CN101219731A - 桥式输送系统 - Google Patents

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CN101219731A CNA2008100031216A CN200810003121A CN101219731A CN 101219731 A CN101219731 A CN 101219731A CN A2008100031216 A CNA2008100031216 A CN A2008100031216A CN 200810003121 A CN200810003121 A CN 200810003121A CN 101219731 A CN101219731 A CN 101219731A
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Abstract

本发明提供一种桥式输送系统，将侧缓冲器(30)的支柱(34～37)用连杆(38、39)连接，将支柱(34～37)折叠。在无尘室的布置变更时，能够将缓冲器折叠，以使其不会成为障碍。

Description

桥式输送系统
技术领域
本发明涉及沿着桥式行走车的轨道设置缓冲器的系统，特别涉及在设置桥式输送系统的空间内进行处理设备的送入送出时使缓冲器不会成为障碍的技术。
背景技术
本申请人提出了在桥式行走车的行驶轨道的下部或侧部配设缓冲器的技术(专利文献1)。如果这样，则能够减少用于物品保管的储料器，能够利用输送目的地的端口附近的缓冲器，所以能够将物品输送到输送目的地的端口附近的缓冲器处，在端口空闲时进行输送等。此外，利用缓冲器，能够在多个桥式行走车之间分割输送作业。
但是，缓冲器成为将周围的处理装置等设备送入送出时的障碍。轨道下部的缓冲器配置在比桥式行走车低的位置，以使其不会与在桥式行走车中输送的物品干涉。此外，轨道侧部的缓冲器配置在与桥式行走车输送的物品大致相同的高度上。在更换设备时，桥式行走车能够向不会成为阻碍的位置自行地退避，但缓冲器在轨道的周围将通路的上部及设备的上部堵塞，妨碍它们的移动。
【专利文献1】日本特开2005-206371号
发明内容
本发明的目的是，在桥式输送系统的周围的装置等的移动时使缓冲器不会成为障碍。并且，将缓冲器紧凑地收纳。此外，将缓冲器紧凑且不会发生伸出地进行收纳。此外，使缓冲器的收纳及复原变得容易。
本发明是一种桥式输送系统，使桥式行走车沿着从上方悬挂的轨道行驶，并且从上方悬挂有沿着该轨道载置物品的缓冲器，其特征在于，缓冲器构成为可从物品的保管位置自如退避或折叠。
此外，本发明是一种桥式输送系统，使桥式行走车沿着从上方悬挂的轨道行驶，并且从上方悬挂有沿着该轨道载置物品的缓冲器，其特征在于，缓冲器构成为向上方收纳自如。
优选的是，在收纳了缓冲器时，将缓冲器的一部分部件收纳在缓冲器的收纳空间中。此外，优选的是，在缓冲器中设有物品的载置部和从上方悬挂该载置部的支柱，该支柱构成为向载置部上方弯折自如。特别优选的是，设有将缓冲器向上方施力的施力机构。
在本发明中，在处理装置的送入送出时等能够将缓冲器向上方收纳。因此，缓冲器不会妨碍无尘室的布置变更等。此外，在本发明中，通过使缓冲器退避或折叠，能够设置空间，以便能够进行处理装置的送入送出。因此，不会妨碍无尘室的布置变更等。
这里，如果在收纳了缓冲器时使缓冲器的一部分部件被收纳在缓冲器的收纳空间中，则能够使缓冲器变得紧凑，在收纳时不需要追加的空间。如果在缓冲器中设置物品的载置部和从上方悬挂该载置部的支柱、将该支柱向上述载置部侧弯折自如地构成，则能够通过支柱的弯折来收纳缓冲器，并且在收纳时不会发生伸出。进而，如果设置对上述缓冲器向上方施力的施力机构，则将缓冲器向上方收纳和将收纳的缓冲器向下降而复原都变得容易。
附图说明
图1是实施例的桥式输送系统的主视图。
图2是实施例的桥式输送系统的要部侧视图。
图3是表示实施例中的缓冲器的支柱的关节和其动作的图。
图4是将侧缓冲器折叠状态下的、实施例的桥式输送系统的主视图。
图5是将侧缓冲器折叠状态下的、实施例的桥式输送系统的要部侧视图。
图6是表示变形例中的缓冲器的支柱的伸缩机构的图。
图7是示意地表示第2变形例中的缓冲器的折叠的图。
图8是表示第3变形例中的缓冲器的退避的图。
图9是表示关节的变形例的图，上左侧表示左侧面，上右侧表示正面，下左侧表示将关节弯折90°的状态，下右侧表示将关节弯折180°的状态。
图10是表示关节的第2变形例的图，左侧表示左侧面，右侧表示正面。
图11用实线表示将使用变形例的关节的下缓冲器向上方收纳的状态，用虚线表示将下缓冲器向下侧降下的状态。
图12是表示使用折叠器的支柱的伸缩机构的图。
图13是将缓冲器的向行驶轨道侧方的滑动与沿着行驶轨道的方向的滑动组合的变形例的要部俯视图。
图14是利用缓冲器的旋转与滑动的变形例的要部俯视图。
具体实施方式
以下表示用来实施本发明的优选实施例。
【实施例】
图1～图8中表示实施例和其变形。另外，在各实施例中，除了特别指出的点以外，与图1～图5的实施例相同。在各图中，2是桥式输送系统，设在无尘室等的建筑内，将半导体晶片或分度镜等物品收纳在例如盒20中输送。3是建筑的天花板，通过支柱5从上方悬挂桥式行走车6的轨道4，同样通过支柱31等从上方悬挂侧缓冲器30。
桥式行走车6具备横驱动器7和θ驱动器8、升降驱动部9、升降台10、以及盖12，通过横驱动器7使θ驱动器8～升降台10在与轨道4的长度方向正交的方向上水平移动。θ驱动器8使升降驱动部9～升降台10在水平面内旋转，也可以不特别设置。升降驱动部9具备未图示的卷绕滚筒，使升降台10升降，盖12设在桥式行走车6的行驶方向的前后，防止盒20等物品落下。并且，升降台10对盒20的凸缘22进行夹紧并支撑。
侧缓冲器30设在轨道4的侧方，支撑下缓冲器50，下缓冲器50配置在轨道4的下部，以使其不会与桥式行走车6干涉。侧缓冲器30具备上部框架32和下部框架33，并将盒20载置在下部框架33上，下部框架33的上部空间是物品的收纳空间。34～37是支柱，其中，支柱35、36向下部框架33上的收纳空间折叠自如。折叠的方向与轨道4的行驶方向例如是平行的。并且，支柱34～37通过连杆38、39相互连接。此外，支柱31与34也可以是相同的部件。40是定张力弹簧，以一定的张力对下部框架33朝向上方施力，41是卷绕部。并且，定张力弹簧40的张力不论其卷绕长度如何都是一定的。
下缓冲器50在下部具备框架52，用来载置盒20，并由支柱53从侧缓冲器30的下部框架33支撑。54、55是加强片，也可以不设置。
60是处理装置，进行半导体的处理及检查等，但并不限于半导体处理装置，而是指配置在建筑内的各种装置。并且，轨道4及下缓冲器50配置在没有处理装置60的通路上，侧缓冲器30配置在处理装置60等的上部或者通路上。
图3表示支柱之间的连接，这里，表示支柱36、37之间的连接，支柱34、35之间的连接也是同样的。56、57是安装部件，设在支柱36、37的接头附近，连杆38将其连接，58是销。图3的上部左侧表示安装部件56、57的正面，中央部表示其侧面。如果从这里将支柱36、37相互弯折，则如图3的上部右侧那样变形，能够将支柱36折叠。此外，在支柱35、36的连接中，如图3的右下侧那样，经由连杆39使支柱35、36的朝向变化例如180°。
图4、图5中表示将侧缓冲器30与下缓冲器50折叠的姿势。L1表示平时的侧缓冲器30的底面高度，L2表示平时的下缓冲器50的底面高度，H1表示折叠状态下的侧缓冲器30的底面高度，H2表示折叠状态下的下缓冲器50的底面高度。另外，如果从图4的状态使下缓冲器50进一步转动90°，使框架52为例如铅直朝向，则能够使下缓冲器50的高度上升到高度H3。
在此状态下，支柱35、36被向侧缓冲器30的收纳空间的上部内侧折叠，不会从侧缓冲器30本来占有的空间向外伸出。并且，折叠后的支柱35、36收纳在下部框架33上的原本作为盒20的收纳空间的空间中。
由于侧缓冲器30的下部框架33被定张力弹簧40朝上方施力，所以能够以较轻的力向上侧推起。并且，如果使下部框架33上升到规定位置，则使用未图示的键等将侧缓冲器30固定在该位置上。或者，也可以通过将支柱35、36弯折到规定角度，来设置相互卡合的卡合部件和被卡合部件，如果使下部框架33上升到规定高度，则使支柱35、36相互卡合。
这样，如果将侧缓冲器30和下缓冲器50向上方收纳，则能够自由地使用通路的高度上升到高度水平H2，处理装置60等的送入送出变得容易。在需要比图4更高的处理装置的送入送出的情况下，可以使下缓冲器50退避到高度水平H3。并且，在处理装置60等的送入送出后，在使缓冲器30、50复原为原来的状态的情况下，只要解除支柱35、36间的卡合等、使下部框架33下降就可以。在下部框架33下降时，由于定张力(定强力)弹簧40支撑缓冲器30、50的重力的一部分，所以能够简单地加工下部框架33。如果使下部框架33下降到高度水平L1，则通过侧缓冲器30等的自重与定张力弹簧40的张力的差将侧缓冲器30的姿势固定。另外，在更可靠地固定的情况下，只要通过未图示的键或卡合机构将支柱34、35以及支柱35、36、支柱36、37相互固定即可。
图6表示第1变形例，70～72是侧缓冲器的支柱，使支柱71如图6的点划线那样上升而重叠在支柱70上，将支柱72也同样如图6的点划线那样重叠在支柱70上。73、74是引导部，用于引导支柱71、72的上下移动。这样将侧缓冲器无伸出地向上方收纳，不会妨碍处理装置等的送入送出。
图7表示第2变形例的侧缓冲器，81是支柱，82是上部框架，83是下部框架。支柱81、81沿着上部框架82滑动自如。此外，下部框架83将其中央部用未图示的铰链连结，如图7的点划线那样折叠自如。这里，如果使支柱81、81滑动到下部框架83的中央附近，则下部框架83被折叠，能够减小侧缓冲器所占用的空间。
图8表示第3变形例，91的新的上部框架，92、92是新的支柱，支柱92、92相对于上部框架91滑动自如，如图8的点划线位置那样滑动，从而能够设置用于送入送出处理装置等的空闲空间。
桥式行走车的种类及构造是任意的。此外，在实施例中，通过侧缓冲器30支撑下缓冲器50，但也可以从天花板3或轨道4等通过折叠自如的支柱支撑下缓冲器50，与侧缓冲器30同样地折叠。在此情况下，也可以不设置侧缓冲器30，在桥式行走车上不设置横驱动器7。
图9～图14表示各种变形例。图9～图11的101、102是支柱，既可以是支撑下缓冲器的支柱，也可以是支撑侧缓冲器的支柱，103是关节，104是其轴，105、106是对支柱101、102的安装片。此外，在图10的关节108中，通过销109改善了对支柱102的安装强度。
这里，如果使关节103、108以90°或180°弯折自如，则能够将缓冲器的支柱101、102弯折90°或180°。并且，如果如图11那样，在缓冲器的支柱上设置例如3个关节103a、103b、103c，则能够将缓冲器向上方收纳。
图12表示使用折叠器110而使缓冲器升降的例子，左侧表示将折叠器展开并将缓冲器降下的状态，右侧表示将折叠器折叠并收纳缓冲器的状态。
图13表示在使缓冲器120与行驶轨道4成直角地滑动后、平行于行驶轨道4滑动的例子，能够打开缓冲器120的长度的量的通路。另外，将与行驶轨道4成直角地滑动后的状态的缓冲器表示为120′，将接着平行于行驶轨道4滑动后的状态的缓冲器表示为120″。
图14表示使缓冲器122以轴123为中心旋转90°的例子，图的左侧通过俯视表示缓冲器122的使用状态，右侧表示以轴123为中心旋转90°后的状态。这样，如果能够在缓冲器的间隙中设置通路，使缓冲器沿着桥式行走车的行驶方向进一步滑动而成为122′的状态，则能够打开较大的通路。所以，图13或图14所示的例子都是使缓冲器能够从物品的保管位置退避自如地构成的结构。
在实施例中，能够得到以下的效果。
(1)能够将侧缓冲器30向上方收纳。
(2)收纳后的侧缓冲器30不会从侧缓冲器30平时占用的空间露出，不会伸出。
(3)此外，与侧缓冲器30的收纳连动，也能够将下缓冲器50向上方收纳。
(4)由于通过定张力弹簧40减轻了对下部框架33等施加的重力，所以侧缓冲器30及下缓冲器50的升降变得容易。因此，能够容易地收纳缓冲器30、50，并且能够容易地复原。

Claims (13)

1.一种桥式输送系统，使桥式行走车沿着从上方悬挂的轨道行驶，并且从上方悬挂有沿着该轨道载置物品的缓冲器，其特征在于，
上述缓冲器构成为可从物品的保管位置自如退避或折叠。
2.如权利要求1所述的桥式输送系统，其特征在于，上述缓冲器构成为向上方收纳自如。
3.如权利要求2所述的桥式输送系统，其特征在于，上述缓冲器构成为向铅直上方收纳自如。
4.如权利要求1所述的桥式输送系统，其特征在于，上述缓冲器是设在上述轨道的侧方的侧缓冲器。
5.如权利要求1所述的桥式输送系统，其特征在于，上述缓冲器是设在上述轨道的下部的下缓冲器。
6.如权利要求2所述的桥式输送系统，其特征在于，在收纳了上述缓冲器时，将上述缓冲器的一部分部件收纳在上述缓冲器的收纳空间中。
7.如权利要求6所述的桥式输送系统，其特征在于，在上述缓冲器中设有物品的载置部和从上方悬挂该载置部的支柱，将上述载置部收纳到上述缓冲器的收纳空间中。
8.如权利要求2所述的桥式输送系统，其特征在于，在上述缓冲器中设有物品的载置部和从上方悬挂该载置部的支柱，该支柱构成为弯折自如。
9.如权利要求8所述的桥式输送系统，其特征在于，上述支柱构成为向上述载置部侧弯折自如。
10.如权利要求9所述的桥式输送系统，其特征在于，上述支柱构成为向上述载置部上方弯折自如。
11.如权利要求2所述的桥式输送系统，其特征在于，上述缓冲器是将设在上述轨道的侧方的侧缓冲器与设在上述轨道的下部的下缓冲器连结而成的，上述侧缓冲器构成为向正上方收纳自如，并且上述下缓冲器构成为以与上述侧缓冲器的连结部分为中心旋转自如，并且向上方收纳自如。
12.如权利要求1所述的桥式输送系统，其特征在于，在上述桥式行走车的周围设有处理装置，并且在对上述处理装置进行送入送出或移动的时候，将上述缓冲器从物品的保管位置退避或折叠。
13.如权利要求2所述的桥式输送系统，其特征在于，设有将上述缓冲器向上方施力的施力机构。
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