KR101181503B1 - 콘베이어 및 성막 장치와 그 보수관리 방법 - Google Patents

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다카하루 고시미즈
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가부시키가이샤 아루박
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Abstract

본 콘베이어 및 성막 장치와 그 보수관리 방법은, 프레임과, 기판이 세로로 놓여진 캐리어를 지지함과 동시에 캐리어를 반송하는 하부 지지 기구와, 캐리어를 지지하는 상부 지지 기구를 구비한 콘베이어에 있어서, 프레임이 하부 프레임과 상부 프레임으로 구성되고, 하부 지지 기구가 하부 프레임에 설치되며, 상부 지지 기구가 상부 프레임에 설치되고, 상부 프레임이 하부 프레임과 분리하여 이동 가능하게 구성되어 있다. 따라서, 상부 프레임을 회동시킴으로써, 하부 프레임의 상방에 형성된 공간에 캐소드 부재를 배치할 수 있으므로, 성막 처리 경로와 캐리어 반송 경로의 간격을 좁게 할 수 있다. 따라서, 성막 장치의 중앙 공간을 좁게 할 수 있으므로, 캐리어를 반송 가능한 콘베이어 및 이 콘베이어를 구비하고, 진공 처리 장치 및 반송 시스템을 구비한 성막 장치에서 그 설치 면적을 줄일 수 있다

Description

콘베이어 및 성막 장치와 그 보수관리 방법{Conveyor, and film-forming apparatus and maintenance method thereof}
본 발명은 콘베이어 및 성막 장치에 관한 것이다.
본원은 2007년 4월 16일에 일본에 출원된 일본특허출원 제2007-106877호에 따라 우선권을 주장하고, 그 내용을 여기에 원용한다.
액정 디스플레이 등의 제조 공정에서 대형 유리 기판에 대해 가열 처리나 성막 처리 등의 진공 처리가 행해진다. 그에 따라, 다양한 진공 처리 장치가 개발되고 있다. 그 중, 액정 디스플레이의 컬러 필터측에 ITO막(전극막)을 성막하기 위해 캐리어 순환형 인라인 스퍼터 장치가 이용되고 있다(예컨대, 일본 공개특허 제2002-309372호 공보(도 4) 참조).
또한 스퍼터 장치에는 스퍼터 후의 유리 기판을 진공 내에서 회전 또는 횡단시켜 진공 중을 되돌아오는 타입(진공 리턴형)과, 진공으로부터 대기측으로 반출한 후에 회전 또는 횡단시켜 되돌아오는 타입(대기 리턴형)이 있다. 또한, 진공 중을 마주 보는 캐리어를 반송시켜 대기측의 회전 기구로 1장씩 나누어 되돌아오는 타입(양면 성막 방식의 대기 리턴형)도 있다. 여기서, 대기 리턴형 스퍼터 장치에서는, 진공 상태를 만들어 박막을 스퍼터에 의해 유리 기판상에 성막하는 진공 장치 와 함께, 성막 전후의 유리 기판을 탑재한 캐리어를 진공 처리 장치 외부에서 반송시키는 대기 반송 시스템을 구비하고 있다. 이 대기 리턴형 스퍼터 장치에서는, 진공 처리 장치 및 대기 반송 시스템으로 둘러 싸인 영역(중앙 공간)이 존재한다. 유리 기판은 스퍼터 장치 내에서 안정적으로 반송시키기 위하여 캐리어라 불리는 운반대에 장착되어 있다.
또한 대기 반송 시스템에서 캐리어는 콘베이어에 의해 반송되고 있다. 이 콘베이어의 기구로는, 하부 지지 기구에 랙과 피니언이나 롤러가 이용되고, 필요에 따라 상부 지지 기구로서 마그넷을 사용한 비접촉 기구가 사용되고 있다. 여기서, 캐리어에 탑재한 유리 기판의 깨짐, 캐리어로부터의 파티클의 발생, 반송 트러블을 피하기 위해, 특히 콘베이어의 반송 라인의 중심맞추기는 중점적으로 조정된다. 또 중심어긋남이나 경시적인 반송 라인의 어긋남 등이 생기지 않도록, 그리고 조정의 편의상 하부 지지 기구와 상부 지지 기구는 동일한 프레임에 설치되고, 일단 조정한 후에는 위치가 어긋나지 않도록 프레임을 견고하게 바닥면에 고정하고 있다.
그런데, 상술한 일본 공개특허 제2002-309372호 공보의 도 4에 기재된 인라인식 성막 장치에서는, 스퍼터실의 타겟이나 진공 챔버에의 착막(着膜)을 방지하는 방착판 등의 정기적인 교환 및 기타 기계 시스템의 정기 점검 등이 필수이다. 여기서, 도 13에 종래의 성막 장치의 전체 구성을 나타낸다. 스퍼터실(34)의 보수관리 작업은 도 13에 도시한 바와 같이, 스퍼터실(34)에서 타겟을 포함하는 캐소드 부재(80)를 쓰러뜨린 상태에서 행한다.
그러나, 스퍼터실(34)로부터 대기 반송 시스템(115)을 향해 캐소드 부재(80) 가 쓰러지는 구조의 성막 장치(110)에서는, 콘베이어(40)의 하부 지지 기구 및 상부 지지 기구는 부동이기 때문에, 쓰러진 캐소드 부재(80)와 대기 반송 시스템(115)이 평면에서 보아 겹치지 않도록, 진공 처리 장치(113)와 대기 반송 시스템(115) 사이를 넓힐 필요가 있다. 즉, 도 13에 도시한 바와 같이 중앙 공간(117)을 넓힐 필요가 있으므로, 성막 장치(110)에 필요한 설치 면적이 커지는 문제가 있었다. 또한, 최근 유리 기판의 대형화가 진행되고 있기 때문에, 그에 따라 캐소드 부재(80)의 보수관리 기구(111)도 대형화되어, 중앙 공간(117)을 더 넓게 확보하여야 하는 문제가 있었다.
따라서, 본 발명은 상술한 사정에 비추어 이루어진 것으로, 캐리어를 반송 가능한 콘베이어 및 상기 콘베이어를 구비하고, 진공 처리 장치 및 반송 시스템을 구비한 성막 장치에 있어서, 그 설치 면적을 줄일 수 있는 콘베이어 및 성막 장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 제1의 태양은 프레임과, 기판이 세로로 놓여진 캐리어를 지지함과 동시에 상기 캐리어를 반송하는 하부 지지 기구와, 상기 캐리어를 지지하는 상부지지 기구를 구비한 콘베이어에 있어서, 상기 프레임이 하부 프레임과 상부 프레임으로 구성되고, 상기 하부 지지 기구가 상기 하부 프레임에 설치되며, 상기 상부 지지 기구가 상기 상부 프레임에 설치되고, 상기 상부 프레임이 상기 하부 프레임과 분리하여 이동 가능하게 구성되어 있다.
이 경우, 상부 지지 기구가 설치된 상부 프레임과, 하부 지지 기구가 설치된 하부 프레임의 위치 관계를 엇갈리게 할 수 있는 효과가 있다.
또한 하부 지지 기구는 하부 프레임에 장착되어 있고, 캐리어의 하중을 하부 지지 기구로 지지하면서 캐리어를 반송시키기 때문에, 하부 지지 기구의 반송 루트가 높은 정밀도로 위치 결정된 상태에서 캐리어를 고정밀도로 반송할 수 있다. 따라서, 캐리어에 탑재한 기판의 깨짐, 캐리어로부터의 파티클 발생, 반송 트러블을 방지할 수 있는 효과가 있다.
상기 하부 프레임은 바닥면에 지지 고정되고, 상기 상부 프레임이, 상기 하부 프레임을 상기 바닥면에 지지하는 수직축의 어느 하나와 연접(連接)되며, 상기 수직축을 중심으로 회동 가능하게 구성되어 있어도 된다.
이 경우, 하부 지지 기구는 고정된 상태에서, 상부 지지 기구만을 회동시킬 수 있다. 따라서, 하부 지지 기구의 정밀도를 유지할 수 있는 효과가 있다. 또한 상부 프레임이 하부 프레임을 바닥면에 고정하는 수직축을 중심으로 회동 가능하게 구성되어 있기 때문에, 하부 프레임의 상방에 용이하게 공간을 형성할 수 있음과 동시에, 상부 프레임을 하부 프레임의 상방까지 간단히 복귀시켜 위치 결정할 수 있는 효과가 있다.
상기 상부 지지 기구는 상기 캐리어를 비접촉으로 지지해도 된다.
이 경우, 상부 지지 기구는 캐리어와 비접촉으로 반송 가능하게 구성되기 때문에, 상부 프레임(상부 지지 기구)의 위치가 약간 어긋나도 캐리어의 반송에는 영향을 미치지 않으며, 캐리어를 확실하게 반송할 수 있는 효과가 있다.
상기 상부 프레임의 회동 방향 앞쪽에는, 상기 바닥면에 대해 상기 상부 프레임을 지지하면서 상기 바닥면을 따라 구름운동하는 제1 롤러가 설치되고, 상기 상부 프레임의 회동 방향 뒤쪽에 상기 바닥면에 대해 상기 상부 프레임을 지지하면서 상기 바닥면을 따라 구름운동하는 제2 롤러가 설치되고, 상기 제2 롤러는 상기 상부 프레임의 회동시에 상기 하부 프레임과 간섭되지 않는 위치로 이동 가능하게 구성되어 있어도 무방하다.
이 경우, 상부 프레임을 회동시킬 때, 상부 프레임의 하중을 상기 하부 프레임에 연접되어 있는 수직축, 제1 롤러 및 제2 롤러의 3점에서 바닥면에 지지할 수 있으므로, 상부 프레임이 자중에 의해 기울거나 하지 않아 확실하게 회동시킬 수 있는 효과가 있다.
또한 제2 롤러는 수납 가능하게 구성되어 있기 때문에, 상부 프레임을 회동시킬 때, 하부 프레임과 간섭할 때만 제2 롤러를 간섭하지 않는 위치까지 이동시키고, 기타의 경우는 바닥면에 대해 상부 프레임을 지지하기 위해 사용할 수 있어 효율적으로 사용할 수 있는 효과가 있다.
상기 기판을 세로로 지지하여 반송하는 상기 캐리어와, 상기 캐리어에 탑재된 상기 기판에 성막 처리를 행하는 성막 처리 경로와, 상기 성막 처리 경로에 병렬 배치된 캐리어 반송 경로를 구비하고, 상기 성막 처리 경로의 구성 부재가 상기 캐리어 반송 경로를 향해 이동 가능하게 구성된 성막 장치에 있어서, 상기 캐리어 반송 경로에는 상기의 어느 하나의 콘베이어가 설치되고, 상기 상부 프레임이, 이동된 상기 성막 처리 경로의 상기 구성 부재와의 간섭을 회피할 수 있는 위치까지 이동 가능하게 구성되어도 무방하다.
이 경우, 상부 프레임을 이동시켜 하부 프레임의 상방에 공간을 형성할 수 있음과 동시에, 그 공간에 이동한 성막 처리 경로의 구성 부재를 배치할 수 있으므로, 성막 처리 경로와 캐리어 반송 경로와의 거리를 가깝게 할 수 있다. 따라서, 성막 장치의 설치 면적을 줄일 수 있는 효과가 있다.
상기 성막 처리 경로의 상기 구성 부재는 스퍼터 처리 장치의 타겟 지지 부재여도 무방하다.
이 경우, 스퍼터 처리 장치의 보수관리를 할 때, 상부 프레임을 회동시킴으로써, 하부 프레임의 상방에 형성된 공간에 스퍼터 처리 장치의 타겟 지지 부재를 배치시킬 수 있기 때문에, 성막 처리 경로와 캐리어 반송 경로와의 간격을 좁힐 수 있다. 따라서, 성막 처리 경로와 캐리어 반송 경로를 구비한 성막 장치의 설치 면적을 줄일 수 있는 효과가 있다.
상기 성막 장치의 보수관리 방법은, 상기 상부 프레임을 상기 하부 프레임으로부터 퇴피(退避) 위치까지 분리하여 이동시키는 공정과, 상기 성막 처리 경로의 구성 부재를 상기 하부 프레임의 상방으로 쓰러뜨려 상기 성막 처리 경로의 구성 부재를 보수관리하는 공정을 구비해도 된다.
이 경우, 상기 상부 프레임을 이동시켜 상기 하부 프레임의 상방에 공간을 형성할 수 있음과 동시에, 그 공간에 이동한 상기 성막 처리 경로의 상기 구성 부재를 배치할 수 있으므로, 상기 성막 처리 경로와 상기 캐리어 반송 경로와의 거리를 가깝게 할 수 있다. 따라서, 성막 장치의 설치 면적을 줄일 수 있는 효과가 있다.
<발명의 효과>
본 발명에 의하면, 성막 장치의 보수관리시에 콘베이어의 상부 프레임을 회동시키고, 하부 프레임의 상방에 공간을 형성할 수 있음과 동시에, 그 공간에 성막 처리 장치의 구성 부재를 배치시킬 수 있기 때문에, 성막 처리 경로와 캐리어 반송 경로와의 거리를 가깝게 할 수 있다. 따라서, 성막 장치의 설치 면적을 줄일 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시 형태에서의 스퍼터 장치의 전체 구성을 나타내는 개략도이다.
도 2는 본 발명의 실시 형태에서의 스퍼터실의 보수관리 기구의 움직임을 나타내는 설명도이다.
도 3은 본 발명의 실시 형태에서의 캐리어에 유리 기판을 놓았을 때의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시 형태에서의 콘베이어의 측면도이다.
도 5는 본 발명의 실시 형태에서의 콘베이어의 하부 지지 기구의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 6은 본 발명의 실시 형태에서의 콘베이어의 상부 지지 기구의 구성을 나타내는 개략도이다.
도 7은 본 발명의 실시 형태에서의 콘베이어의 프레임 구성을 나타내는 사시도이다.
도 8은 본 발명의 실시 형태에서의 콘베이어의 프레임 구성을 나타내는 평면도이다.
도 9는 도 8의 A부 확대 측면도이다.
도 10은 본 발명의 실시 형태에서의 콘베이어의 상부 프레임 이동시의 개략 설명도이다.
도 11은 본 발명의 실시 형태에서의 스퍼터실의 측면이 쓰러져 있을 때의 하부 프레임과의 위치 관계를 나타내는 개략 설명도이다.
도 12는 본 발명의 실시 형태에서의 콘베이어의 상부 지지 기구의 다른 구성을 나타내는 개략도이다.
도 13은 종래의 성막 장치의 전체 구성을 나타내는 개략도이다.
<부호의 설명>
10 성막 장치
11 유리 기판(기판)
13 캐리어
15 캐리어 반송 경로
17 성막 처리 경로
34 스퍼터실(스퍼터 처리 장치)
40 콘베이어
41 프레임
43 하부 지지 기구
45 상부 지지 기구
47 하부 프레임
49 상부 프레임
55 수직축
59 제1 롤러
61 제2 롤러
80 캐소드 부재(구성 부재, 타겟의 지지 부재)
FL 바닥면
이어서, 본 발명의 실시 형태를 도 1～ 도 12에 따라 설명하기로 한다. 이하의 설명에서 사용하는 각 도면에서는 각 부재를 인식 가능한 크기로 하기 위하여 각 부재의 크기를 적절히 변경하고 있다.
(성막 장치)
도 1은 성막 장치의 전체 구성을 나타내는 평면도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 성막 장치(10)는 유리 기판(11)을 세로로 보유지지하는 캐리어(13)가 배치되고, 그 캐리어(13)를 대기압 하에서 반송하는 캐리어 반송 경로(15)와, 진공 상태 하에서 유리 기판(11)에 성막을 하는 성막 처리 경로(17)로 구성되어 있다. 여기서, 성막 장치(10)는 성막 처리 경로(17)에서 캐리어(13)가 2열로 평행하게 반송 가능하게 구성되어 있고, 후술하는 스퍼터실(34)에서 양측으로부터 성막 가능하게 구성된 양면 성막 방식의 성막 장치이다.
성막 처리 경로(17)는 제2 회전부(23)에 연접되고, 진공 배기 장치(29)를 구비한 로드락실(31)과, 히터(30)를 구비한 가열실(32)과, 진행 방향으로 인접한 캐리어(13)간의 거리 조정을 하는 스퍼터 입구실(33)과, 유리 기판(11)에 성막을 행하는 스퍼터실(34)과, 진행 방향으로 인접한 캐리어(13)간의 거리 조정을 하는 스퍼터 출구실(35)과, 진공 배기 장치(29)를 구비한 언로드락실(36)이 차례로 구성되어 있다. 언로드락실(36)은 캐리어 반송 경로(15)의 제3 회전부(24)와 연접되어 있다.
또한 제2 회전부(23)와 로드락실(31) 사이에는 게이트 밸브(38a)가 설치되고, 마찬가지로 로드락실(31)과 가열실(32) 사이에는 게이트 밸브(38b)가, 가열실(32)과 스퍼터 입구실(33) 사이에는 게이트 밸브(38c)가, 스퍼터 출구실(35)과 언로드락실(36) 사이에는 게이트 밸브(38d)가, 언로드락실(36)과 제3 회전부(24) 사이에는 게이트 밸브(38e)가 각각 설치되어 있다.
또한 스퍼터실(34)의 보수관리 기구(71)는 스퍼터실(34)에서의 캐리어(13)가 반송되는 성막 처리 경로(17)에 평행한 측면(72)이 쓰러지도록 구성되어 있다. 측면(72)에는 타겟 지지 부재인 캐소드 부재(80)나, 스퍼터실(34) 내로의 착막을 방지하는 방착판 등이 배치되어 있다. 타겟의 교환 등에 의해 캐소드 부재(80)를 보수관리할 때는, 보수관리 기구(71)에 의해 측면(72)을 쓰러뜨린 상태에서 행하도록 구성되어 있다.
도 2는 보수관리 기구(71)의 개략적인 구성을 나타내는 설명도이다.
도 2에 도시한 바와 같이, 측면(72)의 하부에는 다리(73)가 연장설치되어 있 고, 다리(73)의 하단 근방에서 회동축(74)을 통해 스퍼터실(34)의 하부 구조체(75)와 접속되어 있다. 측면(72)에는 복수의 다리(76)(본 실시 형태에서 4개)가 일체 형성되어 있다. 다리(76)는 파워 실린더로 구성되어 있고, 그 축부(82)는 하부 구조체(75)에 회동축(84)을 통해 접속되어 있다. 그리고, 축부(82)가 파워 실린더에 의해 신축 가능하게 구성되어 있다.
도 1로 돌아가서, 캐리어 반송 경로(15)는 다른 곳에서 반송되어 온 유리 기판(11)을 성막 장치(10)에 보내기 위한 입구부(21)와, 유리 기판(11)을 회전시켜 성막 처리 경로(17)로 인도하는 제1 회전부(22) 및 제2 회전부(23)와, 성막 처리 경로(17) 내에서 성막이 완료된 유리 기판(11)을 회전시켜 후술하는 출구부(27)로 인도하는 제3 회전부(24) 및 제4 회전부(25)와, 성막된 유리 기판(11)이 반송되는 반송부(26)와, 성막된 유리 기판(11)을 성막 장치(10)로부터 꺼내는 출구부(27)로 구성되어 있다.
캐리어 반송 경로(15)는 대기압하의 환경으로 유지되고 있는데, 파티클을 피하고, 클린도를 높게 유지하기 위해 HEPA 필터를 사용하고, 하강류의 기류를 발생시켜 캐리어 반송 경로(15) 내의 분위기를 유지하도록 구성되어 있다.
또한 유리 기판(11)은, 다른 곳으로부터 수평 상태로 반송되고, 입구부(21)에서 유리 기판(11)을 대략 수직으로 세운 후, 캐리어(13)에 탑재하도록 구성되어 있다. 출구부(27)에서는 입구부(21)와는 역순으로 캐리어(13)로부터 유리 기판(11)을 떼어 내도록 구성되어 있다.
도 3은 캐리어(13)의 개략적인 구성을 나타내는 사시도이다.
도 3에 도시한 바와 같이, 캐리어(13)는 알루미늄 등으로 이루어지는 틀 형상의 캐리어 프레임(65)과, 캐리어 프레임(65)의 상변을 따르도록 설치된 마그넷(66)과, 캐리어 프레임(65)의 하변을 따르도록 설치된 원형 봉으로 이루어진 슬라이더(67)와, 유리 기판(11)의 하중을 받고, 또한 유리 기판(11)의 수평도를 유지하기 위한 기판 받침(68)과, 유리 기판(11)을 캐리어(13)에 보유지지시키기 위한 클램프(69)와, 유리 기판(11)의 주연(周緣)부의 비성막 영역을 덮기 위한 마스크(70)를 구비하고 있다.
그리고, 유리 기판(11)이 탑재된 캐리어(13)는 캐리어 반송 경로(15) 및 성막 처리 경로(17)를 이동 가능하게 구성되어 있다.
(콘베이어)
도 4는 콘베이어(40)의 단면도이다.
도 4에 도시한 바와 같이, 콘베이어(40)는 강철제 부재로 된 프레임(41)과, 캐리어(13)의 하중을 지지하면서 캐리어(13)를 반송 가능하게 구성된 하부 지지 기구(43)와, 캐리어(13)의 상부를 비접촉으로 지지 가능하게 구성된 상부 지지 기구(45)를 구비하고 있다.
여기서, 프레임(41)은 하부 지지 기구(43)가 설치되어 있는 하부 프레임(47)과, 상부 지지 기구(45)가 설치되어 있는 상부 프레임(49)으로 구성되어 있다. 캐리어(13)는, 프레임(41) 내를 하부 지지 기구(43) 및 상부 지지 기구(45)에 의해 수평 방향으로, 또한 대략 수직하게 유지된 상태로 이동 가능하게 구성되어 있다. 유리 기판(11)의 대형화에 따라, 프레임(41)은 예컨대 높이 4600mm, 폭 600mm(프레 임부만) 정도의 크기로 형성되어 있다.
도 5는 콘베이어(40)의 하부 지지 기구(43)의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 5에 도시한 바와 같이, 하부 지지 기구(43)는 모터(51)와 롤러(52)를 구비하고 있다. 모터(51)가 구동됨으로써, 롤러(52)가 회전하고 롤러(52) 상을 캐리어(13)가 수평 이동하도록 구성되어 있다. 구체적으로, 캐리어(13)의 하부에 설치된 후술하는 슬라이더(67)가 롤러(52) 외주의 홈부에 걸어맞추어져서 캐리어(13)가 수평 이동 가능하게 구성되어 있다. 롤러(52)는 캐리어(13)가 수평 이동하는데 지장이 없도록 하나의 하부 프레임(47) 내에 복수개 설치되어 있다.
도 6은 콘베이어(40)의 상부 지지 기구(45)의 구성을 나타내는 설명도이다.
도 6에 도시한 바와 같이, 상부 지지 기구(45)는 상부 프레임(49)의 상부에, 캐리어(13)의 상변이 통과하는 영역으로부터 측방으로 간격을 두도록 한쌍의 마그넷(53a, 53b)이 마련되어 있다. 한쌍의 마그넷(53a, 53b)은 서로 N극과 S극이 대향하도록 설치되어 있다. 또 한쌍의 마그넷(53a, 53b)은 상부 프레임(49) 내에 복수개 설치되어 있다. 그리고, 캐리어(13)의 상변에도 후술하는 마그넷(66)이 장착되어 있고, 상부 프레임(49)의 한쌍의 마그넷(53a, 53b) 사이를 마그넷(66)이 통과하도록 구성되며, 마그넷(53a)의 N극과 마그넷(66)의 N극이 대향되고, 마그넷(53b)의 S극과 마그넷(66)의 S극이 대향되도록 배치된다.
이와 같이 구성함으로써, 마그넷끼리 서로 반발하여, 캐리어(13)를 수직 상태로 유지할 수 있게 된다. 즉, 유리 기판(11)을 수직으로 유지함으로써 유리 기판(11)의 대형화에 따른 성막 장치(10)의 설치 면적의 증가를 억제할 수 있고, 또 한 대형 기판의 변형에 의한 영향을 회피할 수 있다.
도 4로 돌아가서, 하부 지지 기구(43)를 구비한 하부 프레임(47)은, 바닥면(FL)에 고정되어 있다. 즉, 하부 지지 기구(43)는 성막 장치(10)의 설치 단계에서, 캐리어(13)가 확실하게 수평 이동할 수 있도록 위치 조정되고, 또한, 인접하는 프레임(41)의 하부 지지 기구(43)와도 위치 조정되고, 일단 조정되면 위치가 어긋나지 않도록 구성되어 있다.
하부 지지 기구(43)는 롤러(52)에 의해 캐리어(13)를 반송하는데, 롤러(52)는 유리 기판(11)이 탑재된 캐리어(13)의 하중을 받으면서 수평 방향으로 반송되기 때문에, 반송 루트에 다소간의 이탈이 발생하면, 캐리어(13)가 반송시에 진동되고, 그에 따라 파티클이 발생하여 수율이 저하되는 등의 문제가 발생한다. 따라서, 하부 지지 기구(43)에는 위치 정밀도가 요구되고, 일단 위치 조정을 한 후에는 그 위치에 고정되는 것이 바람직하다.
도 7은 콘베이어(40)의 프레임 구성을 나타내는 사시도이다.
도 7에 도시한 바와 같이, 상부 프레임(49)은 하부 프레임(47)의 1개의 수직축(55)에 대해 회동 가능하게 연접되어 있고, 하부 프레임(47)의 직상방에 배치되어 있다. 또 상부 프레임(49)의 회동 방향 앞쪽의 측면(56)에는, 상부 프레임(49)을 회동시킬 때 사용하는 손잡이(57)가 마련되어 있다. 또한, 손잡이(57)에 연접하도록 바닥면(FL)을 향해 다리(58)가 연장되어 있고, 다리(58)의 선단에는 바닥면(FL)과 접촉하도록 제1 롤러(59)가 설치되어 있다.
도 4로 돌아가서, 제1 롤러(59)가 설치되어 있는 측면(회동 방향 앞쪽의 면)(56)과 대향하는 측면(60)에는, 제2 롤러(61)가 설치되어 있다. 제2 롤러(61)는 다리(63)의 선단에 설치되어 있고, 다리(63)는 회동축(62)을 통해 상부 프레임(49)에 접속되어 있다. 제2 롤러(61)는 상부 프레임(49)을 회동시킬 때, 하부 프레임(47)과 간섭하지 않는 위치까지 이동할 수 있도록 구성되어 있다. 여기서, 제2 롤러(61)는 회동축(62)를 통해 수직 단면이 대략 반원형을 그리도록 회동하고, 바닥면(FL)에 접하도록 구성되어 있다. 제2 롤러(61)가 수납되어 있는 상태에서는, 제2 롤러(61)는 도시하지 않은 스토퍼 부재에 의해 상부 프레임(49)에 보유지지되어 있다. 도 4에서는 제2 롤러(61)는 회동축(62)을 중심으로 회동함으로써 수납되는 구성으로 되어 있는데, 제2 롤러(61)는 상부 프레임(49)을 회동시킬 때, 하부 프레임(47)과 간섭하지 않는 위치까지 이동할 수 있고, 또한 원래의 위치로 높은 정밀도로 되돌아가게 할 수 있으면 되므로, 예컨대 다리(63)를 연직 상방으로 평행 이동시킴으로써 수납할 수 있는 구성으로 해도 되고, 다리(63)를 위치 결정용 커플링 등을 이용하여 착탈 가능하게 해도 된다. 또 제2 롤러(61)는 캐리어(13)의 반송시(상부 프레임(49)이 하부 프레임(47) 직상방에 배치되어 있는 상태) 및 상부 프레임(49)의 회동시, 그 하중을 받는 역할도 하기 때문에, 수직축(55)으로부터 떨어진 위치에 장착하는 것이 바람직하다.
도 8은 콘베이어(40)의 프레임 구성을 나타내는 평면도이고, 도 9는 도 8의 A부 상세 측면도이다.
도 8, 도 9에 도시한 바와 같이, 상부 프레임(49)의 측면(60)에서, 하부 프레임(47)과의 경계부에는 하중 받침 가이드 롤러(64)가 설치되어 있다. 하중 받침 가이드 롤러(64)는 측면(60)의 양측에 설치되고, 상부 프레임(49)이 하부 프레임(47)의 상부에 위치하고 있을 때(통상의 상태), 하부 프레임(47)으로부터 측방으로 돌출하도록 일체 성형된 받침부(86)에 접촉하도록 구성되어 있다. 하중 받침 가이드 롤러(64)가 받침부(86)에 접촉함으로써 상부 프레임(49)의 하중의 일부가 하부 프레임(47) 측으로 전해져 하부 프레임(47)에 지지되게 된다. 이와 같이 구성함으로써, 상부 프레임(49)은 통상의 상태에서, 4 모서리를 제1 롤러(59), 제2 롤러(61), 수직축(55) 및 하중 받침 가이드 롤러(64)로 지지하여 안정된 상태를 유지할 수 있다.
또 상부 프레임(49)과 하부 프레임(47) 사이에는, 도시하지 않은 걸어멈춤부가 마련되어 있다. 걸어멈춤부는, 예컨대 핸들을 구비하고, 핸들을 회전시킴으로써, 상부 프레임(49)과 하부 프레임(47) 중 일방에 설치된 샤프트가 타방에 형성된 구멍에 삽입 통과되며, 상부 프레임(49)과 하부 프레임(47)을 걸어멈춤하여, 위치 정합을 하도록 구성되어 있다.
또한, 상부 프레임(49)과 하부 프레임(47) 사이에는, 20mm 정도의 간극이 형성되어 있고, 이 간극에는 도시하지 않은 방진 고무가 장착되어 있다. 방진 고무는, 예컨대 단면 반원형인 것을 사용하면 좋다. 이와 같이 함으로써, 프레임의 방진 성능을 향상시킬 수 있다.
그리고, 상부 프레임(49)의 측면(56)에는, 과도하게 회동하지 않도록 하부 프레임(47)에 접촉하여 그 이상의 회동을 저지하는 스토퍼 부재(78)가 설치되어 있다(도 4 참조). 스토퍼 부재(78)가 하부 프레임(47)에 접촉한 후, 상부 프레임(49) 과 하부 프레임(47) 사이를 걸어멈춤부에 의해 걸어멈춤함으로써, 상부 프레임(49)과 하부 프레임(47) 위치 정합이 가능하도록 구성되어 있다.
(기판 성막 방법)
이어서, 유리 기판(11)에 성막할 때의 작용을 도 1 등에 따라 설명하기로 한다.
유리 기판(11)이 다른 곳으로부터 수평 상태로 성막 장치(10)의 입구부(21) 앞까지 반송되게 된다. 그 후, 유리 기판(11)을 수직 상태가 되도록 세워, 유리 기판(11)을 입구부(21)에 놓여져 있는 캐리어(13)에 탑재한다. 이 때, 유리 기판(11)을 캐리어(13)의 기판 받침(68)에 접촉시킨 후, 클램프(69)로 유리 기판(11)을 캐리어(13)에 지지한다(도 3 참조).
유리 기판(11)이 탑재된 캐리어(13)는 하부 지지 기구(43)의 롤러(52)가 회전함으로써 이동을 개시하며(도 5 참조), 제1 회전부(22)로 반송된다. 제1 회전부(22)에서는, 회전 테이블(79)에 캐리어(13)가 놓여진 상태에서, 우선 수직축을 중심으로 약 90도 캐리어(13)를 회전시킨 후, 제2 회전부(23)로 반송한다. 제2 회전부(23)에서는 회전 테이블(79)에서 캐리어(13)를 다시 수직축을 중심으로 약 90도 회전시켜 성막 처리 경로(17)의 로드락실(31)로 반송 가능한 방향으로 한다. 그리고, 게이트 밸브(38a)가 개방 상태가 된 후, 캐리어(13)를 로드락실(31)로 반송한다.
캐리어(13)가 로드락실(31)로 반송되면, 게이트 밸브(38a)를 폐쇄 상태로 하고, 그 후, 진공 배기 장치(29)로 실내를 배기하고, 로드락실(31)을 진공 상태로 한다. 로드락실(31) 내가 진공 상태가 된 후, 게이트 밸브(38b)를 개방 상태로 하고, 캐리어(13)를 가열실(32)로 반송한다.
캐리어(13)가 가열실(32)로 반송되면, 게이트 밸브(38b)를 폐쇄 상태로 하고, 그 후, 히터(30)로 유리 기판(11)을 가열한다. 유리 기판(11)의 가열이 완료되면, 게이트 밸브(38c)를 개방 상태로 하고, 캐리어(13)를 스퍼터 입구실(33)로 반송한다.
캐리어(13)가 스퍼터 입구실(33)로 반송되면, 게이트 밸브(38c)를 폐쇄 상태로 한다. 그 후, 캐리어(13)를 그 전방에 위치하는 캐리어의 후단에 연접하는 위치까지 이동시킨다. 캐리어(13)가 전방의 캐리어의 후단에 위치한 단계에서, 전방의 캐리어와 동일 속도가 되도록 한다. 이와 같이 구성함으로써, 스퍼터실(34)에서 유리 기판(11)을 연속적으로 스퍼터할 수 있으므로, 효율적으로 성막을 할 수 있다.
이 상태에서, 캐리어(13)는 스퍼터실(34)로 반송된다. 스퍼터실(34)에서는, 일반적인 스퍼터법에 의해 유리 기판(11)에 성막을 실시한다. 여기서, 유리 기판(11)의 주연부에는 마스크(70)가 배치되어 있기 때문에(도 3 참조), 유리 기판(11)의 필요한 영역만 성막되도록 구성되어 있다. 성막이 완료되면 캐리어(13)는 스퍼터 출구실(35)로 반송된다.
캐리어(13)가 스퍼터 출구실(35)로 반송되면, 캐리어(13)의 속도를 올려, 후방에 연접되어 있던 캐리어와의 간격을 벌리도록 한다. 그 후, 게이트 밸브(38d)를 개방 상태로 하고, 캐리어(13)를 언로드락실(36)로 반송한다. 이 때, 언로드락실(36)은 진공 상태로 유지되어 있다.
캐리어(13)가 언로드락실(36)로 반송되면, 게이트 밸브(38d)를 폐쇄 상태로 한다. 그 후, 캐리어(13)는 언로드락실(36) 내로 반송되고, 게이트 밸브(38e)를 개방 상태로 하여, 캐리어(13)를 대기압하의 제3 회전부(24)로 반송한다.
그리고, 제3 회전부(24)로 반송된 캐리어(13)를 회전 테이블(79)에서 수직축을 중심으로 약 90도 회전시켜 제4 회전부(25)로 반송한다. 제4 회전부(25)에서는, 캐리어(13)를 회전 테이블(79)에서 다시 수직축을 중심으로 약 90도 회전시켜 반송부(26)로 반송 가능한 방향으로 한 후, 캐리어(13)를 반송부(26)로 반송한다. 캐리어(13)는 반송부(26)를 반송받아 출구부(27)로 인도한다.
캐리어(13)가 출구부(27)로 반송되면, 캐리어(13)에 탑재된 성막 후의 유리 기판(11)을 떼어 내어 유리 기판(11)을 다음 공정의 장치로 반송한다.
여기서, 이 성막 장치(10)는 성막 처리 경로(17)가 평행하게 2개 형성되어 있고, 스퍼터실(34)에서 양측으로부터 성막할 수 있도록 구성되어 있다. 즉, 스퍼터실(34)에 캐리어(13)가 평행하게 2세트 배치되어, 동시에 각각의 캐리어(13)에 탑재되어 있는 유리 기판(11)을 성막할 수 있다. 성막 처리 경로(17)는 1개만 형성되어 있어도 된다.
이와 같은 성막 장치(10)의 경우, 스퍼터실(34)의 양측면(72)에 타겟의 캐소드 부재(80)나 스퍼터실(34) 내에의 착막을 방지하기 위한 방착판 등이 설치되어 있다. 캐소드 부재(80)나 방착판은, 교환이나 정기 점검 등의 보수관리가 필요하다. 이 때, 스퍼터실(34)의 측면(72)을 바닥면 상으로 쓰러뜨려 타겟 등이 설치되어 있는 면을 수평으로 한 상태에서 보수관리하도록 구성되어 있다.
(스퍼터실의 보수관리 방법)
스퍼터실(34)의 캐소드 부재(80)의 보수관리를 행할 때의 기구에 대해 설명하기로 한다. 도 2에 도시한 바와 같이, 스퍼터실(34)의 측면(72)에 설치된 캐소드 부재(80)를 보수관리하기 위해 측면(72)이 바닥면(FL)에 대략 평행이 되도록 쓰러뜨린다.
측면(72)을 쓰러뜨리면, 측면(72)은 회동축(74)을 중심으로 쓰러지고, 측면(72)이 수평 상태가 될 때까지 쓰러지도록 구성되어 있다. 이 때, 측면(72)에 일체 형성되어 있는 다리(76)에 연접되어 있는 축부(82)가 회동축(84)을 중심으로 회동하면서, 또 파워 실린더에 의해 펼쳐지면서 측면(72)이 넘어진다. 다리(76)의 선단이 바닥면(FL)에 위치하면, 캐소드 부재(80)가 배치되어 있는 측면(72)의 하중을 지지함과 동시에, 수평을 유지할 수 있다.
(프레임의 동작 방법)
이어서, 스퍼터실(34)의 보수관리 기구(71)를 가동시킬 때의 프레임(41)의 동작에 대해 도 10을 이용하여 설명하기로 한다.
도 10은 콘베이어의 상부 프레임 이동시의 개략 설명도이다.
도 10에 도시한 바와 같이, 프레임(41)의 상부 프레임(49)과 하부 프레임(47)을 걸어멈춤하는 걸어멈춤부(미도시)를 떼어내고, 상부 프레임(49)의 손잡이(57)를 전방으로 당기면, 상부 프레임(49)과 하부 프레임(47) 사이에 연접되어 있는 수직축(55)을 중심으로 상부 프레임(49)이 회동하도록 이동한다. 이 때, 상부 프레임(49)은 수직축(55)과 제1 롤러(59)로 하중을 지탱하고 있다. 그리고, 제2 롤 러(61)가 설치되어 있는 부분이 평면에서 보아 하부 프레임(47)과 간섭하지 않는 위치까지 상부 프레임(49)을 회동 시킨 후, 제2 롤러(61)의 스토퍼(미도시)를 해제하고, 제2 롤러(61)가 바닥면(FL)에 접촉하도록 회동축(62)을 중심으로 회동시킨다. 이 상태에서 상부 프레임(49)을 다시 회동시켜, 대략 90도 회동시킨다. 이 때 상부 프레임(49)은 수직축(55), 제1 롤러(59) 및 제2 롤러(61)의 3점에서 하중을 떠받치고 있으므로 상부 프레임(49)이 자중에 의해 덜컹거리지 않게 회동시킬 수 있다.
도 11은 스퍼터실의 측면(72)이 쓰러져 있을 때의 하부 프레임(47)과의 위치 관계를 나타내는 개략 설명도이다.
도 11에 도시한 바와 같이, 상부 프레임(49)을 이동시키면, 하부 프레임(47)의 상방에는 공간(77)이 형성된다. 이 공간(77)에 스퍼터실(34)의 측면(72)이 쓰러져, 평면에서 볼 때 하부 프레임(47)과 겹치도록 배치된다(도 1 참조). 또한, 하부 프레임(47)과 측면(72)이 상하 방향(수직 방향)에서 간섭하지 않도록, 즉 하부 프레임(47)의 상방에 측면(72)이 배치하도록 구성한다. 이에 따라, 쓰러진 스퍼터실(34)의 측면(72)과 캐리어 반송 경로(15)가 평면에서 보아 겹치지 않도록 성막 처리 경로(17)와 캐리어 반송 경로(15)를 배치할 필요가 없어져(도 13 참조), 성막 처리 경로(17)와 캐리어 반송 경로(15) 사이의 거리를 가깝게 할 수 있게 된다(도 1 참조). 즉, 성막 장치(10)에 형성되는 중앙 공간(81)을 좁힐 수 있으므로, 성막 장치(10)의 설치 면적을 협소화할 수 있게 된다. 여기서, 파워 실린더로 구성된 다리(76)는 하부 프레임(47)의 하부에 들어갈 수 있도록 설계되어 있다(도 11 참조).
측면(72)의 보수관리가 완료되면, 측면(72)을 원래의 위치로 되돌리고, 그 후, 상부 프레임(49)을 회동시켜 원래의 위치에 되돌린다. 이 때, 제2 롤러(61)가 하부 프레임(47)에 간섭하는 위치에서는 한 번 상부 프레임(49)측으로 이동(수납)하고, 다시 상부 프레임(49)을 하부 프레임(47)을 향해 누르도록 회동시킨다. 또한 상부 프레임(49)에는, 과도하게 회동되지 않도록 하부 프레임(47)에 접촉하여 더 이상 회동할 수 없도록 구성되는 스토퍼 부재(78)가 마련되어 있다(도 4 참조). 스토퍼 부재(78)가 하부 프레임(47)에 접촉된 후, 상부 프레임(49)과 하부 프레임(47) 사이를 걸어멈춤부로 걸어멈춤함으로써, 프레임(41) 내에서 캐리어(13)가 반송 가능한 상태가 된다. 그리고, 상부 프레임(49)측으로 이동하던 제2 롤러(61)를 다시 이동시키고, 상부 프레임(49)의 하중을 지지하기 위해 바닥면(FL)에 접지시킨다.
또한 이러한 회동 가능한 프레임(41)은 스퍼터실(34)의 측면(72)의 폭에 맞춘 위치에 배치하면 좋고, 측면(72)이 하나의 프레임(41)으로는 대응할 수 없는 크기의 폭을 가지고 있는 경우에는, 2개의 프레임(41)을 회동 가능하게 하고, 또한, 중심으로부터 좌우로 열 수 있도록 프레임(41)을 배치함으로써, 프레임 2개 정도의 폭까지 대응할 수 있다.
본 실시 형태에 의하면, 프레임(41)과, 유리 기판(11)이 세로로 놓여진 캐리어(13)를 지지함과 동시에 캐리어(13)를 반송하는 하부 지지 기구(43)와, 캐리어(13)를 지지하는 상부 지지 기구(45)를 구비한 콘베이어(40)에 있어서, 프레임(41)을 하부 프레임(47)과 상부 프레임(49)으로 구성하고, 하부 지지 기구(43)를 하부 프레임(47)에 설치하고, 상부 지지 기구(45)를 상부 프레임(49)에 설치하고, 상부 프레임(49)을 하부 프레임(47)과 분리하여 이동 가능하게 구성하였다.
또한 하부 지지 기구(43)는 하부 프레임(47)에 설치되어 있고, 캐리어(13)의 하중을 하부 지지 기구(43)에 의해 지지하면서 캐리어(13)를 반송시키므로, 하부 지지 기구(43)의 반송 루트가 높은 정밀도로 위치 결정된 상태에서, 캐리어를 고정밀도로 반송할 수 있다. 따라서, 캐리어(13)에 탑재한 유리 기판(11)의 깨짐, 캐리어(13)로부터의 파티클의 발생, 반송 트러블을 방지할 수 있다.
또한 하부 프레임(47)을 바닥면(FL)에 고정하고, 상부 프레임(49)을 하부 프레임(47)의 바닥면(FL)에 고정된 수직축(55)과 연접시켜 수직축(55)을 중심으로 회동 가능하게 구성하였다.
이 경우, 하부 지지 기구(43)는 고정된 상태에서, 상부 지지 기구(45)만을 회동시킬 수 있다. 따라서, 하부 지지 기구(43)의 정밀도를 유지할 수 있다. 또한 상부 프레임(49)이 하부 프레임(47)을 바닥면(FL)에 고정하는 수직축(55)을 중심으로 회동 가능하게 구성되어 있기 때문에, 하부 프레임(47)의 상방에 용이하게 공간(77)을 형성할 수 있음과 동시에, 상부 프레임(49)을 하부 프레임(47)의 상방까지 간단히 복귀시켜 위치 결정할 수 있다.
또한 상부 지지 기구(45)는 캐리어(13)를 비접촉으로 지지하도록 구성하였다.
이러한 구성에 의해, 상부 프레임(49)(상부 지지 기구(45))의 위치가 약간 어긋나도 캐리어(13)의 반송에는 영향을 미치지 않고, 캐리어(13)를 확실하게 반송 할 수 있다.
또한 상부 프레임(49)의 회동 방향 앞쪽의 측면(56)에 바닥면(FL)에 대해 상부 프레임(49)을 지지하면서 바닥면(FL)을 따라 구름운동하는 제1 롤러(59)를 설치하고, 상부 프레임(49)의 회동 방향 뒤쪽의 측면(60)에 바닥면(FL)에 대해 상부 프레임(49)을 지지하면서 바닥면(FL)을 따라 구름운동하는 제2 롤러(61)를 설치하고, 제2 롤러를 상부 프레임(49)의 회동시에 하부 프레임(47)과 간섭하지 않는 위치로 이동 가능하게 구성하였다. 구체적으로, 제2 롤러(61)를, 다리(63)의 선단에 설치하고, 다리(63)는 회동축(62)을 통해 상부 프레임(49)에 접속하였다. 제2 롤러(61)는 상부 프레임(49)을 회동시킬 때, 회동축(62)을 통해 수직 단면이 대략 반원형을 그리도록 회동하고, 제2 롤러(61)를 상방으로 올려 하부 프레임(47)에 간섭하지 않는 위치까지 이동 가능하게 구성하였다.
이 경우, 상부 프레임(49)을 회동시킬 때, 상부 프레임(49)의 하중을 하부 프레임(47)에 연접하고 있는 수직축(55), 제1 롤러(59) 및 제2 롤러(61)의 3점에서 바닥면(FL)에 지지할 수 있으므로, 상부 프레임(49)이 자중에 의해 기울거나 하지 않고 확실하게 회동시킬 수 있다. 또 제2 롤러(61)는 하부 프레임(47)과 간섭하지 않도록 이동 가능하게 구성되어 있기 때문에, 상부 프레임(49)을 회동시킬 때, 하부 프레임(47)과 간섭할 때만 제2 롤러(61)를 이동시키고, 기타의 경우에는 바닥면(FL)에 대해 상부 프레임(49)을 지지하기 위해 사용할 수 있어 효율적으로 사용할 수 있다.
또한, 유리 기판(11)을 세로로 지지하여 반송하는 캐리어(13)와, 캐리어(13) 에 탑재된 유리 기판(11)에 성막 처리를 행하는 성막 처리 경로(17)와, 성막 처리 경로(17)에 병렬 배치된 캐리어 반송 경로(15)를 구비하고, 성막 처리 경로(17)의 스퍼터실(34)의 측면(72)에 설치된 캐소드 부재(80)가 캐리어 반송 경로(15)를 향해 쓰러지도록 이동 가능하게 구성된 성막 장치(10)에 있어서, 캐리어 반송 경로(15)에 캐리어(13)의 하부 지지 기구(43)를 구비한 하부 프레임(47)으로부터 분리하고, 캐리어(13)의 상부 지지 기구(45)를 구비한 상부 프레임(49)이 설치되고, 그 상부 프레임(49)이 이동된 캐소드 부재(80)와의 간섭을 회피할 수 있는 위치(퇴피 위치)까지 이동 가능하게 구성하였다.
이 경우, 상부 프레임(49)을 이동시켜, 하부 프레임(47)의 상방에 공간(77)을 형성할 수 있음과 동시에, 그 공간(77)에 이동된 스퍼터실(34)의 측면(72)에 설치된 캐소드 부재(80)를 배치할 수 있으므로, 성막 처리 경로(17)와 캐리어 반송 경로(15)와의 거리를 가깝게 할 수 있다. 따라서, 성막 장치(10)의 설치 면적을 줄일 수 있다.
그리고, 스퍼터실(34)의 측면(72)에 설치된 캐소드 부재(80)의 보수관리를 할 때, 상부 프레임(49)을 회동시킴으로써 하부 프레임(47)의 상방에 형성된 공간(77)에, 캐소드 부재(80)를 배치할 수 있으므로, 성막 처리 경로(17)와 캐리어 반송 경로(15)와의 간격을 좁힐 수 있다. 따라서, 성막 장치(10)의 중앙 공간(81)을 좁힐 수 있으므로, 성막 처리 경로(17)와 캐리어 반송 경로(15)를 구비한 성막 장치(10)의 설치 면적을 줄일 수 있다.
본 발명의 기술 범위는 상술한 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 본 발명 의 취지를 일탈하지 않는 범위에서, 상술한 실시 형태에 다양한 변경을 가한 것을 포함한다. 즉, 실시 형태로 든 구체적인 재료나 구성 등은 일예에 불과하며 적절한 변경이 가능하다.
예컨대, 본 실시 형태에서, 상부 지지 기구(45)를 상부 프레임(49)에 설치한 마그넷과 캐리어(13)에 설치한 마그넷을 반발시키는 구성으로 하였지만, 도 12에 도시한 바와 같이, 상부 프레임(49)에 설치한 하나의 마그넷(53)과 캐리어(13)에 설치한 마그넷(66)이 수직 방향으로 대향되도록, 또한 서로의 마그넷(53, 66)이 흡착될 수 있도록 배치하여, 캐리어(13)를 대략 수직하게 유지할 수 있게 해도 된다.
또한 본 실시 형태에 있어서, 성막 처리 경로에 양면 성막 방식을 채용한 경우의 설명을 하였지만, 단면 성막 방식으로 스퍼터실의 측면에 설치된 캐소드 부재를 캐리어 반송 경로측으로 쓰러뜨려 보수관리를 하도록 구성되어 있는 성막 장치에 본 발명을 적용해도 된다.
본 발명의 콘베이어 및 성막 장치에 의하면, 그 설치 면적을 줄일 수 있다.

Claims (7)

  1. 프레임과,
    기판이 세로로 놓여진 캐리어를 지지함과 동시에 상기 캐리어를 반송하는 하부 지지 기구와,
    상기 캐리어를 지지하는 상부 지지 기구를 구비한 콘베이어에 있어서,
    상기 프레임이 하부 프레임과 상부 프레임으로 구성되고,
    상기 하부 지지 기구가 하부 프레임에 설치되고, 상기 상부 지지 기구가 상부 프레임에 설치되며, 상기 상부 프레임이 상기 하부 프레임과 분리하여 이동 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 콘베이어.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 하부 프레임이 바닥면에 지지 고정되고,
    상기 상부 프레임이, 상기 하부 프레임을 바닥면에 지지하는 수직축의 어느 하나와 연접(連接)되어 이루어지며 상기 수직축을 중심으로 회동 가능하게 구성되어 있는 콘베이어.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 상부 지지 기구는 상기 캐리어를 비접촉으로 지지하는 콘베이어.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 상부 프레임의 회동 방향 앞쪽에, 상기 바닥면에 대해 상기 상부 프레임을 지지하면서 상기 바닥면을 따라 구름운동하는 제1 롤러가 설치되고,
    상기 상부 프레임의 회동 방향 뒤쪽에, 상기 바닥면에 대해 상기 상부 프레임을 지지하면서 상기 바닥면을 따라 구름운동하는 제2 롤러가 설치되고,
    상기 제2 롤러는 상기 상부 프레임의 회동시에 상기 하부 프레임과 간섭하지 않는 위치로 이동 가능하게 구성되어 있는 콘베이어.
  5. 기판을 세로로 지지하여 반송하는 캐리어와,
    상기 캐리어에 탑재된 상기 기판에 성막 처리를 행하는 성막 처리 경로와,
    상기 성막 처리 경로에 병렬 배치된 캐리어 반송 경로를 구비하고,
    상기 성막 처리 경로의 구성 부재가 상기 캐리어 반송 경로를 향해 이동 가능하게 구성된 성막 장치에 있어서,
    상기 캐리어 반송 경로에는 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 콘베이어가 설치되며,
    상기 상부 프레임이, 이동된 상기 성막 처리 경로의 구성 부재와의 간섭을 회피할 수 있는 위치까지 이동 가능하게 구성되어 있는 성막 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 성막 처리 경로의 구성 부재는 스퍼터 처리 장치의 타겟의 지지 부재인 성막 장치.
  7. 제5항에 기재된 성막 장치의 보수관리 방법으로서,
    상기 하부 프레임으로부터 상기 상부 프레임을, 이동된 상기 성막 처리 경로의 구성 부재와의 간섭을 회피할 수 있는 위치까지 분리하여 이동시키는 공정과, 상기 성막 처리 경로의 구성 부재를 상기 하부 프레임의 상방으로 쓰러뜨려 상기 성막 처리 경로의 구성 부재를 보수관리하는 공정을 구비하는 보수관리 방법.
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