JP2001237306A - 基板ハンド、搬送装置、検査装置および平面基板収納装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウエハ搬送中のウエハ破損を防止することが
できる搬送装置の提供。 【解決手段】 搬送装置は、基板面が垂直となるように
ウエハＷを把持するハンド５と、ハンド５に把持された
ウエハＷの基板面がウエハ移動方向に対して平行となる
ように搬送する搬送ロボット４とから成り、ハンド５に
垂直保持されたウエハＷの表面を光軸Ｊが水平な対物レ
ンズ３ａを有する顕微鏡で観察する。その結果、ウエハ
Ｗが自重や搬送中の空気抵抗により撓むことが無く、ウ
エハ破損を防止することができる。さらに、ウエハＷが
ハンド５で保持された状態において観察を行うので、検
査工程におけるウエハ受け渡し回数の低減が図れ、ウエ
ハ受け渡し時におけるウエハ破損の発生を低減すること
ができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウエハや
ガラス基板等の平面基板を搬送する際に用いられる基板
ハンドや搬送装置、およびそれらを備える検査装置、さ
らには前記検査装置で用いられる平面基板収納装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造過程では、シリコンウエハ上
に形成された回路の検査が適宜行われている。例えば、
シリコンウエハ上に回路パターンが形成され、ウエハの
裏面研削がされた後に、顕微鏡装置等を用いてシリコン
ウエハの外観検査を行うことにより回路パターンの良否
評価を行うことがある。このような顕微鏡装置では、ウ
エハを顕微鏡観察するための顕微鏡観察ステージや目視
検査用のマクロ観察ステージが設けられている。これら
の観察ステージ上へのウエハの搬送には、顕微鏡装置に
備えられているウエハ用搬送装置が用いられる。

【０００３】ウエハ用搬送装置には真空を利用してウエ
ハを吸着する吸着ハンドが設けられており、ウエハカセ
ットに水平に収納されたウエハの裏面を吸着ハンドで吸
着し、ウエハを水平状態にして観察ステージまで搬送す
る。各観察ステージにも真空を利用した吸着装置が設け
られており、ウエハを吸着ハンドから観察ステージに受
け渡す際には、図１１（ａ）に示すようにウエハＷを観
察ステージ１００（マクロ観察用ステージ）の上方に搬
送した後、図１１（ｂ）のように吸着ハンド１０１を徐
々に降下させる。ウエハＷが観察ステージ１００に近接
したらならば吸着ハンド１０１の真空吸着を解除し、さ
らに、図１１（ｃ）に示すように吸着ハンド１０１を降
下させ、ウエハＷを観察ステージ１００の吸着装置に吸
着させて観察ステージ１００へ装着する。

【０００４】逆に、観察ステージ１００から吸着ハンド
１０１にウエハＷを受け渡す場合には、観察ステージ１
００に保持されているウエハＷの下方から吸着ハンド１
０１を上昇させ、吸着ハンド１０１がウエハＷの裏面に
近接したならば観察ステージ１００の吸着装置による吸
着を解除し、吸着ハンド１０１を上昇させて吸着ハンド
１０１にウエハＷを吸着保持させる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、裏面研削さ
れた後のウエハＷの厚さは０．２〜０．３(mm)程度とか
なり薄く、ときには０．１(mm)程度まで研削されること
がある。このようにウエハＷは非常に薄いため、吸着ハ
ンド１０１でウエハＷを水平に保持して搬送する際に、
ウエハＷが自重により撓んで破損することがあった。ウ
エハ径は年々大きくなる傾向にあり、近年のように３０
０(mm)近くにまでなると、撓みによる破損が発生しやす
くなる。特に、吸着ハンド１０１と観察ステージ１００
間のウエハ受け渡しの際には、受け渡し時のショックで
ウエハＷの破損が生じやすいという問題があった。

【０００６】また、ウエハ表面には回路パターンを保護
するための保護膜が形成されるが、この保護膜や上述し
た裏面研削に起因する「反り」がウエハＷに生じ、吸着
ハンド１０１や観察ステージ１００における真空吸着の
際に吸着保持ミスが生じやすく、ウエハ破損を招いてい
た。

【０００７】本発明の目的は、ウエハ搬送中のウエハ破
損を防止することができる基板ハンド、搬送装置および
それらを備えた検査装置、さらには前記検査装置等で使
用される平面基板収納装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】発明の実施の形態を示す
図１，図２および図７に対応付けて説明する。 （１）図２に対応付けて説明すると、請求項１の発明
は、平面基板Ｗの保持に使用される基板ハンド５に適用
され、平面基板Ｗの縁部をその表裏両面から挟むように
把持することにより上述の目的を達成する。 （２）図１および図７に対応付けて説明すると、請求項
２の発明は、平面基板Ｗを搬送する搬送装置に適用さ
れ、基板面が鉛直面内に延在するように平面基板Ｗを垂
直に保持する保持手段５と、保持手段５により保持され
た平面基板Ｗの基板面を移動方向に対して平行に維持し
つつ搬送する搬送手段４とを備えて上述の目的を達成す
る。 （３）請求項３の発明は、請求項２に記載の搬送装置に
おいて、請求項１に記載の基板ハンド５を保持手段とし
て用いたものである。 （４）請求項４の発明は、平面基板Ｗの外観を観察して
検査を行う検査装置に適用され、請求項２または請求項
３のいずれかに記載の搬送装置４，５と、対物光学系３
ａの光軸Ｊが水平となっていて、搬送装置４，５の保持
手段５により垂直に保持された平面基板Ｗを観察する顕
微鏡３とを備えて上述の目的を達成する。 （５）請求項５の発明による平面基板収納装置は、複数
の平面基板Ｗを垂直状態で収納する基板カセット２と、
平面基板Ｗの基板端面の一部に当接する当接部７ｇを有
する押し上げ治具７ａと、押し上げ治具７ａを基板カセ
ット２に収納された各平面基板Ｗの真下に位置決めする
位置決め装置７ｃと、押し上げ治具７ａを鉛直上下方向
に駆動して平面基板Ｗの一部を基板カセット２の上方に
突出させる駆動装置７ｂとを備えて上述の目的を達成す
る。

【０００９】なお、本発明の構成を説明する上記課題を
解決するための手段の項では、本発明を分かり易くする
ために発明の実施の形態の図を用いたが、これにより本
発明が発明の実施の形態に限定されるものではない。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、図１〜図１０を参照して本
発明の実施の形態を説明する。図１は本発明による検査
装置の一実施の形態を示す図であり、半導体チップが形
成されたシリコンウエハ等の観察に用いられる顕微鏡検
査装置１の概略構成を示す斜視図である。ウエハカセッ
ト２には検査用のウエハＷが複数収納されており、各ウ
エハＷは基板面が垂直面内に延在するように垂直に収納
されている。顕微鏡検査装置１にはウエハＷの外観を観
察するための顕微鏡３が備えられており、３ａは対物レ
ンズ、３ｂは接眼レンズである。対物レンズ３ａは光軸
Ｊが水平となるように設けられている。

【００１１】顕微鏡検査装置１には検査オペレータが検
査する際の操作スイッチ（不図示で）が設けられてお
り、それらの操作スイッチを操作して顕微鏡検査装置１
に設けられた搬送ロボット４を操作する。なお、上述し
た操作スイッチには、後述する顕微鏡観察用操作スイッ
チ、マクロ観察用操作スイッチ、ウエハ取出操作スイッ
チ、手動操作スイッチなどが設けられている。オペレー
タが顕微鏡観察用操作スイッチを操作すると、搬送ロボ
ット４は、ウエハカセット２に収納されたウエハＷの１
枚をアーム４ａの先端に取り付けられたハンド５を用い
て取り出し、そのウエハＷを顕微鏡３の対物レンズ３ａ
の光軸Ｊ上の所定位置に配置する。

【００１２】このとき、搬送ロボット４のアーム４ａが
二点鎖線Ｐ１で示す位置まで駆動されたならば、手動操
作によりアーム４ａを微小駆動させてウエハＷを図１に
示すように光軸Ｊ方向（Ｚ方向）および光軸Ｊに垂直な
Ｘ，Ｙ方向に移動し、ウエハＷの位置決めを行う。顕微
鏡観察では、ウエハＷに形成されたチップの中の特定部
分を観察し、色やパターン形状から良否を判定する。

【００１３】なお、ウエハＷの位置決めを行う際には、
顕微鏡３内に設けられたイメージローテーター（プリズ
ムが利用される）を用いて接眼レンズ３ｂで観察される
観察像を回転し、ウエハＷの光軸Ｊに関する回転補正を
手動で行う。また、ウエハＷのマクロ観察をする場合、
マクロ観察用操作スイッチ（不図示）を操作すると、搬
送ロボット４はアーム４ａを二点鎖線Ｐ２で示す位置に
駆動する。マクロ観察では、搬送されたウエハＷの表面
にマクロ照明６から出射される均一な平行光を斜めに照
射し、ウエハＷからの散乱光を観察してウエハＷ上の保
護膜の状態を評価する。

【００１４】このとき、手動操作によりアーム４ａを駆
動して、ハンド５に保持されたウエハＷをＲ１方向に回
転したり、Ｒ２方向に傾ける等して観察を行う。ウエハ
Ｗをハンド５で掴む際には、ウエハカセット２に収納さ
れたウエハＷをアシスト装置７で上方に押し上げて、ウ
エハＷをウエハカセット２の上方に突出させる。

【００１５】図２はハンド５を詳細に示す図であり、
（ａ）はウエハＷを正面から見た図、（ｂ）は（ａ）の
Ｂ矢視図、（ｃ）はハンド５に設けられたフィンガー５
ａを示す図である。ハンド５にはウエハＷを把持するた
めのフィンガー５ａが一対設けられており、一対のフィ
ンガー５ａはフィンガー駆動部５ｂに設けられたアクチ
ュエータ（不図示）により図２（ｂ）のように、実線位
置と二点鎖線位置との間で水平方向に駆動される。フィ
ンガー５ａを駆動するアクチュエータには、エアシリン
ダや、モータと送りネジを利用したものなどが用いられ
る。

【００１６】ハンド５はアーム４ａの先端部に設けられ
た回転部４ｂに取り付けられており、回転部４ｂは不図
示のアクチュエータによりアーム４ａに対してＲ１方向
に回転することができる。さらに回転部４ｂに固定され
たハンド５は、アーム４ａと回転部４ｂとの連結部に設
けられたアクチュエータ（不図示）により、回転部４ｂ
と一体にＲ２方向に駆動することができる。図２（ｃ）
はフィンガー５ａの一つを示したものであり、フィンガ
ー５ａに把持されるウエハＷの側から見た図である。フ
ィンガー５ａに形成されたＵ字形状の切り欠き５ｃの縁
部分には溝５ｄが形成されており、切り欠き５ｃの円弧
部分の曲率はウエハＷの縁の曲率とほぼ等しく形成され
ている。図２（ｂ）のように一対のフィンガー５ａを閉
じると、ウエハＷがフィンガー５ａの溝５ｄ内に把持さ
れる。

【００１７】図１のウエハカセット２に収納されたウエ
ハＷをハンド５で把持して取り出す際には、前述したよ
うにアシスト装置７によりウエハＷをウエハカセット２
の外側に押し出し、押し出されたウエハＷの縁部をフィ
ンガー５ａで把持する。図３（ａ）はアシスト装置７を
示す斜視図である。アシスト装置７にはウエハＷを押し
上げるためのアシストプレート７ａが設けられており、
アシストプレート７ａは垂直駆動部７ｂにより垂直方向
に上下駆動され、この垂直駆動部７ｂは水平駆動部７ｃ
により水平方向に駆動される。アシストプレート７ａの
上端面は円弧形状（ウエハＷの縁の曲率とほぼ等しい曲
率を有する）を成しており、図３（ｂ）の断面図に示す
ように上端面にはＶ字形状の溝７ｄが形成されている。
ウエハＷを上方に押し上げる際には、ウエハカセット２
に垂直収納されたウエハＷの端面下部が溝７ｄに填り込
んだ状態となる。

【００１８】図４および図５はウエハカセット２に収納
されたウエハＷをハンド５を用いて取り出す際の手順を
示した図であり、図４の（ａ）〜（ｃ）、図５の（ａ）
〜（ｃ）の順に取り出し動作が行われる。まず、ウエハ
取出操作用スイッチ（不図示）を操作すると、ハンド５
は検査すべきウエハＷ１の真上に移動される。その後、
フィンガー５ａが開かれるとともに、水平駆動装置７ｄ
を図示右方向に駆動して垂直駆動部７ｂに設けられたア
シストプレート７ａをウエハＷ１の真下まで移動させる
（図４（ａ））。次に、図４（ｂ）に示すように、垂直
駆動部７ｂによりアシストプレート７ａを上方に駆動し
てウエハＷ１を押し上げ、開いたフィンガー５ａの間に
ウエハＷ１を挿入する。

【００１９】ウエハＷ１が一対のフィンガー５ａの間に
挿入されたならば、図４（ｃ）のようにフィンガー５ａ
を閉じてウエハＷ１を把持する。次いで、図５（ａ）の
ようにアーム４ａを上方に駆動してハンド５に把持され
たウエハＷ１をウエハカセット２から完全に取り出す。
その後、マクロ観察または顕微鏡観察用操作スイッチが
操作されると、上述したようにウエハＷ１が所定の観察
位置に搬送される。このとき、アシストプレート７ａの
位置は、図５（ａ）のように上端位置に保持したままで
も良いし、下端位置（図４（ａ）参照）まで下げてしま
っても良い。なお、ウエハカセット２から観察位置まで
の搬送方法については後述する。ウエハＷ１の観察が終
了し、ウエハＷ１をウエハカセット２へ戻す操作スイッ
チが操作されると、ハンド５に把持されたウエハＷ１は
ウエハカセット２の所定位置（図５（ａ）に示す位置）
まで搬送され、ハンド５を降下させる。

【００２０】ウエハＷ１の一部がウエハカセット２内に
収納されてアシストプレート７ａの溝７ｄ（図３参照）
上にウエハＷ１が載置されたならば、フィンガー５ａを
開いた後にアシストプレート７ａを降下させて、ウエハ
Ｗ１をウエハカセット２内に完全に収納する。その後、
隣のウエハＷ２の真上にハンド５を移動させるととも
に、水平駆動装置７ｃを駆動してアシストプレート７ａ
をウエハＷ２の真下まで移動させ、ウエハＷ２の取り出
し・搬送・観察が同様に行われる。

【００２１】次に、搬送方法について説明する。図６，
７は搬送方法を説明する図であり、図６は検査装置の側
面図、図７は平面図である。図６の二点鎖線で示すよう
に、ウエハＷをハンド５で把持してウエハカセット２か
ら垂直に取り出したならば、搬送ロボット４の回転軸Ｊ
２の回りにアーム４ａを角度θ１だけ回転させてウエハ
Ｗをマクロ観察位置Ｐ２に搬送する（図７）。なお、ウ
エハＷの面が搬送方向からずれた状態にウエハカセット
２が装着される場合には、回転軸Ｊ２に関してアーム４
ａ全体を回転させる前に、搬送ロボット４の回転中心Ｊ
２とウエハＷの中心Ｏ（図２参照）とを結ぶ直線Ｊ３と
基板面とが直交するように、アーム４ａの先端に設けら
れた回転部４ｂを回転させる。すなわち、ウエハＷは中
心Ｏが回転中心Ｊ２を中心とする円弧を描くように搬送
され、その搬送中にはウエハＷの基板面は円弧の接線方
向（ウエハＷの移動方向）に延在するように保持され
る。

【００２２】アーム４ａをマクロ観察位置Ｐ２に移動し
たならば、ウエハＷ表面からの反射光Ｌが観察者のアイ
ポイントに入射するように、回転部４ｂ（図６参照）を
駆動してウエハＷを角度θ２だけ回転させる。マクロ観
察が終了したならば、ウエハＷを角度（−θ２）だけ回
転させて直線Ｊ３とウエハＷの基板面とを直交させ、ア
ーム４ａをさらに角度θ３だけ回転して顕微鏡観察位置
Ｐ１に移動させる。図７に示した場合には、さらにアー
ム４ａを駆動してウエハＷを図示右方向に微小駆動して
所定位置に位置決めする。図６はウエハＷが対物レンズ
３ａの光軸Ｊ上に位置決めされた様子を示したものであ
り、このとき、ウエハＷの基板面が光軸Ｊに対して傾い
ていたならば、アーム４ａの回転部４ｂを回転駆動して
基板面が光軸Ｊと直交するように手動補正する。顕微鏡
観察が終了したならば、アーム４ａを角度（−θ１−θ
３）だけ回転させた後に、ウエハカセット２の所定位置
にウエハＷを収納する。

【００２３】なお、上述した実施の形態では、マクロ観
察、顕微鏡観察の順にウエハＷの観察を行ったが、逆の
順で観察を行っても良いし、何れか一方の観察だけを行
うようにしても良い。

【００２４】図８はハンド５の変形例を示す図であり、
（ａ）はハンド５をウエハ正面から見た図であり、
（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ断面図である。ハンド５に設け
られた一対のフィンガー５ｆは図の左右方向に開閉動作
をするものであり、フィンガー５ｆを閉じるとウエハＷ
の基板端面にフィンガー５ｆの円弧部５ｇが当接し、基
板端面を挟むようにしてウエハＷを把持する。図８
（ｂ）に示すように、円弧部５ｇはＶ溝形状を有してお
り、ウエハＷはその端部がＶ溝に填り込むようにして把
持される。

【００２５】なお、ウエハＷを把持した際にウエハＷに
過剰な力が掛からないように、フィンガー５ｆの閉位置
が設定されている。例えば、ウエハ端面とＶ溝との間に
若干隙間ができるように設定し、フィンガー５ｆのウエ
ハ中心Ｏより下側の部分でウエハＷが落下しないように
把持するようにしても良い。

【００２６】図９，１０は図８に示すハンド５を用いて
ウエハＷをウエハカセット２から取り出して保持する動
作を示す図であり、図９の（ａ）〜（ｃ）および図１１
の（ａ）、（ｂ）の順で動作が行われる。まず、図９
（ａ）に示すようにフィンガー５ｆを開いた状態でハン
ド５ａをウエハＷの真上に降下させたならば、図９
（ｂ）のようにアシストプレート７ａを上方に移動させ
てウエハカセット２内のウエハＷを押し上げる。図９
（ｃ）はアシストプレート７ａが上端位置まで移動した
様子を示す図であり、ウエハＷはその基板中心Ｏがウエ
ハカセット２の上端より上方となる位置まで押し上げら
れる。次いで、図１０（ａ）のようにフィンガー５ｆを
閉じてウエハＷを把持した後に、ハンド５を垂直上方に
移動させてウエハＷをウエハカセット２から取り出すと
ともに、アシストプレート７ａを下方に移動させる。

【００２７】なお、図９（ａ），（ｂ）のようにウエハ
Ｗがウエハカセット２内にある場合には、ウエハＷの左
右両端部がウエハカセット２の内側面に形成された溝２
ａに填り込んでいて、ウエハＷは垂直状態に維持されて
いる。しかし、図９（ｃ）に示すように、ウエハＷがア
シストプレート７ａにより押し上げられてその一部がウ
エハカセット２から押し出された状態では、ウエハＷの
左右両端部が溝２ａから外れてしまうおそれがある。そ
こで、本実施の形態では、アシストプレート７ａの端部
をウエハＷの形状に合わせた円弧状に形成し、その端面
にＶ溝７ｇを形成してＶ溝７ｇ内にウエハＷが填り込む
ようにした。そのため、図９（ｃ）のような状態でも、
アシストプレート７ａによってウエハＷを垂直に保持す
ることができる。

【００２８】上述した本実施の形態では、次のような利
点を有している。 （１）図２に示すようにハンド５に設けられたフィンガ
ー５ａでウエハＷを表裏両面から挟んで把持したり、図
８のようにフィンガー５ｆでウエハ端面を挟むようにし
て把持しているので、ウエハＷに反り等が有った場合で
も、ウエハＷを確実に保持することができる。 （２）ウエハＷをウエハカセット２からの取り出して再
度収納するまでの一連の動作（搬送、観察）の間、ウエ
ハＷは常に垂直に保持されているため自重で撓むような
ことがなく、ウエハＷの破損を防止することができる。
また、搬送時にはウエハＷの基板面を移動方向に対して
平行に保つように移動させるので、空気抵抗によるウエ
ハＷの変形に起因する破損を防止することができる。ま
た、このようにウエハＷを搬送することにより搬送スピ
ードを従来より増加させることができ、検査プロセスの
効率アップを図ることができる。 （３）ハンド５にウエハＷを保持した状態で、マクロ観
察や顕微鏡観察を行うようにしているので、従来のよう
にハンド５と観察ステージとのウエハＷの受け渡しが不
要となるため受け渡し回数が減少し、受け渡し時のトラ
ブル（吸着保持エラー、受け渡しミスによるウエハＷの
破損など）を低減することができる。 （４）ウエハカセット２とハンド５との間でウエハＷを
垂直状態で受け渡しをする際に、アシストプレート７ａ
によりウエハＷの一部をウエハカセット２の上方に押し
出すようにしているため、ハンド５によるウエハＷの保
持および観察後のウエハＷのウエハカセット２への収納
を確実に行うことができる。

【００２９】なお、本実施の形態において、ウエハＷの
「垂直」状態とは、厳密に垂直ということではなく、平
面基板であるウエハＷが自重で撓むことによる問題が回
避できる程度に「ほぼ垂直」であれば良いことを意味し
ている。同様に、「平行」についても、ウエハＷの移動
中の空気抵抗による問題が回避できる程度に「ほぼ並
行」であれば良い。

【００３０】上述した実施の形態では、シリコンウエハ
Ｗを顕微鏡で観察する装置を例に説明したが、これ以外
の装置に用いられる搬送装置や基板ハンドにも本発明を
適用することができる。また、対象物としては、シリコ
ンウエハの他に液晶パネルののガラス基板等があり、基
板の形状（円形、矩形）に関わらず薄い基板の保持・搬
送に効果的である。

【００３１】以上説明した実施の形態と特許請求の範囲
の要素との対応において、ウエハＷは平面基板を、ハン
ド５は基板ハンドおよび保持手段を、ロボット４は搬送
手段を、ハンド５および搬送ロボット４は搬送装置を、
対物レンズ３ａは対物光学系を、ウエハカセット２は基
板カセットを、アシストプレート７ａは押し上げ治具
を、垂直駆動部７ｂは駆動装置を、水平駆動部７ｄは位
置決め装置をそれぞれ構成する。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、平面基板の縁部を表裏両面から挟むように把持
するので、平面基板に反りが生じても基板ハンドで確実
に保持することができる。請求項２〜請求項４の発明に
よれば、平面基板は常に垂直に保持されているため自重
で撓むようなことがなく、さらに、搬送中は平面基板の
基板面を移動方向に対して平行に保つように移動させる
ので、空気抵抗による平面基板の変形に起因する破損を
防止することができる。特に、請求項４の発明では、対
物光学系の光軸を水平とし、保持手段により垂直保持さ
れた平面基板を顕微鏡で観察するようにしたので、平面
基板の受け渡し回数を減らすことができ、受け渡し時に
おける基板保持エラーや受け渡しミスによる平面基板の
破損などをを低減することができる。請求項５の発明に
よれば、垂直状態で基板カセットに収納された平面基板
を、押し上げ治具により基板カセット上方に突出させる
ことができるので、基板ハンド等により平面基板を基板
カセットから取り出す際に、スムーズに取り出すことが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による検査装置の一実施の形態を示す図
であり、顕微鏡検査装置の概略構成を示す斜視図であ
る。

【図２】ハンド５を詳細に示す図であり、（ａ）はウエ
ハＷを正面から見た図、（ｂ）は（ａ）のＢ矢視図、
（ｃ）はハンド５に設けられたフィンガー５ａを示す図
である。

【図３】アシスト装置７を示す図であり、（ａ）は斜視
図、（ｂ）はアシストプレート７ａの先端部の断面図。

【図４】ウエハカセット２からウエハ取り出し動作を示
す図であり、（ａ）〜（ｃ）の順に動作が行われる。

【図５】図４に続くウエハ取り出し動作を示す図であ
り、（ａ）〜（ｃ）の順に動作が行われる。

【図６】搬送方法を説明する図であり、装置の側面図。

【図７】搬送方法を説明する図であり、装置の平面図。

【図８】ハンド５の変形例を示す図であり、（ａ）はウ
エハＷの正面から見た図、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ断面
図。

【図９】図８のハンド５を用いてウエハカセット２から
ウエハＷを取り出す際の動作を説明する図であり、
（ａ）〜（ｃ）の順に動作が行われる。

【図１０】図９に続く動作を示す図であり、（ａ），
（ｂ）の順に動作が行われる。

【図１１】従来の装置におけるウエハ受け渡し動作を説
明する図であり、（ａ）〜（ｃ）の順に動作が行われ
る。

【符号の説明】

１ 顕微鏡検査装置 ２ ウエハカセット ３ 顕微鏡 ３ａ 対物レンズ ３ｂ 接眼レンズ ４ 搬送ロボット ５ ハンド ５ａ，５ｆ フィンガー ７ アシスト装置 ７ａ アシストプレート ７ｂ 垂直駆動部 ７ｃ 水平駆動部 Ｗ，Ｗ１，Ｗ２ ウエハ

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｊ Ｆターム(参考） 3C007 DS01 ES03 ES09 ET08 EU01 EV07 EV27 EW20 HS27 NS09 NS17 3F061 AA01 BA03 BA09 BB08 BC01 BD04 BE12 BE47 DB04 DB06 DD07 4M106 AA01 BA11 CA38 DG03 DG11 DG18 DG19 5F031 CA02 DA01 FA07 FA11 FA18 GA15 GA16 GA30 GA45 GA47 MA33 PA13 PA18 PA20

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 平面基板の保持に使用される基板ハンド
   において、 前記平面基板の縁部をその表裏両面から挟むように把持
   することを特徴とする基板ハンド。
2. 【請求項２】 平面基板を搬送する搬送装置において、 基板面が鉛直面内に延在するように前記平面基板を垂直
   に保持する保持手段と、 前記保持手段により保持された前記平面基板の基板面を
   移動方向に対して平行に維持しつつ搬送する搬送手段と
   を備えることを特徴とする搬送装置。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の搬送装置において、 請求項１に記載の基板ハンドを前記保持手段として用い
   たことを特徴とする搬送装置。
4. 【請求項４】 平面基板の外観を観察して検査を行う検
   査装置において、 請求項２または請求項３のいずれかに記載の搬送装置
   と、 対物光学系の光軸が水平となっていて、前記搬送装置の
   保持手段により垂直に保持された前記平面基板を観察す
   る顕微鏡とを備えることを特徴とする検査装置。
5. 【請求項５】 複数の平面基板を垂直状態で収納する基
   板カセットと、 前記平面基板の基板端面の一部に当接する当接部を有す
   る押し上げ治具と、 前記押し上げ治具を前記基板カセットに収納された各平
   面基板の真下に位置決めする位置決め装置と、 前記押し上げ治具を鉛直上下方向に駆動して前記平面基
   板の一部を前記基板カセットの上方に突出させる駆動装
   置とを備えることを特徴とする平面基板収納装置。