CN116997518A - 保管架 - Google Patents

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CN116997518A
CN116997518A CN202280021397.5A CN202280021397A CN116997518A CN 116997518 A CN116997518 A CN 116997518A CN 202280021397 A CN202280021397 A CN 202280021397A CN 116997518 A CN116997518 A CN 116997518A
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CN
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rack
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lifting unit
support column
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CN202280021397.5A
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阿竹秀和
横山裕之
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Murata Machinery Ltd
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
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    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • B65G1/14Stack holders or separators
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders

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Abstract

保管架具备基座框架、以及相对于基座框架向上方移动自如的架部。基座框架能够载置提升单元,该提升单元能够相对于基座框架拆装,架部具有供提升单元的钩卡合的被卡合部。

Description

保管架
技术领域
本公开涉及用于保管容器的保管架。
背景技术
以往,已知有如下技术:作为用于保管容器的保管架,通过卷取部卷取恒定张力弹簧,由此折叠支柱,使暂存区从保管位置退避。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2008-169005号公报
发明内容
发明要解决的课题
在上述以往的保管架中,用于使暂存区(架部)向上方移动的卷取部固定于上部框架。即,在设置有多个架部的情况下,在各架部设置卷取部。在这样的构成中,存在保管架整体变大的倾向。此外,在将支柱相互向内侧折叠的构成中,实际上有时难以良好地折叠支柱。为了使架部容易地向上方退避,需要进一步研究。
本公开对能够容易地使架部向上方退避的保管架进行说明。
用于解决课题的手段
本公开的一个方式具备基座框架、以及相对于基座框架向上方移动自如的架部,基座框架能够载置提升单元,该提升单元能够相对于基座框架拆装,架部具有供提升单元的钩卡合的被卡合部。
根据该保管架,相对于基座框架载置与保管架分开准备的提升单元,并使钩与被卡合部卡合而提升,由此能够使架部向上方移动。保管架不具备提升单元,因此与以往相比能够简化构成。由于提升作业(退避作业)本身也简单,因此能够容易地使架部向上方退避。
也可以为,基座框架具有横梁,该横梁在水平方向上分离并且包括载置提升单元的载置面。根据该构成,仅通过在横梁的载置面上载置提升单元并使钩与被卡合部卡合,就完成提升的准备,因此,提升作业变得更容易。
也可以为,架部具有沿着上下方向延伸的支承柱,支承柱在上端部包括止挡件,基座框架具有形成有沿着上下方向贯通的插通孔的引导部,当插通到插通孔中的支承柱下降而架部位于下降位置时,引导部制止止挡件(支承柱)的下降。根据该构成,支承柱被引导部引导而向上方滑动自如。当架部位于下降位置时,支承柱的止挡件的进一步的下降被引导部制止,由此支承柱被防脱地保持。
也可以为,在架部的支承柱的下部与基座框架分别设置有当架部位于上升位置时在水平方向上连通的固定件安装用的安装孔。根据该构成,通过安装固定件,能够将架部保持在上升位置。之后,也能够卸下提升单元,并将卸下的提升单元利用于其他保管架的上方移动(退避)。
也可以为,架部具有支承柱,当架部位于下降位置时该支承柱沿着上下方向延伸,并且当架部位于上升位置时该支承柱能够折叠。根据该构成,使架部向上方移动,并且折叠的支承柱体积不大,能够使上升位置处的保管架紧凑。
发明效果
根据本公开,能够容易地使架部向上方退避。
附图说明
图1是表示第1实施方式的保管架和高架行驶车的立体图。
图2是表示提升单元的立体图。
图3是表示在图1的保管架上载置有提升单元的状态的立体图。
图4是表示在图3的保管架中架部位于下降位置的状态的图。
图5是表示在图3的保管架中架部位于上升位置的状态的图。
图6的(a)是表示支承柱相对于基座框架向上方移动的状态的图,图6的(b)是表示在连通的两个安装孔中插通有固定件的状态的图。
图7是表示在第2实施方式的保管架上载置有提升单元的状态的立体图。
图8是表示图7的保管架中的支承柱的转动支点附近的构成的图。
图9是表示在图7的保管架中架部位于下降位置的状态的图。
图10是表示在图7的保管架中架部位于上升位置的状态的图。
图11是表示在第2实施方式的变形例的保管架上载置有提升单元的状态的立体图。
图12是表示在图11的保管架中架部位于下降位置的状态的图。
图13是表示在图11的保管架中架部位于上升位置的状态的图。
具体实施方式
以下,参照附图对本发明的实施方式进行说明。另外,在附图的说明中,对相同的要素标注相同的符号,省略重复的说明。“X方向”、“Y方向”以及“Z方向”的用语是基于图示方向的,是方便用语。
如图1所示,第1实施方式的保管架1例如沿着构成半导体制造工厂的半导体输送系统S的高架行驶车3的轨道5配置。高架行驶车3沿着在X方向上延伸的轨道5行驶。保管架1暂时保管FOUP或者中间掩膜盒等容器F。保管架1是顶置暂存区(OHB)。保管架1例如是架部20配置在轨道5的侧方的轨侧暂存区(STB)。在该情况下,高架行驶车3在Y方向以及Z方向上移载容器F。另外,保管架1也可以是架部20配置在轨道5的下方的轨下暂存区(UTB)。
各保管架1例如具备:从顶棚悬吊的基座框架10;以及架部20,安装于基座框架10,悬吊在基座框架10的下方。架部20例如能够保管多个容器F。在图1所示的例子中,架部20具有能够载置容器F的4个载置部25。
在保管架1中,架部20相对于基座框架10向上方移动自如。例如,在半导体工厂中,有时铺满多个保管架1。当在工厂内使半导体制造装置等移动时,在保管架1中,为了确保装置的输送路(移动空间),能够使架部20向上方移动而退避。如果是不具有这样的升降机构的保管架,则在使装置移动时,需要暂时卸下保管架并移动到临时放置场所,在装置移动之后进行再次安装等的作业。但是,在本实施方式的保管架1中,不需要这样的卸下以及再次安装等的作业。
保管架1具有伸缩式(滑动式)的构造。架部20相对于基座框架10沿着Z方向(上下方向)滑动。在保管架1的通常使用时,架部20位于下降位置P1(参照图4)。该下降位置P1是架部20的Z方向的可动范围中的最低位置。在需要使架部20退避时,通过后述的方法,使架部20向上方移动而位于上升位置P2(参照图5)。在图4以及图5中,关于作为基座框架10的构成要素的横梁12以及支柱11,用单点划线一并记载有相对于支柱11安装有横梁12的横梁安装面A。该横梁安装面A位于确定的高度。
如图1所示,基座框架10具有在X方向上分离配置并分别沿着Z方向延伸的两对支柱11、在两对支柱11之间在X方向上架设的2根长条框架14、以及架设在各对支柱11的上端部之间并沿着Y方向延伸的横梁12。支柱11例如为金属制,是截面中空的棱柱部件。横梁12例如是槽钢等。在基座框架10的上部,2根横梁12在X方向(水平方向)上分离配置。横梁12包括形成其顶面的水平的载置面12a。
架部20具有在X方向上分离配置并分别沿着Z方向延伸的两对支承柱23、以及固定于两对支承柱23的下端23b(参照图4)并形成多个载置部25的下部框架21。支承柱23例如为金属制,是截面中空的棱柱部件。在X方向上分离的2根支承柱23的下部23a之间架设有防落杆27。此外,在下部框架21的X方向的两端部立起设置有防落板28、28。这些防落杆27以及防落板28位于载置在载置部25上的容器F的侧方以及前后方,防止容器F的落下。
在保管架1中,支承柱23相对于位置被固定的基座框架10在上下方向上滑动移动。基座框架10固定于各支柱11的下端部,固定有向内侧(向在X方向上分离的另一方的支柱11侧)突出的引导部16。各引导部16呈U字状,在U字的开放部嵌入支柱11。在各引导部16形成有沿着Z方向贯通的插通孔17。
架部20的各支承柱23插通到引导部16的插通孔17中,通过引导部16限制X方向以及Y方向的移动,以在Z方向上滑动的方式被引导。支承柱23在比引导部16靠上方突出时,由于位于支柱11的侧方,所以不与支柱11干涉。架部20包括设置于各支承柱23的上端部的止挡件31(也参照图5)。止挡件31例如呈水平延伸的平板状,俯视下的止挡件31的大小大于插通孔17的大小。止挡件31始终位于引导部16的上方,不能通过引导部16。由此,当插通到4个插通孔17中的4根支承柱23下降而架部20位于下降位置P1(参照图4)时,引导部16制止止挡件31的下降。在该状态下,例如支柱11与支承柱23的上端部也可以通过螺栓等固定。架部20在下降位置P1处通过基座框架10防脱地保持并固定。
接着,参照图2~图5对用于使架部20向上方移动的构成进行说明。图2是表示应用于保管架1的提升单元50的立体图。图3是表示在保管架1上载置有提升单元50的状态的立体图。提升单元50是能够相对于保管架1拆装的工具。提升单元50在使架部20向上方移动时或者使架部20向下方移动时,载置在基座框架10的横梁12上。提升单元50能够载置在横梁12的载置面12a上。通过该构成,1台提升单元50能够用于架部20相对于多个保管架1的升降作业。换言之,提升单元50的台数不需要保管架1的台数那么多。多个保管架1中共用的提升单元50有助于设备整体的成本的降低。
如图2所示,提升单元50具有主框架51、固定于主框架51的两端部的纵向部件52及横向部件53、经由连结部54与主框架51连结的起重机56、链条57以及钩58。提升单元50的起重机56例如是电动链滑车。虽然省略图示,但在起重机56例如连接有供电缆线等。主框架51、纵向部件52以及横向部件53例如为金属制,是截面中空的棱柱部件。主框架51的长度比在X方向上分离配置的2根横梁12的外侧侧面间的长度长。主框架51具有能够架设于2根横梁12的长度,在载置在载置面12a上时,两端部分别向+X方向以及-X方向(外侧)突出。在该突出的部分安装有一对纵向部件52。一对纵向部件52向-Z方向延伸,限制载置于横梁12的主框架51的X方向的动作。在比纵向部件52的安装位置靠内侧的位置安装有一对横向部件53,在主框架51载置在载置面12a上时,该一对横向部件53横跨在横梁12的载置面12a上。一方的横向部件53从主框架51向+Y方向突出,另一方的横向部件53从主框架51向-Y方向突出。一对横向部件53限制以载置于横梁12的主框架51的轴为中心的旋转方向的动作(倾倒)。另外,纵向部件52以及横向部件53的X方向上的位置也可以自如调整。
环状的连结部54可以固定于主框架51的X方向的中心点,但也可以沿着主框架51移动(或者安装)到任意的位置。在本实施方式中,考虑后述的其他类型的保管架1A、1B,连结部54也可以移动。连结部54的根部在与主框架51嵌合的状态下,能够沿着X方向移动。连结部54通过未图示的紧固部件等固定在所希望的位置。起重机56是电动的,能够进行链条57的提升以及放下(放出)。起重机56例如能够远程操作。另外,起重机56也可以通过手动手柄进行操作。
如图3所示,提升单元50被搬运到需要进行架部20的退避作业的保管架1的设置场所,载置在横梁12的载置面12a上。作业者能够利用设置在保管架1的侧方的未图示的脚手架单元等接近保管架1。在载置提升单元50时,作业者首先将一方的纵向部件52搭挂于横梁12的外侧,在横梁12支承主框架51的一方的端部,接着在另一方的横梁12支承主框架51的另一方的端部。作为棱柱部件的主框架51以稳定的姿势落座在横梁12上。主框架51载置在横梁12的Y方向的大致中央。通过纵向部件52以及横向部件53限制主框架51的动作。仅通过将提升单元50架设在横梁12上,就能够进行提升单元50在X方向以及Y方向上的定位。在Z方向上,通过与后述的被卡合部35的卡合,提升单元50被按压在横梁12上,提升单元50的位置被固定。此时,不特别需要固定件。
另一方面,在下部框架21的X方向以及Y方向的中心部安装有使用了吊环螺栓等的被卡合部35。被卡合部35例如固定于未载置容器F的架部20的重心。作业者使钩58与被卡合部35卡合。如图4所示,由于起重机56悬吊于固定在主框架51的X方向的中心点的连结部54,所以链条57沿着铅垂方向(Z方向)垂下。主框架51借助纵向部件52以及横向部件53仅向上方向的动作未被限制而能够自由动作,但在钩58与被卡合部35卡合而对链条57施加张力的状态下,对主框架51施加架部20的自重。因此,对主框架51施加朝向下方的载荷,主框架51的位置稳定。主框架51以吊起架部20的大致重心的位置的方式对位。
接着,当通过起重机56提升链条57时,如图5所示,架部20相对于基座框架10向上方移动。在防落杆27与基座框架10的长条框架14抵接或者即将抵接之前,架部20的移动停止。如图6的(a)以及图6的(b)所示,例如,在支承柱23的下部23a与支柱11分别设置有在架部20位于上升位置P2时在X方向(水平方向)上连通的第1安装孔33以及第2安装孔18。在支承柱23的两个第1安装孔33与支柱11的两个第2安装孔18在水平方向上排列成一条直线的时刻,准备另外的固定销40,其棒状部41插通到第1安装孔33以及第2安装孔18中(参照图6的(b))。该固定销40是固定件,第1安装孔33以及第2安装孔18是固定件安装用的安装孔。固定销40例如具有锁定机构,成为在一旦插通到第1安装孔33以及第2安装孔18中之后不容易拔出的构造。固定销40支承位于上升位置P2的架部20的重量。
根据本实施方式的保管架1,相对于基座框架10载置与保管架1分开准备的提升单元50,使钩58与被卡合部35卡合而提升链条57,由此能够使架部20向上方移动。保管架1不具备提升单元50,因此与以往相比能够简化构成。提升作业(退避作业)本身也简单,因此,能够容易地使架部20向上方退避。另外,在保管架1中,当架部20位于上升位置P2时,支承柱23相比于横梁安装面A向上方较大地突出。由于支承柱23的全长的大部分(或者一半以上)从横梁安装面A突出,因此优选在基座框架10的上方能够确保充分的间隙的状况下应用保管架1。
基座框架10具有横梁12,该横梁12在X方向上分离并且包括载置提升单元50的载置面12a。仅通过在横梁12的载置面12a上载置提升单元50,并使钩58与被卡合部35卡合,就完成提升的准备,因此,提升作业变得更容易。
基座框架10的引导部16当插通到插通孔17中的支承柱23下降而架部20位于下降位置P1时制止止挡件31的进一步下降。支承柱23被引导部16引导而上下滑动自如。当架部20位于下降位置P1时,支承柱23的止挡件31被引导部16制止,由此支承柱23被防脱地保持。
在支承柱23的下部23a与基座框架10分别设置有当架部20位于上升位置P2时在水平方向上连通的固定件安装用的第1安装孔33以及第2安装孔18。通过将固定销40安装于基座框架10以及架部20,能够将架部20保持在上升位置P2。因此,在该状态下,能够卸下提升单元50,提升单元50能够利用于其他保管架1的上方移动(退避)。
接着,参照图7~图10对第2实施方式的保管架1A进行说明。图7所示的保管架1A与图3所示的先前的实施方式的保管架1的不同之处在于,代替包括长条框架14的基座框架10而具备基座框架10A这点、以及代替包括滑动式(伸缩式)的支承柱23的架部20,而具备包括可折叠的4根支承柱60的架部20A这点,在该基座框架10A中,省略了长条框架14,4根支柱11经由上转动支点63a能够转动地与架部20连结。在基座框架10A中,支柱11以及横梁12也可以是与基座框架10的支柱11以及横梁12相同的构成。此外,在架部20A中,在4根上柱部件63之间架设有4根加强板64。4根加强板64安装在相同的高度,呈长方形,通过规定上柱部件63间的间隔来加强架部20A。
架部20A的支承柱60包括固定于下部框架21且在Z方向上立起设置的下柱部件61、下端经由下转动支点61a与下柱部件61的上端连结的中柱部件62、以及下端经由中转动支点62a与中柱部件62的上端连结的上柱部件63。下柱部件61、中柱部件62以及上柱部件63例如为金属制,是截面中空的棱柱部件。上柱部件63的上端经由上转动支点63a与支柱11的下端连结。图8是表示支承柱60的中转动支点62a附近的构成的图。如图8所示,中转动支点62a具有沿着Y方向延伸的转动轴线L。下转动支点61a以及上转动支点63a也具有沿着Y方向延伸的转动轴线L。以这些平行的3根转动支点为中心,连结的2根柱部件相对地转动。中柱部件62的长度与上柱部件63的长度相等。此外,防落杆27在下转动支点61a与支承柱60连结。
当架部20位于下降位置P1时,如图8以及图9所示,中柱部件62经由横跨两部件的平板状的固定板66,通过朝向X方向的上固定螺栓68以及下固定螺栓67固定于上柱部件63。在下柱部件61与中柱部件62之间以及上柱部件63与支柱11之间也设置有相同的固定构造。另一方面,在使架部20向上方移动时,相对于任一方的柱部件的固定螺栓被卸下,固定被解除,以允许连结的2根柱部件的相对转动。如图9所示,中转动支点62a处的固定板66安装于-X侧的侧面,下转动支点61a以及上转动支点63a处的固定板66安装于+X侧的侧面。由此,4根支承柱60的任一个都向相同的方向折弯(折叠)。例如,中转动支点62a的部分转动而向图9所示的右侧突出。
在对架部20A实施提升作业的情况下,如图9所示,连结部54例如固定在比主框架51的X方向的中心点偏向-X侧的位置。换言之,连结部54的位置从X方向的中心点向中转动支点62a的部分突出的一侧变更,固定在适当的位置。因此,链条57向相对于铅垂方向(Z方向)形成角度的方向(倾斜的方向)垂下。当通过起重机56提升链条57时,在各转动支点处,提供转动的契机(向转动的方向施加力),各支承柱60折叠。然后,如图10所示,架部20A相对于基座框架10A向上方移动。在上柱部件63与下柱部件61抵接、中柱部件62与支柱11抵接的时刻,架部20的移动停止。通过折叠而突出的中转动支点62a的部分收纳在比下部框架21的X方向的端部靠内侧的位置。在架部20A向上方移动而位于上升位置P2、支承柱60折叠的状态下,下转动支点61a及上转动支点63a的部分、即下柱部件61的上端部与支柱11的下端部也可以通过一张固定板(平板部件)接合而相互固定。因此,在该状态下,能够卸下提升单元50,提升单元50能够利用于其他保管架1A的上方移动(退避)。此外,由于中柱部件62与上柱部件63的长度相等,所以架部20A沿着在Z方向上笔直的轨迹向上方移动。在向该上方的移动过程中,加强板64以及防落杆27不会妨碍彼此的柱部件的移动,因此不需要卸下加强板64以及防落杆27。
通过第2实施方式的保管架1A,也能够起到与保管架1相同的作用、效果。保管架1A不具备提升单元50,因此与以往相比能够简化构成。提升作业(退避作业)本身也简单,因此能够容易地使架部20向上方退避。
此外,使架部20A向上方移动,并且以缩放构造折叠的支承柱60体积不大,能够使上升位置P2处的保管架1A紧凑。如保管架1那样,在上升位置P2处支承柱23不会突出到横梁安装面A的上方,架部20A收纳在比横梁安装面A靠下方的位置。此外,突出的中转动支点62a的部分收纳在比下部框架21的X方向的端部靠内侧的位置,因此,保管架1A在占地面积方面是有利的。例如,即使在多个保管架1A在X方向上以较小的间隔设置的情况下,也能够防止在折叠时彼此干涉。
接着,参照图11~图13对第2实施方式的变形例的保管架1B进行说明。图11所示的保管架1B与图7所示的先前的实施方式的保管架1A的不同之处在于,代替经由分别具有1根转动轴线L的转动支点将各柱部件连结的架部20A,而具备经由分别具有2根转动轴线的下转动支点61b、中转动支点62b以及上转动支点63b将下柱部件61与中柱部件62、中柱部件62与上柱部件63以及上柱部件63与(基座框架10B的)支柱11连结的架部20B这点。如图12所示,在下转动支点61b、中转动支点62b以及上转动支点63b处,代替架部20A的固定板66而安装截面U字状的连结板69。固定螺栓与固定板66的情况不同,朝向Y方向且与转动轴线平行。根据该连结板69以及连结构造,在中柱部件62以及上柱部件63折叠时,不需要卸下固定螺栓。在保管架1B中,也可以在支承柱60折叠的状态下,不通过上述固定板(平板部件)进行固定。
根据变形例的保管架1B,也起到与保管架1A相同的作用、效果。保管架1B不具备提升单元50,因此与以往相比能够简化构成。由于提升作业(退避作业)本身也简单,所以能够容易地使架部20向上方退避。此外,突出的中转动支点62b的部分收纳在比下部框架21的X方向的端部靠内侧的位置,因此,保管架1B在占地面积方面是有利的。在架部20B中,各转动支点具有2根转动轴线,因此,在考虑将架部20的升降高度设为恒定的情况下,图12所示的支承柱60的Z方向的长度比架部20A长。在Z方向的限制不严格的状况下,容易发挥不需要卸下固定螺栓的保管架1B的优点。
以上,对本公开的实施方式进行了说明,但本发明并不限定于上述实施方式。例如,提升单元50也可以载置在基座框架10中的与横梁12不同的部分。也可以适当变更基座框架10的构成。架部中的支承柱的平面配置也可以适当变更。
架部位于上升位置P2时的固定构造并不限定于上述实施方式。
符号的说明
1、1A、1B:保管架;10、10A、10B:基座框架;12:横梁;12a:(提升单元的)载置面;20、20A、20B:架部;16:引导部;17:插通孔;18:第2安装孔;23:支承柱;23a:下部;31:止挡件;33:第1安装孔;35:被卡合部;40:固定销(固定件);50:提升单元;58:钩;60:(可折叠的)支承柱。

Claims (5)

1.一种保管架,具备:
基座框架;以及
架部,相对于上述基座框架向上方移动自如,
上述基座框架能够载置提升单元,该提升单元能够相对于上述基座框架拆装,
上述架部具有供上述提升单元的钩卡合的被卡合部。
2.根据权利要求1所述的保管架,其中,
上述基座框架具有横梁,该横梁在水平方向上分离并且包括载置上述提升单元的载置面。
3.根据权利要求1或2所述的保管架,其中,
上述架部具有沿着上下方向延伸的支承柱,上述支承柱在上端部包括止挡件,
上述基座框架具有形成有沿着上述上下方向贯通的插通孔的引导部,
当插通到上述插通孔中的上述支承柱下降而上述架部位于下降位置时,上述引导部制止上述止挡件的下降。
4.根据权利要求3所述的保管架,其中,
在上述架部的支承柱的下部与上述基座框架分别设置有当上述架部位于上升位置时在水平方向上连通的固定件安装用的安装孔。
5.根据权利要求1或2所述的保管架,其中,
上述架部具有支承柱,当上述架部位于下降位置时该支承柱沿着上下方向延伸,并且当上述架部位于上升位置时该支承柱能够折叠。
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