WO2021100337A1 - スタッカクレーン - Google Patents

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WO2021100337A1
WO2021100337A1 PCT/JP2020/037704 JP2020037704W WO2021100337A1 WO 2021100337 A1 WO2021100337 A1 WO 2021100337A1 JP 2020037704 W JP2020037704 W JP 2020037704W WO 2021100337 A1 WO2021100337 A1 WO 2021100337A1
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WO
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hand
stacker crane
flange
fall prevention
prevention member
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Inventor
▲イン▼ 崔
石川　和広
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村田機械株式会社
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical

Definitions

  • One aspect of the present invention relates to a stacker crane.
  • Patent Document 1 discloses a stacker crane provided with a pressing support means for pressing a FOUP (Front Opening Unified Pod) placed on a hand from above.
  • FOUP Front Opening Unified Pod
  • one aspect of the present invention is to provide a stacker crane capable of reliably preventing the transported object from falling from the hand.
  • the stacker crane is a stacker crane having a positioning recess provided at the bottom and a flange provided at the top, and is a stacker crane that moves up and down along a mast.
  • a hand that is provided on the evacuation table and has a positioning pin that can be inserted into a recess to place the conveyed object, a transfer device that moves the hand forward and backward to transfer the conveyed object, and a hand provided on the evacuation table.
  • the flange is arranged at an interval equal to or less than the insertion height of the positioning pin into the recess.
  • a fall prevention member is arranged on the flange of the transported object in the retracted state (hereinafter, also simply referred to as “retracted state”) in which the hand is retracted onto the lift table by the transfer device, and the flange and the fall prevention member are arranged.
  • the distance from and is less than or equal to the insertion height of the positioning pin into the recess. Therefore, for example, even if the transported object is stopped at a large deceleration due to a power failure while being transported in the retracted state and an external force having a component in the vertical direction is applied to the transported object, the hand positioning pin is transported so as not to come off from the recess. It is possible to regulate the vertical movement of objects. Therefore, it is possible to reliably prevent the transported object from falling from the hand.
  • the fall prevention member may be provided so as to include the entire flange when viewed from above in the retracted state.
  • the above-mentioned action of restricting the vertical movement of the conveyed object so that the positioning pin does not come off from the recess can be effectively exerted, and the conveyed object can be more reliably prevented from falling from the hand.
  • the stacker crane according to the present invention may further include a grip portion provided on the hand and grips the conveyed object placed on the hand in the horizontal direction.
  • the grip portion can also more reliably prevent the transported object from falling from the hand.
  • the fall prevention member may have a plate shape and may be cantilevered by a support member on a lift. As a result, it is possible to concretely realize a structure that can surely prevent the transported object from falling from the hand.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing a stocker provided with a stacker crane according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a perspective view showing a main part of the stacker crane of FIG.
  • FIG. 3 is a perspective view showing a main part of the stacker crane of FIG.
  • FIG. 4 is a side view showing a main part of the stacker crane of FIG.
  • FIG. 5 is a perspective view showing a fall prevention member of the stacker crane of FIG.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing a stocker 1 provided with a stacker crane 7.
  • FIG. 3 and FIG. 4 are views showing a main part of the stacker crane 7.
  • the display of the containment vessel 90 is omitted.
  • the stocker 1 holds a containment vessel (conveyed object) 90 such as a FOUP (Front Opening Unified Pod) in which an object to be stored such as a semiconductor wafer and a glass substrate is stored. It has a function as a storage for storage.
  • the stocker 1 is provided in, for example, a clean room.
  • the stocker 1 mainly includes a stocker main body 3, a rack 4, a stacker crane 7, and a controller 80.
  • the stocker main body 3 is a part that defines the internal space A of the stocker 1, and is formed by a plurality of partitions.
  • the rack 4 is a portion for storing the containment vessel 90, and is usually provided in one or two rows (here, two rows). Each rack 4 extends in the X direction (width direction), and is arranged substantially in parallel so that two adjacent racks 4 and 4 face each other.
  • Each rack 4 has a plurality of storage shelves 50 on which the containment vessel 90 is placed and stored.
  • the storage shelves 50 are arranged along the X direction and the Z direction (vertical direction).
  • the side on which the storage shelf 50 is arranged as viewed from the stacker crane 7 will be the front side, and the opposite side will be the rear side, and the movement to the front side will be described as advancing and the movement to the rear side will be described as exiting.
  • the stacker crane 7 is a mechanism for moving the containment vessel 90 in and out of the storage shelf 50 and moving the containment vessel 90 between the storage port and the delivery port (not shown) and the storage shelf 50, or between the storage shelves 50.
  • the stacker crane 7 is arranged in an area sandwiched between racks 4 and 4 facing each other.
  • the stacker crane 7 can travel in a track (not shown) arranged on the floor along the extending direction (X direction) of the rack 4 and move in the X direction along the rack 4.
  • the stacker crane 7 includes a traveling portion 71, an elevating portion 74, a swivel portion 75, a hand 110, a transfer device 120, a grip portion 130, and a fall prevention member 100.
  • the traveling unit 71 is provided so as to be able to travel in the X direction along the track by a traveling driving unit such as a motor.
  • the elevating part 74 includes a mast 72 and an elevating table 73.
  • the mast 72 is a member provided on the traveling portion 71 and extending in the Z direction.
  • the elevating table 73 is provided so as to be able to move up and down along the mast 72 by an elevating drive unit such as a motor.
  • the swivel portion 75 rotates the hand 110, the transfer device 120, the grip portion 130, and the like mounted on the swivel portion 75 in the axial rotation direction along the Z direction.
  • the hand 110 places the containment vessel 90 on it.
  • the hand 110 is provided on the lift 73.
  • the transfer device 120 transfers the containment vessel 90 by advancing and retreating the hand 110 (advancing out of the elevating table 73 and moving in and out on the elevating table 73 in a plan view).
  • the transfer device 120 is provided on the elevating table 73.
  • the grip portion 130 grips the containment vessel 90 placed on the hand 110 in the horizontal direction.
  • the grip portion 130 is provided on the hand 110.
  • the fall prevention member 100 prevents the containment vessel 90 from falling from the hand 110 in a retracted state (hereinafter, also simply referred to as “retracted state”) in which the hand 110 is retracted onto the lift 73 by the transfer device 120.
  • the fall prevention member 100 is provided on the elevating table 73.
  • the configuration, mechanism, or arrangement of the traveling unit 71, the elevating unit 74, the swivel unit 75, the hand 110, the transfer device 120, and the grip unit 130 is not particularly limited.
  • Various known mechanisms or devices can be adopted as the traveling unit 71, the elevating unit 74, the swivel unit 75, the hand 110, the transfer device 120, and the grip unit 130.
  • the controller 80 controls each part of the stacker crane 7.
  • the controller 80 is arranged inside the stocker main body 3, for example.
  • the controller 80 has a CPU (Central Processing Unit), a RAM (Random Access Memory), a ROM (Read Only Memory), and the like.
  • various controls are executed by the cooperation of hardware such as a CPU, RAM and ROM, and software such as a program.
  • the containment vessel 90 to be transported by the stacker crane 7 includes a box-shaped container body 91 and three positioning recesses 92 provided at the bottom. , And a flange 93 provided at the top.
  • the recess 92 is a hole (groove) corresponding to the positioning pin P described later, and is formed on the bottom surface of the container body 91.
  • the flange 93 is, for example, a portion to be gripped by the ceiling carrier, and is provided on the container body 91.
  • the flange 93 has a plate shape along the upper surface of the container body 91, and is located at the center of the upper surface when viewed from above.
  • the flange 93 constitutes the top surface along the horizontal plane, which is located at the uppermost position in the containment vessel 90.
  • the hand 110 is a plate-shaped member whose thickness direction is the Z direction.
  • the hand 110 has a plurality of positioning pins P that can be inserted into the recess 92.
  • the positioning pin P is a kinematic pin that stands on the hand 110 and supports the containment vessel 90. In the illustrated example, the positioning pins P are provided at three points on the upper surface of the hand 110 that are not in a straight line.
  • the transfer device 120 is an arm-type drive device that advances and retreats the hand 110.
  • the transfer device 120 has an arm base 121, a first arm 122, and a second arm 123.
  • One end of the first arm 122 is rotatably (swingable) connected to the arm base 121 about an axis along the Z direction.
  • One end of the second arm 123 is rotatably connected to the other end of the first arm 122 about an axis along the Z direction.
  • the rear end portion of the hand 110 is rotatably connected to the other end portion of the second arm 123 about an axis along the Z direction.
  • the swivel operation of the first arm 122, the second arm 123, and the hand 110 can be realized by, for example, the driving force of a swivel motor, a telescopic motor, or the like.
  • the grip portion 130 is configured to be openable and closable between an open state in which the containment vessel 90 is not gripped and a closed state in which the containment vessel 90 is gripped.
  • the grip 130 has a pair of clamps 131.
  • the pair of clamps 131 are members that sandwich the containment vessel 90.
  • the clamp 131 has an L-shaped plate shape in which the tip portion is bent when viewed from above.
  • a contact portion 131a that comes into contact with the side surface of the containment vessel 90 is provided.
  • the pair of clamps 131 are arranged so that their contact portions 131a face each other.
  • the pair of clamps 131 are movably supported on the hand 110 so that the respective contact portions 131a approach and separate from each other along the horizontal direction.
  • the grip portion 130 is in the closed state when the hand 110 is in the retracted state.
  • the grip portion 130 transitions from the closed state to the open state by an interlocking mechanism (not shown) interlocked with the advance operation of the hand 110.
  • FIG. 5 is a perspective view showing the fall prevention member 100.
  • the fall prevention member 100 in the retracted state, has an interval H on the flange 93 of the containment vessel 90 placed on the hand 110 with respect to the flange 93. It is placed open.
  • the interval H is a distance equal to or less than the insertion height (depression depth) of the positioning pin P into the recess 92.
  • the interval H is a distance equal to or less than the dimension from the upper surface, which is the mounting surface of the hand 110, to the apex of the positioning pin P in the Z direction.
  • the interval H is the distance in the Z direction from the lowermost end of the fall prevention member 100 to the uppermost end of the flange 93.
  • the interval H is 8 mm.
  • the fall prevention member 100 has a plate shape (here, a disk shape) with the Z direction as the thickness direction.
  • the fall prevention member 100 is provided so as to include the entire flange 93 when viewed from the Z direction in the retracted state. That is, the fall prevention member 100 is provided so as to be larger than the flange 93 when viewed from the Z direction and to hide the entire flange 93 in the retracted state.
  • the lower surface of the fall prevention member 100 faces the flange 93 in the retracted state.
  • the fall prevention member 100 is cantilevered and supported by the support member 78 on the elevating table 73 (see FIG. 1).
  • the support member 78 includes a horizontal member 78x and a vertical member 78y.
  • the horizontal member 78x extends along the horizontal direction, and one end side thereof is fixed to the upper surface of the fall prevention member 100.
  • the vertical member 78y extends along the Z direction, and its upper end side is connected to the other end side of the horizontal member 78x.
  • the lower end side of the vertical member 78y is fixed to the lift 73.
  • Such a fall prevention member 100 moves up and down integrally with the elevating table 73.
  • the fall prevention members 100 are arranged on the flange 93 of the containment vessel 90 in the retracted state, and the distance H between them is equal to or less than the insertion height of the positioning pin P into the recess 92. Therefore, in the stacker crane 7, for example, while the containment vessel 90 is being conveyed in the retracted state (moving in the X direction along the orbit), the containment vessel 90 is stopped at a large deceleration due to a power failure, and the containment vessel 90 has an external force having a component in the vertical direction. Is added, the vertical movement of the containment vessel 90 can be restricted so that the positioning pin P of the hand 110 does not come off from the recess 92. Therefore, it is possible to reliably prevent the containment vessel 90 from falling from the hand 110.
  • the fall prevention member 100 is provided so as to include the entire flange 93 when viewed from above in the retracted state.
  • the stacker crane 7 further includes a grip portion 130 that grips the containment vessel 90 placed on the hand 110 in the horizontal direction.
  • the grip portion 130 can more reliably prevent the containment vessel 90 from falling from the hand 110.
  • the gripping portion 130 grips the containment vessel 90 during the evacuation operation, it is possible to prevent the containment vessel 90 from moving up and down during the evacuation operation, and the containment vessel 90 to the fall prevention member 100 during the evacuation operation can be prevented. Collision can be reliably prevented.
  • the fall prevention member 100 has a plate shape and is cantilevered by the support member 78 on the elevating table 73. Thereby, a structure that can surely prevent the containment vessel 90 from falling from the hand 110 can be concretely realized.
  • the fall prevention member 100 may be applied to a stacker crane having a configuration different from that of the stacker crane 7 described above.
  • the containment vessel 90 such as FOUP has been described as an example of the transported object, but it may be a reticle pod for storing the reticle.
  • the structure of the fall prevention member 100 is not limited to the above embodiment, and various structures may be used as long as they can be arranged on the flange 93 at intervals H with respect to the flange 93 in the retracted state.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

底部に設けられた位置決め用の凹部と上部に設けられたフランジとを有する搬送物を搬送するスタッカクレーンであって、マストに沿って昇降する昇降台と、昇降台に設けられ、凹部に挿入可能な位置決めピンを有し、搬送物を載置するハンドと、ハンドを進退させて搬送物を移載する移載装置と、昇降台に設けられ、ハンドを移載装置により退避させた退避状態においてハンドからの搬送物の落下を防止する落下防止部材と、を備える。落下防止部材は、退避状態において、ハンドに載置された搬送物のフランジ上に、当該フランジに対して凹部への位置決めピンの挿入高さ以下の間隔をあけて配置される。

Description

スタッカクレーン
　本発明の一側面は、スタッカクレーンに関する。
　従来、搬送物を搬送するスタッカクレーンであって、マストに沿って昇降する昇降台と、昇降台に設けられ搬送物を載置するハンドと、ハンドを進退させて搬送物を移載する移載装置と、を備えるスタッカクレーンが知られている。例えば特許文献１には、ハンドに載置されたＦＯＵＰ（Front　Opening　Unified　Pod）を上方から押さえる押圧支持手段が設けられたスタッカクレーンが開示されている。
特開２００７－５５６９８号公報
　上述したようなスタッカクレーンでは、搬送物を搬送中、例えば停電により大きな減速度で停止した場合等には、ハンドに載置されている搬送物が当該ハンドから落下してしまう可能性がある。
　　そこで、本発明の一側面は、ハンドからの搬送物の落下を確実に防止することが可能なスタッカクレーンを提供することを課題とする。
　本発明の一側面に係るスタッカクレーンは、底部に設けられた位置決め用の凹部と上部に設けられたフランジとを有する搬送物を搬送するスタッカクレーンであって、マストに沿って昇降する昇降台と、昇降台に設けられ、凹部に挿入可能な位置決めピンを有し、搬送物を載置するハンドと、ハンドを進退させて搬送物を移載する移載装置と、昇降台に設けられ、ハンドを移載装置により退避させた退避状態においてハンドからの搬送物の落下を防止する落下防止部材と、を備え、落下防止部材は、退避状態において、ハンドに載置された搬送物のフランジ上に、当該フランジに対して凹部への位置決めピンの挿入高さ以下の間隔をあけて配置される。
　このスタッカクレーンでは、ハンドを移載装置により昇降台上に退避させた退避状態（以下、単に「退避状態」ともいう）において搬送物のフランジ上に落下防止部材が配置され、フランジと落下防止部材との間隔が凹部への位置決めピンの挿入高さ以下である。よって、例えば、退避状態で搬送物を搬送中に停電により大きな減速度で停止し、搬送物に上下方向の成分を有する外力が加わったとしても、ハンドの位置決めピンが凹部から外れないように搬送物の上下方向の移動を規制することができる。したがって、ハンドからの搬送物の落下を確実に防止することが可能となる。
　本発明に係るスタッカクレーンでは、落下防止部材は、退避状態において、上方から見てフランジの全体を含むように設けられていてもよい。この場合、位置決めピンが凹部から外れないように搬送物の上下方向の移動を規制するという上記作用を効果的に発揮でき、ハンドからの搬送物の落下をより確実に防止することができる。
　本発明に係るスタッカクレーンは、ハンドに設けられ、ハンドに載置された搬送物を水平方向において把持する把持部を更に備えていてもよい。この場合、把持部によってもハンドからの搬送物の落下をより確実に防止することが可能となる。
　本発明に係るスタッカクレーンでは、落下防止部材は、板状を呈し、昇降台上にて支持部材により片持ち支持されていてもよい。これにより、ハンドからの搬送物の落下を確実に防止できる構造を、具体的に実現できる。
　本発明の一側面によれば、ハンドからの搬送物の落下を確実に防止することが可能なスタッカクレーンを提供することができる。
図１は、一実施形態に係るスタッカクレーンを備えたストッカを示す断面図である。 図２は、図１のスタッカクレーンの要部を示す斜視図である。 図３は、図１のスタッカクレーンの要部を示す斜視図である。 図４は、図１のスタッカクレーンの要部を示す側面図である。 図５は、図１のスタッカクレーンの落下防止部材を示す斜視図である。
　以下、図面を参照して、一実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。「上」及び「下」の語は、鉛直方向の上方向及び下方向にそれぞれ対応する。
　一実施形態に係るスタッカクレーンを備えたストッカについて説明する。図１は、スタッカクレーン７を備えたストッカ１を示す断面図である。図２、図３及び図４はスタッカクレーン７の要部を示す各図である。図２では、説明の便宜上、格納容器９０の表示を省略している。図１～図３の少なくとも何れかに示されるように、ストッカ１は、半導体ウエハ及びガラス基板等の被格納物が格納されたＦＯＵＰ（Front　Opening　Unified　Pod）等の格納容器（搬送物）９０を保管する保管庫としての機能を有している。ストッカ１は、例えば、クリーンルームに設けられる。ストッカ１は、ストッカ本体３、ラック４、スタッカクレーン７、及び、コントローラ８０を主に備えている。
　ストッカ本体３は、ストッカ１の内部空間Ａを画成する部分であり、複数のパーティションにより形成されている。ラック４は、格納容器９０を保管する部分であり、通常、１～２列（ここでは、２列）設けられている。各ラック４は、Ｘ方向（幅方向）に延在しており、隣り合う２つのラック４，４が対向するように略平行に配置されている。
　各ラック４は、格納容器９０を載置して保管する複数の収納棚５０を有している。収納棚５０は、Ｘ方向及びＺ方向（鉛直方向）に沿って配列されている。なお、以下においては、スタッカクレーン７から見て収納棚５０が配置される側を前側、その反対側を後側とし、前側への移動を進出、後側への移動を退出として説明する。
　スタッカクレーン７は、格納容器９０を収納棚５０に対して出し入れすると共に、格納容器９０を図示しない入庫ポート及び出庫ポートと収納棚５０との間、あるいは収納棚５０間で移動させる機構である。スタッカクレーン７は、対向するラック４，４に挟まれた領域に配置されている。スタッカクレーン７は、ラック４の延在方向（Ｘ方向）に沿って床面に配置された軌道（図示せず）を走行して、ラック４に沿ってＸ方向に移動することができる。
　スタッカクレーン７は、走行部７１と、昇降部７４と、旋回部７５と、ハンド１１０と、移載装置１２０と、把持部１３０と、落下防止部材１００と、を備える。走行部７１は、モータ等の走行駆動部によって軌道に沿ってＸ方向に走行可能に設けられている。昇降部７４は、マスト７２及び昇降台７３を含む。マスト７２は、走行部７１に設けられ、Ｚ方向に延在する部材である。昇降台７３は、モータ等の昇降駆動部によって、マスト７２に沿って昇降可能に設けられている。旋回部７５は、当該旋回部７５上に搭載されたハンド１１０、移載装置１２０及び把持部１３０等を、Ｚ方向に沿う軸回り回転方向に回転させる。
　ハンド１１０は、格納容器９０を載置する。ハンド１１０は、昇降台７３に設けられている。移載装置１２０は、ハンド１１０を進退（平面視において昇降台７３の外に進出及び昇降台７３上に退入）させて格納容器９０を移載する。移載装置１２０は、昇降台７３に設けられている。把持部１３０は、ハンド１１０に載置された格納容器９０を水平方向において把持する。把持部１３０は、ハンド１１０に設けられている。落下防止部材１００は、ハンド１１０を移載装置１２０により昇降台７３上に退避させた退避状態（以下、単に「退避状態」ともいう）においてハンド１１０からの格納容器９０の落下を防止する。落下防止部材１００は、昇降台７３に設けられている。
　なお、走行部７１、昇降部７４、旋回部７５、ハンド１１０、移載装置１２０及び把持部１３０の構成、機構ないし配置については、特に限定されない。走行部７１、昇降部７４、旋回部７５、ハンド１１０、移載装置１２０及び把持部１３０としては、公知の種々の機構ないし装置を採用することができる。
　コントローラ８０は、スタッカクレーン７における各部を制御する。コントローラ８０は、例えば、ストッカ本体３の内部に配置される。コントローラ８０は、ＣＰＵ（Central　Processing　Unit）、ＲＡＭ（Random　Access　Memory）及びＲＯＭ（Read　Only　Memory）等を有している。コントローラ８０では、ＣＰＵ、ＲＡＭ及びＲＯＭ等のハードウェアとプログラム等のソフトウェアとが協働することによって、各種制御を実行する。
　次に、スタッカクレーン７に関して詳細に説明する。
　図２～図４の少なくとも何れかに示されるように、スタッカクレーン７の搬送対象となる格納容器９０は、箱状を呈する容器本体９１と、底部に設けられた位置決め用の３つの凹部９２と、上部に設けられたフランジ９３と、を有する。凹部９２は、後述の位置決めピンＰに対応する穴（溝）であって、容器本体９１の底面に形成されている。フランジ９３は、例えば天井搬送車に把持される部位であり、容器本体９１に設けられている。フランジ９３は、容器本体９１の上面に沿った板状を呈し、上方から見て当該上面の中央部に位置する。フランジ９３は、格納容器９０において最も上方に位置する、水平面に沿った頂面を構成する。
　ハンド１１０は、Ｚ方向を厚さ方向とする板状部材である。ハンド１１０は、凹部９２に挿入可能な複数の位置決めピンＰを有する。位置決めピンＰは、ハンド１１０上に立設され、格納容器９０を支持するキネマピンである。図示する例では、位置決めピンＰは、ハンド１１０の上面において一直線上にない３点に設けられている。
　移載装置１２０は、ハンド１１０を進退させるアーム式の駆動装置である。移載装置１２０は、アームベース１２１、第１アーム１２２及び第２アーム１２３を有する。第１アーム１２２の一端部は、アームベース１２１に対して、Ｚ方向に沿う軸回りに旋回自在（揺動自在）に連結されている。第２アーム１２３の一端部は、第１アーム１２２の他端部に対して、Ｚ方向に沿う軸回りに旋回自在に連結されている。ハンド１１０の後端部は、第２アーム１２３の他端部に対して、Ｚ方向に沿う軸回りに旋回自在に連結されている。移載装置１２０では、例えば旋回モータ及び伸縮モータ等の駆動力によって、第１アーム１２２、第２アーム１２３及びハンド１１０の旋回動作を実現することができる。
　把持部１３０は、格納容器９０を把持しない開状態と格納容器９０を把持する閉状態との間で開閉可能に構成されている。把持部１３０は、一対のクランプ１３１を有する。一対のクランプ１３１は、格納容器９０を挟持する部材である。クランプ１３１は、上方から見て先端部が屈折するＬ字状の板状を呈する。クランプ１３１の先端部には、格納容器９０の側面に当接する当接部１３１ａが設けられている。一対のクランプ１３１は、それぞれの当接部１３１ａが対向する向きで配置されている。一対のクランプ１３１は、ハンド１１０上において、それぞれの当接部１３１ａが水平方向に沿って互いに接近及び離間するように移動可能に支持されている。把持部１３０は、ハンド１１０が退避状態の場合に閉状態である。把持部１３０は、ハンド１１０が退避状態から一定位置まで進出した場合に、ハンド１１０の進出動作に連動する連動機構（不図示）により閉状態から開状態へ遷移する。
　図５は落下防止部材１００を示す斜視図である。図２～図５の少なくとも何れかに示されるように、落下防止部材１００は、退避状態において、ハンド１１０に載置された格納容器９０のフランジ９３上に、当該フランジ９３に対して間隔Ｈをあけて配置される。間隔Ｈは、凹部９２への位置決めピンＰの挿入高さ（落ち込み深さ）以下の距離である。間隔Ｈは、Ｚ方向においてハンド１１０の載置面である上面から位置決めピンＰの頂点までの寸法以下の距離である。例えば間隔Ｈは、落下防止部材１００の最下端からフランジ９３の最上端までのＺ方向の距離である。例えば位置決めピンＰの挿入高さ１３ｍｍである場合、間隔Ｈは、８ｍｍである。
　落下防止部材１００は、Ｚ方向を厚さ方向とする板状（ここでは、円板状）を呈する。
　落下防止部材１００は、退避状態において、Ｚ方向から見てフランジ９３全体を含むように設けられている。つまり、落下防止部材１００は、Ｚ方向から見て、フランジ９３よりも大きく、且つ退避状態でフランジ９３全体が隠れるように設けられている。落下防止部材１００の下面は、退避状態においてフランジ９３と対面する。
　落下防止部材１００は、昇降台７３（図１参照）上にて支持部材７８により片持ち支持されている。支持部材７８は、水平部材７８ｘ及び鉛直部材７８ｙを含む。水平部材７８ｘは、水平方向に沿って延び、その一端側が落下防止部材１００の上面に固定されている。鉛直部材７８ｙは、Ｚ方向に沿って延び、その上端側が水平部材７８ｘの他端側に連なっている。鉛直部材７８ｙは、その下端側が昇降台７３に固定されている。このような落下防止部材１００は、昇降台７３と一体で昇降する。
　以上、スタッカクレーン７では、退避状態における格納容器９０のフランジ９３上に落下防止部材１００が配置され、それらの間隔Ｈが凹部９２への位置決めピンＰの挿入高さ以下である。よって、スタッカクレーン７では、例えば退避状態で格納容器９０を搬送中（軌道に沿ってＸ方向に移動中）に、停電により大きな減速度で停止し、格納容器９０に上下方向の成分を有する外力が加わったとしても、ハンド１１０の位置決めピンＰが凹部９２から外れないように格納容器９０の上下方向の移動を規制することができる。したがって、ハンド１１０からの格納容器９０の落下を確実に防止することが可能となる。
　スタッカクレーン７では、落下防止部材１００は、退避状態において、上方から見てフランジ９３全体を含むように設けられている。これにより、位置決めピンＰが凹部９２から外れないように格納容器９０の上下方向の移動を規制するという上記作用を効果的に発揮でき、ハンド１１０からの格納容器９０の落下をより確実に防止することができる。
　スタッカクレーン７は、ハンド１１０に載置された格納容器９０を水平方向において把持する把持部１３０を更に備える。これにより、把持部１３０によってもハンド１１０からの格納容器９０の落下をより確実に防止することが可能となる。また、退避動作の途中で把持部１３０が格納容器９０を把持することによって、退避動作時における格納容器９０の上下動を防止することができ、退避途中における落下防止部材１００への格納容器９０の衝突を確実に防止することができる。
　スタッカクレーン７では、落下防止部材１００は、板状を呈し、昇降台７３上にて支持部材７８により片持ち支持されている。これにより、ハンド１１０からの格納容器９０の落下を確実に防止できる構造を、具体的に実現できる。
　以上、実施形態について説明したが、本発明の一態様は、上記実施形態に限られず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
　上記実施形態では、上述のスタッカクレーン７とは異なる構成のスタッカクレーンに落下防止部材１００を適用してもよい。上記実施形態では、搬送物の例としてＦＯＵＰのような格納容器９０を例に挙げて説明したが、レチクルを格納するレチクルポッドであってもよい。落下防止部材１００の構造は、上記実施形態に限定されず、退避状態においてフランジ９３上に当該フランジ９３に対して間隔Ｈをあけて配置できれば、種々の構造であってもよい。
　７…スタッカクレーン、７２…マスト、７３…昇降台、７８…支持部材、９０…格納容器（搬送物）、９２…凹部、９３…フランジ、１００…落下防止部材、１１０…ハンド、１２０…移載装置、１３０…把持部、Ｈ…間隔、Ｐ…位置決めピン。

Claims (4)

  1. 　底部に設けられた位置決め用の凹部と上部に設けられたフランジとを有する搬送物を搬送するスタッカクレーンであって、
    　マストに沿って昇降する昇降台と、
    　前記昇降台に設けられ、前記凹部に挿入可能な位置決めピンを有し、前記搬送物を載置するハンドと、
    　前記ハンドを進退させて前記搬送物を移載する移載装置と、
    　前記昇降台に設けられ、前記ハンドを前記移載装置により退避させた退避状態において前記ハンドからの前記搬送物の落下を防止する落下防止部材と、を備え、
    　前記落下防止部材は、前記退避状態において、前記ハンドに載置された前記搬送物の前記フランジ上に、当該フランジに対して前記凹部への前記位置決めピンの挿入高さ以下の間隔をあけて配置される、スタッカクレーン。
  2. 　前記落下防止部材は、前記退避状態において、上方から見て前記フランジの全体を含むように設けられている、請求項１に記載のスタッカクレーン。
  3. 　前記ハンドに設けられ、前記ハンドに載置された前記搬送物を水平方向において把持する把持部を更に備える、請求項１又は２に記載のスタッカクレーン。
  4. 　前記落下防止部材は、板状を呈し、前記昇降台上にて支持部材により片持ち支持されている、請求項１～３の何れか一項に記載のスタッカクレーン。
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