TWI630166B - Transfer device and control method of transfer device - Google Patents

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TWI630166B
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伊藤純一
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Abstract

提供可確實地抑制移動部的意外跑出的移載裝置。
移載裝置(40)，是具備可相對於底部(41)移動的移動部(42)，且是在移動部(42)從底部(41)突出的狀態下將物品(FP)進行移載，該移載裝置(40)具備可以切換為第1狀態和第2狀態的移動限制部(43)，該第1狀態，是將移動部(42)限制於基準位置(P1)；該第2狀態，是容許移動部(42)從基準位置(P1)往第1方向(D1)以及與第1方向(D1)相反的第2方向(D2)當中任一方移動而且限制移動部(42)往另一方移動。

Description

移載裝置以及移載裝置之控制方法
本發明是有關移載裝置以及移載裝置之控制方法。
在設置於頂棚的軌道上行走的高架行走車中，連結著將物品進行移載的移載裝置的構造是已知的。該移載裝置，具備：本體部，是連結於高架行走車；以及移動部，可相對於該本體部往高架行走車的行走方向的側向移動。該移載裝置，是例如藉由皮帶機構或齒輪機構等的驅動機構使移動部移動而往本體部的側向突出，而且在該狀態下將物品進行移載的構造。另外，將物品進行移載後，藉由驅動機構讓移動部回到本體部側。
在如此般之移載裝置中，當皮帶斷裂或齒輪的卡合鬆脫時，移動部可能從本體部意外往側面跑出，而碰上其他的高架行走車或支柱等周圍的構造物。對此，例如如專利文獻1所示般，其所提案的卡合裝置，為了防止移動部的意外跑出，於高架行走車的行走中使移動部卡合於本體部，而且於使高架行走車停止而將物品進行移載的 情況下，將移動部和本體部的卡合解除使移動部往本體部的側向移動。
〔先前技術文獻〕 〔專利文獻〕
〔專利文獻1〕國際公開第2011/148459號
然而，在上述構造中，例如使移動部往本體部的側向移動後，於回到本體部側時發生皮帶斷裂或齒輪的卡合鬆脫之情況下，會有移動部往相反側跑出而碰上其他高架行走車的疑慮。
有鑑於以上所述狀況，本發明的目的在於提供：可以確實地抑制移動部的意外跑出之移載裝置以及移載裝置之控制方法。
本發明的移載裝置，具備可相對於本體部移動的移動部，且是在移動部從本體部突出的狀態下將物品進行移載，該移載裝置具備可以切換為第1狀態和第2狀態的移動限制部，該第1狀態，是將移動部限制於基準位置；該第2狀態，是容許移動部從基準位置往第1方向以及與第1方向相反的第2方向當中任一方移動而且限制移 動部往另一方移動。
另外，亦可移動限制部，是形成為除了第1狀態以及第2狀態以外還可以切換為第3狀態，該第3狀態是容許移動部往第1方向以及第2方向的移動僅在既定範圍。另外，亦可移動限制部具備旋轉體，且藉由旋轉體的旋轉位置至少切換為第1狀態和第2狀態，該旋轉體具有：在設於移動部之卡合部的移動方向上抵接於卡合部的制動部。另外，亦可旋轉體是在制動部的外側具備外側制動部，該外側制動部容許卡合部的移動僅在既定範圍。另外，亦可移動限制部係具備：指標部，是伴隨旋轉體的旋轉而旋轉；感測部，是用來檢測指標部；以及控制部，是根據來自感測部的檢測結果而控制旋轉體的旋轉位置。另外，亦可感測部，是沿著指標部的旋轉方向配置複數個，控制部，是根據來自複數個感測部的檢測結果而控制旋轉體的旋轉位置。另外，亦可本體部是連結於高架行走車，移動部係具備：可以保持物品的夾持器、以及使夾持器升降的升降驅動部。另外，亦可第1方向以及第2方向，是水平方向當中與高架行走車的行走方向交叉的方向。
另外，在本發明有關之移載裝置之控制方法中，該移載裝置，具備可相對於本體部移動的移動部，且是在移動部從本體部突出的狀態下將物品進行移載，該控制方法包含藉由移動限制部切換為第1狀態和第2狀態，該第1狀態，是將移動部限制於基準位置；該第2狀態，是容許移動部從基準位置往第1方向以及與第1方向相反 的第2方向當中任一方移動而且限制移動部往另一方移動。
依據本發明，因為可藉由移動限制部切換為第1狀態和第2狀態，所以在使移動部往第1方向移動後，為了回到基準位置而往第2方向移動之情況下，藉由移動限制部抑制往第2方向的跑出，該第1狀態，是將移動部限制於基準位置；該第2狀態，是容許移動部從基準位置往第1方向以及與第1方向相反的第2方向當中任一方的移動而且限制移動部往另一方移動。因此，移動部的意外跑出確實地受到抑制。
另外，移動限制部，是形成為除了第1狀態以及第2狀態以外還可以切換為第3狀態，該第3狀態是容許移動部往第1方向以及第2方向的移動僅在既定範圍，而且其中，在移動限制部處於第3狀態之情況下，可以將移動部的位置在既定範圍進行微調整。另外，移動限制部具備旋轉體，且藉由旋轉體的旋轉位置至少切換為第1狀態和第2狀態，該旋轉體具有：在設於移動部之卡合部的移動方向上抵接於卡合部的制動部，而且其中，只須使旋轉體旋轉，就可以容易將移動限制部至少在第1狀態和第2狀態進行切換。另外，旋轉體是在制動部的外側具備外側制動部，該外側制動部容許卡合部的移動僅在既定範圍，而且其中，可以在外側制動部限制卡合部的移動。 另外，移動限制部係具備：指標部，是伴隨旋轉體的旋轉而旋轉；感測部，是用來檢測指標部；以及控制部，是根據來自感測部的檢測結果而控制旋轉體的旋轉位置，而且其中，可以自動進行移動限制部的切換。另外，亦可感測部，是沿著指標部的旋轉方向配置複數個，控制部，是根據來自複數個感測部的檢測結果而控制旋轉體的旋轉位置，而且其中，可以藉由感測部以及控制部確實地控制旋轉體的旋轉位置。另外，本體部是連結於高架行走車，移動部係具備：可以保持物品的夾持器、以及使夾持器升降的升降驅動部，而且其中，不管是在高架行走車的行走之情況下、移動部往本體部的側面進行移動之情況下、移動部使夾持器升降之情況下、或移動部回到本體部側的情況下，皆可以確實地抑制移動部的意外跑出。另外，第1方向以及第2方向，是水平方向當中與高架行走車的行走方向交叉的方向，而且其中，可以確實地抑制移動部往與高架行走車的行走方向交叉的方向意外跑出。因此，高架行走車行走在平行延伸之各個軌道的情況下，可以抑制高架行走車彼此妨礙。
D1‧‧‧第1方向
D2‧‧‧第2方向
FP‧‧‧物品
L‧‧‧既定範圍
P1‧‧‧基準位置
P2、P3‧‧‧突出位置
AX‧‧‧旋轉中心軸
1‧‧‧處理室
4‧‧‧頂棚構件
4a‧‧‧頂棚面
6‧‧‧第1支柱
8、9‧‧‧第1支撐構件
8a、9a‧‧‧支撐面
10‧‧‧軌道
11‧‧‧行走軌道
12‧‧‧供電軌道
15‧‧‧第2支柱
16‧‧‧第3支柱
17、18‧‧‧第2支撐構件
17a、18a‧‧‧載置面
20‧‧‧高架行走車
21‧‧‧行走驅動部
21a‧‧‧滾輪
22‧‧‧受電部
23‧‧‧連結部
30‧‧‧皮帶機構
31‧‧‧驅動馬達
32、33‧‧‧驅動皮帶輪
34、35‧‧‧從動皮帶輪
36、37‧‧‧驅動皮帶
36a、37a‧‧‧固定部
40‧‧‧移載裝置
41‧‧‧底部(本體部)
42‧‧‧移動部
43‧‧‧移動限制部
44‧‧‧中間部
45‧‧‧頂部
45a‧‧‧卡合部
46‧‧‧回旋部
47‧‧‧升降驅動部
48‧‧‧升降台
48a‧‧‧皮帶
49‧‧‧夾持器
49a‧‧‧爪部
51‧‧‧驅動源
51a‧‧‧輸出軸
52‧‧‧旋轉傳遞齒輪
52a‧‧‧第1齒輪
52b‧‧‧第2齒輪
53‧‧‧旋轉軸
54‧‧‧旋轉體
54a‧‧‧第1制動部(制動部)
54b‧‧‧第2制動部(制動部)
54c‧‧‧第3制動部(外側制動部)
54d‧‧‧第4制動部(外側制動部)
54m、54n‧‧‧間隙
55‧‧‧指標部
55a‧‧‧基部
55b‧‧‧遮光部
55c、55d‧‧‧端面
56‧‧‧感測部
56a‧‧‧基部
56b‧‧‧發光部
56c‧‧‧受光部
57‧‧‧控制部
60‧‧‧機械性制動器
61‧‧‧第1感測器
62‧‧‧第2感測器
63‧‧‧第3感測器
64‧‧‧第4感測器
65、66‧‧‧制動面
第1圖是表示處理室的頂棚部分之一例的圖。
第2圖是表示皮帶機構之一例的圖。
第3圖是表示移載裝置的動作狀態之一例的圖。
第4圖是表示移動限制部之一例的立體圖。
第5圖是表示移動限制部之一例的側視圖。
第6(a)圖是表示旋轉體之一例的圖，第6(b)圖是表示指標部以及感測部之一例的圖。
第7(a)圖~第7(d)圖，是用來說明移動限制部的動作的圖。
以下，針對本發明之實施方式參照圖式進行說明。但是，本發明並未限定於此。另外，在圖式中為了說明實施方式，所以將一部分放大或強調加以記載等適當地變更比例來表達。在以下的各圖中，使用XYZ座標系來說明圖中之方向。在該XYZ座標系中，將與水平面平行的平面設為XY平面。在該XY平面上將高架行走車20的行走方向標示為Y方向，將正交於Y方向的方向標示為X方向。另外，垂直於XY平面的方向標示為Z方向。X方向、Y方向以及Z方向，分別是以圖中之箭頭方向作為+方向，以與箭頭方向相反的方向作為-方向進行說明。另外，將繞X軸的旋轉方向標示為θX方向，將繞Y軸的旋轉方向標示為θY方向，將繞Z軸的旋轉方向標示為θZ方向。
第1圖是表示處理室1的頂棚部分之一例的圖。處理室1是例如無塵室內部，而且設置未圖示之半導體處理裝置等。
於處理室1的頂棚部分，設置：頂棚構件4、第1支柱6、以及第2支柱15。於頂棚構件4形成頂棚面4a。頂棚面4a是形成與水平面平行。第1支柱6是固定在頂棚構件4，從頂棚面4a往下方(-Z方向)延伸。
於第1支柱6之各群的-Z側端部，分別固定著第1支撐構件8、9。第1支撐構件8、9是形成為以Y方向為長度方向。第1支撐構件8、9是透過第1支柱6而固定在頂棚構件4。第1支撐構件8、9的-Z側的面(支撐面)8a、9a，是配置成與頂棚面4a平行。
於支撐面8a、9a，各軌道10是設置成彼此相鄰。軌道10是用來引導高架行走車20的軌道。軌道10具有行走軌道11以及供電軌道12。軌道10的至少一部分，是沿著例如第1支撐構件8、9的長度方向(Y方向)設置。相鄰的軌道10彼此是互相平行地配置。此外，在第1圖省略設置於第1支撐構件9的軌道10的高架行走車的圖示。
高架行走車20是配置於行走軌道11的內側。高架行走車20是沿著軌道10朝+Y方向行走。高架行走車20，具有：行走驅動部21、受電部22、以及連結部23。行走驅動部21，具有：抵接於行走軌道11的內面的複數個滾輪21a、和使該等複數個滾輪21a旋轉之未圖示的驅動裝置。受電部22是透過設置於供電軌道12的非接觸供電線進行受電，且將電力供應給行走驅動部21等。連結部23是安裝於行走驅動部21的-Z側，且將行 走驅動部21和移載裝置40加以連結。
移載裝置40，具備：底部(本體部)41、移動部42、以及移動限制部43。底部41是透過連結部23連結於高架行走車20(行走驅動部21)。因而，底部41是可以與高架行走車20一體地移動。
移動部42是具有中間部44以及頂部45。中間部44是安裝於底部41。中間部44是藉由未圖示之導件，朝沿X方向之第1方向D1以及第2方向D2進行移動。頂部45是安裝於中間部44。頂部45可以伴隨中間部44的移動，朝沿X方向之第1方向D1以及第2方向D2移動。
另外，於頂部45之下方(-Z側)，設置：回旋部46、升降驅動部47、升降台48、以及夾持器49。回旋部46，是相對於頂部45使升降驅動部47以下的構造(升降驅動部47、升降台48以及夾持器49)朝θZ方向回旋。
升降驅動部47是控制升降台48的升降(Z方向上的移動)。升降驅動部47是透過形成既定長度的皮帶48a(參照第3圖)而連接於升降台48。於升降驅動部47設置用來捲繞皮帶48a之未圖示的捲筒。升降驅動部47是藉由將皮帶48a捲取或送出，而將升降台48朝Z方向移動。
升降台48是藉由升降驅動部47的驅動，而與夾持器49一體地朝Z方向進行移動。夾持器49具有一 對的爪部49a。該爪部49a可以把持例如半導體晶圓的搬運容器(FOUP)等的物品FP。一對的爪部49a是用來把持設置於物品FP的+Z側的面的突起部FPa。
另外，於第1支撐構件8、9的支撐面8a、9a，設置第3支柱16。第3支柱16，是在X方向上配置於軌道10兩側的位置。第3支柱16是往-Z方向延伸。於第3支柱16之-Z方向的端部，分別固定著第2支撐構件17、18。第2支撐構件17是配置於第1支撐構件8的+X側，第2支撐構件18是配置於第1支撐構件8的-X側。第2支撐構件17、18分別具有載置面17a、18a。載置面17a、18a是形成與水平面平行。第2支撐構件17、18，可以將物品等暫時放置於該載置面17a、18a，而作為緩衝區使用。
第2支撐構件17，是藉由配置於+X側的第3支柱16和第2支柱15進行支撐。第2支柱15是從頂棚面4a往-Z方向延伸，且在-Z側端部固定在第2支撐構件17。另外，第2支撐構件18，是藉由設置於第1支撐構件8的第3支柱16當中-X側的支柱、和設置於第1支撐構件9的第3支柱16當中+X側的支柱進行支撐。
此外，亦可配置適當的自動倉庫或自動化倉儲等取代第2支撐構件17、18。另外，關於第1支撐構件9、配置於該第1支撐構件9的軌道10、以及高架行走車20等，亦可不設置。另外，關於第2支撐構件18，亦可不設置。
第2圖是示意地表示將底部41以及移動部42加以驅動的皮帶機構30之一例的圖。此外，皮帶機構30並未限定於第2圖所示的構造。
如第2圖所示般，上述之中間部44以及頂部45是藉由皮帶機構30進行驅動。皮帶機構30，具有：驅動馬達31、驅動皮帶輪32、33、從動皮帶輪34、35、以及驅動皮帶36、37。驅動馬達31、驅動皮帶輪32以及從動皮帶輪34，是固定在底部41的-Z側。驅動皮帶輪32是藉由驅動馬達31的驅動力進行旋轉。驅動皮帶36是繞掛在驅動皮帶輪32和從動皮帶輪34之間，而且具有固定部36a。固定部36a是固定在中間部44。
驅動皮帶輪33以及從動皮帶輪35，是固定在中間部44的-Z側。驅動皮帶輪33是透過未圖示之旋轉力傳遞機構連接於驅動馬達31或驅動皮帶輪32。驅動皮帶輪33是與驅動皮帶輪32的旋轉同步進行旋轉。驅動皮帶37是繞掛在驅動皮帶輪33和從動皮帶輪35之間，而且具有固定部37a。固定部37a是固定在頂部45。
在上述之皮帶機構30中，藉由將驅動馬達31旋轉，而透過驅動皮帶輪32、33讓驅動皮帶36、37進行旋轉。藉由驅動皮帶36的旋轉，中間部44是以往底部41的+X側以及-X側(在第2圖作為一例是+X側)突出的方式進行移動。另外，藉由驅動皮帶37的旋轉，頂部45是以往中間部44的+X側以及-X側(在第2圖作為一例是+X側)突出的方式進行移動。
第3圖是表示移載裝置40的動作狀態之一例的圖。
在使高架行走車20進行行走之情況下，當移動部42往軌道10的+X側或-X側跑出時，可能碰上周圍的構造物。此點無論是在夾持器49把持物品FP的情況下，或未把持物品FP的情況下都相同。因此，在使高架行走車20進行行走之情況下，移載裝置40不將移動部42往+X側或-X側移動，而如第3圖所示般成為配置於既定的基準位置P1的狀態(第1狀態)。在第1狀態中，基準位置P1是指使高架行走車20行走情況下的移動部42的位置，在本實施方式，作為一例是底部41和移動部42(中間部44以及頂部45)在從Z方向觀察時相重疊的位置，但不限於此。
另一方面，在欲將以夾持器49把持的物品FP載置於第2支撐構件17、18的情況下，或欲以夾持器49把持載置於第2支撐構件17、18物品FP之情況下，是使高架行走車20成為停止的狀態。而且，移載裝置40是使移動部42當中的頂部45，往第1方向D1側的突出位置P2或第2方向D2側的突出位置P3移動的狀態(第2狀態)。突出位置P2是配置於第2支撐構件17的+Z方向上。另外，突出位置P3是配置於第2支撐構件18的+Z方向上。此外，如在第3圖以點鏈線表示般，藉由從該第2狀態將皮帶48a送出，可以讓升降台48以及夾持器49往下方移動。在夾持器49把持物品FP之情況下，例如可 以將物品FP載置於第2支撐構件17、18上。另外，於夾持器49未把持物品FP，且物品FP載置於第2支撐構件17、18上之情況下，可以以夾持器49把持第2支撐構件17、18上的物品FP。
而且，在欲將以夾持器49把持的物品FP配置於軌道10下方的裝置等之既定位置載置的情況下，或欲以夾持器49把持載置於在軌道10的下方所配置的裝置等的既定位置的物品FP的情況下，亦使高架行走車20成為停止的狀態。而且，成為不使移動部42往突出位置P2以及突出位置P3移動，且讓升降台48朝-Z方向移動的狀態(第3狀態)。在第3狀態下，為了將夾持器49和物品FP的位置關係進行微調整，可以讓移動部42朝X方向僅移動既定範圍。
第4圖是表示移動限制部43之一例的立體圖。另外，第5圖是表示移動限制部43之一例的側視圖。
如第4圖以及第5圖所示般，移動限制部43，具有：驅動源51、旋轉傳遞齒輪52、旋轉軸53、旋轉體54、指標部55、感測部56、控制部57、以及機械性制動器60。
驅動源51是使用例如馬達等，而且具有將旋轉輸出的輸出軸51a。驅動源51是將輸出軸51a朝θZ方向旋轉。旋轉傳遞齒輪52具有第1齒輪52a以及第2齒輪52b。第1齒輪52a是固定在驅動源51的輸出軸51a。 第2齒輪52b是與第1齒輪52a嚙合，而將第1齒輪52a的θZ方向的旋轉轉換為θY方向的旋轉。旋轉軸53是固定在第2齒輪52b。旋轉軸53是伴隨第2齒輪52b的旋轉，且繞著沿Y方向之旋轉中心軸AX的軸的方向(θY方向)進行旋轉。旋轉體54是與旋轉軸53設置為一體。藉由旋轉軸53進行旋轉，旋轉體54是往繞旋轉中心軸AX的軸之方向(θY方向)進行旋轉。
旋轉體54是以在X方向、Y方向以及Z方向上不變化位置的方式加以固定。旋轉體54，具有：第1制動部(制動部)54a、第2制動部(制動部)54b、第3制動部(外側制動部)54c、以及第4制動部(外側制動部)54d。
第1制動部54a以及第2制動部54b，是形成為沿著以旋轉體54的旋轉中心軸AX作為中心的同一個圓筒面。於第1制動部54a和第2制動部54b之間，設置間隙54m、54n。另外，第3制動部54c以及第4制動部54d，是形成為沿著以旋轉中心軸AX作為中心之比第1制動部54a以及第2制動部54b更外側的同一個圓筒面所形成。
如第4圖以及第5圖所示般，於頂部45之-Y側的面，設置朝-Y方向突出的卡合部45a。卡合部45a是形成例如圓柱狀或棒狀。第1制動部54a~第4制動部54d，是配置於卡合部45a的周圍。換言之，卡合部45a的-Y側的前端部，是成為配置於被第1制動部54a~第4 制動部54d包圍的部分之狀態。第1制動部54a~第4制動部54d藉由與卡合部45a抵接，而限制卡合部45a的移動，而且藉此限制頂部45的移動。中間部44因為與頂部45同步進行移動，所以當頂部45的移動受到限制時中間部44的移動亦受到限制。因而，藉由限制卡合部45a的移動，可以限制移動部42(中間部44以及頂部45)的移動。
第6(a)圖是表示將旋轉體54朝-Y方向觀看時之一例的圖。在第6(a)圖，將旋轉體54與頂部45之卡合部45a一起表示。以下，有關於繞Y軸的θY方向的正負，是將從行走方向(+Y方向)觀察時之順時鐘方向標示為+θY方向，而且將逆時鐘方向標示為-θY方向。在第6(a)圖中，因為是朝行走方向的相反方向觀看旋轉體54，所以+θY方向在圖中表示為向右轉的方向，-θY方向在圖中表示為向左轉的方向。
如第6(a)圖所示般，第1制動部54a是以旋轉中心軸AX作為基準，於θY方向上形成在角度α1的範圍內。該角度α1是設定為例如120°左右，但不限於此。第2制動部54b是以旋轉中心軸AX作為基準，於θY方向上形成在角度α2的範圍內。該角度α2可以設定為例如60°左右，但不限於此。
間隙54m是從第1制動部54a的+θY側端部至第2制動部54b的-θY側端部，以旋轉中心軸AX作為基準於θY方向上形成在角度α3的範圍內。另外，間隙 54n是從第1制動部54a的-θY側端部至第2制動部54b的+θY側端部，以旋轉中心軸AX作為基準於θY方向上形成在角度α4的範圍內。角度α3是設定為比角度α4大。另外，角度α4，為了讓卡合部45a能通過間隙54n，而依照卡合部45a的直徑進行設定。此外，亦可先設定角度α4，而依照該角度α4的值來設定卡合部45a的直徑。在本實施方式，例如角度α3是設定為120°左右，角度α4是設定為60°左右，但不限於此。
第3制動部54c是以旋轉中心軸AX作為基準，於θY方向上形成在角度α5的範圍內。該角度α5是設定為例如60°左右，但不限於此。此外，第3制動部54c，是以在旋轉體54的旋轉方向上，將設置於第1制動部54a的-θY側的間隙部分遮蔽的方式進行配置。
第4制動部54d，是配置於以旋轉中心軸AX作為基準，從第3制動部54c偏離180°的位置。第4制動部54d是於θY方向上形成在角度α6的範圍內。該角度α5是設定為例如60°左右，但不限於此。此外，第4制動部54d，是以在旋轉體54的旋轉方向上，將設置於第1制動部54a的+θY側的間隙的一部分遮蔽的方式進行配置。
第6(b)圖是表示將指標部55以及感測部56從+Y側觀看時之一例的圖。此外，與第6(a)圖相同地，將朝行走方向(+Y方向)觀察時之順時鐘方向標示為+θY方向，而且將逆時鐘方向標示為-θY方向。
如第6(b)圖所示般，指標部55是形成圓板狀且固定在第2齒輪52b或旋轉軸53。此外，第6(b)圖所表示的指標部55的姿勢，是與第6(a)圖所示的旋轉體54的姿勢相對應。換言之，在旋轉體54成為第6(a)圖所示的姿勢之情況下，指標部55是成為第6(b)圖所示的姿勢。另外，相反地在指標部55成為第6(b)圖所示的姿勢之情況下，旋轉體54是成為第6(a)圖所示的姿勢。指標部55是與第2齒輪52b或旋轉軸53一體地在θY方向上旋轉。於旋轉軸53，因為除了指標部55還固定有旋轉體54，所以在旋轉軸53進行旋轉之情況下，指標部55是與旋轉體54一體地進行旋轉。
指標部55是配置於第2齒輪52b之-Y側。指標部55具有基部55a以及遮光部55b。基部55a是形成為圓形的部分。遮光部55b是設置於基部55a之外周的一部分，且形成為可以將感測部56所使用的檢測光加以遮光。遮光部55b具有例如端面55c、55d。端面55c以及端面55d，是配置成以旋轉中心軸AX作為中心而於θY方向上成為角度β1。角度β1是形成未達120°的角度，例如116°左右，但不限定於此。此外，在第6(b)圖所示的構造，遮光部55b是相對於基部55a配置於+X側。
另外，感測部56，具有第1感測器61、第2感測器62、第3感測器63以及第4感測器64。第1感測器61~第4感測器64是例如第5圖所示般，分別具有：基部56a、發光部56b、以及受光部56c。基部56a是形成 ㄈ字狀(或U字狀)，且具有平行的兩個前端部(第1端部56m以及第2端部56n)。發光部56b是設置於第1端部56m。發光部56b是用來射出檢査光。受光部56c是設置於第2端部56n。作為發光部56b是使用例如LED等，作為受光部56c是使用發光二極體等的光電轉換元件等。
在本實施方式，發光部56b和受光部56c是配置成相對向。於發光部56b和受光部56c之間，是在Y方向上設置既定的間隙。從發光部56b射出的檢査光是在該間隙前進而射入受光部56c。受光部56c是將射入的檢査光進行光電轉換，且輸出受光訊號(電氣訊號)。
第1感測器61~第4感測器64，是配置成使發光部56b以及受光部56c隔著遮光部55b的軌道相對向。藉由指標部55進行旋轉，依據旋轉角度不同，遮光部55b會進入發光部56b和受光部56c之間。在藉由指標部55的旋轉而讓遮光部55b進入發光部56b和受光部56c之間的情況下，檢査光是藉由遮光部55b進行遮光。因此，在受光部56c不輸出受光訊號。在第1感測器61~第4感測器64，藉由檢測該受光訊號的有無，可以檢測出在各發光部56b和受光部56c之間是否有遮光部55b。
另外，如第6(b)圖所示般，第1感測器61是配置於旋轉中心軸AX的-X側。第2感測器62是相對於第1感測器61，配置成在-θY方向隔著角度β2。第3感測器63是相對於第2感測器62，配置成在-θY方向隔 著角度β3。第4感測器64是相對於第3感測器63，配置成在-θY方向隔著角度β4進行配置。角度β2、β3、β4是例如分別設定為60°左右。藉由該配置，遮光部55b不會同時與第1感測器61~第4感測器64當中三個以上的感測器重疊。
在此，在本實施方式中，第1感測器61和第3感測器63是設置成以旋轉中心軸AX作為基準在θY方向上隔著120°，遮光部55b之θY方向的範圍為116°。因而，在遮光部55b例如配置於第1感測器61和第3感測器63之間的狀態下，遮光部55b的+θY側端部和第1感測器61之間於θY方向上只有2°左右，相同地遮光部55b的-θY側端部和第3感測器63之間於θY方向上亦只有2°左右。因此，當指標部55從遮光部55b配置於第1感測器61和第3感測器63之間的狀態將指標部55沿θY方向旋轉2°以上時，遮光部55b的θY側當中之任一者的端部是將第1感測器61或第3感測器63的檢査光加以遮光。此外，在遮光部55b配置於第2感測器62和第4感測器64之間的情況下，亦可以同樣的說明。
另外，機械性制動器60，具有制動面65以及制動面66。制動面65是抵接於遮光部55b的端面55c。另外，制動面66是抵接於遮光部55b的端面55d。藉由遮光部55b的端面55c、55d分別抵接於制動面65、66，而限制指標部55沿θY方向的旋轉。在本實施方式中，指標部55，是在180°的範圍內進行旋轉，而被限制為在端 面55c抵接於制動面65的狀態(遮光部55b是相對於基部55a配置於+X側的狀態)、和端面55d抵接於制動面66的狀態(遮光部55b是相對於基部55a配置於-X側的狀態)之間。
接下來，說明移動限制部43之動作。第7(a)圖~第7(d)圖是用來說明移動限制部43的動作的圖。
第7(a)圖是表示移載裝置40成為第1狀態(參照第3圖等)的情況下，移動限制部43的動作。
在移動部42成為第1狀態之情況下，如第7(a)圖所示般，控制部57是以讓第2制動部54b配置於卡合部45a的+X側，並且第1制動部54a配置於卡合部45a的-X側的方式，將旋轉體54的姿勢進行調整。以下，將該姿勢稱為第1姿勢。藉由將旋轉體54成為第1姿勢，當移動部42(頂部45)欲往+X方向移動時卡合部45a抵接於第2制動部54b，而且當欲往-X方向移動時卡合部45a抵接於第1制動部54a。因此，卡合部45a往X方向的移動受到限制。因而，移動部42往X方向的移動受到限制，且移動部42成為配置於基準位置P1的狀態。
另外，在旋轉體54的姿勢成為上述第1姿勢之情況下，指標部55的遮光部55b是配置於第1感測器61和第3感測器63之間。在該情況下，在第1感測器61、第3感測器63以及第4感測器64中，來自發光部56b的檢査光是以受光部56c進行受光而輸出受光訊號。 另外，在第2感測器62，檢査光受到遮光而不輸出受光訊號。
因而，藉由控制部57，以使用第1感測器61、第3感測器63以及第4感測器64輸出受光訊號，且未使用第2感測器62輸出受光訊號的狀態的方式將指標部55的姿勢加以調整，可以將旋轉體54的姿勢設定為上述第1姿勢。
此時，控制部57，是檢測第1感測器61~第4感測器64的受光訊號，且依照檢測結果使指標部55朝+θY方向或-θY方向旋轉。例如，控制部57是在檢測出第1感測器61為受到遮光的狀態之情況下，使指標部55朝-θY方向進行旋轉。而且，於第1感測器61從遮光切換為受光後立即使指標部55的旋轉停止。因此，可以使遮光部55b配置於第1感測器61和第3感測器63之間。
另外，在第4感測器64檢測為遮光的狀態之情況下，控制部57是使指標部55朝+θY方向旋轉，而成為第3感測器63受到遮光的狀態。而且，控制部57，若檢測第3感測器63為受到遮光的狀態，一邊使指標部55進一步朝+θY方向旋轉一邊檢測第3感測器63的輸出，而且於第3感測器63從遮光切換為受光後立即使指標部55的旋轉停止。在該情況下，也可以使遮光部55b配置於第1感測器61和第3感測器63之間。
接下來，作為移動部42成為第2狀態的情況，有使移動部42往第1方向D1的突出位置P2移動的 情況、和使移動部42往第2方向D2的突出位置P3移動的情況。其中，於使移動部42往突出位置P2移動之情況下，如第7(b)圖所示般，控制部57是以讓間隙54m配置於卡合部45a的+X側，並且讓第1制動部54a配置於卡合部45a的-X側的方式，將旋轉體54的姿勢進行調整。以下，將該姿勢稱為第2姿勢。藉由將旋轉體54成為第2姿勢，當移動部42欲往+X方向移動時，因為卡合部45a通過間隙54m，所以不會限制卡合部45a的移動。因此，移動部42可以朝第1方向D1移動。另外，當移動部42欲往-X方向移動時，因為卡合部45a抵接於第1制動部54a，所以卡合部45a往-X方向的移動受到限制。因而，在例如移動部42欲從突出位置P2回到基準位置P1的情況下，可以限制超過基準位置P1而朝-X方向進行移動的情況。
另外，在旋轉體54的姿勢成為上述第2姿勢之情況下，如第7(b)圖所示般，遮光部55b的端面55d是抵接於制動面66。另外，遮光部55b是配置於第2感測器62的+θY側。而且，遮光部55b的θY方向的中央部是配置為對應於第1感測器61。在該情況下，在第2感測器62、第3感測器63以及第4感測器64中，來自發光部56b的檢査光是以受光部56c進行受光而輸出受光訊號。另外，在第1感測器61，檢査光受到遮光而不輸出受光訊號。
因而，藉由控制部57，以使用第2感測器 62、第3感測器63以及第4感測器64輸出受光訊號，且未使用第1感測器61輸出受光訊號的狀態的方式將指標部55的姿勢加以調整，可以將旋轉體54的姿勢設定為上述第2姿勢。
此時，控制部57，是檢測第1感測器61~第4感測器64的受光訊號，而依照檢測結果使指標部55朝+θY方向或-θY方向旋轉。例如，控制部57是在檢測第3感測器63以及第4感測器64當中之任一者為受到遮光的狀態之情況下，使指標部55朝+θY方向旋轉，而成為第2感測器62受到遮光的狀態。而且，控制部57，若檢測第2感測器62為受到遮光的狀態，一邊使指標部55進一步朝+θY方向旋轉一邊檢測第2感測器62的輸出，而且於第2感測器62從遮光切換為受光後立即使指標部55的旋轉停止。因此，可以使遮光部55b配置於第2感測器62的+θY側。
在本實施方式，因為配置有制動面66，藉由讓遮光部55b的端面55d抵接於制動面66可以限制指標部55的旋轉。此外，亦可將具有與第1感測器61~第4感測器64相同機能的感測器設置於制動面66的位置，取代配置制動面66(機械性制動器60)。在該構造中，控制部57可以使用該感測器的檢測結果，進行控制來讓指標部55的旋轉停止。
另外，例如於使移動部42往第2方向D2的突出位置P3移動之情況下，控制部57是如第7(c)圖 所示般，以讓第1制動部54a配置於卡合部45a的+X側，並且間隙54m配置於卡合部45a的-X側的方式，將旋轉體54的姿勢進行調整。以下，將該姿勢稱為第3姿勢。藉由將旋轉體54成為第3姿勢，當移動部42欲往-X方向移動時，因為卡合部45a通過間隙54m，所以不會限制卡合部45a的移動。因此，移動部42可以朝第2方向D2移動。另外，當移動部42欲往+X方向移動時，因為卡合部45a抵接於第1制動部54a，所以卡合部45a往+X方向的移動受到限制。因而，在例如移動部42欲從突出位置P3回到基準位置P1的情況下，可以限制超過基準位置P1而朝+X方向進行移動的情況。
另外，在旋轉體54的姿勢成為上述第3姿勢之情況下，如第7(c)圖所示般，遮光部55b的端面55c是抵接於制動面65。另外，遮光部55b是配置於第3感測器63的-θY側。而且，遮光部55b的θY方向的中央部是配置為對應於第4感測器64。在該情況下，在第1感測器61、第2感測器62以及第3感測器63上，來自發光部56b的檢査光是以受光部56c進行受光，而輸出受光訊號。另外，在第4感測器64，檢査光受到遮光而不輸出受光訊號。
因而，藉由控制部57，以使用第1感測器61、第2感測器62以及第3感測器63輸出受光訊號，且未使用第4感測器64輸出受光訊號的狀態的方式，將指標部55的姿勢加以調整，可以將旋轉體54的姿勢設定為 上述第3姿勢。
此時，控制部57，是檢測第1感測器61~第4感測器64的受光訊號，而依照檢測結果使指標部55朝+θY方向或-θY方向旋轉。例如，控制部57是在檢測第1感測器61以及第2感測器62當中之任一者為受到遮光的狀態之情況下，使指標部55朝-θY方向旋轉，而成為第3感測器63受到遮光的狀態。而且，控制部57，若檢測第3感測器63為受到遮光的狀態，一邊使指標部55進一步朝-θY方向旋轉一邊檢測第3感測器63的輸出，而且於第3感測器63從遮光切換為受光後立即使指標部55的旋轉停止。因此，可以使遮光部55b配置於第3感測器63的-θY側。
在本實施方式，因為配置有制動面65，藉由讓遮光部55b的端面55c抵接於制動面65可以限制指標部55的旋轉。此外，亦可將具有與第1感測器61~第4感測器64相同機能的感測器設置於制動面65的位置，取代配置制動面65(機械性制動器60)。在該構造中，控制部57可以使用該感測器的檢測結果，進行控制來讓指標部55的旋轉停止。
接下來，在移動部42成為第3狀態之情況下，控制部57是如第7(d)圖所示般，以讓間隙54n配置於卡合部45a的+X側，第3制動部54c配置於間隙54n的+X側，間隙54m配置於卡合部45a的-X側，第4制動部54d配置於間隙54m的-X側的方式，將旋轉體54的姿 勢進行調整。以下，將該姿勢稱為第4姿勢。藉由將旋轉體54成為第4姿勢，當移動部42欲往+X方向移動時卡合部45a通過間隙54n，而且當移動部42欲往+X方向移動時卡合部45a抵接於第3制動部54c。因而，在從間隙54n至第3制動部54c為止的既定範圍L中，容許卡合部45a朝+X方向移動。同樣地，當移動部42欲往-X方向移動時卡合部45a通過間隙54m，而且當移動部42欲往-X方向移動時卡合部45a抵接於第4制動部54d。因而，在從間隙54m至第4制動部54d為止的既定範圍中，容許卡合部45a朝-X方向移動。因此，在從第3制動部54c至第4制動部54d為止的範圍內容許移動部42往X方向的移動，而且往X方向的進一步移動受到限制。
另外，在旋轉體54的姿勢成為上述第4姿勢之情況下，指標部55的遮光部55b是配置於第2感測器62和第4感測器64之間。在該情況下，在第1感測器61、第2感測器62以及第4感測器64中，來自發光部56b的檢査光是以受光部56c進行受光而輸出受光訊號。另外，在第3感測器63，檢査光受到遮光而不輸出受光訊號。
因而，藉由控制部57，以使用第1感測器61、第2感測器62以及第4感測器64輸出受光訊號，且未使用第3感測器63輸出受光訊號的狀態的方式將指標部55的姿勢加以調整，可以將旋轉體54的姿勢設定為上述第4姿勢。
在該情況下，控制部57，是檢測第1感測器61~第4感測器64的受光訊號，而依照檢測結果使指標部55朝+θY方向或-θY方向旋轉。例如，控制部57是在檢測為第1感測器61受到遮光的狀態之情況下，使指標部55朝-θY方向旋轉而成為第2感測器62受到遮光的狀態。而且，若控制部57檢測出第2感測器62為受到遮光的狀態，一邊使指標部55進一步朝-θY方向旋轉一邊檢測第2感測器62的輸出，而且於第2感測器62從遮光切換為受光後立即使指標部55的旋轉停止。因此，可以使遮光部55b配置於第2感測器62和第4感測器64之間。
另外，控制部57是在例如檢測出第4感測器64為受到遮光的狀態之情況下，一邊使指標部55朝+θY方向旋轉一邊檢測第4感測器64的輸出，而且於第4感測器64從遮光切換為受光後立即使指標部55的旋轉停止。在該情況下，也可以使遮光部55b配置於第2感測器62和第4感測器64之間。
如以上所述，依據本實施方式，因為可藉由移動限制部43切換為第1狀態和第2狀態，該第1狀態，是將移動部42限制於基準位置P1；該第2狀態，是容許移動部42從基準位置P1往第1方向D1以及與第1方向D1相反的第2方向D2當中任一方的移動而且限制移動部42往另一方移動，所以在使移動部42往第1方向D1移動後，為了回到基準位置P1往第2方向D2移動之情況下，藉由移動限制部43抑制往第2方向D2跑出。因 此，移動部42的意外跑出確實地受到抑制。
以上，雖針對實施方式進行說明，但本發明並非被限定於上述之說明，在未偏離發明主旨之範圍內可進行各種變更。例如，在上述實施方式中，是舉出使用作為感測部56之四個感測器(第1感測器61~第4感測器64)和指標部55，將旋轉體54的姿勢加以檢測的情況為例進行說明，但並非限定於此。例如，作為感測部56，亦可省略第1感測器61~第4感測器64當中的一部分，或另外追加相同的感測器。另外，亦可構成為使用旋轉編碼器等其他的感測器來檢測旋轉軸53的旋轉資訊，依照其檢測結果將旋轉軸53的旋轉加以調整。
另外，在上述實施方式，雖然舉設置依照感測部56的檢測結果而控制驅動源51的旋轉的控制部57的構造為例進行說明，但不限定於此，亦可構成為例如於用來統合控制軌道10、高架行走車20以及移載裝置40的主控制部上進行該動作。另外，上述實施方式中，亦可構成為在第1感測器61~第4感測器64當中之任一者發生檢測不良等之情況下，藉由上述主控制部使各部的動作停止，且藉由控制部57使驅動源51的動作停止。
另外，在上述實施方式，作為使移動部42移動的構造，雖然舉使用皮帶機構30的構造為例進行說明，但不限定於此，亦可使用例如齒輪機構等其他的驅動系統。

Claims (9)

  1. 一種移載裝置，具備可相對於本體部移動的移動部，且是在前述移動部從前述本體部突出的狀態下將物品進行移載，該移載裝置具備可以切換為第1狀態和第2狀態的移動限制部，該第1狀態，是將前述移動部限制於基準位置；該第2狀態，是容許前述移動部從前述基準位置往第1方向以及與前述第1方向相反的第2方向當中任一方移動而且限制前述移動部往前述第1方向以及前述第2方向當中另一方移動。
  2. 如申請專利範圍第1項之移載裝置，其中，前述移動限制部，是形成為除了前述第1狀態以及前述第2狀態以外還可以切換為第3狀態，該第3狀態是容許前述移動部往前述第1方向以及前述第2方向的移動僅在既定範圍。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項之移載裝置，其中，前述移動限制部具備旋轉體，且藉由前述旋轉體的旋轉位置至少切換為前述第1狀態和前述第2狀態，該旋轉體具有：在設於前述移動部之卡合部的移動方向上抵接於前述卡合部的制動部。
  4. 如申請專利範圍第3項之移載裝置，其中，前述旋轉體是在前述制動部的外側具備外側制動部，該外側制動部容許前述卡合部的移動僅在既定範圍。
  5. 如申請專利範圍第3項之移載裝置，其中，前述 移動限制部係具備：指標部，是伴隨前述旋轉體的旋轉而旋轉；感測部，是用來檢測前述指標部；以及控制部，是根據來自前述感測部的檢測結果而控制前述旋轉體的旋轉位置。
  6. 如申請專利範圍第5項之移載裝置，其中，前述感測部，是沿著前述指標部的旋轉方向配置複數個，前述控制部，是根據來自前述複數個感測部的檢測結果而控制前述旋轉體的旋轉位置。
  7. 如申請專利範圍第1項或第2項之移載裝置，其中，前述本體部是連結於高架行走車，前述移動部係具備：可以保持物品的夾持器、以及使前述夾持器升降的升降驅動部。
  8. 如申請專利範圍第7項之移載裝置，其中，前述第1方向以及前述第2方向，是水平方向當中與前述高架行走車的行走方向交叉的方向。
  9. 一種移載裝置之控制方法，該移載裝置，具備可相對於本體部移動的移動部，且是在前述移動部從前述本體部突出的狀態下將物品進行移載，該控制方法包含藉由移動限制部切換為第1狀態和第2狀態，該第1狀態，是將前述移動部限制於基準位置；該第2狀態，是容許前述移動部從前述基準位置往第1方向以及與前述第1方向相反的第2方向當中任一方移動而且限制前述移動部往前述第1方向以及前述第2方向當中另一方移動。
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