TWI636937B - Temporary storage device and temporary storage method for vehicle - Google Patents

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Abstract

為了增加可暫時保管之載具數量並且免除在局域台車設置載具的橫送機構的必要而設置滑動緩衝區，並且使滑動緩衝區不妨礙暫時保管裝置的搬入及處理裝置的維護。暫時保管裝置是在高架行走車和處理裝置的前面的裝載埠之間暫時保管載具。暫時保管裝置是讓局域台車沿著行走用軌道行走，該行走用軌道是通過裝載埠的正上部並且設置在高架行走車的行走路徑的下方，而且具備滑動緩衝區，該滑動緩衝區是由將載具載置自如的單元、以及使前述單元滑動在前述行走用軌道的正下方的前進位置和行走用軌道的側邊的後退位置之間的導引機構所構成。導引機構是構成在動作位置和退避位置之間移動自如；該動作位置是從行走用軌道往側邊突出；該退避位置是朝側邊的突出長度短且允許高架行走車所進行之與載具的裝載埠之間的移載，行走用軌道是沿著處理裝置的前面而延伸至離開裝載埠的正上部的局域台車的待機位置。

Description

載具的暫時保管裝置與暫時保管方法
本發明是有關收納半導體晶圓等之載具的暫時保管。
為了增加半導體處理裝置的工作效率，所以要求在其裝載埠的附近設置暫時保管裝置(緩衝區)。在此方面申請人於專利文獻1(JP2012-111635)，提案與高架行走車(OHT：Overhead Hoist Transport)的行走用軌道平行並且在其下方，設置局域台車的行走用軌道。而且如果將局域台車和高架行走車雙方可移載的緩衝區，設置在局域台車的行走用軌道的下方並且是裝載埠的正上方以外的部分，可以設置例如四個緩衝區。在緩衝區的數量不足的情況下，可以考慮在高架行走車和局域台車設置載具的橫送機構，在局域台車的行走用軌道的斜下方追加緩衝區。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]JP2012-111635
然而，當在局域台車設置載具的橫送機構時，局域台車的高度增加，且暫時保管裝置所佔有的空間增加。因此發明人探討在局域台車的行走用軌道的正下方的前進位置和行走用軌道的側邊的後退位置之間，設置滑動自如的滑動緩衝區。如此一來，可以以裝載埠的正上部作為前進位置的方式設置滑動緩衝區，且緩衝區的數量增加。再者，局域台車不須要載具的橫送機構。
接著，發明人著眼於滑動緩衝區妨礙暫時保管裝置的搬入、處理裝置的維護等。其原因為滑動緩衝區從局域台車的行走用軌道附近，往側邊例如通道側突出。因此滑動緩衝區必須不妨礙暫時保管裝置的搬入、處理裝置的維護等。
本發明之課題在於提供具下述要點之暫時保管裝置：‧為了增加可暫時保管之載具數量並且免除在局域台車設置載具的橫送機構的必要，而具備滑動緩衝區，‧而且滑動緩衝區不妨礙暫時保管裝置的搬入及處理裝置的維護等。
本發明之暫時保管裝置，是將載具暫時保管在高架行走車和處理裝置的前面的裝載埠之間，具備：局域台車，具備將載具昇降的昇降機；前述局域台車的行走用軌道，是通過裝載埠的正上部並且設置在高架行走車的行走路徑的下方；以及滑動緩衝區，是由將載具載置自如的單元、以及在前述行走用軌道的正下方的前進位置和行走用軌道的側邊的後退位置之間支撐前述單元並且使其滑動的導引機構所構成，前述導引機構是構成在動作位置和退避位置之間移動自如；該動作位置是從前述行走用軌道往側邊突出；該退避位置是比前述動作位置朝側邊的突出長度短且允許高架行走車所進行之與載具的裝載埠之間的移載，前述行走用軌道是沿著處理裝置的前面而延伸至離開裝載埠的正上部的待機位置，前述局域台車是在前述待機位置待機。
再者，本發明之暫時保管方法，是在高架行走車和處理裝置的前面的裝載埠之間，藉由暫時保管裝置將載具暫時保管，前述暫時保管裝置，具備：局域台車，具備將載具昇降的昇降機；前述局域台車的行走用軌道，是通過裝載埠的正上部並且設置在高架行走車的行走路徑的下方；以及滑動緩衝區，是由將載具載置自如的單元、以及在前 述行走用軌道的正下方的前進位置和行走用軌道的側邊的後退位置之間支撐前述單元並且使其滑動的導引機構所構成；以及水平軸，是使滑動緩衝區的導引機構轉動，前述暫時保管方法是
在局域台車無分派作業時，藉由控制器的控制，使局域台車朝前述待機位置移動而待機，並且藉由使滑動緩衝區繞前述水平軸周圍轉動，而讓滑動緩衝區的姿勢在滑動緩衝區的導引機構朝行走用軌道的側邊突出的動作位置、和滑動緩衝區的導引機構朝向高度方向的退避位置之間進行變化。
滑動緩衝區由於可以以裝載埠的正上部為前進位置的方式設置，因而可以比固定的緩衝區設置更多。再者，由於滑動緩衝區的單元進行滑動，因而不須在局域台車設置載具的橫送機構。而且由於局域台車是在裝載埠的正上部以外待機，因而即使局域台車發生故障，高架行走車亦能與裝載埠之間移載載具。此外，即使局域台車藉由機上控制器自發性地朝待機位置移動，或局域台車藉由從暫時保管裝置的控制器(在實施例之緩衝控制器等)來的指令朝待機位置移動皆可。
而且由於滑動緩衝區的單元(例如一個載具大小的棚)可以與導引機構一起退避，因而可以容易使單元和導引機構退避而進行暫時保管裝置的搬入，或容易進行處理裝置的維護、搬出入等。在退避位置上允許高架行 走車所進行之與載具的裝載埠之間的移載。因此，在為了其他處理裝置的維護等必須將通道敞開時，即使讓單元和導引機構退避，亦可以進行裝載埠和高架行走車間的載具的移載。在本說明書中，有關暫時保管裝置的記載亦可照原樣適用在暫時保管方法。
較佳為前述導引機構是以與前述行走用軌道 平行例如水平的軸為中心，轉動自如地安裝在暫時保管裝置的框架，在前述退避位置上前述單元及前述導引機構是以離開前述行走用軌道的正下方的方式構成。當使導引機構和單元一起繞與行走用軌道平行的軸周圍往退避位置轉動時，單元和導引機構從行走用軌道的正下方離開，高架行走車可以朝裝載埠進行移載。再者，在暫時保管裝置中，固定的緩衝區設置於滑動緩衝區以外的情況下，即使讓滑動緩衝區退避，局域台車亦可進行固定緩衝區和裝載埠間的搬運。
再者，較佳為進一步具備控制前述滑動緩衝 區和前述局域台車的控制器，前述控制器是構成為在使前述導引機構朝退避位置移動時，朝高架行走車側的控制器發送主旨為滑動緩衝區無法使用的通知。在此態樣中，在依照處理裝置的維護、搬出入等，使滑動緩衝區的導引機構退避時，藉由以感測器等檢測導引機構的轉動，或藉由操作者輸入，將其主旨輸入暫時保管裝置的控制器。暫時保管裝置的控制器是將其主旨朝高架行走車側的控制器通知。高架行走車側的控制器不將滑動緩衝區指定為搬運目 標，可以使高架行走車所進行的搬運不產生混亂。此外，即使讓滑動緩衝區的導引機構繞與行走用軌道平行的軸周圍轉動，亦不妨礙裝載埠和高架行走車的移載。
較佳為暫時保管裝置是將固定的緩衝區設置 在局域台車的行走用軌道的正下方並且是離開裝載埠的正上部的位置。此外，前述待機位置是位於固定的緩衝區的上部。
較佳為進一步具備將導引機構轉動自如地支 撐的水平軸，在退避位置，導引機構是朝向鉛直方向。如此一來，滑動緩衝區藉由轉動進行退避，退避位置的滑動緩衝區不妨礙與裝載埠的移載，而且較少超出於行走用軌道的側邊。
較佳為暫時保管裝置是進一步具備架台下部 和架台上部；該架台下部是固定在地面側；該架台上部是拆裝自如於前述架台下部且固定有暫時保管裝置的框架；前述行走用軌道和前述導引機構是安裝在前述框架。此外，局域台車是受到行走用軌道支撐，滑動緩衝區的單元是受到導引機構支撐。如此一來，由於可以將暫時保管裝置的框架預先固定在架台上部，因而暫時保管裝置的設置變容易。再者，由於可以將架台的下部預先固定在地面側，因而可以降低搬入時的暫時保管裝置的高度。
2、40、60‧‧‧載具的暫時保管裝置(暫時保管裝置)
4‧‧‧高架行走車的行走用軌道
6‧‧‧處理裝置
7‧‧‧通道
8‧‧‧局域台車的行走用軌道
10‧‧‧局域台車
12‧‧‧滑動緩衝區
11、13‧‧‧框架
14‧‧‧固定緩衝區
15‧‧‧鉸鏈
16‧‧‧裝載埠
17‧‧‧阻尼器
18‧‧‧載具
20‧‧‧光學感測器
21‧‧‧反射板
22‧‧‧緩衝控制器(控制器)
24‧‧‧架台
25、26‧‧‧前面
27‧‧‧上部
28‧‧‧下部
29‧‧‧固定部
30‧‧‧高架行走車(OHT)
32‧‧‧行走部
33‧‧‧橫送機構
34‧‧‧昇降驅動部
35‧‧‧昇降台
36‧‧‧皮帶
38‧‧‧防掉落蓋
62‧‧‧車輪
63‧‧‧昇降驅動部
64‧‧‧昇降台
68‧‧‧導引機構
70‧‧‧基座
71‧‧‧軌道
72‧‧‧單元
73‧‧‧車輪
74‧‧‧定位銷
75‧‧‧載具感測器
76‧‧‧就座感測器
77‧‧‧ID讀取器
78‧‧‧缸體
79‧‧‧活塞
80‧‧‧線性導件
81‧‧‧軌道
82‧‧‧齒形皮帶
83、84‧‧‧感測器
85‧‧‧纜線導件
86、88‧‧‧支架
87‧‧‧銷孔
89‧‧‧銷
100‧‧‧高架行走車控制器
102‧‧‧地圖
第1圖是實施例之載具的暫時保管裝置的俯視圖。
第2圖是實施例之載具的暫時保管裝置的部分切開的側視圖。
第3圖是實施例之載具的暫時保管裝置的部分切開的正面圖。
第4圖是示意性表示將收容能力進一步加大的變形例的俯視圖。
第5圖是示意性表示將收容能力進一步加大的變形例的側視圖。
第6圖是示意性表示對應於較小處理裝置的變形例的俯視圖。
第7圖是局域台車的俯視圖。
第8圖是滑動緩衝區的俯視圖。
第9圖是表示滑動緩衝區的轉動機構的正面圖。
第10圖是表示與緩衝控制器高架行走車側的控制器的關係的圖。
以下表示用於實施本發明之最佳實施例。本發明之範圍，應根據專利申請之範圍的記載，參酎說明書的記載和該領域的周知技術，按照本領域技術人員的理解進行制定。
[實施例]
第1圖至第10圖表示實施例之載具的暫時保 管裝置(暫時保管裝置)2及其變形例。暫時保管裝置2是設置在清淨室內等，從清淨室的頂棚支撐第3圖所示之高架行走車30(OHT)的行走用軌道4。6是半導體等的處理裝置，在處理裝置包含檢查裝置且具備一至複數個裝載埠16。再者，半導體晶圓、光柵等的物品是收納在FOUP(Front-Opening Unified Pod)等的載具18，而暫時保管在滑動緩衝區12、固定緩衝區14，並且藉由高架行走車(OHT)30和局域台車10搬運。
暫時保管裝置2是配置在清淨室內的通道7 上且不會干擾人的高度。在暫時保管裝置2的最上部設置一對的行走用軌道8、8，且在裝載埠16的正上部，局域台車10與處理裝置6的前面平行地沿著行走用軌道8、8行走。在行走用軌道8、8之間有載具18可通過的間隙，使高架行走車30和局域台車10通過行走用軌道8、8的間隙將載具18進行移載。
暫時保管裝置2是具備框架11，滑動緩衝區 12的框架13藉由鉸鏈15，可繞與行走用軌道8平行的水平軸周圍90°轉動自如地安裝於框架11。滑動緩衝區12是在位於行走用軌道8、8的正下方的前進位置、以及從行走用軌道8、8的下部朝側邊離開的後退位置之間進退自如。再者，較佳為滑動緩衝區12以外，將固定緩衝區14設置在行走用軌道8、8的兩端或一端。而且裝載埠16的上部和固定緩衝區14的上部為局域台車10及高架行走 車30的停止位置，固定緩衝區14的上部亦為局域台車10的待機位置。此外，亦可設置滑動緩衝區12來替代固定緩衝區14，而不設置固定緩衝區14。由於以除了裝載埠16的上部以外的位置作為局域台車10的待機位置，因而即使局域台車10發生故障，亦不會妨礙裝載埠16和高架行走車30的移載。
框架13是藉由鉸鏈15轉動自如地安裝在框架11，而且框架13可以從第1圖的姿勢向下轉動90°。再者，17是施加向上的力量於框架13的阻尼器，可以例如氣缸或油壓缸構成，或亦可以是彈簧等的簡易構件。再者，驅動所必須之空氣是透過第2圖及第3圖的架台24等進行供給。在使框架13以鉸鏈15為中心轉動時，將框架13及滑動緩衝區12的重力以阻尼器17支撐，容易進行轉動。
20是光學感測器，21是反射板，此些是設在每個停止位置。而且因為與反射板21之間受到遮蔽，而藉由光學感測器20檢測從高架行走車30而來的昇降台、吊持昇降台的皮帶、或昇降台上把持的載具。22是緩衝控制器，負責進行局域台車10的控制和滑動緩衝區12的控制、高架行走車30和局域台車10的互鎖、與高架行走車側的控制器的通訊、及與處理裝置6的通訊。
緩衝控制器22，是‧在裝載埠16、高架行走車30或局域台車10收授載具18時，使收授裝載埠16的正上部的滑動緩衝區12 進行退避，‧在局域台車10與滑動緩衝區12收授載具18時，使滑動緩衝區12前進，‧藉由依照高架行走車30或從該地上控制器來的要求使滑動緩衝區12前進或後退，可以收授載具18，‧在局域台車10沒有作業的情況下，朝固定緩衝區14的上部的待機位置移動且待機。
如第2圖及第3圖所示般，暫時保管裝置2是藉由門形的架台24支撐，架台24的通道7側的前面25是相對於通道7，前進至與裝載埠16的前面26大致相同位置，或位在比前面26靠處理裝置6的位置。因此通道7的寬度W是由裝載埠16的位置來決定，即使設置暫時保管裝置2亦不會讓通道7的寬度W變窄。此外，大致相同是指前面的差為例如±100mm以下，特別是±50mm以下，較佳為前面25、26位在大致相同位置。不過暫時保管裝置2亦可從清淨室的頂棚或高架行走車30的行走用軌道4懸吊。但如果讓架台24支撐暫時保管裝置2而搬入清淨室內進行定位，可以容易設置暫時保管裝置2。而且當不使架台24的前面25比裝載埠16往通道7側前進時，不會使通道7變窄。
架台24是由藉由螺絲等彼此締結的上部27和下部28所構成，下部28藉由安裝部29固定在清淨室的地面等。並且藉由將暫時保管裝置2預先固定在上部27，將上部27固定在下部28上，而設置暫時保管裝置 2。如此一來，可以縮小將暫時保管裝置2搬入清淨室內時的高度。再者，為了藉由將暫時保管裝置2的重心降低來強化耐震性，因此下部28是以較厚的鋼材等構成而予以加重。
將高架行走車30的構造示於第3圖。行走部 32是在行走用軌道4內行走並且支撐橫送機構33，橫送機構33是在行走用軌道4將昇降驅動部34於水平面內往直角方向進行橫向送進。昇降驅動部34是將皮帶36等的懸吊構件送出及捲取，讓將載具18夾緊及放開自如的昇降台35進行昇降。昇降驅動部34、昇降台35、及皮帶36是構成昇降機。而且前述光學感測器20是檢測昇降機及昇降機所支撐的載具。38是防止載具18掉落的防掉落蓋，除此之外亦可追加使昇降驅動部34繞鉛直軸周圍轉動的機構。此外，在不具備橫送機構33的高架行走車，是讓滑動緩衝區12朝行走用軌道8、8的下部前進進行移載。
第1圖至第3圖的暫時保管裝置2具備四個 滑動緩衝區12，兩個固定緩衝區14，且具備處理裝置6的裝載埠16例如四個。對此，相對於四個裝載埠16，將載具18的收容能力擴至最大的暫時保管裝置40示於第4圖、第5圖。在暫時保管裝置40中，固定緩衝區14是設置在比滑動緩衝區12低了載具的高度一層大小的位置(第5圖)，此結果增加了暫時保管裝置40所占有的高度。滑動緩衝區12是設置在行走用軌道8、8的兩側，離 開裝載埠16的滑動緩衝區12’亦以前進的方式設置在固定緩衝區14的上部。此結果，可以設置八個滑動緩衝區12，四個離開裝載埠16的滑動緩衝區12’，兩個固定緩衝區14，而且固定緩衝區14的上部是局域台車10的待機位置。
第6圖是表示對應於小型的處理裝置6’的收 容能力較小的暫時保管裝置60。處理裝置6’具備兩個裝載埠16，暫時保管裝置60具備四個滑動緩衝區，而且將離開裝載埠16的滑動緩衝區12’的上部作為局域台車10的待機位置。此外，若如第5圖般設計可以追加兩個固定緩衝區14，但暫時保管裝置60所占有的高度增加。
第7圖是表示局域台車10的構造。局域台車 10是沿著一對的行走用軌道8、8，藉由車輪62和未圖示的馬達進行行走，而且藉由昇降驅動部63和未圖示的皮帶等，讓將載具18夾緊及放開自如的昇降台64昇降。局域台車10除此之外具備：與緩衝控制器22的通訊裝置、以及與高架行走車30之互鎖用的終端的通訊裝置、電池等的電源、機上的控制器。
第8圖是表示滑動緩衝區12的構造，滑動緩 衝區12是由單元72以及使單元72在前進位置和後退位置之間前進後退的導引機構68所構成。70是導引機構68的基座且固定在框架13，單元72沿著軌道71、71在前進位置和後退位置之間藉由車輪73進行前進後退。此外，前進位置是在局域台車的行走用軌道的正下方，後退 位置是從該處離開的位置。設置在單元72，例如三個定位銷74是將載具18的底部予以定位。載具感測器75是檢測載具18的有無，就座感測器76是檢測載具18就座在定位銷74上的正確位置，ID讀取器77是讀取載具的ID。此外，ID讀取器77亦可不設置，感測器75、76和ID讀取器77在固定緩衝區亦同樣設置。
藉由氣壓缸、油壓缸等的缸體78和活塞79， 或藉由未圖示的馬達和齒形皮帶等，讓線性導件80沿著軌道81前進退後。藉由由齒形皮帶82等構成的倍速機構，以線性導件80兩倍的行程讓單元72前進退後。此外，該倍速機構是廣泛使用滑動撥叉，另外單元72的前進退後的機構則任意。感測器83是檢測線性導件80位在後退位置的狀態，感測器84是檢測位在前進位置的狀態，纜線導件85是將電源線和訊號線彎曲自如地導引，且將感測器75、76和ID讀取器77連接於基座70側。感測器83、84的作用是檢測單元72的位置，亦可在軌道71安裝檢測單元的前端位置的光學感測器和檢測後端位置的光學感測器等。
如第9圖所示般，框架13和滑動緩衝區12 是以鉸鏈15為中心在水平姿勢(實線)和鉛直姿勢(鏈線)之間90°轉動自如。而且第8圖的86是設置在軌道71的前端的支架且具備銷孔87。回到第9圖，通常時候是將支架86重疊在框架11側的支架88，以銷89等將支架86固定在支架88。退避時是將銷89抽出，以鉸鏈15 為中心讓框架13和滑動緩衝區12一起轉動。由於在退避位置上滑動緩衝區12是從行走用軌道8、8間的間隙退避，因而高架行走車可以與裝載埠之間移載載具。雖然在實施例中滑動緩衝區12是逆時針進行退避，但亦可順時針轉動進行退避。再者，雖然讓框架13和全部的滑動緩衝區12一併轉動，但亦可構成為讓各個滑動緩衝區12分別進行轉動。
當要將框架13和滑動緩衝區12合在一起 時，以人手轉動的話會有過重的情形。因此藉由阻尼器17施加向上的力量於框架13，可以容易以人手將框架13和滑動緩衝區12進行轉動。
第10圖是表示緩衝控制器22和高架行走車 控制器102的關係。高架行走車控制器100是將行走路徑的地圖102記憶在記憶體，在地圖102一併記載有滑動緩衝區12的位置和代替的搬運目標。當使滑動緩衝區退避時，緩衝控制器22是將滑動緩衝區為無法使用(Disable)的主旨予以通知，高架行走車控制器100是將其主旨轉錄於地圖102。而且將以暫時保管裝置2作為搬運目標的指令，變更為往代替的搬運目標的指令。此外，在未登記代替的搬運目標的情況下，從地圖102決定代替的搬運目標。如此一來，即使隨著處理裝置的維護等，臨時無法使用滑動緩衝區，亦不會在高架行走車所進行的搬運上發生混亂。
在實施例中可獲得以下的效果。
1)藉由滑動緩衝區12，可以保管多數的載具。
2)局域台車10是不須要載具的橫送機構，而且可以在不妨礙裝載埠和高架行走車間的移載的位置待機。
3)由於可以在暫時保管裝置2的搬入、處理裝置的維護、搬出入等時使滑動緩衝區12退避，因而容易作業。
4)即使使滑動緩衝區12退避，高架行走車和局域台車10可以與裝載埠之間移載載具。
5)藉由阻尼器17，可以容易將滑動緩衝區12以人手轉動。
6)當使滑動緩衝區12退避時，由於將其主旨朝高架行走車側的控制器進行通知，因而不會在高架行走車所進行的搬運上發生混亂。
7)由於將暫時保管裝置2藉由架台24從地面側予以支撐，因而暫時保管裝置2的設置不伴隨高處作業。
8)由於架台24不比裝載埠往通道7側前進，因而不會因暫時保管裝置2使通道7變窄。
9)當將架台24分成上下兩半時，暫時保管裝置2的搬入變得容易。
在實施例中，導引機構68和單元72是藉由 以鉸鏈15繞水平軸周圍轉動而得以進行退避，但退避機構的構造則可任意。再者，暫時保管裝置2亦可不藉由架台24而藉由高架行走車的行走用軌道4等從頂棚側支撐。

Claims (5)

  1. 一種暫時保管裝置，其係將載具暫時保管在高架行走車和處理裝置的前面的裝載埠之間，具備：局域台車，具備將載具昇降的昇降機；前述局域台車的行走用軌道，是通過裝載埠的正上部並且設置在高架行走車的行走路徑的下方；以及滑動緩衝區，是由將載具載置自如的單元、以及在前述行走用軌道的正下方的前進位置和行走用軌道的側邊的後退位置之間支撐前述單元並且使其滑動的導引機構所構成，前述導引機構是構成在動作位置和退避位置之間移動自如；該動作位置是從前述行走用軌道往側邊突出；該退避位置是比前述動作位置朝側邊的突出長度短且允許高架行走車所進行之與載具的裝載埠之間的移載，前述行走用軌道是沿著處理裝置的前面而延伸至離開裝載埠的正上部的待機位置，前述局域台車是在前述待機位置待機，前述導引機構是以與前述行走用軌道平行的軸為中心，與前述單元一起轉動自如地安裝在暫時保管裝置的框架，在前述退避位置上前述單元及前述導引機構是以離開前述行走用軌道的正下方的方式構成。
  2. 如申請專利範圍第1項之暫時保管裝置，其中進一步具備控制前述滑動緩衝區和前述局域台車的控 制器，前述控制器是構成為在使前述導引機構朝退避位置移動時，朝高架行走車側的控制器發送主旨為滑動緩衝區無法使用的通知。
  3. 如申請專利範圍第1項之暫時保管裝置，其中進一步具備將前述導引機構轉動自如地支撐的水平軸，在前述退避位置，前述導引機構是朝向鉛直方向。
  4. 如申請專利範圍第1、2或3項之暫時保管裝置，其中進一步具備架台下部和架台上部；該架台下部是固定在地面側；該架台上部是拆裝自如於前述架台下部且固定有暫時保管裝置的框架，前述行走用軌道和前述導引機構是安裝在前述框架。
  5. 一種暫時保管方法，是在高架行走車和處理裝置的前面的裝載埠之間，藉由暫時保管裝置將載具暫時保管，前述暫時保管裝置，具備：局域台車，具備將載具昇降的昇降機；前述局域台車的行走用軌道，是通過裝載埠的正上部並且設置在高架行走車的行走路徑的下方；滑動緩衝區，是由將載具載置自如的單元、以及在前述行走用軌道的正下方的前進位置和行走用軌道的側邊的後退位置之間支撐前述單元並且使其滑動的導引機構所構成；以及 水平軸，是使滑動緩衝區的導引機構轉動，前述暫時保管方法是在局域台車無分派作業時，藉由控制器的控制，使局域台車朝待機位置移動而待機，並且藉由使滑動緩衝區繞前述水平軸周圍轉動，而讓滑動緩衝區的姿勢在滑動緩衝區的導引機構朝行走用軌道的側邊突出的動作位置、和滑動緩衝區的導引機構朝向高度方向的退避位置之間進行變化。
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106463442B (zh) * 2014-06-19 2019-11-05 村田机械株式会社 载具的临时保管装置以及临时保管方法
EP3336018B1 (en) * 2015-08-14 2021-12-15 Murata Machinery, Ltd. Conveyance system
WO2017098805A1 (ja) * 2015-12-08 2017-06-15 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
CN110235235B (zh) * 2017-04-06 2023-01-06 村田机械株式会社 桥式输送车系统以及示教单元
CN108962804B (zh) * 2017-05-19 2021-08-10 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 一种不间断式进片回片装置及控制方法
CN108449898B (zh) * 2018-03-23 2021-01-05 苏州佳世达电通有限公司 电子装置及支架
SG11202110216XA (en) * 2019-03-22 2021-10-28 Murata Machinery Ltd Transport vehicle system

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW201033098A (en) * 2009-03-03 2010-09-16 Murata Machinery Ltd Transfer system
KR20110027935A (ko) * 2009-09-11 2011-03-17 세메스 주식회사 기판 처리 장치
TW201116469A (en) * 2009-05-18 2011-05-16 Crossing Automation Inc Integrated systems for interfacing with substrate container storage systems

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4796024B2 (ja) * 2007-08-30 2011-10-19 東京エレクトロン株式会社 容器交換システム及び容器交換方法
CN101630634A (zh) * 2008-06-30 2010-01-20 因特维克有限公司 用于基板传输的系统和方法
KR101015225B1 (ko) * 2008-07-07 2011-02-18 세메스 주식회사 기판 처리장치 및 이의 기판 이송 방법
JP5445015B2 (ja) * 2009-10-14 2014-03-19 シンフォニアテクノロジー株式会社 キャリア移載促進装置
JP5429570B2 (ja) * 2010-03-08 2014-02-26 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5229363B2 (ja) * 2010-11-04 2013-07-03 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW201033098A (en) * 2009-03-03 2010-09-16 Murata Machinery Ltd Transfer system
TW201116469A (en) * 2009-05-18 2011-05-16 Crossing Automation Inc Integrated systems for interfacing with substrate container storage systems
KR20110027935A (ko) * 2009-09-11 2011-03-17 세메스 주식회사 기판 처리 장치

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