KR102002317B1 - 플립모듈 - Google Patents

Abstract

본 발명은 플립모듈에 관한 것으로, 보다 상세하게는 공정조건에 따라서 기판의 증착면을 상방 또는 하방을 향하도록 기판을 반전시키는 박막 증착 시스템의 플립모듈에 관한 것이다.
본 발명은 피처리대상을 반전시키는 박막 증착 시스템의 플립모듈에 있어서, 피처리대상이 내부로 도입되는 제1게이트와, 피처리대상이 외부로 배출되는 제2게이트가 형성된 플립챔버와; 상기 플립챔버 내부에 설치되어 피처리대상을 반전시키는 플립부와, 상기 플립챔버 내부에 설치되어 상기 제1게이트를 통하여 도입된 상기 피처리대상을 상기 플립부로 도입시키고 상기 플립부에 의해 반전된 피처리대상을 상기 제2게이트를 통하여 배출시키는 이송유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 플립모듈을 개시한다.

Description

플립모듈 {FLIP MODULE}

본 발명은 플립모듈에 관한 것으로, 보다 상세하게는 공정조건에 따라서 기판의 증착면을 상방 또는 하방을 향하도록 기판을 반전시키는 박막 증착 시스템의 플립모듈에 관한 것이다.

일반적으로, 유기 발광 소자(OLED,Organic Light Emitting Diode)는 정공 주입(Hole injection)용 애노드 전극, 전자 주입(Electron injection)용 캐소드 전극 및 이들 전극 사이에 개재되어 빛을 방출하는 전하 재결합을 지지하는 유기막을 포함한다.

이러한 전극들 및 유기막은 여러 방법으로 형성될 수 있는데, 그 중 한 방법이 증착이다. 증착 방법을 이용하여 유기 발광 소자를 제작하기 위해서는 박막 등이 형성될 기판(Glass)의 일면에 형성될 박막 등의 패턴과 동일한 패턴을 가지는 파인 메탈 마스크(Fine metal mask)을 이용하여 유기막을 증착하고, 유기막 증착이 끝난 기판에 메탈 즉, 캐소드 전극을 증착면 전면에 증착하고, 이를 봉지화(Encapsulation) 하는 과정을 포함한다.

한편, 기판은 선행공정에서 기판의 증착면이 상방을 향하도록 한 상태에서 이송되는데, 이는 기판의 증착면이 하방을 향하도록 한 상태에서 이송로봇을 이용하여 기판을 이송할 경우 기판의 증착면을 손상시킬 수 있기 때문이다.

또, 종래에는 상술한 바와 같이 기판이 상방을 향하도록 한 상태에서 하방을 향하도록 반전시키기 전과 반전시킨 후의 이송경로의 높이가 다른 경우가 발생될 수 있다.

이와 같은 경우에는 기판의 반전 전 또는 후에 기판을 수직 이동시킬 수 있는 별도의 수직이동장치를 필요로 한다.

그러나 상술한 바와 같이 별도의 수직이동장치를 설치하면, 이에 따른 비용이 증가되는 문제점을 갖는다.

본 발명의 목적은 상기의 문제점을 해결하기 위하여, 간단한 구조에 의하여 기판을 반전시킬 수 있는 플립모듈을 제공하는 데 있다.

본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 피처리대상을 반전시키는 박막 증착 시스템의 플립모듈에 있어서, 피처리대상이 내부로 도입되는 제1게이트와, 피처리대상이 외부로 배출되는 제2게이트가 형성된 플립챔버와; 상기 플립챔버 내부에 설치되어 피처리대상을 반전시키는 플립부와, 상기 플립챔버 내부에 설치되어 상기 제1게이트를 통하여 도입된 상기 피처리대상을 상기 플립부로 도입시키고 상기 플립부에 의해 반전된 피처리대상을 상기 제2게이트를 통하여 배출시키는 이송유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 플립모듈을 개시한다.

상기 플립부는, 상기 이송유닛에 의해 도입된 피처리대상을 지지하는 홀더와, 상기 홀더와 결합되어 상기 홀더를 반전시켜 상기 홀더에 도입된 피처리대상을 반전시키는 회전축과, 상기 회전축을 회전구동하는 회전유닛을 포함할 수 있다.

상기 제1게이트 및 상기 제2게이트는, 상기 플립챔버의 저면으로부터 동일한 높이에 형성되며, 상기 플립부는, 반전 전후에 상기 플립챔버의 저면으로부터 동일한 높이에 피처리대상이 위치되도록 피처리대상을 반전시킬 수 있다.

상기 제1게이트 및 상기 제2게이트는, 상기 플립챔버의 저면으로부터 서로 다른 높이에 형성되며, 상기 플립부는, 반전 전에는 상기 제1게이트에 대응되는 위치에, 반전 후에는 상기 제2게이트에 대응되는 위치에 위치되도록 피처리대상을 반전시킬 수 있다.

상기 홀더는 상기 제1게이트에 대응되는 위치에 위치되었을 때 상기 홀더의 상하높이중심선이 상기 회전축과 간격을 두고 설치될 수 있다.

상기 홀더는 상기 제1게이트에 대응되는 위치에 위치되었을 때 상기 피처리대상을 상기 회전축과 간격을 두고 지지할 수 있다.

상기 플립부는, 상기 홀더의 양측면에서 연장되며 상기 회전축과 결합되는 연결부재를 추가로 포함할 수 있다.

상기 회전유닛은, 상기 플립챔버의 외부에 설치되어 상기 회전축을 정회전 또는 역회전시켜 상기 홀더에 도입된 피처리대상을 반전시킬 수 있다.

상기 회전유닛은, 상기 회전축의 길이방향으로 이동가능하게 상기 플립챔버에 설치될 수 있다.

상기 플립부는, 상기 회전유닛에 의해 상기 홀더가 반전되는 과정에서 상기 홀더에 지지된 피처리대상의 이탈을 방지하도록 상기 홀더에 도입된 피처리대상을 고정시키는 이탈방지유닛을 추가로 포함할 수 있다.

상기 이탈방지유닛은, 액츄에이터와, 상기 액츄에이터에 의해 승강 가능하게 마련되어 상승 시 상기 홀더의 하면을 관통하여 피처리대상에 형성된 삽입홈에 삽입되는 고정핀을 포함할 수 있다.

상기 이송유닛은, 피처리대상의 이송을 위해 구동력을 제공하는 구동부와, 상기 구동부에 의해 이송되는 피처리대상을 가이드하는 가이드부를 포함할 수 있다.

상기 가이드부는, 피처리대상의 양측에 설치되는 한 쌍의 제1가이드부재에 대응되며 상기 플립부에 설치되어 상기 제1가이드부재와 접촉하여 상기 제1가이드부재의 이동을 가이드하는 한 쌍의 제2가이드부재를 포함할 수 있다.

상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이부재는, 선형레일과, 상기 선형레일을 사이에 두며 서로 간격을 두고 설치되는 복수의 롤러부재들의 조합에 의하여 결합되며, 상기 제1가이드부재는, 상기 선형레일 및 상기 복수의 롤러부재들 중 어느 하나를 포함하며, 상기 제2가이드부재는, 상기 선형레일 및 상기 복수의 롤러부재들 중 나머지 하나를 포함할 수 있다.

상기 피처리대상은 기판이 안착된 캐리어를 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 플립모듈은, 피처리대상의 도입 및 배출을 위한 이송유닛 및 피처리대상을 반전시키는 플립부를 구비함으로써 간단한 구조에 의하여 공정조건에 따라서 기판의 증착면을 상방 또는 하방을 향하도록 기판을 반전시킬 수 있는 이점이 있다.

또한 본 발명에 따른 플립모듈은, 피처리대상의 반전과 동시에 플립챔버에 대한 저면으로부터의 높이를 변화시킴으로써 반전 및 수직이동의 동시수행이 가능하여 수직이동을 위한 별도의 수직이동장치를 구비해야 하는 종래와 달리 제조비용을 절감할 수 있는 이점이 있다.

도 1은, 본 발명에 따른 플립모듈을 포함하는 박막 증착 시스템을 설명하기 위해 개략적으로 도시한 개념도이다.
도 2는, 도 1의 플립모듈을 보여주는 단면도이다.
도 3은, 도 2의 플립모듈에 구비되는 플립부를 도시한 일부 단면도이다.
도 4는, 도 3의 단면방향과 수직을 이루는 방향의 단면도로서 도 3의 플립부를 보여주는 일부 단면도이다.
도 5 및 도 6은, 도 2의 플립모듈의 작동과정을 보여주는 개념도이다.
도 7은, 도 2의 플립모듈의 변형례를 보여주는 단면도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다. 이때 본 발명의 실시예는 유기 발광 소자를 제조하기 위해 기판에 증착되는 다양한 막들 중 캐소드 전극을 증착하는 증착 장치를 예로 들어 설명하기로 한다.

그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 또한 설명의 편의를 위하여 도면에서는 구성요소들의 크기가 과장 또는 축소될 수 있고, 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

도 1은, 본 발명에 따른 플립모듈을 포함하는 박막 증착 시스템을 설명하기 위해 개략적으로 도시한 개념도이다. 이러한 박막 증착 시스템은 상술한 바와 같이 기판 상에 캐소드 전극을 증착하는 시스템을 예로 들어 설명한다.

도 1을 참조하면, 박막 증착 시스템(10)은, 인라인(In-line)으로 연결되는 다수의 모듈들(11~15)을 포함할 수 있다.

먼저, 본 발명의 박막 증착 시스템(10)에 구비되는 다수의 모듈들(11~15)은, 로딩모듈(11), 제1플립모듈(12), 적어도 하나의 증착모듈(13), 제2플립모듈(14) 및 언로딩모듈(15)을 포함할 수 있다.

상기 로딩모듈(11)은, 선행 공정 예로 들면, 유기막 증착 공정이 완료되어 본 발명의 박막 증착 시스템(10)에 반입된 글라스와 같은 기판과, 로딩모듈(11)로 이송된 마스크 조립체를 얼라인시켜 캐리어에 안착시키는 과정을 수행할 수 있다.

그리고 상기 로딩모듈(11)은, 기판 단독, 기판이 안착된 캐리어, 또는 기판 및 마스크가 얼라인되어 안착된 캐리어를 피처리대상(C)으로 하여 제1플립모듈(12)로 전달한다.

상기 제1플립모듈(12)은, 상술한 바와 같이 로딩모듈(11)로부터 피처리대상(C)을 전달받아 반전시키는 과정이 진행된다. 이때, 피처리대상(C)에 포함된 기판은 선행 공정에서 증착면이 상방을 향하도록 한 상태에서 마스크와 얼라인되어 캐리어에 안착된 상태로 로딩모듈(11)로 진입될 수 있으며, 본 발명의 다수의 증착모듈(13)에는 이송되는 기판의 하측에 증발원이 구비되어 있는 경우 기판을 반전, 즉 기판이 하측을 향하도록 반전시키는 것이 필요하다.

상기 제1플립모듈(12)의 구체적인 설명은 후술한다.

상기 증착모듈(13)은, 상술한 바와 같이 제1플립모듈(12)로부터 이송된 피처리대상(C) 중 기판에 캐소드 전극을 증착하는 등 증착공정을 수행할 수 있다. 이러한 증착모듈(13)은, 도시되지는 않았으나 메탈 소스를 이용하여 기판에 캐소드 전극을 증착시키는 다수의 증발원이 설치될 수 있다.

상기 제2플립모듈(14)은, 상술한 바와 같이 다수의 증착모듈(13)로부터 이송된 피처리대상(C)을 다시 180° 반전시키는 과정을 수행한다. 여기서 피처리대상(C)을 다시 반전시키는 것은 후속 공정 예로 들면, 봉지화 공정시스템으로 이송되는 기판을 캐소드 증착면의 손상 없이 원활하게 이송하기 위함이다.

상기 언로딩모듈(15)은, 로딩모듈(11)에 대응되어 제2플립모듈(14)로부터 이송된 피처리대상(C)을 분리하여 이중 캐소드 전극이 증착된 기판을 외부로 반출하는 과정이 진행될 수 있다.

도 2는, 도 1의 플립모듈을 보여주는 단면도이고, 도 3은, 도 2의 플립모듈에 구비되는 플립부를 도시한 일부 단면도이고, 도 4는, 도 3의 단면방향과 수직을 이루는 방향의 단면도로서 도 3의 플립부를 보여주는 일부 단면도이고, 도 5 및 도 6은, 도 2의 플립모듈의 작동과정을 보여주는 개념도이고, 도 7은, 도 2의 플립모듈의 변형례를 보여주는 단면도이다.

이때, 도 2 내지 도 7에 도시된 플립부(20)는, 제1플립모듈(12)에 설치된 플립부를 예로 들어 설명하였으며, 제2플립모듈(14)에 설치된 플립부(20)는 설치위치 및 설치방향(게이트의 위치 등)이 다를 뿐, 제1플립모듈(12)의 플립부(20)와 구성요소가 동일 또는 유사하므로 구체적인 설명을 생략한다.

즉, 상기 제1플립모듈(12) 및 제2플립모듈은, 플리모듈로서 설치위치 및 설치방향(게이트의 위치 등)이 다를 뿐, 구성요소가 동일 또는 유사하다.

상기 제1플립모듈(12)은, 피처리대상(C)이 내부로 도입되는 제1게이트(12a)와, 피처리대상(C)이 외부로 배출되는 제2게이트(12b)가 형성된 플립챔버와; 플립챔버 내부에 설치되어 피처리대상(C)을 반전시키는 플립부(20)와, 플립챔버 내부에 설치되어 제1게이트(12a)를 통하여 도입된 피처리대상(C)을 플립부(20)로 도입시키고 플립부(20)에 의해 반전된 피처리대상(C)을 제2게이트(12c)를 통하여 배출시키는 이송유닛을 포함한다.

마찬가지로 제2플립모듈(14)의 플립챔버는, 피처리대상(C)이 내부로 도입되는 제1게이트(14a)와, 피처리대상(C)이 외부로 배출되는 제2게이트(14b)가 형성된 된다.

상기 제1플립모듈(12)의 제1게이트(12a)와 제2게이트(12b) 및 제2플립모듈(14)의 제1게이트(14a)와 제2게이트(14b)는, 도 7에 도시된 바와 같이, 플립챔버의 저면으로부터 동일한 높이에 형성되거나, 도 1, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 플립챔버의 저면으로부터 서로 다른 높이에 형성될 수 있으며, 본 발명의 일 실시예에서는 제1게이트(12a,14a)와 제2게이트(12b,14b)가 서로 다른 높이에 형성된 예로 들어 도시하였다.

상기의 플립부(20)는, 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 이송유닛에 의하여 도입된 피처리대상(C)을 지지하는 홀더(220)와, 홀더(220)와 결합되어 홀더(220)를 반전시켜 홀더(220)에 도입된 피처리대상(C)을 반전시키는 회전축(230)과, 회전축(230)을 회전구동하는 회전유닛(240)을 포함할 수 있다.

상기 홀더(220)는 피처리대상(C)이 이송유닛에 의해 도입 및 배출될 수 있도록 전방이 개방된 구조를 가지는 것이 바람직하다. 다시 말하면 상기 홀더(220)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 전방을 제외한 상, 하면(223), 양 측면(222), 후면(221) 각각이 적어도 일부가 폐쇄된 형태로 마련되고, 이와 같은 형상으로 마련된 홀더(220)의 내부공간에는 피처리대상(C)이 도입 및 배출된다.

그리고 상기 홀더(220)는 회전유닛(240)에 의해 회전되는 회전축(230)과 결합되며, 제1게이트(12a)와 제2게이트(12b)의 상하 높이 차에 따라서 다양한 형태로 회전축(230)과 결합될 수 있다.

일예로서, 도 1, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 제1게이트(12a)와 제2게이트(12b)의 상하 높이가 서로 다른 경우, 홀더(220)는, 피처리대상(C)이 제1플립모듈(11) 내로 진입될 때, 즉 제1게이트(12a)에 대응되는 위치에 위치되었을 때 상하높이 중심선이 회전축(230)과 간격을 두고, 즉 편심되어 설치될 수 있다.

또한 상기 홀더(220)는, 제1게이트(12a)에 대응되는 위치에 위치되었을 때 피처리대상(C)을 회전축(230)과 간격을 두고, 즉 편심되어 지지할 수 있다.

구체적으로 상기 홀더(220)의 양측면에는 회전축(230) 쪽으로 연장되는 연결부재(290)가 설치되고, 회전축(230)은 연결부재(290)에 결합된다. 상기와 같이 홀더(220)가 피처리대상(C)의 상면이 회전축(230)으로부터 이격되도록 설치되면 피처리대상(C)이 회전되는 과정에서 피처리대상(C)을 제1게이트(12a)의 높이에서 제2게이트(12b)의 높이로 수직 이동시킬 수 있기 때문이다.

상기와 같이 제1게이트(12a)와 제2게이트(12b)가 서로 상하 높이차를 갖는 것은 선행 공정으로부터 반입되는 기판의 높이와 증착공정 중의 기판의 높이가 서로 다를 때 발생될 수 있다.

한편 상기 플립부(20)는, 상기와 같은 구성에 의하여 반전 전에는 제1게이트(12a)에 대응되는 위치에, 반전 후에는 제2게이트(12b)에 대응되는 위치에 위치 되도록 피처리대상(C)을 반전시키게 된다.

한편 상기 제1게이트(12a)와 제2게이트(12b)는 서로 동일한 높이, 즉 상하높이차가 없이 형성될 수 있다.

이때 상기 홀더(220)는, 도 7에 도시된 바와 같이, 180° 회전시에 피처리대상(C)이 상하로 반전될 뿐 피처리대상(C)의 상하높이는 변경되지 않도록 설치되어야 한다. 이는 상기 홀더(220)에 도입된 피처리대상(C)이 회전되는 과정에서 피처리대상(C)이 플립챔버의 저면으로부터 동일한 높이에 위치, 즉 상하높이 변경 없이 회전되기 위함이다.

상기 회전축(230)은, 회전유닛(240)에 의한 회전구동에 의하여 피처리대상(C)이 수용된 홀더(220)를 회전하기 위한 구성이다.

상기 회전축(230)은, 후술할 이탈방지유닛(250)의 액츄에이터(251)를 작동하기 위한 전선 및 이송유닛의 전선 등 다수의 전선들(미도시)이 회전축(230)을 통해 외부로 연결될 수 있도록 연결될 수 있다. 이는 제1플립모듈(12)의 내부가 진공환경을 갖는데, 전선들을 진공환경의 저하 없이 원활하게 외부로 연결하기 위함이다.

상기 회전축(230)은, 플립챔버에 회전가능하게 지지되어 설치되며, 플립챔버 자체에 회전가능하게 지지되어 설치되거나, 도 2에 도시된 바와 같이, 지지프레임(210)에 의하여 지지되어 설치될 수 있다.

상기 지지프레임(210)은, 제1플립모듈(12)의 바닥면에 설치되는 프레임부재를 포함하며, 프레임부재는 회전축(230)을 회전가능하게 지지하도록 베어링블록이 설치될 수 있다.

상기 회전유닛(240)은, 플립모듈(12)의 플립챔버에 설치되어 상술한 바와 같이 홀더(220)를 180°, 즉 정회전 또는 역회전시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

특히 상기 회전유닛(240)은, 홀더(220)를 정회전 또는 역회전시키도록 회전축(230)을 왕복회전시키도록 구성됨이 바람직하다.

그 이유는 앞서 설명한 바와 같이 플립부(20)를 작동시키기 위한 전선들이 회전축(230)을 통하여 외부로부터 연결될 수 있는바, 회전축(230)이 일방향으로만 회전될 경우 전선들이 꼬이기 때문에 회전축(230)은 180°의 회전범위 내에서 왕복회전, 즉 정회전 또는 역회전시키는 것이 바람직하다.

또, 상기 플립부(20)는, 제1플립모듈(12)의 내부에 설치됨에 따라 이러한 제1플립모듈(12) 내부의 환경 변화, 예로 들면, 열변형으로 인해 설정된 위치를 벗어날 수 있다.

상기와 같은 경우 제1플립모듈(12)의 내부에 설치되는 홀더(220) 등의 장치와, 제1플립모듈(12)의 외부에 설치되는 회전유닛(240) 사이에 비틀림이 발생되어 각 구성요소가 손상될 수 있다.

이를 방지하기 위해 회전유닛(240)은 열변형 등에 따라서 회전축(230)의 길이방향의 변형의 흡수가 가능하도록 설치됨이 바람직다.

예로서, 상기 회전유닛(240)은, 도시된 바와 같이 회전축(230)의 길이방향으로 이동가능하도록 제1플립모듈(12)의 외벽면에 설치될 수 있다.

이를 위하여 상기 회전유닛(240)의 구동축(미도시) 및 회전축(230)의 연결부위에는 제1플립모듈(11) 내부의 진공압 유지를 위하여 플렉시블관(245)이 더 설치될 수 있다.

한편 상기 이송유닛은, 피처리대상(C)을 홀더(220) 내로 진입시키거나 홀더(220)로부터 배출하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

상기 이송유닛은, 피처리대상(C)의 이송을 위해 구동력을 제공하는 구동부(270)와, 구동부(270)에 의해 이송되는 피처리대상(C)을 가이드하는 가이드부를 포함할 수 있다.

상기 가이드부는 피처리대상(C)의 이동을 안내하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 가이드부는 피처리대상(C)의 양측에 설치되는 한 쌍의 제1가이드부재에 대응되며 플립부(20)에 설치되어 제1가이드부재와 접촉하여 제1가이드부재의 이동을 가이드하는 제2가이드부재를 포함할 수 있다.

상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이부재는, 상호 조합에 의하여 홀더(220) 내에서의 피처리대상(C)의 이동을 가이드하기 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

구체적으로 상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이부재는, 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 선형레일(260)과, 선형레일(260)을 사이에 두며 서로 간격을 두고 설치되는 복수의 롤러부재들(280)의 조합에 의하여 구성될 수 있다.

이때 상기 제1가이드부재는, 선형레일(260) 및 복수의 롤러부재들(280) 중 어느 하나를 포함하며, 제2가이드부재는, 선형레일(260) 및 복수의 롤러부재들(280) 중 나머지 하나를 포함할 수 있다.

상기 선형레일(260) 및 복수의 롤러부재들(280)은 통상 스틸의 재질로 형성되는데, 이러한 선형레일(260)와 롤러부재(280)는 서로 다른 경도를 갖도록 마련될 수 있다. 예를 들면, 롤러부재(280)가 SUS 440의 재질로 이루어질 경우 선형레일(260)는 SUS 420의 재질로 이루어질 수 있다. 이는 롤러부재(280)와 선형레일(260)를 서로 다른 경도를 갖게 함에 따라 경도가 작은 부재가 손쉽게 마모가 되게 함으로써 두 부재가 동시에 마모되어 유지비용이 증가되는 것을 방지하기 위함이다.

상기 구동부(270)는, 피처리대상(C)의 이송을 위해 구동력을 제공하는 구성으로서 피처리대상(C)을 이동을 위한 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.

예로서, 상기 구동부(270)는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 복수의 롤러부재(280)들 중 어느 하나를 회전구동하도록 홀더(220)에 설치될 수 있다.

또한 상기 구동부(270)는, 기어, 롤러 등을 이용하는 대신, 푸셔를 이용하는 방법, 자석 등을 이용하는 무접촉방법 등 다양한 방법을 이용하여 피처리대상(C)을 이동시킬 수 있다.

한편 상기 회전유닛(240)에 의해 홀더(220)가 반전되는 과정에서 홀더(220)에 지지된 피처리대상(C)이 홀더(220)로부터 이탈될 수 있다.

이에, 상기 플립부(20)는, 회전유닛(240)에 의해 홀더(220)가 반전되는 과정에서 홀더(220)에 지지된 피처리대상(C)의 이탈을 방지하도록 홀더(20)에 도입된 피처리대상(C)을 고정시키는 이탈방지유닛(250)을 추가로 포함할 수 있다.

상기 이탈방지유닛(250)은 상술한 바와 같이 회전유닛(240)에 의해 홀더(220)가 반전되는 과정에서 홀더(220)에 지지된 피처리대상(C)의 이탈을 방지하기 위해 마련된다.

이러한 이탈방지유닛(250)은 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이 액츄에이터(251)와, 액츄에이터(251)에 의해 승강되는 고정핀(252)을 포함한다.

여기서 고정핀(252)은 액츄에이터(251)에 의해 상승 시 홀더(220)의 하면을 관통하여 피처리대상(C)에 형성된 삽입홈에 삽입되는데, 이를 위해 홀더(220)의 하면에는 고정핀(252)이 관통되는 관통홀이 형성될 수 있다.

이와 더불어 홀더(220)는 상술한 바와 같이 폐쇄된 형태의 후면(221)을 갖는데, 이러한 홀더(220)의 후면(221)은 회전유닛(240)에 의해 홀더(220)가 회전되는 과정에서 홀더(220)의 후면(221)이 하측을 향하므로 피처리대상(C)이 하측으로 낙하되는 것이 방지될 수 있다.

따라서 본 발명에서는 피처리대상(C)이 플립부(20)에 의해 반전되는 과정에서 피처리대상(C)의 반전 후의 높이를 반전 전과 비교할 때 수직이동시킬 수 있으므로 별도의 수직이동장치를 구비해야 하는 종래와 달리 비용을 절감할 수 있다.

본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 이로 인해 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야

할 것이다.

C : 피처리대상 12,14 : 제1,2플립모듈
20 : 플립부 210 : 지지프레임
220 : 홀더 230 : 회전축

Claims (15)

1. 피처리대상을 반전시키는 박막 증착 시스템의 플립모듈에 있어서,
   피처리대상이 내부로 도입되는 제1게이트와, 피처리대상이 외부로 배출되는 제2게이트가 형성된 플립챔버와;
   상기 플립챔버 내부에 설치되어 피처리대상을 반전시키는 플립부와,
   상기 플립챔버 내부에 설치되어 상기 제1게이트를 통하여 도입된 상기 피처리대상을 상기 플립부로 도입시키고 상기 플립부에 의해 반전된 피처리대상을 상기 제2게이트를 통하여 배출시키는 이송유닛을 포함하며,
   상기 플립부는,
   상기 이송유닛에 의해 도입된 피처리대상을 지지하는 홀더와,
   상기 홀더와 결합되어 상기 홀더를 반전시켜 상기 홀더에 도입된 피처리대상을 반전시키는 회전축과,
   상기 회전축을 회전구동하는 회전유닛을 포함하며,
   상기 제1게이트 및 상기 제2게이트는, 상기 플립챔버의 저면으로부터 서로 다른 높이에 형성되며,
   상기 플립부는, 반전 전에는 상기 제1게이트에 대응되는 위치에, 반전 후에는 상기 제2게이트에 대응되는 위치에 위치되도록 피처리대상을 반전시키는 것을 특징으로 하는 플립모듈.
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 청구항 1에 있어서,
   상기 홀더는, 상기 제1게이트에 대응되는 위치에 위치되었을 때 상기 홀더의 상하높이 중심선이 상기 회전축과 간격을 두고 설치된 것을 특징으로 하는 플립모듈.
6. 청구항 1에 있어서,
   상기 홀더는, 상기 제1게이트에 대응되는 위치에 위치되었을 때 상기 피처리대상을 상기 회전축과 간격을 두고 지지하는 것을 특징으로 하는 플립모듈.
7. 청구항 1에 있어서,
   상기 플립부는, 상기 홀더의 양측면에서 연장되며 상기 회전축과 결합되는 연결부재를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 플립모듈.
8. 청구항 1 및 청구항 5 내지 청구항 7 중 어느 하나의 항에 있어서,
   상기 회전유닛은, 상기 플립챔버의 외부에 설치되어 상기 회전축을 정회전 또는 역회전시켜 상기 홀더에 도입된 피처리대상을 반전시키는 것을 특징으로 하는 플립모듈.
9. 피처리대상을 반전시키는 박막 증착 시스템의 플립모듈에 있어서,
   피처리대상이 내부로 도입되는 제1게이트와, 피처리대상이 외부로 배출되는 제2게이트가 형성된 플립챔버와;
   상기 플립챔버 내부에 설치되어 피처리대상을 반전시키는 플립부와,
   상기 플립챔버 내부에 설치되어 상기 제1게이트를 통하여 도입된 상기 피처리대상을 상기 플립부로 도입시키고 상기 플립부에 의해 반전된 피처리대상을 상기 제2게이트를 통하여 배출시키는 이송유닛을 포함하며,
   상기 플립부는,
   상기 이송유닛에 의해 도입된 피처리대상을 지지하는 홀더와, 상기 홀더와 결합되어 상기 홀더를 반전시켜 상기 홀더에 도입된 피처리대상을 반전시키는 회전축과, 상기 회전축을 회전구동하는 회전유닛을 포함하며,
   상기 회전유닛은, 상기 플립챔버의 외부에 설치되어 상기 회전축을 정회전 또는 역회전시켜 상기 홀더에 도입된 피처리대상을 반전시키며,
   상기 회전유닛은, 상기 회전축의 길이방향 열변형의 흡수가 가능하도록 상기 회전축의 길이방향으로 이동가능하게 상기 플립챔버에 설치된 것을 특징으로 하는 플립모듈.
10. 청구항 1 및 청구항 5 내지 청구항 7 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 플립부는, 상기 회전유닛에 의해 상기 홀더가 반전되는 과정에서 상기 홀더에 지지된 피처리대상의 이탈을 방지하도록 상기 홀더에 도입된 피처리대상을 고정시키는 이탈방지유닛을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 플립모듈.
11. 청구항 10에 있어서,
    상기 이탈방지유닛은,
    액츄에이터와, 상기 액츄에이터에 의해 승강 가능하게 마련되어 상승 시 상기 홀더의 하면을 관통하여 피처리대상에 형성된 삽입홈에 삽입되는 고정핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 플립모듈.
12. 청구항 1, 청구항 5 내지 청구항 7 및 청구항 9 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 이송유닛은, 피처리대상의 이송을 위해 구동력을 제공하는 구동부와, 상기 구동부에 의해 이송되는 피처리대상을 가이드하는 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 플립모듈.
13. 청구항 12에 있어서,
    상기 가이드부는, 피처리대상의 양측에 설치되는 한 쌍의 제1가이드부재에 대응되며 상기 플립부에 설치되어 상기 제1가이드부재와 접촉하여 상기 제1가이드부재의 이동을 가이드하는 한 쌍의 제2가이드부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 플립모듈.
14. 청구항 13에 있어서,
    상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재는,
    선형레일과, 상기 선형레일을 사이에 두며 서로 간격을 두고 설치되는 복수의 롤러부재들의 조합에 의하여 결합되며,
    상기 제1가이드부재는, 상기 선형레일 및 상기 복수의 롤러부재들 중 어느 하나를 포함하며,
    상기 제2가이드부재는, 상기 선형레일 및 상기 복수의 롤러부재들 중 나머지 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 플립모듈.
15. 청구항 1, 청구항 5 내지 청구항 7 및 청구항 9 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 피처리대상은 기판이 안착된 캐리어를 포함하는 것을 특징으로 하는 플립모듈.

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