CN1824592B - 晶片传送装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种具有汽缸驱动的可动指的晶片传送装置。该晶片传送装置包括其操作由驱动装置所控制的机械手组件、在其上放置晶片的平铲以及夹持件，该夹持件用于将放置在平铲上的晶片定位并固定。平铲安装在机械手组件的末端，夹持件安装在平铲上。

Description

晶片传送装置

技术领域

本发明涉及晶片传送装置，并且具体的说，涉及具有汽缸驱动的可动指的晶片传送装置。 

背景技术

半导体晶片要被传送至进行处理(比如清洗、沉积、蚀刻等)的位置。因此，已使用了多种晶片传送装置。 

通常来说，用在大气压力下的晶片传送装置使用真空来固定基片。因为使用在高真空系统中的晶片传送装置不能使用真空，在放置晶片的托盘的前后边沿装配限位件(shoe)。这样，当高速传送晶片时，晶片可能会从平铲脱离。而且，还没有用于修正安装得偏离平铲的晶片的方法。 

最近几年，开发了用于夹紧放置在平铲上的晶片的装置以可靠地固定晶片。但是，该夹持装置结构复杂，这样，很难调整该夹持装置的结构。此外，晶片可能会被该夹持装置损坏。 

发明内容

本发明的特征是提供在高真空腔内高速传送晶片并修正偏斜晶片的位置的晶片传送装置。 

本发明的另一特征是提供防止已固定住的晶片被破坏的晶片传送装置。 

本发明另外一个特征是提供具有简单结构的晶片传送装置。 

本发明还有一个特征是提供能检查晶片是被正常固定住或是已脱离的晶片传送装置。 

为了实现这些特征，本发明提供一种晶片传送装置，其包括由驱动机构控制其操作的机械手组件、在其上放置晶片的平铲以及在固定晶片时用于将放置在平铲上的晶片定位于适当位置上的夹持件。平铲安装在机械手组件的末端，夹持件安装在平铲上。 

平铲包括固定指。夹持件包括用于将放置在平铲上的晶片推向固定指的移动推杆、用于滑动移动该移动推杆的驱动部分以及将驱动部分安装在其中的壳体。 

驱动部分包括气压缸。 

晶片传送装置还包括传感组件，用于检测气压缸的位置以确定晶片是被正常固定着还是已脱离。 

气压缸的位置分为备用、固定和脱离区。传感组件包括用于检测汽缸是否在备用区的第一传感器和用于检测汽缸缸已从固定区脱离开而进入脱离区的第二传感器。 

传感组件还包括用于检测晶片是否放置在平铲上的第三传感器。 

在一些实施例中，移动推杆包括连接至驱动部分的移动轴的连接杆、从连接杆两侧延伸出来的一对支撑以及接触晶片边沿以支撑晶片的可动指。可动指安装在这对支撑上。夹持装置还包括至少一个用于调整移动推杆的移动距离的止动器。 

在一些实施例中，止动器与壳体相连，如同螺栓那样。止动器的位置可以调整。 

在一些实施例中，晶片传送装置还包括弹簧，用于控制移动推杆的移动速度以吸收当移动推杆接触晶片时所产生的震动。 

附图说明

图1是按照本发明的晶片传送装置的顶视图。 

图2是图1所示平铲的立体图。 

图3是图1所示平铲的顶视图。 

图4是图1所示平铲的侧视图。 

图5显示了当移动推杆的可动指前移时调整晶片中心的步骤。 

图6显示了使用止动器来调整移动推杆前移距离的例子。 

图7显示了在其内安装着第一和第二传感器的液压缸。 

图8是用于说明使用传感组件的传感器来确定晶片是否正常的方法的表格。 

具体实施方式

以下参照附图来更充分地说明本发明，这些附图显示了本发明的优选实施例。但是，本发明可以以不同的方式来实施，而不应该将其理解为受此说明的实施例所限。相反，提供这些实施例是为了让本公开的内容详细完整，并将本发明的范围充分地传达给本领域的技术人员。全文中，相似的附图标记表示相似的部件。 

图1是按照本发明的晶片传送装置的顶视图，图2至图4是图解图1所示平铲的构造的图。 

如图1所示，晶片传送装置100具有机械手组件110和平铲120。机械手组件110的操作由诸如，举例来说，步进电机之类的驱动装置(未图示)来控制。半导体晶片200放置在平铲120上。 

平铲120固定连接至机械手组件110的末端。 

参见图1至图4，平铲120大体上是“Y”形，并具有连接部件122 和一对翼124。连接部件122连接至机械手组件110的末端。翼124从连接部件122以锥形延伸出去直至翼124的末端。固定指128安装在翼124的末端。在翼124上安装四个支撑凸起126以支撑晶片的底部。 

连接部件122具有用于将晶片可靠地夹在翼124上的夹持件130和用于确定晶片是否正常的传感组件150。 

夹持件130将晶片W放置并固定在合适位置上，它包括移动推杆134、用作驱动部分的气压缸132以及壳体131。 

移动推杆134将放置在平铲120上的晶片W推向固定指128，它具有与气压缸132的移动轴133a相连的连接杆136和一对从连接杆136两侧延伸出去的支撑件138。可动指140安装在支撑件138的末端，与晶片的边沿接触。 

移动推杆134通过气压缸132整个地向后移动。否则，当将晶片放置在平铲120上时，未调准的晶片可能会与移动推杆134碰撞。移动推杆134通过气压缸132前移。在移动推杆134的前移位置处，可动指140和固定指128与晶片的边沿接触以支撑晶片。如图5所示，如果晶片W不正确地放置在平铲120上(晶片W的中心稍稍偏移)，移动推杆134的可动指140向前移动以调整晶片W的中心定位。 

夹持件130具有止动器142用以调整移动推杆134的移动距离(移向距离)L。止动器12安装在壳体131中以调整移动推杆134的移向距离。具体而言，止动器142连接至壳体131，如同螺栓那样，如果需要的话，可以调整移动推杆134的移向距离。因为晶片的夹持位置可能随着晶片的膨胀或者收缩变化，所以必需调整止动器142的位置。图6显示了使用止动器来调整移动推杆的前移距离的例子。 

夹持件130具有弹簧144以吸收震动。弹簧144安装在移动推杆134的连接杆136上，吸收当移动推杆134前移至与晶片相接触时施加 在晶片上的震动。 

按照本发明，晶片传送装置能防止在固定晶片时可能发生的晶片损坏。防止晶片损坏可通过如下步骤来实现：(1)使用气压缸来控制移动推杆134的速度；(2)使用弹簧144来减小移动推杆134的速度；(3)使用止动器142来调整移动推杆134的前移位置。 

参见图3和图7，传感组件150具有第一至第三传感器150、152和154。第一和第二传感器150和152检测气压缸的位置，第三传感器154探测晶片W是否放置在平铲120上。按照本发明的晶片传送装置100可使用传感器150、152和154来检查晶片是否正常。如图7所示，气压缸132的位置被划分为备用区a、固定区b和脱离区c。第一传感器150检测位于备用区a的汽缸，第二传感器152检测位于脱离区c的汽缸。如图8所示，传感组件确定晶片是正常或是异常(备用正常、备用异常、固定正常、固定已被破坏、固定已脱离)。 

在本发明中，上述晶片包括用于标线的基片、诸如用于液晶显示器的基片和用于等离子体显示器的基片等的显示器基片、用于硬盘的基片以及用于电子器件比如半导体器件的晶片。 

如上所述，将不正确地放置在平铲上的晶片进行修正(调整至合适位置)以精确移动到下一个位置。因为晶片被物理支撑(固定)在四个或者多个点上，可将它们高速传送而不会掉下来。而且，使用多个传感器以检测晶片是否破损或者脱离。 

显而易见，对于本领域的技术人员来说，可根据上面所公开的内容对本发明进行其它的修改和改变。因此，尽管在这里只具体解释了本发明的特定实施例，但很显然，在不背离本发明的精神和范围的前提下，可以进行许多修改。 

Claims (8)

1.一种晶片传送装置，包括：

机械手组件，其操作由驱动装置控制；

在其上放置晶片的平铲，该平铲安装在机械手组件的末端；以及

夹持件，用于将放置在平铲上的晶片定位并固定，该夹持件安装在平铲上；

其中，所述平铲包括固定指；而

所述夹持件包括：

移动推杆，用于将放置在平铲上的晶片推向固定指；

驱动部件，用于滑动该移动推杆；以及

壳体，驱动部件安装在其中；

其中，驱动部件包括气压缸；

所述的晶片传送装置还包括：

传感组件，用于检测气压缸的位置以确定晶片是被正常固定着或是已脱离；

其中，气压缸的位置被划分为备用、固定和脱离区；而

传感组件包括：

第一传感器，用于检测汽缸是否在备用区；和

第二传感器，用于检测汽缸离开固定区而进入脱离区。

2.如权利要求1所述的晶片传送装置，其中，传感组件还包括：

第三传感器，用于感应晶片是否放置在平铲上。

3.如权利要求1所述的晶片传送装置，其中，所述移动推杆包括：

连接杆，其连接至驱动部件的移动轴；

一对支撑，其从连接杆的两侧延伸出来；以及

可动指，其与晶片边沿接触以支撑晶片，该可动指安装在那对支撑上。

4.如权利要求1所述的晶片传送装置，其中，夹持件还包括：

至少一个止动器，用于调整移动推杆的移动距离。

5.如权利要求4所述的晶片传送装置，其中，止动器如同螺栓那样与壳体相连接，调整该止动器的位置以控制其与晶片的距离。

6.如权利要求1所述的晶片传送装置，还包括：

弹簧，用于控制移动推杆的移动速度以吸收当移动推杆接触晶片时所产生的震动。

7.如权利要求6所述的晶片传送装置，其中，弹簧安装在壳体和所述移动轴之间。

8.如权利要求1所述的晶片传送装置，其中，平铲具有多个支撑凸起，用于支撑晶片的底部。

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