JP2016081968A - ロボットシステムおよびロボットシステムの制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】このロボットシステムでは、上下方向から見たときにハンド回動中心C1と仮想円交点C10とが一致するようにアームを動かすとともに、ハンド回動中心C1と第1基準点DP1とを結んだ線分L2と第1基準点DP1と第1検知用マーク2aとを結んだ線分L1との角度が角度θ1となるようにハンド16および回動部28を回動させ、かつ、ハンド回動中心C1と第2基準点DP2とを結んだ線分L4と第2基準点DP2と第2検知用マーク2aとを結んだ線分L3との角度が角度θ2となるようにハンド17および回動部30を回動させてから、回動部28に搭載されたウエハ2Aをハンド16に搭載し、回動部30に搭載されたウエハ2Bをハンド17に搭載する。
【選択図】図5
Description
図1は、本発明の実施の形態にかかるロボットシステム1のブロック図である。図2は、図1に示すロボットシステム1が使用される半導体製造システム7の概略平面図である。
図3は、図2に示すハンド16、17にウエハ2A、2Bが正しい位置および向きで搭載されているときの状態を説明するための平面図である。図4、図5は、図2に示すアライナ4、5からハンド16、17に搭載されるウエハ2A、2Bの位置および向きの調整方法を説明するための図である。
以上説明したように、本形態では、上下方向から見たときにハンド回動中心C1と仮想円交点C10とが一致するようにアーム18を動かすとともに、上下方向から見たときに仮想円交点C10と一致しているハンド回動中心C1と第1基準点DP1とを結んだ線分L2と第1基準点DP1と第1検知用マーク2aとを結んだ線分L1とのなす角度が第1角度θ1となるようにハンド16および回動部28を回動させ、かつ、上下方向から見たときに仮想円交点C10と一致しているハンド回動中心C1と第2基準点DP2とを結んだ線分L4と第2基準点DP2と第2検知用マーク2aとを結んだ線分L3とのなす角度が第2角度θ2となるようにハンド17および回動部30を回動させてから、回動部28に搭載されたウエハ2Aをハンド16に搭載し、回動部30に搭載されたウエハ2Bをハンド17に搭載している。
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
2 ウエハ(ワーク)
2A ウエハ(ワーク、第1ワーク)
2B ウエハ(ワーク、第2ワーク)
2a 検知用マーク(第1検知用マーク、第2検知用マーク)
3 ロボット
4 アライナ(第1アライナ)
5 アライナ(第2アライナ)
6 制御部
16 ハンド(第1ハンド)
17 ハンド(第2ハンド)
18 アーム
19 本体部
28 回動部(第1回動部)
29 センサ(第1センサ)
30 回動部(第2回動部)
31 センサ(第2センサ)
C1 ハンド回動中心
C2 ウエハの中心(第1ワークの中心)
C3 ウエハの中心(第2ワークの中心)
C4 回動部の回動中心(第1回動部の回動中心)
C5 回動部の回動中心(第2回動部の回動中心)
C10 仮想円交点
D1 第1基準点とハンド回動中心との距離
D2 第2基準点とハンド回動中心との距離
DP1 第1基準点
DP2 第2基準点
IC1 第1仮想円
IC2 第2仮想円
IL1、IL2 仮想線
L1 第1基準点と第1検知用マークとを結んだ線分
L2 第1基準点とハンド回動中心とを結んだ線分
L3 第2基準点と第2検知用マークとを結んだ線分
L4 第2基準点とハンド回動中心とを結んだ線分
L5 第1ワークの中心と第1検知用マークとを結んだ線分
L6 第2ワークの中心と第2検知用マークとを結んだ線分
θ1 第1角度
θ2 第2角度
Claims (2)
- 円板状に形成されるワークを搬送するロボットと、前記ワークの位置および向きを補正するための第1アライナおよび第2アライナと、前記ロボット、前記第1アライナおよび前記第2アライナを制御する制御部とを備え、
前記ロボットは、前記ワークとしての第1ワークが搭載される第1ハンドと、前記ワークとしての第2ワークが搭載される第2ハンドと、前記第1ハンドおよび前記第2ハンドがその先端側に回動可能に連結されるアームと、前記アームの基端側が連結されるとともに前記アームを昇降させる本体部とを備え、
前記第1ワークには、前記第1ワークの円周方向の向きを検知するための第1検知用マークが設けられ、
前記第2ワークには、前記第2ワークの円周方向の向きを検知するための第2検知用マークが設けられ、
前記第1アライナは、前記第1ワークが搭載されるとともに上下方向を回動の軸方向として前記第1ワークを回動させる第1回動部と、前記第1ワークの中心および前記第1検知用マークを検知するための第1センサとを備え、
前記第2アライナは、前記第2ワークが搭載されるとともに上下方向を回動の軸方向として前記第2ワークを回動させる第2回動部と、前記第2ワークの中心および前記第2検知用マークを検知するための第2センサとを備え、
上下方向から見たときに、前記アームに対する前記第1ハンドの回動中心と、前記アームに対する前記第2ハンドの回動中心とが一致しており、
上下方向から見たときの前記アームに対する前記第1ハンドの回動中心および前記第2ハンドの回動中心をハンド回動中心とすると、
上下方向から見たときに、前記第1ハンドの第1基準点と前記第1ワークの中心とが一致し、かつ、前記第1基準点と前記第1検知用マークとを結んだ線分と、前記第1基準点と前記ハンド回動中心とを結んだ線分とがなす角度が所定の第1角度となっているときに、前記第1ワークが正しい位置および向きで前記第1ハンドに搭載されており、
上下方向から見たときに、前記第2ハンドの第2基準点と前記第2ワークの中心とが一致し、かつ、前記第2基準点と前記第2検知用マークとを結んだ線分と、前記第2基準点と前記ハンド回動中心とを結んだ線分とがなす角度が所定の第2角度となっているときに、前記第2ワークが正しい位置および向きで前記第2ハンドに搭載されており、
前記制御部は、
前記第1回動部に搭載されている前記第1ワークの中心の位置および前記第1検知用マークの位置を、前記第1回動部で前記第1ワークを回動させたときの前記第1センサの出力信号に基づいて検知し、前記第2回動部に搭載されている前記第2ワークの中心の位置および前記第2検知用マークの位置を、前記第2回動部で前記第2ワークを回動させたときの前記第2センサの出力信号に基づいて検知するとともに、
上下方向から見たときに、検知された前記第1ワークの中心と前記第1検知用マークとを結んだ線分に対して前記第1角度傾くとともに前記第1ワークの中心を通過する仮想線上の、前記第1ワークの中心よりも前記本体部側の点であって、前記第1基準点と前記ハンド回動中心との距離と同じ距離だけ前記第1ワークの中心から離れた点を、上下方向を回転の軸方向として前記第1回動部の回動中心を中心に回転させたときの仮想円を第1仮想円とし、上下方向から見たときに、検知された前記第2ワークの中心と前記第2検知用マークとを結んだ線分に対して前記第2角度傾くとともに前記第2ワークの中心を通過する仮想線上の、前記第2ワークの中心よりも前記本体部側の点であって、前記第2基準点と前記ハンド回動中心との距離と同じ距離だけ前記第2ワークの中心から離れた点を、上下方向を回転の軸方向として前記第2回動部の回動中心を中心に回転させたときの仮想円を第2仮想円とし、上下方向から見たときの前記第1仮想円と前記第2仮想円との交点であって、前記第1ワークの中心および前記第2ワークの中心よりも前記本体部側の交点を仮想円交点とすると、
上下方向から見たときに前記ハンド回動中心と前記仮想円交点とが一致するように前記アームを動かすとともに、上下方向から見たときに前記仮想円交点と一致している前記ハンド回動中心と前記第1基準点とを結んだ線分と前記第1基準点と前記第1検知用マークとを結んだ線分とのなす角度が前記第1角度となるように前記第1ハンドおよび前記第1回動部を回動させ、かつ、上下方向から見たときに前記仮想円交点と一致している前記ハンド回動中心と前記第2基準点とを結んだ線分と前記第2基準点と前記第2検知用マークとを結んだ線分とのなす角度が前記第2角度となるように前記第2ハンドおよび前記第2回動部を回動させてから、前記第1回動部に搭載された前記第1ワークを前記第1ハンドに搭載し、前記第2回動部に搭載された前記第2ワークを前記第2ハンドに搭載することを特徴とするロボットシステム。 - 円板状に形成されるワークを搬送するロボットと、前記ワークの位置および向きを補正するための第1アライナおよび第2アライナとを備え、
前記ロボットは、前記ワークとしての第1ワークが搭載される第1ハンドと、前記ワークとしての第2ワークが搭載される第2ハンドと、前記第1ハンドおよび前記第2ハンドがその先端側に回動可能に連結されるアームと、前記アームの基端側が連結されるとともに前記アームを昇降させる本体部とを備え、
前記第1ワークには、前記第1ワークの円周方向の向きを検知するための第1検知用マークが設けられ、
前記第2ワークには、前記第2ワークの円周方向の向きを検知するための第2検知用マークが設けられ、
前記第1アライナは、前記第1ワークが搭載されるとともに上下方向を回動の軸方向として前記第1ワークを回動させる第1回動部と、前記第1ワークの中心および前記第1検知用マークを検知するための第1センサとを備え、
前記第2アライナは、前記第2ワークが搭載されるとともに上下方向を回動の軸方向として前記第2ワークを回動させる第2回動部と、前記第2ワークの中心および前記第2検知用マークを検知するための第2センサとを備え、
上下方向から見たときに、前記アームに対する前記第1ハンドの回動中心と、前記アームに対する前記第2ハンドの回動中心とが一致しており、
上下方向から見たときの前記アームに対する前記第1ハンドの回動中心および前記第2ハンドの回動中心をハンド回動中心とすると、
上下方向から見たときに、前記第1ハンドの第1基準点と前記第1ワークの中心とが一致し、かつ、前記第1基準点と前記第1検知用マークとを結んだ線分と、前記第1基準点と前記ハンド回動中心とを結んだ線分とがなす角度が所定の第1角度となっているときに、前記第1ワークが正しい位置および向きで前記第1ハンドに搭載されており、
上下方向から見たときに、前記第2ハンドの第2基準点と前記第2ワークの中心とが一致し、かつ、前記第2基準点と前記第2検知用マークとを結んだ線分と、前記第2基準点と前記ハンド回動中心とを結んだ線分とがなす角度が所定の第2角度となっているときに、前記第2ワークが正しい位置および向きで前記第2ハンドに搭載されているロボットシステムの制御方法であって、
前記第1回動部に搭載されている前記第1ワークの中心の位置および前記第1検知用マークの位置を、前記第1回動部で前記第1ワークを回動させたときの前記第1センサの出力信号に基づいて検知し、前記第2回動部に搭載されている前記第2ワークの中心の位置および前記第2検知用マークの位置を、前記第2回動部で前記第2ワークを回動させたときの前記第2センサの出力信号に基づいて検知するとともに、
上下方向から見たときに、検知された前記第1ワークの中心と前記第1検知用マークとを結んだ線分に対して前記第1角度傾くとともに前記第1ワークの中心を通過する仮想線上の、前記第1ワークの中心よりも前記本体部側の点であって、前記第1基準点と前記ハンド回動中心との距離と同じ距離だけ前記第1ワークの中心から離れた点を、上下方向を回転の軸方向として前記第1回動部の回動中心を中心に回転させたときの仮想円を第1仮想円とし、上下方向から見たときに、検知された前記第2ワークの中心と前記第2検知用マークとを結んだ線分に対して前記第2角度傾くとともに前記第2ワークの中心を通過する仮想線上の、前記第2ワークの中心よりも前記本体部側の点であって、前記第2基準点と前記ハンド回動中心との距離と同じ距離だけ前記第2ワークの中心から離れた点を、上下方向を回転の軸方向として前記第2回動部の回動中心を中心に回転させたときの仮想円を第2仮想円とし、上下方向から見たときの前記第1仮想円と前記第2仮想円との交点であって、前記第1ワークの中心および前記第2ワークの中心よりも前記本体部側の交点を仮想円交点とすると、
上下方向から見たときに前記ハンド回動中心と前記仮想円交点とが一致するように前記アームを動かすとともに、上下方向から見たときに前記仮想円交点と一致している前記ハンド回動中心と前記第1基準点とを結んだ線分と前記第1基準点と前記第1検知用マークとを結んだ線分とのなす角度が前記第1角度となるように前記第1ハンドおよび前記第1回動部を回動させ、かつ、上下方向から見たときに前記仮想円交点と一致している前記ハンド回動中心と前記第2基準点とを結んだ線分と前記第2基準点と前記第2検知用マークとを結んだ線分とのなす角度が前記第2角度となるように前記第2ハンドおよび前記第2回動部を回動させてから、前記第1回動部に搭載された前記第1ワークを前記第1ハンドに搭載し、前記第2回動部に搭載された前記第2ワークを前記第2ハンドに搭載することを特徴とするロボットシステムの制御方法。
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