TWI513640B - Handling system and handling method - Google Patents

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TWI513640B TW100139958A TW100139958A TWI513640B TW I513640 B TWI513640 B TW I513640B TW 100139958 A TW100139958 A TW 100139958A TW 100139958 A TW100139958 A TW 100139958A TW I513640 B TWI513640 B TW I513640B
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Description

搬運系統及搬運方法
本發明是有關搬運系統，特別是有關於不讓處理裝置等待地將物品供給搬出的搬運系統。
有需要不讓半導體加工裝置及半導體的檢查裝置等的處理裝置等待地將FOUP(前開口式通用容器)(將半導體晶圓搬運用的密閉型卡匣)等的物品朝這些的裝置的裝載埠供給及搬出。在此被提案：在處理裝置的附近設置暫存區，且為了進行暫存區及處理裝置間的搬運，設置追加的搬運裝置。在例如專利文獻1(JP2006-224944A)中，將高架行走車的軌道與頂棚空間平行地複數配置，將一方供長距離搬運用，將另一方供短距離搬運用。且在長距離搬運用的軌道的正下方配置暫存區，在短距離搬運用的軌道的正下方配置處理裝置的裝載埠。長距離搬運用的高架行走車是在與暫存區之間將物品收授，短距離搬運用的高架行走車是在與暫存區及裝載埠之間將物品收授。因此處理裝置所需要的物品若預先被搬運至暫存區的話，朝處理裝置的物品的供給就可以高速地進行。
且從處理裝置的裝載埠的物品的搬出，是藉由短距離搬運用的高架行走車由高速進行。但是如此的話，因為是在相同高度位置平行地設置軌道，所以搬運系統的從平面視所佔位的地上面積會增大。
在專利文獻2(JP2005-150129A)中，在處理裝置的前面設置設有搬運裝置的暫存區，高架行走車是在與暫存區之間將物品收授，暫存區內的搬運裝置是在與裝載埠之間將物品收授。但是在處理裝置的前面，設有供顯示運轉狀況的顯示器、手動操作用的操作盤等，使暫存區被這些塞住而不佳。且裝載埠並非只有使用自動搬運裝置，也有由人員將供給物品搬出，若暫存區覆蓋處理裝置的前面的話，人員的進入會成為困難。
[先行技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1] JP2006-224944A
[專利文獻2] JP2005-150129A
本發明的課題，是不會塞住處理裝置的前面，且可一邊減小搬運系統的從平面視所佔位的地上面積，一邊朝處理裝置將物品迅速地供給及搬出。
本發明的課題是進一步，儘可能減小在與暫存區之間將物品將收授時的昇降量。
本發明的課題是進一步，縮短暫存區及裝載埠間的搬運距離。
本發明中的追加的課題，是提供不會與區域台車干涉，由高架行走車在與暫存區之間將物品收授的具體的構成。
本發明是有關於一種搬運系統，為了在複數處理裝置之間搬運物品，具備：通過處理裝置的裝載埠的上部的高架行走車軌道、及沿著高架行走車軌道朝一方向行走且設有吊車的高架行走車。
本發明的系統，其特徵為，具備：區域軌道，是在高架行走車軌道的下方，沿著前述一方向從處理裝置的裝載埠的上游側至下游側，被配置於裝載埠的上方，且與高架行走車軌道平行地被配置；及區域台車，是行走於前述區域軌道，且設有將物品昇降用吊車；及第1暫存區，是在前述區域軌道的下部，沿著前述一方向被配置於處理裝置的裝載埠的上游側，且高架行走車及區域台車皆可將物品收授自如；及第2暫存區，是在前述區域軌道的下部，沿著前述一方向被配置於處理裝置的裝載埠的下游側，且高架行走車及區域台車皆可將物品收授自如。
在本發明中，可以將高架行走車所行走的空間及區域台車所行走的空間在鉛直方向重疊，可以減小搬運系統的從平面視所佔位的地上面積。且處理裝置的前面不會被暫存區塞住。第1暫存區及第2暫存區因為是設在裝載埠的上游側及下游側，所以區域台車可以在裝載埠及暫存區之間迅速地將物品供給搬出。裝載埠是在處理裝置只有設置1個也可以，設置複數個也可以。將裝載埠設置複數個的情況時，區域軌道是從各裝載埠的上游側設至下游側，第1暫存區是設在各裝載埠的上游側，第2暫存區是設在各裝載埠的下游側。
本發明是，有關於在既有的高架行走車系統後來附加的搬運系統。
此系統，其特徵為，具備：區域軌道，是在高架行走車軌道的下方，沿著前述一方向從處理裝置的裝載埠的上游側至下游側，被配置於裝載埠的上方，且與高架行走車軌道平行地被配置；及區域台車，是行走於前述區域軌道，且設有將物品昇降用吊車；及第1暫存區，是在前述區域軌道的下部，沿著前述一方向被配置於處理裝置的裝載埠的上游側，且高架行走車及區域台車皆可將物品收授自如；及第2暫存區，是在前述區域軌道的下部，沿著前述一方向被配置於處理裝置的裝載埠的下游側，且高架行走車及區域台車皆可將物品收授自如。
如此的話，可以在既有的高架行走車系統，後來附加由區域軌道及區域台車及第1及第2暫存區所構成的搬運系統。且後來附加的搬運系統，不需要改造處理裝置，對於既有的高架行走車系統也，只需要改造兼用支柱的程度。且可以將高架行走車所行走的空間及區域台車所行走的空間在鉛直方向重疊，進一步處理裝置的前面不會被暫存區塞住。第1暫存區及第2暫存區因為是設在裝載埠的上游側及下游側，所以區域台車可以在裝載埠及暫存區之間迅速地將物品供給搬出。
較佳是，第1暫存區及第2暫存區是可以每次各載置1個物品。如此的話可以鄰接於裝載埠，在上游側及下游側配置合計2個的暫存區。
較佳是，第1暫存區及第2暫存區載置有物品時，只有未支撐有物品的區域台車可行走於第1暫存區及第2暫存區的上方，前述第1暫存區及第2暫存區未載置物品時，在支撐有物品的區域台車及未支撐有物品的區域台車皆可在第1暫存區及第2暫存區的上方可行走自如的高度，配置有第1暫存區及第2暫存區。如此的話區域台車可以在與暫存區之間迅速地移載物品。
且較佳是，前述第1暫存區及第2暫存區各是上段及下段的2段的台階狀的構造，第1暫存區及第2暫存區可以在上段及下段每次各載置1個物品，下段是被配置於接近裝載埠側，上段是被配置於遠離裝載埠側，且下段是無關物品的載置的有無，支撐有物品的區域台車及未支撐有物品的區域台車皆可在下段的上方可通過自如，上段，是若載置有物品時，只有未支撐有物品的區域台車可在上段的上方行走自如，在上段若未載置有物品時，在支撐有物品的區域台車及未支撐有物品的區域台車皆可在上段的上方可行走自如的高度，配置有前述下段及上段。如此的話，在裝載埠的上游及下游可以配置4物品分的暫存區，且區域台車是可以對於上段的暫存區迅速地移載物品。
且較佳是，區域軌道是由2條平行的軌道所構成，且 2條軌道之間，設有物品可以朝鉛直方向移動的間隙。如此的話即使在第1軌道的正下方配置區域軌道，高架行走車是也可以在與裝載埠及暫存區之間將物品收授。
較佳是，高架行走車是進行：朝前述第1暫存區及前述第2暫存區的物品的搬入、及從前述裝載埠的物品的搬出，前述區域台車是進行從前述第1暫存區及前述第2暫存區朝前述裝載埠的物品的搬入。此控制，是藉由高架行走車的控制器及區域台車的控制器等實行。如此的話，可以從裝載埠迅速地搬運物品，並且無關於裝載埠上有無物品，可以從高架行走車朝暫存區將物品卸載。且裝載埠若為空的話，可以迅速地從暫存區朝裝載埠將物品搬入。
較佳是，藉由被配置於裝載埠的上方的水平的框架使第1暫存區及第2暫存區被支撐，在框架設有供檢出裝載埠側的干涉物用的俯瞰感測器。藉由俯瞰感測器，高架行走車及區域台車，皆不會與裝載埠側的人等干涉。裝載埠側，是指裝載埠的附近或裝載埠的近傍的意思。
且本發明的搬運系統，其特徵為，設有：在高架行走車軌道的下方，被配置於前述裝載埠的上方，且與高架行走車軌道平行地被配置的區域軌道；及區域台車，是行走於前述區域軌道，且設有將物品昇降用吊車；及上段及下段的2段的台階狀的暫存區；且可以在前述上段及下段每次各載置1個物品，下段是被配置於接近裝載埠側，上段是被配置於遠離裝載埠側，且下段是不管有無載置物品，支撐有物品的區域台車及未支撐有物品的區域台車皆可在 下段的上方可通過自如，在上段若載置有物品時，只有未支撐有物品的區域台車可在上段的上方行走自如，在上段若未載置有物品時，在支撐有物品的區域台車及未支撐有物品的區域台車皆可在上段的上方可行走自如的高度，配置有前述下段及上段。例如台階狀的暫存區是設置第1圖的暫存區25a、26a的組合及暫存區25b、26b的組合的至少一方。
如此的話，可以將高架行走車所行走的空間及區域台車所行走的空間在鉛直方向重疊，可以減小搬運系統的從平面視所佔位的地上面積。且處理裝置的前面不會被暫存區塞住。且因為將暫存區配置成台階狀地上下2段，所以高架行走車及區域台車可以進入上下其中任一段，在上段的暫存區中因為與區域軌道的高度的差很小，所以可以由小的昇降量將物品供給搬出。
且在本發明中，為了使用：通過處理裝置的裝載埠的上部的高架行走車軌道、及沿著前述高架行走車軌道朝一方向行走且設有吊車的高架行走車，朝裝載埠搬運物品，而設有：區域軌道，是在前述高架行走車軌道的下方，沿著前述一方向從處理裝置的裝載埠的上游側至下游側，被配置於裝載埠的上方，且與高架行走車軌道平行地被配置；及區域台車，是行走於前述區域軌道，且設有將物品昇降用吊車；及第1暫存區，是在前述區域軌道的下部，沿著前述一方向被配置於處理裝置的裝載埠的上游側，且高架行走車及區域台車皆可將物品收授自如；及第2暫存區 ，是在前述區域軌道的下部，沿著前述一方向被配置於處理裝置的裝載埠的下游側，且高架行走車及區域台車皆可將物品收授自如。
且實行：由高架行走車朝第1暫存區或第2暫存區將物品卸貨的步驟；及由區域台車將第1暫存區或第2暫存區的物品朝裝載埠卸貨的步驟；及由高架行走車將裝載埠的物品搬出的步驟。
如此的話，可以從裝載埠迅速地搬運物品，並且無關於裝載埠上有無物品，可以從高架行走車朝暫存區將物品卸載。且裝載埠若為空的話，可以迅速地從暫存區朝裝載埠將物品搬入。
以下顯示實施本發明用的最適實施例。對於本發明的專利範圍，本行業者可依據申請專利範圍的記載，並參酌說明書的記載及此領域中的周知技術而理解。
[實施例]
在第1圖~第5圖中，顯示實施例的搬運系統及其變形。在各圖中，2是搬運系統，4是處理裝置，例如半導體處理裝置及半導體的檢查裝置等。且搬運系統2是設在清淨室內。處理裝置4是具備1個或複數個裝載埠6，在其正上部設有高架行走車12的軌道10，從頂棚由支柱11被支撐。高架行走車12是具備吊車14，將昇降台16與 物品18一起昇降。物品18雖是將例如半導體晶圓收容的FOUP(前開口式通用容器)，但是物品18的種類為任意。且高架行走車12，是除了吊車14以外，具備將吊車14橫送的裝置及將吊車14繞鉛直軸轉動的裝置等也可以。藉由軌道10及高架行走車12構成高架行走車系統，此系統本身是公知。
在軌道10的例如正下方設有區域軌道20，區域軌道20是設在例如各處理裝置。設置區域軌道20的範圍雖是裝載埠6的正上部及例如其左右兩側，但是只有裝載埠6的上部及其左右一方也可以。22是區域台車，沿著區域軌道20往復動，藉由皮帶、拉線、纜線等的吊持材24使昇降台23昇降。從裝載埠6所見，在區域台車22的行走方向的例如前後雙方，各設置2種類的暫存區25a、b、26a、b。高架行走車12是行走於第1圖的箭頭的方向，例如一對的裝載埠6、6的上游側的暫存區25a、26a是第1暫存區，下游側的暫存區25b、26b是第2暫存區。
暫存區25a、b，是設在可以使其上部不會與將物品18支撐的區域台車22干涉地通過的高度位置，即設在對於裝載埠6從平面視鄰接的位置。換言之，區域台車22所支撐的物品18的底面、及在暫存區25a、b中的物品載置面之間，形成超過物品18的1個分的高度的差。暫存區26a、b是第2暫存區，設在從暫存區25a、b所見裝載埠6的相反側，即在其上部使未支撐有物品18的區域台車22可以行走，但是支撐有物品18的區域台車22無法 行走的高度。換言之，區域台車22所支撐的物品18的底面、及暫存區26a、b中的物品載置面之間的高度的差，是設成物品18的1個分以下的高度。例如暫存區26a、b是設在比暫存區25a、b只有更高出物品18的1個分的高度的位置，在暫存區25a、b、26a、b形成段差為1段的台階。且暫存區25a、b、26a、b是藉由支柱27、28被支撐，支柱27雖是兼具例如區域軌道20的支柱，但是與區域軌道20的支柱分開形成也可以。
在實施例中雖在裝載埠6的左右兩側(以高架行走車12的行走方向為基準的話，在裝載埠6的前後兩側)設有暫存區25a、b、26a、b，但是只有設在片側也可以。暫存區的容量若不足的情況時，如第1圖一點虛線所示，將暫存區26a、b朝暫存區31的位置移動，在原來的暫存區26a、b的下部設置暫存區30較佳。且此情況，區域軌道20也延長至暫存區31的上部。
如以上配置暫存區25a、b、26a、b等的話，高架行走車12及區域台車22可以在與任意的暫存區25a、b、26a、b之間將物品18收授。暫存區25a、b因為是位於較低的位置中，所以高架行走車12及區域台車22雖可以自由地進入，但是將物品18收授時的昇降量變大。暫存區26a、b是空的情況時，載有貨物的區域台車22及載有貨物的高架行走車12可以進入。物品18被放置在暫存區26a、b的情況時，空載的區域台車22及空載的高架行走車12可以進入。又高架行走車12，是透過由一對的行走軌道所構成的區域軌道20的間隙，將物品18昇降，對於此機構是如後述。
這些的結果，區域台車22及高架行走車12可以進入暫存區25a、b、26a、b。暫存區26a、b因為是位於與暫存區25a、b相比較高的位置，所以高架行走車12及區域台車22可以短縮移載時間。特別是區域台車22，可以縮短移載物品18時的昇降量，而短縮移載時間。且暫存區25a、b、26a、b因為是被放置於裝載埠6的附近，所以區域台車22可以短時間在裝載埠6及暫存區25a、b、26a、b之間將物品18搬運。
第2圖是沿著第1圖的II-II線從下側看的圖，顯示除了高架行走車12及軌道10的搬運系統2。區域軌道20是如第2圖由一對的軌道所構成，軌道之間是間隙34。此間隙34的寬度是比物品18的深度更大，物品18可以朝鉛直方向通過間隙。且在裝載埠6的上部設有充電裝置36，朝區域台車22充電。在第1圖、第2圖中雖將充電裝置36配置於一方的裝載埠6的正上部，但是配置於另一方的裝載埠的上部，或一對的裝載埠6、6的中間部等也可以。
高架行走車12，是除了處理裝置4立即需要的物品以外，由暫存區25a、b、26a、b將物品18卸貨。且除了下一個處理裝置立即需要的物品以外，不是裝載埠6上的物品，而是由高架行走車12將暫存區25a、b、26a、b的物品搬出。且裝載埠6及暫存區25a、b、26a、b之間的搬運，基本上是由區域台車22進行。此結果即使區域台車22為了充電而停止於裝載埠6的上部，也不會干涉高架行走車12的物品的搬運。又充電裝置36是設在面向暫存區25a、b、26a、b的位置等也可以。該情況，若區域台車22為了充電而長時間停止在此位置的話，會妨害高架行走車12朝暫存區進入。
第3圖是顯示區域台車22的構造，38是行走車輪，藉由行走馬達40被驅動，42是電池，透過受電設備43進行充電裝置36的充電。朝受電設備43的供電，是例如非接觸供電、連接器或充電接頭等的接觸充電的其中任一也可以。44是吊車，將昇降台23昇降，45是挾盤，將物品18的上部的凸緣把持及解放。
第4圖是顯示搬運系統內的通訊，高架行走車控制器50是與高架行走車12通訊並分配搬運指令。例如充電裝置36是兼具區域台車22的控制器，藉由透過通訊組件51在與高架行走車控制器50之間進行通訊，將暫存區25a、b、26a、b中的物品18的有無及其ID等，朝高架行走車控制器50報告。且充電裝置36，是從高架行走車控制器50，經由暫存區25a、b、26a、b接受搬運物品18的指示。通訊組件52是與高架行走車12通訊，進行當由高架行走車12在與暫存區25a、b、26a、b之間將物品18收授時的連鎖(interlock)。通訊組件53是與區域台車22的通訊組件54通訊，對於區域台車22指示暫存區25a、b、26a、b及裝載埠6之間的物品18的移載。
說明搬運系統2的動作。剛好在處理裝置4需要時刻將物品18朝裝載埠6供給地將物品18從內部朝裝載埠6被搬出的話，立即朝處理裝置4的外部被取去，是搬運系統的目標。因此對於處理裝置4具有專屬的區域台車22及暫存區25a、b、26a、b即可。將處理裝置4所需要的物品18預先保持在暫存區25a、b、26a、b，在處理裝置4要求時刻朝裝載埠6搬運即可。且從內部朝裝載埠6被搬出的物品18，是由區域台車22立即朝暫存區25a、b、26a、b移載即可。且比暫存區25a、b、26a、b更遠方的搬運是由高架行走車12進行，高架行走車12也可以進入暫存區25a、b、26a、b的其中任一，在緊急時等也可以直接進入裝載埠6。
處理裝置4需要的時點，具有需要的物品18未被放置在暫存區25a、b、26a、b的情況。這種情況，高架行走車12可以將物品18直接朝裝載埠6卸載的話，可以短縮處理裝置4的等待時間。且下一個處理裝置需要的物品的搬出若遲延的情況，高架行走車12若從裝載埠6直接將物品18取去的話，可以短縮下一個的處理裝置的等待時間。
因為區域台車22是沿著區域軌道20行走短的距離，所以簡單的台車即可。與作為控制器的充電裝置36的通訊，是將例如導體的區域軌道20兼用訊號線並沿著區域軌道20設置供給線，或是在台車22及充電裝置36之間藉由無線通訊等進行。且朝充電裝置36的電源、及高架行走車控制器50的通訊線，可以利用支柱27等配線。
在實施例中雖顯示將區域軌道20配置於軌道10的正下方的例，但是不限定於此。這種例如第5圖所示，且與實施例相同的符號是顯示相同的構件。60是新的區域軌道，避開軌道10的正下方的方式被配置於其下方，62是新的區域台車。區域台車62是藉由導引滾子63～65被支撐於區域軌道60地行走，67、68是新的支柱，其他的點是與第1圖～第4圖的實施例同樣。
[最適實施例]
在第6圖顯示最適實施例，與第1圖～第4圖相同記號是表示相同者，除了特別指摘的點以外是與第1圖～第4圖的實施例同樣。高架行走車12是沿著第6圖的箭頭朝一方向行走。處理裝置4是具備例如一對的裝載埠6、6，由高架行走車12的行走方向在各裝載埠6、6的上游側設有第1暫存區70，在各裝載埠6、6的下游側設有第2暫存區71。又各處理裝置4的裝載埠6的數量為任意。區域軌道20，是從裝載埠6、6的上游側的第1暫存區70的上部，延伸至下游側的第2暫存區71的上部。72是由水平的框架藉由支柱27被支撐，從裝載埠6、6的上部朝其左右(上游側及下游側)延伸，將暫存區70、71支撐。在未支撐有物品18的區域台車22可行走於上方但支撐有物品18的區域台車22不能行走於上方的高度，被配置暫存區70、71。
從平面視，軌道10及軌道20及暫存區70、71是重疊，在軌道10、20的正下方具有裝載埠6、6。且軌道20是由2條軌道所構成，在軌道間具有讓物品18可朝鉛直方向通過自如的間隙。沿著軌道20區域台車22的停止位置是有例如4處，在各處設有充電接頭等的充電裝置74，在區域台車的鋰離子電池等的電池或雙電層電容器等的蓄電器充電。區域台車22因為每次停止就可充電，所以可以由小容量的電池或小容量的電容器驅動。又裝載埠6、6的正上的位置因為是在區域台車22的待機位置而不適合，所以只有在暫存區70、71的正上的位置設置充電裝置74也可以。
73是控制器，將區域台車22控制，並且與高架行走車12或第4圖的高架行走車控制器50通訊。框架72，是在裝載埠6、6的上部具備例如一對的俯瞰感測器76、76，監視裝載埠6、6的附近的干涉物例如作業者。俯瞰感測器76是具備：例如雷射光源、及改變雷射光的方向掃描第6圖的一點虛線的範圍的機構、及反射光的受光元件。且監視例如第6圖的一點虛線的範圍內的物體，在一點虛線的範圍內若檢出物體的話，控制器73是對於區域台車22及高架行走車12禁止該當的裝載埠6的移載。又由1個俯瞰感測器76監視複數個裝載埠6也可以。且控制器73是不與高架行走車12直接通訊，而透過第4圖的高架行走車控制器50通訊也可以。
說明最適實施例的動作。高架行走車12是朝暫存區70、71將物品18卸載(搬入)，並且將裝載埠6、6上的物品18搬出(裝貨)。在暫存區70有空出，且在裝載埠6具有應搬出的物品18的情況時，高架行走車12是將搬運來的物品18朝暫存區70與卸貨，並且從裝載埠6將物品18搬出。因此可以由1台的高架行走車12實行搬入及搬出。區域台車22是將暫存區70、71的物品朝裝載埠6、6搬入。區域台車22的待機位置是在暫存區70、71的上部，將待機位置交互地改變。將例如暫存區71上的物品朝裝載埠6搬入的話，就可以在暫存區70上待機，接著將暫存區70的物品迅速地朝裝載埠6搬入。又暫存區70、71其中任一皆無物品18的情況時，使高架行走車12可以朝暫存區70將物品18卸載的方式，在暫存區71上待機也可以。若裝載埠6、6有可能因物品18過多而無法進一步裝載(overflow)的情況時，使區域台車22從裝載埠6朝暫存區70、71將物品搬出也可以。且對於特急品，使高架行走車12直接朝裝載埠6將物品搬入也可以。
在最適實施例中，暫存區70、71是鄰接於裝載埠6、6，軌道20及暫存區70、71的高度的差很小。因此區域台車22可以由短時間將物品18從暫存區70、71朝裝載埠6搬入。對於高架行走車12而言，是與處理裝置4具備搬出專用的2個裝載埠及搬入專用的2個裝載埠同樣。因此無法將物品18朝裝載埠6卸載的問題可以減少。且對於處理裝置4而言，在暫存區70、71最大可以積蓄2個處理預定的物品。
在實施例中可獲得以下的效果。
(1)可以不會阻塞處理裝置4的前面地設置暫存區25a、b、26a、b。
(2)可以將高架行走車12所行走的空間及區域台車22所行走的空間在鉛直方向重疊，可以減小搬運系統的從平面視所佔位的地上面積。
(3)因為將暫存區25a、b、26a、b呈台階狀地上下2段配置，所以高架行走車12及區域台車22可以進入任意的暫存區25a、b、26a、b。特別是，因為暫存區26a、b及區域軌道20的高度的差很少，所以可以由小的昇降量將物品18供給搬出。
(4)因為物品18可通過被設在區域軌道20的間隙34，所以區域軌道20及暫存區25a、b、26a、b可以配置於高架行走車12的軌道10的正下方。
(5)幾乎不需改造處理裝置4及既有的高架行走車系統，就可以後來附加由區域軌道20及區域台車22及暫存區25a、b、26a、b所構成的搬運系統。
(6)區域台車22因為是往復於短的區域軌道20，所以在與裝載埠6及暫存區25a、b、26a、b之間可以迅速地將物品供給搬出。特別是在裝載埠6的前後兩側設置暫存區25a、b、26a、b的話，在裝載埠6的附近可以設置多數暫存區25a、b、26a、b。
(7)在裝載埠6的上部設置充電裝置36的話，不會 妨害朝高架行走車12的暫存區25a、b、26a、b的進入，可以將區域台車22的電池42充電。且因為電池驅動，所以不需要在區域軌道20併設供電軌道。
又不需要對於全部的處理裝置4，設置由暫存區70、71及區域軌道20及區域台車22所構成的系統。只有對於例如物品18的處理量多的處理裝置4設置也可以。搬運的物品18的種類為任意，將例如半導體曝光用的光柵收容的卡匣、平面顯示器的基板等也可以。
2‧‧‧搬運系統
4‧‧‧處理裝置
6‧‧‧裝載埠
10‧‧‧軌道
11‧‧‧支柱
12．．．高架行走車
14．．．吊車
16．．．昇降台
18．．．物品
20．．．區域軌道
22．．．區域台車
23．．．昇降台
24．．．吊持材
25a、b．．．暫存區
26a、b．．．暫存區
27、28．．．支柱
30、31．．．暫存區
34．．．間隙
36．．．充電裝置
38．．．行走車輪
40．．．行走馬達
42．．．電池
43．．．受電設備
44．．．吊車
45．．．挾盤
50．．．高架行走車控制器
51～54．．．通訊組件
60．．．區域軌道
62．．．區域台車
63～65．．．導引滾子
67、68．．．支柱
70、71．．．暫存區
72．．．框架
73．．．控制器
74．．．充電裝置
76．．．俯瞰感測器
[第1圖]實施例的搬運系統的主要部分側面圖。
[第2圖]顯示從實施例的搬運系統將高架行走車的行走軌道取下的狀態的主要部分平面圖。
[第3圖]顯示區域台車的構造的前視圖。
[第4圖]顯示搬運系統內的通訊的圖。
[第5圖]變形例的搬運系統的主要部分前視圖。
[第6圖]最適實施例的搬運系統的主要部分側面圖。
2．．．搬運系統
4．．．處理裝置
6．．．裝載埠
10．．．軌道
11．．．支柱
12．．．高架行走車
14．．．吊車
16．．．昇降台
18．．．物品
20．．．區域軌道
22．．．區域台車
23．．．昇降台
24．．．吊持材
25a、b．．．暫存區
26a、b．．．暫存區
27、28．．．支柱
30、31．．．暫存區
36．．．充電裝置

Claims (6)

  1. 一種搬運系統，為了在清淨室內的複數處理裝置之間搬運物品，具備：通過處理裝置的裝載埠的上部的高架行走車軌道；及沿著前述高架行走車軌道朝一方向行走且設有吊車的高架行走車，其特徵為，具備：區域軌道，是在前述高架行走車軌道的下方，沿著前述一方向從處理裝置的裝載埠的上游側至下游側，於裝載埠的上方與高架行走車軌道平行地被配置，且從清淨室的頂棚側被支撐；及區域台車，是行走於前述區域軌道，且設有將物品昇降用吊車；及第1暫存區；及第2暫存區；前述第1暫存區，是在比處理裝置的裝載埠高的位置，藉由從清淨室的頂棚側被支撐，在前述區域軌道的下部且沿著前述一方向，被固定於處理裝置的裝載埠的上游側且錯開裝載埠的正上部，且其設置的高度，是若載置有物品時，只有未支撐有物品的區域台車可行走，若未載置物品時，支撐有物品的區域台車及未支撐有物品的區域台車皆可在上方可行走自如，高架行走車及區域台車皆可將物品收授自如，且只可載置1個物品地構成，前述第2暫存區，是在比處理裝置的裝載埠高的位置 ，藉由從清淨室的頂棚側被支撐，在前述區域軌道的下部且沿著前述一方向，被固定於處理裝置的裝載埠的下游側且錯開裝載埠的正上部，且其設置的高度，是若載置有物品時，只有未支撐有物品的區域台車可行走，若未載置物品時，支撐有物品的區域台車及未支撐有物品的區域台車皆可在上方可行走自如，高架行走車及區域台車皆可將物品收授自如，且只可載置1個物品地構成。
  2. 如申請專利範圍第1項的搬運系統，其中，前述區域軌道是由2條平行的軌道所構成，且2條軌道之間，設有可讓物品朝鉛直方向移動的間隙。
  3. 如申請專利範圍第1或2項的搬運系統，其中，進一步具備：使高架行走車進行：朝前述第1暫存區及前述第2暫存區的物品的搬入、及從前述裝載埠的物品的搬出，使前述區域台車進行從前述第1暫存區及前述第2暫存區朝前述裝載埠的物品的搬入的方式，將高架行走車及區域台車控制的手段。
  4. 如申請專利範圍第1或2項的搬運系統，其中，藉由被配置於裝載埠的上方的水平的框架使前述第1暫存區及前述第2暫存區被支撐，在前述框架設有供檢出裝載埠側的干涉物用的俯瞰感測器。
  5. 一種搬運系統，是在既有的高架行走車系統後來附加的搬運系統，其特徵為，具備： 區域軌道，是在高架行走車軌道的下方，沿著一方向從處理裝置的裝載埠的上游側至下游側，於裝載埠的上方與高架行走車軌道平行地被配置，且從清淨室的頂棚側被支撐；及區域台車，是行走於前述區域軌道，且設有將物品昇降用吊車；及第1暫存區；及第2暫存區；前述第1暫存區，是在比處理裝置的裝載埠高的位置，藉由從清淨室的頂棚側被支撐，在前述區域軌道的下部且沿著前述一方向，被固定於處理裝置的裝載埠的上游側且錯開裝載埠的正上部，且其設置的高度，是若載置有物品時，只有未支撐有物品的區域台車可行走，若未載置物品時，支撐有物品的區域台車及未支撐有物品的區域台車皆可在上方可行走自如，高架行走車及區域台車皆可將物品收授自如，且只可載置1個物品地構成，前述第2暫存區，是在比處理裝置的裝載埠高的位置，藉由從清淨室的頂棚側被支撐，在前述區域軌道的下部且沿著前述一方向，被固定於處理裝置的裝載埠的下游側且錯開裝載埠的正上部，且其設置的高度，是若載置有物品時，只有未支撐有物品的區域台車可行走，若未載置物品時，支撐有物品的 區域台車及未支撐有物品的區域台車皆可在上方可行走自如，高架行走車及區域台車皆可將物品收授自如，且只可載置1個物品地構成。
  6. 一種搬運方法，是在清淨室內使用：通過處理裝置的裝載埠的上部的高架行走車軌道、及沿著前述高架行走車軌道朝一方向行走且設有吊車的高架行走車，朝裝載埠將物品搬運的方法，其特徵為：設有：區域軌道，是在前述高架行走車軌道的下方，沿著前述一方向從處理裝置的裝載埠的上游側至下游側，於裝載埠的上方與高架行走車軌道平行地被配置，且從清淨室的頂棚側被支撐；及區域台車，是行走於前述區域軌道，且設有將物品昇降用吊車；及第1暫存區；及第2暫存區；前述第1暫存區，是在比處理裝置的裝載埠高的位置，藉由從清淨室的頂棚側被支撐，在前述區域軌道的下部且沿著前述一方向，被固定於處理裝置的裝載埠的上游側，且錯開裝載埠的正上部，且其設置的高度，是若載置有物品時，只有未支撐有物品的區域台車可行走，若未載置物品時，支撐有物品的區域台車及未支撐有物品的區域台車皆可在上方可行走自 如，高架行走車及區域台車皆可將物品收授自如，且只可載置1個物品地構成，前述第2暫存區，是在比處理裝置的裝載埠高的位置，藉由從清淨室的頂棚側被支撐，在前述區域軌道的下部且沿著前述一方向，被固定於處理裝置的裝載埠的下游側且錯開裝載埠的正上部，且其設置的高度，是若載置有物品時，只有未支撐有物品的區域台車可行走，若未載置物品時，支撐有，物品的區域台車及未支撐有物品的區域台車皆可在上方可行走自如，高架行走車及區域台車皆可將物品收授自如，且只可載置1個物品地構成，實行：由高架行走車朝第1暫存區或第2暫存區將物品卸貨的步驟；及由區域台車將第1暫存區或第2暫存區的物品朝裝載埠卸貨的步驟；及由高架行走車將裝載埠的物品搬出的步驟。
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