KR101621714B1 - 판유리 흔들림 방지 장치 - Google Patents

판유리 흔들림 방지 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 판유리 흔들림 방지 장치에 관한 것으로서 더욱 상세하게는 수직으로 세워져 이송되는 판유리가 고속으로 이송되는 도중에 하부 흔들림에 의해 파손되는 현상을 방지할 수 있는 판유리 흔들림 방지 장치에 관한 것이다.
이를 위해, 본 발명은, 판유리의 하단을 가이드하는 가이드 부재; 상단에 장착되는 상기 가이드 부재를 지지하는 제1 서포트 유닛; 상기 제1 서포트 유닛과 연결되어, 상기 제1 서포트 유닛의 직선 왕복 운동을 지지하는 제2 서포트 유닛; 및 상기 제2 서포트 유닛이 길이 방향을 따라 설치되어 있고, 상기 판유리의 이송 라인을 따라 배치되어 있는 리니어 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 판유리 흔들림 방지 장치를 제공한다.

Description

판유리 흔들림 방지 장치{APPARATUS OF PREVENTING WOBBLE FOR FLAT GLASS}
본 발명은 판유리 흔들림 방지 장치에 관한 것으로서 더욱 상세하게는 수직으로 세워져 이송되는 판유리가 고속으로 이송되는 도중에 하부 흔들림에 의해 파손되는 현상을 방지할 수 있는 판유리 흔들림 방지 장치에 관한 것이다.
정보 통신 분야의 급속한 발전과 더불어 다량의 정보를 수신자에게 정확하고 효과적으로 전달하기 위한 전달 매체로써의 디스플레이 산업이 매우 중요하게 인식되고 있다. 디스플레이 산업은 가벼우면서 고화질의 영상을 구현하는 방향으로 계속하여 연구, 개발되어 왔으며, 현재의 디스플레이 산업은 LCD(liquid crystal display), PDP(plasma display panel), 유기 EL(electro-luminescence)과 같은 평판 디스플레이(flat panel display; FPD) 산업이 급성장을 이루며, 앞으로도 더욱 많은 수요가 예상된다.
일반적으로, 이러한 평판 디스플레이 패널의 커버기판으로는 판유리가 사용된다. 이에 따라, 판유리는 컨베이어와 같은 자동화된 이송장치의 캐리어에 로딩되어, 공정 라인 사이로 이송된다. 이때, 판유리가 대형인 경우, 판유리를 수평으로 눕힌 상태로 이송하게 되면, 판유리의 자중에 의해 판유리가 휘어지게 된다. 따라서, 종래에는 판유리의 상단을 캐리어에 세워진 상태로 로딩시킨다. 이때, 판유리의 하단은 판유리의 이송 라인을 따라 설치되어 있는 가이드(guide)에 의해 지지된다.
그러나 종래에는 이러한 가이드가 이송 라인 상에 고정된 형태로 형성되어 있어, 캐리어에 상단이 로딩되어 이송되는 판유리가 가이드 내부로 진입 시 공간 확보 때문에, 판유리와 가이드 간의 유격이 넓게 설정된다. 이로 인해, 판유리를 고속으로 이송시키는 경우에는 판유리가 흔들리게 되고, 이와 같이 흔들거리는 판유리는 가이드 내벽과 충돌하게 되어, 결국, 판유리가 깨지는 문제가 빈번히 발생되었다. 또한, 종래에는 고정 타입의 가이드가 사용되었는데, 이와 같이 고정 타입의 가이드를 사용할 경우에는 이송 라인 전 구간에 가이드를 설치해야만 하는 문제가 있었다.
대한민국 등록특허공보 제10-1318173호(2013.10.08.)
본 발명은 상술한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 수직으로 세워져 이송되는 판유리가 고속으로 이송되는 도중에 하부 흔들림에 의해 파손되는 현상을 방지할 수 있는 판유리 흔들림 방지 장치를 제공하는 것이다.
이를 위해, 본 발명은, 판유리의 하단을 가이드하는 가이드 부재; 상단에 장착되는 상기 가이드 부재를 지지하는 제1 서포트 유닛; 상기 제1 서포트 유닛과 연결되어, 상기 제1 서포트 유닛의 직선 왕복 운동을 지지하는 제2 서포트 유닛; 및 상기 제2 서포트 유닛이 길이 방향을 따라 설치되어 있고, 상기 판유리의 이송 라인을 따라 배치되어 있는 리니어 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 판유리 흔들림 방지 장치를 제공한다.
여기서, 상기 가이드 부재는 서로 대향되게 마주하는 제1 가이드 편 및 제2 가이드 편으로 이루어지되, 상기 제1 가이드 편 및 상기 제2 가이드 편은 각각 회전 가능하게 형성되어, 서로 마주하는 거리에 대한 조절이 자유로울 수 있다.
또한, 상기 가이드 부재는 상기 판유리의 두께 방향 하단 양측면에 접촉 또는 비접촉될 수 있다.
그리고 상기 제1 서포트 유닛은, 상기 가이드 부재를 고정하는 개폐형 에어척, 및 상기 가이드 부재를 동작시키는 로터리 액추에이터를 포함할 수 있다.
아울러, 상기 판유리 흔들림 방지 장치는 상기 제1 서포트 유닛 및 상기 제2 서포트 유닛을 동작시키는 구동부를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 수직으로 세워져 이송되는 판유리의 두께 방향 양측을 가이드하는 가이드 부재와 판유리 사이의 유격을 최소화함으로써, 이송 도중 판유리의 흔들림을 최소화할 수 있고, 이를 통해, 판유리의 이송 속도를 증대시킬 수 있음은 물론, 판유리가 고속으로 이송되는 도중에도 판유리의 하부 흔들림에 의한 충돌을 방지할 수 있어, 결국, 판유리가 이송 도중 파손되는 현상을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 이송되는 판유리를 따라가며 판유리를 가이드할 수 있도록 가이드 부재를 이동 가능하게 형성함으로써, 종래 이송 라인 전 구간에 설치되었던 고정 타입의 가이드에 비해 설치 공간에 제약을 받지 않을 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 판유리 흔들림 방지 장치를 나타낸 사시도.
도 2는 도 1의 평면도.
도 3은 도 1의 정면도.
도 4는 도 1의 측면도.
이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 판유리 흔들림 방지 장치에 대해 상세히 설명한다.
아울러, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단된 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
도 1 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 판유리 흔들림 방지 장치(100)는, 상단이 이송장치의 캐리어에 로딩된 채, 수직으로 세워진 상태로 이송 라인 혹은 공정 라인을 따라 이송되는 대형 판유리의 하단을 가이드하여, 이송 도중 판유리가 흔들리는 것을 방지하여, 판유리 흔들림으로 인해 발생되는 판유리 파손을 방지할 수 있고, 아울러, 이를 통해, 판유리의 이송 속도를 향상시켜, 결국, 전체적인 판유리 처리 공정의 효율성을 향상시킬 수 있는 장치이다.
이러한 본 발명의 실시 예에 따른 판유리 흔들림 방지 장치(100)는 가이드 부재(110), 제1 서포트 유닛(120), 제2 서포트 유닛(130) 및 리니어 모듈(140)을 포함하여 형성된다.
가이드 부재(110)는 판유리의 하단을 가이드한다. 본 발명의 실시 예에서, 이러한 가이드 부재(110)는 서로 대향되게 마주하는 제1 가이드 편(111) 및 제2 가이드 편(112)으로 이루어진다. 이때, 제1 가이드 편(111)과 제2 가이드 편(112)은 각각 회전 가능하게 형성되는데, 이를 통해, 서로 마주하는 거리에 대한 조절이 자유롭게 된다. 예를 들어, 제1 가이드 편(111)과 제2 가이드 편(112)은 이의 동작을 제어하는 구동부(미도시)의 구동 방식에 따라, 판유리를 비접촉 방식으로 가이드하거나, 판유리의 두께 방향 하단 양측에 접촉되는 접촉 방식으로 판유리를 가이드할 수 있다. 이때, 판유리를 비접촉 방식으로 가이드하는 경우에도 제1 가이드 편(111)과 제2 가이드 편(112)의 회전 정도 혹은 회전 각도를 조절함으로써, 가이드 부재(110)과 판유리 사이의 유격을 최소화할 수 있다. 이와 같은 가이드 부재(110)를 통해, 이송 도중 판유리의 흔들림을 최소화할 수 있고, 이송 도중 판유리의 흔들림이 최소화되면, 판유리의 이송 속도를 증대시킬 수 있게 된다. 또한, 가이드 부재(110)를 통해, 이송 도중 판유리의 흔들림이 최소화되면, 판유리가 가이드 부재(110)에 충돌되는 것을 방지할 수 있고, 판유리가 가이드 부재(110)에 충돌되더라도 판유리에 가해지는 충격이 최소화되어, 결국, 판유리가 이송 도중 파손되는 현상을 방지할 수 있게 된다.
한편, 본 발명의 실시 예에 따른 가이드 부재(110)는 종래 이송 라인 전 구간에 설치되었던 가이드와 달리, 판유리의 하단 일측을 지지하는 소형 부재로 이루어지고, 대신, 이송되는 판유리를 따라가며 판유리를 가이드할 수 있도록, 이동 가능하게 형성된다. 이에 따라, 종래 이송 라인 전 구간에 설치되었던 고정 타입의 가이드에 비해 설치 공간에 제약을 받지 않는 장점이 있다.
본 발명의 실시 예에서, 이러한 가이드 부재(110)의 동작 및 이동은 제1 서포트 유닛(120), 제2 서포트 유닛(130)에 의해 구현되는데, 이에 대해서는 하기에서 보다 상세히 설명하기로 한다.
제1 서포트 유닛(120)은 상단에 장착되는 가이드 부재(110)를 지지하는 장치이다. 이를 위해, 제1 서포트 유닛(120)은 개폐형 에어척(121) 및 로터리 액추에어터(12)를 포함하여 형성될 수 있다.
여기서, 개폐형 에어척(121)은 가이드 부재(110)를 고정한다. 즉, 개폐형 에어척(121)은 초기에는 펼쳐져 있다가, 가이드 부재(110)를 고정해야 하는 경우, 회전을 통해 가이드 부재(110)의 양측을 클램핑하는 구조로 가이드 부재(110)를 고정한다. 또한, 개폐형 에어척(121)은 판유리 이송 완료 시 가이드 부재(110)에 대한 고정을 해제해야 하는 경우, 반대 방향으로 회전함으로써, 개방 구조를 이뤄, 가이드 부재(110)에 대한 고정을 해제한다.
또한, 로터리 액추에이터(122)는 개폐형 에어척(121)의 하측에 연결된다. 이러한 로터리 액추에어터(122)는 가이드 부재(110)를 동작시킨다. 즉, 로터리 액추에이터(122)는 펼쳐져 있는 상태의 제1 가이드 편(111) 및 제2 가이드 편(112)이 서로 마주하도록 회전시키고, 이를 통해, 판유리가 가이드 부재(110)에 의해 그 하단이 지지되는 구조를 이룬다. 또한, 로터리 액추에이터(122)는 구동부(미도시)의 동작 방식에 따라, 제1 가이드 편(111) 및 제2 가이드 편(112) 사이의 거리를 조절하기 위해, 제1 가이드 편(111) 및 제2 가이드 편(112)이 회전되는 정도를 제어한다. 그리고 판유리 이송이 완료되면, 로터리 액추에이터(122)는 제1 가이드 편(111) 및 제2 가이드 편(112)을 반대 방향으로 회전시켜, 가이드 부재(110)를 개방 구조로 만든다. 이렇게 되면, 이송 완료된 판유리가 가이드 부재(110)의 간섭으로부터 자유로워져 판유리 이송 장치로부터 판유리를 탈거하는 작업을 안전한 환경에서 진행할 수 있게 된다.
제2 서포트 유닛(130)은 가이드 부재(110)가 장착되어 있는 제1 서포트 유닛(120)과 연결된다. 이러한 제2 서포트 유닛(130)은 제1 서포트 유닛(120)의 직선 왕복 운동을 지지하는 역할을 한다. 즉, 도시한 바와 같이, 제2 서포트 유닛(130)은 제1 서포트 유닛(120)을 고정하는 고정부재들과, 이 고정부재들을 왕복 운동 가능하게 하는 벨트 조립체로 이루어질 수 있다.
즉, 제2 서포트 유닛(130)은 가이드 부재(110)에 판유리가 거치되고, 제1 서포트 유닛(120)에 의해, 가이드 부재(110)의 클램핑이 완료된 경우, 구동부(미도시)에 의해 작동되어, 제1 서포트 유닛(120) 및 가이드 부재(110)를 전방 또는 후방으로 이동시키는 역할을 한다. 이때, 제1 서포트 유닛(120) 및 가이드 부재(110)를 이동시키는 속도는 판유리를 이송하는 속도와 동일하게 제어될 수도 있고, 판유리를 이송하는 속도와 다르게 제어될 수도 있으므로, 본 발명의 실시 예에서, 제1 서포트 유닛(120) 및 가이드 부재(110)를 이동시키는 속도에 대해 특별히 한정하는 것은 아니다.
리니어 모듈(linear module)(140)은 가이드 부재(110) 및 제1 서포트 유닛(120)의 이동 방향을 가이드 하는 역할을 한다. 이에 따라, 리니어 모듈(140)은 판유리의 이송 라인을 따라 배치된다. 또한, 리니어 모듈(140)에는 가이드 부재(110) 및 제1 서포트 유닛(120)을 이동 가능하게 하는 제2 서포트 유닛(130)이 길이 방향을 따라 설치된다. 이와 같이, 리니어 모듈(140)은 제2 서포트 유닛(130)의 장착 공간을 제공하여, 가이드 부재(110) 및 제1 서포트 유닛(120)의 직선 왕복 운동이 원활하게 이루어지도록 보조하는 역할을 한다.
상기와 같은 구성으로 이루어지는 판유리 흔들림 방지 장치(100)는 하기와 같은 방식으로 동작된다.
먼저, 판유리가 이송장치에 의해 진입되면, 구동부(미도시)는 로터리 액추에이터(122)를 작동시켜, 펼쳐진 상태의 제1 가이드 편(111) 및 제2 가이드 편(112)을 서로 마주하도록 회전시켜, 판유리의 하단에 대한 가이드 가능 상태로 만들고, 이와 함께, 구동부(미도시)는 개폐형 에어척(121) 또한 회전시켜, 가이드 부재(110)를 고정하도록 만든다.
그 다음, 구동부(미도시)는 판유리의 이송 속도와 동일한 속도로 가이드 부재(110)가 판유리를 추종 가이드 하도록, 제2 서포트 유닛(130)을 동작시켜, 가이드 부재(110) 및 제1 서포트 유닛(120)을 판유리 이송 방향을 따라 이동시킨다.
그 다음, 판유리에 대한 이송이 완료되면, 구동부(미도시)는 가이드 부재(110)에 대한 고정을 해제하기 위해, 개폐형 에어척(121)을 반대 방향으로 회전시키고, 연이어, 로터리 액추에이터(122)를 동작시켜, 제1 가이드 편(111)과 제2 가이드 편(112) 또한 반대 방향으로 회전시켜, 펼쳐진 상태로 만든다.
끝으로, 구동부(미도시)는 제2 서포트 유닛(130)을 작동시켜, 가이드 부재(110) 및 제1 서포트 유닛(120)을 최초 위치로 이동시킨다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 판유리 흔들림 방지 장치(100)는 수직으로 세워져 이송되는 판유리의 두께 방향 양측을 가이드하는 가이드 부재(110)와 판유리 사이의 거리를 상황에 따라 자유롭게 조절, 예컨대, 가이드 부재(110)와 판유리 간의 유격을 최소화함으로써, 이송 도중 판유리의 흔들림을 최소화할 수 있고, 이를 통해, 판유리의 이송 속도를 증대시킬 수 있음은 물론, 판유리가 고속으로 이송되는 도중에도 판유리의 하부 흔들림에 의한 충돌을 방지할 수 있어, 결국, 판유리가 이송 도중 파손되는 현상을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시 예에 따른 판유리 흔들림 방지 장치(100)는 이송되는 판유리를 따라가며 판유리를 가이드할 수 있도록 가이드 부재(110)를 이동 가능하게 형성함으로써, 종래 이송 라인 전 구간에 설치되었던 고정 타입의 가이드에 비해 설치 공간에 제약을 받지 않을 수 있다.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시 예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
그러므로 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
100: 판유리 흔들림 방지 장치 110: 가이드 부재
111: 제1 가이드 편 112: 제2 가이드 편
120: 제1 서포트 유닛 121: 에어척
122: 로터리 액추에이터 130: 제2 서포트 유닛
140: 리니어 모듈

Claims (5)

  1. 상단이 이송장치의 캐리어에 로딩된 채, 수직으로 세워진 상태로 이송 라인 혹은 공정 라인을 따라 이송되는 판유리의 하단을 가이드하는 가이드 부재;
    상단에 장착되는 상기 가이드 부재를 지지하는 제1 서포트 유닛;
    상기 제1 서포트 유닛과 연결되어, 상기 제1 서포트 유닛의 직선 왕복 운동을 지지하는 제2 서포트 유닛; 및
    상기 제2 서포트 유닛이 길이 방향을 따라 설치되어 있고, 상기 판유리의 이송 라인을 따라 배치되어 있는 리니어 모듈;
    을 포함하고,
    상기 가이드 부재는 상기 판유리의 두께 방향 하단 양측면에 접촉 또는 비접촉되어, 상기 판유리 이송 시 상기 판유리의 하단을 접촉 방식 또는 비접촉 방식으로 가이드 하는 것을 특징으로 하는 판유리 흔들림 방지장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 가이드 부재는 서로 대향되게 마주하는 제1 가이드 편 및 제2 가이드 편으로 이루어지되, 상기 제1 가이드 편 및 상기 제2 가이드 편은 각각 회전 가능하게 형성되어, 서로 마주하는 거리에 대한 조절이 자유로운 것을 특징으로 하는 판유리 흔들림 방지 장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1 서포트 유닛은,
    상기 가이드 부재를 고정하는 개폐형 에어척, 및
    상기 가이드 부재를 동작시키는 로터리 액추에이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 판유리 흔들림 방지 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 서포트 유닛 및 상기 제2 서포트 유닛을 동작시키는 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 판유리 흔들림 방지 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013187389A (ja) 2012-03-08 2013-09-19 Nippon Electric Glass Co Ltd ガラス基板の搬送装置及び搬送方法

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