KR101111584B1 - 천정 반송 시스템 - Google Patents

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KR101111584B1
KR101111584B1 KR1020070092436A KR20070092436A KR101111584B1 KR 101111584 B1 KR101111584 B1 KR 101111584B1 KR 1020070092436 A KR1020070092436 A KR 1020070092436A KR 20070092436 A KR20070092436 A KR 20070092436A KR 101111584 B1 KR101111584 B1 KR 101111584B1
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노리오 나카지마
타쿠오 아키야마
야스히사 이토
에이지 와다
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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

(구성) 사이드 버퍼(30)의 지주(34~37)를 링크(38, 39)로 접속해서 지주(34~37)를 접을 수 있도록 한다.
(효과) 클린룸의 레이아웃 변경시에 버퍼를 방해가 되지 않도록 접을 수 있다.
천정 반송 시스템

Description

천정 반송 시스템{OVERHEAD TRANSPORTATION SYSTEM}
본 발명은 천정 주행차의 궤도를 따라 버퍼를 설치한 시스템에 관한 것이고, 특히 천정 반송 시스템을 설치한 스페이스 내에서 처리 설비의 반출/반입 등을 행할 때에 버퍼가 장애가 되지 않도록 함에 관한 것이다.
출원인은 천정 주행차의 주행 궤도의 하부나 측부에 버퍼를 배치하는 것을 제안했다(특허문헌1). 이렇게 하면 물품 보관용 스토커를 줄일 수 있으며, 반송처의 포트 부근의 버퍼를 이용할 수 있으므로 반송처의 포트 부근의 버퍼까지 물품을 반송해 두고, 포트가 비었을 때에 반입하거나 할 수 있다. 또 버퍼를 이용하여 복수의 천정 주행차 사이에서 반송 작업을 분할할 수 있다.
그러나 버퍼는 주위의 처리 장치 등의 설비를 반출/반입할 때의 방해가 된다. 궤도 하부의 버퍼는 천정 주행차로 반송 중인 물품과 간섭하지 않도록 천정 주행차보다 낮은 위치에 배치된다. 또 궤도 측부의 버퍼는 천정 주행차로 반송 중인 물품과 대략 동일한 높이에 배치된다. 설비의 교체시 등에는, 천정 주행차는 방해되지 않는 위치로 자동으로 움직여 퇴피할 수 있지만, 버퍼는 궤도의 주위에서 통로의 상부나 설비의 상부를 막아 이들의 이동을 방해한다.
[특허문헌1]일본 특허 공개 2005-206371호
본 발명의 과제는 천정 반송 시스템의 주위의 장치 등의 이동시에 버퍼가 방해로 되지 않도록 하는데 있다. 또한 버퍼를 컴팩트하게 격납하는데 있다. 또 버퍼를 컴팩트하게 또한 돌출이 발생하지 않도록 격납하는데에 있다. 또한 버퍼의 격납이나 복구를 용이하게 하는데에 있다.
본 발명은 상방으로부터 매단 궤도를 따라 천정 주행차를 주행시킴과 아울러, 상기 궤도를 따라 버퍼를 상방으로부터 매단 천정 반송 시스템에 있어서, 버퍼를 물품의 보관 위치로부터 퇴피 혹은 절첩 가능하게 구성한 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명은 상방으로부터 매단 궤도를 따라 천정 주행차를 주행시킴과 아울러, 상기 궤도를 따라 버퍼를 상방으로부터 매단 천정 반송 시스템에 있어서, 버퍼를 상방으로 격납할 수 있게 구성한 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 버퍼를 격납했을 때에 버퍼의 수납 스페이스에 버퍼의 일부 부재가 격납되도록 한다. 또 바람직하게는 버퍼에 물품의 적재부와 상기 적재부를 상방으로부터 매다는 지주를 설치하고, 상기 지주를 상기 적재부측으로 절곡할 수 있게 구성한다. 특히 바람직하게는 상기 버퍼를 상방으로 바이어싱하는 바이어싱 수단(biasing mean)을 설치한다.
(발명의 효과)
본 발명에서는 처리 장치의 반출/반입시 등에 버퍼를 상방으로 격납할 수 있다. 따라서 클린룸의 레이아웃 변경 등을 버퍼가 방해하지 않는다. 또 본 발명에서는 버퍼를 퇴피시키거나 절첩하거나 함으로써 처리 장치의 반출/반입이 가능하게 되도록 스페이스를 형성할 수 있다. 이 때문에 클린룸의 배치 변경 등을 버퍼가 방해하지 않는다.
여기서 버퍼를 격납했을 때에 버퍼의 수납 스페이스에 버퍼의 일부 부재가 격납되도록 하면, 컴팩트하게 버퍼를 격납할 수 있어 격납시에 추가 스페이스를 필요로 하지 않는다. 버퍼에 물품의 적재부와 상기 적재부를 상방으로부터 매다는 지주를 설치하고, 상기 지주를 상기 적재부측으로 절곡할 수 있게 구성하면 지주의 절곡으로 버퍼를 수용할 수 있으며, 또한 격납시에 돌출이 발생하지 않는다. 또 상기 버퍼를 상방으로 바이어싱하는 바이어싱 수단을 설치하면, 버퍼를 상방으로 격납하는 것도, 격납된 버퍼를 아래로 내려서 복구하는 것도 용이해진다.
이하에 본 발명을 실시하기 위한 최적 실시예를 나타낸다.
(실시예)
도 1~도 8에 실시예와 그 변형을 나타낸다. 또 각 변형예에 있어서 특별히 지적한 점 이외는 도 1~도 5의 실시예와 같다. 각 도면에 있어서, 부호 2는 천정 반송 시스템이고, 클린룸 등의 건물 내에 설치되며, 반도체 웨이퍼나 레티클 등의 물품을 예를 들면 카세트(20)에 수납해서 반송한다. 부호 3은 건물의 천정이며, 천정 주행차(6)의 궤도(4)를 지주(5)에 의해 상방으로부터 매달고, 마찬가지로 사이드 버퍼(side buffer)(30)를 지주(31) 등에 의해 상방으로부터 매단다.
천정 주행차(6)는 래터럴 드라이브(7)와 θ 드라이브(8), 승강 구동부(9), 승강대(10), 및 커버(12)를 구비하고, 래터럴 드라이브(7)에 의해 θ 드라이브(8)~ 승강대(10)를 궤도(4)의 길이 방향에 직교하는 방향으로 수평 이동시킨다. θ 드라이브(8)는 승강 구동부(9)~승강대(10)를 수평면 내에서 선회시키고, 특별히 설치하지 않아도 된다. 승강 구동부(9)는 도시 생략된 권취 드럼을 구비해서 승강대(10)를 승강시키고, 커버(12)는 천정 주행차(6)의 주행 방향의 전후에 설치되어서 카세트(20) 등의 물품의 낙하를 방지한다. 그리고 승강대(10)는 카세트(20)의 플랜지(22)를 척(chuck)해서 지지한다.
사이드 버퍼(30)는 궤도(4)의 측방에 설치되어 언더 버퍼(under buffer)(50)를 지지하고, 언더 버퍼(50)는 궤도(4)의 하부에 천정 주행차(6)와 간섭하지 않도록 배치되어 있다. 사이드 버퍼(30)는 상부 프레임(32)과 하부 프레임(33)을 구비하고, 하부 프레임(33) 상에 카세트(20)를 적재하여 하부 프레임(33)의 상부의 스페이스가 물품의 수납 스페이스이다. 부호 34~37은 지주이며, 이 중 지주(35, 36)는 하부 프레임(33) 위의 수납 스페이스로 절첩 가능하다. 절첩하는 방향은 궤도(4)의 주행 방향과 예를 들면 평행하다. 그리고 지주(34~37)는 링크(38, 39)에 의해 서로 접속되어 있다. 또 지주(31, 34)는 동일한 부재여도 된다. 부호 40은 정장력 스프링이며, 하부 프레임(33)을 일정한 장력으로 상향으로 바이어싱하고, 부호 41은 권취부이다. 그리고 정장력 스프링(40)의 장력은 그 권취 길이에 따르지 않고 일정하다.
언더 버퍼(50)는 하부에 프레임(52)을 구비해서 카세트(20)를 적재하고, 지주(53)에 의해 사이드 버퍼(30)의 하부 프레임(33)으로부터 지지되어 있다. 부호 54, 55는 보강편이며 설치하지 않아도 된다.
부호 60은 처리 장치이며, 반도체의 처리나 검사 등을 행하고, 반도체 처리 장치에 한하지 않고, 건물 내에 배치된 다양한 장치를 나타낸다. 그리고 궤도(4)나 언더 버퍼(50)는 처리 장치(60)가 없는 통로 상에 배치되고, 사이드 버퍼(30)는 처리 장치(60) 등의 상부 혹은 통로 상에 배치된다.
도 3에 지주 사이의 접속을 나타내고, 여기서는 지주(36, 37) 사이의 접속을 나타내며, 지주(34, 35) 사이의 접속도 같다. 부호 56, 57은 부착 부재이며, 지주(36, 37)의 이음매 부근에 설치하고, 이것을 링크(38)가 접속하며, 58은 핀이다. 도 3의 상부 좌측은 부착 부재(56, 57)의 정면을 나타내고, 중앙부는 그 측면을 나타낸다. 여기서부터 지주(36, 37)를 서로 절곡하면, 도 3의 상부 우측과 같이 변형되어서 지주(36)를 절첩할 수 있다. 또 지주(35, 36)의 접속에서는 도 3의 오른쪽 하측과 같이 링크(39)를 통해서 지주(35, 36)의 방향을 예를 들면 180° 변화시킨다.
도 4, 도 5에 사이드 버퍼(30)와 언더 버퍼(50)를 절첩한 모습을 나타낸다. 부호 L1은 통상시의 사이드 버퍼(30)의 저면 높이를, L2는 통상시의 언더 버퍼(50)의 저면 높이를 나타내고, H1은 절첩된 상태에서의 사이드 버퍼(30)의 저면 높이를, H2는 절첩된 상태에서의 언더 버퍼(50)의 저면 높이를 나타낸다. 또 도 4의 상태로부터 언더 버퍼(50)를 더욱 90° 회전시켜서 프레임(52)을 예를 들면 연직 방향으로 하면, 언더 버퍼(50)의 높이를 높이(H3)까지 상승시킬 수 있다.
이 상태에서 지주(35, 36)는 사이드 버퍼(30)의 수납 스페이스의 상부 내측 으로 절첩되고, 사이드 버퍼(30)가 원래 차지하고 있었던 스페이스로부터 밖으로 돌출되지 않는다. 그리고 절첩된 지주(35, 36)는 하부 프레임(33) 위의 원래 카세트(20)의 수납 스페이스였던 스페이스에 수납되어 있다.
사이드 버퍼(30)의 하부 프레임(33)은 정장력 스프링(40)에 의해 상향으로 바이어싱되어 있으므로 가벼운 힘으로 상측으로 밀어 올릴 수 있다. 그리고 하부 프레임(33)을 소정 위치까지 상승시키면, 도시 생략된 키 등을 이용하여 이 위치에 사이드 버퍼(30)를 고정한다. 혹은 또한, 지주(35, 36)가 소정 각도까지 절곡된 것에 의해, 서로 결합되는 결합 부재와 피결합 부재를 설치하고, 하부 프레임(33)을 소정 높이까지 상승시키면 지주(35, 36)가 서로 결합되도록 해도 된다.
이렇게 해서 사이드 버퍼(30)와 언더 버퍼(50)를 상방으로 격납하면, 통로를 자유롭게 사용할 수 있는 높이가 높이 레벨(H2)까지 상승되어 처리 장치(60) 등의 반출/반입이 용이해진다. 도 4보다 더욱 높은 처리 장치의 반출/반입이 필요할 경우 언더 버퍼(50)를 높이 레벨(H3)까지 퇴피시키도록 하면 된다. 그리고 처리 장치(60) 등의 반출/반입 후에 원래의 상태로 버퍼(30, 50)를 복구시킬 경우, 지주(35, 36) 사이의 결합 등을 해제하고, 하부 프레임(33)을 하강시키면 된다. 하부 프레임(33)의 하강시에 버퍼(30, 50)의 중력의 일부를 정장력 스프링(40)이 지지하므로, 간단하게 하부 프레임(33)을 가공시킬 수 있다. 하부 프레임(33)을 높이 레벨(L1)까지 하강시키면, 사이드 버퍼(30) 등의 자중과 정장력 스프링(40)의 장력의 차에 의해 사이드 버퍼(30)의 모습이 고정된다. 또한 보다 확실하게 고정할 경우, 도시 생략된 키나 결합 수단에 의해 지주(34, 35) 및 지주(35, 36), 지주(36, 37)를 서로 고정하면 된다.
도 6은 제 1의 변형예를 나타내고, 부호 70~72는 사이드 버퍼의 지주이며, 지주(71)를 도 6의 쇄선과 같이 상승시켜서 지주(70)에 포개고, 지주(72)도 마찬가지로 도 6의 쇄선과 같이 지주(70)에 포갠다. 부호 73, 74는 가이드이며, 지주(71, 72)의 상하 이동을 가이드한다. 이렇게 해서 사이드 버퍼를 돌출 없이 상방으로 격납해서 처리 장치 등의 반출/반입을 방해하지 않도록 한다.
도 7은 제 2의 변형예의 사이드 버퍼를 나타내고, 부호 81은 지주이며, 82는 상부 프레임, 83은 하부 프레임이다. 상부 프레임(82)을 따라 지주(81, 81)는 슬라이드 가능하다. 또 하부 프레임(83)은 그 중앙부를 도시 생략된 힌지로 연결하고, 도 7의 쇄선과 같이 절첩할 수 있게 하고 있다. 여기서 지주(81, 81)를 하부 프레임(83)의 중앙 근처에 슬라이드시키면, 하부 프레임(83)이 절첩되어 사이드 버퍼가 차지하는 스페이스를 작게 할 수 있다.
도 8은 제 3의 변형예를 나타내고, 부호 91은 새로운 상부 프레임, 92, 92는 새로운 지주이며, 지주(92, 92)는 상부 프레임(91)에 대하여 슬라이드 가능하고, 도 8의 쇄선 위치와 같이 슬라이드해서 처리 장치 등의 반출/반입용으로 빈 스페이스를 형성할 수 있다.
천정 주행차의 종류나 구조는 임의이다. 또 실시예에서는 언더 버퍼(50)를 사이드 버퍼(30)에 의해 지지했지만, 언더 버퍼(50)를 천정(3)이나 궤도(4) 등으로부터 절첩할 수 있는 지주에 의해 지지해서 사이드 버퍼(30)와 같이 절첩해도 된다. 이 경우 사이드 버퍼(30)를 설치하지 않고, 천정 주행차에는 래터럴 드라이브(7)를 설치하지 않아도 된다.
도 9~도 14에 각종 변형예를 나타낸다. 도 9~도 11의 부호 101, 102는 지주이며, 언더 버퍼를 지지하는 것이여도 사이드 버퍼를 지지하는 것이여도 좋고, 103은 조인트이며, 104는 그 축, 105, 106은 지주(101, 102)로의 부착편이다. 또 도 10의 조인트(108)에서는 핀(109)에 의해 지주(102)로의 부착 강도를 개선하고 있다.
여기서 조인트(103, 108)를 90° 혹은 180° 절곡할 수 있게 하면, 버퍼의 지주(101, 102)를 90° 혹은 180° 절곡할 수 있다. 그리고 도 11과 같이, 버퍼의 지주에 예를 들면 3개의 조인트(103a, 103b, 103c)를 설치하면 버퍼를 상방으로 격납할 수 있다.
도 12는 아코디언(110)을 이용하여 버퍼를 승강시키는 예를 나타내고, 좌측은 아코디언을 전개하여 버퍼를 내린 상태를, 우측은 아코디언을 포개서 버퍼를 격납한 상태를 나타낸다.
도 13은 버퍼(120)를 주행 레일(4)에 직각으로 슬라이드시킨 후에 주행 레일(4)에 평행하게 슬라이드시키는 예를 나타내고, 버퍼(120)의 길이만큼의 통로를 열 수 있다. 또 주행 레일(4)에 직각으로 슬라이드시킨 상태의 버퍼를 120'로 하고, 계속해서 주행 레일(4)에 평행하게 슬라이드시킨 상태의 버퍼를 120"로 해서 나타낸다.
도 14는 버퍼(122)를 축(123)을 중심으로 90° 회전시키는 예를 나타내고, 도면의 좌측은 버퍼(122)의 사용 상태를 평면에서 본 것을 나타내며, 우측은 축(123)을 중심으로 90° 회전시킨 상태를 나타낸다. 이렇게 하면 버퍼의 간극에 통로를 형성할 수 있고, 버퍼를 천정 주행차의 주행 방향을 따라 더욱 슬라이드시켜서 122'의 상태로 하면 넓은 통로를 열 수 있다.
실시예에서는 이하의 효과가 얻어진다.
(1) 사이드 버퍼(30)를 상방으로 격납할 수 있다.
(2) 격납된 사이드 버퍼(30)는 사이드 버퍼(30)가 통상시에 차지하고 있었던 스페이스로부터 밀려나오지 않아 돌출이 없다.
(3) 또 사이드 버퍼(30)의 격납과 연동해서 언더 버퍼(50)도 상방으로 격납할 수 있다.
(4) 하부 프레임(33) 등으로 가해지는 중력을 정장력 스프링(40)에 의해 경감하므로 사이드 버퍼(30)나 언더 버퍼(50)의 승강이 용이해진다. 따라서 버퍼(30, 50)를 용이하게 수용할 수 있고, 또한 용이하게 복구할 수 있다.
도 1은 실시예의 천정 반송 시스템의 정면도이다.
도 2는 실시예의 천정 반송 시스템의 주요부 측면도이다.
도 3은 실시예에서의 버퍼의 지주의 조인트와 그 동작을 나타내는 도면이다.
도 4는 사이드 버퍼를 절첩한 상태에서의 실시예의 천정 반송 시스템의 정면도이다.
도 5는 사이드 버퍼를 절첩한 상태에서의 실시예의 천정 반송 시스템의 주요부 측면도이다.
도 6은 변형예에서의 버퍼의 지주의 신축 기구를 나타내는 도면이다.
도 7은 제 2의 변형예에서의 버퍼의 절첩을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 8은 제 3의 변형예에서의 버퍼의 퇴피를 나타내는 도면이다.
도 9는 조인트의 변형예를 나타내는 도면이며, 상부 좌측은 좌측면을, 상부 우측은 정면을, 하부 좌측은 조인트를 90° 절곡한 상태를, 하부 우측은 조인트를 180° 절곡한 상태를 나타낸다.
도 10은 조인트의 제 2의 변형예를 나타내는 도면이며, 좌측은 좌측면을, 우측은 정면을 나타낸다.
도 11은 변형예의 조인트를 사용한 언더 버퍼를 상방으로 격납한 상태를 실선으로, 언더 버퍼를 하측으로 내린 상태를 쇄선으로 나타낸다.
도 12는 아코디언을 사용한 지주의 신축 기구를 나타내는 도면이다.
도 13은 버퍼의 주행 레일 측방으로의 슬라이드와, 주행 레일을 따른 방향의 슬라이드를 조합시킨 변형예의 주요부 평면도이다.
도 14는 버퍼의 회전과 슬라이드를 사용한 변형예의 주요부 평면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
2 : 천정 반송 시스템 3 : 천정
4 : 궤도 5 : 지주
6 : 천정 주행차 7 : 래터럴 드라이브
8 : θ 드라이브 9 : 승강 구동부
10 : 승강대 12 : 커버
20 : 카세트 22 : 플랜지
30 : 사이드 버퍼 31 : 지주
32 : 상부 프레임 33 : 하부 프레임 34~37 : 지주 38, 39 : 링크
40 : 정장력 스프링 41 : 권취부
50 : 언더 버퍼 52 : 프레임
53 : 지주 54, 55 : 보강편
56, 57 : 부착 부재 58 : 핀
60 : 처리 장치 70~72 : 지주
73, 74 : 가이드 81 : 지주
82 : 상부 프레임 83 : 하부 프레임
91 : 상부 프레임 92 : 지주
101, 102 : 지주 103, 108 : 조인트
104 : 축 105, 106 : 부착편
109 : 핀 110 : 아코디언
120, 122 : 버퍼 123 : 축

Claims (13)

  1. 상방으로부터 매달린 궤도를 따라 천정 주행차를 주행시킴과 아울러, 상기 궤도를 따라 물품을 적재하는 버퍼를 상방으로부터 매단 천정 반송 시스템에 있어서,
    상기 버퍼를 물품의 보관 위치로부터 퇴피 혹은 절첩 가능하게 구성하고,
    상기 버퍼는 상기 궤도의 측방에 설치된 사이드 버퍼와 상기 궤도의 하부에 설치된 언더 버퍼가 연결된 것이며, 상기 사이드 버퍼를 바로 상방으로 격납할 수 있게 구성함과 아울러, 상기 언더 버퍼를 상기 사이드 버퍼와의 연결 부분을 중심으로 해서 회전 가능하게 하여 상방으로 격납할 수 있게 구성한 것을 특징으로 하는 천정 반송 시스템.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 버퍼를 격납했을 때에 상기 버퍼의 수납 스페이스에 상기 버퍼의 일부 부재가 격납되도록 한 것을 특징으로 하는 천정 반송 시스템.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 버퍼에 물품의 적재부와 상기 적재부를 상방으로부터 매다는 지주를 설치하고, 상기 버퍼의 수납 스페이스에 상기 적재부가 격납되도록 한 것을 특징으로 하는 천정 반송 시스템.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 버퍼에 물품의 적재부와 상기 적재부를 상방으로부터 매다는 지주를 설치하고, 상기 지주를 절곡할 수 있게 구성한 것을 특징으로 하는 천정 반송 시스템.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 지주를 상기 적재부측으로 절곡할 수 있게 구성한 것을 특징으로 하는 천정 반송 시스템.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 지주를 상기 적재부 상방으로 절곡할 수 있게 구성한 것을 특징으로 하는 천정 반송 시스템.
  11. 삭제
  12. 제 1 항에 있어서, 상기 천정 주행차의 주위에 처리 장치가 설치되어 있음과 아울러, 상기 버퍼를 물품의 보관 위치로부터 퇴피 혹은 절첩하는 것은 상기 처리 장치의 반출/반입 또는 이동을 행할 때인 것을 특징으로 하는 천정 반송 시스템.
  13. 제 1 항에 있어서, 상기 버퍼를 상방으로 바이어싱하는 바이어싱 수단을 설치한 것을 특징으로 하는 천정 반송 시스템.
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Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4543338B2 (ja) * 2007-11-13 2010-09-15 村田機械株式会社 天井走行車システムとそのバッファの施工方法
TWI461341B (zh) * 2009-03-30 2014-11-21 Ihi Corp 行駛車系統
JP5024337B2 (ja) * 2009-07-29 2012-09-12 村田機械株式会社 搬送システム及び保管装置
KR101359682B1 (ko) * 2010-04-02 2014-02-06 무라다기카이가부시끼가이샤 천장을 주행하는 반송차의 사이드 버퍼 및 반송차 시스템
JP5765549B2 (ja) * 2010-10-04 2015-08-19 株式会社ダイフク 物品搬送装置
JP5273118B2 (ja) * 2010-10-04 2013-08-28 村田機械株式会社 搬送車及び搬送システム
CN103201198B (zh) 2010-11-04 2015-03-11 村田机械株式会社 搬运系统以及搬运方法
JP5229363B2 (ja) * 2010-11-04 2013-07-03 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
JP5382470B2 (ja) * 2010-11-04 2014-01-08 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
JP5750926B2 (ja) * 2011-02-15 2015-07-22 村田機械株式会社 天井搬送車
FI123784B (fi) * 2011-03-25 2013-10-31 Konecranes Oyj Järjestely kuormauselimen heilahduksen vaimentamiseksi nosturissa
JP5590420B2 (ja) * 2011-12-21 2014-09-17 株式会社ダイフク 物品搬送設備
US20130259617A1 (en) * 2012-03-27 2013-10-03 Ming Wang Overhead cartridge placement system
CN104395207B (zh) * 2012-07-26 2016-07-06 村田机械株式会社 桥式行驶车系统以及桥式行驶车系统中的移载控制方法
KR101418812B1 (ko) * 2012-10-31 2014-07-16 크린팩토메이션 주식회사 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치
KR101501257B1 (ko) * 2013-09-30 2015-03-11 크린팩토메이션 주식회사 퍼지 기능을 갖는 이동형 웨이퍼 보관 장치 및 퍼지형 웨이퍼 보관 시스템
JP6160711B2 (ja) * 2014-01-07 2017-07-12 村田機械株式会社 移載装置及び移載装置の制御方法
US10479601B2 (en) * 2014-08-26 2019-11-19 Murata Machinery, Ltd. Sorting system and sorting method
US11045004B2 (en) * 2017-07-14 2021-06-29 Sharp Kabushiki Kaisha Chair with solar panel
CN107933462B (zh) * 2017-11-20 2020-12-11 中车株洲电力机车有限公司 一种车辆辅机的控制方法及装置
US10418263B2 (en) * 2018-01-20 2019-09-17 Boris Kesil Overhead transportation system for transporting objects between multiple work stations
KR102490595B1 (ko) * 2018-06-14 2023-01-20 세메스 주식회사 버퍼 장치
WO2020090288A1 (ja) * 2018-10-29 2020-05-07 村田機械株式会社 天井搬送車及び天井搬送車システム
CN116997518A (zh) * 2021-04-14 2023-11-03 村田机械株式会社 保管架
CN113511451B (zh) * 2021-07-07 2023-03-24 罗伯泰克自动化科技（苏州）有限公司 一种超长多巷道共用的桥式堆垛机

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11276271A (ja) * 1998-03-27 1999-10-12 Matsushita Electric Works Ltd 吊戸棚
JP2005001886A (ja) 2003-05-20 2005-01-06 Asyst Shinko Inc 搬送システム及びそれに用いられる保管装置
JP2005144064A (ja) 2003-11-20 2005-06-09 Matsushita Electric Works Ltd 吊戸棚
JP2005206371A (ja) * 2003-12-26 2005-08-04 Murata Mach Ltd 天井走行車システム

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6476803A (en) 1987-09-16 1989-03-22 Daifuku Kk Foldable rack
JPH01177531U (ko) * 1988-05-27 1989-12-19
JP2987712B2 (ja) * 1990-10-30 1999-12-06 三和シヤッター工業株式会社 可動式天井収納庫
JP2600806Y2 (ja) * 1993-04-22 1999-10-25 京橋工業株式会社 上下可動物体の任意位置停止機構及びそれを用いた可動吊り棚装置
US5623808A (en) * 1996-01-19 1997-04-29 Hk Systems, Inc. Apparatus and method for palletizing and wrapping a load
TW348162B (en) * 1996-09-30 1998-12-21 Murada Kikai Kk Work carrying system
JP4029926B2 (ja) * 2002-01-25 2008-01-09 サンウエーブ工業株式会社 回転式載置台
TWI248192B (en) 2002-10-18 2006-01-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd Semiconductor integrated circuit and its manufacturing method
TWI246501B (en) * 2003-02-03 2006-01-01 Murata Machinery Ltd Overhead traveling carriage system
JP4221603B2 (ja) * 2005-03-31 2009-02-12 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP4394027B2 (ja) * 2005-04-05 2010-01-06 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP2006298566A (ja) * 2005-04-20 2006-11-02 Murata Mach Ltd 天井走行車とそのシステム
JP2007331906A (ja) * 2006-06-16 2007-12-27 Murata Mach Ltd 天井走行車システム

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11276271A (ja) * 1998-03-27 1999-10-12 Matsushita Electric Works Ltd 吊戸棚
JP2005001886A (ja) 2003-05-20 2005-01-06 Asyst Shinko Inc 搬送システム及びそれに用いられる保管装置
JP2005144064A (ja) 2003-11-20 2005-06-09 Matsushita Electric Works Ltd 吊戸棚
JP2005206371A (ja) * 2003-12-26 2005-08-04 Murata Mach Ltd 天井走行車システム

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Publication number Publication date
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