JP6909399B2 - 基板保持装置 - Google Patents
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Description
13 基板ホルダ
14 辺部
15 基板マスク
31 マスク部材
32 移動(回動)機構(クランク機構)
35 回転軸(クランク軸)
37 駆動機構
38 駆動源(直動シリンダ)
39 ラック
40 ピニオン
41 回転体(スプロケット)
42 無端条体(チェーン)
Claims (3)
- 基板が着脱自在に保持される基板ホルダと、前記基板ホルダに設けられ、前記基板の各辺部を被覆する枠状の基板マスクとを備え、
前記基板マスクは、前記基板の各辺部をそれぞれ被覆する複数のマスク部材からなる分割構造をなし、
前記基板ホルダと前記各マスク部材との間に、それぞれ、前記各マスク部材を前記基板の各辺部に対して近接および離隔させる移動機構を有すると共に、全ての前記移動機構を単一の駆動源で連動させる駆動機構を有し、
前記各移動機構は、回転軸を有し、該回転軸の回転に基づいて、前記マスク部材を、前記基板の面と平行な方向に移動させて、前記基板の辺部に対して近接および離隔可能に移動させ、
前記駆動機構は、前記各移動機構の前記回転軸に同軸的に取り付けられた回転体と、全ての前記移動機構の前記回転体に巻き掛けられた無端条体とを有し、前記単一の駆動源により回転させられた一の前記移動機構の前記回転体の回転を、前記無端条体により、他の全ての前記移動機構の前記回転体に伝達することを特徴とする基板保持装置。 - 前記移動機構は、前記基板ホルダに対して回転自在に支持された、前記回転軸としてのクランク軸と、その基端部が前記クランク軸に固定され、その先端部が前記マスク部材に揺動自在に取り付けられたクランク部材とを有する請求項1に記載の基板保持装置。
- 前記駆動機構は、前記単一の駆動源としての直動シリンダにより直動するラックと、前記ラックの直動により回転するピニオンとを有し、前記ピニオンは、前記一の移動機構の回転軸に同軸的に取り付けられている請求項1又は2に記載の基板保持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017050018A JP6909399B2 (ja) | 2017-03-15 | 2017-03-15 | 基板保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017050018A JP6909399B2 (ja) | 2017-03-15 | 2017-03-15 | 基板保持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2018154851A JP2018154851A (ja) | 2018-10-04 |
JP6909399B2 true JP6909399B2 (ja) | 2021-07-28 |
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ID=63715541
Family Applications (1)
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JP2017050018A Active JP6909399B2 (ja) | 2017-03-15 | 2017-03-15 | 基板保持装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP6909399B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11255011B1 (en) | 2020-09-17 | 2022-02-22 | United Semiconductor Japan Co., Ltd. | Mask structure for deposition device, deposition device, and operation method thereof |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1060624A (ja) * | 1996-08-20 | 1998-03-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | スパッタリング装置 |
JP2008088509A (ja) * | 2006-10-03 | 2008-04-17 | Seiko Epson Corp | 成膜装置及び成膜装置による成膜方法 |
JP4985447B2 (ja) * | 2007-05-10 | 2012-07-25 | 株式会社Ihi | 基板搬送装置 |
JP4700714B2 (ja) * | 2008-06-04 | 2011-06-15 | キヤノンアネルバ株式会社 | マスク、該マスクを用いた成膜装置、及び、該マスクを用いた成膜方法 |
JP2014078601A (ja) * | 2012-10-10 | 2014-05-01 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 成膜装置用基板搬送トレイ、及び外部開閉駆動装置 |
JP2015117130A (ja) * | 2013-11-14 | 2015-06-25 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス基板保持装置 |
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- 2017-03-15 JP JP2017050018A patent/JP6909399B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
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JP2018154851A (ja) | 2018-10-04 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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