KR20070120020A - 천정 주행차 시스템 - Google Patents

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KR20070120020A
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무라타 기카이 가부시키가이샤
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Abstract

주행 레일(20,21)을 상하에 설치하고, 상층의 주행 레일(20)로부터 천정 주행차(32)가 액세스 가능한 버퍼(28,26)와 하층의 주행 레일(21)로부터 액세스 가능한 버퍼(29)를 설치한다. 또한 주행 레일(20,21)을 접속하는 승강로를 설치한다.
버퍼의 수를 늘림과 아울러, 천정 주행차는 상하 어느 버퍼에나 액세스할 수 있다.

Description

천정 주행차 시스템{OVERHEAD TRAVELING VEHICLE SYSTEM}
도1은 실시예의 천정 주행차 시스템에서의 상하의 주행 레일을 모식적으로 나타내는 사시도.
도2는 실시예의 천정 주행차 시스템의 주요부 정면도.
도3은 실시예의 천정 주행차 시스템의 주요부 평면도.
도4는 변형예의 천정 주행차 시스템의 주요부 정면도.
도5는 제2변형예의 천정 주행차 시스템의 주요부 정면도.
(부호의 설명)
2:천정 주행차 시스템
4:상층 주행 루트
6:하층 주행 루트
7,8:승강로
10:분기부
12:합류부
14:로드 포트
15:처리장치
20:상층 주행 레일
21:하층 주행 레일
22,23:암
24,25,30:지주
26,27,52:언더 버퍼
28,29:사이드 버퍼
32:천정 주행차
34:가로 이동부
36:승강 구동부
38:승강대
40:물품
42,43:암
44:핀
46,48:사이드 버퍼
본 발명은 천정 주행차 시스템에 관한 것으로, 특히 버퍼의 증설에 관한 것이다.
천정 주행차의 주행 레일의 측방이나 하방에 버퍼를 설치하는 것이 알려져 있다(특허문헌1). 여기에서 발명자는 버퍼의 수를 더 늘리는 것을 검토해서 본 발 명에 이르렀다.
(특허문헌1) 일본 특허공개 2005-206371호 공보
본 발명의 과제는, 천정 주행차가 물품을 반입 및 반출시킬 수 있는 버퍼의 수를 증가시키는 것에 있다. 청구항2, 4의 발명에서의 추가의 과제는, 상층의 주행 레일의 하방에 버퍼를 설치하는 비용을 저감시키는 것에 있다. 청구항3의 발명에서의 추가의 과제는, 상하 각 층의 주행 레일의 측방에 버퍼를 설치하는 비용을 저감시키는 것에 있다.
본 발명은, 주행 레일을 따라 천정 주행차를 주행시킴과 아울러, 천정 주행차가 물품을 반입 및 반출시키기 가능한 위치에, 주행 레일을 따라 버퍼를 설치한 천정 주행차 시스템에 있어서, 상기 주행 레일을 적어도 상하 2층으로 배치함과 아울러, 상하의 주행 레일 사이를 천정 주행차가 이동하기 위한 수단을 설치하고, 또한 상기 버퍼를 상하의 주행 레일의 각각에 대해서 설치한 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상층의 주행 레일의 하방에 버퍼를 설치함과 아울러, 상기 하층의 주행 레일과 상기 상층의 주행 레일의 하방의 버퍼를 공통의 지지부재로 지지한다. 또 바람직하게는, 상기 하층의 주행 레일의 상면에, 상기 상층의 주행 레일 하방의 버퍼를 설치한다. 버퍼를 주행 레일의 상면에 설치한다란, 주행 레일의 상면자체를 버퍼로 하는 것이나, 버퍼를 주행 레일의 상면에 부착하는 것을 의미한다. 또 주행 레일의 하방의 버퍼를 언더 버퍼라고 하는 일이 있다.
또 바람직하게는, 상층의 주행 레일의 측방과, 하층의 주행 레일의 측방에, 각각 버퍼를 설치함과 아울러, 상기 각 버퍼를 공통의 지지부재로 지지한다. 또 이하 주행 레일의 측방의 버퍼를 사이드 버퍼라고 하는 일이 있다.
이하에 본 발명을 실시하기 위한 최적 실시예를 나타낸다.
(실시예)
도1∼도5에, 실시예의 천정 주행차 시스템(2)과 그 변형을 나타낸다. 도1에 상하의 주행 루트의 배치를 모식적으로 나타낸다. 천정 주행차 시스템(2)은 예를 들면 클린룸내에 배치되고, 바닥면으로부터 천정면까지의 높이는 예를 들면 4m이상이며, 상층 주행 루트(4)와 하층 주행 루트(6)를 바닥면으로부터의 높이위치를 다르게 해서 상하 예를 들면 2층으로 배치되어 있다. 또 실시예에서는 주행 루트(4,6)를 상하 2층으로 배치하지만, 상중하의 3층이상으로 배치해도 좋다. 주행 루트(4,6)는 승강로(7,8)에 의해 접속되고, 승강로(7)는 하층 주행 루트(6)로부터 상층 주행 루트(4)에의 승강로이며, 승강로(8)는 상층 주행 루트(4)로부터 하층 주행 루트(6)에의 승강로이다. 실시예에서는 천정 주행차가 승강로(7,8)를 자주해서 승강한다. 그러나 승강로(7,8) 대신에, 천정 주행차의 주행 레일을 갖는 엘리베이터를 설치하고, 주행 레일을 따라 천정 주행차가 엘리베이터내에 출입하고, 엘리베이터에 의해 상하의 주행 루트(4,6)를 접속해도 좋다. 10은 합류부, 12는 분기부이다. 그리고 예를 들면 하층 주행 루트(6)로부터 물품을 반입 및 반출시키기 가능한 위치에 도시가 생략된 처리장치의 로드 포트(14)가 있다. 도1에는 나타내지 않았지만, 상하의 주행 루트(4,6) 각각의 하방에 언더 버퍼를, 측방에 사이드 버퍼를 설 치해서 물품을 버퍼한다.
도2에, 로드 포트(14)의 부근에서의, 상층의 주행 레일(20)과 하층의 주행 레일(21)을 나타낸다. 상층의 주행 레일(20)은 상층 주행 루트의 일부이며, 하층의 주행 레일(21)은 하층 주행 루트의 일부이다. 22, 23은 주행 레일(20,21)의 지지용 암이며, 24는 그 지주이며, 하층의 주행 레일(21)의 상면을 상층의 주행 레일(20)의 하방의 언더 버퍼(26)로서 사용한다. 28, 29는 사이드 버퍼이며, 사이드 버퍼(28)는 주행 레일(20)을 주행하는 천정 주행차로부터 물품(40)을 반입 및 반출시키기 가능하며, 사이드 버퍼(29)는 하층의 주행 레일(21)을 주행하는 천정 주행차로부터 물품을 반입 및 반출시키기 가능하다. 30은 지주이며, 사이드 버퍼(28,29)의 공통의 지지부재이다. 42는 사이드 버퍼(28)와 지주(30)를 접속하는 암, 43은 사이드 버퍼(29)와 지주(30)를 접속하는 암이다.
천정 주행차(32)는 도시하지 않은 주행부를 구비하고, 주행부는 주행 레일(20,21)내에 수용되어 있다. 34는 가로 이동부이며, 36은 승강 구동부이며, 물품(40)을 파지/해방 가능한 승강대(38)를 승강시킨다. 그리고 가로 이동부(34)에 의해 승강 구동부(36)∼물품(40)을 가로 이동시켜, 사이드 버퍼(28,29)와의 사이에서 물품을 반입 및 반출시킬 수 있도록 한다.
도3에, 사이드 버퍼(28)와 언더 버퍼(26)의 상면을 나타낸다. 언더 버퍼(26)는 주행 레일(21)의 상면에 설치되고, 44는 물품의 저부를 위치결정하기 위한 핀이며, 주행 레일(21)은 핀(44) 등의 버퍼로서 필요한 부재를 부착한 주행 레일이다. 사이드 버퍼(28,29)는 핀(44) 등을 설치한 판이나 프레임으로 구성되어 있다. 버 퍼(26,28,29) 등에는 핀(44) 등의 위치결정구 이외에, 바코드나 RFID 등의 버퍼의 ID, 버퍼상의 물품의 유무를 천정 주행차(32)가 검출하기 쉽게 하기 위한 반사판 등이 있다.
실시예의 동작을 설명한다. 로드 포트(14)와의 사이에서 물품(40)을 반입 및 반출시키는 경우, 도2와 같이 천정 주행차(32)는 하층의 주행 레일(21)을 따라 주행하고, 승강 구동부(36)에 의해 승강대(38)를 승강시킨다. 이 경우, 상층의 주행 레일(20)을 주행하는 천정 주행차는 로드 포트(14)와의 사이에서 물품의 반입 및 반출이 불가능하므로, 상층의 주행 레일(20)은 바이패스용으로, 하층의 주행 레일(21)은 로드 포트(14)와의 사이의 물품의 반입 및 반출용으로 한다. 상층의 주행 레일(20)에 대해서는 사이드 버퍼(28)와 언더 버퍼(26)를 설치하고, 하층의 주행 레일(21)에 대해서는 사이드 버퍼(29) 이외에, 로드 포트(14)가 없는 위치에서는 도4, 도5에 나타낸 언더 버퍼(27)를 설치한다.
로드 포트(14)로부터 실어진 물품, 또는 로드 포트(14)로 내려질 예정의 물품은 사이드 버퍼(29)나 하층의 주행 레일(21)의 하측의 언더 버퍼에 일시 보관한다. 멀리 있는 로드 포트로 반송할 예정의 물품은, 사이드 버퍼(28)나 언더 버퍼(26)를 중계점으로 해서 일시 보관한다. 또, 주행 레일(20,21)은 도1의 승강로(7,8)에 의해 접속되어 있으므로, 천정 주행차(32)는 어느 주행 레일(20,21)이나 주행할 수 있다. 이러한 결과, 천정 주행차를 사용할 수 있는 주행 루트가 늘어나서, 상층의 주행 루트(4)로 이루어지는 바이패스 루트에 의해 지체의 영향을 받기 어렵고, 또 투입할 수 있는 천정 주행차(32)의 대수가 2배로 늘어나므로, 반송 능 력이 증가한다. 버퍼(26,28,29) 등을 상하 양층의 주행 레일(20,21)에 대해서 설치하므로, 버퍼의 수도 2배로 증가시킬 수 있다. 이 결과, 처리장치(15)로 반입 예정인 물품을 그 로드 포트(14) 부근의 버퍼까지 미리 반송하고, 로드 포트(14)가 비면 빨리 반입시킬 수 있다. 또 로드 포트(14)로부터 반출한 물품을, 다음 행선지의 로드 포트를 이용할 수 없어도 버퍼에 보관함으로써, 로드 포트로부터 빨리 반출시킬 수 있다. 그리고 천정 주행차(32)는 상층의 주행 루트(4)와 하층의 주행 루트(6) 사이를 이동할 수 있으므로, 어느 층의 버퍼나 이용할 수 있다.
실시예에서는 또한, 언더 버퍼(26)를 하층의 주행 레일(21)의 상면에 설치하므로, 그 설치비용을 매우 작게 할 수 있다. 구체적으로는 핀(44)을 설치한 판이나 프레임을 주행 레일(21)의 상면에 부착하기만 해도 된다. 또 사이드 버퍼(28,29)를 상하로 겹쳐 공통의 지주(30)에 의해 지지하므로, 수평방향으로 본 전유면적을 작게 할 수 있고, 또한 설치비용도 작게 할 수 있다.
도4는, 천정 주행차(32)가 좌우 쌍방으로 승강 구동부(36)를 가로 이동할 수 있는 경우의 변형예이다. 이 경우, 상층의 주행 레일(20)부터로도 하층의 주행 레일(21)부터로도 천정 주행차(32)는 승강 구동부(36)를 가로 이동시켜서 로드 포트(14)와의 사이에서 물품(40)을 반입 및 반출시킨다. 이렇게 하면, 하층의 주행 레일(21)의 하측의 공간을 언더 버퍼로 이용할 수 있으므로, 지주(24)를 하측으로 연장시킨 지주(25)를 설치하여 언더 버퍼(27)를 지지시킨다. 또 로드 포트(14)가 없는 영역에서는 도4의 우측에 쇄선으로 나타내듯이, 지주(30)를 설치하여 상층의 주행 레일(20)에 대한 사이드 버퍼(46)를 증설한다. 여기에서, 처리장치(15)와 간 섭하지 않으면, 지주(30)를 더욱 하방으로 연장하여 하층의 주행 레일(21)에 대한 사이드 버퍼를 증설해도 좋다. 특히 지적한 점 이외에는 도4의 변형예는, 도1∼도3의 실시예와 같다.
도5에 제2의 변형예를 나타낸다. 이 변형예에서도, 천정 주행차(32)는 가로 이동부(34)에 의해 승강 구동부(36)를 좌우 쌍방으로 가로 이동시킨다. 그리고 이 변형예에서는, 지주(24)를 이용하여 암(23)의 약간 상방에 언더 버퍼(52)를 설치한다. 또 언더 버퍼(52)를 주행 레일(21)에 의해 지지해도 좋다. 또한 하층의 주행 레일(21)의 하방에 언더 버퍼(27)를 설치한다. 도시하지 않은 처리장치 등과 간섭하지 않는 경우, 주행 레일(20,21)의 처리장치측에도 지주(30)를 설치해서 지주(30)와 암(42,43)에 의해 상하 2층의 사이드 버퍼(46,48)를 지지한다.
실시예에서는 이하의 효과가 얻어진다.
(1)상하 2층의 주행 루트(4,6)가 있고, 천정 주행차(32)는 승강로(7,8)에 의해 어느 주행 루트나 이용할 수 있으므로, 물품(40)의 반송 능력이 향상된다.
(2)상하 2층의 주행 루트(4,6)에 대해서 모두 사이드 버퍼(28,29)나 언더 버퍼(26,27) 등을 설치하므로 버퍼의 수를 늘릴 수 있다.
(3)하층의 주행 루트(6)는 로드 포트(14)와의 사이의 물품의 반입 및 반출에 이용하고, 하측의 사이드 버퍼(29)나 언더 버퍼(27)는 로드 포트(14)와의 사이에서 반입 및 반출시키는 물품의 버퍼로 사용할 수 있다. 상층 주행 루트(4)는 바이패스로 또는 우회로로서 이용하고, 사이드 버퍼(28)나 언더 버퍼(26)는 장거리 반송용의 물품의 중계용의 버퍼로서 사용할 수 있다.
(4)언더 버퍼(26,27,52)는 하층의 주행 레일(21)을 글자 그대로 이용하거나 또는 그 지주(24)를 이용해서 설치할 수 있으므로, 설치비용을 저감시킬 수 있다.
(5)상하의 사이드 버퍼(28,29)는 같은 스페이스에서 공통의 지주(30)에 의해 설치할 수 있으므로, 설치가 용이하며 그 비용도 작다.
실시예에서는 주행 레일(20,21)을 상하로 겹친 예를 나타냈지만, 모든 위치에서 상하로 겹칠 필요는 없고, 예를 들면 천정 주행차의 주행량이 적은 영역에서는 상하 중 어느 1층뿐이어도 좋다. 또 천정 주행차(32)의 가로 이동부(34)가 한쪽에만 승강 구동부(36)를 가로 이동시킬 수 있는 경우, 상층의 주행 레일(20)과 하층의 주행 레일(21)을 부분적으로 평면에서 볼 때 위치를 바꾸어서 배치해도 좋다.
본 발명에서는, 상하 2층의 주행 레일의 각각에 대해서 버퍼를 설치하므로, 버퍼의 수를 늘릴 수 있다. 또 천정 주행차는 상하 2층의 주행 레일 사이를 이동할 수 있으므로, 상하 어느 층의 버퍼나 이용할 수 있다. 따라서 전체적으로, 천정 주행차 시스템의 반송 능력과 물품의 버퍼 능력을 높일 수 있다.
여기에서 하층의 주행 레일과 상층의 주행 레일 하방의 버퍼를 공통의 지지부재로 지지하면, 버퍼의 설치비용을 저감시킬 수 있다. 특히 하방의 주행 레일의 상면에 버퍼를 설치하면, 설치비용을 더욱 저감시킬 수 있다.
또 상층의 주행 레일의 측방과, 하층의 주행 레일의 측방에, 각각 버퍼를 설치함과 아울러, 상기 각 버퍼를 공통의 지지부재로 지지하면, 측방의 버퍼의 설치비용을 저감시킬 수 있다.

Claims (4)

  1. 주행 레일을 따라 천정 주행차를 주행시킴과 아울러, 천정 주행차가 물품을 반입 및 반출시킬 수 있는 위치에 주행 레일을 따라 버퍼를 설치한 시스템에 있어서,
    상기 주행 레일을 적어도 상하 2층으로 배치함과 아울러, 상하의 주행 레일 사이를 천정 주행차가 이동하기 위한 수단을 설치하고,
    또한 상기 버퍼를 상하의 주행 레일의 각각에 대해서 설치한 것을 특징으로 하는 천정 주행차 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상층의 주행 레일의 하방에 버퍼를 설치함과 아울러, 상기 하층의 주행 레일과 상기 상층의 주행 레일의 하방의 버퍼를 공통의 지지부재에 의해 지지하는 것을 특징으로 하는 천정 주행차 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 하층의 주행 레일의 상면에 상기 상층의 주행 레일 하방의 버퍼를 설치한 것을 특징으로 하는 천정 주행차 시스템.
  4. 제1항에 있어서, 상층의 주행 레일의 측방과 하층의 주행 레일의 측방에 각각 버퍼를 설치함과 아울러, 상기 각 버퍼를 공통의 지지부재에 의해 지지하는 것을 특징으로 하는 천정 주행차 시스템.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190023531A (ko) 2017-08-29 2019-03-08 세메스 주식회사 이송 장치
KR20210013879A (ko) * 2019-07-29 2021-02-08 세메스 주식회사 반도체 제조 설비용 이송 장치
KR20210042379A (ko) * 2018-11-06 2021-04-19 무라다기카이가부시끼가이샤 천장 매달림 선반
KR20210106550A (ko) * 2019-01-25 2021-08-30 무라다기카이가부시끼가이샤 보관 시스템

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4688824B2 (ja) * 2007-01-12 2011-05-25 村田機械株式会社 天井走行車システム及び天井走行車システムの周囲の処理装置の搬出入方法
JP2010184760A (ja) * 2009-02-10 2010-08-26 Muratec Automation Co Ltd 移載システム
JP4807424B2 (ja) * 2009-03-17 2011-11-02 村田機械株式会社 天井搬送システムと物品の移載方法
JP5445015B2 (ja) * 2009-10-14 2014-03-19 シンフォニアテクノロジー株式会社 キャリア移載促進装置
JP5429570B2 (ja) 2010-03-08 2014-02-26 株式会社ダイフク 物品搬送設備
EP2554494B1 (en) * 2010-04-02 2020-02-05 Murata Machinery, Ltd. Side buffer for a transport vehicle that travels along the ceiling, and transport vehicle system
JP5229363B2 (ja) * 2010-11-04 2013-07-03 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
KR101533366B1 (ko) 2010-11-04 2015-07-02 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템 및 반송 방법
JP5382470B2 (ja) * 2010-11-04 2014-01-08 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
TWI447058B (zh) * 2011-11-30 2014-08-01 Inotera Memories Inc 天車輸送系統及其運轉方法
CN104395207B (zh) * 2012-07-26 2016-07-06 村田机械株式会社 桥式行驶车系统以及桥式行驶车系统中的移载控制方法
EP3336018B1 (en) * 2015-08-14 2021-12-15 Murata Machinery, Ltd. Conveyance system
WO2018003287A1 (ja) 2016-06-27 2018-01-04 村田機械株式会社 搬送システム
DE102017119928A1 (de) * 2016-09-27 2018-03-29 Westfalia Intralogistic Gmbh Logistiksystem
JP6766584B2 (ja) * 2016-10-19 2020-10-14 株式会社ダイフク 物品搬送設備
WO2018088089A1 (ja) * 2016-11-08 2018-05-17 村田機械株式会社 天井搬送車、及び天井搬送車の制御方法
JP6883120B2 (ja) * 2017-03-03 2021-06-09 パーキンエルマー インフォマティクス， インコーポレイテッド 化学情報を含む文書の検索および索引付けのためのシステムおよび方法
JP6704423B2 (ja) * 2018-01-17 2020-06-03 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム
CN108821125B (zh) * 2018-06-25 2020-04-14 芜湖中铁科吉富轨道有限公司 一种钢轨输送加工用悬吊装置及其使用方法
WO2020153039A1 (ja) * 2019-01-25 2020-07-30 村田機械株式会社 保管システム
TWI714472B (zh) * 2020-03-12 2020-12-21 力晶積成電子製造股份有限公司 晶圓載具運輸系統

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR970011065B1 (ko) * 1992-12-21 1997-07-05 다이닛뽕 스크린 세이조오 가부시키가이샤 기판처리장치와 기판처리장치에 있어서 기판교환장치 및 기판교환방법
JP4648190B2 (ja) * 2003-03-28 2011-03-09 平田機工株式会社 基板搬送システム
JP4045451B2 (ja) * 2003-12-26 2008-02-13 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP4337683B2 (ja) * 2004-08-16 2009-09-30 村田機械株式会社 搬送システム
JP4221603B2 (ja) * 2005-03-31 2009-02-12 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP2007191235A (ja) * 2006-01-17 2007-08-02 Murata Mach Ltd 天井走行車システム

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190023531A (ko) 2017-08-29 2019-03-08 세메스 주식회사 이송 장치
KR20210042379A (ko) * 2018-11-06 2021-04-19 무라다기카이가부시끼가이샤 천장 매달림 선반
KR20210106550A (ko) * 2019-01-25 2021-08-30 무라다기카이가부시끼가이샤 보관 시스템
KR20210013879A (ko) * 2019-07-29 2021-02-08 세메스 주식회사 반도체 제조 설비용 이송 장치

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