KR20140049542A - 처리 설비 - Google Patents

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Abstract

처리 설비는, 복수의 처리 장치(1) 및 처리 대상물을 저류하는 저류 장치(Q)를 경유하는 반송 라인을 따라 주행하여 처리 대상물을 반송하는 반송차(3)를 관리하는 반송 관리 수단(HC)을 구비한다. 반송 관리 수단(HC)은, 처리 장치(1)로부터 주 관리 수단(JC)에 대하여 송신되는 처리 진행 정보를 감시하여, 복수의 처리 장치(1) 중에서, 처리 대상물의 처리가 종료된 또는 종료 직전에 있는 처리 장치(1)를, 주 관리 수단(JC)으로부터 반송 지령 정보가 송신되어 오기 이전에, 사전 반송원으로서 추출하고, 그 처리 장치(1)로부터 처리 대상물을 반출하기 위해, 사전 반송원으로서 추출한 처리 장치(1)에 대하여 반송차(3)를 주행시키는 사전 반송 제어를 실행한다.

Description

처리 설비{PROCESSING FACILITY}
본 발명은, 처리 대상물에 대하여 상이한 공정의 처리를 행하는 복수의 처리 장치 및 상기 처리 대상물을 저류(貯留)하는 저류 장치를 경유하는 반송(搬送) 라인을 따라 주행하여, 상기 처리 대상물을 반송하는 반송차(搬送車)가 설치되고, 상기 복수의 처리 장치 각각이, 상기 처리 대상물의 반입(搬入)을 요구하는 반입 요구 정보 및 상기 처리 대상물의 반출(搬出)을 요구하는 반출 요구 정보를 포함하는 처리 진행 정보를, 주(主) 관리 수단에 대하여 송신하도록 구성되며, 상기 주 관리 수단이, 상기 반입 요구 정보 및 상기 반출 요구 정보가 송신되면, 상기 처리 대상물의 반송원(搬送元) 및 반송처(搬送處)를 나타내는 반송 지령 정보를 작성하여, 그 반송 지령 정보를, 반송 관리 수단에 대하여 송신하도록 구성되며, 상기 반송 관리 수단이, 상기 반송 지령 정보에 기초하여, 상기 반송차의 주행을 제어하도록 구성되어 있는 처리 설비에 관한 것이다.
상기와 같은 처리 설비는, 예를 들면, 반도체 기판에 대하여, 세정 공정, 건조 공정, 에칭 공정 등의 상이한 복수 공정의 처리를 순차적으로 행하게 하기 위한 설비이다. 복수의 처리 장치로서는, 일반적으로, 처리 대상물에 대하여 상이한 공정의 처리를 행하는 복수 종류의 처리 장치가, 복수씩 장비된다.
예를 들면, 처리 설비가 반도체 기판에 대하여 처리하는 설비의 경우에는, 복수 개의 반도체 기판을 수납하는 반도체 수납 용기가, 처리 대상물에 상당한다. 즉, 반도체 기판을 처리하는 처리 장치는, 반도체 수납 용기로부터 반도체 기판을 순차적으로 인출하여 처리하고, 처리된 반도체 기판을 순차적으로 반도체 수납 용기에 수납한다.
그리고, 이 처리 설비에서는, 처리 대상물이, 반송차에 의해, 상이한 공정의 처리를 행하는 복수의 처리 장치에 순차적으로 반송된다.
즉, 처리 장치는, 운전 개시 시나 처리 대상물이 반출된 직후에 처리 대상물이 존재하지 않을 때는, 처리 대상물의 반입 요구 정보를, 처리 진행 정보로서 주 관리 수단에 대하여 송신한다.
주 관리 수단은, 반입 요구 정보를 수신하면, 반입 요구 정보를 송신한 처리 장치에 반입하기 위한 처리 대상물을 추출한다. 이 처리 대상물의 추출은, 저류 장치에 저류되어 있는 처리 대상물 중에서 추출되는 경우가 많고, 저류 장치에 저류되어 있는 처리 대상물을 추출하는 경우에는, 주 관리 수단은, 저류 장치에 대하여, 해당하는 처리 대상물의 출고를 지령한다.
주 관리 수단은, 처리 대상물을 추출하면, 그 처리 대상물을 수취하는 개소(箇所)를 반송원으로 하고, 처리 대상물의 반입 요구 정보를 송신한 처리 장치를 반송처으로 하는 반송 지령 정보를 작성하여, 그 반송 지령 정보를 반송 관리 수단에 대하여 송신한다.
반송 관리 수단은, 반송 지령 정보를 수신하면, 반송원의 처리 대상물을 반송처의 처리 장치에 반송하기 위해, 반송차의 주행을 제어한다. 즉, 처리 대상물을 수취하는 개소에 반송차를 주행시켜, 처리 대상물을 수취하고, 다음에, 반송차를 반송처으로서의 처리 장치에 주행시켜, 반송처으로서의 처리 장치에 처리 대상물을 건넨다.
일반적으로는, 복수 대의 반송차가 장비되어, 비작업 중인 것 등의 반송 가능한 반송차가 처리 대상물을 반송하기 위한 반송차로서 선택된다.
그리고, 처리 장치는, 일반적으로, 처리 중인 처리 대상물에 대한 처리의 진척 정보를, 처리 진행 정보로서 주 관리 수단에 대하여 송신하고, 처리 대상물에 대한 처리가 종료하면, 처리 대상물의 반출 요구 정보를, 처리 진행 정보로서 주 관리 수단에 대하여 송신한다.
주 관리 수단은, 반출 요구 정보를 수신하면, 반출 요구 정보를 송신한 처리 장치를 반송원으로 하여, 그 처리 장치로부터의 처리 대상물을 반송해야 할 개소를 반송처으로 하는 반송 지령 정보를 작성하여, 반송 관리 수단에 대하여 송신한다.
처리 장치로부터의 처리 대상물을 반송해야 할 개소로서의 반송처를 설정할 때는, 주 관리 수단은, 반송하는 처리 대상물에 대하여 다음에 처리하는 공정이 어떠한 공정인지를, 그 처리 대상물에 대한 복수의 처리 공정의 진행 정보에 기초하여 확인하고, 복수의 처리 장치의 현재의 처리 상황을 확인하고, 부가하여, 저류 장치의 처리 대상물의 저류 상황을 확인한 후에, 복수의 처리 장치의 가동률을 향상시키는 등의 조건을 감안하면서, 처리 대상물을 반송해야 할 개소로서 적정한 개소를 설정한다.
실제의 가동 중에 있어서는, 처리 대상물을 반송해야 할 개소로서 설정되는 개소는, 저류 장치에 정해지는 경우가 많은 것으로 생각할 수 있지만, 저류 장치 이외의 개소가, 반송해야 할 개소로서 정해지는 경우도 있다.
예를 들면, 반송 지령 정보의 작성 중이나 그 직전에 있어서, 다른 처리 장치로부터 주 관리 수단에 대하여 반입 요구 정보가 송신되고, 또한 그 처리 장치가, 처리 대상물에 대하여 다음에 행할 공정의 처리를 행하는 처리 장치인 경우에는, 그 처리 장치가, 처리 대상물을 반송해야 할 개소로서 정해지는 경우도 있다.
또한, 저류 장치 이외의 개소가, 반송해야 할 개소로서 정해지는 다른 예로서, 처리 장치에 대응하여, 처리 대상물의 임시 탑재부가 장비되어 있는 경우에는, 다음에 행할 공정의 처리를 행하는 처리 장치가, 현재 처리 중이라도, 그 처리 장치의 임시 탑재부가, 반송해야 할 개소로서 정해지는 경우도 있다.
반송 지령 정보의 작성에 있어서, 다른 처리 장치가, 처리 대상물을 반송해야 할 개소로서 정해진다는 것은, 전술한 반입 요구 정보를 송신하는 처리 장치에 대하여, 처리 대상물을 반입하는 것에 상당한다.
또한, 처리 장치에 대응하여 임시 탑재부가 장비되는 경우에 있어서는, 전술한 반입 요구 정보를 송신하는 처리 장치에 대하여 반입하는 처리 대상물을 추출할 때, 그 처리 장치에 대응하는 임시 탑재부에 처리 대상물이 존재할 때는, 그 처리 대상물이 우선적으로 추출된다.
즉, 반입 요구 정보를 송신하는 처리 장치에는, 전술한 바와 같이, 저류 장치에 저류되어 있는 처리 대상물이 반입되는 경우가 많지만, 다른 처리 장치나 임시 탑재부로부터의 처리 대상물이 반입되는 경우도 있다.
주 관리 수단은, 처리 대상물을 반송해야 할 개소로서의 반송처를 정하면, 그 처리 대상물을 수취하는 처리 장치를 반송원으로 하고, 처리 대상물을 반송해야 할 개소를 반송처으로 하는 반송 지령 정보를 작성하여, 그 반송 지령 정보를 반송 관리 수단에 대하여 송신한다.
이와 같은 처리 설비에 있어서, 종래에는, 반송 관리 수단은, 처리 장치로부터의 반출 요구 정보에 기초하여 작성된 반송 지령 정보가 주 관리 수단으로부터 송신되어 오면, 반출 요구 정보를 송신한 처리 장치의 처리 대상물을 반송하기 위해, 반송차의 주행 제어를 개시하도록 구성되어 있었다.
즉, 종래에는, 반송 관리 수단은, 주 관리 수단으로부터 반송 지령 정보를 수신하면, 반송차의 주행 제어를 개시하여, 처리 대상물을 수취하게 되는 반송원의 처리 장치에 반송차를 주행시켜, 처리 대상물을 수취하고, 다음에, 처리 대상물을 반송해야 할 개소에 반송차를 주행시켜, 처리 대상물을 건네도록 구성되어 있었다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).
특허 문헌 1의 처리 설비에 있어서는, 호스트 컴퓨터가, 주 관리 수단에 상당하고, 스토커가, 저류 장치에 상당하고, 반송 장치가, 반송 관리 수단과 반송차에 상당한다. 또한, 처리 착공 가능 신호가, 반입 요구 정보에 상당하고, 처리 종료 보고 신호가, 반출 요구 정보에 상당한다.
특허 문헌 1의 처리 설비에 있어서는, 반송 관리 수단이, 반출 요구 정보에 기초하여 작성된 반송 지령 정보가 주 관리 수단으로부터 송신되어 오면, 반송차의 주행 제어를 개시하므로, 반출 요구 정보를 송신한 처리 장치가, 처리 대상물의 처리를 종료한 후, 반송차의 도착을 기다리는 시간이 길어질 우려가 있었다.
즉, 처리 진행 정보로서의 반출 요구 정보가, 처리 장치로부터 주 관리 수단에 대하여 송신되면, 주 관리 수단은, 반출 요구 정보를 송신하는 처리 장치를 반송원으로 하고, 그 처리 장치로부터의 처리 대상물을 반송해야 할 개소를 반송처으로 하는 반송 지령 정보를 작성하여, 반송 관리 수단에 대하여 송신한다. 처리 장치로부터의 처리 대상물을 반송해야 할 개소로서의 반송처를 정하려면, 주 관리 수단은, 반송하는 처리 대상물에 대하여 다음에 처리하는 공정이 어떠한 공정인지를, 그 처리 대상물에 대한 복수의 처리 공정의 진행 정보에 기초하여 확인하고, 복수의 처리 장치의 처리 상황을 확인하고, 또한 저류 장치의 처리 대상물의 저류 상황을 확인한 후에, 복수의 처리 장치의 가동률을 향상시키는 등의 조건을 감안하면서, 처리 대상물을 반송해야 할 개소로서 적정한 개소를 설정한다. 그러므로, 반송 요구 정보에 기초하여 반송 지령 정보를 작성하기 위해서는, 매우 장시간(예를 들면, 30∼60초)을 필요로 한다.
따라서, 반출 요구 정보를 송신한 처리 장치에 반송차가 도착할 때까지 필요로 하는 시간은, 주 관리 수단이 반송 지령 정보를 작성하는 시간과, 반송차가 현재 위치로부터 반출 요구 정보를 송신한 처리 장치에 주행하는 시간을 부가한 시간으로 된다. 그러므로, 반출 요구 정보를 송신한 처리 장치가, 처리 대상물의 처리를 종료한 후, 반송차의 도착을 기다리는 시간이 길어질 우려가 있어, 설비의 처리 작업 효율을 향상시키기 어려운 것으로 되어 있었다.
이와 같은 처리 설비의 문제점을 해소하는 종래예로서, 처리 장치가, 현재 처리 중인 처리 대상물에 대한 처리가 곧 종료하는 시각으로 되면, 그 처리가 언제 종료할 것인지를 나타내는 종료 예고 신호를, 주 관리 수단으로서의 기동 중인 컴퓨터에 대하여 송신하도록 구성된 것이 있다. 이 구성에서는, 기동 중인 컴퓨터가, 그 종료 예고 신호를 수신하면, 종료 예고 신호를 송신한 처리 장치를 반송원으로 하고, 그 처리 장치에 존재하는 처리 대상물을 반송해야 할 개소를 반송처으로 하는 반송 지령 정보를 작성하여, 그 반송 지령 정보를, 반송 관리 수단으로서의 자동 반송차 컨트롤러에 대하여 송신한다(예를 들면, 특허 문헌 2 참조).
일본 공개특허 제2005―19911호 공보 일본 공개특허 제2000―156398호 공보
상기한 특허 문헌 2의 처리 설비에 있어서는, 현재 처리 중인 처리 대상물에 대한 처리가 곧 종료하는 시각으로 되면, 처리 장치가, 그 처리가 언제 종료할 것인지를 나타내는 종료 예고 신호를, 주 관리 수단으로서의 기동 중인 컴퓨터에 대하여 송신한다. 이로써, 처리 장치에 있어서 현재 처리 중인 처리 대상물에 대한 처리가 종료하기 이전부터, 주 관리 수단으로서의 기동 중인 컴퓨터에 반송 지령 정보의 작성을 개시하게 할 수 있어, 종료 예고 신호를 송신한 처리 장치가, 처리 대상물의 처리를 종료한 후, 반송차로서의 자동 반송차의 도착을 기다리는 시간을 감소시킬 수 있다. 이 결과, 처리 설비의 처리 작업 효율을 향상시킬 수 있다.
그러나, 현재 처리 중인 처리 대상물에 대한 처리가 곧 종료하는 시각으로 되면, 그 처리가 언제 종료할 것인지를 나타내는 종료 예고 신호를, 처리 장치가 주 관리 수단으로서의 기동 중인 컴퓨터에 대하여 송신하는 구성에서는, 처리 장치의 제어 부하가 증가하는 문제가 있다.
즉, 처리 장치에는, 처리 대상물의 처리를 실행하기 위해 구비되는 기기(機器) 종류의 작동을 제어하는 컨트롤러가 장비되어, 그 컨트롤러에 의해, 기기 종류의 제어 작동이나 주 관리 수단과의 통신 제어가 실행된다. 즉, 그 컨트롤러는, 기기 종류의 제어 작동을 관리하면서, 주 관리 수단과의 사이의 통신을 행하므로, 그 작업 부하는 크고, 그와 같은 컨트롤러에 의해, 종료 예고 신호를 송신시키도록 하면, 처리 장치의 제어 부하가 증가한다. 그러므로, 처리 장치에 장비하는 컨트롤러로서는, 큰 용량을 구비한 고가의 컨트롤러가 필요로 하는 불리한 점이 있어, 처리 장치의 제어 부하의 증가를 피하는 것이 요구되는 것이었다.
본 발명은, 상기 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 그 목적은, 처리 장치의 제어 부하의 증가를 회피하면서도, 처리 작업 효율의 향상을 도모할 수 있는 처리 설비를 제공하는 점에 있다.
본 발명의 처리 설비는, 처리 대상물에 대하여 상이한 공정의 처리를 행하는 복수의 처리 장치 및 상기 처리 대상물을 저류하는 저류 장치를 경유하는 반송 라인을 따라 주행하여, 상기 처리 대상물을 반송하는 반송차가 설치되고,
상기 복수의 처리 장치 각각이, 상기 처리 대상물의 반입을 요구하는 반입 요구 정보 및 상기 처리 대상물의 반출을 요구하는 반출 요구 정보를 포함하는 처리 진행 정보를, 주 관리 수단에 대하여 송신하도록 구성되며,
상기 주 관리 수단이, 상기 반입 요구 정보 및 상기 반출 요구 정보가 송신되면, 상기 처리 대상물의 반송원 및 반송처를 나타내는 반송 지령 정보를 작성하여, 그 반송 지령 정보를, 반송 관리 수단에 대하여 송신하도록 구성되며,
상기 반송 관리 수단이, 상기 반송 지령 정보에 기초하여, 상기 반송차의 주행을 제어하도록 구성되어 있는 것으로서, 그 제1 특징적 구성은,
상기 반송 관리 수단이, 상기 처리 장치로부터 상기 주 관리 수단에 대하여 송신되는 상기 처리 진행 정보를 감시하여, 복수의 상기 처리 장치 중에서, 상기 처리 대상물의 처리가 종료된 또는 종료 직전에 있는 처리 장치를, 상기 주 관리 수단으로부터 상기 반송 지령 정보가 송신되어 오기 이전에, 사전 반송원으로서 추출하고, 상기 사전 반송원으로서 추출한 상기 처리 장치에 대하여 상기 반송차를 주행시키는 사전 반송 제어를 실행하도록 구성되어 있는 점에 있다.
즉, 반송 관리 수단이, 처리 장치로부터 주 관리 수단에 대하여 송신되는 처리 진행 정보를 감시하여, 복수의 처리 장치 중에서, 처리 대상물의 처리가 종료된 또는 종료 직전에 있는 처리 장치를, 주 관리 수단으로부터 반송 지령 정보가 송신되어 오기 이전에, 사전 반송원으로서 추출하고, 사전 반송원으로서 추출한 처리 장치에 대하여 반송차를 주행시키는 사전 반송 제어를 실행한다.
즉, 예를 들면, 처리 진행 정보로서의 반출 요구 정보가, 처리 장치로부터 주 관리 수단에 대하여 송신되고, 그 반출 요구 정보를 송신하는 처리 장치를, 처리 대상물의 처리가 종료된 처리 장치로서, 주 관리 수단으로부터 반송 지령 정보가 송신되어 오기 이전에, 사전 반송원의 처리 장치로서 추출할 수 있다.
또한, 처리 장치가, 처리 진행 정보로서 처리 진척 정보를 주 관리 수단에 대하여 송신하도록 구성되는 경우에 있어서는, 그 처리 진척 정보에 기초하여, 그 처리 장치에 있어서의 처리의 진척 상황을 인식할 수 있으므로, 처리 대상물의 처리가 종료 직전에 있는 처리 장치를, 주 관리 수단으로부터 반송 지령 정보가 송신되어 오기 이전에, 사전 반송원의 처리 장치로서 추출할 수 있다.
그리고, 반송 관리 수단은, 사전 반송원으로 하는 처리 장치를 추출하면, 그 처리 장치로부터 처리 대상물을 반출하기 위해, 사전 반송원으로서 추출한 처리 장치에 대하여 반송차를 주행시키는 것을 개시한다.
또한, 반송차가 처리 장치에 도착한 후에는, 반송 관리 수단은, 주 관리 수단에 의해 작성되어 송신되어 오는 반송 지령 정보에 기초하여, 반송처를 설정하여, 처리 장치로부터 수취한 처리 대상물을 반송처으로 반송하도록, 반송차의 주행을 제어한다.
반송 관리 수단은, 주 관리 수단에 의해 작성되는 반송 지령 정보를, 반송차가 처리 장치를 향해 주행하는 도중에 수신한다. 또는, 반송 지령 정보의 수신 전에, 반송차가 처리 장치에 도착한 경우에는, 반송차를 대기시키면서, 반송 지령 정보를 수신한다.
이와 같이, 반송 관리 수단은, 사전 반송원으로 하는 처리 장치를 추출하면, 그 처리 장치로부터 처리 대상물을 반출하기 위해, 사전 반송원으로서 추출한 처리 장치에 대하여 반송차를 주행시키는 것을 개시한다. 그러므로, 처리 장치가, 처리 대상물의 처리를 종료한 후, 반송차의 도착을 기다리는 시간을 감소시킬 수 있고, 그 결과, 처리 설비의 처리 작업 효율을 향상시킬 수 있다.
설명을 추가하면, 처리 진행 정보로서의 반출 요구 정보가, 처리 장치로부터 주 관리 수단에 대하여 송신되면, 주 관리 수단은, 반출 요구 정보를 송신하는 처리 장치를 반송원으로 하고, 그 처리 장치로부터의 처리 대상물을 반송해야 할 개소를 반송처으로 하는 반송 지령 정보를 작성하여, 반송 관리 수단에 대하여 송신한다. 이 때, 처리 대상물을 반송해야 할 개소로서 적정한 개소를 설정하기 위한 시간이 걸리는 것에 기인하여, 반송 요구 정보에 기초하여 반송 지령 정보를 작성하기 위해서는, 매우의 장시간(예를 들면, 30∼60초)을 필요로 한다.
이와 같이, 반출 요구 정보에 기초하여 주 관리 수단이 반송 지령 정보를 작성하기 위해서는, 장시간을 필요로 하지만, 상기 제1 특징적 구성에 의하면, 반송 관리 수단이, 사전 반송 제어를 실행하여, 주 관리 수단으로부터 반송 지령 정보를 수신하기 전에, 반송차를 반송원으로 되는 처리 장치를 향해 주행시킨다. 따라서, 주 관리 수단이 반송 지령 정보를 작성하는 데 필요한 시간을 이용하여, 반송차를 반송원으로 되는 처리 장치를 향해 주행시킬 수 있어, 처리 장치가, 처리 대상물의 처리를 종료한 후, 반송차의 도착을 기다리는 시간을 감소시킬 수 있다. 이 결과, 처리 설비의 처리 작업 효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 처리 장치는, 단지, 처리 진행 정보를 주 관리 수단에 대하여 송신하도록 구성되어 있으므로, 처리 장치의 제어 부하가, 반송 관리 수단이 실행하는 사전 반송 제어를 위해 증가되지 않는다.
한편, 반송 관리 수단의 제어 부하는, 처리 장치로부터 주 관리 수단에 대하여 송신되는 처리 진행 정보를 감시하면서 사전 반송 제어를 실행함으로써 증가하지만, 반송 관리 수단의 제어 부하는, 다량의 정보를 관리할 필요가 있는 주 관리 수단이나 처리 장치에 비하여, 본래 작은 부하이다. 그러므로, 반송 관리 수단을 구성하는 컨트롤러로서는, 사전 반송 제어를 실행시키도록 해도, 용량이 작은 저렴한 것으로 할 수 있다.
요컨대, 본 발명의 제1 특징적 구성에 의하면, 처리 장치의 제어 부하의 증가를 회피하면서도, 처리 작업 효율의 향상을 도모할 수 있는 처리 설비를 제공할 수 있다.
본 발명의 처리 설비의 제2 특징적 구성은, 상기 제1 특징적 구성에 더하여,
상기 반송 관리 수단이, 상기 처리 진행 정보로서의 상기 반출 요구 정보에 기초하여, 상기 처리 대상물의 처리가 종료된 처리 장치를, 상기 사전 반송원으로서 추출하도록 구성되어 있는 점에 있다.
즉, 반송 관리 수단이, 처리 장치로부터 주 관리 수단에 대하여 처리 진행 정보로서 송신되는 반출 요구 정보에 기초하여, 처리 대상물의 처리가 종료된 처리 장치를, 사전 반송원으로서 추출한다.
그리고, 처리 장치로부터 주 관리 수단에 대하여 처리 진행 정보로서 송신되는 반출 요구 정보는, 처리 장치가 처리 대상물의 반출을 직접적으로 요구하는 정보이므로, 이 반출 요구 정보의 존재가 있으면, 즉시, 처리 대상물을 반출하게 되는 처리 장치를, 사전 반송원으로서 추출할 수 있다. 그러므로, 반송 관리 수단은, 단지, 반출 요구 정보의 존부(存否)를 감시하면 되고, 사전 반송 제어를 실행함으로써 반송 관리 수단의 제어 부하가 증가하는 것을 억제할 수 있다.
요컨대, 본 발명의 제2 특징적 구성에 의하면, 상기 제1 특징적 구성에 의한 작용 효과에 더하여, 사전 반송 제어의 실행에 의한 반송 관리 수단의 제어 부하의 증가를 억제할 수 있는 처리 설비를 제공할 수 있다.
본 발명의 처리 설비의 제3 특징적 구성은, 상기 제1 특징적 구성에 더하여,
상기 복수의 처리 장치가, 상기 처리 대상물의 처리 진척 정보를, 상기 처리 진행 정보로서 상기 주 관리 수단에 대하여 송신하도록 구성되며,
상기 반송 관리 수단이, 상기 처리 진행 정보로서의 상기 처리 진척 정보에 기초하여, 상기 처리 대상물의 처리가 종료 직전에 있는 처리 장치를, 상기 사전 반송원으로서 추출하도록 구성되어 있는 점에 있다.
즉, 반송 관리 수단이, 처리 장치로부터 주 관리 수단에 대하여 처리 진행 정보로서 송신되는 처리 진척 정보에 기초하여, 처리 대상물의 처리가 종료 직전의 상태인 처리 장치를, 사전 반송원으로서 추출한다.
즉, 처리 진척 정보는, 처리 장치에 있어서의 처리 대상물에 대한 처리의 진척 상태를 나타내는 정보이므로, 그 처리 진척 정보에 기초하여, 처리 장치에 있어서의 처리 대상물에 대한 처리가, 종료 가까이에 있는지의 여부가 판단할 수 있어, 종료 직전에 있는 처리 장치를, 사전 반송원으로서 추출할 수 있다.
이와 같이, 처리 대상물에 대한 처리가 종료 직전에 있는 처리 장치를, 사전 반송원으로서 추출하는 것이 가능하므로, 그 종료 직전의 시점으로부터 처리 장치가 처리를 완료하는 시점까지의 시간과 주 관리 수단이 반송 지령 정보를 작성하는 데 필요로 하는 시간을 부가한 시간을, 반송차를 사전 반송원의 처리 장치에 주행시키기 위한 시간으로서 사용할 수 있다. 그러므로, 처리 장치가, 처리 대상물의 처리를 종료한 후, 반송차의 도착을 기다리는 시간을 정확하게 감소시킬 수 있다.
요컨대, 본 발명의 제3 특징적 구성에 의하면, 상기 제1 특징적 구성에 의한 작용 효과에 더하여, 처리 장치가, 처리 대상물의 처리를 종료한 후, 반송차의 도착을 기다리는 시간을 정확하게 감소시킬 수 있는 처리 설비를 제공할 수 있다.
본 발명의 처리 설비의 제4 특징적 구성은, 상기 제3 특징적 구성에 더하여,
상기 반송 관리 수단은, 상기 처리 대상물의 처리의 진척 상황이 상기 처리의 완료 시점보다 전의 미리 정해진 진척 상황인 처리 장치를, 상기 처리 대상물의 처리가 종료 직전의 상태인 처리 장치로 하고, 상기 처리 장치를 상기 사전 반송원으로서 추출하도록 구성되어 있는 점에 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 관한 처리 설비의 개략 평면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시형태에 관한 반송차를 나타낸 정면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시형태에 관한 제어 구성을 나타낸 블록도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시형태에 관한 통신 상태를 나타낸 타이밍 차트이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시형태에 관한 제어 구성을 나타낸 블록도이다.
[제1 실시형태]
본 발명의 제1 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다.
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 복수의 처리 장치(1) 및 저류 장치(Q)[본 예에서는 복수의 저류 장치(Q)]를 경유하는 상태로 주행 레일(2)이 천정측에 설치되어 있다. 이 주행 레일(2)을 따라 형성되는 반송 라인 S을 따라 주행하는 천정 반송식의 반송차(3)[본 예에서는 복수 대의 반송차(3)]가 장비되어, 수납 용기 내에 복수 개의 반도체 기판을 수납한 처리 대상물(4)을, 반송차(3)에 의해 반송하면서 처리하는 처리 설비가 구성되어 있다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 주행 레일(2)이, 현수(懸垂) 지지용 브래킷(5)에 의해 천정부에 고정 상태로 설치되고, 또한 반송차(3)가, 주행 레일(2)에 현수 지지된 상태에서, 반송 라인 S를 따라 주행(본 예에서는 일방향으로 주행)하도록 구성되어 있다. 그리고, 반송차(3)는, 처리 장치(1)나 저류 장치(Q)에 대한 이송탑재(transfer) 개소에 정지한 상태에서, 처리 대상물(4)의 수취나 받아건넴을 행하도록 구성되어 있다.
복수의 처리 장치(1)는, 반도체 기판의 세정 처리, 건조 처리, 에칭 처리 등의 상이한 복수의 공정의 처리를 행하는 복수 종류의 것이 있고, 본 실시형태에 있어서는, 복수의 처리 장치(1) 중에는, 같은 공정의 처리를 행하는 처리 장치가 복수 존재한다.
또한, 복수의 처리 장치(1)의 각각에는, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이 이송탑재 스테이션(1A)이 설치되어 있다.
이 이송탑재 스테이션(1A)은, 처리 장치(1)에 의해 처리를 행하는 처리 대상물(4)을 반송차(3)로부터 수취하는 것이나, 처리 장치(1)에 의해 처리를 행한 처리 대상물(4)을 반송차(3)에 건네는(이송탑재하는) 것을 행하기 위한 탑재부이다. 예시는 하지 않지만, 처리 장치(1)에는, 이송탑재 스테이션(1A)에 탑재된 처리 대상물(4)에서의 수납 용기로부터 반도체 기판을 인출하고, 처리 후의 반도체 기판을 수납 용기에 수납하는 기판 이송탑재 장치가 장비되어 있다.
저류 장치(Q)는, 처리 대상물(4)을 일시적으로 보관하기 위해 사용되는 장치이며, 처리 장치(1)와 마찬가지로, 저류 장치(Q)에도, 도 1에 나타낸 바와 같이, 이송탑재 스테이션(Qa)이 설치되어 있다.
예를 들면, 저류 장치(Q)는, 처리 대상물(4)의 수납부를 종횡으로 복수 구비하여 구성된다. 예시는 하지 않지만, 저류 장치(Q)에는, 이송탑재 스테이션(Qa)과 수납부와의 사이에서 처리 대상물(4)을 반송하는 반송 수단이 장비되어 있다.
반송차(3)에는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 주행 레일(2) 상을 주행하는 주행 구동부(3A)와, 주행 레일(2)의 아래쪽에 위치하는 상태로 주행 구동부(3A)에 현수 지지된 지지부(3B)가 구비되어 있다. 지지부(3B)에는, 처리 대상물(4)을 현수(縣垂)한 상태로 파지하는 파지부(把持部)(6)가 승강 조작 가능하게 구비되어 있다.
파지부(6)는, 와이어나 벨트 등에 의해 구성되는 삭상체(索狀體)(7)에 의해, 지지부(3B)에 대하여 현수 지지되어 있고, 삭상체(7)의 권취에 의해 상승되어 삭상체(7)의 송출에 의해 하강되도록 구성되어 있다. 또한, 파지부(6)는, 파지(把持) 작용 상태와 파지 해제 상태로 전환 가능하게 구성되어 있다.
따라서, 반송차(3)는, 처리 장치(1) 및 저류 장치(Q)에 대한 이송탑재 개소에 정지한 상태에서, 파지부(6)를 승강시키고, 또한 파지부(6)를 파지 작용 상태와 파지 해제 상태로 전환함으로써, 처리 장치(1)의 이송탑재 스테이션(1A)이나 저류 장치(Q)의 이송탑재 스테이션(Qa)에 대하여, 처리 대상물(4)을 건네는 것이나, 이들 이송탑재 스테이션(1A, Qa)로부터 처리 대상물(4)을 수취하는 것을 행하도록 구성되어 있다.
반송 라인 S가, 환형(環形)의 메인 경로(10)와, 복수의 환형의 서브 경로(11)와, 메인 경로(10)와, 서브 경로(11)를 연결하여 반송차(3)의 메인 경로(10)로부터 서브 경로(11)에 대한 분기 주행이나 서브 경로(11)로부터 메인 경로(10)에 대한 합류 주행을 행하게 하기 위한 연결 경로(12)를 구비하는 상태로 형성되어 있다.
그리고, 처리 장치(1)가, 환형의 서브 경로(11)의 경로 방향을 따라 배열된 상태로 설치되고, 저류 장치(Q)가, 환형의 메인 경로(10)와 환형의 서브 경로(11)와의 연결 개소에 위치하는 상태로 설치되어 있다.
따라서, 본 실시형태의 처리 설비에서는, 처리 대상물(4)에서의 반도체 기판에 대하여, 복수의 상이한 처리 공정을 순차적으로 행하기 위해, 처리 대상물(4)을 상이한 공정의 처리를 행하는 복수 종류의 처리 장치(1)에 대하여 순차적으로 반송한다. 그리고, 처리 대상물(4)의 다음의 공정의 처리를 행하는 처리 장치(1)가, 다른 처리 대상물(4)에 대한 처리를 실행하고 있는 경우 등에 있어서는, 처리 대상물(4)을 저류 장치(Q)에 일단 저류한다.
다음에, 처리 대상물(4)을 반송하기 위한 제어 구성에 대하여 설명한다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 처리 설비 전체를 관리하는 주 관리 수단으로서의, 상위 컨트롤러(JC), 및 반송차(3)를 관리하는 반송 관리 수단으로서의, 반송 컨트롤러(HC)가 설치되어 있다.
본 실시형태에 있어서는, 반송 컨트롤러(HC)가, 반송차(3)에 더하여, 복수의 저류 장치(Q)도 관리하도록 구성되어 있다.
상위 컨트롤러(JC), 반송 컨트롤러(HC), 및 복수의 처리 장치(1)가, 통신 LAN 등을 사용하여, 서로 통신 가능하게 접속되어 있다. 반송 컨트롤러(HC)와 반송차(3)가, 무선 통신 등에 의해, 서로 통신 가능하게 구성되며, 반송 컨트롤러(HC)와 저류 장치(Q)가, 통신 케이블 등에 의해, 서로 통신 가능하게 접속되어 있다.
복수의 처리 장치(1)에는, 기기 종류의 작동을 제어하고, 또한 상위 컨트롤러(JC)와의 사이의 통신을 실행하는 컨트롤러가 장비되어 있다.
따라서, 처리 장치(1)가 통신한다는 것은, 이 컨트롤러가 통신 제어를 실행하는 것이다. 즉, 처리 장치(1)로부터 상위 컨트롤러(JC)에 대한 정보(예를 들면, 처리 진행 정보)의 송신은, 처리 장치(1)에 의해 제어된 이 컨트롤러에 의해 실행된다.
또한, 복수의 저류 장치(Q)에는, 전술한 반송 수단의 작동을 제어하고, 또한 반송 컨트롤러(HC)와의 사이의 통신을 실행하는 컨트롤러가 장비되어 있다.
따라서, 저류 장치(Q)가 통신한다는 것은, 이 컨트롤러가 통신 제어를 실행하는 것이며, 저류 장치(Q)가 처리 대상물(4)을 입고 및 출고한다는 것은, 이 컨트롤러가 반송 수단의 작동을 제어하는 것이다.
또한, 복수의 반송차(3)에는, 주행 작동, 파지부(6)의 승강 작동, 및 파지부(6)를 파지 작용 상태와 파지 해제 상태로 전환하는 파지 상태 전환 작동을 제어하고, 부가하여, 반송 컨트롤러(HC)와의 사이의 통신을 실행하는 컨트롤러가 장비되어 있다.
따라서, 반송차(3)가 통신한다는 것은, 이 컨트롤러가 통신 제어를 실행하는 것이며, 반송차(3)가 주행한다는 것은, 이 컨트롤러가, 주행 제어를 실행하는 것이다. 또한, 반송차(3)가 처리 대상물(4)을 이송탑재하는 것은, 이 컨트롤러가, 파지부(6)의 승강 작동, 및 파지부(6)의 파지 상태 전환 작동을 실행하는 것이다.
복수의 처리 장치(1) 각각이, 처리 대상물(4)에 대한 처리 진척 상황에 기초하여, 처리 대상물(4)의 반입을 요구하는 반입 요구 정보 및 처리 대상물(4)의 반출을 요구하는 반출 요구 정보를 포함하는 처리 진행 정보를, 상위 컨트롤러(JC)에 대하여 송신하도록 구성되어 있다.
즉, 처리 장치(1)는, 운전 개시 시나 처리 대상물(4)이 반출된 직후에 처리 대상물(4)이 존재하지 않을 때는, 처리 대상물(4)의 반입 요구 정보를, 처리 진행 정보로서 상위 컨트롤러(JC)에 대하여 송신한다.
또한, 복수의 처리 장치(1) 각각이, 처리 대상물(4)에 대한 처리 진척 상황에 기초하여, 처리 중인 처리 대상물(4)에 대한 처리의 진척 정보(처리 진척 정보)를, 처리 진행 정보로서 상위 컨트롤러(JC)에 대하여 송신하도록 구성되어 있다. 또한, 복수의 처리 장치(1) 각각이, 처리 대상물(4)에 대한 처리가 종료하면, 처리 대상물(4)의 반출 요구 정보를, 처리 진행 정보로서 상위 컨트롤러(JC)에 대하여 송신하도록 구성되어 있다.
예를 들면, 처리 장치(1)가 송신하는 처리의 진척 정보란, 처리 대상물(4)에서의 수납 용기의 커버를 개방한, 수납 용기로부터 반도체 기판을 인출하는 것을 개시한, 반도체 기판의 인출이 종료한, 처리가 종료된 1개째의 반도체 기판을 수납 용기에 수납한, 처리가 종료된 n개째[n은 2 이상의 정수(整數)]의 반도체 기판을 수납 용기에 수납한, 처리가 종료된 최후의 반도체 기판을 수납 용기에 수납한, 수납 용기의 커버를 폐쇄한 등의 정보이다.
본 실시형태에서는, 처리 장치(1)에서의 처리(전체 처리)의 개시 시점으로부터 상기 처리의 완료 시점(종료 시점)까지의 처리 기간을 복수의 단계(진척 단계)로 나누어 관리하는 동시에, 현재의 진척 상황에 대응하는 진척 단계의 정보가, 처리 진척 정보에 포함된다. 복수의 진척 단계의 각각은, 예를 들면, 처리 대상물(4)의 구성이나 처리 장치(1)에서의 처리의 내용 등에 기초하여 설정된다. 상기한 예에서는, 처리 대상물(4)에서의 수납 용기의 커버를 개방하는 공정, 수납 용기로부터 반도체 기판을 인출하는 것을 개시하는 공정, 반도체 기판의 인출이 종료하는 공정, 처리가 종료된 1개째의 반도체 기판을 수납 용기에 수납하는 공정, 처리가 종료된 n개째의 반도체 기판을 수납 용기에 수납하는 공정, 처리가 종료된 최후의 반도체 기판을 수납 용기에 수납하는 공정, 수납 용기의 커버를 폐쇄하는 공정의 각각의 공정이, 서로 다른 복수(본 예에서는 7개)의 진척 단계에서 실행된다.
여기서, 처리 장치(1)에서의 전체 처리의 개시 시점을 포함하는 최초의 진척 단계를 「개시 단계」라고 하고, 처리 장치(1)에서의 전체 처리의 완료 시점을 포함하는 최후의 진척 단계를 「완료 단계」라고 하고, 「개시 단계」와「완료 단계」 사이의 진척 단계를 「중도 단계」라고 한다. 상기한 예에서는, 개시 단계는, 처리 대상물(4)에서의 수납 용기의 커버를 개방하는 공정이 실행되는 진척 단계이며, 완료 단계는, 수납 용기의 커버를 폐쇄하는 공정이 실행되는 진척 단계이다.
상위 컨트롤러(JC)는, 처리 대상물(4)에 대한 복수의 처리 공정의 진행 정보, 복수의 처리 장치(1)의 처리 상황, 및 저류 장치(Q)에서의 처리 대상물(4)의 저류 상황을 관리한다. 그리고, 상위 컨트롤러(JC)는, 복수의 처리 장치(1)로부터 반입 요구 정보 및 반출 요구 정보가 송신되어 오면(즉, 반입 요구 정보 및 반출 요구 정보를 수신하면), 처리 대상물(4)에 대한 복수의 처리 공정의 진행 정보, 복수의 처리 장치(1)의 처리 상황, 및 저류 장치(Q)에서의 처리 대상물(4)의 저류 상황 등에 기초하여, 처리 대상물(4)의 반송원 및 반송처를 나타내는 반송 지령 정보를 작성하여, 그 반송 지령 정보를 반송 컨트롤러(HC)에 대하여 송신하도록 구성되어 있다.
즉, 상위 컨트롤러(JC)는, 반입 요구 정보를 수신하면, 반입 요구 정보를 송신한 처리 장치(1)에 반입하기 위한 처리 대상물(4)을 추출한다. 이 처리 대상물(4)의 추출은, 저류 장치(Q)에 저류되어 있는 처리 대상물(4) 중에서 추출되는 경우가 많고, 저류 장치(Q)에 저류되어 있는 처리 대상물(4)을 추출하는 경우에는, 상위 컨트롤러(JC)는, 저류 장치(Q)에 대하여, 해당하는 처리 대상물(4)의 출고를 지령한다. 즉, 상위 컨트롤러(JC)는, 저류 장치(Q)에 대하여 출고 지령 정보를 송신한다.
그리고, 본 실시형태에 있어서는, 반송 컨트롤러(HC)가, 저류 장치(Q)를 관리하도록 구성되어 있으므로, 상위 컨트롤러(JC)는, 저류 장치(Q)에 대하여 처리 대상물(4)의 출고를 지령하는 경우에는, 반송 컨트롤러(HC)에 대하여, 저류 장치(Q)로부터의 처리 대상물(4)의 출고를 지령한다. 즉, 상위 컨트롤러(JC)는, 반송 컨트롤러(HC)에 대하여 출고 지령 정보를 송신한다. 그 지령에 기초하여, 반송 컨트롤러(HC)가 저류 장치(Q)에 대하여 출고를 지령한다.
상위 컨트롤러(JC)는, 반송해야 할 처리 대상물(4)을 추출하면, 그 처리 대상물(4)을 수취하는 개소를 반송원으로 하고, 처리 대상물(4)의 반입 요구 정보를 송신한 처리 장치(1)를 반송처으로 하는 반송 지령 정보를 작성하여, 그 반송 지령 정보를 반송 컨트롤러(HC)에 대하여 송신한다.
반송 컨트롤러(HC)는, 반송 지령 정보를 수신하면, 반송원의 처리 대상물(4)을 반송처의 처리 장치(1)에 반송하기 위해, 반송차(3)의 주행을 제어한다. 즉, 처리 대상물(4)을 수취하는 개소에 반송차(3)를 주행시켜, 처리 대상물(4)을 수취하고, 다음에, 반송차(3)를 반송처으로서의 처리 장치(1)에 주행시켜, 반송처으로서의 처리 장치(1)에 처리 대상물(4)을 건넨다.
일반적으로는, 복수 대의 반송차(3)가 장비되어, 비작업 중 등의 반송 가능한 반송차(3)가 처리 대상물(4)을 반송하기 위한 반송차(3)로서 선택된다.
상위 컨트롤러(JC)는, 반출 요구 정보를 수신하면, 반출 요구 정보를 송신한 처리 장치(1)를 반송원으로 하여, 그 처리 장치(1)로부터의 처리 대상물(4)을 반송해야 할 개소를 반송처으로 하는 반송 지령 정보를 작성하여, 반송 컨트롤러(HC)에 대하여 송신한다.
처리 장치(1)로부터의 처리 대상물(4)을 반송해야 할 개소로서의 반송처를 설정할 때는, 상위 컨트롤러(JC)는, 반송하는 처리 대상물(4)에 대하여 다음에 처리할 공정이 어떠한 공정인지를, 그 처리 대상물(4)에 대한 복수의 처리 공정의 진행 정보에 기초하여 확인하고, 복수의 처리 장치(1)의 현재의 처리 상황을 확인하고, 부가하여, 저류 장치(Q)의 처리 대상물(4)의 저류 상황을 확인한 후에, 복수의 처리 장치(1)의 가동률을 향상시키는 등의 조건을 감안하면서, 처리 대상물(4)을 반송해야 할 개소로서 적정한 개소를 설정한다.
실제의 가동 중에 있어서는, 처리 대상물(4)을 반송해야 할 개소는, 저류 장치(Q)에 정해지는 경우가 많지만, 저류 장치(Q) 이외의 개소가, 반송해야 할 개소로서 정해지는 경우도 있다.
예를 들면, 반송 지령 정보의 작성 중이나 그 직전에 있어서, 다른 처리 장치(1)로부터 상위 컨트롤러(JC)에 대하여 반입 요구 정보가 송신되고, 또한 그 처리 장치(1)가, 처리 대상물(4)에 대하여 다음에 행할 공정의 처리를 행하는 처리 장치(1)인 경우에는, 그 처리 장치(1)가, 처리 대상물(4)을 반송해야 할 개소로서 정해지는 경우도 있다.
그리고, 상위 컨트롤러(JC)는, 처리 대상물(4)을 반송해야 할 개소를 정하면, 그 처리 대상물(4)을 수취하는 처리 장치(1)를 반송원으로 하고, 처리 대상물(4)을 반송해야 할 개소를 반송처으로 하는 반송 지령 정보를 작성하여, 그 반송 지령 정보를 반송 컨트롤러(HC)에 대하여 송신한다.
반송 컨트롤러(HC)는, 처리 장치(1)로부터 상위 컨트롤러(JC)에 대하여 송신되는 처리 진행 정보를 감시하여, 사전 반송 제어를 실행하도록 구성되어 있다. 여기서, 「사전 반송 제어」는, 복수의 처리 장치(1) 중에서, 처리 대상물(4)의 처리가 종료된 처리 장치(1)를, 상위 컨트롤러(JC)로부터 반송 지령 정보가 송신되어 오기 이전에, 사전 반송원으로서 추출하고, 사전 반송원으로서 추출한 처리 장치(1)에 대하여 반송차(3)를 주행시키는 제어이다.
즉, 처리 진행 정보로서의 반출 요구 정보가, 처리 장치(1)로부터 상위 컨트롤러(JC)에 대하여 송신되면, 반송 컨트롤러(HC)는, 그 반출 요구 정보를 송신하는 처리 장치(1)를, 처리 대상물(4)의 처리가 종료된 처리 장치(1)로서[바꾸어 말하면, 처리 대상물(4)의 처리가 종료된 처리 장치(1)인 것으로 판정하여], 상위 컨트롤러(JC)로부터 반송 지령 정보가 송신되어 오기 이전에, 사전 반송원의 처리 장치(1)로서 추출한다.
상위 컨트롤러(JC)와 각각의 처리 장치(1)와의 사이의 통신은, 송신처, 송신원, 및 전달 정보를 포함하는 통신 정보를, 송신원으로부터 송신하는 형태로 행해진다. 반송 컨트롤러(HC)는, 상위 컨트롤러(JC)와 각각의 처리 장치(1)와의 사이에서 통신되는 통신 정보를 감시하여, 송신원이 처리 장치(1)이며, 송신처가 상위 컨트롤러(JC)이며, 전달 정보가 반출 요구 정보인 통신 정보를 추출함으로써, 반출 요구 정보를 송신하는 처리 장치(1)를 추출하도록 구성되어 있다.
그리고, 반송 컨트롤러(HC)는, 사전 반송원으로 하는 처리 장치(1)를 추출하면, 그 처리 장치(1)로부터 처리 대상물(4)을 반출하기 위해, 사전 반송원으로서 추출한 처리 장치(1)에 대하여 반송차(3)를 주행시키는 것을 개시한다.
복수의 반송차(3) 중 어느 반송차(3)를, 사전 반송원으로서 추출한 처리 장치(1)에 주행시킬 것인지에 대하여는, 복수의 반송차(3) 중, 반송 작업을 할당하고 있지 않은 반송차(3)로서, 사전 반송원으로서 추출한 처리 장치(1)에 가까운 반송차(3)[예를 들면, 가장 가까운 반송차(3)]가 선택된다.
또한, 반송 컨트롤러(HC)는, 사전 반송원으로서 추출한 처리 장치(1)에 대하여 반송차(3)의 주행을 개시하게 한 후에 있어서는, 반송차(3)가 처리 장치(1)에 도착했는지의 여부의 확인, 처리 장치(1)에 도착한 반송차(3)가 처리 장치(1)로부터 처리 대상물(4)을 수취하는 것을 종료한 것의 확인 등을 행한다. 반송차(3)가 처리 장치(1)로부터 처리 대상물(4)을 수취하면, 반송 컨트롤러(HC)는, 상위 컨트롤러(JC)로부터 송신되어 오는 반송 지령 정보에 기초하여, 반송처를 특정하여, 처리 장치(1)로부터 수취한 처리 대상물(4)을 반송처으로 반송하도록, 반송차(3)의 주행을 제어한다.
반송 컨트롤러(HC)는, 상위 컨트롤러(JC)에 의해 작성되는 반송 지령 정보를, 반송차(3)가 처리 장치(1)를 향해 주행하는 도중에 수신한다. 또는, 반송 지령 정보의 수신 전에, 반송차(3)가 처리 장치(1)에 도착한 경우에는, 반송차(3)를 대기시키면서, 반송 지령 정보를 수신한다.
이와 같이, 반송 컨트롤러(HC)는, 사전 반송원으로 하는 처리 장치(1)를 추출하면, 그 처리 장치(1)로부터 처리 대상물(4)을 반출하기 위해, 사전 반송원으로서 추출한 처리 장치(1)에 대하여 반송차(3)를 주행시키는 것을 개시한다. 그러므로, 처리 장치(1)가, 처리 대상물(4)의 처리를 종료한 후, 반송차(3)의 도착을 기다리는 시간을 감소시킬 수 있어, 그 결과, 처리 설비의 처리 작업 효율을 향상시킬 수 있다.
다음에, 상위 컨트롤러(JC), 처리 장치(1), 및 반송 컨트롤러(HC)의 사이에서의 통신의 흐름에 대하여, 도 4에 기초하여 설명한다.
그리고, 이하의 설명에 있어서는, 통신 내용의 개요만을 설명하고, 통신 내용의 상세한 것에 대해서는 생략한다.
또한, 상위 컨트롤러(JC), 처리 장치(1), 및 반송 컨트롤러(HC) 사이의 통신에 있어서는, 송신된 통신 정보를 수신하면, 수신한 것을 나타내는 응답 정보를 송신원에 대하여 송신함으로써, 송신된 통신 정보가 적절하게 수신된 것을 확인하고, 응답 정보가 송신되어 오지 않는 경우에는, 통신 정보를 재차 송신하는 것이 행해지지만, 이하의 설명에 있어서는, 응답 정보의 송신에 대한 기재는 생략한다.
먼저, 처리 장치(1)로부터 반입 요구 정보가 상위 컨트롤러(JC)에 대하여 송신되면, 상위 컨트롤러(JC)는, 전술한 바와 같이, 반입 요구 정보를 송신한 처리 장치(1)에 반송하는 처리 대상물(4)의 반송원을 추출한다.
그리고, 그 추출한 처리 대상물(4)을 수취하는 개소를 반송원으로 하고, 처리 대상물(4)의 반입 요구 정보를 송신한 처리 장치(1)를 반송처으로 하는 반송 지령 정보를 작성하여, 그 반송 지령 정보를 반송 컨트롤러(HC)에 대하여 송신한다.
반송원이 저류 장치(Q)인 경우에는, 상위 컨트롤러(JC)는, 전술한 바와 같이, 반송 컨트롤러(HC)에 대하여 출고 지령 정보를 송신한다.
반송 컨트롤러(HC)는, 반송 지령 정보가 송신되어 오면, 선택한 반송차(3)를 반송원에 주행시키고, 반송원에 의해 처리 대상물(4)을 수취한 후, 반송차(3)를 반송처으로 주행시킨다. 반송차(3)가 반송처에 도착하면, 처리 대상물(4)을 반송처으로 건넨다.
그리고, 처리 대상물(4)의 반송이 완료되면, 반송 컨트롤러(HC)는, 반송이 완료된 것을 나타내는 반송 완료 정보를 상위 컨트롤러(JC)에 대하여 송신한다.
상위 컨트롤러(JC)는, 반송 완료 정보를 수신하면, 처리 개시 지시 정보를 처리 장치(1)에 대하여 송신한다. 처리 개시 정보를 수신한 처리 장치(1)는, 처리를 개시하고, 그리고, 전술한 처리의 진척 정보를 상위 컨트롤러(JC)에 대하여 송신한다.
상위 컨트롤러(JC)는, 처리 장치(1)로부터 송신되어 오는 처리의 진척 정보에 기초하여, 처리 장치(1)의 처리 상황을 관리하는 관리 처리를 행한다.
처리 장치(1)는, 현재 처리 중인 처리 대상물(4)에 대한 처리가 종료하면, 처리 진행 정보로서의 반출 요구 정보를, 상위 컨트롤러(JC)에 대하여 송신한다.
상위 컨트롤러(JC)는, 처리 장치(1)로부터 반출 요구 정보가 송신되어 오면, 반출 요구 정보를 송신하는 처리 장치(1)로부터의 처리 대상물(4)을 반송해야 할 개소로서의 반송처를 설정한다.
그리고, 반송처를 설정하면, 상위 컨트롤러(JC)는, 반출 요구 정보를 송신하는 처리 장치(1)를 반송원으로 하고, 그 처리 장치(1)로부터의 처리 대상물(4)을 반송해야 할 개소를 반송처으로 하는 반송 지령 정보를 작성하여, 그 반송 지령 정보를, 반송 컨트롤러(HC)에 대하여 송신한다.
처리 장치(1)가, 반출 요구 정보를, 상위 컨트롤러(JC)에 대하여 송신하면, 상위 컨트롤러(JC)와 각각의 처리 장치(1)와의 사이에서 통신되는 통신 정보를 감시하고 있는 반송 컨트롤러(HC)가, 반출 요구 정보를 송신하는 처리 장치(1)를 사전 반송원으로서 추출한다.
그리고, 반송 컨트롤러(HC)는, 사전 반송원으로 하는 처리 장치(1)를 추출하면, 그 처리 장치(1)로부터 처리 대상물(4)을 반출하기 위해, 사전 반송원으로서 추출한 처리 장치(1)에 대하여 반송차(3)를 주행시키는 것을 개시한다.
그리고, 반송 컨트롤러(HC)는, 사전 반송원으로서 추출한 처리 장치(1)에 대하여 반송차(3)가 도착하여, 반송차(3)가 처리 장치(1)로부터 처리 대상물(4)을 수취하면, 상위 컨트롤러(JC)로부터 송신되어 오는 반송 지령 정보에 기초하여, 반송처를 특정하여, 처리 장치(1)로부터 수취한 처리 대상물(4)을 반송처으로 반송하도록, 반송차(3)의 주행을 제어한다.
반송 컨트롤러(HC)는, 상위 컨트롤러(JC)에 의해 작성되는 반송 지령 정보를, 반송차(3)가 처리 장치(1)를 향해 주행하는 도중에 수신한다. 또는, 반송 지령 정보의 수신 전에, 반송차(3)가 처리 장치(1)에 도착한 경우에는, 반송차(3)를 대기시키면서, 반송 지령 정보를 수신한다.
처리 대상물(4)이 반출된 처리 장치(1)는, 반입 요구 정보를 상위 컨트롤러(JC)에 대하여 송신하고, 또한 반송 컨트롤러(HC)는, 처리 대상물(4)의 반송이 완료되면, 반송이 완료된 것을 나타내는 반송 완료 정보를 상위 컨트롤러(JC)에 대하여 송신한다.
반입 요구 정보나 반송 완료 정보를 수신한 상위 컨트롤러(JC)는, 전술한 바와 같이, 반입 요구 정보를 송신한 처리 장치(1)에 반송하는 처리 대상물(4)의 반송원을 추출하여, 그 추출한 처리 대상물(4)을 수취하는 개소를 반송원으로 하고, 처리 대상물(4)의 반입 요구 정보를 송신한 처리 장치(1)를 반송처으로 하는 반송 지령 정보를 작성하여, 그 반송 지령 정보를 반송 컨트롤러(HC)에 대하여 송신한다.
[제2 실시형태]
다음에, 제2 실시형태에 대하여 설명한다. 이 제2 실시형태는, 반송 컨트롤러(HC)의 구성이 제1 실시형태와 다르지만, 그 외의 구성은, 제1 실시형태와 같다. 그러므로, 이하의 설명에 있어서는, 제1 실시형태와 다른 부분에만 대하여 설명한다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 이 제2 실시형태에 있어서는, 반송 컨트롤러(HC)가, 상위 컨트롤러(JC)와 통신하는 물류 컨트롤러(15)와, 이 물류 컨트롤러(15)와 통신하고 또한 반송차(3)의 운전을 관리하는 반송 제어 컨트롤러(16)와, 물류 컨트롤러(15)와 통신하고 또한 저류 장치(Q)의 운전을 관리하는 저류 컨트롤러(17)로 구성되어 있다.
물류 컨트롤러(15)는, 상위 컨트롤러(JC)로부터 송신되어 오는 반송 지령 정보를 반송 제어 컨트롤러(16)에 대하여 송신하고, 상위 컨트롤러(JC)로부터 송신되어 오는 출고 지령 정보 등의 저류 장치(Q)에 관한 정보를, 저류 컨트롤러(17)에 대하여 송신한다.
또한, 물류 컨트롤러(15)는, 처리 장치(1)로부터 상위 컨트롤러(JC)에 대하여 송신되는 처리 진행 정보를 감시하여, 복수의 처리 장치(1) 중에서, 처리 대상물(4)의 처리가 종료된 처리 장치(1)를, 상위 컨트롤러(JC)로부터 반송 지령 정보가 송신되어 오기 이전에, 사전 반송원으로서 추출하고, 사전 반송원으로서 추출한 처리 장치(1)에 대하여 반송차(3)를 주행시키는 사전 주행 지령을, 반송 제어 컨트롤러(16)에 지령한다.
반송 제어 컨트롤러(16)는, 사전 주행 지령이 물류 컨트롤러(15)로부터 지령되면, 지령된 처리 장치(1)를 향해 반송차(3)를 주행시키는 것을 개시한다. 또한, 반송 제어 컨트롤러(16)는, 반송 지령 정보가 물류 컨트롤러(15)로부터 송신되면, 사전 주행 지령에 의해 주행하고 처리 장치(1)로부터 수취한 처리 대상물(4)을, 반송 지령 정보에 의해 지정된 반송처으로 반송하기 위해, 반송차(3)의 주행을 제어한다.
이 제2 실시형태는, 처리 장치(1), 저류 장치(Q), 및 반송차(3)의 설치수를 증가시킨 대형의 설비를 구성하는 경우에 바람직한 구성이다.
그리고, 이와 같이 대형의 설비를 구성하는 경우에는, 상위 컨트롤러(JC)와 통신하고, 또한 복수의 처리 장치(1)의 각각과 통신하는 중계 컨트롤러를 장비하고, 이 중계 컨트롤러를 경유하여, 상위 컨트롤러(JC)와 복수의 처리 장치(1) 각각의 사이에서의 통신을 행하게 하도록 해도 된다.
[다른 실시형태]
다음에, 다른 실시형태를 열기한다.
(1) 상기 제1 및 제2 실시형태에서는, 반출 요구 정보에 기초하여, 사전 반송원으로 하는 처리 장치(1)를 추출하는 경우를 예시했지만, 처리 장치(1)가, 처리 진행 정보로서 처리 진척 정보를 송신하는 경우에 있어서는, 그 처리 진척 정보에 기초하여, 그 처리 장치(1)에서의 처리의 진척 상황을 인식할 수 있다. 그러므로, 반송 관리 수단[반송 컨트롤러(HC)]이, 처리 진행 정보로서의 처리 진척 정보에 기초하여, 처리 대상물(4)의 처리가 종료 직전에 있는 처리 장치(1)를, 주 관리 수단[상위 컨트롤러(JC)]으로부터 반송 지령 정보가 송신되어 오기 이전에, 사전 반송원의 처리 장치(1)로서 추출하는 형태로 실시해도 된다.
즉, 상기 제1 및 제2 실시형태에 있어서는, 처리 진척 정보로서, 처리 대상물(4)에서의 수납 용기의 커버를 개방한, 수납 용기로부터 반도체 기판을 인출하는 것을 개시한, 반도체 기판의 인출이 종료한, 처리가 종료된 1개째의 반도체 기판을 수납 용기에 수납한, 처리가 종료된 n개째의 반도체 기판을 수납 용기에 수납한, 처리가 종료된 최후의 반도체 기판을 수납 용기에 수납한, 수납 용기의 커버를 폐쇄한 등의 정보가, 처리 장치(1)로부터 송신된다. 이 경우, 예를 들면, 반송 관리 수단이, 처리가 종료된 최후의 반도체 기판을 수납 용기에 수납했다는 정보를 감시하여 두고, 이 정보를 송신하는 처리 장치(1)를, 처리 대상물(4)의 처리가 종료 직전에 있는 처리 장치(1)로서 검출하여[바꾸어 말하면, 처리 대상물(4)의 처리가 종료 직전의 처리 장치(1)인 것으로 판정하여], 주 관리 수단으로부터 반송 지령 정보가 송신되어 오기 이전에, 사전 반송원의 처리 장치(1)로서 추출하는 형태로 실시해도 된다.
여기서, 상기 제1 및 제2 실시형태에 있어서는, 처리 장치(1)의 처리 기간은, 복수의 진척 단계로 나누어 관리되고 있다. 또한, 상기한 예에서는, 처리가 종료된 최후의 반도체 기판을 수납 용기에 수납했다는 정보를 송신하는 처리 장치(1)가, 처리 대상물(4)의 처리가 종료 직전에 있는 처리 장치(1)인 것으로 판정된다. 이 경우, 처리가 종료된 최후의 반도체 기판을 수납 용기에 수납하는 공정이 실행되는 진척 단계에 있는 처리 장치(1)가, 처리 대상물(4)의 처리가 종료 직전의 처리 장치(1)인 것으로 판정된다. 그리고, 이 경우, 처리 대상물(4)의 처리가 종료 직전의 상태인 것으로 판정하기 위한 진척 단계(이하, 「특정 진척 단계」라고 함)는, 완료 단계의 하나 전의 중도 단계로 된다. 즉, 특정 진척 단계에 대응하는 진척 상황은, 처리 대상물(4)에서의 처리의 완료 시점보다 전의 미리 정해진 진척 상황으로 된다. 따라서, 이 경우, 반송 관리 수단이, 처리 대상물(4)의 처리의 진척 상황이 상기 처리의 완료 시점보다 전의 미리 정해진 진척 상황(이하, 「특정 진척 상황」이라고 함)인 처리 장치(1)를, 처리 대상물(4)의 처리가 종료 직전의 상태의 처리 장치(1)인 것으로 판정하는 구성으로 된다. 바꾸어 말하면, 반송 관리 수단이, 처리 대상물(4)의 처리의 진척 단계가 특정 진척 단계인 처리 장치(1)를, 처리 대상물(4)의 처리가 종료 직전의 상태의 처리 장치(1)인 것으로 판정하는 구성으로 된다.
그리고, 완료 단계의 하나 전의 중도 단계가 아니고, 완료 단계의 2개 이상전의 중도 단계가 특정 진척 단계로 설정되는 구성으로 하는 것도 가능하다. 또한, 특정 진척 단계가 어느 정도의 시간적 길이를 가지는 경우에는, 특정 진척 상황을, 특정 진척 단계에서의 특정한 시점(예를 들면, 특정 진척 단계의 개시 시점 또는 종료 시점)에 대응하는 진척 상황으로 할 수도 있다. 이 경우, 완료 단계를 특정 진척 단계로 설정할 수 있고, 예를 들면, 완료 단계의 개시 시점에 대응하는 진척 상황이 특정 진척 상황으로 설정되는 구성으로 할 수 있다.
(2) 상기 제1 및 제2 실시형태에서는, 천정측에 설치한 주행 레일(2)을 따라 주행하는 현수식의 반송차(3)를 예시했지만, 반송차(3)로서는, 바닥면을 주행하는 바닥면 주행식의 대차(臺車; carriage) 등, 각종 형태의 반송차를 적용할 수 있다.
(3) 상기 제1 및 제2 실시형태에서는, 반송 라인 S가, 환형의 메인 경로(10)와, 복수의 환형의 서브 경로(11)와, 메인 경로(10)와 서브 경로(11)를 연결하는 복수의 연결 경로(12)로 구성되는 경우를 예시했지만, 반송 라인 S의 구체 구성은, 각종 변경할 수 있다.
(4) 상기 제1 및 제2 실시형태에서는, 반도체 기판을 수납하는 수납 용기를 처리 대상물(4)으로서 반송하는 경우를 예시했지만, 처리 대상물(4)로서는, 반도체 기판을 수납하는 수납 용기에 한정되는 것이 아니고, 본 발명은, 각종 처리물을, 처리 대상물로서 반송하는 데 적용할 수 있다.
(5) 상기 제1 및 제2 실시형태에서는 예시하지 않지만, 처리 장치(1)에 대응하여, 처리 대상물(4)의 임시 탑재부를 장비하는 형태로 실시해도 된다. 이 경우, 반출 요구 정보에 기초하여 처리 대상물(4)의 반송처를 설정하는 데 있어서, 다음에 행할 공정의 처리를 행하는 처리 장치(1)가, 현재 처리 중이라도, 그 처리 장치(1)의 임시 탑재부를, 반송해야 할 개소로서 정할 수 있다.
이 경우, 임시 탑재부를 장비하는 처리 장치(1)가 반입 요구 정보를 송신했을 때, 그 처리 장치(1)에 대응하는 임시 탑재부에 처리 대상물(4)이 존재할 때는, 그 처리 대상물(4)이 반송원의 처리 대상물로서 우선적으로 추출된다.
[산업 상의 이용 가능성]
본 발명은, 복수의 처리 장치 및 처리 대상물을 저류하는 저류 장치를 경유하는 반송 라인을 따라 주행하여, 처리 대상물을 반송하는 반송차가 설치된 처리 설비에, 바람직하게 이용할 수 있다.
1: 처리 장치
3: 반송차
4: 처리 대상물
HC: 반송 컨트롤러(반송 관리 수단)
JC: 상위 컨트롤러(주 관리 수단)
Q: 저류 장치
S: 반송 라인

Claims (4)

  1. 처리 대상물에 대하여 상이한 공정의 처리를 행하는 복수의 처리 장치 및 상기 처리 대상물을 저류(貯留)하는 저류 장치를 경유하는 반송(搬送) 라인을 따라 주행하여, 상기 처리 대상물을 반송하는 반송차(搬送車)가 설치되고,
    상기 복수의 처리 장치 각각이, 상기 처리 대상물의 반입(搬入)을 요구하는 반입 요구 정보 및 상기 처리 대상물의 반출(搬出)을 요구하는 반출 요구 정보를 포함하는 처리 진행 정보를, 주 관리 수단에 대하여 송신하도록 구성되며,
    상기 주(主) 관리 수단이, 상기 반입 요구 정보 및 상기 반출 요구 정보가 송신되면, 상기 처리 대상물의 반송원(搬送元) 및 반송처(搬送處)를 나타내는 반송 지령 정보를 작성하여, 상기 반송 지령 정보를, 반송 관리 수단에 대하여 송신하도록 구성되며,
    상기 반송 관리 수단이, 상기 반송 지령 정보에 기초하여, 상기 반송차의 주행을 제어하도록 구성되어 있는 처리 설비로서,
    상기 반송 관리 수단이, 상기 처리 장치로부터 상기 주 관리 수단에 대하여 송신되는 상기 처리 진행 정보를 감시하여, 복수의 상기 처리 장치 중에서, 상기 처리 대상물의 처리가 종료된 또는 종료 직전에 있는 처리 장치를, 상기 주 관리 수단으로부터 상기 반송 지령 정보가 송신되어 오기 이전에, 사전 반송원으로서 추출하고, 상기 사전 반송원으로서 추출한 상기 처리 장치에 대하여 상기 반송차를 주행시키는 사전 반송 제어를 실행하도록 구성되어 있는,
    처리 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 반송 관리 수단이, 상기 처리 진행 정보로서의 상기 반출 요구 정보에 기초하여, 상기 처리 대상물의 처리가 종료 상태인 처리 장치를, 상기 사전 반송원으로서 추출하도록 구성되어 있는, 처리 설비.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 처리 장치가, 상기 처리 대상물의 처리 진척 정보를, 상기 처리 진행 정보로서 상기 주 관리 수단에 대하여 송신하도록 구성되며,
    상기 반송 관리 수단이, 상기 처리 진행 정보로서의 상기 처리 진척 정보에 기초하여, 상기 처리 대상물의 처리가 종료 직전의 상태인 처리 장치를, 상기 사전 반송원으로서 추출하도록 구성되어 있는, 처리 설비.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 반송 관리 수단은, 상기 처리 대상물의 처리의 진척 상황이 상기 처리의 완료 시점보다 전의 미리 정해진 진척 상황인 처리 장치를, 상기 처리 대상물의 처리가 종료 직전의 상태인 처리 장치로 하고, 상기 처리 장치를 상기 사전 반송원으로서 추출하도록 구성되어 있는, 처리 설비.
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