JP2015117130A - ガラス基板保持装置 - Google Patents

Abstract

【課題】一方の平面に対して成膜が施される矩形板状のガラス基板を、前記一方の平面側に傾倒させた姿勢に保持するガラス基板保持装置であって、自重による撓み等を生じることもなく、高度な平面度を保ちつつガラス基板を保持することが可能なガラス基板保持装置を提供する。
【解決手段】後面（一方の平面）に対して成膜が施される矩形板状のガラス基板Ｗを、前記後面（一方の平面）側に傾倒させた姿勢に保持するガラス基板保持装置１であって、前記ガラス基板Ｗの前記後面（一方の平面）において、少なくとも、その上下端部および左右端部の一部に当接しつつ、前記ガラス基板Ｗを支持する保持部１０を備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、成膜されるガラス基板を略垂直の姿勢に保持するための、ガラス基板保持装置の技術に関する。

近年、液晶ディスプレイやＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイなどの各種画像表示機器に用いられるガラス基板においては、画像表示機器の大画面化、または多面取りによる生産効率の向上を図るため、例えば、縦寸法１０００［ｍｍ］×横寸法１０００［ｍｍ］のサイズを超えるような大面積化が益々推進されている。
また、その一方で、タッチパネルの分野においては、ＯＧＳ（Ｏｎｅ Ｇｌａｓｓ Ｓｏｌｕｔｉｏｎ）に関するプロセス（生産工程）開発の中で、例えば、液晶パネルの製造ラインを用いて、縦寸法１０００［ｍｍ］×横寸法１０００［ｍｍ］のサイズを超えるような大面積の強化ガラスに、成膜やパターニングなどを施すことが試みられている。

このような状況下において、例えばスパッタリングによる成膜を、インライン方式によって、大面積のガラス基板に対して連続的に施す場合、水平の姿勢にガラス基板を保持すると、自重による撓みが発生して均一な成膜面を得ることが困難であるため、キャリアなどを用いて、垂直姿勢、または垂直姿勢から僅かに傾倒させた略垂直の姿勢にガラス基板を保持するのが一般的である（例えば、「特許文献１」を参照）。
一方、キャリアなどを用いて、大面積のガラス基板を垂直の姿勢に保持する場合、キャリアにガラス基板を着脱させるための大掛かりな装置が別途必要となり（例えば、「特許文献２」を参照）、設備コストが嵩むばかりか、広大な設置スペースも必要となる。
このようなことから、キャリアなどを用いて、大面積のガラス基板を保持する際の姿勢については、僅かに傾倒させた略垂直の姿勢とすることがより好ましいと言える。

特開２００４−３３１３４９号公報 国際公開第２００７／１２３０３２号

ここで、このような僅かに傾倒させた略垂直の姿勢に保持された、大面積のガラス基板に対して成膜を施す場合、処理後のガラス基板の品質確保の観点から、下面（傾倒方向側の面）に対して成膜を施すことが好ましい。
そして、このようにガラス基板の下面に対して成膜を施す場合には、該下面の略全ての領域にわたって支持部材等を配置することができず、例えば、キャリアによって、ガラス基板の上下端部、または左右端部の限られた箇所を掛止することにより、ガラス基板を保持しなければならない。
しかしながら、厚み寸法が１［ｍｍ］以下の大面積のガラス基板においては、自重によって下方に膨出する大きな撓みが発生することとなり、均一な成膜面を下面に得ることが困難であるばかりか、キャリアからガラス基板が脱落する可能性もある。

一方、略垂直の姿勢に保持された大面積のガラス基板の上面（傾倒方向側との対向側の面）に対して成膜を施すこととすれば、たとえ厚み寸法が１［ｍｍ］以下のガラス基板であっても、ガラス基板の下面全体に渡って支持部材等を設けることが可能であり、自重による撓み等を生じさせることもなく、高度な平面度を保ちつつキャリアによってガラス基板を保持することができる。
しかしながら、成膜が施される面が、ガラス基板の上面であることから、成膜処理中におけるパーティクルやダスト等の付着によって、ピンホールが発生し易く、処理後のガラス基板の品質を確保することが困難である。

本発明は、以上に示した現状の問題点を鑑みて成されたものであり、一方の平面に対して成膜が施される矩形板状のガラス基板を、前記一方の平面側に傾倒させた姿勢に保持するガラス基板保持装置であって、自重による撓み等を生じることもなく、高度な平面度を保ちつつガラス基板を保持することが可能なガラス基板保持装置を提供することを課題とする。

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。

即ち、本発明の請求項１に係るガラス基板保持装置は、一方の平面に対して成膜が施される矩形板状のガラス基板を、前記一方の平面側に傾倒させた姿勢に保持するガラス基板保持装置であって、前記ガラス基板の前記一方の平面において、少なくとも、その上下端部および左右端部の一部を支持する保持部を備えることを特徴とする。

本発明の請求項２に係るガラス基板保持装置は、前記保持部が、前記ガラス基板の前記一方の平面において、その上下端部および左右端部の全ての領域を支持することを特徴とする。

本発明の請求項３に係るガラス基板保持装置は、前記ガラス基板の周囲にはクランプ機構部が配置され、該クランプ機構部は、前記ガラス基板に近接離間可能に設けられるとともに、前記ガラス基板の他方の平面において、少なくとも、その周縁部の一部に当接しつつ、前記保持部とともに前記ガラス基板を挟持する挟持板を備えることを特徴とする。

本発明の請求項４に係るガラス基板保持装置は、前記クランプ機構部において、前記挟持板は、前記ガラス基板の前記他方の平面において、その上端部および左右端部に当接しつつ、前記保持部とともに前記ガラス基板を挟持することを特徴とする。

本発明の請求項５に係るガラス基板保持装置は、前記クランプ機構部において、前記複数の挟持板は、前記ガラス基板の前記他方の平面の上端部および左右端部に対して、互いに同調して近接離間するように設けられることを特徴とする。

本発明の請求項６に係るガラス基板保持装置は、前記クランプ機構部において、前記保持部とともに、前記挟持板によって前記ガラス基板を挟持する際、前記保持部と前記挟持板との間には、前記ガラス基板の厚み寸法に比べて大きな間隙寸法を形成することを特徴とする。

本発明の請求項７に係るガラス基板保持装置は、前記クランプ機構部が、外部より与えられる動力を前記挟持板に伝達する動力伝達手段を備え、該動力伝達手段を介して伝達された動力によって、前記挟持板自身と平行に設けられる軸心を中心にして回動されることにより、前記挟持板が、前記ガラス基板に対して近接離間されることを特徴とする。

本発明の請求項８に係るガラス基板保持装置は、前記動力伝達手段は、前記保持部の板面に平行な方向の力を、前記挟持板を、前記挟持板と平行な軸心を中心として回動させる力に変換可能であることを特徴とする。

本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。

即ち、本発明の請求項１に係るガラス基板保持装置によれば、例え大面積の矩形板状のガラス基板であっても、成膜が施されるガラス基板の一方の平面において、少なくとも、その上下端部および左右端部の一部を支持することから、ガラス基板に対して十分な成膜領域（成膜が施される領域）を確保するとともに、自重による撓み等が生じることもなく、高度な平面度を保ちつつ、前記一方の平面側に傾倒させた姿勢に、ガラス基板を堅固に保持することができる。
これにより、ガラス基板の下面に対して、均一に成膜を施すことができ、成膜処理中におけるパーティクルやダスト等の付着によって、ピンホールが発生するのを防ぎ、処理後のガラス基板の品質確保を図ることができる。

本発明の請求項２に係るガラス基板保持装置によれば、例え大面積の矩形板状のガラス基板であっても、成膜が施されるガラス基板の一方の平面において、上下端部および左右端部の全ての領域に当接しつつ支持することから、ガラス基板に対して十分な成膜領域（成膜が施される領域）を確保するとともに、自重による撓み等が生じることもなく、高度な平面度を保ちつつ、より確実に、前記一方の平面側に傾倒させた姿勢に、ガラス基板を堅固に保持することができる。

本発明の請求項３に係るガラス基板保持装置によれば、例えば、成膜時の熱によりガラス基板が変形し、均一な膜特性を得ることが困難である場合においても、クランプ機構部によって、少なくとも、ガラス基板の周縁部の一部を挟持しつつ保持することができるため、ガラス基板に変形を生じさせることもなく、均一な膜特性を得ることができる。

本発明の請求項４に係るガラス基板保持装置によれば、例えば、成膜時の熱によりガラス基板が変形し、均一な膜特性を得ることが困難である場合においても、クランプ機構部によって、ガラス基板の上端部および左右端部を挟持しつつ保持することができるため、より確実に、ガラス基板に変形を生じさせることもなく、均一な膜特性を得ることができる。

本発明の請求項５に係るガラス基板保持装置によれば、複数のクランプ機構部における各々の挟持板を、ガラス基板の他方の平面の上端部および左右端部に対して、互いに同調して近接離間させることができるため、ガラス基板保持装置へのガラス基板の搭載作業、および成膜処理後におけるガラス基板保持装置からのガラス基板の離脱作業を短時間で行うことができる。

本発明の請求項６に係るガラス基板保持装置によれば、保持部とともに挟持板によって、ガラス基板が挟持された状態において、例えば、ガラス基板に、熱の影響による膨張や伸縮が発生したとしても、ガラス基板は、保持部および挟持板の間隙内にて任意の方向に僅かに移動することができるため、ガラス基板に無理な内部応力が発生し、破損等を引き起こす心配はない。

本発明の請求項７に係るガラス基板保持装置によれば、ガラス基板に対して挟持板を近接離間するための動力源を、ガラス基板保持装置の外部に設けることができることによりコンパクトな構成によって、挟持板の近接離間動作に関する自動化を実現することができる。

本発明の請求項８に係るガラス基板保持装置によれば、ガラス基板保持装置の外部に設けた動力源から付与される、ガラス基板の保持部の板面と平行な方向の力を、挟持板と平行な軸心の回動動作に変換することができ、ガラス基板保持装置の厚み方向の寸法を小さくすることができ、ガラス基板保持装置をコンパクトに構成することが可能となる。

本発明の一実施形態に係るガラス基板保持装置の全体的な構成を示した正面図。 同じく、ガラス基板保持装置の全体的な構成を示した図であって、図１の矢印Ｘの方向から見た断面側面図。 ガラス基板保持装置に備えられるクランプ機構部の構成を示した図であって、図２の領域Ｙによって示した箇所の拡大断面側面図。 別実施形態に係るガラス基板保持装置の全体的な構成を示した正面図。 別実施形態に係るガラス基板保持装置において、第二クランプ機構部と連結される動力伝達機構部の近傍を示した図であって、（ａ）はガラス基板保持装置がガラス基板の搭載工程または離脱工程に位置し、ガラス基板の搭載工程または離脱工程に備えられる可動装置が動力伝達機構部から離間している状態を示した拡大正面図、（ｂ）はその拡大側面図。 同じく、別実施形態のガラス基板保持装置における、動力伝達機構部の近傍を示した図であって、（ａ）はガラス基板保持装置がガラス基板の搭載工程または離脱工程に位置し、ガラス基板の搭載工程または離脱工程に備えられる可動装置が動力伝達機構部に近接した状態を示した拡大正面図、（ｂ）はその拡大側面図。 同じく、別実施形態のガラス基板保持装置における、動力伝達機構部の近傍を示した図であって、（ａ）はガラス基板保持装置がガラス基板の搭載工程または離脱工程に位置し、ガラス基板の搭載工程または離脱工程に備えられる可動装置によって動力伝達機構部が作動され第二クランプ機構部が開状態となった状態を示した拡大正面図、（ｂ）はその拡大側面図。 同じく、別実施形態のガラス基板保持装置における、動力伝達機構部の近傍を示した図であって、（ａ）はガラス基板保持装置がガラス基板の搭載工程または離脱工程に位置し、ガラス基板の搭載工程または離脱工程に備えられる可動装置によって動力伝達機構部が作動され第二クランプ機構部が閉状態となった状態を示した拡大正面図、（ｂ）はその拡大側面図。

［ガラス基板保持装置１］
次に、図１乃至図３を用いて、本発明を具現化するガラス基板保持装置１の構成について説明する。
なお、以下の説明に関しては便宜上、図１乃至図３の上下方向をガラス基板保持装置１の上下方向と規定して記述する。
また、図２および図３においては、矢印Ａの方向を前方と規定して記述する。

本実施形態におけるガラス基板保持装置１は、例えば、スパッタリングによるガラス基板の成膜工程において、矩形板状のガラス基板Ｗを、一方の平面側に僅かに傾倒させた略垂直の姿勢に保持するため装置である。
ガラス基板保持装置１は、図１に示すように、主に、保持部１０、第一クランプ機構部２０、および第二クランプ機構部３０などにより構成される。

［保持部１０］
保持部１０は、ガラス基板保持装置１の基部となる部位である。
保持部１０は、成膜工程において、ガラス基板Ｗの後面（図２において、矢印Ａが示す側とは反対側の面）、即ち成膜面側よりガラス基板Ｗを保持するための部位である。

保持部１０は、枠形状の板部材からなる支持板１１と、支持板１１の中央部に形成される、矩形状の切欠部１１ａの周縁部に設けられた複数の平板部材と、突起部１３ａとを備えている。

具体的には、支持板１１の切欠部１１ａの上側および下側の縁部には、例えば熱可塑性樹脂などからなる帯状の上側平板部材１２および下側平板部材１３が、各々前記縁部に沿って配設されるとともに、ボルト等を介して着脱可能に固設される。
また、切欠部１１ａの右側および左側の縁部には、例えば熱可塑性樹脂などからなる帯状の右側平板部材１４および左側平板部材１５が、各々前記縁部に沿って配設されるとともに、ボルト等を介して着脱可能に固設される。
さらに、下側平板部材１３の前面（図２において、矢印Ａの方向側の面）には、平滑な上面を有する複数の突起部１３ａ・１３ａ・・・が、前記下側平板部材１３の延出方向に沿って一直線状に延設される。

そして、これらの上側平板部材１２、下側平板部材１３、右側平板部材１４、および左側平板部材１５によって囲まれた空間領域Ｓの面積は、ガラス基板Ｗの面積に比べて、若干小さくなるように設定されている。

このような構成からなる保持部１０によって、ガラス基板Ｗの周縁部（上下端部および左右端部）は、後面（成膜面）側より保持される。
具体的には、図２に示すように、ガラス基板Ｗの成膜工程において、保持部１０は、上側平板部材１２、下側平板部材１３、右側平板部材１４、および左側平板部材１５（図１を参照）が設けられる側の平面を前方に向けつつ、仮想の垂直面Ｖに対して角度θだけ後方（矢印Ａとの対向方向）に傾倒した姿勢によって配設される。

そして、ガラス基板Ｗは、保持部１０の前面において、複数（図２においては、断面図であるため１個のみ記載）の突起部１３ａ・１３ａ・・・の上面に下端部を載置させつつ、支持板１１に立て掛けられる。
これにより、ガラス基板Ｗは、複数の突起部１３ａ・１３ａ・・・を介して、上下方向の位置を規制される。また、ガラス基板Ｗは、後面の周縁部が、上側平板部材１２、下側平板部材１３、右側平板部材１４、および左側平板部材１５に当接し、垂直面Ｖに対して角度θだけ後方に傾倒した姿勢にて、保持部１０によって後面（成膜面）より保持される。
換言すると、一方の平面（例えば、本実施形態においては、後面）に対して成膜が施される矩形板状のガラス基板Ｗは、保持部１０によって、後面側に傾倒させた姿勢に保持され、前記保持部１０は、上側平板部材１２、下側平板部材１３、右側平板部材１４、および左側平板部材１５を備える支持板１１を介して、前記ガラス基板Ｗの後面（一方の平面）において、その上下端部および左右端部の全ての領域を支持する構成となっている。

ここで、角度θが大きくなれば、ガラス基板Ｗの自重による撓み量が大きくなる。その撓み量は、ガラス基板Ｗの縦、横、および厚み方向の寸法により変化する。
したがって、ガラス基板Ｗが大きくて薄い場合、角度θをできる限り小さくして、略垂直の姿勢でガラス基板を保持する必要がある。
例えば、本実施形態においては、垂直面Ｖに対して角度３［°］だけ僅かに後方に傾倒する、略垂直の姿勢からなる保持部１０によって、縦寸法１８００［ｍｍ］×横寸法１５００［ｍｍ］、厚み寸法０．５［ｍｍ］のサイズからなるガラス基板Ｗを、後面より保持することとしており、この際、ガラス基板Ｗは、略フラットな平面状態を維持しつつ、複数の突起部１３ａ・１３ａ・・・上にて自立した状態に保持されることが確認されている。

ところで、成膜工程においては、ガラス基板Ｗの後面に対して成膜が施されるところ、本実施形態においては、ガラス基板Ｗの後面の僅かな幅寸法からなる周縁部が、上側平板部材１２、下側平板部材１３、右側平板部材１４、および左側平板部材１５によって支持（当接）されることとしている。
具体的には、例えば、本実施形態においては、厚み寸法１．５［ｍｍ］からなる上側平板部材１２、下側平板部材１３、右側平板部材１４、および左側平板部材１５によって、縦寸法１８００［ｍｍ］×横寸法１５００［ｍｍ］、厚み寸法０．５［ｍｍ］のサイズからなるガラス基板Ｗを、僅かな幅寸法３［ｍｍ］からなる周縁部を介して後面より支持することとしている。
これにより、ガラス基板Ｗに対して十分な成膜領域（成膜が施される領域）を確保することができる。
また、下方に向くガラス基板Ｗの後面に対して、成膜処理が施されるため、成膜処理中のガラス基板Ｗの後面（成膜面）に、パーティクルやダスト等が付着するのを極力防止することができ、ピンホールの発生を防止することができる。

なお、本実施形態においては、保持部１０に対して、上側平板部材１２、下側平板部材１３、右側平板部材１４、および左側平板部材１５を、着脱可能な個別の部材として構成することとしているが、これに限定されるものではない。
即ち、例えば熱可塑性樹脂などによって、保持部１０と、これらの上側平板部材１２、下側平板部材１３、右側平板部材１４、および左側平板部材１５とを一体構造として形成することとしてもよい。

また、図１に示すように、本実施形態においては、切欠部１１ａの全周に亘って、上側平板部材１２、下側平板部材１３、右側平板部材１４、および左側平板部材１５を配置することとしているが、これに限定されるものではない。
即ち、これらの上側平板部材１２、下側平板部材１３、右側平板部材１４、および左側平板部材１５を、各々細切れされた複数の板状部材によって形成することとし、間隙を有しつつ切欠部１１ａの周縁部に沿って断片的に配置することとしてもよい。
つまり、後面（一方の平面）に対して成膜が施される矩形板状のガラス基板Ｗは、保持部１０によって、後面側に傾倒させた姿勢に保持され、前記保持部１０は、上側平板部材１２、下側平板部材１３、右側平板部材１４、および左側平板部材１５を備える支持板１１を介して、ガラス基板Ｗの後面（一方の平面）において、少なくとも、その上下端部および左右端部の一部に当接しつつ、前記ガラス基板Ｗを支持する構成としてもよい。

［第一クランプ機構部２０］
次に、第一クランプ機構部２０について説明する。
本実施形態における第一クランプ機構部２０・２０は、一台のガラス基板保持装置１に対して二基備えられ、支持板１１上端面部の前面において、左右方向（図２において、矢印Ａに対する平面視直交方向）に延出しつつ互いに並設される。
ここで、支持板１１上端面部の前面において、その右側の領域に配設される第一クランプ機構部２０（以下、適宜「右側第一クランプ機構部２０Ｒ」と記載する）と、その左側の領域に配設される第一クランプ機構部２０（以下、適宜「左側第一クランプ機構部２０Ｌ」と記載する）とは、互いに左右対称の関係にある同等の構成からなるため、以下の説明においては、主に右側第一クランプ機構部２０Ｒの構成について記載し、左側第一クランプ機構部２０Ｌの構成についての記載は省略する。

右側第一クランプ機構部２０Ｒは、ガラス基板保持装置１によってガラス基板Ｗを保持する際に、ガラス基板Ｗ上端部の右側半分の領域を、前面より支持するための部位である。
換言すると、右側第一クランプ機構部２０Ｒは、上側平板部材１２とともに、ガラス基板Ｗ上端部の右側半分の領域を、挟持しつつ保持するための部位である。

右側第一クランプ機構部２０Ｒは、第一クランプ板２１、支持部材２２、軸支部材２３、および第一回転シャフト２４などにより構成される。
前記第一クランプ板２１は、ガラス基板Ｗ上端部の右側半分の領域を支持する際に、ガラス基板Ｗと直接当接される部材である。
第一クランプ板２１は、例えば熱可塑性樹脂などからなる断面視Ｌ字状の帯状部材によって構成される。

そして、第一クランプ板２１は、図３に示すように、断面視矩形状の凹欠部２１ａが、下方、且つ上側平板部材１２と対向する側に位置するようにして配設される。
また、第一クランプ板２１の長手方向の寸法は、上側平板部材１２の長手方向の寸法の、略半分程度の大きさになるように設定されており、第一クランプ板２１は、上側平板部材１２の右側半分の領域と対向しつつ、水平方向に延出するように配設される。

ここで、凹欠部２１ａの内周面と、上側平板部材１２の前面とによって囲まれた間隙Ｇの隙間寸法（図３における寸法ｇ）は、ガラス基板Ｗの厚み寸法（図３における寸法ｗ）に比べて、僅かに大きくなるように設定されている（寸法ｇ＞寸法ｗ）。
換言すると、右側第一クランプ機構部２０Ｒにおいて、保持部１０の上側平板部材１２とともに、第一クランプ板（挟持板）２１によってガラス基板Ｗを挟持する際、上側平板部材１２と第一クランプ板（挟持板）２１との間には、ガラス基板Ｗの厚み寸法に比べて大きな間隙寸法（寸法ｇ）からなる間隙Ｇを形成する構成となっている。
これにより、第一クランプ板２１および上側平板部材１２によって、ガラス基板Ｗの上端部が挟持された状態において、例えば、ガラス基板Ｗに、熱の影響による膨張や伸縮が発生したとしても、ガラス基板Ｗの上端部は、間隙Ｇ内にて任意の方向に僅かに移動することができるため、ガラス基板Ｗに無理な内部応力が発生し、破損等を引き起こす心配はない。

支持部材２２は、後述する第一回転シャフト２４より第一クランプ板２１を支持するための部材である。
支持部材２２は、図１に示すように、例えば、間隙を有して互いに対向して配置される二個の第一ハウジング部２２Ａ・２２Ａと、これらの第一ハウジング部２２Ａ・２２Ａ間に横架されつつ該第一ハウジング部２２Ａ・２２Ａの対向方向との直交方向に突出する舌片部２２Ｂと、により一体的に形成される。
また、これらの第一ハウジング部２２Ａ・２２Ａの中央部には、前記対向方向に沿って互いに同軸上の貫通孔２２ａ・２２ａが穿孔される。

そして、このような形状からなる支持部材２２・２２は、右側第一クランプ機構部２０Ｒに対して複数個（例えば、本実施形態においては二個）設けられ、本実施形態においては、第一クランプ板２１の延出方向の両端部に各々配設される。
具体的には、第一クランプ板２１の前面、且つ延出方向の両端部において、各支持部材２２は、貫通孔２２ａ・２２ａの軸心方向を左右方向としつつ、第一ハウジング部２２Ａ・２２Ａに対する舌片部２２Ｂの突出方向を下方に向けた状態によって配設される。

そして、これら複数の支持部材２２・２２において、第一回転シャフト２４が、複数の貫通孔２２ａ・２２ａ・２２ａ・２２ａ内に同時に嵌挿されるとともに、第一クランプ板２１が、舌片部２２Ｂ・２２Ｂの後面に、ボルト等を介して着脱可能に固設される。
こうして、第一クランプ板２１は、各支持部材２２によって、第一回転シャフト２４より堅固に支持されるのである。

軸支部材２３は、支持板１１より後述する第一回転シャフト２４を軸支するための部材である。
軸支部材２３は、例えば、矩形板状のベース部２３Ａと、該ベース部２３Ａの長手方向中央部の一側端部より突出する第二ハウジング部２３Ｂと、により一体的に形成される。
また、第二ハウジング部２３Ｂの中央部には、ベース部２３Ａの長手方向に沿って貫通する貫通孔２３ａが穿孔される。

そして、このような形状からなる軸支部材２３・２３は、右側の第一クランプ機構部２０Ｒに対して複数個（例えば、本実施形態においては二個）設けられ、本実施形態においては、支持板１１前面の上端部、且つ右側半分の領域において左右方向に並設される。
具体的には、支持板１１の前面の上端部において、各軸支部材２３は、支持部材２２の上側近傍に配設される。また、この際、軸支部材２３の第二ハウジング部２３Ｂは、支持部材２２の第一ハウジング部２２Ａ・２２Ａの間隙に位置するとともに、第二ハウジング部２３Ｂの貫通孔２３ａと第一ハウジング部２２Ａ・２２Ａの貫通孔２２ａ・２２ａとが、互いに同軸上となるように配置される。

そして、これら複数の軸支部材２３・２３において、第一回転シャフト２４が、図示せぬ軸受部材（例えば、ベアリングやブッシングなど）を介して、複数の貫通孔２３ａ・２３ａ内に同時に嵌挿される。また、この際、前述したように、第一回転シャフト２４は、複数の支持部材２２・２２の貫通孔２２ａ・２２ａ・２２ａ・２２ａ内にも、同時に嵌挿される。
さらに、各軸支部材２３は、ベース部２３Ａの後面を介して、支持板１１にボルト等を介して着脱可能に固設される。

こうして、第一回転シャフト２４は、軸支部材２３によって、支持板１１に対して回動可能に軸支される。また、前述したように、第一クランプ板２１は、支持部材２２を介して、第一回転シャフト２４に堅固に支持される。
よって、図３に示すように、第一クランプ板２１は、支持板１１前面の上端部の右側半分の領域において、第一回転シャフト２４の軸心を中心にして上下方向に回動可能に設けられる。
つまり、第一クランプ板２１は、第一回転シャフト２４を中心にして上下方向に回動することによって、ガラス基板Ｗの上端部に対して近接離間可能に設けられる。
なお、軸支部材２３のベース部２３Ａの前面には、例えば、弾性部材等からなるストッパー２６が突設されており、上方（即ち、離間方向）に回動した第一クランプ板２１は、支持部材２２を介して前記ストッパー２６と当接されることによって、上方（離間方向）への移動を規制されるようになっている。

第一回転シャフト２４は、支持部材２２および軸支部材２３を介して、第一クランプ板２１を、支持板１１と回動可能に連結するとともに、第一クランプ板２１の回動動作を行うための駆動力を該第一クランプ板２１に伝達するための部材である。
第一回転シャフト２４は、図１に示すように、第一クランプ板２１の長手方向の寸法に比べて、やや全長が長くなるように設定されている。

そして、第一回転シャフト２４は、第一クランプ板２１と平行、且つ該第一クランプ板２１に比べて僅かに右側に突出するように配設されるとともに、前述したように、支持部材２２の貫通孔２２ａ・２２ａ、および軸支部材２３の貫通孔２３ａに対して、同時に嵌挿される。

ここで、第一回転シャフト２４の右側端部には、第一かさ歯車２５が貫設されており、後述するように、該第一かさ歯車２５が、第二クランプ機構部３０（より具体的には、右側第二クランプ機構部３０Ｒ）に備えられる第二回転シャフト３４の第二かさ歯車３５と噛合することにより、右側第一クランプ機構部２０Ｒの動作が、常に右側第二クランプ機構部３０Ｒと同調する構成となっている。

このような右側第一クランプ機構部２０Ｒ（または、左側第一クランプ機構部２０Ｌ）の構成については、本実施形態に限定されるものではなく、例えば、図３に示すような、支持板１１上端部の右側半分の領域（または、左側半分の領域）の前面において、第一クランプ板２１を上下方向に回動可能な構成であれば、支持部材２２、軸支部材２３、および第一回転シャフト２４に関して、如何なる形状をもって構成することとしてもよい。

また、図１に示すように、本実施形態においては、右側第一クランプ機構部２０Ｒ、および左側第一クランプ機構部２０Ｌを各々設け、ガラス基板Ｗ上端部の右側半分の領域、および左側半分の領域を、それぞれ単独に前面より支持する構成としているが、これに限定されるものではない。
即ち、例えば、右側第一クランプ機構部２０Ｒ、および左側第一クランプ機構部２０Ｌにそれぞれ備えられる二本の第一クランプ板２１・２１および第一回転シャフト２４・２４を、それぞれ一体的に形成し、これらの右側第一クランプ機構部２０Ｒ、および左側第一クランプ機構部２０Ｌを一体的に構成することとしてもよい。

さらに、本実施形態においては、第一クランプ板２１の長手方向の寸法を、上側平板部材１２の長手方向の略半分程度の大きさになるように設定することとしているが、これに限定されるものではない。
即ち、第一クランプ板２１を、各々細切れされた複数の板状部材によって形成することとし、間隙を有しつつ上側平板部材１２の略半分の領域に沿って、断片的に配置することとしてもよい。

［第二クランプ機構部３０］
次に、第二クランプ機構部３０について説明する。
本実施形態における第二クランプ機構部３０・３０は、一台のガラス基板保持装置１に対して二基備えられ、支持板１１の右端部および左端部の前面において、上下方向に延出して各々配設される。
ここで、支持板１１の前面において、その右端部に配設される第二クランプ機構部３０（以下、適宜「右側第二クランプ機構部３０Ｒ」と記載する）と、その左端部に配設される第二クランプ機構部３０（以下、適宜「左側第二クランプ機構部３０Ｌ」と記載する）とは、互いに左右対称の関係にある同等の構成からなるため、以下の説明においては、主に右側第二クランプ機構部３０Ｒの構成について記載し、左側第二クランプ機構部３０Ｌの構成についての記載は省略する。

また、右側第二クランプ機構部３０Ｒの構成については、前述した右側第一クランプ機構部２０Ｒと略同等な構成を有する一方、該右側第一クランプ機構部２０Ｒに比べてより長く延出方向に延出される関係上、該右側第一クランプ機構部２０Ｒと相違する点を有する。
よって、以下の説明においては、主に右側第一クランプ機構部２０Ｒとの相異点について記載し、該右側第一クランプ機構部２０Ｒとの同等な構成についての記載は省略する。

右側第二クランプ機構部３０Ｒは、ガラス基板保持装置１によってガラス基板Ｗを保持する際に、ガラス基板Ｗの右端部を、前面より支持するための部位である。
換言すると、右側第二クランプ機構部３０Ｒは、右側平板部材１４とともに、ガラス基板Ｗの右端部を、挟持しつつ保持するための部位である。

右側第二クランプ機構部３０Ｒは、第二クランプ板３１、支持部材３２、軸支部材３３、および第二回転シャフト３４などにより構成される。
前記第二クランプ板（挟持板）３１は、ガラス基板Ｗの右端部を支持する際に、ガラス基板Ｗと直接当接される部材である。
第二クランプ板３１は、例えば熱可塑性樹脂などからなる断面視Ｌ字状の帯状部材によって構成される。

そして、第二クランプ板３１は、断面視矩形状の凹欠部（図示せず）が、左方、且つ右側平板部材１４と対向する側に位置するようにして配設される。
また、第二クランプ板３１の長手方向の寸法は、右側平板部材１４の長手方向の寸法と略同等の大きさになるように設定されており、第二クランプ板３１は、右側平板部材１４と対向しつつ、垂直方向に延出するように配設される。

支持部材３２は、後述する第二回転シャフト３４より第二クランプ板３１を支持するための部材である。
支持部材３２・３２・３２は、右側第二クランプ機構部３０Ｒに対して複数個（例えば、本実施形態においては三個）設けられ、本実施形態においては、第二クランプ板３１の延出方向の中央部および両端部に各々配設される。

そして、これら複数の支持部材３２・３２・３２において、第二回転シャフト３４が、第一ハウジング部３２Ａ・３２Ａ・・の貫通孔３２ａ・３２ａ・・・内に同時に嵌挿されるとともに、第二クランプ板３１が、舌片部３２Ｂ・３２Ｂ・３２Ｂの後面に、ボルト等を介して着脱可能に固設される。
こうして、第二クランプ板３１は、各支持部材３２によって、第二回転シャフト３４より堅固に支持されるのである。

軸支部材３３は、支持板１１より後述する第二回転シャフト３４を軸支するための部材である。
軸支部材３３・３３・３３は、右側第二クランプ機構部３０Ｒに対して複数個（例えば、本実施形態においては三個）設けられ、本実施形態においては、支持板１１前面の右端部において上下方向に並設される。
具体的には、支持板１１の前面の右端部において、各軸支部材３３は、支持部材３２の右側近傍に配設される。また、この際、軸支部材３３の第二ハウジング部３３Ｂは、支持部材３２の第一ハウジング部３２Ａ・３２Ａの間隙に位置するとともに、第二ハウジング部３３Ｂの貫通孔３３ａと第一ハウジング部３２Ａ・３２Ａの貫通孔３２ａ・３２ａとが、互いに同軸上となるように配置される。

そして、これら複数の軸支部材３３・３３・３３において、第二回転シャフト３４が、図示せぬ軸受部材（例えば、ベアリングやブッシングなど）を介して、複数の貫通孔３３ａ・３３ａ・３３ａ内に同時に嵌挿される。また、この際、前述したように、第二回転シャフト３４は、複数の支持部材３２・３２・３２の貫通孔３２ａ・３２ａ・・・内にも、同時に嵌挿される。
さらに、各軸支部材３３は、ベース部３３Ａの後面を介して、支持板１１にボルト等を介して着脱可能に固設される。

こうして、第二回転シャフト３４は、軸支部材３３によって、支持板１１に対して回動可能に軸支される。また、前述したように、第二クランプ板３１は、支持部材３２を介して、第二回転シャフト３４に堅固に支持される。
よって、第二クランプ板３１は、支持板１１前面の右端部において、第二回転シャフト３４の軸心を中心にして左右方向に回動可能に設けられる。
つまり、第二クランプ板３１は、第二回転シャフト３４を中心にして左右方向に回動することによって、ガラス基板Ｗの側端部に対して近接離間可能に設けられる。
なお、軸支部材３３のベース部３３Ａの前面には、例えば、弾性部材等からなるストッパー３７が突設されており、左方（即ち、離間方向）に回動した第二クランプ板３１は、支持部材３２を介して前記ストッパー３７と当接されることによって、左方（離間方向）への移動を規制されるようになっている。

第二回転シャフト３４は、支持部材３２および軸支部材３３を介して、第二クランプ板３１を、支持板１１と回動可能に連結するとともに、第二クランプ板３１の回動動作を行うための駆動力を該第二クランプ板３１に伝達するための部材である。
第二回転シャフト３４は、第二クランプ板３１の長手方向の寸法に比べて、やや全長が長くなるように設定されている。

そして、第二回転シャフト３４は、第二クランプ板３１と平行、且つ該第二クランプ板３１に比べて僅かに上側に突出するように配設されるとともに、前述したように、支持部材３２の貫通孔３２ａ・３２ａ、および軸支部材３３の貫通孔３３ａに対して、同時に嵌挿される。

ここで、第二回転シャフト３４の上端部には、第二かさ歯車３５が貫設されており、該第二かさ歯車３５は、前述した右側第一かさ歯車２５と噛合されている。
また、例えば、第二回転シャフト３４の中央部には、ピニオンギヤ３６が貫設されている。

そして、本実施形態におけるガラス基板保持装置１においては、例えば、外部に設置された図示せぬ可動装置に備えられるラックギヤによって前記ピニオンギヤ３６が回転されることにより、第二回転シャフト３４を介して第二クランプ板３１が左右方向に回動される。
また、ピニオンギヤ３６を介して、第二回転シャフト３４に伝達された回転駆動力は、その後、第二かさ歯車３５、第一かさ歯車２５、第一回転シャフト２４と順に伝達され、第二クランプ板３１の回動動作に同調しつつ、第一クランプ板２１が上下方向に回動される。
つまり、第一クランプ機構部２０および第二クランプ機構部３０において、各々の第一クランプ板（挟持板）２１および第二クランプ板（挟持板）３１は、ガラス基板Ｗの前面（他方の平面）の上端部および左右端部に対して、互いに同調して近接離間するように設けられる。
これにより、ガラス基板保持装置１へのガラス基板Ｗの搭載作業、および成膜処理後におけるガラス基板保持装置１からのガラス基板Ｗの離脱作業を短時間で行うことができる。

このような右側第二クランプ機構部３０Ｒ（または、左側第二クランプ機構部３０Ｌ）の構成については、本実施形態に限定されるものではなく、例えば、支持板１１の右端部（または、左端部）の前面において、第二クランプ板３１を左右方向に回動可能な構成であれば、支持部材３２、軸支部材３３、および第二回転シャフト３４に関して、如何なる形状をもって構成することとしてもよい。

また、本実施形態においては、第二クランプ板３１の長手方向の寸法を、右側平板部材１４（または、左側平板部材１５）の長手方向と略同程度の大きさになるように設定することとしているが、これに限定されるものではない。
即ち、第二クランプ板３１を、各々細切れされた複数の板状部材によって形成することとし、間隙を有しつつ右側平板部材１４（または、左側平板部材１５）の延出方向に沿って、断片的に配置することとしてもよい。

以上のように、本実施形態におけるガラス基板保持装置１においては、保持部１０の支持板１１に立て掛けることによって、ガラス基板Ｗを後面より保持するだけでなく、第一クランプ機構部２０および第二クランプ機構部３０によって、ガラス基板Ｗの上端部、右端部、および左端部を、さらに前面より挟持するように保持することとしている。
換言すると、ガラス基板Ｗを保持する際のガラス基板保持装置１において、ガラス基板Ｗの周囲には第一クランプ機構部２０および第二クランプ機構部３０が各々配置され、これらの第一クランプ機構部２０および第二クランプ機構部３０は、ガラス基板Ｗに近接離間可能に設けられるとともに、ガラス基板Ｗの前面（他方の平面）において、その上端部および左右端部に当接しつつ、保持部１０の支持板１１（より具体的には、上側平板部材１２、右側平板部材１４、および左側平板部材１５）とともにガラス基板Ｗを挟持する第一クランプ板（挟持板）２１および第二クランプ板（挟持板）３１を備える構成となっている。
なお、これらの第一クランプ機構部２０および第二クランプ機構部３０は、一台のガラス基板保持装置１に対して、少なくとも何れか一方のみが設けられる構成としてもよく、この場合、第一クランプ機構部２０（または第二クランプ機構部３０）が、ガラス基板Ｗに近接離間可能に設けられるとともに、ガラス基板Ｗの前面（他方の平面）において、少なくとも、その周縁部の一部に当接しつつ、保持部１０の支持板１１（より具体的には、上側平板部材１２、右側平板部材１４、および左側平板部材１５）とともにガラス基板Ｗを挟持する第一クランプ板（挟持板）２１（または、第二クランプ板（挟持板）３１）を備える構成を有することとなる。

このような構成を有することで、例えば成膜工程において、保持部１０のみによって保持されたガラス基板Ｗに対して成膜処理が施されると、成膜時の熱によりガラス基板Ｗが変形し、均一な膜特性を得ることが困難となる場合があるが、本実施形態においては、第一クランプ機構部２０および第二クランプ機構部３０によって、ガラス基板Ｗの上端部、右端部、および左端部を堅固に保持しているため、変形を生じさせることもなく、均一な膜特性を得ることができるのである。

［ガラス基板保持装置１０１（別実施形態）］
次に、図４乃至図８を用いて、別実施形態におけるガラス基板保持装置１０１の構成について説明する。
なお、以下の説明に関しては便宜上、図４乃至図８の上下方向をガラス基板保持装置１０１の上下方向と規定して記述する。
また、図５乃至図８においては、矢印Ａの方向を前方と規定して記述する。

別実施形態におけるガラス基板保持装置１０１は、前述したガラス基板保持装置１と略同等な構成を有する一方、第二クランプ機構部１３０の近傍に動力伝達機構部１４０が備えられる点について、前記ガラス基板保持装置１と相違する。
よって、以下の説明においては、主に前述したガラス基板保持装置１との相違点について記載し、当該ガラス基板保持装置１との同等な構成についての記載は省略する。
また、動力伝達機構部１４０・１４０は、ガラス基板保持装置１０１の左右両側に位置する右側第二クランプ機構部１３０Ｒおよび左側第二クランプ機構部１３０Ｌに対して、各々備えられるところ、右側の領域に配設される動力伝達機構部１４０（以下、適宜「右側動力機構部１４０Ｒ」と記載する）と、左側の領域に配設される動力伝達機構部１４０（以下、適宜「左側動力機構部１４０Ｌ」と記載する）とは、互いに左右対称の関係にある同等の構成からなるため、以下の説明においては、主に右側の右側動力伝達機構部１４０Ｒの構成について記載し、左側動力伝達機構部１４０Ｌの構成についての記載は省略する。

右側動力伝達機構部１４０Ｒは、ガラス基板保持装置１０１の外部より与えられる動力を、右側第二クランプ機構部１３０Ｒに伝達するための部位である。
右側動力伝達機構部１４０Ｒは、図４に示すように、右側第二クランプ機構部１３０Ｒの上下方向の略中央部に設けられ、主に、メインシャフト１４１およびスライドシャフト１４２などにより構成される。

メインシャフト１４１は、右側第二クランプ機構部１３０Ｒの第二回転シャフト１３４に対して、直交方向、且つガラス基板保持装置１０１の外部方向（例えば、本実施形態においては右方向）に延出して配設され、一対の第一軸受部材１４３・１４３等を介して、支持板１１１により回動可能に支持される。

メインシャフト１４１の一方側（第二回転シャフト１３４側）の端部には、かさ歯車１４４が貫設される。
また、第二回転シャフト１３４の中央部には、第二かさ歯車１３６が貫設されている。
そして、これらのかさ歯車１４４と第二かさ歯車１３６とは、互いに噛合されており、これにより、メインシャフト１４１が、第二回転シャフト１３４に対して、駆動力を伝達可能に連結される。

一方、メインシャフト１４１の他方側（第二回転シャフト１３４側との対向側）の端部にはピニオン部１４１ａが形成され、当該ピニオン部１４１ａが、後述するスライドシャフト１４２のラックギア部１４２ａと噛合される。

スライドシャフト１４２は、メインシャフト１４１の他方側の端部において、当該メインシャフト１４１に対して直交方向（例えば、本実施形態においては上下方向）に延出して配設され、一対の第二軸受部材１４５・１４５等を介して、支持板１１１により軸心方向（上下方向）へ摺動移動可能に支持される。

スライドシャフト１４２の軸心方向の中央部には、ラックギア部１４２ａが形成されており、前述したように、当該ラックギア部１４２ａはメインシャフト１４１のピニオン部１４１ａと噛合される。
これにより、スライドシャフト１４２は、メインシャフト１４１に対して、駆動力を伝達可能に連結される。

このような構成からなる右側動力伝達機構部１４０Ｒにおいて、例えば、ガラス基板保持装置１０１の外部に備えられる可動装置２０１によって動力が与えられ、スライドシャフト１４２が上下方向に摺動移動されると、当該スライドシャフト１４２の移動動作に伴い、メインシャフト１４１が軸心を中心にして回動され、当該メインシャフト１４１の回動動作に伴い、第二回転シャフト１３４が軸心を中心にして回動される。
その結果、第二回転シャフト１３４により、複数の支持部材１３２・１３２・１３２を介して支持される第二クランプ板１３１は、当該第二回転シャフト１３４を中心にして回動され、右側平板部材１１４に対して近接離間される。
換言すると、右側第二クランプ機構部１３０Ｒは、外部より与えられる動力を第二クランプ板（挟持板）１３１に伝達する動力伝達機構部（動力伝達手段）１４０を備え、第二クランプ板（挟持板）１３１は、動力伝達機構部（動力伝達手段）１４０を介して伝達された動力によって、第二クランプ板（挟持板）１３１自身と平行に設けられる第二回転シャフト１３４の軸心を中心にして回動されることにより、ガラス基板Ｗに対して近接離間される。

このように、右側動力伝達機構部１４０Ｒにおいては、スライドシャフト１４２の上下方向への移動、即ち可動装置２０１から付与される、ガラス基板Ｗを保持する保持部１１０における支持板１１１の板面と平行な方向への力を、第二クランプ板（挟持板）１３１と平行な軸心を有するメインシャフト１４１の回動動作に変換して第二クランプ板（挟持板）１３１を開閉するように構成されている。
従って、例えばスライドシャフト１４２を前後方向（支持板１１１の板面と直交する方向）に移動させることにより第二クランプ板（挟持板）１３１を開閉するように構成した場合に比べて、ガラス基板保持装置１の厚み方向（前後方向）の寸法を小さくすることができ、ガラス基板保持装置１をコンパクトに構成することが可能となる。

なお、右側第二クランプ機構部１３０Ｒの第二回転シャフト１３４が回動されると、これに同調して、右側第一クランプ機構部１２０Ｒの第一回転シャフト１２４も回動されることは言うまでもない。

ところで、前述した可動装置２０１は、例えば、図５（ｂ）に示すように、動力伝達機構部１４０の前方に配設され、動力伝達機構部１４０に直接動力を与える第一可動部２１０や、第一可動部２１０を動力伝達機構部１４０に対して近接離間させる第二可動部２２０などにより構成される。

第一可動部２１０は、既知のエアシリンダー等からなる一対の第一アクチュエーター２１１・２１１、および、これらの第一アクチュエーター２１１・２１１を支持する支持部材２１２などにより構成される。
また、第二可動部２２０は、既知のガイド付きエアシリンダー等からなる第二アクチュエーター２２１により構成される。

第一可動部２１０において、一対の第一アクチュエーター２１１・２１１は、互いに上下方向に対向して配設される。
この際、各第一アクチュエーター２１１の伸縮ロッド２１１ａは、対向方向に向かって伸縮可能となっている。

一方、第二可動部２２０は、第二アクチュエーター２２１の伸縮ロッド２２１ａが、前後方向（動力伝達機構部１４０に対して近接離間する方向）に伸縮可能に配設されるとともに、当該伸縮ロッド２２１ａの後端部には、第一可動部２１０の支持部材が固設される。

そして、第二可動部２２０によって、第一可動部２１０が後方へと移動され、当該第一可動部２１０が動力伝達機構部１４０に近接した状態において、一対の第一アクチュエーター２１１・２１１は、動力伝達機構部１４０のスライドシャフト１４２を間に挟んで、当該スライドシャフト１４２と同軸上に配設される。
このような状態において、これらの第一アクチュエーター２１１・２１１の伸縮ロッド２１１ａ・２１１ａが各々伸長することにより、スライドシャフト１４２は押圧されて上下方向に摺動移動される。例えば、上方の第一アクチュエーター２１１における伸縮ロッド２１１ａが下方へ向けて伸張すると、スライドシャフト１４２は下方へ移動し、下方の第一アクチュエーター２１１における伸縮ロッド２１１ａが上方へ向けて伸張すると、スライドシャフト１４２は上方へ移動する。
このように、動力伝達機構部１４０のスライドシャフト１４２を可動装置２０１により駆動して、第二クランプ板（挟持板）１３１を開閉するように構成することで、第二クランプ板（挟持板）１３１の開閉動作（近接離間動作）を容易に自動化することが可能となっている。

なお、可動装置２０１の構成については、本実施形態に限定されるものではなく、スライドシャフト１４２を上下方向に摺動移動させるための動力を、ガラス基板保持装置１０１の外部より与えることが可能な構造であれば、何れのような構成であってもよい。

以上のような動力伝達機構部１４０を備えるガラス基板保持装置１０１において、例えば、ガラス基板Ｗの搭載作業を行う際は、以下の手順に従って実施される。
なお、ガラス基板Ｗの離脱作業を行う際も、同様の手順となる。

先ず始めに、図５（ａ）に示すように、ガラス基板Ｗが未搭載のガラス基板保持装置１０１において、スライドシャフト１４２は所定の上限位置に停止し、且つ第二クランプ板１３１は右側平板部材１１４（図４を参照）と最も近接した状態（即ち、僅かな間隙を有して互いに対向した状態）となっている。
このような状態（以下、「閉状態」と記載する）にあるガラス基板保持装置１０１を、例えば生産ライン上のガラス基板搭載工程に搬入し、その後、所定の停止位置にて停止させる。

ここで、図５（ｂ）に示すように、ガラス基板搭載工程において、停止した状態のガラス基板保持装置１０１の各々（図５（ｂ）は側面図であるため一個のみ記載）の動力伝達機構部１４０・１４０の前方には、可動装置２０１・２０１が配設される。
この際、各可動装置２０１において、一対の第一アクチュエーター２１１・２１１は、伸縮ロッド２１１ａ・２１１ａが、ともに最も縮んだ状態（以下、「退避状態」と記載する）となっている。また、第二アクチュエーター２２１は、伸縮ロッド２２１ａが最も前方に移動した状態（以下、「離間状態」と記載する）となっており、動力伝達機構部１４０に対して、第一可動部２１０が離間された状態となっている。

ガラス基板保持装置１０１が前記所定の位置にて停止した後、図６（ｂ）に示すように、第二アクチュエーター２２１の伸縮ロッド２２１ａが、最も後方に移動して、動力伝達機構部１４０に対して、第一可動部２１０が近接された状態となる（以下、「近接状態」と記載する）。
これにより、図６（ａ）に示すように、一対の第一アクチュエーター２１１・２１１は、動力伝達機構部１４０のスライドシャフト１４２を間に挟んで、当該スライドシャフト１４２と同軸上に配設された状態となる。

可動装置２０１において、第二アクチュエーター２２１が近接状態となると、図７（ｂ）に示すように、上側に位置する第一アクチュエーター２１１（以下、「上側第一アクチュエーター２１１Ｕ」と記載する）の伸縮ロッド２１１ａが、下方に向かって伸長される。
これにより、スライドシャフト１４２は、伸縮ロッド２１１ａの端部に押圧され、下方に向かって摺動移動される。

その結果、図７（ａ）に示すように、動力伝達機構部１４０において、メインシャフト１４１は、軸心方向、且つ右方から見て時計回り方向（図７（ａ）中における矢印Ｂ１の方向）に回動され、これに伴い、第二回転シャフト１３４が、軸心方向、且つ上方から見て時計回り方向（図７（ａ）中における矢印Ｃ１の方向）に回動される。
これにより、第二クランプ板１３１は、第二回転シャフト１３４を中心にして、後方に向かって回動され、右側平板部材１１４と最も離間した状態（以下、「開状態」と記載する）となる。

なお、第二クランプ板１３１が開状態となるのに同調して、第一クランプ板１２１（図４を参照）も開状態となるのは言うまでもない。

第二クランプ板１３１が開状態となると、上側第一アクチュエーター２１１Ｕの伸縮ロッド２１１ａは、再び退避状態に戻る。
そして、第二クランプ板１３１が開状態にあるガラス基板保持装置１０１に対して、ガラス基板Ｗが搭載される。

ガラス基板保持装置１０１にガラス基板Ｗが搭載されると、図８（ｂ）に示すように、下側に位置する第一アクチュエーター２１１（以下、「下側第一アクチュエーター２１１Ｌ」と記載する）の伸縮ロッド２１１ａが、上方に向かって伸長される。
これにより、スライドシャフト１４２は、伸縮ロッド２１１ａの端部に押圧され、上方に向かって摺動移動される。

その結果、図８（ａ）に示すように、動力伝達機構部１４０において、メインシャフト１４１は、軸心方向、且つ右方から見て反時計回り方向（図８（ａ）中における矢印Ｂ２の方向）に回動され、これに伴い、第二回転シャフト１３４が、軸心方向、且つ上方から見て反時計回り方向（図８（ａ）中における矢印Ｃ２の方向）に回動される。
これにより、第二クランプ板１３１は、第二回転シャフト１３４を中心にして、前方に向かって回動され、閉状態となる。

なお、第二クランプ板１３１が閉状態となるのに同調して、第一クランプ板１２１も閉状態となるのは言うまでもない。

こうして、ガラス基板保持装置１０１に搭載されたガラス基板Ｗは、第一クランプ機構部１２０および第二クランプ機構部１３０によって、その上端部および左右端部を挟持されることにより堅固に保持される。

第二クランプ板１３１が閉状態となると、下側第一アクチュエーター２１１Ｌの伸縮ロッド２１１ａは、再び退避状態に戻る。
その後、第二アクチュエーター２２１の伸縮ロッド２２１ａが最も前方に移動した状態となって第一可動部２１０が動力伝達機構部１４０から離間し、ガラス基板Ｗが搭載されたガラス基板保持装置１０１がガラス基板搭載工程より搬出される。

なお、ガラス基板離脱工程において、ガラス基板Ｗをガラス基板保持装置１０１から取り出す際にも、同様にして、第一可動部２１０からの駆動力を、動力伝達機構部１４０を介して第二クランプ機構部１３０に伝達し、第二クランプ板１３１を開閉することが可能である。

１ ガラス基板保持装置
１０ 保持部
１１ 支持板
１２ 上側平板部材
１３ 下側平板部材
１４ 右側平板部材
１５ 左側平板部材
２０ 第一クランプ機構部
２０Ｌ 左側第一クランプ機構部
２０Ｒ 右側第一クランプ機構部
３０ 第二クランプ機構部
３０Ｌ 左側第二クランプ機構部
３０Ｒ 右側第二クランプ機構部
２１ 第一クランプ板（挟持板）
３１ 第二クランプ板（挟持板）
１２１ 第一クランプ板（挟持板）
１３０Ｒ 右側第二クランプ機構部
１３０Ｌ 左側第二クランプ機構部
１３１ 第二クランプ板（挟持板）
１４０Ｒ 右側動力伝達機構部（動力伝達手段）
１４０Ｌ 左側動力伝達機構部（動力伝達手段）
Ｇ 間隙
Ｗ ガラス基板

Claims (8)

1. 一方の平面に対して成膜が施される矩形板状のガラス基板を、前記一方の平面側に傾倒させた姿勢に保持するガラス基板保持装置であって、
   前記ガラス基板の前記一方の平面において、
   少なくとも、その上下端部および左右端部の一部を支持する保持部を備える、
   ことを特徴とするガラス基板保持装置。
2. 前記保持部は、
   前記ガラス基板の前記一方の平面において、
   その上下端部および左右端部の全ての領域に当接しつつ、前記ガラス基板を支持する、
   ことを特徴とする、請求項１に記載のガラス基板保持装置。
3. 前記ガラス基板の周囲にはクランプ機構部が配置され、
   該クランプ機構部は、
   前記ガラス基板に近接離間可能に設けられるとともに、
   前記ガラス基板の他方の平面において、
   少なくとも、その周縁部の一部に当接しつつ、前記保持部とともに前記ガラス基板を挟持する挟持板を備える、
   ことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載のガラス基板保持装置。
4. 前記クランプ機構部において、
   前記挟持板は、
   前記ガラス基板の前記他方の平面において、
   その上端部および左右端部に当接しつつ、前記保持部とともに前記ガラス基板を挟持する、
   ことを特徴とする、請求項３に記載のガラス基板保持装置。
5. 前記クランプ機構部において、
   前記複数の挟持板は、
   前記ガラス基板の前記他方の平面の上端部および左右端部に対して、
   互いに同調して近接離間するように設けられる、
   ことを特徴とする、請求項４に記載のガラス基板保持装置。
6. 前記クランプ機構部において、
   前記保持部とともに、前記挟持板によって前記ガラス基板を挟持する際、
   前記保持部と前記挟持板との間には、
   前記ガラス基板の厚み寸法に比べて大きな間隙寸法からなる間隙を形成する、
   ことを特徴とする、請求項３〜請求項５の何れか一項に記載のガラス基板保持装置。
7. 前記クランプ機構部は、
   外部より与えられる動力を前記挟持板に伝達する動力伝達手段を備え、
   前記挟持板は、
   該動力伝達手段を介して伝達された前記動力によって、
   前記挟持板自身と平行に設けられる軸心を中心にして回動されることにより、
   前記ガラス基板に対して近接離間される、
   ことを特徴とする、請求項３〜請求項６の何れか一項に記載のガラス基板保持装置。
8. 前記動力伝達手段は、
   前記保持部の板面に平行な方向の力を、前記挟持板を、前記挟持板と平行な軸心を中心として回動させる力に変換可能である、
   ことを特徴とする、請求項７に記載のガラス基板保持装置。
   

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