direction.
  • two position recognition sensors S2 facing the second surface 62 of the pair of first rails R1 acquire position information from the position recognition mark M2.
  • the bogie controller 8 derives the amount of deviation between a predetermined position in the cell C and the stopping position of the traveling vehicle 2 based on the position information acquired by the two position recognition sensors S2.
  • the cart controller 8 drives the running unit 30 to move the running vehicle 2 in the horizontal direction (X direction). At this time, the cart controller 8 controls the drive amount of the running unit 30 based on the amount of deviation in the horizontal direction. As a result, the item M is moved in the X direction based on the amount of deviation derived by the cart controller 8. Therefore, as shown in FIG. 12(b), the position of the item M relative to the position of the load port LP is adjusted.
  • the item M is transferred to the load port LP in a configuration in which the load port LP is provided directly below the center of the cell C in the vertical direction, but this is not limiting.
  • the item M can be transferred to a predetermined position on the load port LP by controlling the drive amount of the transfer device 18 when moving the item M in the horizontal direction (X direction and Y direction) based on the amount of offset, or by controlling the drive amount of the horizontal rotation mechanism when rotating the item M horizontally.
  • the trolley controller 8 may move the item M horizontally by controlling the slide mechanism 11 included in the transfer device 18, and then rotate the item M horizontally by controlling the rotation drive unit 16 included in the transfer device 18 based on the offset amount derived as described above.
  • the traveling vehicle 2 may hold the item M above the track R.
  • the cart unit 50 is disposed above the traveling section 30.
  • the cell recognition sensor S1 is disposed, for example, so as to face downwards approximately perpendicular to the lower surface of the cart unit 50.
  • the position recognition sensor S2 is disposed, for example, so as to face approximately downwards.
  • the position recognition sensor S2 is disposed so as to face in a direction inclined toward the outside as viewed from the center of the cell C with respect to the Z direction.
  • the first surface 61 is disposed so as to be perpendicular to the Z direction and face upwards
  • the second surface 62 is disposed so as to be inclined toward the traveling vehicle 2 side (for example, the vertical upward side in the example of FIG. 7) with respect to the first surface 61.
  • the cell recognition sensor S1 faces the cell recognition mark M1 disposed on the first surface 61
  • the position recognition sensor S2 faces the position recognition mark M2 disposed on the second surface 62.
  • the four pivot axes L30 of the running unit 30 and the wheel turning mechanism 40 are arranged at the vertices of a square in a plan view, but the arrangement of the pivot axes L30 does not have to be square. In a plan view, the position of the running wheels 31 and the position of the pivot axes L30 may coincide.
  • each running wheel 31 may transfer from the first running surface R1a to the second running surface R2a, or from the second running surface R2a to the first running surface R1a.
  • the cell recognition mark M1 is described as being provided at the center of the first rail R1 in the X direction and at the center of the second rail R2 in the Y direction.
  • the position of the cell recognition mark M1 may be arranged along the extension direction, for example, like the position recognition mark M2, and the installation position of the cell recognition mark M1 is not particularly limited as long as it can be detected by the cell recognition sensor S1.
  • the case where the cell recognition mark M1 is arranged on the first surface 61 and the position recognition mark M2 is arranged on the second surface 62 has been described, but the arrangement of the marks may be reversed. In other words, the cell recognition mark M1 may be arranged on the second surface 62 and the position recognition mark M2 may be arranged on the first surface 61.
  • a barcode has been used as an example of the cell recognition mark M1 and the position recognition mark M2, but a two-dimensional code such as a QR code (registered trademark) may also be used.
  • a barcode reader capable of reading two-dimensional barcodes may be used instead of the barcode reader capable of reading the barcodes employed as the cell recognition sensor S1 and the position recognition sensor S2.
  • a display identifiable by the cell recognition sensor S1 and the position recognition sensor S2
  • a camera or the like may be used as the cell recognition sensor S1 and the position recognition sensor S2.
  • 1...Overhead traveling vehicle system (railed vehicle system), 2...Overhead traveling vehicle (railed vehicle), 8...Vehicle controller (control unit), 12c, 16...Rotation drive unit (horizontal rotation mechanism), 18...Transfer device, 30...Travel unit, 61...First surface, 62...Second surface, C...Cell, M...Item (object), M1...Cell recognition mark (first mark), M2...Position recognition mark (second mark), R...Track, R1...First rail, R2...Second rail, S1...Cell recognition sensor (first sensor), S2...Position recognition sensor (second sensor).

Landscapes

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Abstract

天井走行車システムは、Ｘ方向に延在する複数の第１レールと、Ｙ方向に延在する複数の第２レールとが格子状に配置された軌道と、Ｙ方向に隣り合う一対の第１レールを走行し、Ｘ方向に隣り合う一対の第２レールを走行する走行車と、を備え、第１レール及び第２レールのそれぞれは、セル認識用マークが配置される第１面と、位置認識用マークが配置される第２面であって、平面視においてセルの中心から見たときに、第１面の外側に配置されると共に第１面に対して走行車２側に傾斜する第２面と、を有する。

Description

有軌道台車システム
　本開示の一側面は、有軌道台車システムに関する。
　有軌道台車システムに関する技術として、特許文献１には、天井搬送車システムが開示されている。この天井搬送車システムは、第１方向に延在する第１レール（第１軌道）及び第１方向に直交する第２方向に延在する第２レール（第２軌道）を含むレールと、当該レールに沿って走行する有軌道台車（天井搬送車）とを備える。第１レール及び第２レールが格子状に配置されることで、平面視において複数のセル（区画）が形成される。有軌道台車は、隣り合う一対の第１レールを走行することで第１方向に移動し、隣り合う一対の第２レールを走行することで第２方向に移動する。有軌道台車は、一のセルから、第１方向又は第２方向に走行することで当該一のセルと隣り合う他のセルに移動することができる。
特許第７０４０６３８号公報
　上記レールを構成する第１レール及び第２レールには、有軌道台車に設けられたセンサにより検出可能な所定の情報を示すマークが配置される。有軌道台車は、センサにより当該マークを検出して情報を取得することで、当該情報に基づく制御が可能になる。ここで、互いに異なる種類の情報を示す２種類のマークをレールの走行方向における同じ位置に配置したい場合がある。しかしながら、上記従来のレールにはマークを配置するための面が１つしかないので、２種類のマークを配置できない。
　このような問題に対し、２種類のマークをそれぞれ配置する２つの面をレールに形成することが考えられる。この場合、マークが配置される面にセンサが対向するように有軌道台車が構成されるが、このようなセンサを配置するための構成を含めた有軌道台車のサイズをコンパクトにしたいという要望がある。
　そこで、本開示の一側面の目的は、有軌道台車の大型化を抑制しつつ、互いに異なる２種類のマークをレールに配置できる有軌道台車システムを提供することにある。
　本開示の一側面に係る有軌道台車システムは、第１方向に延在する複数の第１レールと、第１方向と直交する第２方向に延在する第２レールとが格子状に配置されたレールと、第２方向に隣り合う一対の第１レールを走行部が走行することにより第１方向に移動し、第１方向に隣り合う一対の第２レールを走行部が走行することにより第２方向に移動する有軌道台車と、を備え、有軌道台車は、第１情報を示す第１マークから第１情報を取得する第１センサと、第１情報と異なる情報である第２情報を示す第２マークから第２情報を取得する第２センサと、を有し、第１レール及び第２レールのそれぞれは、第１センサに対向し、第１マークが配置される第１面と、第２センサに対向し、第２マークが配置される第２面であって、平面視において一対の第１レールと一対の第２レールとによって囲まれる空間であるセルの中心から見たときに、第１面の外側に配置されると共に第１面に対して有軌道台車側に傾斜する第２面と、を有する。
　この構成の有軌道台車システムでは、レールを形成する第１レール及び第２レールのそれぞれに、第１面と第１面とは別の第２面とを設けたので、種類の異なる２種類のマークをそれぞれの面に１種類ずつマークを配置することで、互いに異なる２種類のマークをレールの走行方向における同じ位置に配置できる。また、この構成の有軌道台車システムでは、平面視においてセルの中心から見たときに前記第１面の外側に配置される第２面が、第１面に対して有軌道台車側に傾斜するように配置される。これにより、第２センサを第２面に対向させるために、第２センサを有軌道台車から張り出すように設ける必要がなく、有軌道台車の大型化を抑制できる。
　本開示の一側面に係る有軌道台車システムは、有軌道台車を制御する制御部をさらに備え、第１マーク及び第２マークのいずれか一方は、レールにおける位置情報を示す位置認識用マークであり、位置認識用マークに対向する第１センサ及び第２センサの何れか一方は、有軌道台車が第１方向に移動するときに一対の第１レールのそれぞれにおいて位置認識用マークが配置される第１面又は第２面のそれぞれに対向するように配置されると共に、有軌道台車が第２方向に移動するときに一対の第２レールのそれぞれにおいて位置認識用マークが配置される第１面又は第２面のそれぞれに対向するように配置され、前記位置認識用マークから前記位置情報を取得する４つの位置認識用センサであり、制御部は、位置認識用センサにより取得された位置情報に基づいて、セル内における所定位置と有軌道台車の停止位置とのずれ量を導出してもよい。この場合、有軌道台車の停止時における位置ずれを検出できる。
　本開示の一側面に係る有軌道台車システムでは、有軌道台車は、物体を移載する移載装置を有し、制御部は、ずれ量に基づいて、物体を水平方向に移動させる際の移載装置の駆動量を制御してもよい。この場合、有軌道台車がセル内における所定位置に停止していない場合でも、移載装置によって物体を移載される位置が調整されるので、所定の移載位置に正確に物体を移載することができる。
　本開示の一側面に係る有軌道台車システムでは、有軌道台車は、物体を移載する移載装置と、第１方向及び第２方向の双方に直交する第３方向まわりに物体を水平旋回させる水平旋回機構とを有し、制御部は、ずれ量に基づいて、物体を水平旋回する際の水平旋回機構の駆動量を制御してもよい。この場合、有軌道台車がセル内における所定位置に停止していない場合でも、移載装置によって物体を移載される位置が水平旋回機構により調整されるので、所定の移載位置に一層正確に物体を移載することができる。
　本開示の一側面に係る有軌道台車システムでは、制御部は、ずれ量に基づいてセル内における所定位置に有軌道台車が移動するように、走行部を制御してもよい。この場合、有軌道台車がセル内における所定位置に停止していない場合でも、有軌道台車の位置が調整されるので、所定の移載位置に一層正確に物体を移載することができる。
　本開示の一側面によれば、有軌道台車の大型化を抑制しつつ、互いに異なる２種類のマークをレールに配置できる有軌道台車システムを提供できる。
図１は、実施形態に係る天井走行車システムの一例を示す斜視図である。 図２は、図１中のレール組立体を構成する４つのレールユニットとそれらを連結する連結部材とを示す分解斜視図である。 図３は、図１中の走行車を示す側面図である。 図４は、図１中の走行車を示す斜視図である。 図５は、レール組立体のうちのレール部分のみを示す斜視図である。 図６は、複数のレールユニット同士の連結部を示す断面図である。 図７は、図２中のレールユニットを示す斜視図である。 図８は、Ｘ方向に直交する面で切断した場合の第１レールの模式的な断面図である。 図９は、図３中の走行車の機能構成を示すブロック図である。 （ａ）及び（ｂ）は、スライド機構の駆動量を制御しながらロードポートに物品を載置する際の走行車の動作の一例を示す模式的な平面図である。 （ａ）及び（ｂ）は、回転駆動部の駆動量を制御しながらロードポートに物品を載置する際の走行車の動作の一例を示す模式的な平面図である。 （ａ）及び（ｂ）は、走行駆動モータの駆動量を制御しながらロードポートに物品を載置する際の走行車の動作の一例を示す模式的な平面図である。
　以下、本開示の一側面の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、図面の説明において同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図面においては、説明の便宜上、実施形態に係る各構成が縮尺を適宜に変更して表現される。いくつかの図面にはＸＹＺ直交座標系が併記される。以下の説明では、説明の容易のためにこの座標系が参照される。以下、水平面に沿った一方向をＸ方向（第１方向）とし、Ｘ方向に直交し且つ水平面に沿った方向をＹ方向（第２方向）とし、Ｘ方向及びＹ方向の双方に直交する鉛直方向をＺ方向として説明する。
　図１に示されるように、実施形態に係る天井走行車システム（有軌道台車システム）１は、例えば半導体製造工場のクリーンルームにおいて、物品（物体）Ｍを天井走行車（有軌道台車）２により搬送するためのグリッドシステム（搬送システム）である。天井走行車システム１は、例えば複数の天井走行車２（以下、「走行車２」と総称する）と、複数の走行車２を制御するシステムコントローラ５と、複数の走行車２が走行する軌道Ｒと、を備える。走行車２は、天井走行車システム１の軌道Ｒに沿って移動する。走行車２は、軌道Ｒに沿って走行し、半導体ウエハを収容するＦＯＵＰ（Front　Opening　Unified　Pod）、或いはレチクルを収容するレチクルＰｏｄ等の物品Ｍを搬送する。走行車２は、台車、搬送車、搬送台車、又は走行台車等と称されてもよい。複数の走行車２により、物品Ｍの高密度な搬送が可能となり、物品Ｍの搬送効率が向上する。なお、天井走行車システム１が１つの走行車２のみを備えてもよい。
　軌道Ｒは、クリーンルーム等の建屋の天井又は天井付近に設けられている。軌道Ｒは、例えば、処理装置、ストッカ（自動倉庫）等に隣接して設けられる。処理装置は、例えば、露光装置、コータディベロッパ、成膜装置、エッチング装置等であり、走行車２が搬送する物品Ｍ内の半導体ウエハに各種処理を施す。ストッカは、走行車２が搬送する物品Ｍを保管する。
　軌道Ｒは、平面視で格子状に配置されている（図５も参照）。軌道Ｒは、水平方向に沿って延びる。本実施形態では、軌道Ｒは、第１レールＲ１、第２レールＲ２及び交差部レールＲ３を備えた複数のレールユニット１００がＸ方向及びＹ方向に並んで設けられることによって構築される。天井走行車システム１は、Ｘ方向及びＹ方向に並んで設けられた複数のレールユニット１００と、複数のレールユニット１００を互いに連結する複数の連結部材１４０とを備える。複数のレールユニット１００と複数の連結部材１４０とによって、レール組立体２００が形成される。レール組立体２００は、連結部材１４０によってレールユニット１００同士が連結される部分において、複数の吊り下げ部材Ｈによって不図示の天井等に吊り下げられる。
　図２は、図１中のレール組立体２００を構成する４つのレールユニット１００と、それらを連結する連結部材１４０とを示す分解斜視図である。各レールユニット１００は、直方体状（枠状）の部材であり、同一の構成を有する。各レールユニット１００は、Ｘ方向に沿って配置された２つの第１レール部材１１０と、Ｙ方向に沿って配置された２つの第２レール部材１２０と、第１レール部材１１０及び第２レール部材１２０の延長線上（すなわち格子の交点の位置）に隙間が形成されるように配置された４つの交差部レール部材１３０とを含む。レールユニット１００を平面視した場合に、平行な２つの第１レール部材１１０と平行な２つの第２レール部材１２０とが正方形状に配置されており、その正方形の頂点の位置に４つの交差部レール部材１３０が配置される。
　各レールユニット１００は、例えば金属製であり、第１レール部材１１０、第２レール部材１２０、及び交差部レール部材１３０の各部が成形された後に一体化されたユニットである。各第１レール部材１１０は、レールユニット１００の上端位置に配置されてＸ方向に延びる第１ビーム部１１１と、レールユニット１００の下端位置に配置されてＸ方向に延びる第１レールＲ１と、第１ビーム部１１１及び第１レールＲ１の間に配置されると共に第１ビーム部１１１及び第１レールＲ１に接合された第１支持壁１１３とを含む。各第２レール部材１２０は、レールユニット１００の上端位置に配置されてＹ方向に延びる第２ビーム部１２１と、レールユニット１００の下端位置に配置されてＹ方向に延びる第２レールＲ２と、第２ビーム部１２１及び第２レールＲ２の間に配置されると共に第２ビーム部１２１及び第２レールＲ２に接合された第２支持壁１２３とを含む。複数の第１ビーム部１１１と複数の第２ビーム部１２１とによって、レール組立体２００の上端位置においてＸＹ平面に沿って延びる格子状の構造体が形成されている。第１支持壁１１３は、ＸＺ平面に沿って延びる。第２支持壁１２３は、ＹＺ平面に沿って延びる。
　交差部レール部材１３０は、第１ビーム部１１１及び第２ビーム部１２１が直角に接合された位置においてＺ方向（鉛直方向）に沿って延びる交差部支持柱１３３と、交差部支持柱１３３の下端に設けられた交差部レールＲ３とを含む。
　図１及び図５に示されるように、複数の第１レールＲ１は、それぞれＸ方向に沿って延在する。複数の第２レールＲ２は、それぞれＹ方向に沿って延在する。軌道Ｒでは、複数の第１レールＲ１と複数の第２レールＲ２とが、平面視において格子状に配置されている。軌道Ｒは、複数の第１レールＲ１と複数の第２レールＲ２とにより複数のマス目を形成する。つまり、軌道Ｒは、平面視において一対の第１レールＲ１と一対の第２レールＲ２とによって囲まれる空間であるセルＣを形成する。交差部レールＲ３は、第１レールＲ１と第２レールＲ２との交差点に対応する部分に配置される。交差部レールＲ３は、第１レールＲ１に対してＸ方向に間隔をあけて隣り合い、Ｘ方向に延在する部分（第１レール）を有する。交差部レールＲ３は、第２レールＲ２に対してＹ方向に隣り合い、Ｙ方向に延在する部分（第２レール）を有する。交差部レールＲ３は、走行車２が第１レールＲ１に沿って走行する際と、走行車２が第２レールＲ２に沿って走行する際と、走行車２が第１レールＲ１から第２レールＲ２へと又は第２レールＲ２から第１レールＲ１へと走行する際と、の何れの際にも用いられる。
　各レールユニット１００は、その内側において１つのマス目に対応する正方形状の（又は長方形状の）軌道Ｒを形成する。複数のレールユニット１００がＸ方向及びＹ方向に並べられることにより、複数の第１レールＲ１がＸ方向に連なって延在し、複数の第２レールＲ２がＹ方向に連なって延在する。Ｘ方向線上において、１つの第１レールＲ１と別の１つの第１レールＲ１との間に、間隔をあけて２つの交差部レールＲ３が配置される。Ｙ方向線上において、１つの第２レールＲ２と別の１つの第２レールＲ２との間に、間隔をあけて２つの交差部レールＲ３が配置される。軌道Ｒについて別の観点で説明する。Ｘ方向に並ぶ２つのマス目及びＹ方向に並ぶ２つのマス目からなる４つのマス目に着目した場合、Ｙ方向に隣り合う２つの第１レールＲ１と、Ｙ方向に隣り合う別の２つの第１レールＲ１との間に、Ｘ方向及びＹ方向に隣り合う４つの交差部レールＲ３が（第１レールＲ１に対して）間隔をあけて配置されている。またＸ方向に隣り合う２つの第２レールＲ２と、Ｘ方向に隣り合う別の２つの第２レールＲ２との間に、上記と同じ４つの交差部レールＲ３が（第２レールＲ２に対して）間隔をあけて配置されている。
　レール組立体２００では、複数の第１レールＲ１、複数の第２レールＲ２、及び複数の交差部レールＲ３が相互に所定の間隔をあけて配置され、これによって軌道Ｒが構築されている。各第１レールＲ１と各交差部レールＲ３との間には、上記間隔に相当する隙間Ｇが形成されている。各第２レールＲ２と各交差部レールＲ３との間には、上記間隔に相当する隙間Ｇが形成されている。軌道Ｒにおける隙間Ｇは、一定の大きさを有する。各第１レールＲ１は、上面において平坦かつ水平な第１走行面Ｒ１ａを含み、走行車２の走行車輪３１が第１走行面Ｒ１ａ上をＸ方向（第１走行方向Ｄ１）に走行する。各第２レールＲ２は、上面において平坦かつ水平な第２走行面Ｒ２ａを含み、走行車２の走行車輪３１が第２走行面Ｒ２ａ上をＹ方向（第２走行方向Ｄ２）に走行する。交差部レールＲ３は、上面において平坦かつ水平な交差部走行面Ｒ３ａを含む。軌道Ｒの全体にわたって、第１走行面Ｒ１ａ、第２走行面Ｒ２ａ、及び交差部走行面Ｒ３ａの高さは等しい。第１走行面Ｒ１ａ、第２走行面Ｒ２ａ、及び交差部走行面Ｒ３ａは、同一又はほぼ同一の水平面上に配置される。
　例えば、上記した４つの交差部レールＲ３の間には、隙間Ｇのような大きさの隙間は形成されていない。走行車２が複数のレールユニット１００を直線的に通過する際に、走行車２の走行車輪３１が交差部走行面Ｒ３ａ上を走行する。その際、上記した４つの交差部レールＲ３の何れか２つの上を走行車輪３１が通過する。或いは、走行車２がレールユニット１００間において走行方向を変更する際（走行方向を９０度変更する、すなわち転舵する際）に、走行車２の走行車輪３１が交差部走行面Ｒ３ａ上を（向きを変えながら）通過する。
　以上のとおり、レール組立体２００では、第１レール部材１１０、第２レール部材１２０、及び交差部レール部材１３０によって格子状の軌道Ｒが構成されている。天井走行車システム１における格子状に構成された軌道Ｒのレイアウトは、複数のレールユニット１００を任意の配列（レールユニット１００の追加又は削除を含む）とすることにより、適宜に調整又は変更され得る。
　図２及び図６を参照して、連結部材１４０によるレールユニット１００の連結構造について説明する。図２及び図６に示されるように、各連結部材１４０は、上連結部材１４１と下連結部材１４２とを含む。水平に延在する板状又は枠状の上連結部材１４１には、複数の（典型的には４つの）レールユニット１００の四隅のいずれか１つの上面が取り付けられる。上連結部材１４１は、各レールユニット１００における第１ビーム部１１１と第２ビーム部１２１の交点付近に当接する。水平に延在する板状又は枠状の下連結部材１４２は、複数の（典型的には４つの）レールユニット１００の四隅のいずれか１つの下面を支持する。下連結部材１４２は、各レールユニット１００における交差部レールＲ３に当接する。
　鉛直方向に延びる棒状の吊り下げ部材Ｈが、上連結部材１４１及び下連結部材１４２を貫通している。不図示の締結部材等によって上連結部材１４１及び／又は下連結部材１４２がレールユニット１００に固定されており、それによってレールユニット１００同士が連結されている。なお、レールユニット１００の間にはＺ方向に延びる空間１００ｅが形成されており、Ｘ方向及びＹ方向に隣り合う４つの交差部レールＲ３の間（平面視における中央部分）にはＺ方向に延びる空間Ｒ３ｅが形成されている。空間１００ｅ及び空間Ｒ３ｅに吊り下げ部材Ｈが挿通され、吊り下げ部材Ｈに対して上連結部材１４１及び／又は下連結部材１４２が固定されている。
　天井走行車システム１は、通信システム（図示せず）を備える。通信システムは、走行車２及びシステムコントローラ５の通信に用いられる。走行車２及びシステムコントローラ５は、それぞれ通信システムを介して通信可能に接続される。
　続いて、図１、図３及び図４を参照して、走行車２の構成について説明する。図１及び図３に示されるように、走行車２は、軌道Ｒに沿って走行可能に設けられている。走行車２は、軌道Ｒ上を走行する走行台車２０と、走行台車２０の下部に取り付けられ、走行台車２０に対して旋回自在な本体部１０とを有する。走行台車２０は、軌道Ｒの下方に配置された例えば矩形状の台車ユニット５０と、平面視における台車ユニット５０の四隅の位置に設けられ、台車ユニット５０から上方に突出して設けられた走行部３０と、走行部３０における４つの走行車輪３１のそれぞれを台車ユニット５０に対して旋回させる４つの車輪旋回機構４０とを含む。台車ユニット５０の内部には、台車コントローラ（制御部）８が設けられている。
　本体部１０は、軌道Ｒの下方に配置される。図３及び図４に示されるように、本体部１０は、例えば円筒状に形成された本体フレーム１２を有する。本体フレーム１２は、円盤状の天板部１２ａと、天板部１２ａの周縁部から垂下する円筒フレーム１２ｂとを含み、下面が開放された形状を有する。本体部１０は、平面視で軌道Ｒにおける１つのマス目（図１参照）に収まる寸法に形成される。走行車２は、隣り合う第１レールＲ１又は第２レールＲ２を走行する他の走行車２とすれ違うことが可能である。本体部１０は、本体フレーム１２の内部に配置された移載装置１８を備える。移載装置１８は、例えば平面視で矩形状である。円筒フレーム１２ｂは、周方向の一部において開放されている。開放部（切欠き）が形成される範囲は、移載装置１８の通過を許容できる程度に十分大きい。移載装置１８は、水平に移動する際、円筒フレーム１２ｂの開放部を通過する。
　本体部１０は、台車ユニット５０の下部に取り付けられ、台車ユニット５０に対してＺ方向の回転軸線Ｌ１０周りに旋回自在である。台車ユニット５０の四隅の位置に設けられた走行車輪３１が、軌道Ｒ上（第１走行面Ｒ１ａ上、第２走行面Ｒ２ａ、又は交差部走行面Ｒ３ａ上）に載っている。台車ユニット５０は、４つの走行車輪３１及び４つの車輪旋回機構４０を介して、軌道Ｒに吊り下げられている。４つの走行車輪３１により、台車ユニット５０及び本体部１０を安定して吊り下げることができ、且つ、本体部１０を安定して走行させることができる。すなわち、走行車２は、軌道Ｒに沿って走行する走行車輪３１に吊り下げ支持されて、軌道Ｒの下方で移動する。
　移載装置１８は、本体部１０に対して水平方向に移動してロードポート（載置台）との間で物品Ｍを移載する。移載装置１８は、本体フレーム１２の天板部１２ａの下方に設けられている。移載装置１８を含む本体部１０は、天板部１２ａに設けられた電動モータ等の回転駆動部（水平旋回機構）１２ｃによって回転軸線Ｌ１０周りに回転可能である。移載装置１８は、軌道Ｒの下側で物品Ｍを保持する物品保持部１３と、物品保持部１３を鉛直方向に昇降させる昇降駆動部１４と、昇降駆動部１４を水平方向にスライド移動させるスライド機構１１と、を有する。スライド機構１１は天板部１２ａの下面に保持される。スライド機構１１と昇降駆動部１４の間には、スライド機構１１に対して昇降駆動部１４を回転軸線Ｌ１４周りに回転駆動する回転駆動部１６が設けられている。回転駆動部１６はスライド機構１１の下方に設けられ、昇降駆動部１４は回転駆動部１６の下方に設けられる。物品保持部１３は、複数本の吊り下げ部材１３ｂを介して昇降駆動部１４の下方に設けられる。ロードポートは、走行車２の移載先又は移載元であって、走行車２との間で物品Ｍの受け渡しをする地点である。
　物品保持部１３は、物品Ｍのフランジ部Ｍａを把持することにより、物品Ｍを吊り下げて保持する。物品保持部１３は、例えば、水平方向に移動可能な爪部１３ａを有するチャックである。物品保持部１３は、爪部１３ａを物品Ｍのフランジ部Ｍａの下方に進入させ、物品保持部１３を上昇させることで、物品Ｍを保持する。物品保持部１３は、ワイヤあるいはベルト等の吊り下げ部材１３ｂに接続されている。
　昇降駆動部１４は、例えばホイストであり、吊り下げ部材１３ｂを繰り出すことにより物品保持部１３を下降させ、吊り下げ部材１３ｂを巻き取ることにより物品保持部１３を上昇させる。昇降駆動部１４は、台車コントローラ８によって制御され、所定の速度で物品保持部１３を下降あるいは上昇させる。また、昇降駆動部１４は、台車コントローラ８によって制御され、物品保持部１３を目標の高さに保持する。
　スライド機構１１は、例えばＺ方向に重ねて配置された複数の可動板を有する。本体部１０を旋回させることよって、スライド機構１１は、水平面内における任意の方向に、最下層の可動板に取り付けられた回転駆動部１６、昇降駆動部１４及び物品保持部１３を移動させる。台車ユニット５０に対する本体部１０の旋回角度により、スライド機構１１における可動板の移動方向が決まる。本体部１０では、可動板の移動方向と、円筒フレーム１２ｂの開放部の位置とが一致するよう、移載装置１８と本体フレーム１２の方位が設定されている。
　回転駆動部１６は、例えば電動モータ等を含み、鉛直方向に延びる回転軸線Ｌ１４周りに所定の角度範囲で昇降駆動部１４（及び物品保持部１３）を回転させる。回転駆動部１６によって回転可能な角度は、例えば１８０度以下の任意の角度であるが、上限は１８０度に限られない。回転駆動部１６により、横出しされた物品保持部１３（又は物品保持部１３が保持する物品Ｍ）を所望の向きに向けることができる。スライド機構１１及び回転駆動部１６は、台車コントローラ８によって制御される。なお、スライド機構１１の可動板が移動せず収納された状態（図３において実線で示される状態）でも、回転駆動部１６による昇降駆動部１４の回転は可能である。その場合、例えば、昇降駆動部１４の回転軸線Ｌ１４は本体部１０の回転軸線Ｌ１０に一致する。
　台車ユニット５０は、下端において、円筒状の支持部材（円筒部材）５２を有する。支持部材５２の下面側に、本体フレーム１２の天板部１２ａが回転可能に取り付けられている。例えば、天板部１２ａに、電動モータ等の回転駆動部１２ｃが設けられている。回転駆動部１２ｃの駆動力が支持部材５２に伝達されることで、本体フレーム１２が、台車ユニット５０に対して鉛直方向に延びる回転軸線Ｌ１０周りに回転する。本体フレーム１２が回転可能な角度は、例えば３６０度以上５４０度以下の任意の角度であるが、上限は５４０度に限られないし、下限は３６０度に限られない。スライド機構１１が天板部１２ａの下面側に取り付けられており、天板部１２ａがスライド機構１１を支持している。本体フレーム１２及び移載装置１８は一体化されており、本体フレーム１２と移載装置１８は一緒に回転する。走行車２は、移載装置１８を用いることにより、ロードポートに対して物品Ｍの受け渡しをすることができる。
　なお、円筒フレーム１２ｂの外面側には、不図示のカバーが取り付けられてもよい。その場合、カバーは、移載装置１８及び移載装置１８に保持している物品Ｍを囲む。カバーは、下端を開放した筒状であって、且つ、スライド機構１１の可動板が突出する部分（上記の開放部）を切り欠いた形状を有している。
　走行部３０は、４つの走行車輪３１を有する。各走行車輪３１には、２つの補助車輪３２が設けられている。図４に示されるように、走行車輪３１は、台車ユニット５０の四隅の位置において、上面カバー５１から上方に突出するように設けられる。各走行車輪３１は、ＸＹ平面に沿った水平又はほぼ水平な車軸の軸周りに回転可能である。各走行車輪３１の回転軸上には、走行駆動モータ３３が設けられている。各走行車輪３１は、走行駆動モータ３３の駆動力により回転駆動する。走行駆動モータ３３は、例えば、正転及び逆転を切替え可能に構成されている。走行車輪３１のそれぞれは、軌道Ｒ上を転動する。走行車輪３１のそれぞれは、第１レールＲ１、第２レールＲ２、及び交差部レールＲ３の走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａ上を転動し、走行車２を走行させる。なお、４つの走行車輪３１の全てが走行駆動モータ３３の駆動力により回転駆動することに限定されず、４つの走行車輪３１のうち一部について回転駆動させる構成であってもよい。
　Ｙ方向に隣り合う一対の第１レールＲ１の第１走行面Ｒ１ａを走行部３０の走行車輪３１が走行することにより、走行車２がＸ方向に移動する。また、Ｘ方向に隣り合う一対の第２レールＲ２の第２走行面Ｒ２ａを走行部３０の走行車輪３１が走行することにより、走行車がＹ方向に移動する。
　台車ユニット５０内の不図示のフレームに、４つの車輪旋回機構４０が固定されており、各車輪旋回機構４０に、車輪旋回機構４０の旋回軸を介して台座部３４が連結されている。台座部３４上に、連結部３５及び支持部材３６を介して、走行車輪３１、２つの補助車輪３２、及び１つの走行駆動モータ３３が取り付けられている。例えば、筐体５３の上面には正方形状の上面カバー５１が設けられており、上面カバー５１の四隅に形成された切り欠きに、台座部３４が配置されている。連結部３５、走行車輪３１、補助車輪３２、及び走行駆動モータ３３は上面カバー５１よりも上方に配置される。
　図３及び図４に示されるように、連結部３５は、台車ユニット５０（詳細には台車ユニット５０内に固定された車輪旋回機構４０）と走行車輪３１とを連結する。この連結構造によって、台車ユニット５０及び本体部１０は、軌道Ｒよりも下方に配置され、走行部３０から吊り下げられた状態となる。連結部３５は、第１レールＲ１と交差部レールＲ３との間、及び、第２レールＲ２と交差部レールＲ３との間の隙間Ｇを通過可能な厚さに形成される。支持部材３６は、連結部３５の上部に設けられ、走行車輪３１の回転軸及び補助車輪３２の回転軸を回転可能に支持する。支持部材３６は、走行車輪３１と補助車輪３２との相対位置を保持する。
　図４に示されるように、走行車輪３１は、鉛直方向に延びる旋回軸線Ｌ３０を中心として旋回可能に設けられている。４本の旋回軸線Ｌ３０は、平面視で正方形の頂点の位置に配置されており、旋回軸線Ｌ３０の中心に回転軸線Ｌ１０が配置される。言い換えれば、４本の旋回軸線Ｌ３０は、本体部１０の回転軸線Ｌ１０に関して４回対称の位置に配置されている。平面視において走行車輪３１の位置と旋回軸線Ｌ３０の位置とは異なっている（ずれている）。走行車輪３１は、車輪旋回機構４０によって旋回し、その結果、走行車２の走行方向を変更することができる。
　補助車輪３２は、走行車輪３１の走行方向の前後にそれぞれ１つずつ配置される。補助車輪３２のそれぞれは、ＸＹ平面に沿った水平又はほぼ水平な車軸の軸周りに回転可能である。補助車輪３２の下端は、例えば、走行車輪３１の下端より高くなるように設定されている。従って、走行車輪３１が走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａを走行しているときは、補助車輪３２は、走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａに接触しない。また、第１レールＲ１と交差部レールＲ３との間、及び、第２レールＲ２と交差部レールＲ３との間の隙間Ｇを走行車輪３１が通過する際には、補助車輪３２が第１レールＲ１及び第２レールＲ２に設けられた不図示の補助部材に接触して、走行車輪３１の落ち込みを抑制している。なお、１つの走行車輪３１に２つの補助車輪３２を設けることに限定されず、例えば、１つの走行車輪３１に１つの補助車輪３２が設けられてもよいし、補助車輪３２が設けられていなくてもよい。
　４つの車輪旋回機構４０は、例えば、台車ユニット５０の筐体５３内の四隅の位置に配置されている。各車輪旋回機構４０は、ステアリングモータ４３と、ステアリングモータ４３と走行車輪３１との間に設けられた駆動力伝達部４２と、を有する。駆動力伝達部４２は、台車ユニット５０内の不図示のフレームに固定されている。駆動力伝達部４２と台座部３４とが、旋回軸を介して連結されている。各車輪旋回機構４０は、台座部３４、連結部３５、支持部材３６、走行車輪３１、補助車輪３２、及び走行駆動モータ３３を旋回軸線Ｌ３０周りで一体に旋回させる。走行車２が各レールユニット１００の中心に位置する状態で、各旋回軸線Ｌ３０を中心として各走行車輪３１を９０度旋回させる。これにより、走行車輪３１が交差部レールＲ３上において旋回する。これにより、走行車２はターンすることができる。ターンすることとは、走行車２が第１走行方向Ｄ１に走行する第１状態から第２走行方向Ｄ２に走行する第２状態に、又は走行車２が第２走行方向Ｄ２に走行する第２状態から第１走行方向Ｄ１に走行する第１状態に切り替えることである。走行車２のターンは、例えば、走行車２の停止状態において行われる。走行車２のターンが、走行車２は停止しているが物品Ｍは動いている（例えば旋回している）状態で行われてもよい。車輪旋回機構４０の駆動は、台車コントローラ８によって制御される。
　上記した通り、軌道Ｒには隙間Ｇが形成されている。走行車２が第１レールＲ１を走行して第２レールＲ２を横切る際、又は、走行車２が第２レールＲ２を走行して第１レールＲ１を横切る際に、走行車２の一部（詳細には、例えば連結部３５）が隙間Ｇを通過する。
　なお、走行車輪３１と車輪旋回機構４０との間（例えば連結部３５付近）に、交差部レールＲ３の側面に当接するガイドローラが設けられてもよい。ガイドローラにより、軌道Ｒに対する走行台車２０（走行車２）の位置ずれが防止される。
　走行車２は、１つのセル認識用センサ（第１センサ）Ｓ１と、４つの位置認識用センサ（第２センサ）Ｓ２とを備える。なお、図４の例では、４つの位置認識用センサＳ２のうち、３つのみが図示されている。セル認識用センサＳ１及び位置認識用センサＳ２は、台車ユニット５０の筐体５３に収容されている。セル認識用センサＳ１は、検出方向が上面カバー５１に対して略垂直に上方向を向くように配置されている。位置認識用センサＳ２は、検出方向が略上方向を向くように配置されている。より詳細には、位置認識用センサＳ２は、検出方向がＺ方向に対してセルＣの中心から見て外側に向かって傾いた方向を向くように配置されている。
　軌道Ｒには、セル認識用マーク（第１マーク）Ｍ１及び位置認識用マーク（第２マーク）Ｍ２が配置されている（図７参照）。セル認識用センサＳ１は、軌道Ｒに配置されたセル認識用マークＭ１を非接触により検出する。位置認識用センサＳ２は、軌道Ｒに配置された位置認識用マークＭ２を非接触により検出する。位置認識用センサＳ２は、上面カバー５１に設けられた切欠き５１ａを通して位置認識用マークＭ２を検出する。セル認識用マークＭ１及び位置認識用マークＭ２の詳細については後述する。
　セル認識用センサＳ１は、走行車２がセルＣ内における所定位置に位置しているとき（停車しているとき、又は走行しているとき）に、セル認識用マークＭ１と対向する。このとき、セル認識用センサＳ１は、セル認識用マークＭ１からセルＣの情報（第１情報）を取得する。
　位置認識用センサＳ２は、走行車２がＸ方向に移動するときに、レールユニット１００に含まれる一対の第１レールＲ１のそれぞれにおいて位置認識用マークＭ２が配置された第２面６２（図８参照）のそれぞれに対向するように配置されている。また、位置認識用センサＳ２は、走行車２がＹ方向に移動するときに、レールユニット１００に含まれる一対の第２レールＲ２のそれぞれにおいて位置認識用マークＭ２が配置された第２面６２のそれぞれに対向するように配置されている。位置認識用センサＳ２は、位置認識用マークＭ２から軌道Ｒにおける位置情報（第２情報）を取得する。
　台車コントローラ８は、走行車２を統括的に制御する。台車コントローラ８は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）及びＲＡＭ（Random Access Memory）等からなるコンピュータである。台車コントローラ８は、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されるソフトウェアとして構成することができる。台車コントローラ８は、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。台車コントローラ８は、一つの装置で構成されてもよいし、複数の装置で構成されてもよい。複数の装置で構成されている場合には、これらがインターネット又はイントラネット等の通信ネットワークを介して接続されることで、論理的に一つの台車コントローラ８が構築される。台車コントローラ８は、例えば、台車ユニット５０に設けられる。
　台車コントローラ８は、搬送指令に基づいて、走行車２の走行を制御する。台車コントローラ８は、走行駆動モータ３３及びステアリングモータ４３等を制御することにより、走行車２の走行を制御する。台車コントローラ８は、例えば、走行速度、停止に関する動作、及び、方向転換に関する動作を制御する。台車コントローラ８は、搬送指令に基づいて、走行車２の移載動作を制御する。台車コントローラ８は、本体部１０（本体フレーム１２及び移載装置１８）の旋回（回転）を制御することにより、移載装置１８の移載方向を制御する。台車コントローラ８は、移載装置１８等を制御することにより、走行車２の移載動作を制御する。台車コントローラ８は、所定のロードポートに配置される物品Ｍを把持する荷つかみの動作、及び、保持した物品Ｍを所定のロードポートに下ろす荷下ろしの動作を制御する。
　システムコントローラ５は、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭ等からなるコンピュータである。システムコントローラ５は、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されるソフトウェアとして構成することができる。システムコントローラ５は、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。システムコントローラ５は、一つの装置で構成されてもよいし、複数の装置で構成されてもよい。複数の装置で構成されている場合には、これらがインターネット又はイントラネット等の通信ネットワークを介して接続されることで、論理的に一つのシステムコントローラ５が構築される。システムコントローラ５の各種の制御の少なくとも一部が、台車コントローラ８により実行されてもよい。
　システムコントローラ５は、物品Ｍを搬送可能な複数の走行車２のうちの何れかを選択し、選択した走行車２に搬送指令を割付ける。搬送指令は、走行車２のロードポートまでの走行を実行させる走行指令と、ロードポートに配置された物品Ｍの荷つかみ指令又は保持している物品Ｍのロードポートへの荷下ろし指令と、を含む。
　図７は、図２中のレールユニット１００を示す斜視図である。図８は、Ｘ方向に直交する面で切断した場合の第１レールＲ１の模式的な断面図である。図７の例では、１つのレールユニット１００をＺ方向負側から見た様子を図示している。レールユニット１００に含まれる第１レールＲ１及び第２レールＲ２のそれぞれは、第１面６１と、第２面６２とを有する。
　まず、第１レールＲ１について説明する。本実施形態では、第１面６１は、Ｚ方向に直交する。第１面６１は、Ｚ方向において第１走行面Ｒ１ａと平行である。第１面６１の形状は、平面視においてＸ方向に延びる矩形状である。第１面６１は、走行車２のセル認識用センサＳ１と対向するように形成されている。第１面６１は、走行車２のセル認識用センサＳ１を対向させた状態で走行車２をＸ方向に走行させることができるように形成されている。
　第１面６１には、セルＣの情報を示すセル認識用マークＭ１が配置されている。セル認識用マークＭ１は、軌道Ｒによって構成される複数のセルＣのうちどのセルであるかという情報を示しているとも言える。セルＣの情報は、セルＣを一意に特定するＩＤであってもよいし、セルＣの位置に関する情報であってもよい。本実施形態では、セル認識用マークＭ１は、１つのバーコードＢａにより構成されている。図７の例では、バーコードＢａは、Ｘ方向における第１レールＲ１（第１面６１）の中央に配置されている。セル認識用マークＭ１は、走行車２がセルＣ内における所定位置に位置している状態においてセル認識用センサＳ１と対向する。セル認識用センサＳ１は、セル認識用マークＭ１からセルＣの情報を取得する。
　本実施形態では、所定位置とは、セル中心をいう。走行車２がセルＣ内におけるセル中心に位置している状態とは、台車ユニット５０がセルＣに対して水平方向にずれておらず、且つ、台車ユニット５０がセルＣに対して回転方向にずれていない状態を言う。「台車ユニット５０がセルＣに対して水平方向にずれていない」とは、平面視において、台車ユニット５０の中心とセルＣの中心とが一致していることを言う。「台車ユニット５０がセルＣに対して回転方向にずれていない」とは、平面視において、矩形状の台車ユニット５０が有する４辺のうち、Ｘ方向に延びる２辺のそれぞれが当該セルＣを構成する一対の第１レールＲ１と平行であり、且つ、Ｙ方向に延びる２辺のそれぞれが当該セルＣを構成する一対の第２レールＲ２と平行であることを言う。なお、第１レールＲ１の中央、又はセルＣの中心は、厳密に中央、又は中心である必要はなく、一定の幅を有していてもよい。
　第２面６２は、セルＣの中心から見たときに、第１面６１の外側に配置されている。第２面６２は、第１面６１に対して走行車２側（図７の例では鉛直方向下方側）に傾斜している。第２面６２の形状は、第２面６２に直交する方向から見たときにＸ方向に延びる矩形状である。第２面６２は、走行車２の位置認識用センサＳ２と対向するように形成されている。第２面６２は、走行車２の位置認識用センサＳ２を対向させた状態で走行車２をＸ方向に走行させることができるように形成されている。
　第２面６２には、軌道Ｒ（第１レールＲ１）における位置情報を示す位置認識用マークＭ２が配置されている。第１レールＲ１における位置情報は、第１レールＲ１におけるＸ方向の位置に関する情報であってもよいし、Ｘ方向における第１レールＲ１の中央（セルの中央）からの距離に関する情報であってもよい。位置認識用マークＭ２が示す情報は、セル認識用マークＭ１が示す情報と異なっている。本実施形態では、位置認識用マークＭ２は、Ｘ方向に配列された複数（一例として１４個）のバーコードＢｂにより構成されている。当該複数のバーコードＢｂは、Ｘ方向に沿って第２面６２に隙間なく配列されている。位置認識用マークＭ２は、走行車２が第１レールＲ１に沿って走行又は停止している状態において位置認識用センサＳ２と対向する。位置認識用センサＳ２は、位置認識用マークＭ２から第１レールＲ１における位置情報を取得する。
　続いて、第２レールＲ２について説明する。本実施形態では、第２レールＲ２の構成は、第１レールＲ１の構成と同一である。よって、上述した第１レールＲ１と重複する説明は適宜省略する。
　第２レールＲ２では、第１面６１は、Ｚ方向において第２走行面Ｒ２ａ（図１、図２及び図５参照）と平行である。第１面６１の形状は、平面視においてＹ方向に延びる矩形状である。第１面６１は、セル認識用センサＳ１を対向させた状態で走行車２をＹ方向に走行させることができるように形成されている。第１面６１には、セル認識用マークＭ１であるバーコードＢａが配置されている。図７の例では、バーコードＢａは、Ｙ方向における第２レールＲ２（第１面６１）の中央に配置されている。
　第２面６２の形状は、第２面６２に直交する方向から見たときにＹ方向に延びる矩形状である。第２面６２は、走行車２の位置認識用センサＳ２を対向させた状態で走行車２をＹ方向に走行させることができるように形成されている。第２面６２には、位置認識用マークＭ２が配置されている。第２レールＲ２における位置情報は、第２レールＲ２におけるＹ方向の位置に関する情報であってもよいし、Ｙ方向における第２レールＲ２の中央（セルの中央）からの距離に関する情報であってもよい。本実施形態では、位置認識用マークＭ２は、Ｙ方向に配列された複数（一例として１４個）のバーコードＢｂにより構成されている。当該複数のバーコードＢｂは、Ｙ方向に沿って第２面６２に隙間なく配列されている。位置認識用マークＭ２は、走行車２が第２レールＲ２に沿って走行又は停止している状態において位置認識用マークＭ２と対向する。位置認識用センサＳ２は、位置認識用マークＭ２から第２レールＲ２における位置情報を取得する。
　図９は、図３中の走行車２の機能構成を示すブロック図である。台車コントローラ８は、セル認識用センサＳ１の検出結果を取得する。具体的には、台車コントローラ８は、セル認識用センサＳ１により取得されたセルＣの情報を取得する。また、台車コントローラ８は、当該セルＣの情報に基づいて、走行車２が位置しているセルＣを特定する。
　台車コントローラ８は、位置認識用センサＳ２の検出結果を取得する。具体的には、台車コントローラ８は、位置認識用センサＳ２により取得された位置情報を取得する。また、台車コントローラ８は、当該位置情報に基づいて、セルＣ内における所定位置と走行車２の停止位置とのずれ量を導出する。当該ずれ量は、水平方向（Ｘ方向及びＹ方向）のずれ量に加え、Ｚ方向まわりの回転方向のずれ量を含む。
　Ｘ方向におけるずれ量は、例えば、第１レールＲ１の第２面６２に対向する２つの位置認識用センサＳ２の少なくとも一方によって取得された位置情報と、予め記憶されたセルＣ中心の位置情報とを用いて所定の計算処理をすることによって導出できる。また、Ｘ方向におけるずれ量は、位置認識用マークＭ２が示す位置情報と上記ずれ量との関係が対応付けて記憶されたテーブルを予め記憶しておき、位置認識用センサＳ２により取得された位置認識用マークＭ２が示す位置情報に対応する上記ずれ量をテーブルから読み出す読出処理をすることによって、Ｘ方向におけるずれ量を導出できる。Ｙ方向におけるずれ量も、Ｘ方向におけるずれ量と同様に、上記の計算処理又は読出処理によって導出できる。
　Ｚ方向まわりの回転方向におけるずれ量は、例えば、第１レールＲ１の第２面６２に対向する２つの位置認識用センサＳ２及び第２レールＲ２の第２面６２に対向する２つの位置認識用センサＳ２から取得される４つの位置情報を用いて所定の計算処理をすることによって導出できる。なお、Ｚ方向まわりの回転方向におけるずれ量は、少なくとも上記３つの位置情報を用いて所定の計算処理を実行することにより導出することができる。また、Ｚ方向まわりの回転方向におけるずれ量は、一つのセルＣを構成する４つのレールにおけるそれぞれの位置情報とずれ量との関係が対応付けて記憶されたテーブルを予め記憶しておき、位置認識用センサＳ２により取得された３つの位置情報に対応する上記ずれ量をテーブルから読み出す読出処理をすることによって、Ｚ方向まわりの回転方向におけるずれ量を導出できる。
　台車コントローラ８は、移載装置１８に含まれるスライド機構１１を制御することで、物品Ｍを水平方向に移動させる。具体的には、台車コントローラ８は、スライド機構１１の可動板の移動量を制御することで、物品Ｍの移動量を制御する。台車コントローラ８は、水平方向のずれ量に基づいて、物品Ｍを水平方向に移動させる際のスライド機構１１の駆動量を制御する。
　図１０を用いて、スライド機構１１の駆動量を制御しながらロードポートＬＰに物品Ｍを載置する際の走行車２の動作の一例をより詳細に説明する。図１０（ａ）では、第１走行方向Ｄ１に物品Ｍを搬送中の走行車２がセルＣ内における所定位置に対して水平方向にずれた位置に停車した状態を図示している。具体的には、走行車２の停止位置は、所定位置に対してＸ方向にずれている。この結果、物品Ｍの位置は、平面視において物品Ｍの受け渡しを行うロードポートＬＰに対してＸ方向にずれている。図１０の例では、ロードポートＬＰは、セルＣの中心に対して鉛直方向の真下に位置している。
　まず、一対の第１レールＲ１の第２面６２に対向する２つの位置認識用センサＳ２が、位置認識用マークＭ２から第１レールＲ１における位置情報を取得する。次に、台車コントローラ８は、当該２つの位置認識用センサＳ２により取得された位置情報に基づいて、セルＣ内における所定位置と走行車２の停止位置とのずれ量を導出する。
　続いて、台車コントローラ８は、スライド機構１１を駆動させることで物品Ｍを水平方向（Ｘ方向）に移動させる。このとき、台車コントローラ８は、水平方向のずれ量に基づいて、スライド機構１１の可動板の移動量を制御する。この結果、物品Ｍは、台車コントローラ８により導出されたずれ量に基づいてＸ方向に移動される。よって、図１０（ｂ）に示されるように、ロードポートＬＰの位置に対する物品Ｍの位置が調整される。
　また、台車コントローラ８は、天板部１２ａに設けられた回転駆動部１２ｃを制御することで、移載装置１８と移載装置１８により保持された物品ＭとをＺ方向まわりに水平旋回させる。具体的には、台車コントローラ８は、回転駆動部１２ｃの駆動量を制御することで、移載装置１８及び移載装置１８により保持された物品Ｍの水平旋回量を制御する。台車コントローラ８は、上記のとおり導出した回転方向のずれ量に基づいて、物品Ｍを水平旋回する際の回転駆動部１２ｃの駆動量を制御する。
　図１１を用いて、回転駆動部１２ｃの駆動量を制御しながらロードポートＬＰに物品Ｍを載置する際の走行車２の動作の別の一例をより詳細に説明する。図１１（ａ）では、物品Ｍを搬送中の走行車２がセルＣ内における所定位置に対して回転方向にずれた位置に停車した状態を図示している。具体的には、走行車２の停止位置は、所定位置に対して時計回りの方向にずれている。この結果、物品Ｍの位置は、ロードポートＬＰに対して時計回りの方向にずれている。図１１の例では、ロードポートＬＰは、セルＣの中心に対して鉛直方向の真下に位置している。
　まず、４つの位置認識用センサＳ２が、位置認識用マークＭ２から位置情報を取得する。次に、台車コントローラ８は、当該４つの位置認識用センサＳ２により取得された位置情報に基づいて、セルＣ内における所定位置と走行車２の停止位置とのずれ量を導出する。
　続いて、台車コントローラ８は、天板部１２ａに設けられた回転駆動部１２ｃを駆動させることで、物品ＭをＺ方向まわりに反時計回りの方向に水平旋回させる。このとき、台車コントローラ８は、回転方向のずれ量に基づいて、回転駆動部１２ｃの駆動量を制御する。この結果、物品Ｍは、台車コントローラ８により導出されたずれ量に基づいて反時計回りの方向に水平旋回される。よって、図１１（ｂ）に示されるように、ロードポートＬＰの位置に対する物品Ｍの位置が調整される。
　続いて、本実施形態に係る天井走行車システム１の作用効果を説明する。上記実施形態の天井走行車システム１では、軌道Ｒを形成する第１レールＲ１及び第２レールＲ２のそれぞれに、第１面６１と第１面６１とは別の第２面６２とを設けたので、種類の異なる少なくとも２種類のマークをそれぞれの面に１種類ずつ配置することで、互いに異なる少なくとも２種類のマークを軌道Ｒの走行方向における同じ位置に配置できる。また、この構成の天井走行車システム１では、平面視においてセルＣの中心から見たときに第１面６１の外側に配置される第２面６２が、第１面６１に対して走行車２側に傾斜するように配置される。これにより、位置認識用センサＳ２を第２面６２に対向させるために、位置認識用センサＳ２を走行車２から張り出すように設ける必要がなく、走行車２の大型化を抑制できる。
　上記実施形態の天井走行車システム１は、走行車２を制御する台車コントローラ８をさらに備え、異なる２種類のマークのいずれか一方は、軌道Ｒにおける位置情報を示す位置認識用マークＭ２であり、位置認識用マークＭ２に対向する位置認識用センサＳ２は、走行車２がＸ方向に移動するときに一対の第１レールＲ１のそれぞれに配置された位置認識用マークＭ２ごとに対向するように配置される。また、位置認識用センサＳ２は、走行車２がＹ方向に移動するときに一対の第２レールＲ２のそれぞれに配置された位置認識用マークＭ２ごとに対向するように配置される。さらに、位置認識用センサＳ２は、位置認識用マークＭ２から位置情報を取得する４つの位置認識用センサＳ２である。台車コントローラ８は、位置認識用センサＳ２により取得された位置情報に基づいて、セルＣ内における所定位置と走行車２の停止位置とのずれ量を導出する。この場合、台車コントローラ８は、走行車２の停止時における位置ずれを検出できる。
　上記実施形態の天井走行車システム１では、走行車２は、物品Ｍを移載する移載装置１８を有し、台車コントローラ８は、ずれ量に基づいて、物品Ｍを水平方向（Ｘ方向及びＹ方向）に移動させる際の移載装置１８の駆動量を制御する。この場合、走行車２がセルＣ内における所定位置に停止していない場合でも、移載装置１８によって物品Ｍを移載される位置が調整されるので、所定の移載位置に正確に物品Ｍを移載することができる。
　上記実施形態の天井走行車システム１では、走行車２は、物品Ｍを移載する移載装置１８を有する。走行車２は、Ｚ方向まわりに物品Ｍを水平旋回させる天板部１２ａ及び回転駆動部１６を有する。台車コントローラ８は、ずれ量に基づいて、物品Ｍを水平旋回する際の天板部１２ａに設けられた回転駆動部１２ｃの駆動量、及び、移載装置１８に含まれる回転駆動部１６の駆動量を制御する。この場合、走行車２がセルＣ内における所定位置に停止していない場合でも、移載装置１８によって物品Ｍを移載される位置が天板部１２ａ及び回転駆動部１６により調整されるので、所定の移載位置に一層正確に物品Ｍを移載することができる。
　上記実施形態の天井走行車システム１では、台車コントローラ８は、ずれ量に基づいてセルＣ内における所定位置に走行車２が移動するように、走行部３０を制御する。この場合、走行車２がセルＣ内における所定位置に停止していない場合でも、走行車２の位置が調整されるので、所定の移載位置に一層正確に物品Ｍを移載することができる。
　以上、本開示の一側面の実施形態について説明したが、本開示の一側面は上記実施形態に限られない。
　上記実施形態では、ロードポートＬＰがセルＣの中心に対して鉛直方向の真下に設けられる構成において、走行車２がセルＣ中心からずれた位置に停止した場合、スライド機構１１の可動板の移動量及び／又は回転駆動部１２ｃ，１６の駆動量を制御することによって、物品ＭをロードポートＬＰの所定位置に移載する例を挙げて説明したが、これに限定されない。台車コントローラ８は、走行部３０を制御することで、Ｘ方向及びＹ方向に沿った走行車２の移動量を制御してもよい。具体的には、台車コントローラ８は、走行部３０に含まれる走行車輪３１を駆動する走行駆動モータ３３の駆動量を制御してもよい。台車コントローラ８は、水平方向及び回転方向のずれ量に基づいて、当該所定位置に走行車２が移動するように走行部３０を制御する。
　図１２を用いて、走行駆動モータ３３の駆動量を制御しながらロードポートＬＰに物品Ｍを載置する際の走行車２の動作の一例をより詳細に説明する。図１２（ａ）では、第１走行方向Ｄ１に物品Ｍを搬送中の走行車２がセルＣ内における所定位置に対して水平方向にずれた位置に停車した状態を図示している。具体的には、走行車２の停止位置は、所定位置に対してＸ方向にずれている。この結果、物品Ｍの位置は、ロードポートＬＰに対してＸ方向にずれている。図１２の例も、ロードポートＬＰは、セルＣの中心に対して鉛直方向の真下に位置している。
　まず、一対の第１レールＲ１の第２面６２に対向する２つの位置認識用センサＳ２が、位置認識用マークＭ２から位置情報を取得する。次に、台車コントローラ８は、当該２つの位置認識用センサＳ２により取得された位置情報に基づいて、セルＣにおける所定位置と走行車２の停止位置とのずれ量を導出する。
　続いて、台車コントローラ８は、走行部３０を駆動させることで走行車２を水平方向（Ｘ方向）に移動させる。このとき、台車コントローラ８は、水平方向のずれ量に基づいて、走行部３０の駆動量を制御する。この結果、物品Ｍは、台車コントローラ８により導出されたずれ量に基づいてＸ方向に移動される。よって、図１２（ｂ）に示されるように、ロードポートＬＰの位置に対する物品Ｍの位置が調整される。
　上記実施形態及び変形例では、ロードポートＬＰがセルＣの中心に対して鉛直方向の真下に設けられる構成において、物品ＭをロードポートＬＰに移載する例を挙げて説明したが、これに限定されない。例えば、ロードポートＬＰが平面視においてセルＣの中心に対してずれた位置に設けられる場合であっても、上記実施形態及び変形例で示したように、上記ずれ量に基づいて、物品Ｍを水平方向（Ｘ方向及びＹ方向）に移動させる際の移載装置１８の駆動量を制御する、又は、物品Ｍを水平旋回する際の水平旋回機構の駆動量を制御することで、ロードポートＬＰの所定位置に物品Ｍを移載できる。
　また、ロードポートＬＰが平面視においてセルＣの中心に対してずれた位置に設けられる場合、台車コントローラ８は、移載装置１８に含まれるスライド機構１１を制御することで物品Ｍを水平方向に移動させた後、上記のとおり導出したずれ量に基づいて移載装置１８に含まれる回転駆動部１６を制御することで物品Ｍを水平旋回させてもよい。
　上記実施形態及び変形例では、走行車２が軌道Ｒの下側で物品Ｍを保持する例について説明した。しかし、走行車２は、軌道Ｒの上側で物品Ｍを保持してもよい。この場合、台車ユニット５０は、走行部３０の上側に配置される。セル認識用センサＳ１は、例えば、台車ユニット５０の下面に対して略垂直に下方向を向くように配置される。位置認識用センサＳ２は、例えば、略下方向を向くように配置されている。位置認識用センサＳ２は、Ｚ方向に対して、セルＣの中心から見て外側に向かって傾いた方向を向くように配置されている。また、第１面６１は、Ｚ方向に直交すると共に上方向を向くように配置され、第２面６２は、第１面６１に対して走行車２側（例えば図７の例では鉛直方向上方側）に傾斜するように配置される。これにより、セル認識用センサＳ１は、第１面６１に配置されたセル認識用マークＭ１と対向すると共に、位置認識用センサＳ２は、第２面６２に配置された位置認識用マークＭ２と対向する。
　上記実施形態では、走行部３０及び車輪旋回機構４０における４本の旋回軸線Ｌ３０が、平面視で正方形の頂点の位置に配置される場合について説明したが、旋回軸線Ｌ３０の配置は正方形状でなくてもよい。平面視において、走行車輪３１の位置と旋回軸線Ｌ３０の位置とが一致していてもよい。
　上記実施形態では、走行車輪３１が交差部レールＲ３上において回転する場合について説明したが、各車輪旋回機構４０による旋回時に、各走行車輪３１が、第１走行面Ｒ１ａから第２走行面Ｒ２ａへと、又は第２走行面Ｒ２ａから第１走行面Ｒ１ａへと乗り移ってもよい。
　上記実施形態及び変形例では、セル認識用マークＭ１は、Ｘ方向における第１レールＲ１の中央、及び、Ｙ方向における第２レールＲ２の中央に設けられている場合について説明した。しかし、セル認識用マークＭ１の位置は、例えば、位置認識用マークＭ２と同様に、延在方向に沿って配置されてもよく、セル認識用センサＳ１により検出可能であれば、セル認識用マークＭ１の設置位置は特に限定されない。
　上記実施形態及び変形例では、セル認識用マークＭ１が第１面６１に配置され、位置認識用マークＭ２が第２面６２に配置されている場合について説明したが、当該マークの配置関係は逆であってもよい。すなわち、セル認識用マークＭ１が第２面６２に配置され、位置認識用マークＭ２が第１面６１に配置されていてもよい。
　上記実施形態及び変形例では、位置認識用センサＳ２が走行車２に４つ設けられている場合について説明したが、位置認識用センサＳ２の数は適宜変更可能である。
　上記実施形態及び変形例では、セル認識用マークＭ１及び位置認識用マークＭ２の例として、バーコードを例に挙げて説明したが、例えばＱＲコード（登録商標）のような二次元コードであってもよい。この場合、セル認識用センサＳ１及び位置認識用センサＳ２として採用されたバーコードを読み取り可能なバーコードリーダに代えて、二次元バーコードを読み取り可能なバーコードリーダを採用すればよい。また、セル認識用マークＭ１及び位置認識用マークＭ２として上記のコードに代えて又は加えて、文字、記号、図形、色等、セル認識用センサＳ１及び位置認識用センサＳ２によって識別可能な表示（マーク）を採用してもよい。この場合、セル認識用センサＳ１及び位置認識用センサＳ２としてカメラ等を採用してもよい。
　１…天井走行車システム（有軌道台車システム）、２…天井走行車（有軌道台車）、８…台車コントローラ（制御部）、１２ｃ，１６…回転駆動部（水平旋回機構）、１８…移載装置、３０…走行部、６１…第１面、６２…第２面、Ｃ…セル、Ｍ…物品（物体）、Ｍ１…セル認識用マーク（第１マーク）、Ｍ２…位置認識用マーク（第２マーク）、Ｒ…軌道、Ｒ１…第１レール、Ｒ２…第２レール、Ｓ１…セル認識用センサ（第１センサ）、Ｓ２…位置認識用センサ（第２センサ）。

Claims (5)

  1. 　第１方向に延在する複数の第１レールと、前記第１方向と直交する第２方向に延在する複数の第２レールとが格子状に配置された軌道と、
    　前記第２方向に隣り合う一対の前記第１レールを走行部が走行することにより前記第１方向に移動し、前記第１方向に隣り合う一対の前記第２レールを前記走行部が走行することにより前記第２方向に移動する有軌道台車と、を備え、
    　前記有軌道台車は、
    　　第１情報を示す第１マークから前記第１情報を取得する第１センサと、
    　　前記第１情報と異なる情報である第２情報を示す第２マークから前記第２情報を取得する第２センサと、を有し、
    　前記第１レール及び前記第２レールのそれぞれは、
    　　前記第１センサに対向し、前記第１マークが配置される第１面と、
    　　前記第２センサに対向し、前記第２マークが配置される第２面であって、平面視において前記一対の第１レールと前記一対の第２レールとによって囲まれる空間であるセルの中心から見たときに、前記第１面の外側に配置されると共に前記第１面に対して前記有軌道台車側に傾斜する前記第２面と、を有する、有軌道台車システム。
  2. 　前記有軌道台車を制御する制御部をさらに備え、
    　前記第１マーク及び前記第２マークのいずれか一方は、前記軌道における位置情報を示す位置認識用マークであり、
    　前記位置認識用マークに対向する前記第１センサ及び前記第２センサの何れか一方は、前記有軌道台車が前記第１方向に移動するときに前記一対の第１レールのそれぞれにおいて前記位置認識用マークが配置される前記第１面又は前記第２面のそれぞれに対向するように配置されると共に、前記有軌道台車が前記第２方向に移動するときに前記一対の第２レールのそれぞれにおいて前記位置認識用マークが配置される前記第１面又は前記第２面のそれぞれに対向するように配置され、前記位置認識用マークから前記位置情報を取得する４つの位置認識用センサであり、
    　前記制御部は、前記位置認識用センサにより取得された前記位置情報に基づいて、前記セル内における所定位置と前記有軌道台車の停止位置とのずれ量を導出する、請求項１に記載の有軌道台車システム。
  3. 　前記有軌道台車は、物体を移載する移載装置を有し、
    　前記制御部は、前記ずれ量に基づいて、前記物体を水平方向に移動させる際の前記移載装置の駆動量を制御する、請求項２に記載の有軌道台車システム。
  4. 　前記有軌道台車は、物体を移載する移載装置と、前記第１方向及び前記第２方向の双方に直交する第３方向まわりに前記物体を水平旋回させる水平旋回機構とを有し、
    　前記制御部は、前記ずれ量に基づいて、前記物体を水平旋回する際の前記水平旋回機構の駆動量を制御する、請求項２に記載の有軌道台車システム。
  5. 　前記制御部は、前記ずれ量に基づいて前記セル内における所定位置に前記有軌道台車が移動するように、前記走行部を制御する、請求項２～４の何れか一項に記載の有軌道台車システム。
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WO2017150006A1 (ja) * 2016-03-03 2017-09-08 村田機械株式会社 一時保管システム
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