JP2019209473A - 産業用ロボット - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット1の平面図である。図2は、図1に示す産業用ロボット1の側面図である。図3は、図1に示す産業用ロボット1が組み込まれるガラス基板の製造システム12の概略平面図である。図4は、図2に示す基台9とアーム支持部24との連結部の構成を説明するための断面図である。図5は、図1に示す産業用ロボット1の制御部30に接続されるモータ19、22、25、28等を示すブロック図である。
図6(A)は、図4のE−E方向から基台9の構成を説明するための平面図であり、図6(B)は、図4のF−F方向から旋回フレーム10の構成を説明するための底面図である。図7は、図4のG部の拡大図である。図8(A)は、図6に示す検知部材35の構成を説明するための平面図であり、図8(B)は、アーム支持部24がアーム伸縮許容位置に到達して検知部材35の遮光部35aが発光素子40と受光素子41との間を遮る瞬間の状態を説明するための平面図である。
図9は、図1に示す産業用ロボット1の動作を説明するための図である。
以上説明したように、本形態では、ロボット1は、基板処理装置13または基板収容装置14に向かってハンド3が略直線的に移動するようにアーム4が伸縮するときの、基台9に対するアーム支持部24の回動方向におけるアーム支持部24の位置であるアーム伸縮許容位置にアーム支持部24があることを検知するための検知機構33を備えている。また、本形態では、検知機構33は、基台9に取り付けられるセンサ34と、アーム支持部24に取り付けられる検知部材35とを備えており、実際に動作を行うアーム支持部24に検知部材35が取り付けられている。
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
2 基板(ガラス基板、搬送対象物)
3 ハンド
4 アーム
9 基台
13 基板処理装置(収容部)
14 基板収容装置(収容部)
19 モータ(アーム駆動用モータ)
24 アーム支持部
25 モータ(回動用モータ)
27 エンコーダ
30 制御部
33 検知機構
34 センサ
35 検知部材
35a 遮光部
35b、35c 端面
40 発光素子
41 受光素子
C1 基台に対するアーム支持部の回動中心
VL1、VL2 仮想延長線
Claims (7)
- 所定の搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、
前記搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるとともに前記ハンドが一定方向を向いた状態で略直線的に移動するように水平方向へ伸縮可能なアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部と、上下方向を回動の軸方向とする回動が可能となるように前記アーム支持部を支持する基台と、前記アームを伸縮させるアーム駆動用モータと、前記基台に対して前記アーム支持部を回動させる回動用モータと、前記回動用モータの回転量を検知するためのエンコーダとを備えるとともに、
前記搬送対象物が収容される収容部に向かって前記ハンドが略直線的に移動するように前記アームが伸縮するときの、前記基台に対する前記アーム支持部の回動方向における前記アーム支持部の位置をアーム伸縮許容位置とすると、
前記アーム伸縮許容位置に前記アーム支持部があることを検知するための検知機構を備え、
前記検知機構は、前記アーム支持部および前記基台のいずれか一方に取り付けられるセンサと、前記アーム支持部および前記基台のいずれか他方に取り付けられるとともに前記センサによって検知される検知部材とを備えることを特徴とする産業用ロボット。 - 前記検知機構は、前記基台に対する前記アーム支持部の回動方向に配列される複数の前記センサと、1個の前記検知部材とを備えることを特徴とする請求項1記載の産業用ロボット。
- 前記検知機構は、前記基台に対する前記アーム支持部の回動中心に対して90°ピッチで配置される4個の前記センサまたは4個の前記検知部材を備えることを特徴とする請求項1記載の産業用ロボット。
- 前記アーム駆動用モータおよび前記回動用モータを制御する制御部を備え、
前記制御部には、前記エンコーダおよび前記センサが電気的に接続され、
前記制御部は、前記アーム伸縮許容位置に向かって回動する前記アーム支持部の、前記エンコーダの検知結果に基づいて特定される位置が、前記エンコーダの検知結果に基づいて特定される前記アーム伸縮許容位置に到達する前に、前記アーム駆動用モータを起動して前記アームの伸縮動作を開始し、その後、前記アーム伸縮許容位置に向かって回動する前記アーム支持部の、前記エンコーダの検知結果に基づいて特定される位置が、前記エンコーダの検知結果に基づいて特定される前記アーム伸縮許容位置に到達したにもかかわらず、前記検知機構によって前記アーム伸縮許容位置に前記アーム支持部があることが検知されない場合に、前記アーム駆動用モータを停止させることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の産業用ロボット。 - 前記センサは、前記アーム支持部が前記アーム伸縮許容位置に到達すると、オフからオンに切り替わって検知信号を出力することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の産業用ロボット。
- 前記センサは、発光素子と受光素子とを有する透過型の光学式センサであり、
前記検知部材は、前記発光素子と前記受光素子との間を遮るための遮光部を備え、
前記センサは、前記遮光部が前記発光素子と前記受光素子との間を遮っているときに、前記アーム支持部が前記アーム伸縮許容位置にあることを検知して、前記検知信号を出力することを特徴とする請求項5記載の産業用ロボット。 - 前記センサは、発光素子と受光素子とを有する透過型の光学式センサであり、
前記検知部材は、前記発光素子と前記受光素子との間を遮るための遮光部を備え、
前記遮光部は、前記アーム支持部が前記アーム伸縮許容位置に到達すると、前記発光素子と前記受光素子との間を遮り、
上下方向から見たときに、前記基台に対する前記アーム支持部の回動方向における前記遮光部の端面の延長線である仮想延長線は、前記基台に対する前記アーム支持部の回動中心を通過していることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の産業用ロボット。
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