CN111834269A - 搬运系统 - Google Patents
搬运系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111834269A CN111834269A CN202010310506.8A CN202010310506A CN111834269A CN 111834269 A CN111834269 A CN 111834269A CN 202010310506 A CN202010310506 A CN 202010310506A CN 111834269 A CN111834269 A CN 111834269A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- workpiece
- storage
- unit
- control signal
- storage unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G35/00—Mechanical conveyors not otherwise provided for
- B65G35/06—Mechanical conveyors not otherwise provided for comprising a load-carrier moving along a path, e.g. a closed path, and adapted to be engaged by any one of a series of traction elements spaced along the path
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G37/00—Combinations of mechanical conveyors of the same kind, or of different kinds, of interest apart from their application in particular machines or use in particular manufacturing processes
- B65G37/02—Flow-sheets for conveyor combinations in warehouses, magazines or workshops
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67092—Apparatus for mechanical treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67727—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using a general scheme of a conveying path within a factory
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67733—Overhead conveying
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/0464—Storage devices mechanical with access from above
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
- B65G2201/0297—Wafer cassette
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Dicing (AREA)
- Centrifugal Separators (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
提供搬运系统,其构建容易。搬运系统对多个加工装置分别搬运被加工物,其包含:搬运通路,其在多个加工装置的整个范围内设置于加工装置的正上方的空间;无人搬运车,其在搬运通路上行驶,具有收纳部、行驶部、行驶机构、升降机构以及接收机(其接收控制信号),其中,收纳部具有对被加工物进行收纳的收纳空间,行驶部具有对收纳部进行储存的储存空间,行驶机构设置于行驶部,升降机构配置于行驶部,从上方悬吊收纳部而使其升降,接收机接收控制信号;贮存单元,其具有在从收纳有被加工物的被加工物贮存器向无人搬运车的收纳部交接被加工物时对收纳部进行保持的收纳部保持台以及接收控制信号的接收机。
Description
技术领域
本发明涉及搬运系统,其对加工装置搬运被加工物。
背景技术
在组装于电子设备等的器件芯片的制造工序中,通过各种加工装置对半导体晶片或树脂封装基板为代表的板状的被加工物进行加工。在对该加工装置搬运被加工物时,通常使用能够收纳多个被加工物的搬运用的盒。
但是,在将多个被加工物收纳在盒中而一次搬运至加工装置的上述方法中,当由于某些原因而使加工装置停止时,会使收纳在盒中的未加工的被加工物一律待机。即,也无法利用其他加工装置对未加工的被加工物进行加工,因此加工的效率大幅降低。
要想克服该问题,例如只要根据加工装置的运转状况而将被加工物一张一张地搬运至加工装置即可。因此,提出了如下的搬运系统:通过搬运用的路径来连接多个加工装置,从而能够在任意的时机对各加工装置搬运被加工物(例如参照专利文献1)。
专利文献1:日本特开平6-177244号公报
但是,在各加工装置的侧面设置有连接配管的配管连接部或维护用的门等,在构建上述的搬运系统时,需要按照不与它们发生干涉的方式设计搬运用的路径。因此,搬运系统的构建未必容易,并且搬运用的路径也容易变长。
发明内容
本发明是鉴于该问题点而完成的,其目的在于提供搬运系统,其能够对多个加工装置分别搬运被加工物,并且容易构建。
根据本发明的一个方式,提供搬运系统,其对多个加工装置分别搬运被加工物,其中,该搬运系统包含:搬运通路,其在多个该加工装置的整个范围内设置于该加工装置的正上方的空间;无人搬运车,其在该搬运通路上行驶,具有收纳部、行驶部、行驶机构、升降机构以及接收机,其中,该收纳部具有对该被加工物进行收纳的收纳空间,该行驶部具有对该收纳部进行储存的储存空间,该行驶机构设置于该行驶部,该升降机构配设于该行驶部,从上方悬吊该收纳部而使该收纳部升降,该无人搬运车的该接收机接收控制信号;
贮存单元,其具有收纳部保持台和接收机,其中,该收纳部保持台在从收纳有该被加工物的被加工物贮存器向该无人搬运车的该收纳部交接该被加工物时对该收纳部进行保持,该贮存单元的该接收机接收控制信号;以及
控制单元,其具有发送机、接收机以及控制信号生成部,其中,该发送机对该加工装置、该无人搬运车以及该贮存单元发送控制信号,该控制单元的该接收机接收从该加工装置发送的通知信号,该控制信号生成部生成从该发送机发送的控制信号,该控制单元的该控制信号生成部根据该控制单元的该接收机所接收的通知信号而生成从该控制单元的该发送机发送的控制信号,该控制单元的该发送机将该控制单元的该控制信号生成部所生成的控制信号发送至该加工装置、该无人搬运车以及该贮存单元,该无人搬运车根据该无人搬运车的该接收机所接收的控制信号,在将该收纳部储存于该储存空间的状态下在该搬运通路上行驶,当在该搬运通路的相当于该加工装置的上方的第1停车区域或该搬运通路的相当于该贮存单元的上方的第2停车区域停车时,使该收纳部升降而在该第1停车区域与该加工装置的内部之间或在该第2停车区域与该贮存单元的该收纳部保持台之间搬运该收纳部。
在该搬运系统中,优选该搬运通路设置于该加工装置的上表面。
本发明的一个方式的搬运系统包含:搬运通路,其在多个加工装置的整个范围内设置;无人搬运车,其在搬运通路上行驶,具有收纳部、行驶部、行驶机构、升降机构以及接收机,其中,该收纳部具有对被加工物进行收纳的收纳空间,该行驶部具有对收纳部进行储存的储存空间,该行驶机构设置于行驶部,该升降机构配置于行驶部,从上方悬吊收纳部而使其升降,该无人搬运车的该接收机接收控制信号;以及贮存单元,其具有在从收纳有被加工物的被加工物贮存器向无人搬运车的收纳部交接被加工物时对收纳部进行保持的收纳部保持台以及接收控制信号的接收机。
因此,无人搬运车能够在将收纳部储存于储存空间的状态下在搬运通路上行驶。另外,无人搬运车在搬运通路的相当于加工装置的上方的第1停车区域或搬运通路的相当于贮存单元的上方的第2停车区域停车而使收纳部升降,从而能够在第1停车区域与加工装置的内部之间或在第2停车区域与贮存单元的收纳部保持台之间搬运收纳部。
另外,在本发明的一个方式的搬运系统中,搬运通路设置于加工装置的正上方的空间。因此,在设计该搬运通路时无需考虑各加工装置的侧面的构造。即,搬运系统的构建变得容易。
附图说明
图1是示出实施方式1的搬运系统的结构例的俯视图。
图2是示出实施方式1的搬运系统的连接关系的例子的功能框图。
图3是示意性示出实施方式1的贮存单元的结构例的侧视图。
图4的(A)是示出实施方式1的无人被加工物搬运车的结构例的立体图,图4的(B)是示出使无人被加工物搬运车的收纳部升降的情形的立体图。
图5是示出实施方式1的切削装置及搬运通路等的外观的立体图。
图6是示出切削装置的结构例的立体图。
图7是示出向切削装置设置搬运通路的情形的立体图。
图8的(A)、图8的(B)以及图8的(C)是示出通路模块的结构例的俯视图。
图9是示出由通路模块形成搬运通路的情形的立体图。
图10的(A)和图10的(B)是示出连结通路模块的情形的剖视图。
图11是示出通路模块的结构例的仰视图。
图12的(A)是从Y轴方向观察使无人被加工物搬运车移动至开口的正上方时的情形的局部剖视侧视图,图12的(B)是从Y轴方向观察使收纳部下降时的情形的局部剖视侧视图。
图13的(A)是从X轴方向观察图12的(A)所示的状态的局部剖视侧视图,图13的(B)是从X轴方向观察图12的(B)所示的状态的局部剖视侧视图。
图14是用于对实施方式1的搬运系统的控制方法的例子进行说明的功能框图。
图15是示出实施方式2的无人被加工物搬运车的结构例的立体图。
图16的(A)是从Z轴方向观察使无人被加工物搬运车移动至开口的正上方时的情形的俯视图,图16的(B)是从Z轴方向观察使收纳部下降时的情形的俯视图。
图17的(A)是从X轴方向观察图16的(A)所示的状态的局部剖视侧视图,图17的(B)是从X轴方向观察图16的(B)所示的状态的局部剖视侧视图。
图18是示出实施方式3的贮存单元的结构例的侧视图。
图19是示意性示出实施方式3的贮存单元的内部的构造的俯视图。
图20是示意性示出使实施方式3的贮存单元的第1暂放台和第2暂放台在第2方向上移动而调换第1暂放台的位置和第2暂放台的位置的情形的侧视图。
图21的(A)和图21的(B)是示意性示出实施方式3的贮存单元的动作的例子的俯视图。
图22的(A)和图22的(B)是示意性示出实施方式3的贮存单元的动作的例子的俯视图。
标号说明
2:搬运系统;4:切削装置(加工装置);4a:切削装置(加工装置);4b:切削装置(加工装置);6:搬运通路;6a:通路模块;6b:通路模块;6c:通路模块;8:贮存单元;10:无人被加工物搬运车(无人搬运车);10a:无人被加工物搬运车(无人搬运车);10b:无人被加工物搬运车(无人搬运车);10c:无人被加工物搬运车(无人搬运车);12:控制单元;16:壳体;16a:顶棚;16b:开口;18:盒保持台;20:盒(被加工物贮存器);22:推挽臂;24:导轨;26:收纳部保持台;32:控制装置;34:接收机;36:发送机;37:底座;37a:下表面;37b:凹部;37c:空间(储存空间);37d:开口;37e:侧面;37f:上表面;38:收纳部;38a:空间(收纳空间);38b:侧面;38c:开口;38d:上表面;39:车轮(行驶机构);40:升降机构;40a:线;40b:绞盘;42:控制装置;44:接收机;46:发送机;50:收纳部保持台;92:罩;92a:顶棚;92b:开口;92c:门;96:控制装置;98:接收机;100:发送机;102:通路部;102a:螺纹孔;102b:信息提供部;104:引导部;106:待机部;106a:开口;106b:通路;132:控制部;134:接收机;136:发送机;138:读取机;210:无人被加工物搬运车;239:车轮;240:副车轮;11:被加工物;13:带(划片带);15:框架;21:配管。
具体实施方式
参照附图,对本发明的实施方式进行说明。另外,在以下的各实施方式中,对向多个切削装置搬运被加工物等的搬运系统进行说明,但本发明的搬运系统只要构成为能够对多个加工装置搬运被加工物等即可。即,被加工物等的搬运目的地可以是切削装置以外的加工装置。
例如,本发明的搬运系统有时构成为能够对多个激光加工装置搬运被加工物。另外,本发明的搬运系统例如有时还构成为能够对在一系列的加工中所使用的多种加工装置依次搬运被加工物。另外,在本说明书中,将能够在用于对被加工物进行加工的一系列的工序中使用的所有装置表达为加工装置。即,本发明的加工装置包含未必以被加工物的加工为目的的带粘贴装置、紫外线照射装置、清洗装置等。
(实施方式1)
图1是示出本实施方式的搬运系统2的结构例的俯视图,图2是示出搬运系统2的连接关系的例子的功能框图。如图1所示,本实施方式的搬运系统2包含用于对由切削装置(加工装置)4加工的板状的被加工物11(参照图4的(A)、图4的(B)等)进行搬运的搬运通路6。
被加工物11例如是由硅等半导体材料形成的圆盘状的晶片。该被加工物11的正面侧由相互交叉的多条分割预定线(间隔道)划分成多个小区域,在各小区域中形成有IC(Integrated Circuit:集成电路)、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems:微机电系统)等器件。
在被加工物11的背面侧粘贴有直径比被加工物11大的带(划片带)13。带13的外周部分固定于围绕被加工物11的环状的框架15上。被加工物11在借助该带13而支承于框架15的状态下被搬运至切削装置4。
另外,在本实施方式中,将由硅等半导体材料形成的圆盘状的晶片作为被加工物11,但对于被加工物11的材质、形状、构造、大小等没有限制。例如,也可以使用由其他半导体、陶瓷、树脂、金属等材料形成的基板等作为被加工物11。
同样,对于器件的种类、数量、形状、构造、大小、配置等也没有限制。也可以不在被加工物11上形成器件。另外,在本实施方式中,将借助带13而支承于框架15的状态的被加工物11作为搬运的对象,但有时未粘贴带13的被加工物11、未支承于框架15的被加工物11等也作为搬运的对象。
另外,对该被加工物11进行加工的切削装置4作为被加工物11的搬运目的地而与搬运系统2连接,但未必是搬运系统2的构成要素。由此,切削装置4可以如上述那样根据搬运系统2的使用方式而进行变更、省略。
并且,在图1中,为了便于说明,仅示出一台切削装置4a,在图2中,示出两台切削装置4a、4b,但在本实施方式中,作为被加工物11的搬运目的地,需要两台以上的切削装置4。即,与搬运系统2连接的加工装置的台数为两台以上。
搬运通路6按照能够对各切削装置4搬运被加工物11的方式设置于多个切削装置4。即,多个切削装置4经由搬运通路6而相互连结。另外,搬运通路6设置于切削装置4的正上方的空间。因此,搬运通路6不会与连接于各切削装置4的侧面的配管21等发生干涉。
在搬运通路6的下方,除了切削装置4以外,还设置有能够对多个被加工物11进行收纳的贮存单元8。收纳于贮存单元8的被加工物11在任意的时机被搬入至无人被加工物搬运车(无人搬运车)10。无人被加工物搬运车10在搬运通路6上行驶而将被加工物11搬运至各切削装置4。另外,在图1中,示出了三台无人被加工物搬运车10a、10b、10c,在图2中,示出了两台无人被加工物搬运车10a、10b,但对于无人被加工物搬运车10的台数没有限制。
如图2所示,切削装置4、贮存单元8、无人被加工物搬运车10以无线的方式与对它们的动作进行控制的控制单元12连接。其中,控制单元12只要构成为能够对切削装置4、贮存单元8、无人被加工物搬运车10的动作进行控制即可,有时也以有线的方式与它们连接。
图3是示意性示出贮存单元8的结构例的侧视图。如图3所示,贮存单元8包含对各种构成要素进行收纳的壳体16。另外,在该图3中,为了便于说明,仅示出壳体16的轮廓。
在壳体16内例如设置有通过滚珠丝杠式的第1升降机构(未图示)进行升降的盒保持台18。在盒保持台18的上表面上载置有能够收纳多个被加工物11的盒(被加工物贮存器)20。另外,该盒20对如上述那样借助带13而支承于框架15的状态的被加工物11进行收纳。
在盒保持台18的侧方配置有推挽臂22,该推挽臂22能够把持着框架15而进行移动。例如若利用第1升降机构使收纳于盒20的框架15的高度与推挽臂22的高度一致而通过该推挽臂22对盒20内的框架15进行把持,则将框架15向盒20的外部拉出。
在隔着推挽臂22的位置设置有一边维持相互平行的状态一边接近、远离的一对导轨24。各导轨24具有从下方对框架15进行支承的支承面和与支承面大致垂直的侧面,各导轨24将通过推挽臂22从盒20中拉出的框架15夹入而使其对位在规定的位置。
在推挽臂22和一对导轨24的另一侧方例如设置有通过滚珠丝杠式的第2升降机构(未图示)进行升降的收纳部保持台26。在该收纳部保持台26的上表面上载置有能够对被加工物11(框架15)进行收纳的无人被加工物搬运车10的收纳部38(参照图4的(A)、图4的(B)等)。
被一对导轨24对位在规定的位置的框架15再次被推挽臂22把持,从侧方插入至通过第2升降机构调整了高度的收纳部保持台26上的收纳部38中。另外,在收纳部保持台26的上表面上设置有对收纳部38的位置进行限定的位置限定部(未图示)。由此,在将被加工物11从收纳有被加工物11的盒20交接至无人被加工物搬运车10的收纳部38时,收纳部38定位于由收纳部保持台26上的位置限定部所确定的规定的位置。
在收纳部保持台26的正上方的区域设置有将壳体16的顶棚16a上下贯通的开口16b。该开口16b形成为至少能够供载置于收纳部保持台26的无人被加工物搬运车10的收纳部38通过的形状、大小。收纳部38通过该开口16b而从壳体16的外部搬运至内部或者通过该开口16b而从壳体16的内部搬运至外部。
第1升降机构、推挽臂22、一对导轨24、第2升降机构等构成要素与用于对贮存单元8的动作进行控制的控制装置32连接。控制装置32典型地由包含CPU(Central ProcessingUnit,中央处理器)等处理装置和闪存等存储装置的计算机构成。按照存储于存储装置的软件使处理装置等进行动作,从而实现控制装置32的功能。
在控制装置32上还连接有接收机34和发送机36,该接收机34接收从搬运系统2的控制单元12发送的控制用的信号(控制信号),该发送机36对控制单元12发送通知用的信号(通知信号)。控制装置32根据接收机34所接收的信号对贮存单元8的动作进行控制。另外,控制装置32通过发送机36将所需的信号发送至控制单元12。
图4的(A)是示出无人被加工物搬运车10的结构例的立体图,图4的(B)是示出使无人被加工物搬运车10的收纳部38升降的情形的立体图。如图4的(A)和图4的(B)所示,无人被加工物搬运车10例如包含长方体状的底座(行驶部)37。在底座37上设置有在其下表面37a(参照图13的(A)等)开口的凹部37b(参照图13的(A)等)。
在凹部37b的内侧的空间(储存空间)37c例如储存有构成为能够对一张被加工物11(和框架15)进行收纳的长方体状的收纳部38。凹部37b的开口37d形成为能够供该收纳部38通过的大小。
在收纳部38的内部形成有用于收纳被加工物11(和框架15)的空间(收纳空间)38a。在收纳部38的一对侧面38b上分别设置有能够供被加工物11(和框架15)通过的大小的开口38c,收纳部38的空间38a经由该开口38c而与外部连接。由此,被加工物11(和框架15)通过开口38c而搬入至收纳部38的空间38a,并且通过开口38c而从收纳部38的空间38a搬出。
在底座37的相互平行的一对侧面37e上分别设置有具有相对于该侧面37e大致垂直的旋转轴的两个车轮(行驶机构)39。即,无人被加工物搬运车10具有共计四个车轮39。各车轮39与电动机等旋转驱动源连结而进行旋转。
通过旋转驱动源使该车轮39旋转,从而使无人被加工物搬运车10(底座37)在搬运通路6上行驶。另外,作为车轮39,可以使用将倾斜的桶状(筒状)的多个旋转体安装于与搬运通路6接触的外周面的所谓的麦克纳姆轮(Mecanum wheel)等。在该情况下,仅通过调整各车轮39的旋转量,就能够使无人被加工物搬运车10向任意的方向移动。
底座37和收纳部38经由配置于凹部37b的内侧的空间37c的多个(在本实施方式中为四个)升降机构40而相互连结。各升降机构40包含线40a和用于卷取线40a的绞盘40b(参照图13的(A)等),能够从上方悬吊收纳部38而使其升降。
具体而言,绞盘40b例如固定于相当于凹部37b的底的上表面37f,与线40a的基端部连接。线40a的前端部与收纳部38的上表面38d连接。因此,若按照拉出线40a的方式使绞盘40b进行动作,则如图4的(B)所示,能够使收纳部38下降而从空间37c搬出。另外,若按照卷取该线40a的方式使绞盘40b进行动作,则能够使收纳部38上升而储存于空间37c。
在底座37的内部设置有对无人被加工物搬运车10的动作进行控制的控制装置42。控制装置42典型地由包含CPU等处理装置和闪存等存储装置的计算机构成。按照存储于存储装置的软件使处理装置等进行动作,从而实现控制装置42的功能。
在该控制装置42上连接有接收机44和发送机46,该接收机44接收从搬运系统2的控制单元12发送的控制用的信号(控制信号),该发送机46对控制单元12发送通知用的信号(通知信号)。控制装置42根据接收机44所接收的信号,对无人被加工物搬运车10的动作进行控制。另外,控制装置42通过发送机46将所需的信号发送至控制单元12。
上述的旋转驱动源、升降机构40(绞盘40b)、控制装置42、接收机44、发送机46等构成要素例如与二次电池连接,通过从该二次电池提供的电力,无人被加工物搬运车10的各构成要素进行动作。向二次电池的供电(充电)优选以非接触(无线、无接点)方式进行,但也可以以接触方式进行。
图5是示出切削装置4及搬运通路6等的外观的立体图,图6是示出切削装置4的结构例的立体图。如图5和图6所示,切削装置4具有对各构成要素进行支承的基台48。在基台48的角部形成有开口48a,在该开口48a设置有通过升降机构(未图示)进行升降的收纳部保持台50。
在该收纳部保持台50的上表面上载置有上述的无人被加工物搬运车10的收纳部38。另外,在收纳部保持台50的上表面上设置有对收纳部38的位置进行限定的位置限定部(未图示),收纳部保持台50上的收纳部38定位于通过位置限定部确定的规定的位置。
如图6所示,在开口48a的侧方形成有在X轴方向(前后方向、加工进给方向)上较长的开口48b。在开口48b内配置有滚珠丝杠式的X轴移动机构(加工进给单元)52以及覆盖X轴移动机构52的上部的防尘防滴罩54。X轴移动机构52具有X轴移动工作台52a,该X轴移动机构52使该X轴移动工作台52a在X轴方向上移动。
在X轴移动工作台52a上设置有对被加工物11进行吸引、保持的卡盘工作台(保持工作台)56。卡盘工作台56与电动机等旋转驱动源(未图示)连结,绕与Z轴方向(铅垂方向、切入进给方向)大致平行的旋转轴旋转。另外,卡盘工作台56通过上述的X轴移动机构52在X轴方向上移动(加工进给)。
卡盘工作台56的上表面为用于对被加工物11进行保持的保持面56a。保持面56a经由形成于卡盘工作台56的内部的吸引路(未图示)等而与吸引源(未图示)连接。另外,在卡盘工作台56的周围设置有用于从四周对支承被加工物11的框架15进行固定的四个夹具58。
在开口48b的上方设置有一边维持与Y轴方向(左右方向、分度进给方向)平行的状态一边接近、远离的一对导轨(暂放区域)60。一对导轨60分别具有从下方对框架15进行支承的支承面和与支承面大致垂直的侧面,一对导轨60在X轴方向上夹入从收纳部38中拉出的框架15而使其对位在规定的位置。
在基台48的上方按照跨越开口48b的方式配置有门型的第1支承构造62。在第1支承构造62的前表面(导轨60侧的面)上固定有沿着Y轴方向的第1轨道64,该第1轨道64借助第1移动机构66等而与第1保持单元68连结。
第1保持单元68例如与框架15的上表面接触而对该框架15进行吸附、保持,该第1保持单元68通过第1移动机构66进行升降,并且沿着第1轨道64在Y轴方向上移动。在第1保持单元68的开口48a侧设置有用于对框架15进行把持的把持机构68a。
例如如果利用把持机构68a对框架15进行把持而使第1保持单元68在Y轴方向上移动,则能够将收纳部38内的框架15拉出到一对导轨60上或者将一对导轨60上的框架15插入至收纳部38中。另外,在利用一对导轨60对框架15进行对位之后,通过第1保持单元68对该框架15(被加工物11)进行吸附、保持而搬入至卡盘工作台56。
另外,在第1支承构造62的前表面上,在第1轨道64的上方固定有沿着Y轴方向的第2轨道70。该第2轨道70借助第2移动机构72等而与第2保持单元74连结。第2保持单元74例如与框架15的上表面接触而对该框架15进行吸附、保持,该第2保持单元74通过第2移动机构72进行升降,并且沿着第2轨道70在Y轴方向上移动。
在第1支承构造62的后方配置有门型的第2支承构造76。在第2支承构造76的前表面(第1支承构造62侧的面)上分别借助Y轴Z轴移动机构(分度进给单元、切入进给单元)78而设置有两组切削单元(加工单元)80。各切削单元80通过对应的Y轴Z轴移动机构78在Y轴方向上移动(分度进给),并且在Z轴方向上移动(切入进给)。
各切削单元80具有作为与Y轴方向大致平行的旋转轴的主轴(未图示)。在各主轴的一端侧安装有圆环状的切削刀具82。在各主轴的另一端侧连结有电动机等旋转驱动源(未图示)。另外,在切削刀具82的旁边配置有用于对被加工物11和切削刀具82提供纯水等切削液的喷嘴。
一边从该喷嘴提供切削液一边使旋转的切削刀具82切入至卡盘工作台56所保持的被加工物11,从而能够对被加工物11进行切削。在与切削单元80相邻的位置设置有用于对卡盘工作台56所保持的被加工物11等进行拍摄的拍摄单元(相机)84。该拍摄单元84也通过Y轴Z轴移动机构78在Y轴方向上移动,并且在Z轴方向上移动。
在相对于开口48b处于与开口48a相反的一侧的位置配置有清洗单元86。清洗单元86在筒状的清洗空间内具有对被加工物11进行吸引、保持的旋转工作台88。在旋转工作台88的下部连结有使旋转工作台88按照规定的速度旋转的旋转驱动源(未图示)。
在旋转工作台88的上方配置有朝向旋转工作台88所保持的被加工物11喷射清洗用的流体(具有代表性的是将水和空气混合后的混合流体)的喷射喷嘴90。通过使保持着被加工物11的旋转工作台88进行旋转,并从喷射喷嘴90喷射清洗用的流体,能够对被加工物11进行清洗。
在利用切削单元80对被加工物11进行了切削之后,例如利用第2保持单元74对框架15进行吸附、保持而搬入至清洗单元86。在利用清洗单元86对被加工物11进行了清洗之后,例如利用第1保持单元68对框架15进行吸附、保持而载置于一对导轨60上,然后利用把持机构68a对该框架15进行把持而收纳于收纳部38中。
如图5所示,基台48的上表面侧被罩92覆盖,上述的各构成要素被收纳于罩92的内侧。在开口48a的正上方的区域设置有将罩92的顶棚92a上下贯通的开口92b(参照图7)。无人被加工物搬运车10的收纳部38通过该开口92b而从罩92的外部搬运至内部,或者通过该开口92b而从罩92的内部搬运至外部。对于开口92b的形状、大小没有特别限制,但该开口92b需要构成为至少能够供收纳部38通过。
上述的切削装置4的各构成要素与控制装置96连接(图5)。控制装置96典型地由包含CPU等处理装置和闪存等存储装置的计算机构成。按照存储于存储装置的软件使处理装置等进行动作,从而实现控制装置96的功能。
在控制装置96上还连接有接收机98和发送机100,该接收机98接收从搬运系统2的控制单元12发送的控制用的信号(控制信号),该发送机100对控制单元12发送通知用的信号(通知信号)。控制装置96例如根据接收机98所接收的信号等,对上述的切削装置4的各构成要素进行控制。
在基台48的侧壁上设置有连接各种配管21的配管连接部48c(图5)。另外,在罩92的侧壁上设置有在维护等时进行开闭的门92c(图5)。另外,在罩92的侧壁上可以设置操作面板(未图示)或显示器(未图示)等。
图7是示出向切削装置4设置搬运系统2的搬运通路6的情形的立体图。如图7等所示,本实施方式的搬运系统2的搬运通路6安装于切削装置4所具有的罩92的顶棚92a的上表面侧。即,搬运通路6设置于切削装置4的正上方的空间。
由此,搬运通路6不会与设置于切削装置4的侧面的配管连接部48c及门92c等构造发生干涉。即,在设计搬运通路6时,无需考虑切削装置4的侧面的构造。因此,搬运系统2的构建变得容易。
图8的(A)是示出在搬运通路6中所使用的通路模块6a的结构例的俯视图,图8的(B)是示出通路模块6b的结构例的俯视图,图8的(C)是示出通路模块6c的结构例的俯视图。搬运通路6例如是将图8的(A)、图8的(B)以及图8的(C)所示的多个通路模块6a、6b、6c组合起来而构成的。
各通路模块6a、6b、6c分别包含:通路部102,其具有适合无人被加工物搬运车10行驶的平坦性高的上表面;以及引导部104,其设置于通路部102的宽度方向的端部,沿着该通路部102。引导部104的上端的距离通路部102的高度例如比无人被加工物搬运车10的车轮39的高度高。由此,能够防止在通路部102行驶的无人被加工物搬运车10从通路部102脱落。
图8的(A)的通路模块6a还具有用于供无人被加工物搬运车10待机的待机部106,待机部106例如设置于切削装置4或贮存单元8等的正上方。可以在该待机部106设置有能够供收纳部38通过的大小的开口106a。在适当地设置有通路模块6a的状态下,开口106a定位于切削装置4的开口92b或贮存单元8的开口16b的正上方。
另一方面,图8的(B)的通路模块6b形成为直线状,图8的(C)的通路模块6c形成为适合拐角的直角状。通路模块6b、6c例如是为了将相邻的两个通路模块6a之间连接起来而使用的。
其中,对于构成搬运通路6的通路模块的种类、数量、配置(连接的关系)等没有限制。例如还可以利用其他的通路模块6a将两个通路模块6a之间连接起来。另外,例如也可以代替直角状的通路模块6c而使用圆弧状(曲线状)的通路模块。可以在通路模块6a的待机部106等设置有向无人被加工物搬运车10的二次电池供电的供电设备(充电器)。
图9是示出由通路模块6a和通路模块6b形成搬运通路6的情形的立体图。图10的(A)和图10的(B)是示出连结通路模块6a和通路模块6b的情形的剖视图。另外,图11是示出通路模块6b的结构例的仰视图。
如图9所示,在通路部102的下表面的长度方向的端部(沿着搬运通路6的方向的端部)设置有剖面为L字状的一对角铁(支架)108。各角铁108具有大致水平的支承面108a和与支承面108a大致垂直的侧面108b,各角铁108按照各角铁108的长度方向沿着搬运通路6的方式固定于通路部102的下表面。
在连结通路模块6a和通路模块6b时,首先如图10的(A)所示,使构成通路模块6a的通路部102的长度方向的端部与构成通路模块6b的通路部102的长度方向的端部充分靠近。然后,如图10的(B)所示,将连结件110插入到设置于构成通路模块6a的通路部102的角铁108和设置于构成通路模块6b的通路部102的角铁108中。
连结件110例如包含:杆部110a,其比将通路模块6a的角铁108的长度和通路模块6b的角铁108的长度加起来的长度长;以及环部110b,其设置于杆部110a的两端,在中央具有开口。向角铁108插入该连结件110的杆部110a。
在向角铁108插入了杆部110a之后,使螺栓112通过环部110b的开口而拧入到通路部102的下表面侧的螺栓孔(未图示)中。由此,能够借助连结件110来连结通路模块6a和通路模块6b。另外,通路模块6c也利用同样的步骤与其他通路模块(通路模块6a或通路模块6b等)连结。
通路模块6a、6b、6c相对于切削装置4的安装例如借助图9、图11等所示的脚部件114来进行。脚部件114包含:板状的基部114a;柱状的柱部114b,其从基部114a的一侧的面的中央附近突出;以及吸盘状的吸附部114c(图11),其安装于柱部114b的前端。
在基部114a的不与柱部114b重叠的区域形成有在厚度方向上贯通该基部114a的四个开口114d。另外,在构成通路模块6a、6b、6c的通路部102的下表面上形成有与各开口114d对应的螺栓孔102a(图11)。
因此,只要使基部114a的另一侧的面与通路部102的下表面接触并使螺栓116通过开口114d而拧入到螺栓孔102a中,便能够将脚部件114固定于通路模块6a、6b、6c。另外,对于开口114d和螺栓孔102a的数量、配置等没有限制。
如图11所示,在本实施方式的通路模块6b中,在通路部102的下表面的多个区域分别形成有与基部114a的四个开口114d对应的四个螺栓孔102a,能够将脚部件114安装于任意的区域。关于其他的通路模块6a、6c也是同样的。
即,将脚部件114安装于从通路部102的下表面的多个区域中选择的任意区域。另外,优选在各通路模块6a、6b、6c中安装多个脚部件114。由此,容易使搬运通路6相对于切削装置4的位置稳定化。
在将通路模块6a、6b、6c安装于切削装置4时,例如进行通路模块6a、6b、6c相对于切削装置4的罩92的对位,如图7所示,将脚部件114的吸附部114c按压至罩92的顶棚92a的上表面。由此,能够使吸附部114c吸附于罩92的顶棚92a的上表面而将任意的通路模块6a、6b、6c安装于罩92。即,任意的通路模块6a、6b、6c借助脚部件114而安装于切削装置4的罩92。
另外,可以不必将所有的通路模块6a、6b、6c安装于切削装置4。例如,有时位于两台切削装置4之间的通路模块仅借助连结件110而支承于相邻的通路模块。另外,如图1所示,在安装于切削装置4或贮存单元8等的通路模块的通路部102上设置有以二维码为代表的识别码或无线标签等信息提供部102b。通过该信息提供部102b提供的信息例如用于确认无人被加工物搬运车10的位置等。
接着,对在搬运通路6的相当于切削装置4的上方的第1停车区域与切削装置4的收纳部保持台50之间搬运无人被加工物搬运车10的收纳部38时的动作进行详细说明。图12的(A)是从Y轴方向观察使无人被加工物搬运车10移动至开口106a的正上方时的情形的局部剖视侧视图,图12的(B)是从Y轴方向观察使收纳部38下降时的情形的局部剖视侧视图。
另外,图13的(A)是从X轴方向观察图12的(A)所示的状态的局部剖视侧视图,图13的(B)是从X轴方向观察图12的(B)所示的状态的局部剖视侧视图。在从搬运通路6的相当于切削装置4的上方的第1停车区域向切削装置4的收纳部保持台50搬运收纳部38时,如图12的(A)和图13的(A)所示,首先将无人被加工物搬运车10定位于开口106a的侧方。
接着,使车轮39旋转而使无人被加工物搬运车10移动至开口106a的上方。具体而言,例如使四个车轮39的旋转轴的朝向相对于无人被加工物搬运车10的移动方向(在本实施方式中为X轴方向)垂直地对齐,然后按照利用这四个车轮39跨越开口106a的方式使无人被加工物搬运车10移动,将凹部37b(空间37c)定位于开口106a的正上方。
如图12的(B)和图13的(B)所示,在使无人被加工物搬运车10停车在凹部37b定位于开口106a的正上方的第1停车位置的状态下,使升降机构40的绞盘40b进行动作而将线40a拉出。由此,能够按照通过开口106a和开口92b的方式使收纳部38下降而将收纳部38载置于收纳部保持台50。
在将收纳部38载置于收纳部保持台50之后,将被加工物11(框架15)从收纳部38搬出。另外,在完成被加工物11的切削之后,将被加工物11(框架15)搬入至收纳部38。
在从切削装置4的收纳部保持台50向搬运通路6的相当于切削装置4的上方的第1停车区域搬运收纳部38时,首先使升降机构40的绞盘40b进行动作而将线40a卷取。由此,能够按照通过开口92b和开口106a的方式使收纳部38上升,将收纳部38搬出至切削装置4的罩92的外部,将该收纳部38储存于凹部37b的内侧的空间37c。
在将收纳部38储存于凹部37b的内侧的空间37c之后,使车轮39旋转而使无人被加工物搬运车10从第1停车区域移动即可。另外,这里,对在搬运通路6的相当于切削装置4的上方的第1停车区域与切削装置4的收纳部保持台50之间搬运收纳部38时的动作进行了说明,但在搬运通路6的相当于贮存单元8的上方的第2停车区域与贮存单元8的收纳部保持台26之间搬运收纳部38时的动作也相同。
接着,对本实施方式的搬运系统2的控制方法的例子进行说明。图14是用于对搬运系统2的控制方法的例子进行说明的功能框图。例如当处于需要新的被加工物11(未加工的被加工物11)的状况时,切削装置4的控制装置96生成用于通知该意思的通知信号(被加工物请求信号)。控制装置96所生成的通知信号(被加工物请求信号)从发送机100发送至控制单元12。
如图14所示,控制单元12具有生成用于进行各种控制的控制信号的控制部(控制信号生成部)132。该控制部132典型地由包含CPU等处理装置和闪存等存储装置的计算机构成。按照存储于存储装置的软件使处理装置等进行动作,从而实现控制部132的功能。
在该控制部132上连接有接收机134和发送机136,该接收机134接收从切削装置4、贮存单元8、无人被加工物搬运车10等发送的通知信号,该发送机136对切削装置4、贮存单元8、无人被加工物搬运车10等发送控制信号。
当控制单元12的接收机134接收到从切削装置4的发送机100发送的通知信号(被加工物请求信号)时,将该通知信号发送至控制部132。当控制部132确认了来自切削装置4的通知信号(被加工物请求信号)时,对无人被加工物搬运车10发出指示,以使其移动至贮存单元8的旁边并将收纳部38搬运至贮存单元8的收纳部保持台26。具体而言,控制部132生成相当于该指示的控制信号(第1搬运指示信号),并从发送机136发送至无人被加工物搬运车10。
当无人被加工物搬运车10的接收机44接收到来自控制单元12的控制信号(第1搬运指示信号)时,将该控制信号发送至控制装置42。控制装置42根据该控制信号(第1搬运指示信号),对车轮(行驶机构)39等的动作进行控制,从而使无人被加工物搬运车10沿着搬运通路6行驶。
另外,如图14所示,在无人被加工物搬运车10的控制装置42连接有用于读取设置于搬运通路6的信息提供部102b的信息的读取机138。因此,通过读取机138来读取信息提供部102b的信息,由此,控制装置42能够确认自身(无人被加工物搬运车10)的位置。
当控制装置42确认了自身(无人被加工物搬运车10)已移动至贮存单元8的旁边时,再次对车轮39等的动作进行控制而使无人被加工物搬运车10移动至能够利用多个车轮39跨越与开口16b重叠的开口106a的第2停车区域。其结果是,将储存收纳部38的空间37c定位于开口106a的正上方。
这样,在使无人被加工物搬运车10停车在第2停车区域的状态下,控制装置42使升降机构40的绞盘40b进行动作而将线40a拉出。由此,能够按照通过开口106a和开口16b的方式使收纳部38下降而将收纳部38载置于收纳部保持台26。
在将收纳部38载置于收纳部保持台26之后,控制装置42生成用于通知已完成收纳部38向贮存单元8搬运的意思的通知信号(第1搬运完成信号)。将控制装置42所生成的通知信号(第1搬运完成信号)从发送机46发送至控制单元12。
当控制单元12的接收机134接收到从无人被加工物搬运车10的发送机46发送的通知信号(第1搬运完成信号)时,将该通知信号发送至控制部132。当控制部132确认了来自无人被加工物搬运车10的通知信号(第1搬运完成信号)时,对贮存单元8发出指示,以使其将新的被加工物11搬入至收纳部保持台26上的收纳部38。具体而言,控制部132生成相当于该指示的控制信号(第1搬入指示信号),并从发送机136发送至贮存单元8。
当贮存单元8的接收机34接收到来自控制单元12的控制信号(第1搬入指示信号)时,将该控制信号发送至控制装置32。控制装置32根据该控制信号(第1搬入指示信号),对第1升降机构、推挽臂22、一对导轨24、第2升降机构等的动作进行控制,将新的被加工物11搬入至收纳部38。
当将新的被加工物11搬入至收纳部38时,控制装置32生成用于通知已完成被加工物11向收纳部38的搬入的意思的通知信号(第1搬入完成信号)。将控制装置32所生成的通知信号(第1搬入完成信号)从发送机36发送至控制单元12。
当控制单元12的接收机134接收到从贮存单元8的发送机36发送的通知信号(第1搬入完成信号)时,将该通知信号发送至控制部132。当控制部132确认了来自贮存单元8的通知信号(第1搬入完成信号)时,对无人被加工物搬运车10发出指示,以使其移动至切削装置4的旁边,将底座37搬运至切削装置4的收纳部保持台50。具体而言,控制部132生成相当于该指示的控制信号(第2搬运指示信号),并从发送机136发送至无人被加工物搬运车10。
当无人被加工物搬运车10的接收机44接收到来自控制单元12的控制信号(第2搬运指示信号)时,将该控制信号发送至控制装置42。控制装置42根据该控制信号(第2搬运指示信号)而使收纳部38上升,储存于底座37的内部的空间37c。然后,对车轮39等的动作进行控制而使无人被加工物搬运车10沿着搬运通路6行驶。
当控制装置42确认了自身(无人被加工物搬运车10)已移动至切削装置4的旁边时,再次对车轮39等的动作进行控制而使无人被加工物搬运车10移动至能够利用多个车轮39跨越与开口92b重叠的开口106a的第1停车区域。其结果是,将储存收纳部38的空间37c定位于开口106a的正上方。
这样,在使无人被加工物搬运车10停车在第1停车区域的状态下,控制装置42使升降机构40的绞盘40b进行动作而将线40a拉出。由此,能够按照通过开口106a和开口92b的方式使收纳部38下降而将收纳部38载置于收纳部保持台50。
在将收纳部38载置于收纳部保持台50之后,控制装置42生成用于通知已完成收纳部38向切削装置4的搬运的意思的通知信号(第2搬运完成信号)。将控制装置42所生成的通知信号(第2搬运完成信号)从发送机46发送至控制单元12。
当控制单元12的接收机134接收到从无人被加工物搬运车10的发送机46发送的通知信号(第2搬运完成信号)时,将该通知信号发送至控制部132。当控制部132确认了来自无人被加工物搬运车10的通知信号(第2搬运完成信号)时,对切削装置4发出指示,以使其将新的被加工物11从收纳部保持台50上的收纳部38搬出。具体而言,控制部132生成相当于该指示的控制信号(第1搬出指示信号),并从发送机136发送至切削装置4。
当切削装置4的接收机98接收到来自控制单元12的控制信号(第1搬出指示信号)时,将该控制信号发送至控制装置96。控制装置96根据该控制信号(第1搬出指示信号)而对各构成要素的动作进行控制,将新的被加工物11从收纳部38搬出。
当将新的被加工物11从收纳部38搬出时,例如控制装置96生成用于通知已完成被加工物11从收纳部38的搬出的意思的通知信号(第1搬出完成信号)。将控制装置96所生成的通知信号(第1搬出完成信号)从发送机100发送至控制单元12。
按照这样的步骤,能够对任意的切削装置4搬运收纳于贮存单元8的被加工物11。另外,这里主要对将被加工物11从贮存单元8搬运至切削装置4时的步骤进行了说明,但将被加工物11从切削装置4搬运至贮存单元8时的步骤等也是同样的。
具体而言,例如当切削装置4的控制装置96完成被加工物11的加工时,生成用于通知该意思的通知信号(加工完成信号)。将控制装置96所生成的通知信号(加工完成信号)从发送机100发送至控制单元12。当控制单元12的接收机134接收到从切削装置4的发送机100发送的通知信号(加工完成信号)时,将该通知信号发送至控制部132。
当控制部132确认了来自切削装置4的通知信号(加工完成信号)时,对无人被加工物搬运车10发出指示,以使其移动至切削装置4的旁边,将收纳部38搬运至切削装置4的收纳部保持台50。具体而言,控制部132生成相当于该指示的控制信号(第3搬运指示信号),并从发送机136发送至无人被加工物搬运车10。
当无人被加工物搬运车10的接收机44接收到来自控制单元12的控制信号(第3搬运指示信号)时,将该控制信号发送至控制装置42。控制装置42根据该控制信号(第3搬运指示信号)而对车轮(行驶机构)39等的动作进行控制,使无人被加工物搬运车10沿着搬运通路6行驶。
当控制装置42确认了自身(无人被加工物搬运车10)已移动至切削装置4的旁边时,再次对车轮39等的动作进行控制而使无人被加工物搬运车10移动至能够利用多个车轮39跨越与开口92b重叠的开口106a的第1停车区域。其结果是,将储存收纳部38的空间37c定位于开口106a的正上方。
这样,在使无人被加工物搬运车10停车在第1停车区域的状态下,控制装置42使升降机构40的绞盘40b进行动作而将线40a拉出。由此,能够按照通过开口106a和开口92b的方式使收纳部38下降而将收纳部38载置于收纳部保持台50。
在将收纳部38载置于收纳部保持台50之后,控制装置42生成用于通知已完成收纳部38向切削装置4的搬运的意思的通知信号(第3搬运完成信号)。将控制装置42所生成的通知信号(第3搬运完成信号)从发送机46发送至控制单元12。
当控制单元12的接收机134接收到从无人被加工物搬运车10的发送机46发送的通知信号(第3搬运完成信号)时,将该通知信号发送至控制部132。当控制部132确认了来自无人被加工物搬运车10的通知信号(第3搬运完成信号)时,对切削装置4发出指示,以使其将加工后的被加工物11搬入至收纳部保持台50上的收纳部38。具体而言,控制部132生成相当于该指示的控制信号(第2搬入指示信号),并从发送机136发送至切削装置4。
当切削装置4的接收机98接收到来自控制单元12的控制信号(第2搬入指示信号)时,将该控制信号发送至控制装置96。控制装置96根据该控制信号(第2搬入指示信号)而对各构成要素的动作进行控制,将加工后的被加工物11搬入至收纳部38。
当将加工后的被加工物11搬入至收纳部38时,控制装置96生成用于通知已完成被加工物11向收纳部38的搬入的意思的通知信号(第2搬入完成信号)。将控制装置96所生成的通知信号(第2搬入完成信号)从发送机100发送至控制单元12。
当控制单元12的接收机134接收到从切削装置4的发送机100发送的通知信号(第2搬入完成信号)时,将该通知信号发送至控制部132。当控制部132确认了来自切削装置4的通知信号(第2搬入完成信号)时,对无人被加工物搬运车10发出指示,以使其移动至贮存单元8的旁边,然后将收纳部38搬运至贮存单元8的收纳部保持台26。具体而言,控制部132生成相当于该指示的控制信号(第4搬运指示信号),并从发送机136发送至无人被加工物搬运车10。
当无人被加工物搬运车10的接收机44接收到来自控制单元12的控制信号(第4搬运指示信号)时,将该控制信号发送至控制装置42。控制装置42根据该控制信号(第4搬运指示信号)而使收纳部38上升,储存于底座37的内部的空间37c。然后,对车轮39等的动作进行控制而使无人被加工物搬运车10沿着搬运通路6行驶。
当控制装置42确认了自身(无人被加工物搬运车10)已移动至贮存单元8的旁边时,再次对车轮39等的动作进行控制而使无人被加工物搬运车10移动至能够利用多个车轮39跨越与开口16b重叠的开口106a的第2停车区域。其结果是,将储存收纳部38的空间37c定位于开口106a的正上方。
这样,在使无人被加工物搬运车10停车在第2停车区域的状态下,控制装置42使升降机构40的绞盘40b进行动作而将线40a拉出。由此,能够按照通过开口106a和开口16b的方式使收纳部38下降而将收纳部38载置于收纳部保持台26。
在将收纳部38载置于收纳部保持台26之后,控制装置42生成用于通知已完成收纳部38向贮存单元8的搬运的意思的通知信号(第4搬运完成信号)。将控制装置42所生成的通知信号(第4搬运完成信号)从发送机46发送至控制单元12。
当控制单元12的接收机134接收到从无人被加工物搬运车10的发送机46发送的通知信号(第4搬运完成信号)时,将该通知信号发送至控制部132。当控制部132确认了来自无人被加工物搬运车10的通知信号(第4搬运完成信号)时,对贮存单元8发出指示,以使其将加工后的被加工物11从收纳部保持台26上的收纳部38搬出。具体而言,控制部132生成相当于该指示的控制信号(第2搬出指示信号),并从发送机136发送至贮存单元8。
当贮存单元8的接收机34接收到来自控制单元12的控制信号(第2搬出指示信号)时,将该控制信号发送至控制装置32。控制装置32根据该控制信号(第2搬出指示信号)而对第1升降机构、推挽臂22、一对导轨24、第2升降机构等的动作进行控制,将加工后的被加工物11从收纳部38搬出。
当将加工后的被加工物11从收纳部38搬出时,例如控制装置32生成用于通知已完成被加工物11从收纳部38的搬出的意思的通知信号(第2搬出完成信号)。将控制装置32所生成的通知信号(第2搬出完成信号)从发送机36发送至控制单元12。按照这样的步骤,能够对贮存单元8搬运利用切削装置4加工后的被加工物11。
另外,上述的步骤可以在能够适当地搬运被加工物11的范围内任意地变更。例如可以同时进行上述的步骤中所包含的多个步骤,也可以在不会妨碍到被加工物11的搬运的范围内更改步骤的顺序。同样地,可以在不会妨碍到被加工物11的搬运的范围内追加、变更、省略任意的步骤。
如上所述,本实施方式的搬运系统2包含:搬运通路6,其设置于多个切削装置(加工装置)4的整个范围内;无人被加工物搬运车(无人搬运车)10,其在搬运通路6上行驶,具有收纳部38、底座(行驶部)37、车轮(行驶机构)39、升降机构40以及接收机44,其中,该收纳部38具有对被加工物11进行收纳的空间(收纳空间)38a,底座(行驶部)37具有对收纳部38进行储存的空间(储存空间)37c,车轮(行驶机构)39设置于底座37,升降机构40配设于底座37的空间37c,从上方悬吊收纳部38而使其升降,接收机44接收控制信号;贮存单元8,其具有在将被加工物11从收纳有被加工物11的盒(被加工物贮存器)20交接至无人被加工物搬运车10的收纳部38时对收纳部38进行保持的收纳部保持台26以及接收控制信号的接收机34。
因此,无人被加工物搬运车10能够在将收纳部38储存于空间37c的状态下在搬运通路6上行驶。另外,该无人被加工物搬运车10在搬运通路6的相当于切削装置(加工装置)4的上方的第1停车区域或搬运通路6的相当于贮存单元8的上方的第2停车区域停车,使收纳部38升降,从而能够在第1停车区域与切削装置4的内部的收纳部保持台50之间或第2停车区域与贮存单元8的内部的收纳部保持台26之间搬运收纳部38。
另外,在本实施方式的搬运系统2中,搬运通路6设置于切削装置4的正上方的空间。因此,在设计该搬运通路6时,无需考虑各切削装置4的侧面的构造。即,搬运系统的构建变得容易。
(实施方式2)
在本实施方式中,对构造与实施方式1的无人被加工物搬运车(无人搬运车)10不同的无人被加工物搬运车(无人搬运车)进行说明。另外,本实施方式的无人被加工物搬运车的基本构造与实施方式1的无人被加工物搬运车10的基本构造相同。由此,在相同的构造上标记相同的标号,并省略了详细的说明。同样地,在与实施方式1的搬运系统2等相同的构成要素上标记相同的标号,并省略了详细的说明。
图15是示出本实施方式的无人被加工物搬运车(无人搬运车)210的结构例的立体图。如图15所示,在无人被加工物搬运车210所具有的长方体状的底座(行驶部)37的四个侧面37e上分别设置有具有相对于各侧面37e大致垂直的旋转轴的车轮(行驶机构)239。即,无人被加工物搬运车210具有共计四个车轮239。
各车轮239与电动机等旋转驱动源连结而进行旋转。通过旋转驱动源使该车轮239旋转,从而使无人被加工物搬运车210(底座37)在搬运通路6上行驶。另外,作为车轮239,可以使用将倾斜的桶状(筒状)的多个旋转体安装于与搬运通路6接触的外周面的所谓的麦克纳姆轮等。在该情况下,仅通过调整各车轮239的旋转量,就能够使无人被加工物搬运车210向任意的方向移动。
在底座37的下表面37a上设置有两个副车轮240,两个副车轮240具有相对于任何两个车轮239的旋转轴大致平行的旋转轴。两个副车轮240之间的间隔比凹部37b的开口37d的宽度宽。另外,两个副车轮240的直径小至在无人被加工物搬运车210通过车轮239而在搬运通路6的通路部102等行驶时不与通路部102等接触的程度。
各副车轮240未与电动机等旋转驱动源连结,能够自由地旋转。不过,各副车轮240可以与旋转驱动源连结。对于副车轮240的数量也没有特别限制。无人被加工物搬运车210可以具有一个副车轮240,该一个副车轮240具有相对于任何两个车轮239大致平行的旋转轴,也可以具有三个以上的副车轮240,该三个以上的副车轮240具有同样的旋转轴。
接着,对在搬运通路6的相当于切削装置4的上方的第1停车区域与切削装置4的收纳部保持台50之间搬运无人被加工物搬运车210的收纳部38时的动作进行详细叙述。图16的(A)是从Z轴方向观察使无人被加工物搬运车210移动至开口106a的正上方时的情形的俯视图,图16的(B)是从Z轴方向观察使收纳部38下降时的情形的俯视图。
另外,图17的(A)是从X轴方向观察图16的(A)所示的状态的局部剖视侧视图,图17的(B)是从X轴方向观察图16的(B)所示的状态的局部剖视侧视图。在从搬运通路6的相当于切削装置4的上方的第1停车区域向切削装置4的收纳部保持台50搬运收纳部38时,如图16的(A)和图17的(A)所示,首先将无人被加工物搬运车210定位于开口106a的侧方。
接着,使车轮239旋转而使无人被加工物搬运车210移动至开口106a的上方。具体而言,例如使任何两个车轮239的旋转轴的朝向和两个副车轮240的旋转轴的朝向相对于无人被加工物搬运车210的移动方向(在本实施方式中为X轴方向)垂直地对齐之后,按照利用该两个车轮239跨越开口106a的方式使无人被加工物搬运车210移动,将凹部37b(空间37c)定位于开口106a的正上方。
更具体而言,在按照两个副车轮240定位于会通过开口106a的正上方的车轮239侧的方式调整无人被加工物搬运车210的朝向之后,使无人被加工物搬运车210移动至开口106a的正上方。即,两个副车轮240在使无人被加工物搬运车210移动至开口106a的正上方时设置于会通过该开口106a的正上方的车轮239侧(即、行进方向侧、前方侧)。
如图16的(A)、图16的(B)、图17的(A)以及图17的(B)所示,在本实施方式中,在搬运通路6的开口106a的缘设置有副车轮240用的两条通路106b。两条通路106b分别配置于两个副车轮240通过的区域。另外,各通路106b的上表面的高度高至能够与副车轮240接触的程度。
因此,在使无人被加工物搬运车210移动至开口106a的上方时,即使成为位于行进方向侧(前方侧)的车轮239在开口106a的正上方通过的状况,副车轮240和通路106b接触,通过副车轮240对底座37的一部分进行支承。由此,在使无人被加工物搬运车210移动至开口106a的上方时,底座37不会显著倾斜。
如图16的(B)和图17的(B)所示,在使无人被加工物搬运车210停车在凹部37b定位于开口106a的正上方的第1停车位置之后,使升降机构40的绞盘40b进行动作而将线40a拉出。由此,能够按照通过开口106a和开口92b的方式使收纳部38下降而将收纳部38载置于收纳部保持台50。
在将收纳部38载置于收纳部保持台50之后,将被加工物11(框架15)从收纳部38搬出。另外,在完成被加工物11的切削之后,将被加工物11(框架15)搬入至收纳部38。
在从切削装置4的收纳部保持台50向搬运通路6的相当于切削装置4的上方的第1停车区域搬运收纳部38时,首先使升降机构40的绞盘40b进行动作而将线40a卷取。由此,能够按照通过开口92b和开口106a的方式使收纳部38上升而将收纳部38搬出至切削装置4的罩92的外部并将该收纳部38储存于凹部37b的内侧的空间37c。
在将收纳部38储存于凹部37b的内侧的空间37c之后,使车轮239旋转而使无人被加工物搬运车210从第1停车区域移动即可。另外,这里,对在搬运通路6的相当于切削装置4的上方的第1停车区域与切削装置4的收纳部保持台50之间搬运收纳部38时的动作进行了说明,在搬运通路6的相当于贮存单元8的上方的第2停车区域与贮存单元8的收纳部保持台26之间搬运收纳部38时的动作也相同。
(实施方式3)
在本实施方式中,对构造与贮存单元8不同的贮存单元进行说明。另外,组装有本实施方式的贮存单元的搬运系统等的基本结构与实施方式1的搬运系统2等相同。由此,在相同的构成要素上标记相同的标号,并省略了详细的说明。
图18是示意性示出本实施方式的贮存单元308的结构例的侧视图,图19是示意性示出贮存单元308的内部的构造的俯视图。如图18所示,贮存单元308包含对各种构成要素进行收纳的壳体316。另外,在图18中,为了便于说明,仅示出壳体316的轮廓。
在壳体316内例如设置有通过滚珠丝杠式的第1升降机构(未图示)进行升降的盒保持台318。在盒保持台318的上表面上载置有能够收纳多个被加工物11的盒(被加工物贮存器)20。另外,该盒20例如对如上述那样借助带13而支承于框架15的状态的被加工物11进行收纳。
如图19所示,在面对盒保持台318(盒20)的第1位置配置有对框架15进行把持而移动的第1被加工物移动单元320。第1被加工物移动单元320包含:把持部322,其上下把持框架15;以及驱动部324,其使把持部322在大致水平的方向上移动。
在驱动部324的上表面上形成有朝向盒保持台318大致水平地延伸的缝状的开口324a,驱动部324使把持部322在沿着该开口324a的第1方向上移动。即,把持部322按照接近盒保持台318接近或远离盒保持台318的方式移动。
因此,例如若通过第1升降机构使收纳于盒20的框架15的高度与把持部322的高度一致并使把持部322接近盒保持台318,则能够通过把持部322对盒20内的框架15进行把持。另外,若在通过把持部322对盒20内的框架15进行把持之后使把持部322远离盒保持台318,则将框架15拉出至盒20的外部。
在第1被加工物移动单元320的周围配置有暂放从盒20搬出的框架15的第1暂放台326。第1暂放台326包含:一对引导部326a,它们分别在第1方向上较长;以及基部326b,其在与第1方向垂直且水平的第2方向上较长。一对引导部326a按照彼此的长度方向平行的方式借助基部326b而连结。将利用第1被加工物移动单元320从盒20中拉出的框架15载置于一对引导部326a。
第1暂放台326通过使该第1暂放台326在第2方向上移动的第1暂放台移动部328进行支承。第1暂放台移动部328具有在第2方向上较长的导轨330。在导轨330上以能够滑动的方式安装有移动部件332。
在移动部件332上设置有螺母部(未图示),在该螺母部上螺合有与导轨330大致平行的滚珠丝杠(未图示)。在滚珠丝杠的一端连结有脉冲电动机334。当利用脉冲电动机334使滚珠丝杠旋转时,移动部件332沿着导轨330在第2方向上移动。
在移动部件332的上部固定有第1暂放台326的基部326b。因此,第1暂放台326与移动部件332一起在第2方向上移动。另外,第1暂放台移动部328构成为能够使第1暂放台326在第1位置与该第1位置的旁边的第2位置之间移动。
在第2位置配置有对框架15进行把持而移动的第2被加工物移动单元336。即,第2被加工物移动单元336配置在第1被加工物移动单元320的旁边。第2被加工物移动单元336的构造与第1被加工物移动单元320的构造相同。
具体而言,第2被加工物移动单元336包含:把持部338,其上下把持框架15;以及驱动部340,其使把持部338在大致水平的方向上移动。在驱动部340的上表面上形成有在第1方向上较长的缝状的开口340a,驱动部340使把持部338沿着该开口340a而移动。
在第2被加工物移动单元336的周围配置有具有与第1暂放台326同样的构造的第2暂放台342。即,第2暂放台342包含:一对引导部342a,它们分别在第1方向上较长;以及基部342b,其在与第1方向垂直且水平的第2方向上较长。一对引导部342a按照彼此的长度方向平行的方式借助基部342b而连结。
第2暂放台342通过使该第2暂放台342在第2方向和铅垂方向上移动的第2暂放台移动部344进行支承。第2暂放台移动部344具有在第2方向上较长的导轨346。在导轨346上以能够滑动的方式安装有移动部件348。
在移动部件348上设置有螺母部(未图示),在该螺母部上螺合有与导轨346大致平行的滚珠丝杠(未图示)。在滚珠丝杠的一端连结有脉冲电动机350。当利用脉冲电动机350使滚珠丝杠旋转时,移动部件348沿着导轨346在第2方向上移动。
在移动部件348的上部借助由气缸等构成的升降机构352而固定有第2暂放台342的基部342b。因此,第2暂放台342与移动部件348和升降机构352一起在第2方向上移动,通过升降机构352进行升降。另外,第2暂放台移动部344构成为能够使第2暂放台342在第2位置与该第2位置的旁边的第1位置之间移动。
图20是示意性示出使第1暂放台326和第2暂放台342在第2方向上移动而调换第1暂放台326的位置和第2暂放台342的位置的情形的侧视图。在调换第1暂放台326的位置和第2暂放台342的位置时,首先通过升降机构352使第2暂放台342上升。具体而言,将第2暂放台342定位于使第2暂放台342的下端的高度比第1暂放台326的上端的高度高的上升位置。
然后,在将第2暂放台342定位于上升位置的状态下,通过第2暂放台移动部344使第2暂放台342移动至第1位置侧。另外,在同样的时机,通过第1暂放台移动部328使第1暂放台326移动至第2位置侧。另外,在图20中,示出使第1暂放台326从第1位置移动至第2位置、使第2暂放台342从第2位置移动至第1位置的情形。
在完成第1暂放台326和第2暂放台342的移动之后,通过升降机构352使第2暂放台342下降,将第2暂放台342定位于使第2暂放台342的下端的高度与第1暂放台326的下端的高度大致相等的基准位置。这样,在贮存单元308中,通过第1暂放台移动部328和第2暂放台移动部344能够按照在第1位置与第2位置之间调换第1暂放台326和第2暂放台342的方式进行移动。
在面对配置有第2被加工物移动单元336的第2位置的位置设置有通过滚珠丝杠式的第2升降机构(未图示)进行升降的收纳部保持台354。在该收纳部保持台354的上表面上载置无人被加工物搬运车10或无人被加工物搬运车210(以下称为无人被加工物搬运车10等)的收纳部38。如图18所示,在收纳部保持台354的正上方的区域设置有将壳体316的顶棚316a上下贯通的开口316b。该开口316b形成为能够供载置于收纳部保持台354的收纳部38通过的形状、大小。
在使盒保持台318升降的第1升降机构、第1被加工物移动单元320、第1暂放台移动部328、第2被加工物移动单元336、第2暂放台移动部344、升降机构352、使收纳部保持台354升降的第2升降机构等构成要素上连接有用于对贮存单元308的动作进行控制的控制装置362。控制装置362典型地由包含CPU等处理装置和闪存等存储装置的计算机构成,按照存储于存储装置的软件使处理装置等进行动作,从而实现控制装置362的功能。
在控制装置362上还连接有接收机364和发送机366,该接收机364接收从搬运系统的控制单元12发送的控制用的信号(控制信号),该发送机366对控制单元12发送通知用的信号(通知信号)。控制装置362根据接收机364所接收的信号,对贮存单元308的动作进行控制。另外,控制装置362通过发送机366将所需的信号发送至控制单元12。
接着,对本实施方式的贮存单元308的动作进行说明。图21的(A)、图21的(B)、图22的(A)以及图22的(B)是示意性示出贮存单元308的动作的例子的俯视图。另外,在本实施方式中,对第1暂放台326被定位于第1位置、第2暂放台342被定位于第2位置的情况下的动作进行说明,但第1暂放台326被定位于第2位置、第2暂放台342被定位于第1位置的情况下的动作也相同。
例如无人被加工物搬运车10等将收纳有加工后的被加工物11(框架15)的收纳部38载置于收纳部保持台354。另外,将收纳有加工前的被加工物11(框架15)的盒20预先载置于盒保持台318。
然后,如图21的(A)所示,使把持部322接近盒保持台318上的盒20而利用把持部322对收纳于盒20的框架15进行把持。在同样的时机,使把持部338接近收纳部保持台354上的收纳部38而利用把持部338对收纳于收纳部38的框架15进行把持。
在利用把持部322对盒20内的框架15进行把持之后,如图21的(B)所示,使把持部322远离盒保持台318。同样地,在利用把持部338对收纳部38内的框架15进行把持之后,如图21的(B)所示,使把持部338远离收纳部保持台354。由此,将加工前的被加工物11从盒20拉出至第1暂放台326,将加工后的被加工物11从收纳部38拉出至第2暂放台342。
接着,如图22的(A)所示,按照在第1位置与第2位置之间调换第1暂放台326和第2暂放台342的方式进行移动。即,通过升降机构352使第2暂放台342上升而定位于上升位置。并且,使第2暂放台342沿着第2方向而移动至第1位置侧。
另外,在同样的时机,使第1暂放台326沿着第2方向移动至第2位置侧。在完成第1暂放台326和第2暂放台342的移动之后,通过升降机构352使第2暂放台342下降而定位于基准位置。其结果是,将第1暂放台326定位于面对收纳部保持台354的第2位置,将第2暂放台342定位于面对盒保持台318的第1位置。
然后,如图22的(B)所示,利用把持部338对第1暂放台326上的框架15进行把持,使把持部338接近收纳部保持台354上的收纳部38。由此,将对加工前的被加工物11进行支承的第1暂放台326上的框架15收纳于收纳部保持台354上的收纳部38中。
在同样的时机,利用把持部322对第2暂放台342上的框架15进行把持,使把持部338接近盒保持台318上的盒20。由此,将对加工后的被加工物11进行支承的第2暂放台342上的框架15收纳于盒保持台318上的盒20中。
在无人被加工物搬运车10等将第1暂放台326上的框架15收纳于收纳部保持台354上的收纳部38之后,从收纳部保持台354搬运该收纳部38。通过以上,能够从无人被加工物搬运车10等向贮存单元308搬运加工后的被加工物11,并从贮存单元308向无人被加工物搬运车10等搬运加工前的被加工物11。
另外,第1暂放台326和第2暂放台342具有相同的功能,从盒20搬出的框架15可以暂放于第1暂放台326和第2暂放台342中的任意暂放台。例如在将第2暂放台342定位于第1位置的情况下,从盒20中搬出的框架15可暂放于第2暂放台342。
另外,上述第1被加工物移动单元320使被加工物11在定位于第1位置的第1暂放台326或第2暂放台342与盒保持台318(盒20)之间移动。同样地,第2被加工物移动单元336使被加工物11在定位于第2位置的第2暂放台342或第1暂放台326与收纳部保持台354(收纳部38)之间移动。
另外,本发明不限于上述实施方式的记载,可以进行各种变更并实施。例如搬运通路6可以具有用于使两台无人被加工物搬运车10等岔开的空间(待机区域)。另外,搬运通路6可以设定成仅允许无人被加工物搬运车10等向一个方向行驶的所谓的单向通行。在该情况下,可以在切削装置(加工装置)上设置往路用的搬运通路6和返路用的搬运通路6。
另外,在上述实施方式中,在通路部102上设置有识别码或无线标签等信息提供部102b,但也可以将信息提供部安装于引导部104。在该情况下,例如可以将信息提供部安装于引导部104的内侧的壁面或上端部等。
除此以外,上述实施方式或变形例等的构造、方法等只要不脱离本发明的目的的范围,则可以适当变更并实施。
Claims (2)
1.一种搬运系统,其对多个加工装置分别搬运被加工物,其特征在于,
该搬运系统包含:
搬运通路,其在多个该加工装置的整个范围内设置于该加工装置的正上方的空间;
无人搬运车,其在该搬运通路上行驶,具有收纳部、行驶部、行驶机构、升降机构以及接收机,其中,该收纳部具有对该被加工物进行收纳的收纳空间,该行驶部具有对该收纳部进行储存的储存空间,该行驶机构设置于该行驶部,该升降机构配设于该行驶部,从上方悬吊该收纳部而使该收纳部升降,该无人搬运车的该接收机接收控制信号;
贮存单元,其具有收纳部保持台和接收机,其中,该收纳部保持台在从收纳有该被加工物的被加工物贮存器向该无人搬运车的该收纳部交接该被加工物时对该收纳部进行保持,该贮存单元的该接收机接收控制信号;以及
控制单元,其具有发送机、接收机以及控制信号生成部,其中,该发送机对该加工装置、该无人搬运车以及该贮存单元发送控制信号,该控制单元的该接收机接收从该加工装置发送的通知信号,该控制信号生成部生成从该发送机发送的控制信号,
该控制单元的该控制信号生成部根据该控制单元的该接收机所接收的通知信号而生成从该控制单元的该发送机发送的控制信号,
该控制单元的该发送机将该控制单元的该控制信号生成部所生成的控制信号发送至该加工装置、该无人搬运车以及该贮存单元,
该无人搬运车根据该无人搬运车的该接收机所接收的控制信号,在将该收纳部储存于该储存空间的状态下在该搬运通路上行驶,当在该搬运通路的相当于该加工装置的上方的第1停车区域或该搬运通路的相当于该贮存单元的上方的第2停车区域停车时,使该收纳部升降而在该第1停车区域与该加工装置的内部之间或在该第2停车区域与该贮存单元的该收纳部保持台之间搬运该收纳部。
2.根据权利要求1所述的搬运系统,其特征在于,
该搬运通路设置于该加工装置的上表面。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019081535A JP7224728B2 (ja) | 2019-04-23 | 2019-04-23 | 搬送システム |
JP2019-081535 | 2019-04-23 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111834269A true CN111834269A (zh) | 2020-10-27 |
Family
ID=72840208
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202010310506.8A Pending CN111834269A (zh) | 2019-04-23 | 2020-04-20 | 搬运系统 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10964572B2 (zh) |
JP (1) | JP7224728B2 (zh) |
CN (1) | CN111834269A (zh) |
DE (1) | DE102020205158B4 (zh) |
TW (1) | TWI817000B (zh) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7109863B2 (ja) * | 2018-11-30 | 2022-08-01 | 株式会社ディスコ | 搬送システム |
JP7229644B2 (ja) | 2019-07-26 | 2023-02-28 | 株式会社ディスコ | 搬送システム |
JP7388394B2 (ja) * | 2021-05-28 | 2023-11-29 | 株式会社ダイフク | 制御システム |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5503516A (en) * | 1987-08-07 | 1996-04-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Automatic article feeding system |
ES2078718T3 (es) * | 1992-08-04 | 1995-12-16 | Ibm | Estructuras de cadenas de fabricacion a base de transportadores totalmente automatizados e informatizados adaptados a recipientes transportables estancos a presion. |
JPH06177244A (ja) | 1992-12-01 | 1994-06-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | ダイシングシステム |
JPH07244504A (ja) * | 1994-03-04 | 1995-09-19 | Hitachi Ltd | 生産設備管理装置 |
JPH1187204A (ja) * | 1997-09-05 | 1999-03-30 | Texas Instr Japan Ltd | 半導体ウエハ処理装置用クリーンルームシステム |
US6726429B2 (en) | 2002-02-19 | 2004-04-27 | Vertical Solutions, Inc. | Local store for a wafer processing station |
JP2006051886A (ja) * | 2004-08-12 | 2006-02-23 | Murata Mach Ltd | 天井走行車システム |
US9633881B2 (en) * | 2008-02-05 | 2017-04-25 | Brooks Automation, Inc. | Automatic handling buffer for bare stocker |
US8086341B2 (en) * | 2008-05-09 | 2011-12-27 | Caterpillar Inc. | Control system and method for a modular manufacturing chain |
JP2010184760A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-08-26 | Muratec Automation Co Ltd | 移載システム |
JP2012144334A (ja) | 2011-01-12 | 2012-08-02 | Daifuku Co Ltd | 物品搬送装置 |
JP5750926B2 (ja) * | 2011-02-15 | 2015-07-22 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車 |
JP5773200B2 (ja) * | 2011-07-28 | 2015-09-02 | 株式会社ダイフク | 処理設備 |
WO2013183376A1 (ja) * | 2012-06-08 | 2013-12-12 | 村田機械株式会社 | 搬送システム及び搬送システムでの物品の一時保管方法 |
JP6160711B2 (ja) * | 2014-01-07 | 2017-07-12 | 村田機械株式会社 | 移載装置及び移載装置の制御方法 |
JP6191543B2 (ja) * | 2014-05-22 | 2017-09-06 | 株式会社ダイフク | 搬送装置 |
JP6456177B2 (ja) | 2015-02-12 | 2019-01-23 | 株式会社ディスコ | ウェーハ処理システム |
JP6813367B2 (ja) * | 2017-01-13 | 2021-01-13 | 株式会社ディスコ | フレームユニット搬送システム |
US10622236B2 (en) * | 2017-08-30 | 2020-04-14 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Apparatus and method for handling wafer carrier doors |
JP7184453B2 (ja) * | 2018-05-17 | 2022-12-06 | 株式会社ディスコ | 搬送システム |
-
2019
- 2019-04-23 JP JP2019081535A patent/JP7224728B2/ja active Active
-
2020
- 2020-04-20 TW TW109113168A patent/TWI817000B/zh active
- 2020-04-20 CN CN202010310506.8A patent/CN111834269A/zh active Pending
- 2020-04-21 US US16/853,942 patent/US10964572B2/en active Active
- 2020-04-23 DE DE102020205158.5A patent/DE102020205158B4/de active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW202040741A (zh) | 2020-11-01 |
JP7224728B2 (ja) | 2023-02-20 |
TWI817000B (zh) | 2023-10-01 |
JP2020178108A (ja) | 2020-10-29 |
DE102020205158A1 (de) | 2020-10-29 |
US20200343111A1 (en) | 2020-10-29 |
US10964572B2 (en) | 2021-03-30 |
DE102020205158B4 (de) | 2024-02-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN111834269A (zh) | 搬运系统 | |
CN110504200B (zh) | 搬运系统 | |
CN111755368A (zh) | 搬运系统 | |
CN110733588A (zh) | 被加工物自动搬运车 | |
CN112309934A (zh) | 搬运系统 | |
CN111261563B (zh) | 搬运系统 | |
CN113492467A (zh) | 切削装置、托盘以及搬送系统 | |
JP7224726B2 (ja) | 搬送システム及び管理方法 | |
JP7162982B2 (ja) | 搬送システム | |
CN112824269A (zh) | 搬送车 | |
CN112825304A (zh) | 搬送路 | |
CN112824268A (zh) | 搬送车、搬送路以及搬送系统 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination |