JPH02224988A - ウェーハ搬送装置およびそれの原点復帰方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 ウェーハ搬送装置およびそれの原点復帰方法に関し、 停電などによって異常停止したとき、３本のアームが絶
えず縮みながら原点復帰されることを目的とし、 主軸と、前記主軸と同軸に支持される第二主軸に固定さ
れ、かつ主軸とは異なる駆動源によって回動される第一
アームと、前記第一アームの先端に固定された中空状の
プーリの中に回動可能に支持され、かつ主軸の回転数の
２倍の回転数に変換する伝達手段を介して駆動される第
一軸と、前記第一軸に固定されて回動される第三アーム
と、前記第三アームの先端に回動可能に支持され、かつ
前記プーリの回転数の２分の１の回転数に変換する伝達
手段を介して駆動される第二軸と、前記第二軸に固定さ
れ、かつ先端にウェーハの吸着口が設けられた第三アー
ムとを有し、前記第三アームが、第一アームの回動に追
動して、第三アームの長手方向と主軸とを結ぶ線上を直
線運動しながら、主軸に対して接近・離反するようにな
したウェーハ搬送装置であって、前記第二主軸に固定さ
れ、かつ第一アームの長手方向と同一方角の周端部に切
欠きを有する第一検出板が設けられ、前記主軸に固定さ
れ、かつ前記切欠きと主軸を通って対向する周端部に切
欠きを有する第二検出板が設けられ、前記検出板の各々
の円周上の、主軸を通って対向し、かつ同一の位置には
、切欠きを検知する各々複数個のセンサが設けられるよ
うに構成し、また、センサの中の、主軸を通って対向す
る各々１個を、第一原点および第二原点となし、３本の
アームが異常停止した際に、前記第一アームを順方向に
回転させて、切欠きが最近隣のセンサを感知した位置で
停止させ、前記第三アームを逆方向に回転させて、切欠
きが最近隣のセンサを感知した位置で停止させ、前記第
一アームを順方向または逆方向に回転させて、切欠きを
、切欠きが停止した位置と主軸を通って対向する位置で
停止させ、前記第一アームと第三アームとを同一方向に
同期回転させ、前記切欠きを、第一原点と第二原点とに
各々位置させるように原点復帰方法を構成し、さらに、
第一アームの主軸に対する方角が、主軸と第三アームの
長手方向とを結ぶ線上の順方向側に常に位置するように
、第三アームの先端に第三アームの逆回転止め手段が設
けられるように構成する。

〔産業上の利用分野〕 本発明は、ウェーハ搬送装置およびそれの原点復帰方法
に関する。

近年、ＩＣを中心とした半導体工業の進展に伴って、製
造工程の自動化、無人化が精力的に進められている。

半導体ウェーハの取扱い、その中でも、ウェーハの搬送
を如何に効率よく行うかは、ウェーハプロセスと呼ばれ
る半導体デバイスの製造工程の中で、生産性を大きく左
右する。

そこで、ウェーハの無人搬送が要求され、各所で実施さ
れている。

ウェーハの無人１般送には、当然のことながら、ロボッ
トを装備した搬送装置が使用される。

第３図はウェーハ搬送装置の使用例を示す斜視図である
。

同図において、ウェーハ搬送装置１が中心に配置され、
その回りに、１般人ステージ４０、ウェーハステーショ
ン４１、オリフラ合わせ装置４２、搬出ステージ４３な
どが近設されている。

ここで、オリフラ合わせ装置４２は、ウェーハを回転さ
せ、オリフラと略称されるオリエンテーションフラット
、つまり、ウェーハの端面の切欠きを基準面にして、ウ
ェーハ３７の向きを揃える装置である。

搬送されたウェーハ３７は、まず、搬入ステージ４０に
載置される。

ウェーハ搬送装置１は、搬入ステージ４０の上のウェー
ハ３７を吸着して、ウェーハステーション４１に一旦収
納する。

さらに、ウェーハ搬送装置１は、ウェーハステジョン４
１からウェーハ３７を取り出してオリフラ合わせ装置４
２まで移動し、ウェーハ３７の向きを揃えた後、ウェー
ハ３７を搬出ステージ４３に運ぶ。

このような一連の搬送作業を、ロボットを利用して行う
に際しては、例えば、停電になるとか、他の障害物と衝
突するとかして、動作が途中で停止することが間々起こ
る。

そのとき、如何にしてロボットを正常な動作に復旧させ
るかは厄介な問題である。

そのため、ウェーハ搬送装置自身がどのような位置で停
止したのか、引き続き作業を続行するのか、−旦、予め
設定した原点に戻るのかなどを的確に判断できろウェー
ハ搬送装置の開発が要請されている。

〔従来の技術〕

第４図は従来のウェーハ搬送装置の構成図である。

ウェーハ搬送装置１は、ロボット本体１０に支持されて
回動する第一アーム１１と、この第一アーｌ、１１に回
動可能に支持された第三アーム１２と、この第三アーム
１２に回動可能に支持され、かつウェーハ３７を保持す
る吸着口３８を有する第三アーム１３とから構成されて
いる。

一方、ロボット本体１０の中には、３本のアームを回動
させる駆動機構が設けられている。

すなわち、第一アーム１１を回動させる機構は、モータ
１４と、そのモータ１４の軸に固定されたプーリ２１と
、第一アーム１１に固定されたプーリ２２と、プーリ２
１とプーリ２２との間に掛けたベルト３１とから構成さ
れている。

また、第三アーム１２を回動させる機構は、モータ１５
と、そのモータ１５の軸に固定されたプーリ２３と、こ
のプーリ２３とベルト３２とを介して回動するプーリ２
４と、このプーリ２４と同軸に支持され、かつ第一アー
ム１１の中に設けられたプーリ２５と、このプーリ２５
とヘルド３３とを介して回動し、かつ第二アーム１２に
固定されたプーリ２６とから構成されている。

さらに、第三アーム１３を回動させる機構は、プーリ２
６と同軸に第一アーム１１に固定され、かつ第二アーム
１２の中に設けられた中空状のプーリ２７と、このプー
リ２７とヘルド３４とを介して回動し、かつ第三アーム
１３に固定されたプーリ２８とから構成されている。

いま、モータ１４によって、プーリ２２を回転させれば
、プーリ２２と直結した第一アーム１１が回転駆動され
る。

つぎに、モータ１５によって、プーリ２４と、このプー
リ２４と同軸に支持されたプーリ２５と、プーリ２６と
を回転させれば、このプーリ２６に固定された第三アー
ム１２に固定された第三アーム１２が回転駆動される。

さらに、第一アーム１１が回動すると、第三アーム１３
に固定されたプーリ２８は、プーリ２６と同軸に支持さ
れ、かつ第一アーム１１に固定された中空状のプーリ２
７の周りを公転しながら自転するように回動し、第三ア
ーム１３が追動して駆動される。

ここで、プーリ２６．２７の径を、それぞれプーリ２５
．２８の径の２分の１にし、かつプーリ２５を停止した
ま＼、第一アーム１１を回転させると、プーリ２６は、
ブーＩＪ２５の回転数の２倍の回転数で自転しなからプ
ーリ２５の周りを公転し、従って、第三アーム１２が回
動する。

さらに、プーリ２８はプーリ２７の回転数の２分の１の
回転数で自転しなからブーＩＪ２７の周りを公転し、そ
の結果、第三アーム１３は、主軸２に対して、接近・離
反する方向に直線運動を行う。

また、ブーＩＪ２２、つまり第一アーム１１と、プーリ
２５とを同方向に同期回転させると、全てが一体となっ
て回転し、旋回運動を行う。

第５図は３本のアームの基本作業動作の説明図である。

同図において、（イ）の状態、すなわち、３本のアーム
が伸びきった状態で、例えば、搬入ステージ４０の中で
ウェーハを吸着する。

次に、（ロ）、（ハ）、（ニ）の順に動作して（ホ）の
状態で、−旦基本姿勢に戻る。

この（イ）から（ホ）までの動作では、第三アーム１３
が主軸２を結ふ線上を直線運動しており、この動作は、
上で述べたように、第三アーム１２を停止した状態で、
第一アーム１１を１８０度回転させれば得られる。

この後、第一アーム１１と第三アーム１２を同方向に同
期回転させれば、全体が一体となって（へ）のように旋
回し、次の、例えば、（ト）のウェーハステーション４
１に移動する。

そして、この（ト）の位置で、（ホ）から逆の順序で動
作すれば、（イ）の状態の伸び切った状態になり、ウェ
ーハステーション４１にウェーハを脱着する。

このようにして、ウェーハ搬送装置１では、第３図に示
したように、ウェーハを搬入したり、搬出したりする作
業が行われる。

従来のウェーハ搬送装置１は、第一アーム１１や第三ア
ーム１２の位置制御を、動作シーケンスを記憶させたメ
モリと、アブソリュートエンコーダを用いて行っていた
。

アームが伸びてしまい、吸着しているウェーハやアーム
自体が周りの障害物に衝突してしまう問題があった。

〔発明が解決しようとする課題〕

上で述べたように、従来のウェーハ搬送装置は複数本あ
るアームの位置を制御するのに、動作シーケンスを記憶
させたメモリと、アブソリュートエンコーダを用いて行
っていた。

そのため、制御機構や制御回路が複雑になり、機構の組
み立てや保守が困難であった。

さらに、例えば、停電になるとか、他の障害物と衝突す
るとかして、動作が途中で停止したとき、如何にしてロ
ボットを正常な動作に復旧させるかは厄介な問題であっ
た。

すなわち、異常が発生してウェーハ搬送装置が停止した
ときには、複数本のアームの現在位置が分からなくなる
ので、それぞれのアームを一方向に回転させて原点に戻
す方法が採られていた。

しかし、この方法でアームを原点に戻す際に、〔課題を
解決するだめの手段〕 上で述べた課題は、主軸と、前記主軸と同軸に支持され
る第二主軸に固定され、かつ主軸とは異なる駆動源によ
って回動される第一アームと、前記第一アームの先端に
固定された中空状のプーリの中に回動可能に支持され、
かつ主軸の回転数の２倍の回転数に変換する伝達手段を
介して駆動される第一軸と、前記第一軸に固定されて回
動される第三アームと、前記第三アームの先端に回動可
能に支持され、かつ前記プーリの回転数の２分の１の回
転数に変換する伝達手段を介して駆動される第二軸と、
前記第二軸に固定され、かつ先端にウェーハの吸着口が
設けられた第三アームとを有し、前記第三アームが、第
一アームの回動に追動して、第三アームの長手方向と主
軸とを結ぶ線上を直線運動しながら、主軸に対して接近
・離反するようになしたウェーハ搬送装置であって、前
記第二主軸に固定され、かつ第一アームの長手方向と同
一方角の周端部に切欠きを有する第一検出板が設けられ
、前記主軸に固定され、かつ前記切欠きと主軸を通って
対向する周端部に切欠きを有する第二検出板が設けられ
、前記検出板の各々の円周上の、主軸を通って対向し、
かつ同一の位置には、切欠きを検知する各々複数個のセ
ンサが設けられるように構成したウェーハ搬送装置と、
センサの中の、主軸を通って対向する各々１個を、第一
原点および第二原点となし、３本のアームが異常停止し
た際に、前記第一アームを順方向に回転させて、切欠き
が最近隣のセンサを感知した位置で停止させ、前記第三
アームを逆方向に回転させて、切欠きが最近隣のセンサ
を感知した位置で停止させ、前記第一アームを順方向ま
たは逆方向に回転させて、切欠きを、切欠きが停止した
位置と主軸を通って対向する位置で停止させ、前記第一
アームと第三アームとを同一方向に同期回転させ、前記
切欠きを、第一原点と第二原点とに各々位置させるよう
に構成した原点復帰方法、および、第一アームの主軸に
対する方角が、主軸と第三アームの長手方向とを結ぶ線
上の順方向側に常に位置するように、第三アームの先端
に第三アームの逆回転止め手段が設けられるように構成
したウェーハ搬送装置によって達成される。

（作　用〕 本発明になるうエーハ搬送装置においては、第一アーム
を駆動する主軸と、第三アームを支持する第一軸との回
転数の比を１：２にしている。

また、第一アームに固定され、かつ第一軸と同軸に支持
された中空状のプーリと、第三アームを支持する第二軸
との回転数の比を２：１にしている。

こうして、第一アームが回動動作をしたとき、ウェーハ
を保持した第三アームが直線運動し、主軸に対して接近
・離反するようにしている。

また、第一アームを支持して駆動し、かつ主軸と同軸に
支持された第二主軸には、第一アームと同一の方向に切
欠きを設けた円板状の第一検出板を固定し、第三アーム
が支持されて回動する第一軸を駆動する主軸には、第一
アームと対向する方向に切欠きを設けた円板状の第二検
出板とを固定し、それぞれのアームの回動と同期して追
動するようにしている。

そして、それぞれの検出板の周囲には、検出板の切欠き
を感知する複数個のセンサを配置し、その配置位置が、
主軸を通して対向する同じ位置になるようにし、これが
本発明になるウェーハ搬送装置の構成の特徴となってい
る。

そして、第一検出板と第二検出板の、主軸を通って対向
する一対のセンサを、それぞれ第一原点および第二原点
と設定し、第一原点に第一検出板の切欠きが位置し、第
二原点に第二検出板の切欠きが位置したときに、３本の
アームが原点に復帰するようにし、これが本発明になる
原点復帰方法の特徴となっている。

すなわち、３本のアームが異常停止して原点に復帰する
際のアームの動作手順は、まず、第一ア−ムを順方向に
回転させて、第一検出板の切欠きを最近隣のセンサの位
置で停止させ、次に、第二アームを逆方向に回転させて
、第二検出板の切欠きを最近隣のセンサの位置で停止さ
せ、その次に、第一アームを順方向または逆方向に回転
させて第一検出板の切欠きを第二検出板の切欠きと対向
する位置で停止させ、最後に第一アームと第三アームと
を同期回転させて全体を旋回させ、それぞれの切欠きを
、予め設定した第一原点および第二原点とに位置させて
原点復帰が終わるようにしている。

この原点復帰動作の手順は、３本のアームが如何なる状
態で異常停止しても原点に復帰できるようにプログラム
しである。

さらに、第三アームの先端には逆回転止め手段を設け、
原点復帰に際して、第一アームを順方向に回転させたと
き、第三アームが主軸に対して離反する方向に延伸して
、再び障害物などに衝突しないように第一アームの動作
をしており、これが本発明になるウェーハ搬送装置の構
成のもう１つの特徴になっている。

こうして、本発明のウェーハ搬送装置とそれの原点復帰
方法によれば、停電や障害物への衝突などによってウェ
ーハ搬送装置の３本のアームが位置が如何なる位置で、
如何なる状態で異常停止しても、原点復帰の動作手順プ
ログラムに従って、自動的に、しかも、第三アームが絶
えず主軸の方向に接近しながら原点復帰が可能となる。

〔実施例〕

実施例：１ 第１図は本発明の詳細な説明図であり、同図（Ａ）は平
面図、同図（Ｂ）は側面断面図、同一（Ｃ）はアームと
切欠きとセンサとの位置関係を示す斜視図、同図（Ｄ）
はアームが原点に復帰する動作の一例を示す流れ図、同
図（Ｅ）は流れ図（実線）に従って動作している状態の
説明図である。

第１図（Ａ、Ｂ、Ｃ）において、ウェーハ搬送装置１の
第一アーム１１と第三アーム１２とを駆動するモータ１
４．１５には、ステッピングを用いた。

また、モータ１４．１５の回動を第二主軸３や主軸２に
伝えるプーリ２１．２２．２３．２４とベルト３１．３
２などには、それぞれ歯付プーリと歯付ヘルドを用いた
。

さらに、第三アーム１２を駆動する伝達手段３５を構成
するプーリ２５．２６やベルト３３、第三アーム１３を
駆動する伝達手段３６を構成するプーリ２７．２８やヘ
ルド３４などにも、それぞれ歯付プーリと歯付ヘルドを
用いた。

２枚の黒色アルマイト処理したＡ２の円板に、それぞれ
に幅が２ｍｍで、長さが４ｍｍの切欠きを設けた。

この円板の１枚を、切欠きが第一アーム１１の向きと同
一方向になるように、第二主軸３に固定して第一検出板
６と切欠き６゛とじ、もう１枚の円板を、切欠き６゛と
対向するように、主軸２して第二検出板７と切欠７゛と
した。

この切欠き６′、７゛を検知するセンサ１６．１７とし
て、発光素子と受光素子とを対向して組み合わせた遮光
形の光センサを用いた。

２枚の検出板６．７のそれぞれの周囲に、４個ずつのセ
ンサ１６ａ〜１６ｄおよび１７ａ〜１７ｄを同一位置に
等間隔に、かつセンサ１６ａと１７ａ、１６ｂと１７ｂ
、１６ｃと１７ｃ、１６ｄと１７ｄとが互いに対向する
ように配置し、センサ１６ａと１７ａ　とをそれぞれ第
一原点と第二原点に設定した。

そして、３本のアーム１１．１２．１３が異常停止した
場合には、このセンサ１６．１７からの信号を、図示し
てない制御装置に入力し、自動原点復帰プログラムの動
作手順によって、２つのモータ１４．１５を駆動し、原
点復帰できるようにした。

こうして製作したウェーハ搬送装置１により、原点復帰
動作の評価を行った。

第１図（、Ｄ、Ｅ）において、３本のアーム１１．１２
．１３が、同図（Ｅ）の（イ）のような異常停止した場
合には、同図（Ｄ）の流れ図の実線に従って自動原点復
帰を実施した。

ここで、同図（Ｄ）と（Ｅ）の（イ）〜（ニ）の動作手
順は、それぞれ対応している。

まず、第一手順として、（イ）で示したように、第一ア
ーム１１を順方向回転させて、第一検出板６の切欠き６
°を最近隣のセンサ１６ｄで止める。

次に、第二手順として、（ロ）で示したように、第三ア
ーム１２を逆方向回転させて、第二検出板７Ｃ’　（、
Ｔｌ欠き７′を最近隣のセンサ１７ａで止める。

次に、第三手順として、（ハ）で示したように、第一ア
ーム１１を順方向回転させて、第一検出板６の切欠き６
゛を、センサ１７ａと対向した位置にあるセンサ１６ａ
で止める。

センサ、１６ａとセンサ１７ａ　とが、それぞれ第一原
点および第二原点なので、これで原点復帰が完了したこ
とになる。

この３つの手順を、図示してない制御装置に組み込んだ
プログラムによって自動的に行わせ、よい結果が得られ
た。

ここでは、第二手順において、第二検出板７の切欠き７
゛が止まった最近隣のセンサ１７ａが、第二原点であっ
たので、第三手順までで、原点復帰が完了した。

また、第二手順で止まった最近隣のセンサが第二原点で
ない場合には、第三手順で切欠き６′を切欠き７゛と互
いに対向する位置で止めた後、第一アーム１１と第三ア
ーム１２とを同期して旋回させ、それぞれの原点１６ａ
　と１６ｂとの位置で止めれば、原点復帰が完了する。

さらに、第一手順で止まった最近隣のセンサが第一原点
の場合には、第二手順で切欠き７゛を切欠き６゛と互い
に対向する位置に止めた後、第一アーム１１と第三アー
ム１２とを同期して旋回させ、それぞれの原点１６ａと
１６ｂとの位置で止めれば、原点復帰が完了する。

一方、異常停止した位置が、第一原点または第二原点の
少なくとも一方であった場合には、それに見合う第一手
順や第二手順が省略できる。

実施例＝２ 第２図は本発明の他の実施例説明図である。

同図において、（イ）は３木のアーム（１１，１２，１
３）が異常停止し、原点復帰を行うために、第一手順と
して、第一アーム１１を順方向回転させた場合を示す。

このときには、（ロ）に示したように、第三アーム１３
が延伸する方向に動作する。

これは、第一アーム１１の方位が、第三アーム１３と主
軸２とを結ふ線上の逆方向側に位置して異常停止したと
き、原点復帰の第一手順として、第一アーム１１を順方
向に回転させると避けることができない動作である。

そこで、（ハ）に示したように、第三アーム１３が、第
二軸５と第三アーム１２の長手方向とを結ぶ線上から逆
方向に回転しないように、第三アーム１２に逆回転止め
手段１９を設けた。

この逆回転止め手段１９には、発光素子と受光素子とを
並置して組み合わせた反射形の光センサを用い、第三ア
ーム１３が逆方向に回転しようとすると信号を発するよ
うにした。

この信号は、図示してない制御装置に入力して第一アー
ム１１の動作を制御し、如何なる動作中においても、第
一アーム１１の方位が、第三アーム１３と主軸２とを結
ぶ線上の逆方向側に位置しないようにした。

このようにして、本発明になるウェーハ搬送装置１は、
異常停止して原点復帰を行う際に、３木のアーム１１．
１２．１３が、如何なる位置と状態とで停止しても、常
に３本のアーム１１．１２．１３が縮む方向に動作しな
がら、しかも自動的に、原点に復帰することが確認でき
た。

ここでは、順方向を時計回りとしたが、反時計回りであ
っても、順方向と逆方向との関係が逆になるだけで、本
発明の本質は変わらない。

検出板の回りに設けるセンサの種類や個数、位置などは
、ウェーハ搬送装置に対して、どういう作業を行わせる
か、何箇所で行わせるか、などによって、種々の変形が
可能である。

また、駆動系に用いるモータやプーリ、ヘルドなども限
定されたものではなく、種々の変形が可能である。

さらに、第二アームに設ける逆回転止め手段には、光セ
ンサばかりでなく、機械的に止める手段も可能であり、
種々の変形が可能である。

〔発明の効果］ 以上述べたように、本発明になるウェーハ搬送装置によ
れば、停電とか、アームや吸着しているウェーハなどが
障害物と衝突するとかして、異常停止した際に、３本の
アームが如何なる位置で、如何なる状態で停止していて
も、常にアームが縮まる方向に、しかも自動的に、予め
設定した原点に復帰する。

従って、ウェーハ搬送工程の効率化に効果があり、ひい
ては半導体製造工程の合理化に大きく寄与できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の詳細な説明図、 第２図は本発明の他の実施例説明図、 第３図はウェーハ搬送装置の使用例を示す斜視図、 第４図は従来のウェーハ搬送装置の構成図、第５図は３
本のアームの基本動作の説明図、である。 図において、 １はウェーハ搬送装置、 ３は第二主軸、 ５は第二軸、 ７は第二検出板、 １１は第一アーム、 １３は第三アーム、 １９は逆回転止め手段、 ３７はウェーハ、 ３８は吸着口、 である。 ２は主軸、 ４は第一軸、 ６は第一検出板、 ６′、７”は切欠き、 １２は第三アーム、 １６．１７はセンサ、 ３５．３６は伝達手段、

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）主軸（２）と、 前記主軸（２）と同軸に支持される第二主軸（３）に固
   定され、かつ該主軸（２）とは異なる駆動源によって回
   動される第一アーム（１１）と、 前記第一アーム（１１）の先端に固定された中空状のプ
   ーリ（２７）の中に回動可能に支持され、かつ前記主軸
   （２）の回転数の２倍の回転数に変換する伝達手段（３
   ５）を介して駆動される第一軸（４）と、前記第一軸（
   ４）に固定されて回動される第二アーム（１２）と、 前記第二アーム（１２）の先端に回動可能に支持され、
   かつ前記プーリ（２７）の回転数の２分の１の回転数に
   変換する伝達手段（３６）を介して駆動される第二軸（
   ５）と、 前記第二軸（５）に固定され、かつ先端にウェーハ（３
   ７）の吸着口（３８）が設けられた第三アーム（１３）
   とを有し、 前記第三アーム（１３）が、前記第一アーム（１１）の
   回動に追動して、該第三アーム（１３）の長手方向と前
   記主軸（２）とを結ぶ線上を直線運動しながら、該主軸
   （２）に対して接近・離反するようになしたウェーハ搬
   送装置であって、 前記第二主軸（３）に固定され、かつ前記第一アーム（
   １１）の長手方向と同一方角の周端部に切欠き（６′）
   を有する第一検出板（６）が設けられ、前記主軸（２）
   に固定され、かつ前記切欠き（６′）と前記主軸（２）
   を通って対向する周端部に切欠き（７′）を有する第二
   検出板（７）が設けられ、前記検出板（６、７）の各々
   の円周上の、前記主軸（２）を通って対向し、かつ同一
   の位置には、前記切欠き（６′、７′）を検知する各々
   複数個のセンサ（１６、１７）が設けられていることを
   特徴とするウェーハ搬送装置。 ２）複数個のセンサ（１６、１７）の中の、主軸（２）
   を通って対向する各々１個を、第一原点（１６ａ）およ
   び第二原点（１７ａ）となし、 ３本のアーム（１１、１２、１３）が異常停止した際に
   、 前記第一アーム（１１）を順方向に回転させて、切欠き
   （６′）が最近隣の前記センサ（１６）を感知した位置
   で停止させ、 前記第二アーム（１２）を逆方向に回転させて、切欠き
   （７′）が最近隣の前記センサ（１７）を感知した位置
   で停止させ、 前記第一アーム（１１）を順方向または逆方向に回転さ
   せて、前記切欠き（６′）を、前記切欠き（７′）が停
   止した位置と前記主軸（２）を通って対向する位置で停
   止させ、 前記第一アーム（１１）と前記第二アーム（１２）とを
   同一方向に同期回転させ、 前記切欠き（６′、７′）を、前記第一原点（１６ａ）
   と前記第二原点（１７ａ）とに各々位置させることを特
   徴とする請求項１項記載のウェーハ搬送装置の原点復帰
   方法。 ３）第一アーム（１１）の主軸（２）に対する方角が、
   該主軸（２）と第三アーム（１３）の長手方向とを結ぶ
   線上の順方向側に常に位置するように、第二アーム（１
   ２）の先端に該第三アーム（１３）の逆回転止め手段（
   １９）が設けられたことを特徴とする請求項１記載のウ
   ェーハ搬送装置。