JP2018154851A - 基板保持装置 - Google Patents
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Abstract
Description
13 基板ホルダ
14 辺部
15 基板マスク
31 マスク部材
32 移動(回動)機構(クランク機構)
35 回転軸(クランク軸)
37 駆動機構
38 駆動源(直動シリンダ)
39 ラック
40 ピニオン
41 回転体(スプロケット)
42 無端条体(チェーン)
Claims (4)
- 基板が着脱自在に保持される基板ホルダと、前記基板ホルダに設けられ、前記基板の各辺部を被覆する枠状の基板マスクとを備え、
前記基板マスクは、基板の辺部を被覆する複数のマスク部材からなる分割構造をなし、前記基板ホルダと前記マスク部材との間に、基板の辺部に対してマスク部材を近接および離隔させる移動機構と、各マスク部材について前記移動機構を単一の駆動源で連動させる駆動機構とを設けたことを特徴とする基板保持装置。 - 前記移動機構は、回転軸の回転に基づいて前記マスク部材を近接離隔可能に移動させる回動機構である請求項1に記載の基板保持装置。
- 前記駆動機構は、前記移動機構の回転軸に同軸的に取り付けられた回転体と、各移動機構について前記回転体に纏い掛けられた無端条体とを備えている請求項1又は2に記載の基板保持装置。
- 前記駆動機構は、直動シリンダにより直動するラックと、前記ラックの直動により回転するピニオンとを備え、前記ピニオンは、前記移動機構の回転軸に同軸的に取り付けられている請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板保持装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11255011B1 (en) | 2020-09-17 | 2022-02-22 | United Semiconductor Japan Co., Ltd. | Mask structure for deposition device, deposition device, and operation method thereof |
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-
2017
- 2017-03-15 JP JP2017050018A patent/JP6909399B2/ja active Active
Patent Citations (6)
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