JP3272729B2 - ウェーハカセットの移送装置 - Google Patents
ウェーハカセットの移送装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】 発明の背景 1. 発明の分野 本発明の装置は、広く資材移送（または搬送）装置に
関する。移送される資材には、シリコンやガリウム砒素
のような半導体ウェーハ、高密度配線の如き半導体パッ
ケージ基板，マスクまたはレチクルのような半導体製造
工程の描画プレート，及びアクティブマトリクスLCD基
板のような広面積ディスプレイパネルを含むが、これら
に限定されるものではない。
関する。移送される資材には、シリコンやガリウム砒素
のような半導体ウェーハ、高密度配線の如き半導体パッ
ケージ基板，マスクまたはレチクルのような半導体製造
工程の描画プレート，及びアクティブマトリクスLCD基
板のような広面積ディスプレイパネルを含むが、これら
に限定されるものではない。
2. 従来技術の説明 この明細書の中で、用語「ウェーハ」は、ここで述べ
られるような基板（サブストレート）を指すよう一貫し
て用いられるが、この用語は、全ての基板に当てはめる
ことが可能なように、広い文脈において使用されるべく
意図されたものであることを理解されたい。典型例とし
て、このような基板は、円形であり、200mmの直径を有
しかつ厚さがおよそ0.760mmであるが、最近では、かか
る選定される直径が同じ厚さで300mmにまで進展してい
る。本発明は、かかる新しいサイズの基板を扱うのに特
に有益である。
られるような基板（サブストレート）を指すよう一貫し
て用いられるが、この用語は、全ての基板に当てはめる
ことが可能なように、広い文脈において使用されるべく
意図されたものであることを理解されたい。典型例とし
て、このような基板は、円形であり、200mmの直径を有
しかつ厚さがおよそ0.760mmであるが、最近では、かか
る選定される直径が同じ厚さで300mmにまで進展してい
る。本発明は、かかる新しいサイズの基板を扱うのに特
に有益である。
半導体デバイスの製造における複数のワークステーシ
ョンまたは作業場所においてこの種の敏感なシリコンウ
ェーハを移送することは、独特な取り扱い上の問題が伴
うものである。シリコンウェーハは、相当に繊細なもの
であるとともに高度に磨かれた表面を有しており、しか
も最大の処理量（スループット）を得るために迅速にか
つ正確に取り扱われなければならない。従前は、カセッ
ト、すなわち間隔をおきかつ積み重ねられた関係にて複
数のウェーハを手動操作にてロードロック（load loc
k）若しくは他の中間的に保持するステーションに支持
・運搬する持ち運び自在なキャリア（運搬器）を配置す
るのが慣例であった。このような保持ステーションは、
さらに別の移送ステーションに近接しており、かかる移
送ステーションは、通常、そこからウェーハが複数の処
理ステーションへと搬送されたり、当該移送ステーショ
ンへウェーハが複数の処理ステーションから搬送された
りするものである。既知の構造においては、ロードロッ
クは、ウェーハ若しくは多数のウェーハを保持するカセ
ットを当該ロードロックに配置する人間またはロボット
によるローダを必要としている。この処理は、かかる室
部壁面とウェーハとの間の遊隙が慣習的に小さいので、
しばしば困難なものとなる。
ョンまたは作業場所においてこの種の敏感なシリコンウ
ェーハを移送することは、独特な取り扱い上の問題が伴
うものである。シリコンウェーハは、相当に繊細なもの
であるとともに高度に磨かれた表面を有しており、しか
も最大の処理量（スループット）を得るために迅速にか
つ正確に取り扱われなければならない。従前は、カセッ
ト、すなわち間隔をおきかつ積み重ねられた関係にて複
数のウェーハを手動操作にてロードロック（load loc
k）若しくは他の中間的に保持するステーションに支持
・運搬する持ち運び自在なキャリア（運搬器）を配置す
るのが慣例であった。このような保持ステーションは、
さらに別の移送ステーションに近接しており、かかる移
送ステーションは、通常、そこからウェーハが複数の処
理ステーションへと搬送されたり、当該移送ステーショ
ンへウェーハが複数の処理ステーションから搬送された
りするものである。既知の構造においては、ロードロッ
クは、ウェーハ若しくは多数のウェーハを保持するカセ
ットを当該ロードロックに配置する人間またはロボット
によるローダを必要としている。この処理は、かかる室
部壁面とウェーハとの間の遊隙が慣習的に小さいので、
しばしば困難なものとなる。
ある１つの場所から他の場所へウェーハを移送するも
のとして様々な構成が知られている。かかる装置の代表
的なものとしては、米国特許の、ボノーラ（Bonora）の
No.4,674,936やボノーラのNo.4,802,809、ボノーラらの
No.5,169,272に開示がある。これら特許の各々は、SMIF
（標準機械インターフェース）システムコンテナーから
多数のウェーハを支持するカセットを移送する装置を開
示している。
のとして様々な構成が知られている。かかる装置の代表
的なものとしては、米国特許の、ボノーラ（Bonora）の
No.4,674,936やボノーラのNo.4,802,809、ボノーラらの
No.5,169,272に開示がある。これら特許の各々は、SMIF
（標準機械インターフェース）システムコンテナーから
多数のウェーハを支持するカセットを移送する装置を開
示している。
デービス（Davis）らの米国特許No.4,730,976におい
ては、関節連結アーム・アッセンブリは、「蛙のよう
な」動きで伸び縮みしウェーハを複数の位置の間で移送
している。かかる関節連結アーム・アッセンブリは、放
射面内において遊動軸ポイントにつき回転可能となって
おり、１つの軸方向に沿って上昇させられたり下降させ
られたりすることができる。
ては、関節連結アーム・アッセンブリは、「蛙のよう
な」動きで伸び縮みしウェーハを複数の位置の間で移送
している。かかる関節連結アーム・アッセンブリは、放
射面内において遊動軸ポイントにつき回転可能となって
おり、１つの軸方向に沿って上昇させられたり下降させ
られたりすることができる。
デービスらの改良は、一般に割り当てられる、「蛙の
ような」若しくは「蛙のけり」のタイプの動きをここで
も利用しているヘンドリクソン（Hendrickson）の米国
特許No.5,180,276において提供される。ウェーハ搬送装
置の他の構成例が、ウェストレイク（Westrake）の国際
出願No.PCT/US87/01176に開示されており、これには、
ロードロックの中のカセットからウェーハを取り出し、
それを処理上無効な室部へと進める機構が開示されてい
る。
ような」若しくは「蛙のけり」のタイプの動きをここで
も利用しているヘンドリクソン（Hendrickson）の米国
特許No.5,180,276において提供される。ウェーハ搬送装
置の他の構成例が、ウェストレイク（Westrake）の国際
出願No.PCT/US87/01176に開示されており、これには、
ロードロックの中のカセットからウェーハを取り出し、
それを処理上無効な室部へと進める機構が開示されてい
る。
本発明は、上述した従来技術の状況に鑑みて想到され
かつ実施されたものである。特に、本発明は、ウェーハ
の保護を確実にしつつ、既存のシステムと互換性のある
方法によって既存のウェーハ処理システムの処理量を増
大せんとしてなされたものである。
かつ実施されたものである。特に、本発明は、ウェーハ
の保護を確実にしつつ、既存のシステムと互換性のある
方法によって既存のウェーハ処理システムの処理量を増
大せんとしてなされたものである。
発明の概要 本発明によれば、被搬送物（以下、単にロード（loa
d）と称する）移送装置は、多数のウェーハを上下方向
に積み重ねたカセットを移送し、上下方向に移動自在な
ベース部材と、ロードを支持する平面状台部と、ベース
プレートに枢動自在に設置され、かかる台部が第１の方
位を呈する引き込み位置と当該台部が第２の角度形成置
換方位を呈する引き出し位置との間において、当該平面
状台部が当該引き込み位置にあるときに前記平坦台部が
占める平面に沿ってその平面状台部を動かすドライブア
ームとを具備している。ドライブアームは、ドライブア
ームシャフトに固着される一方、該シャフトは、ベース
プレートに回転自在に取り付けられている。拘束連結部
は、ベースプレートと平面状台部との間に延びており、
ドライブアームとほぼ平行である。エレベータドライブ
は、高位置及び低位置においてベースプレートの移動動
作が可能であり、結合部は、当該高位置と当該低位置と
の間に亘る範囲の位置についてドライブアームシャフト
をドライブシャフトに駆動自在に結合する。ベースプレ
ートは、直立の停止プレートを含む。引張ばねは、平面
状台部とドライブアームとの間に延在し、ドライブアー
ムを停止プレートに近接する関係にするよう偏倚させる
とともに、平面状台部を引き込み位置に偏倚させる。逆
極性の一対の並置マグネットは、それぞれドライブアー
ムと停止プレートとに取り付けられ、これによりドライ
ブアームを停止プレートに向かって引き寄せる。本発明
の装置は、微粒子の殆ど無い環境を有する室部を形成す
るロードロックとの組み合わせで使用することが可能で
ある。
d）と称する）移送装置は、多数のウェーハを上下方向
に積み重ねたカセットを移送し、上下方向に移動自在な
ベース部材と、ロードを支持する平面状台部と、ベース
プレートに枢動自在に設置され、かかる台部が第１の方
位を呈する引き込み位置と当該台部が第２の角度形成置
換方位を呈する引き出し位置との間において、当該平面
状台部が当該引き込み位置にあるときに前記平坦台部が
占める平面に沿ってその平面状台部を動かすドライブア
ームとを具備している。ドライブアームは、ドライブア
ームシャフトに固着される一方、該シャフトは、ベース
プレートに回転自在に取り付けられている。拘束連結部
は、ベースプレートと平面状台部との間に延びており、
ドライブアームとほぼ平行である。エレベータドライブ
は、高位置及び低位置においてベースプレートの移動動
作が可能であり、結合部は、当該高位置と当該低位置と
の間に亘る範囲の位置についてドライブアームシャフト
をドライブシャフトに駆動自在に結合する。ベースプレ
ートは、直立の停止プレートを含む。引張ばねは、平面
状台部とドライブアームとの間に延在し、ドライブアー
ムを停止プレートに近接する関係にするよう偏倚させる
とともに、平面状台部を引き込み位置に偏倚させる。逆
極性の一対の並置マグネットは、それぞれドライブアー
ムと停止プレートとに取り付けられ、これによりドライ
ブアームを停止プレートに向かって引き寄せる。本発明
の装置は、微粒子の殆ど無い環境を有する室部を形成す
るロードロックとの組み合わせで使用することが可能で
ある。
本発明の主たる目的は、ウェーハ処理システムの生産
性を向上させることである。
性を向上させることである。
本発明の他の目的は、間隙をもって積み重ねられる関
係にて複数のウェーハを含むカセットをウェーハ処理シ
ステムに近接した支持棚部から当該システム内のさらに
別の動作のために適切に位置づけられたロードロックへ
移送することである。
係にて複数のウェーハを含むカセットをウェーハ処理シ
ステムに近接した支持棚部から当該システム内のさらに
別の動作のために適切に位置づけられたロードロックへ
移送することである。
本発明のこれ以外の各特徴、効果及び有益性は、後続
の図面に従ってなされる以下の説明において明らかとな
る筈である。前述した一般的な説明や以下の詳細な説明
は、模範的なものでかつ説明上のものであるが、本発明
を限定するものではない。この発明の一部に編入されか
つその一部を構成する添付図面は、本発明の一実施例を
示したものであり、その説明とともに、一般的用語での
本発明の原理の説明を担うものである。本開示内容に亘
って数字はどれも構成部分を参照するものである。
の図面に従ってなされる以下の説明において明らかとな
る筈である。前述した一般的な説明や以下の詳細な説明
は、模範的なものでかつ説明上のものであるが、本発明
を限定するものではない。この発明の一部に編入されか
つその一部を構成する添付図面は、本発明の一実施例を
示したものであり、その説明とともに、一般的用語での
本発明の原理の説明を担うものである。本開示内容に亘
って数字はどれも構成部分を参照するものである。
図面の簡単な説明 図１は、本発明のウェーハ移送装置を利用することの
可能なタイプの一対の並列処理システムの上面概略図で
ある。
可能なタイプの一対の並列処理システムの上面概略図で
ある。
図２は、本発明を具体的に表すウェーハ移送装置を利
用する図１の処理システムの一方のみを、より詳細に示
す上面概略図である。
用する図１の処理システムの一方のみを、より詳細に示
す上面概略図である。
図３は、図２に示された処理システムの正面図であ
る。
る。
図４は、簡明に説明するために所定の部分が切れ離さ
れている、図３に示された処理システムの側面図であ
る。
れている、図３に示された処理システムの側面図であ
る。
図５は、簡明に説明するために所定の部分が切り離さ
れかつ断面にて示されている、本発明の移送装置を示す
透視図である。
れかつ断面にて示されている、本発明の移送装置を示す
透視図である。
図６は、図５に示された移送装置の上面図である。
図７は、簡明に説明するために所定の部分が切り離さ
れかつ断面にて示されている、図５及び図６に示される
移送装置の側面図である。
れかつ断面にて示されている、図５及び図６に示される
移送装置の側面図である。
図８は、簡明に説明するために所定の部分が切り離さ
れかつ断面にて示され、引き込み位置における部品が描
かれている、図２において示された構造をさらに詳しく
示す拡大上面図である。
れかつ断面にて示され、引き込み位置における部品が描
かれている、図２において示された構造をさらに詳しく
示す拡大上面図である。
図９は、引き出し位置における部品が描かれている、
図８と同様の拡大上面図である。
図８と同様の拡大上面図である。
図10は、本発明の所定の部品が引き込み位置から中間
位置そして最後には引き出し位置へと動くときの運動を
示す上面図である。
位置そして最後には引き出し位置へと動くときの運動を
示す上面図である。
図11は、本発明の一部品を示す詳細透視図である。
図12は、本発明の他の部品を示す詳細透視図である。
図13は、図11及び図12の個々の部品を相互結合関係を
もって示す部分的断面の上面図である。
もって示す部分的断面の上面図である。
図14は、本発明の他の実施例の詳細な側面図である。
図15は、図14において示された実施例の上面図であ
る。
る。
図16は、本発明の他の実施例の詳細な上面図である。
好適な実施例の詳細な説明 かかる図面を参照すると、先ず図１はウェーハやフラ
ットパネルのようなシリコン平面基板に作用する一列の
処理システム20を示している。初めに注記しておくに、
用語「ウェーハ」は、かかる基板に言及するための一貫
性の目的で使用されるが、全ての基板に適用可能である
ように、広い分脈において使用されることを意図された
ものであることが分かると所存する。処理システム20
は、例えば、壁部24により外部環境から隔離された「ク
リーンルーム」22内において並列型に構成される。ごく
最近では、かかるクリーンルームを排除し、その代わり
にシステム20内でかつ当該システムに整合する各手段内
において所望の清浄環境を維持するのが通例となってき
ている。
ットパネルのようなシリコン平面基板に作用する一列の
処理システム20を示している。初めに注記しておくに、
用語「ウェーハ」は、かかる基板に言及するための一貫
性の目的で使用されるが、全ての基板に適用可能である
ように、広い分脈において使用されることを意図された
ものであることが分かると所存する。処理システム20
は、例えば、壁部24により外部環境から隔離された「ク
リーンルーム」22内において並列型に構成される。ごく
最近では、かかるクリーンルームを排除し、その代わり
にシステム20内でかつ当該システムに整合する各手段内
において所望の清浄環境を維持するのが通例となってき
ている。
いずれにしても、数多くのウェーハ25（図２）は、カ
セット26内またはSMIF（「標準機械インターフェース
（Standard mechanical interface）」）ボックスのよ
うな制御された環境のキャリア内において運ばれるのが
通例となっている。このような場合、複数のウェーハ
は、かかるカセットに装填され、ここで、間隔の空けら
れ積み重ねられた関係をもって支持され、その後に手操
作またはその他の手段により運送され、そして処理の移
行を待つ該当のシステム20に隣接する棚部28に載置され
る。カセットは、入り口ドア34（図2,3,4）がロードポ
ート35（図４）を介してアクセスすることができるよう
開いたときに、前もって、外部から手操作によって、ま
たはロボットを利用してロードロック32内における待機
チャンバー（室部）30に入れられる。説明すべき移送装
置36によって、カセット26は、棚部28から持ち上げられ
かつ外されてロードロック32のチャンバー30へと当該チ
ャンバーの内から動かされる。これに続いて、本発明の
構成部分を形成しない装置によって、ウェーハ25は、１
つずつ運送チャンバー38に移動させられ、そこから複数
の処理ステーション40のうちの１つまたはそれ以上の所
へと移動させられる。
セット26内またはSMIF（「標準機械インターフェース
（Standard mechanical interface）」）ボックスのよ
うな制御された環境のキャリア内において運ばれるのが
通例となっている。このような場合、複数のウェーハ
は、かかるカセットに装填され、ここで、間隔の空けら
れ積み重ねられた関係をもって支持され、その後に手操
作またはその他の手段により運送され、そして処理の移
行を待つ該当のシステム20に隣接する棚部28に載置され
る。カセットは、入り口ドア34（図2,3,4）がロードポ
ート35（図４）を介してアクセスすることができるよう
開いたときに、前もって、外部から手操作によって、ま
たはロボットを利用してロードロック32内における待機
チャンバー（室部）30に入れられる。説明すべき移送装
置36によって、カセット26は、棚部28から持ち上げられ
かつ外されてロードロック32のチャンバー30へと当該チ
ャンバーの内から動かされる。これに続いて、本発明の
構成部分を形成しない装置によって、ウェーハ25は、１
つずつ運送チャンバー38に移動させられ、そこから複数
の処理ステーション40のうちの１つまたはそれ以上の所
へと移動させられる。
本発明によれば、さらに詳しく図４ないし図９を参照
すると、移送装置36は、ベースプレート42と、エレベー
タドライブ機構44とを有する。エレベータドライブ機構
44は、高位置（図４において破線により描かれている）
と低位置（図４において実線により描かれている）との
間でそのベースプレートを選択的に動かすよう動作可能
である。かかる移動は、所望されるように、ある実距離
分か若しくは増大させるかして行うことができる。ドラ
イブアーム機構46は、ベースプレート42に取り付けられ
る一方、ロード、特にカセット26または他の形態のウェ
ーハキャリアを支持する平面台48を据え置いている。そ
の記述すべきと思われる構造は、かかる載置台48が第１
の方位を呈する引き込みまたは格納位置（図３及び図
８）から、その第１の方位から角度的に転位された第２
の方位を呈する引き出しまたは取り出し位置（図４及び
図９）に至る間において平面的に当該載置台48を移動さ
せるよう動作する。載置台28は、引き出し位置に動いた
ときでも、実質的に、引き込み位置にあるときに含んで
いた平面内にあるままとなる。
すると、移送装置36は、ベースプレート42と、エレベー
タドライブ機構44とを有する。エレベータドライブ機構
44は、高位置（図４において破線により描かれている）
と低位置（図４において実線により描かれている）との
間でそのベースプレートを選択的に動かすよう動作可能
である。かかる移動は、所望されるように、ある実距離
分か若しくは増大させるかして行うことができる。ドラ
イブアーム機構46は、ベースプレート42に取り付けられ
る一方、ロード、特にカセット26または他の形態のウェ
ーハキャリアを支持する平面台48を据え置いている。そ
の記述すべきと思われる構造は、かかる載置台48が第１
の方位を呈する引き込みまたは格納位置（図３及び図
８）から、その第１の方位から角度的に転位された第２
の方位を呈する引き出しまたは取り出し位置（図４及び
図９）に至る間において平面的に当該載置台48を移動さ
せるよう動作する。載置台28は、引き出し位置に動いた
ときでも、実質的に、引き込み位置にあるときに含んで
いた平面内にあるままとなる。
「第１の方位及び第２の方位」なる用語についてさら
に理解を深めるために、図２を参照すると、カセット26
は、棚部28に適正に取り付けられており、その四角形の
各辺は、壁部24に平行であるかまたは直角をなしてい
る。但し、チャンバー30内の台座48に配置されるとき
は、引き続きウェーハ25を運送チャンバー38へその後は
処理ステーション40へと移送することを適確に可能とす
るために、壁部24の平面に対して傾かせる必要がある。
移送装置36は、カセット26の棚部28からチャンバー30へ
の移送中には、ロードロック32と運送チャンバー38との
間で、壁部24にほぼ整列された方位からインターフェー
ス弁またはバルブ50にほぼ整列された方位へと当該台座
が平面的に適確に移動することを保証するものである。
図10は、台座48が引き込み位置から中間位置を経て最後
には引き出し位置へと動く場合に伴う運動を描いた上面
図である。
に理解を深めるために、図２を参照すると、カセット26
は、棚部28に適正に取り付けられており、その四角形の
各辺は、壁部24に平行であるかまたは直角をなしてい
る。但し、チャンバー30内の台座48に配置されるとき
は、引き続きウェーハ25を運送チャンバー38へその後は
処理ステーション40へと移送することを適確に可能とす
るために、壁部24の平面に対して傾かせる必要がある。
移送装置36は、カセット26の棚部28からチャンバー30へ
の移送中には、ロードロック32と運送チャンバー38との
間で、壁部24にほぼ整列された方位からインターフェー
ス弁またはバルブ50にほぼ整列された方位へと当該台座
が平面的に適確に移動することを保証するものである。
図10は、台座48が引き込み位置から中間位置を経て最後
には引き出し位置へと動く場合に伴う運動を描いた上面
図である。
このために、ドライブアーム機構46は、前述した如く
引き込み位置（図８）と引き出し位置（図９）との間で
動くことができるようにベースプレート42に枢軸回動す
るよう（または遊動自在にして）取り付けられたドライ
ブアーム52を含んでいる。より詳しくは、垂直延在ドラ
イブアームシャフト54は、間隙軸受（spaced bearing）
56,58によってベースプレートに回動可能に取り付けら
れており、ドライブアームは、例えば楔のような手段に
よって、引き込み位置から引き出し位置まで台座48を動
かすためにそのドライブアームシャフトに固着されてい
る。
引き込み位置（図８）と引き出し位置（図９）との間で
動くことができるようにベースプレート42に枢軸回動す
るよう（または遊動自在にして）取り付けられたドライ
ブアーム52を含んでいる。より詳しくは、垂直延在ドラ
イブアームシャフト54は、間隙軸受（spaced bearing）
56,58によってベースプレートに回動可能に取り付けら
れており、ドライブアームは、例えば楔のような手段に
よって、引き込み位置から引き出し位置まで台座48を動
かすためにそのドライブアームシャフトに固着されてい
る。
拘束連結部60は、ベースプレート42と台座48との間に
延びている。より詳しくは、かかる拘束連結部60は、第
１の結合ピン62によるなどしてベース支持体64に枢軸回
動するよう（遊動自在にして）取り付けられており、か
かる支持体は、ベースプレート42と一体化されかつ当該
ベースプレートに対し間隙をもってかつ平行な面内にお
いて延在する。第１の結合ピン62から離隔している第２
の結合ピン66は、拘束連結部及び台座を枢軸回動するよ
う（遊動自在にして）結合する機能を担う。ドライブア
ームシャフト54から離隔しているドライブアームピン68
は、ドライブアーム及び台座を枢軸回動するよう結合す
る機能を担う。この構成において、第１の結合ピン62
は、ドライブアームシャフト54に間隔をおいて近接し、
第２の結合ピン66は、ドライブアームピンに間隔をおい
て近接している。さらに、ドライブアームシャフト54、
ドライブアームピン68、第１の結合ピン62、及び第２の
結合ピン66の長手軸は、全て概ね平行である。また、こ
れらの部材ないし部品は全て、ドライブアーム機構46が
引き込み位置から引き出し位置へ移動したときに、上述
した如く、台座48が同時にその第１方位から第２方位に
移動するように、相互に位置が決められている。
延びている。より詳しくは、かかる拘束連結部60は、第
１の結合ピン62によるなどしてベース支持体64に枢軸回
動するよう（遊動自在にして）取り付けられており、か
かる支持体は、ベースプレート42と一体化されかつ当該
ベースプレートに対し間隙をもってかつ平行な面内にお
いて延在する。第１の結合ピン62から離隔している第２
の結合ピン66は、拘束連結部及び台座を枢軸回動するよ
う（遊動自在にして）結合する機能を担う。ドライブア
ームシャフト54から離隔しているドライブアームピン68
は、ドライブアーム及び台座を枢軸回動するよう結合す
る機能を担う。この構成において、第１の結合ピン62
は、ドライブアームシャフト54に間隔をおいて近接し、
第２の結合ピン66は、ドライブアームピンに間隔をおい
て近接している。さらに、ドライブアームシャフト54、
ドライブアームピン68、第１の結合ピン62、及び第２の
結合ピン66の長手軸は、全て概ね平行である。また、こ
れらの部材ないし部品は全て、ドライブアーム機構46が
引き込み位置から引き出し位置へ移動したときに、上述
した如く、台座48が同時にその第１方位から第２方位に
移動するように、相互に位置が決められている。
引張ばね（スプリング）70の態様を採る弾性部材は、
特に引き込み位置に台座を片寄らせるために、台座48と
ドライブアーム52との間において延在しかつそれぞれに
固定されている。
特に引き込み位置に台座を片寄らせるために、台座48と
ドライブアーム52との間において延在しかつそれぞれに
固定されている。
移送装置36は、さらにドライブシャフト72と、当該ド
ライブシャフトを回転するための適当なモータ73とを含
んでいる。結合機構74（特に、図７及び図11ないし図13
参照）は、高及び低位置（図４）の間において、ベース
プレート42とそれに支持されるカセット26とによって為
されるべき位置の範囲に亘って、ドライブアームシャフ
ト54をドライブシャフト72に動力伝達するように（駆動
可能に）結合する。ドライブアームシャフト54は、垂直
に方向づけられ、近傍において直径に沿って延在する車
軸（軸材）76が固定されている低端部へと延びる長手軸
を有する。かかる車軸は、（長手軸断面の）直径に沿う
穿孔において適確に受けられ、ドライブアームシャフト
54から突き出る完全に対向した端部（正面対向端部）を
有する。一対の対向ローラ78は、かかる車軸の対向端部
においてそれぞれ回転可能なように取り付けられる。
ライブシャフトを回転するための適当なモータ73とを含
んでいる。結合機構74（特に、図７及び図11ないし図13
参照）は、高及び低位置（図４）の間において、ベース
プレート42とそれに支持されるカセット26とによって為
されるべき位置の範囲に亘って、ドライブアームシャフ
ト54をドライブシャフト72に動力伝達するように（駆動
可能に）結合する。ドライブアームシャフト54は、垂直
に方向づけられ、近傍において直径に沿って延在する車
軸（軸材）76が固定されている低端部へと延びる長手軸
を有する。かかる車軸は、（長手軸断面の）直径に沿う
穿孔において適確に受けられ、ドライブアームシャフト
54から突き出る完全に対向した端部（正面対向端部）を
有する。一対の対向ローラ78は、かかる車軸の対向端部
においてそれぞれ回転可能なように取り付けられる。
ドライブシャフト72は、ドライブアームシャフト54と
軸方向において揃えられ、かつ一対の軸方向延在相対向
駆動突起部80が、当該ドライブシャフトの上側端部を越
えて延び、それぞれが連結（結合）可能な受け部のため
の第１及び第２の回転表面82を有するところの上側端部
へと延びている。この構成によって、エレベータドライ
ブ機構44の動作中に、ローラ78は、ドライブアームシャ
フト54を回転／回動するために各回転表面と結合された
状態を持続する。
軸方向において揃えられ、かつ一対の軸方向延在相対向
駆動突起部80が、当該ドライブシャフトの上側端部を越
えて延び、それぞれが連結（結合）可能な受け部のため
の第１及び第２の回転表面82を有するところの上側端部
へと延びている。この構成によって、エレベータドライ
ブ機構44の動作中に、ローラ78は、ドライブアームシャ
フト54を回転／回動するために各回転表面と結合された
状態を持続する。
図５ないし図９に見られるように、停止ブレート84
は、ベースプレート42と一体化されており、また、当該
ベースプレートから直立している。引張ばね70はまた、
ドライブアーム52を停止プレートに近接する関係に片寄
らせる（偏倚させる）。これは、台座48とドライブアー
ム機構46とが引き込み位置にあるときに機能するもので
ある。このような停止プレートとの近接関係にドライブ
アーム52を一時的に保持または偏倚させるために、第１
のマグネット86は、ドライブアームの適切な位置に取り
付けられ、当該マグネット86とは反対の極性を有する第
２のマグネット88が停止プレートに適切にして取り付け
られる。この目的のために、ドライブアーム52が停止プ
レート84に近接したときに第２のマグネットが第１のマ
グネットと並置される。停止プレート84（図６）におけ
る所定のねじ切り済みホールと螺合した止ねじまたは押
しねじ89は、停止プレートの側部表面から突出してお
り、その末端は、ドライブアーム52が停止プレートに対
して近接位置にあるときに当該ドライブアームに掛か
る。セットスクリューすなわち押しねじ89を操縦するこ
とによって、ドライブアームと停止プレートとの間隔を
調整することができる。
は、ベースプレート42と一体化されており、また、当該
ベースプレートから直立している。引張ばね70はまた、
ドライブアーム52を停止プレートに近接する関係に片寄
らせる（偏倚させる）。これは、台座48とドライブアー
ム機構46とが引き込み位置にあるときに機能するもので
ある。このような停止プレートとの近接関係にドライブ
アーム52を一時的に保持または偏倚させるために、第１
のマグネット86は、ドライブアームの適切な位置に取り
付けられ、当該マグネット86とは反対の極性を有する第
２のマグネット88が停止プレートに適切にして取り付け
られる。この目的のために、ドライブアーム52が停止プ
レート84に近接したときに第２のマグネットが第１のマ
グネットと並置される。停止プレート84（図６）におけ
る所定のねじ切り済みホールと螺合した止ねじまたは押
しねじ89は、停止プレートの側部表面から突出してお
り、その末端は、ドライブアーム52が停止プレートに対
して近接位置にあるときに当該ドライブアームに掛か
る。セットスクリューすなわち押しねじ89を操縦するこ
とによって、ドライブアームと停止プレートとの間隔を
調整することができる。
移送装置36の動作は、例えばチャンバー30（図８参
照）内に位置する空の台座48をもって開始されうる。そ
れに引き続きモータ73（図７）は、ドライブシャフト72
を回転するよう動かされ、これに伴いドライブアームシ
ャフト54は台座48を引き出し位置（図９参照）へ送るこ
ととなる。台座48は、棚部28（図２）に支持されている
カセット26の下方において自由に滑走するための適正な
高さにある。台座48がカセットの下に直角に（または真
正面に）位置すると、エレベータドライブ機構44は、カ
セットを棚部28から引き揚げるよう動作し、そうしてモ
ータ73が再び動作して初期動作とは逆の、当該台座48を
戻すべく動作を今度は当該カセットを支持してチャンバ
ー30へ向かって行い、再度図８において示される状態を
呈することとなる。
照）内に位置する空の台座48をもって開始されうる。そ
れに引き続きモータ73（図７）は、ドライブシャフト72
を回転するよう動かされ、これに伴いドライブアームシ
ャフト54は台座48を引き出し位置（図９参照）へ送るこ
ととなる。台座48は、棚部28（図２）に支持されている
カセット26の下方において自由に滑走するための適正な
高さにある。台座48がカセットの下に直角に（または真
正面に）位置すると、エレベータドライブ機構44は、カ
セットを棚部28から引き揚げるよう動作し、そうしてモ
ータ73が再び動作して初期動作とは逆の、当該台座48を
戻すべく動作を今度は当該カセットを支持してチャンバ
ー30へ向かって行い、再度図８において示される状態を
呈することとなる。
本発明のもう１つの実施例たる結合機構90は、図14及
び図15に描かれている構造を有する。この例の場合、改
変されたドライブシャフト72Aは、その上側端部におい
て、対向する回転表面96を定める対向する二股の脚部94
の間に横断する溝すなわちスロット92を有する。ドライ
ブアームシャフト54の下側端部は、前述しかつ図10に示
したものと同等の構造を有する。かかる端部としてロー
ラ78は、スロット92内に回転するよう受けられ、回転表
面96と結合される。先述の実施例の場合におけるが如
く、ドライブアームシャフト54がベースプレート42とと
もに上がったり下がったりするときにも、ドライブシャ
フト72Aの回転は、ドライブアームシャフト54を駆動す
る回転を付与する。
び図15に描かれている構造を有する。この例の場合、改
変されたドライブシャフト72Aは、その上側端部におい
て、対向する回転表面96を定める対向する二股の脚部94
の間に横断する溝すなわちスロット92を有する。ドライ
ブアームシャフト54の下側端部は、前述しかつ図10に示
したものと同等の構造を有する。かかる端部としてロー
ラ78は、スロット92内に回転するよう受けられ、回転表
面96と結合される。先述の実施例の場合におけるが如
く、ドライブアームシャフト54がベースプレート42とと
もに上がったり下がったりするときにも、ドライブシャ
フト72Aの回転は、ドライブアームシャフト54を駆動す
る回転を付与する。
本発明のさらに他の実施例は、図16に描かれている。
この例においては、ウェーハ収納カセットを支持する棚
部28Aは、ロードロック32Aの前に真っ直ぐに位置づけら
れるので、当該カセットを受け取る台座48Aは、引き出
し位置にあるときと同じ角度をもって配される引き込み
位置にあるときの向きを有し、始終、実質的に、その引
き込み位置にあるとき占められていた平面上にあるまま
となる。この成果は、ドライブアーム52及び拘束連結部
60の相対的長さを適切に調整することによって得られる
こととなる。
この例においては、ウェーハ収納カセットを支持する棚
部28Aは、ロードロック32Aの前に真っ直ぐに位置づけら
れるので、当該カセットを受け取る台座48Aは、引き出
し位置にあるときと同じ角度をもって配される引き込み
位置にあるときの向きを有し、始終、実質的に、その引
き込み位置にあるとき占められていた平面上にあるまま
となる。この成果は、ドライブアーム52及び拘束連結部
60の相対的長さを適切に調整することによって得られる
こととなる。
移送装置36には、動作部品の状態を示す特定の検知装
置が設けられる。例えば、カセットが台座48に置かれた
か否かを検知することが望ましい。図７に示されるよう
に、台座48は、カセット有無センサ102を受ける凹部100
を有する。このセンサ102は、撓み部材106を台座に付け
るためのベース104を含む。カセット結合（接触）ボタ
ン108は、撓み部材106の末端に一体化している。撓み部
材106は、これもまた台座48に取り付けられているスイ
ッチ110に上敷きされる。カセットは、台座48に置かれ
ると、ボタン108と結合し、撓み部材106を押し下げ、ス
イッチ110を作動させる。カセットが台座から除去され
ると、ボタン108はもはや結合することはなくなり、撓
み部材106は、作動しなくなったスイッチとの結合から
外れて振れることとなる。
置が設けられる。例えば、カセットが台座48に置かれた
か否かを検知することが望ましい。図７に示されるよう
に、台座48は、カセット有無センサ102を受ける凹部100
を有する。このセンサ102は、撓み部材106を台座に付け
るためのベース104を含む。カセット結合（接触）ボタ
ン108は、撓み部材106の末端に一体化している。撓み部
材106は、これもまた台座48に取り付けられているスイ
ッチ110に上敷きされる。カセットは、台座48に置かれ
ると、ボタン108と結合し、撓み部材106を押し下げ、ス
イッチ110を作動させる。カセットが台座から除去され
ると、ボタン108はもはや結合することはなくなり、撓
み部材106は、作動しなくなったスイッチとの結合から
外れて振れることとなる。
また移送装置36には、台座48の位置、すなわちそれが
引き込み位置にあるか或いは引き出し位置にあるかを示
す特定の検知装置が設けられる。例えば、図10を参照す
ると、引き込みセンサ112は、ロードロック32の壁部に
適切に取り付けられたマグネット114と、台座48の裏側
に取り付けられた組み合わせの磁気的リードスイッチ11
6とを含んでいる。台座が引き込み位置（一点鎖線によ
り示される）に入ると、マグネット114は、台座が実際
に引き込み位置にあることを示すべくスイッチ116を作
動させる。同様にして、引き出しセンサー118は、台座4
8の裏側に適切にして取り付けられたマグネット120と、
連結部60に取り付けられた組み合わせの磁気的リードス
イッチ122とを含んでいる。台座が引き出し位置（実線
により示される）に入ると、マグネット120は、台座が
実際に引き出し位置にあることを示すべくスイッチ122
を作動させる。
引き込み位置にあるか或いは引き出し位置にあるかを示
す特定の検知装置が設けられる。例えば、図10を参照す
ると、引き込みセンサ112は、ロードロック32の壁部に
適切に取り付けられたマグネット114と、台座48の裏側
に取り付けられた組み合わせの磁気的リードスイッチ11
6とを含んでいる。台座が引き込み位置（一点鎖線によ
り示される）に入ると、マグネット114は、台座が実際
に引き込み位置にあることを示すべくスイッチ116を作
動させる。同様にして、引き出しセンサー118は、台座4
8の裏側に適切にして取り付けられたマグネット120と、
連結部60に取り付けられた組み合わせの磁気的リードス
イッチ122とを含んでいる。台座が引き出し位置（実線
により示される）に入ると、マグネット120は、台座が
実際に引き出し位置にあることを示すべくスイッチ122
を作動させる。
以上、本発明の好適な実施例を詳細に説明してきた
が、種々様々な変形例が、この詳細な説明及び添付の請
求の範囲において定義されるように、本発明の範囲から
逸脱することなく提示した実施例から実現可能であるこ
とは、当業者により理解されうるところである。
が、種々様々な変形例が、この詳細な説明及び添付の請
求の範囲において定義されるように、本発明の範囲から
逸脱することなく提示した実施例から実現可能であるこ
とは、当業者により理解されうるところである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ホフマイスター クリストファー エ イ. アメリカ合衆国 ニューハンプシャー州 03841 ハンプステッド ウィールラ イトロード 176 (56)参考文献 特開 平１−305533（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−142552（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−64232（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−214991（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 B25J 9/06 B65G 49/07
Claims (21)
- 【請求項１】多数のウェーハを上下方向に積み重ねたカ
セットを移送する装置であって、 上下方向に移動自在なベース部材と、 前記カセットを支持する平坦台部と、 前記ベース部材に取り付けられ、前記平坦台部が第１の
方位を呈する引き込み位置から前記平坦台部が前記第１
の方位とは角度的に転位された第２の方位を呈する引き
出し位置に亘って、前記引き込み位置にあるときに前記
平坦台部が占める平面に沿って、に前記平坦台部を移動
するドライブアーム手段と、 前記平坦台部を前記引き込み位置に偏倚させるべく前記
ドライブアーム手段に弾性力を付与する弾性手段とを有
し、 前記ドライブアーム手段は、 前記ベース部材に枢動自在に取り付けられかつ前記引き
込み位置と前記引き出し位置との間において移動可能な
ドライブアームと、 前記ベース部材に回転自在に取り付けられ、前記引き込
み位置と前記引き出し位置との間における前記平坦台部
の移動のために前記ドライブアームが固着されるドライ
ブアームシャフトと、 前記ベース部材と前記平坦台部との間に延在する拘束連
結部と、 前記拘束連結部及び前記ベース部材を枢動自在に結合す
る第１の結合ピンと、 前記第１の結合ピンから距離をおき、前記拘束連結部及
び前記平坦台部を枢動自在に結合する第２の結合ピン
と、 前記ドライブアームシャフトから距離をおき前記ドライ
ブアーム及び前記平坦台部を枢動自在に結合するドライ
ブアームピンとを含み、 前記第１の結合ピンは、前記ドライブアームシャフトに
間隔をもって近接し、 前記第２の結合ピンは、前記ドライブアームピンに間隔
をもって近接している、移送装置。 - 【請求項２】請求の範囲第１項に記載の移送装置であっ
て、 前記引き込み位置において前記平坦台部が呈する前記第
１の方位は、前記引き出し位置において前記平坦台部が
呈する前記第２の方位と同一である移送装置。 - 【請求項３】請求の範囲第１項に記載の移送装置であっ
て、 前記引き込み位置において前記平坦台部が呈する前記第
１の方位は、前記引き出し位置において前記平坦台部が
呈する前記第２の方位から角度的に転位されている、 移送装置。 - 【請求項４】請求の範囲第１項に記載の移送装置であっ
て、 前記ドライブアームシャフト、前記ドライブアームピ
ン、前記第１の結合ピン、及び前記第２の結合ピンの各
々は、長手軸を有し、 前記ドライブアームシャフト、前記ドライブアームピ
ン、前記第１の結合ピン、及び前記第２の結合ピンの前
記長手軸は、全て概ね平行である移送装置。 - 【請求項５】請求の範囲第１項に記載の移送装置であっ
て、 前記ドライブアームシャフト、前記ドライブアームピ
ン、前記第１の結合ピン、及び前記第２の結合ピンは、
前記ドライブアーム手段が前記引き込み位置から前記引
き出し位置へ移動したときに前記平坦台部が同時に前記
第１の方位から前記第２の方位へ移動することを保証す
るよう相互に位置づけられている移送装置。 - 【請求項６】請求の範囲第１項に記載の移送装置であっ
て、 ロードロック室部として内側に室部を形成し、前記ロー
ドロック室部に通じるロードポートを有するロードロッ
クを含む移送装置。 - 【請求項７】請求の範囲第１項に記載の移送装置であっ
て、 前記弾性手段は、前記平坦台部と前記ドライブアームと
の間において延在しかつ前記平坦台部及び前記ドライブ
アームの各々に固着されている引張ばねを含む移送装
置。 - 【請求項８】ロードロック室部として内側に実質的に微
粒子の存在しない環境を有する室部を形成し、前記ロー
ドロック室部に通じるロードポートを含むロードロック
との組み合わせにおいて、多数のウェーハを上下方向に
積み重ねたカセットを移送する装置であって、 前記ロードロック室部の内側に取り付けられた上下方向
に移動自在のベース部材と、 間隔をおきかつ略積重された関係をもって前記複数のウ
ェーハを受け入れて運搬するためのラック部材を有する
可搬キャリアを支持する平坦台部と、 前記ベース部材に取り付けられ、前記平坦台部が第１の
方位を呈する前記ロードロック室部外の引き込み位置か
ら前記平坦台部が前記第１の方位から角度的に転位され
た第２の方位を呈する前記ロードロック室部内の引き出
し位置までの間において、前記引き込み位置にあるとき
に前記平坦台部が占める平面に沿って、前記平坦台部を
移動するドライブアーム手段と、 前記平坦台部を前記引き込み位置へ偏倚させるべく前記
ドライブアーム手段に弾性力を付与する弾性手段と、 前記ドライブアーム手段は、 前記ベース部材に枢動自在に取り付けられ、前記引き込
み位置と前記引き出し位置との間において移動可能であ
り、かつ前記平坦台部が取り付けられたドライブアーム
と、 前記ベース部材に回転自在に取り付けられ、前記引き込
み位置と前記引き出し位置との間における前記平坦台部
の移動のために前記ドライブアームが固着されるドライ
ブアームシャフトと、 前記ベース部材と前記平坦台部との間に延在する拘束連
結部と、 前記拘束連結部及び前記ベース部材を枢動自在に結合す
る第１の結合ピンと、 前記拘束連結部及び前記平坦台部を枢動自在に結合する
第２の結合ピンと、 前記ドライブアーム及び前記平坦台部を枢動自在に結合
するドライブアームピンとを含み、 前記第１の結合ピンは、前記ドライブアームシャフトに
間隔をもって近接し、 前記第２の結合ピンは、前記ドライブアームピンに間隔
をもって近接している、移送装置。 - 【請求項９】請求の範囲第８項に記載の移送装置であっ
て、 前記引き込み位置において前記平坦台部が呈する前記第
１の方位は、前記引き出し位置において前記平坦台部が
呈する前記第２の方位と同一である移送装置。 - 【請求項１０】請求の範囲第８項に記載の移送装置であ
って、 前記引き込み位置において前記平坦台部が呈する前記第
１の方位は、前記引き出し位置において前記平坦台部が
呈する前記第２の方位から角度的に転位されている、 移送装置。 - 【請求項１１】請求の範囲第８項に記載の移送装置であ
って、 前記ドライブアームシャフト、前記ドライブアームピ
ン、前記第１の結合ピン、及び前記第２の結合ピンの各
々は、長手軸を有し、 前記ドライブアームシャフト、前記ドライブアームピ
ン、前記第１の結合ピン、及び前記第２の結合ピンの前
記長手軸は、全て概ね平行である移送装置。 - 【請求項１２】請求の範囲第８項に記載の移送装置であ
って、 前記ドライブアームシャフト、前記ドライブアームピ
ン、前記第１の結合ピン、及び前記第２の結合ピンは、
前記ドライブアーム手段が前記引き込み位置から前記引
き出し位置へ移動したときに前記平坦台部が同時に前記
第１の方位から前記第２の方位へ移動することを保証す
るよう相互に位置づけられている移送装置。 - 【請求項１３】請求の範囲第８項に記載の移送装置であ
って、 前記弾性手段は、前記平坦台部と前記ドライブアームと
の間において延在しかつ前記平坦台部及び前記ドライブ
アームの各々に固着されている引張ばねを含む移送装
置。 - 【請求項１４】請求の範囲第８項に記載の移送装置であ
って、 前記ベースプレートに一体化されかつ前記ベースプレー
トから直立する停止プレートを含み、前記弾性手段は、
前記ドライブアームを前記停止プレートに近接する関係
にするよう偏倚させる、 移送装置。 - 【請求項１５】請求の範囲第14項に記載の移送装置であ
って、 前記ドライブアームに取り付けられた第１のマグネット
と、 前記停止プレートに取り付けられ前記第１のマグネット
とは逆の極性を有し、前記ドライブアームが前記停止プ
レートに近接して配置されたときに前記第１のマグネッ
トに並置され前記ドライブアームを停止プレートへ向か
って引き寄せる第２のマグネットと、 を含む移送装置。 - 【請求項１６】多数のウェーハを上下方向に積み重ねた
カセットを移送する装置であって、 上下方向に移動自在のベース部材と、 前記カセットを支持する平坦台部と、 前記ベース部材に取り付けられ、前記平坦台部が第１の
方位を呈する引き込み位置から前記平坦台部が前記第１
の方位とは角度的に転位された第２の方位を呈する引き
出し位置に亘って、前記引き込み位置にあるときに前記
平坦台部が占める平面に沿って、前記平坦部台部を移動
するドライブアーム手段とを有し、 前記ドライブアーム手段は、 前記ベース部材に枢動自在に取り付けられかつ前記引き
込み位置と前記引き出し位置との間において移動可能な
ドライブアームと、 前記ベース部材に回転自在に取り付けられ、前記引き込
み位置と前記引き出し位置との間における前記平坦台部
の移動のために前記ドライブアームが固着されるドライ
ブアームシャフトと、 前記ベース部材と前記平坦台部との間に延在する拘束連
結部と、 前記拘束連結部及び前記ベース部材を枢動自在に結合す
るとともに、前記ドライブアームシャフトと近接しなが
らも距離を介して配置される第１の結合ピンと、 前記ドライブアームシャフトから距離をおき前記ドライ
ブアーム及び前記平坦台部を枢動自在に結合するドライ
ブアームピンと、 前記第１の結合ピンから距離をおいて位置し、前記拘束
連結部及び前記平坦台部を枢動自在に結合するととも
に、前記ドライブアームピンと近接しながらも距離を介
して配置される第２の結合ピンと、 前記ベース部材を高位置と低位置との間での選択的な移
動動作が可能なエレベータドライブ手段と、 ドライブシャフトと、 前記ドライブシャフトを回動するモータ手段と、 前記高位置と前記低位置との間の範囲の位置において前
記ドライブアームシャフトを前記ドライブシャフトに駆
動可能に結合する結合手段とを含み、 前記ドライブアームシャフトは、垂直に方向づけられか
つ下側端部へと延在する長手軸を有し、 前記ドライブシャフトは、前記ドライブアームシャフト
と軸状に整列されかつ上側端部へと延在し、 前記結合手段は、 前記下側端部近傍において前記ドライブアームシャフト
に固着されかつ前記ドライブアームシャフトから突出す
る正面対向端部を有する直径方向延在軸材と、 それぞれ前記対向端部において前記軸材に回動自在に取
り付けられた第１及び第２の対向ローラーと、 前記ドライブシャフトの前記上側端部を越えて延出しか
つ前記第１及び第２のローラーに対して結合可能な受け
をなす第１及び第２の表面を有する第１及び第２の軸方
向延在正面対向突出部とを含み、 前記エレベータドライブ手段の動作中において、前記第
１及び第２のローラーは、それぞれ前記ドライブアーム
シャフトの駆動のために前記第１及び第２の回転表面と
の結合を保持する、 移送装置。 - 【請求項１７】請求の範囲第16項に記載の移送装置であ
って、 前記平坦台部を前記引き込み位置に偏倚させるべく前記
ドライブアーム手段に弾性力を付与する弾性手段を含む
移送装置。 - 【請求項１８】請求の範囲第17項に記載の移送装置であ
って、 前記弾性手段は、前記平坦台部と前記ドライブアームと
の間に延在しかつ前記平坦台部と前記ドライブアームと
にそれぞれ固着された引張ばねを含む移送装置。 - 【請求項１９】請求の範囲第17項に記載の移送装置であ
って、 前記ベースプレートに一体化されかつ前記ベースプレー
トから直立する停止プレートを含み、前記弾性手段は、
前記ドライブアームを前記停止プレートに近接する関係
にするよう偏倚させる、 移送装置。 - 【請求項２０】請求の範囲第19項に記載の移送装置であ
って、 前記ドライブアームに取り付けられた第１のマグネット
と、 前記停止プレートに取り付けられ前記第１のマグネット
とは逆の極性を有し、前記ドライブアームが前記停止プ
レートに近接して配置されたときに前記第１のマグネッ
トに並置され前記ドライブアームを前記停止プレートへ
向かって引き寄せる第２のマグネットと、 を含む移送装置。 - 【請求項２１】ロードロック室部として内側に実質的に
微粒子の存在しない環境を有する室部を形成し、前記ロ
ードロック室部に通じるロードポートを含むロードロッ
クとの組み合わせにおいて、多数のウェーハを上下方向
に積み重ねたカセットを移送する装置であって、 前記ロードロック室部内に設置された上下方向に移動自
在なベース部材と、 間隔をおきかつ略積重された関係をもって複数のウェー
ハを受け入れて運搬するためのラック部材を有する可搬
キャリアを支持する平坦台部と、 前記ベース部材に取り付けられ、前記平坦台部が第１の
方位を呈する前記ロードロック室部外の引き込み位置か
ら前記平坦台部が前記第１の方位から角度的に転位され
た第２の方位を呈する前記ロードロック室部内の引き出
し位置までの間において、前記引き込み位置にあるとき
に前記平坦台部が占める平面に沿って、前記平坦台部を
移動するドライブアーム手段と、 前記ベース部材を高位置と低位置との間での選択的な移
動動作が可能なエレベータドライブ手段と、 ドライブシャフトと、 前記ドライブシャフトを回動するモータ手段と、 前記高位置と前記低位置との間の範囲の位置において前
記ドライブアームシャフトを前記ドライブシャフトに駆
動可能に結合する結合手段とを含み、 前記ドライブアーム手段は、 前記ベース部材に枢動自在に取り付けられかつ前記引き
込み位置と前記引き出し位置との間において移動可能な
ドライブアームと、 前記ベース部材に回転自在に取り付けられ、前記引き込
み位置と前記引き出し位置との間における前記平坦台部
の移動のために前記ドライブアームが固着されるドライ
ブアームシャフトと、 前記ベース部材と前記平坦台部との間に延在する拘束連
結部と、 前記拘束連結部及び前記ベース部材を枢動自在に結合す
るとともに、前記ドライブアームシャフトと近接しなが
らも間隔をおいて配置される第１の結合ピンと、 前記ドライブアーム及び前記平坦台部を枢動自在に結合
するドライブアームピンと、 前記拘束連結部及び前記平坦台部を枢動自在に結合する
とともに、ドライブアームピンと近接しながらも間隔を
おいて配置される第２の結合ピンと、 を含み、 前記ドライブアームシャフトは、垂直に方向づけられか
つ下側端部へと延在する長手軸を有し、 前記ドライブシャフトは、前記ドライブアームシャフト
と軸状に整列されかつ上側端部へと延在し、 前記結合手段は、 前記下側端部近傍において前記ドライブアームシャフト
に固着されかつ前記ドライブアームシャフトから突出す
る正面対向端部を有する直径方向延在軸材と、 それぞれ前記対向端部において前記軸材に回動自在に取
り付けられた第１及び第２の対向ローラーと、 前記ドライブシャフトの前記上側端部を越えて延出しか
つ前記第１及び第２のローラーに対して結合可能な受け
をなす第１及び第２の表面を有する第１及び第２の軸方
向延在正面対向突出部とを含み、 前記エレベータドライブ手段の動作中において、前記第
１及び第２のローラーは、それぞれ前記ドライブアーム
シャフトの駆動のために前記第１及び第２の回転表面と
の結合を保持する、 移送装置。
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