JPH09508758A - ロードロックのロードアーム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 ロード移送装置は、ベース部材と、ロードを支持する平坦台部と、ベース部材に遊動自在に設置され、台部が第１の方位を呈する引き込み位置と当該台部が第２の角度形成置換方位を呈する引き出し位置との間において、当該台部が当該引き込み位置にあるときに占められる平面上に実質的に存続しつつ平面的にその台部を動かすドライブアームとを具備している。ドライブアームは、ドライブアームシャフトに固着される一方、該シャフトは、ベース部材に回動自在に取り付けられている。拘束連結部は、ベース部材と台部との間に延びており、ドライブアームとほぼ平行である。エレベータドライブは、高位置及び低位置においてベース部材の移動動作が可能であり、結合部は、当該高位置と当該低位置との間に亘る範囲の位置についてドライブアームシャフトをドライブシャフトに駆動自在に結合する。ベースプレートは、直立の停止プレートを含む。引張ばねは、台部とドライブアームとの間に延在し、ドライブアームを停止プレートに近接する関係にするよう偏倚させ、台部を引き込み位置に偏倚させる。逆極性の一対の並置マグネットは、それぞれドライブアームと停止プレートとに取り付けられ、これによりドライブアームを停止プレートに向かって引き寄せる。本発明の装置は、微粒子の殆ど無い環境を有する室部を形成するロードロックとの組み合わせで使用することが可能である。

Description

【発明の詳細な説明】 ロードロックのロードアーム 発明の背景 １． 発明の分野 本発明の装置は、広く資材移送（または搬送）装置に関する。移送される資材 には、シリコンやガリウム砒素のような半導体ウェーハ，高密度配線の如き半導 体パッケージ基板，マスクまたはレチクルのような半導体製造工程の描画プレー ト，及びアクティブマトリクスＬＣＤ基板のような広面積ディスプレイパネルを 含むが、これらに限定されるものではない。 ２． 従来技術の説明 この明細書の中で、用語「ウェーハ」は、ここで述べられるような基板（サブ ストレート）を指すよう一貫して用いられるが、この用語は、全ての基板に当て はめることが可能なように、広い文脈において使用されるべく意図されたもので あることを理解されたい。典型例として、このような基板は、円形であり、２０ ０ｍｍの直径を有しかつ厚さがおよそ０．７６０ｍｍであるが、最近では、かか る選定される直径が同じ厚さで３００ｍｍにまで進展している。本発明は、かか る新しいサイズの基板を扱うのに特に有益である。 半導体デバイスの製造における複数のワークステーションまたは作業場所にお いてこの種の敏感なシリコンウェー ハを移送することは、独特な取り扱い上の問題が伴うものである。シリコンウェ ーハは、相当に繊細なものであるとともに高度に磨かれた表面を有しており、し かも最大の処理量（スループット）を得るために迅速にかつ正確に取り扱われな ければならない。従前は、カセット、すなわち間隔をおきかつ積み重ねられた関 係にて複数のウェーハを手動操作にてロードロック（load lock）若しくは他の 中間的に保持するステーションに支持・運搬する持ち運び自在なキャリア（運搬 器）を配置するのが慣例であった。このような保持ステーションは、さらに別の 移送ステーションに近接しており、かかる移送ステーションは、通常、そこから ウェーハが複数の処理ステーションへと搬送されたり、当該移送ステーションへ ウェーハが複数の処理ステーションから搬送されたりするものである。既知の構 造においては、ロードロックは、ウェーハ若しくは多数のウェーハを保持するカ セットを当該ロードロックに配置する人間またはロボットによるローダを必要と している。この処理は、かかる室部壁面とウェーハとの間の遊隙が慣習的に小さ いので、しばしば困難なものとなる。 ある１つの場所から他の場所へウェーハを移送するものとして様々な構成が知 られている。かかる装置の代表的なものとしては、米国特許の、ボノーラ（Bono ra）のＮｏ．４，６７４，９３６やボノーラのＮｏ．４，８０２，８０９、ボノ ーラらのＮｏ．５，１６９，２７２に開示がある。 これら特許の各々は、ＳＭＩＦ（標準機械インターフェース）システムコンテナ ーから多数のウェーハを支持するカセットを移送する装置を開示している。 デービス（Davis）らの米国特許Ｎｏ．４，７３０，９７６においては、関節 連結アーム・アッセンブリは、「蛙のような」動きで伸び縮みしウェーハを複数 の位置の間で移送している。かかる関節連結アーム・アッセンブリは、放射面内 において遊動軸ポイントにつき回転可能となっており、１つの軸方向に沿って上 昇させられたり下降させられたりすることができる。 デービスらの改良は、一般に割り当てられる、「蛙のような」若しくは「蛙の けり」のタイプの動きをここでも利用しているヘンドリクソン（Hendrickson） の米国特許Ｎｏ．５，１８０，２７６において提供される。ウェーハ搬送装置の 他の構成例が、ウェストレイク（Westrake）の国際出願Ｎｏ．ＰＣＴ／ＵＳ８７ ／０１１７６に開示されており、これには、ロードロックの中のカセットからウ ェーハを取り出し、それを処理上無効な室部へと進める機構が開示されている。 本発明は、上述した従来技術の状況に鑑みて想到されかつ実施されたものであ る。特に、本発明は、ウェーハの保護を確実にしつつ、既存のシステムと互換性 のある方法によって既存のウェーハ処理システムの処理量を増大せんとしてなさ れたものである。 発明の概要 本発明によれば、被搬送物（以下、単にロード（load）と称する）移送装置は 、ベース部材と、ロードを支持する平面状台部と、ベースプレートに遊動自在に 設置され、かかる台部が第１の方位を呈する引き込み位置と当該台部が第２の角 度形成置換方位を呈する引き出し位置との間において、当該台部が当該引き込み 位置にあるときに占められる平面上に実質的に存続しつつ平面的にその台部を動 かすドライブアームとを具備している。ドライブアームは、ドライブアームシャ フトに固着される一方、該シャフトは、ベースプレートに回動自在に取り付けら れている。拘束連結部は、ベースプレートと台部との間に延びており、ドライブ アームとほぼ平行である。エレベータドライブは、高位置及び低位置においてベ ースプレートの移動動作が可能であり、結合部は、当該高位置と当該低位置との 間に亘る範囲の位置についてドライブアームシャフトをドライブシャフトに駆動 自在に結合する。ベースプレートは、直立の停止プレートを含む。引張ばねは、 台部とドライブアームとの間に延在し、ドライブアームを停止プレートに近接す る関係にするよう偏倚させるとともに、台部を引き込み位置に偏倚させる。逆極 性の一対の並置マグネットは、それぞれドライブアームと停止プレートとに取り 付けられ、これによりドライブアームを停止プレートに向かって引き寄せる。本 発明の装置は、微粒子の殆ど無い環境を有する室 部を形成するロードロックとの組み合わせで使用することが可能である。 本発明の主たる目的は、ウェーハ処理システムの生産性を向上させることであ る。 本発明の他の目的は、間隙をもって積み重ねられる関係にて複数のウェーハを 含むカセットをウェーハ処理システムに近接した支持棚部から当該システム内の さらに別の動作のために適切に位置づけられたロードロックへ移送することであ る。 本発明のこれ以外の各特徴、効果及び有益性は、後続の図面に従ってなされる 以下の説明において明らかとなる筈である。前述した一般的な説明や以下の詳細 な説明は、模範的なものでかつ説明上のものであるが、本発明を限定するもので はない。この発明の一部に編入されかつその一部を構成する添付図面は、本発明 の一実施例を示したものであり、その説明とともに、一般的用語での本発明の原 理の説明を担うものである。本開示内容に亘って数字はどれも構成部分を参照す るものである。 図面の簡単な説明 図１は、本発明のウェーハ移送装置を利用することの可能なタイプの一対の並 列処理システムの上面概略図である。 図２は、本発明を具体的に表すウェーハ移送装置を利用する図１の処理システ ムの一方のみを、より詳細に示す上面概略図である。 図３は、図２に示された処理システムの正面図である。 図４は、簡明に説明するために所定の部分が切り離されている、図３に示され た処理システムの側面図である。 図５は、簡明に説明するために所定の部分が切り離されかつ断面にて示されて いる、本発明の移送装置を示す透視図である。 図６は、図５に示された移送装置の上面図である。 図７は、簡明に説明するために所定の部分が切り離されかつ断面にて示されて いる、図５及び図６に示される移送装置の側面図である。 図８は、簡明に説明するために所定の部分が切り離されかつ断面にて示され、 引き込み位置における部品が描かれている、図２において示された構造をさらに 詳しく示す拡大上面図である。 図９は、引き出し位置における部品が描かれている、図８と同様の拡大上面図 である。 図１０は、本発明の所定の部品が引き込み位置から中間位置そして最後には引 き出し位置へと動くときの運動を示す上面図である。 図１１は、本発明の一部品を示す詳細透視図である。 図１２は、本発明の他の部品を示す詳細透視図である。 図１３は、図１１及び図１２の個々の部品を相互結合関係をもって示す部分的 断面の上面図である。 図１４は、本発明の他の実施例の詳細な側面図である。 図１５は、図１４において示された実施例の上面図である。 図１６は、本発明の他の実施例の詳細な上面図である。 好適な実施例の詳細な説明 かかる図面を参照すると、先ず図１はウェーハやフラットパネルのようなシリ コン平面基板に作用する一列の処理システム２０を示している。初めに注記して おくに、用語「ウェーハ」は、かかる基板に言及するための一貫性の目的で使用 されるが、全ての基板に適用可能であるように、広い分脈において使用されるこ とを意図されたものであることが分かると所存する。処理システム２０は、例え ば、壁部２４により外部環境から隔離された「クリーンルーム」２２内において 並列型に構成される。ごく最近では、かかるクリーンルームを排除し、その代わ りにシステム２０内でかつ当該システムに整合する各手段内において所望の清浄 環境を維持するのが通例となってきている。 いずれにしても、数多くのウェーハ２５（図２）は、カセット２６内またはＳ ＭＩＦ（「標準機械インターフェース（standard mechanical interface）」） ボックスのような制御された環境のキャリア内において運ばれるのが通例となっ ている。このような場合、複数のウェーハは、かかるカセットに装填され、ここ で、間隔の空けられ積み重ねられた関係をもって支持され、その後に手操作また はその他の手段により運送され、そして処理の移行を待つ該当 のシステム２０に隣接する棚部２８に載置される。カセットは、入り口ドア３４ （図２，３，４）がロードポート３５（図４）を介してアクセスすることができ るよう開いたときに、前もって、外部から手操作によって、またはロボットを利 用してロードロック３２内における待機チャンバー（室部）３０に入れられる。 説明すべき移送装置３６によって、カセット２６は、棚部２８から持ち上げられ かつ外されてロードロック３２のチャンバー３０へと当該チャンバーの内から動 かされる。これに続いて、本発明の構成部分を形成しない装置によって、ウェー ハ２５は、１つずつ運送チャンバー３８に移動させられ、そこから複数の処理ス テーション４０のうちの１つまたはそれ以上の所へと移動させられる。 本発明によれば、さらに詳しく図４ないし図９を参照すると、移送装置３６は 、ベースプレート４２と、エレベータドライブ機構４４とを有する。エレベータ ドライブ機構４４は、高位置（図３において破線により描かれている）と低位置 （図３において実線により描かれている）との間でそのベースプレートを選択的 に動かすよう動作可能である。かかる移動は、所望されるように、ある実距離分 か若しくは増大させるかして行うことができる。ドライブアーム機構４６は、ベ ースプレート４２に取り付けられる一方、ロード、特にカセット２６または他の 形態のウェーハキャリアを支持する平面台４８を据え置いている。その記述す ベきと思われる構造は、かかる載置台４８が第１の方位を呈する引き込みまたは 格納位置（図３及び図８）から、その第１の方位から角度的に転位された第２の 方位を呈する引き出しまたは取り出し位置（図４及び図９）に至る間において平 面的に当該載置台４８を移動させるよう動作する。載置台２８は、引き出し位置 に動いたときでも、実質的に、引き込み位置にあるときに含んでいた平面内にあ るままとなる。 「第１の方位及び第２の方位」なる用語についてさらに理解を深めるために、 図２を参照すると、カセット２６は、棚部２８に適正に取り付けられており、そ の四角形の各辺は、壁部２４に平行であるかまたは直角をなしている。但し、チ ャンバー３０内の台座４８に配置されるときは、引き続きウェーハ２５を運送チ ャンバー３８へその後は処理ステーション４０へと移送することを適確に可能と するために、壁部２４の平面に対して傾かせる必要がある。移送装置３６は、カ セット２６の棚部２８からチャンバー３０への移送中には、ロードロック３２と 運送チャンバー３８との間で、壁部２４にほぼ整列された方位からインターフェ ース弁またはバルブ５０にほぼ整列された方位へと当該台座が平面的に適確に移 動することを保証するものである。図１０は、台座４８が引き込み位置から中間 位置を経て最後には引き出し位置へと動く場合に伴う運動を描いた上面図である 。 このために、ドライブアーム機構４６は、前述した如く引き込み位置（図４， 図８）と引き出し位置（図５，図９）との間で動くことができるようにベースプ レート４２に枢軸回動するよう（または遊動自在にして）取り付けられたドライ ブアーム５２を含んでいる。より詳しくは、垂直延在ドライブアームシャフト５ ４は、間隙軸受（spaced bearing）５６，５８によってベースプレートに回動可 能に取り付けられており、ドライブアームは、例えば楔のような手段によって、 引き込み位置から引き出し位置まで台座４８を動かすためにそのドライブアーム シャフトに固着されている。 拘束連結部６０は、ベースプレート４２と台座４８との間に延びている。より 詳しくは、かかる拘束連結部６０は、第１の結合ピン６２によるなどしてベース 支持体６４に枢軸回動するよう（遊動自在にして）取り付けられており、かかる 支持体は、ベースプレート４２と一体化されかつ当該ベースプレートに対し間隙 をもってかつ平行な面内において延在する。第１の結合ピン６２から離隔してい る第２の結合ピン６６は、拘束連結部及び台座を枢軸回動するよう（遊動自在に して）結合する機能を担う。ドライブアームシャフト５４から離隔しているドラ イブアームピン６８は、ドライブアーム及び台座を枢軸回動するよう結合する機 能を担う。この構成において、第１の結合ピン６２は、ドライブアームシャフト ５４に間隔をおいて近接し、第２ の結合ピン６６は、ドライブアームピンに間隔をおいて近接している。さらに、 ドライブアームシャフト５４、ドライブアームピン６８、第１の結合ピン６２、 及び第２の結合ピン６６の長手軸は、全て概ね平行である。また、これらの部材 ないし部品は全て、ドライブアーム機構４６が引き込み位置から引き出し位置へ 移動したときに、上述した如く、台座４８が同時にその第１方位から第２方位に 移動するように、相互に位置が決められている。 引張ばね（スプリング）７０の態様を採る弾性部材は、特に引き込み位置に台 座を片寄らせるために、台座４８とドライブアーム５２との間において延在しか つそれぞれに固定されている。引張ばね７０の他の機能は、以下に説明される。 移送装置３６は、さらにドライブシャフト７２と、当該ドライブシャフトを回 転するための適当なモータ７３とを含んでいる。結合機構７４（特に、図７及び 図１１ないし図１３参照）は、高及び低位置（図３）の間において、ベースプレ ート４２とそれに支持されるカセット２６とによって為されるべき位置の範囲に 亘って、ドライブアームシャフト５４をドライブシャフト７２に動力伝達するよ うに（駆動可能に）結合する。ドライブアームシャフト５４は、垂直に方向づけ られ、近傍において直径に沿って延在する車軸（軸材）７６が固定されている低 端部へと延びる長手軸を有する。かかる車軸は、（長手軸断面の）直径に沿う 穿孔において適確に受けられ、ドライブアームシャフト５４から突き出る完全に 対向した端部（正面対向端部）を有する。一対の対向ローラ７８は、かかる車軸 の対向端部においてそれぞれ回転可能なように取り付けられる。 ドライブシャフト７２は、ドライブアームシャフト５４と軸方向において揃え られ、かつ一対の軸方向延在相対向駆動突起部８０が、当該ドライブシャフトの 上側端部を越えて延び、それぞれが連結（結合）可能な受け部のための第１及び 第２の回転表面８２を有するところの上側端部へと延びている。引張ばねはまた 、かかる駆動突起部８０の回転表面８２と接触（結合）するようにローラ７８を 片寄らせるないしは偏倚させることも担う。この構成によって、エレベータドラ イブ機構４４の動作中に、ローラ７８は、ドライブアームシャフト５４を回転／ 回動するために各回転表面と結合された状態を持続する。 図５ないし図９に見られるように、停止プレート８４は、ベースプレート４２ と一体化されており、また、当該ベースプレートから直立している。引張ばね７ ０はまた、ドライブアーム５２を停止プレートに近接する関係に片寄らせる（偏 倚させる）。これは、台座４８とドライブアーム機構４６とが引き込み位置にあ るときに機能するものである。このような停止プレートとの近接関係にドライブ アーム５２を一時的に保持または偏倚させるために、第１のマグネット８６は、 ドライブアームの適切な位置に取り付けられ、 当該マグネット８６とは反対の極性を有する第２のマグネット８８が停止プレー トに適切にして取り付けられる。この目的のために、ドライブアーム５２が停止 プレート８４に近接したときに第２のマグネットが第１のマグネットと並置され る。停止プレート８４（図６）における所定のねじ切り済みホールと螺合した止 ねじまたは押しねじ８９は、停止プレートの側部表面から突出しており、その末 端は、ドライブアーム５２が停止プレートに対して近接位置にあるときに当該ド ライブアームに掛かる。セットスクリューすなわち押しねじ８９を操縦すること によって、ドライブアームと停止プレートとの間隔を調整することができる。 移送装置３６の動作は、例えばチャンバー３０（図８参照）内に位置する空の 台座４８をもって開始されうる。それに引き続きモータ７３は、ドライブシャフ ト７２を回転するよう動かされ、これに伴いドライブアームシャフト５４は台座 ４８を引き出し位置（図９参照）へ送ることとなる。台座４８は、棚部２８に支 持されているカセット２６の下方において自由に滑走するための適正な高さにあ る。台座４８がカセットの下に直角に（または真正面に）位置すると、エレベー タドライブ機構４４は、カセットを棚部２８から引き揚げるよう動作し、そうし てモータ７３が再び動作して初期動作とは逆の、当該台座４８を戻すべく動作を 今度は当該カセットを支持してチャンバー３０へ向かって行い、再度図８におい て示される状態を呈することと なる。 本発明のもう１つの実施例たる結合機構９０は、図１４及び図１５に描かれて いる構造を有する。この例の場合、改変されたドライブシャフト７２Ａは、その 上側端部において、対向する回転表面９６を定める対向する二股の脚部９４の間 に横断する溝すなわちスロット９２を有する。ドライブアームシャフト５４の下 側端部は、前述しかつ図１０に示したものと同等の構造を有する。かかる端部と してローラ７８は、スロット９２内に回転するよう受けられ、回転表面９６と結 合される。先述の実施例の場合におけるが如く、ドライブアームシャフト５４が ベースプレート４２とともに上がったり下がったりするときにも、ドライブシャ フト７２Ａの回転は、ドライブアームシャフト５４を駆動する回転を付与する。 本発明のさらに他の実施例は、図１６に描かれている。この例においては、ウ ェーハ収納カセットを支持する棚部２８Ａは、ロードロック３２Ａの前に真っ直 ぐに位置づけられるので、当該カセットを受け取る台座４８Ａは、引き出し位置 にあるときと同じ角度をもって配される引き込み位置にあるときの向きを有し、 始終、実質的に、その引き込み位置にあるとき占められていた平面上にあるまま となる。この成果は、ドライブアーム５２及び拘束連結部６０の相対的長さを適 切に調整することによって得られることとなる。 移送装置３６には、動作部品の状態を示す特定の検知装置が設けられる。例え ば、カセットが台座４８に置かれたか否かを検知することが望ましい。図７に示 されるように、台座４８は、カセット有無センサ１０２を受ける凹部１００を有 する。このセンサ１０２は、撓み部材１０６を台座に付けるためのベース１０４ を含む。カセット結合（接触）ボタン１０８は、撓み部材１０６の末端に一体化 している。撓み部材１０６は、これもまた台座４８に取り付けられているスイッ チ１１０に上敷きされる。カセットは、台座４８に置かれると、ボタン１０８と 結合し、撓み部材１０６を押し下げ、スイッチ１１０を作動させる。カセットが 台座から除去されると、ボタン１０８はもはや結合することはなくなり、撓み部 材１０６は、作動しなくなったスイッチとの結合から外れて振れることとなる。 また移送装置３６には、台座４８の位置、すなわちそれが引き込み位置にある か或いは引き出し位置にあるかを示す特定の検知装置が設けられる。例えば、図 １０を参照すると、引き込みセンサ１１２は、ロードロック３２の壁部に適切に 取り付けられたマグネット１１４と、台座４８の裏側に取り付けられた組み合わ せの磁気的リードスイッチ１１６とを含んでいる。台座が引き込み位置（一点鎖 線により示される）に入ると、マグネット１１４は、台座が実際に引き込み位置 にあることを示すべくスイッチ１１６を作動させる。同様にして、引き出しセン サー１１８は、台 座４８の裏側に適切にして取り付けられたマグネット１２０と、連結部６０に取 り付けられた組み合わせの磁気的リードスイッチ１２２とを含んでいる。台座が 引き出し位置（実線により示される）に入ると、マグネット１２０は、台座が実 際に引き出し位置にあることを示すべくスイッチ１２２を作動させる。 以上、本発明の好適な実施例を詳細に説明してきたが、種々様々な変形例が、 この詳細な説明及び添付の請求の範囲において定義されるように、本発明の範囲 から逸脱することなく提示した実施例から実現可能であることは、当業者により 理解されうるところである。

【手続補正書】特許法第１８４条の７第１項 【提出日】１９９６年９月１６日 【補正内容】 請求の範囲（翻訳文） １． ロードを移送する装置であって、 ベース部材と、 ロードを支持する平坦台部と、 前記ベース部材に取り付けられ、前記台部が第１の方位を呈する引き込み位置 から前記台部が当該第１の方位とは角度的に転位された第２の方位を呈する引き 出し位置に亘って、当該引き込み位置にあるときに占められる平面上に実質的に 存続させつつ、平面的に前記台部を移動するドライブアーム手段と、 前記台部を当該引き込み位置に偏倚させる弾性手段とを有し、 前記ドライブアーム手段は、 前記ベース部材に遊動自在に取り付けられかつ当該引き込み位置と当該引き出 し位置との間において移動可能なドライブアームと、 前記ベース部材に回転自在に取り付けられ、当該引き込み位置と当該引き出し 位置との間における前記台部の移動のために前記ドライブアームが固着されるド ライブアームシャフトと、 前記ベース部材と前記台部との間に延在する拘束連結部と、 前記拘束連結部及び前記ベース部材を遊動自在に結合する第１の結合ピンと、 前記第１の結合ピンから距離をおき、前記拘束連結部及び前記台部を遊動自在 に結合する第２の結合ピンと、 前記ドライブアームシャフトから距離をおき前記ドライブアーム及び前記台部 を遊動自在に結合するドライブアームピンとを含み、 前記第１の結合ピンは、前記ドライブアームシャフトに間隔をもって近接し、 前記第２の結合ピンは、前記ドライブアームピンに間隔をもって近接している 、 ロード移送装置。 ２． 請求の範囲第１項に記載のロード移送装置であって、 当該引き込み位置において前記台部により呈される当該第１の方位は、当該引 き出し位置において前記台部により呈される当該第２の方位と同一であるロード 移送装置。 ３． 請求の範囲第１項に記載のロード移送装置であって、 当該引き込み位置において前記台部により呈される当該第１の方位は、当該引 き出し位置において前記台部により呈される当該第２の方位から角度的に転位さ れている、 ロード移送装置。 ５． 請求の範囲第１項に記載のロード移送装置であって、 前記ドライブアームシャフト、前記ドライブアームピン、 前記第１の結合ピン、及び前記第２の結合ピンの各々は、長手軸を有し、 前記ドライブシャフト、前記ドライブアームピン、前記第１の結合ピン、及び 前記第２の結合ピンの当該長手軸は、全て概ね平行であるロード移送装置。 ６． 請求の範囲第１項に記載のロード移送装置であって、 前記ドライブシャフト、前記ドライブアームピン、前記第１の結合ピン、及び 前記第２の結合ピンは、前記ドライブアーム手段が当該引き込み位置から当該引 き出し位置へ移動したときに前記台部が同時に当該第１の方位から当該第２の方 位へ移動することを保証するよう相互に位置づけられているロード移送装置。 ７． 請求の範囲第１項に記載のロード移送装置であって、 ロードロック室部として内側に室部を形成し、当該ロードロック室部に通じる ロードポートを有するロードロックを含むロード移送装置。 ９． 請求の範囲第１項に記載のロード移送装置であって、 前記弾性手段は、前記台部と前記ドライブアームとの間において延在しかつ前 記台部及び前記ドライブアームの各々に固着されている引張ばねを含むロード移 送装置。 １２． 請求の範囲第３１項に記載のロード移送装置で あって、 前記台部を当該引き込み位置に偏倚させる弾性手段を含むロード移送装置。 １３． 請求の範囲第１２項に記載のロード移送装置であって、 前記弾性手段は、前記台部と前記ドライブアームとの間に延在しかつ前記台部 と前記ドライブアームとにそれぞれ固着された引張ばねを含むロード移送装置。 １４． 請求の範囲第１２項に記載のロード移送装置であって、 前記ベースプレートに一体化されかつ前記ベースプレートから直立する停止プ レートを含み、前記弾性手段は、前記ドライブアームを前記停止プレートに近接 する関係にするよう偏倚させる、 ロード移送装置。 １５． 請求の範囲第１３項に記載のロード移送装置であって、 前記ドライブアームに取り付けられた第１のマグネットと、 前記停止プレートに取り付けられ前記第１のマグネットとは逆の極性を有し、 前記ドライブアームが前記停止プレートに近接して配置されたときに前記第１の マグネットに並置され前記ドライブアームを前記停止プレートへ向かって引き寄 せる第２のマグネットと、 を含むロード移送装置。 １６． ロードロック室部として内側に実質的に微粒子の存在しない環境を有 する室部を形成し、当該ロードロック室部に通じるロードポートを含むロードロ ックとの組み合わせにおいて、半導体ウェーハのロードを移送する装置であって 、 当該ロードロック室部の内側に取り付けられたベース部材と、 間隔をおきかつ略積重された関係をもって当該複数のウェーハを受け入れて運 搬するためのラック部材を有する可搬キャリアを支持する平坦台部と、 前記ベース部材に取り付けられ、前記台部が第１の方位を呈する当該ロードロ ック室部外の引き込み位置から前記台部が当該第１の方位から角度的に転位され た第２の方位を呈する当該ロードロック室部内の引き出し位置までの間において 、当該引き込み位置にあるときに占められる平面上に実質的に存続しつつ、前記 台部を移動するドライブアーム手段と、 前記台部を当該引き込み位置へ偏倚させる弾性手段と、 前記ドライブアーム手段は、 前記ベース部材に遊動自在に取り付けられ、当該引き込み位置と当該引き出し 位置との間において移動可能であり、かつ前記平坦台部が取り付けられたドライ ブアームと、 前記ベース部材に回転自在に取り付けられ、当該引き込 み位置と当該引き出し位置との間における前記台部の移動のために前記ドライブ アームが固着されるドライブアームシャフトと、 前記ベース部材と前記台部との間に延在する拘束連結部と、 前記拘束連結部及び前記ベース部材を遊動自在に結合する第１の結合ピンと、 前記拘束連結部及び前記台部を遊動自在に結合する第２の結合ピンと、 前記ドライブアーム及び前記台部を遊動自在に結合するドライブアームピンと を含み、 前記第１の結合ピンは、前記ドライブアームシャフトに間隔をもって近接し、 前記第２の結合ピンは、前記ドライブアームピンに間隔をもって近接している 、 ロード移送装置。 １７． 請求の範囲第１６項に記載のロード移送装置であって、 当該引き込み位置において前記台部により呈される当該第１の方位は、当該引 き出し位置において前記台部により呈される当該第２の方位と同一であるロード 移送装置。 １８． 請求の範囲第１６項に記載のロード移送装置であって、 当該引き込み位置において前記台部により呈される当該 第１の方位は、当該引き出し位置において前記台部により呈される当該第２の方 位から角度的に転位されている、 ロード移送装置。 ２０． 請求の範囲第１６項に記載のロード移送装置であって、 前記ドライブアームシャフト、前記ドライブアームピン、前記第１の結合ピン 、及び前記第２の結合ピンの各々は、長手軸を有し、 前記ドライブシャフト、前記ドライブアームピン、前記第１の結合ピン、及び 前記第２の結合ピンの当該長手軸は、全て概ね平行であるロード移送装置。 ２１． 請求の範囲第１６項に記載のロード移送装置であって、 前記ドライブシャフト、前記ドライブアームピン、前記第１の結合ピン、及び 前記第２の結合ピンは、前記ドライブアーム手段が当該引き込み位置から当該引 き出し位置へ移動したときに前記台部が同時に当該第１の方位から当該第２の方 位へ移動することを保証するよう相互に位置づけられているロード移送装置。 ２４． 請求の範囲第１６項に記載のロード移送装置であって、 前記弾性手段は、前記台部と前記ドライブアームとの間において延在しかつ前 記台部及び前記ドライブアームの各々に固着されている引張ばねを含むロード移 送装置。 ２９． 請求の範囲第１６項に記載のロード移送装置であって、 前記ベースプレートに一体化されかつ前記ベースプレートから直立する停止プ レートを含み、前記弾性手段は、前記ドライブアームを前記停止プレートに近接 する関係にするよう偏倚させる、 ロード移送装置。 ３０． 請求の範囲第２９項に記載のロード移送装置であって、 前記ドライブアームに取り付けられた第１のマグネットと、 前記停止プレートに取り付けられ前記第１のマグネットとは逆の極性を有し、 前記ドライブアームが前記停止プレートに近接して配置されたときに前記第１の マグネットに並置され前記ドライブアームを停止プレートへ向かって引き寄せる 第２のマグネットと、 を含むロード移送装置。 ３１． ロードを移送する装置であって、 ベース部材と、 ロードを支持する平坦台部と、 前記ベース部材に取り付けられ、前記台部が第１の方位を呈する引き込み位置 から前記台部が当該第１の方位とは角度的に転位された第２の方位を呈する引き 出し位置に亘って、当該引き込み位置にあるときに占められる平面上に 実質的に存続させつつ、平面的に前記台部を移動するドライブアーム手段とを有 し、 前記ドライブアーム手段は、 前記ベース部材に遊動自在に取り付けられかつ当該引き込み位置と当該引き出 し位置との間において移動可能なドライブアームと、 前記ベース部材に回転自在に取り付けられ、当該引き込み位置と当該引き出し 位置との間における前記台部の移動のために前記ドライブアームが固着されるド ライブアームシャフトと、 前記ベース部材と前記台部との間に延在する拘束連結部と、 前記拘束連結部及び前記ベース部材を遊動自在に結合するとともに、前記ドラ イブアームシャフトに間隔をもって近接している第１の結合ピンと、 前記第１の結合ピンから距離をおき、前記拘束連結部及び前記台部を遊動自在 に結合するとともに、前記ドライブアームピンに間隔をもって近接している第２ の結合ピンと、 前記ドライブアームシャフトから距離をおき前記ドライブアーム及び前記台部 を遊動自在に結合するドライブアームピンと、 前記ベース部材を高位置と低位置との間での選択的な移動動作が可能なエレベ ータドライブ手段と、 ドライブシャフトと、 前記ドライブシャフトを回動するモータ手段と、 当該高位置と当該低位置との間の範囲の位置において前記ドライブアームシャ フトを前記ドライブシャフトに駆動可能に結合する結合手段とを含み、 前記ドライブアームシャフトは、垂直に方向づけられかつ下側端部へと延在す る長手軸を有し、 前記ドライブシャフトは、前記ドライブアームシャフトと軸状に整列されかつ 上側端部へと延在し、 前記結合手段は、 前記下側端部近傍において前記ドライブアームシャフトに固着されかつ前記ド ライブアームシャフトから突出する正面対向端部を有する直径方向延在軸材と、 それぞれ前記対向端部において前記軸材に回動自在に取り付けられた第１及び 第２の対向ローラーと、 前記ドライブシャフトの前記上側端部を越えて延出しかつ前記第１及び第２の ローラーに対して結合可能な受けをなす第１及び第２の表面を有する第１及び第 ２の軸方向延在正面対向突出部とを含み、 前記エレベータドライブ手段の動作中において、前記第１及び第２のローラー は、それぞれ前記ドライブアームシャフトの駆動のために前記第１及び第２の回 転表面との結合を保持する、 ロード移送装置。 ３２． ロードロック室部として内側に実質的に微粒子 の存在しない環境を有する室部を形成し、当該ロードロック室部に通じるロード ポートを含むロードロックとの組み合わせにおいて、半導体ウェーハのロードを 移送する装置であって、 当該ロードロック室部内に設置されたベース部材と、 間隔をおきかつ略積重された関係をもって当該複数のウェーハを受け入れて運 搬するためのラック部材を有する可搬キャリアを支持する平坦台部と、 前記ベース部材に取り付けられ、前記台部が第１の方位を呈する当該ロードロ ック室部外の引き込み位置から前記台部が当該第１の方位から角度的に転位され た第２の方位を呈する当該ロードロック室部内の引き出し位置までの間において 、当該引き込み位置にあるときに占められる平面上に実質的に存続しつつ、前記 台部を移動するドライブアーム手段と、 前記ベース部材を高位置と低位置との間での選択的な移動動作が可能なエレベ ータドライブ手段と、 ドライブシャフトと、 前記ドライブシャフトを回動するモータ手段と、 当該高位置と当該低位置との間の範囲の位置において前記ドライブアームシャ フトを前記ドライブシャフトに駆動可能に結合する結合手段とを含み、 前記ドライブアーム手段は、 前記ベース部材に遊動自在に取り付けられかつ当該引き 込み位置と当該引き出し位置との間において移動可能なドライブアームと、 前記ベース部材に回転自在に取り付けられ、当該引き込み位置と当該引き出し 位置との間における前記台部の移動のために前記ドライブアームが固着されるド ライブアームシャフトと、 前記ベース部材と前記台部との間に延在する拘束連結部と、 前記拘束連結部及び前記ベース部材を遊動自在に結合するとともに、前記ドラ イブアームシャフトに間隔をもって近接している第１の結合ピンと、 前記拘束連結部及び前記台部を遊動自在に結合するとともに、ドライブアーム ピンに間隔をもって近接している第２の結合ピンと、 前記ドライブアーム及び前記台部を遊動自在に結合するドライブアームピンと を含み、 前記ドライブアームシャフトは、垂直に方向づけられかつ下側端部へと延在す る長手軸を有し、 前記ドライブシャフトは、前記ドライブアームシャフトと軸状に整列されかつ 上側端部へと延在し、 前記結合手段は、 前記下側端部近傍において前記ドライブアームシャフトに固着されかつ前記ド ライブアームシャフトから突出する正面対向端部を有する直径方向延在軸材と、 それぞれ前記対向端部において前記軸材に回動自在に取り付けられた第１及び 第２の対向ローラーと、 前記ドライブシャフトの前記上側端部を越えて延出しかつ前記第１及び第２の ローラーに対して結合可能な受けをなす第１及び第２の表面を有する第１及び第 ２の軸方向延在正面対向突出部とを含み、 前記エレベータドライブ手段の動作中において、前記第１及び第２のローラー は、それぞれ前記ドライブアームシャフトの駆動のために前記第１及び第２の回 転表面との結合を保持する、 ロード移送装置。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，Ｌ Ｕ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ， ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＵＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，Ｋ Ｚ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，Ａ Ｕ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＺ ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＥ，ＨＵ， ＩＬ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，Ｌ Ｋ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ， ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＴＪ，ＴＭ，Ｔ Ｒ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＺ，ＶＮ (72)発明者 ホフマイスター クリストファー エイ. アメリカ合衆国 ニューハンプシャー州 03841 ハンプステッド ウィールライト ロード 176 【要約の続き】 ぞれドライブアームと停止プレートとに取り付けられ、 これによりドライブアームを停止プレートに向かって引 き寄せる。本発明の装置は、微粒子の殆ど無い環境を有 する室部を形成するロードロックとの組み合わせで使用 することが可能である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １． ロードを移送する装置であって、 ベース部材と、 ロードを支持する平坦台部と、 前記ベース部材に取り付けられ、引き込み位置から引き出し位置までの間に亘 り平面的に前記台部を移動して、前記台部が、当該引き込み位置にあるときに占 められる平面上に実質的に存続しつつ、当該引き込み位置にあるときは第１の角 度形成配置方位を有し、当該引き出し位置にあるときは第２の角度形成配置方位 を有するようにしたドライブアーム手段と、 を有するロード移送装置。 ２． 請求の範囲第１項に記載のロード移送装置であって、 当該引き込み位置において前記台部により呈される当該第１の方位は、当該引 き出し位置において前記台部により呈される当該第２の方位と同一である、 ロード移送装置。 ３． 請求の範囲第１項に記載のロード移送装置であって、 当該引き込み位置において前記台部により呈される当該第１の方位は、当該引 き出し位置において前記台部により呈される当該第２の方位から角度的に転位さ れている、 ロード移送装置。 ４． 請求の範囲第１項に記載のロード移送装置であって、 前記ドライブアーム手段は、 前記ベース部材に遊動自在に取り付けられ、当該引き込み位置と当該引き出し 位置との間に亘り移動可能なドライブアームと、 前記ベース部材に遊動自在に取り付けられ、当該引き込み位置と当該引き出し 位置との間における前記台部の移動のために前記ドライブアームが固着されてい るドライブアームシャフトと、 前記ベース部材と前記台部との間に延在する拘束連結部と、 前記拘束連結部と前記ベース部材とを遊動自在に結合する第１の結合ピンと、 前記第１の結合ピンから距離を隔て、前記拘束連結部と前記台部とを遊動自在 に結合する第２の結合ピンと、 前記ドライブアームシャフトから距離を隔て、前記ドライブアーム及び前記台 部を遊動自在に結合するドライブアームピンとを有し、 前記第１の結合ピンは、前記ドライブアームシャフトの近傍にある一方前記ド ライブアームシャフトから間隔をおいており、 前記第２の結合ピンは、前記ドライブアームピンの近傍にある一方前記ドライ ブアームピンから間隔をおいている、 ロード移送装置。 ５． 請求の範囲第４項に記載のロード移送装置であって、 前記ドライブアームシャフト、前記ドライブアームピン、前記第１の結合ピン 、及び前記第２の結合ピンの各々は、長手軸を有し、 前記ドライブシャフト、前記ドライブアームピン、前記第１の結合ピン、及び 前記第２の結合ピンの当該長手軸は、全て概ね平行である、 ロード移送装置。 ６． 請求の範囲第１項に記載のロード移送装置であって、 前記ドライブシャフト、前記ドライブアームピン、前記第１の結合ピン、及び 前記第２の結合ピンは、前記ドライブアーム手段が当該引き込み位置から当該引 き出し位置へ移動したときに前記台部が同時に当該第１の方位から当該第２の方 位へ移動することを保証するよう相互に位置づけられている、 ロード移送装置。 ７． 請求の範囲第１項に記載のロード移送装置であって、 ロードロック室部として内側に室部を形成し、当該ロードロック室部に通じる ロードポートを有するロードロックを含む、 ロード移送装置。 ８． 請求の範囲第４項に記載のロード移送装置であって、 前記台座を当該引き込み位置に偏倚させる弾性手段を含む、 ロード移送装置。 ９． 請求の範囲第８項に記載のロード移送装置であって、 前記弾性手段は、前記台部と前記ドライブアームとの間において延在しかつ前 記台部及び前記ドライブアームの各々に固着されている引張ばねを含む、 ロード移送装置。 １０． 請求の範囲第４項に記載のロード移送装置であって、 高位置と低位置との間において前記ベース部材を選択的に移動することの可能 なエレベータドライブ手段と、 ドライブシャフトと、 前記ドライブシャフトを回動するモータ手段と、 当該高位置と当該低位置との間における範囲の位置に亘って前記ドライブアー ムシャフトを前記ドライブシャフトに駆動自在に結合する結合手段と、 を含むロード移送装置。 １１． 請求の範囲第１０項に記載のロード移送装置であって、 前記ドライブアームシャフトは、垂直に方向づけられた長手軸を有し、下側端 部へと延在し、 前記ドライブシャフトは、前記ドライブアームシャフトと軸状に整列され、上 側端部へと延在し、 前記結合手段は、 前記下側端部近傍において前記ドライブアームシャフトに固着され、前記ドラ イブアームシャフトから突出する正面対向端部を有する直径方向延在軸部と、 前記対向端部において前記軸部に回転自在に取り付けられた第１及び第２の対 向ローラーと、 前記ドライブシャフトの前記上側端部を越えて延在し、前記第１及び第２のロ ーラーと結合可能にして受けるための第１及び第２の回転表面を有する第１及び 第２の軸方向延在正面対向突出部とを有し、 前記エレベータドライブ手段の動作中において、前記第１及び第２のローラー は、前記ドライブアームシャフトを駆動するために前記第１及び第２の回転表面 とそれぞれ結合し続ける、 ロード移送装置。 １２． 請求の範囲第１１項に記載のロード移送装置であって、 前記台部を当該引き込み位置に偏倚させ、前記第１及び第２のローラーを前記 第１及び第２の突出部にそれぞれ結合するよう偏倚させる弾性手段を含む、 ロード移送装置。 １３． 請求の範囲第１２項に記載のロード移送装置であって、 前記弾性手段は、前記台部と前記ドライブアームとの間に延在しかつ前記台部 と前記ドライブアームとにそれぞれ固着された引張ばねを含んでいる、 ロード移送装置。 １４． 請求の範囲第１２項に記載のロード移送装置であって、 前記ベースプレートに一体化されかつ前記ベースプレートから直立する停止プ レートを含み、前記弾性手段は、前記ドライブアームを前記停止プレートに近接 する関係にするよう偏倚させる、 ロード移送装置。 １５． 請求の範囲第１３項に記載のロード移送装置であって、 前記ドライブアームに取り付けられた第１のマグネットと、 前記停止プレートに取り付けられ前記第１のマグネットとは逆の極性を有し、 前記ドライブアームが前記停止プレートに近接して配置されたときに前記第１の マグネットに並置され前記ドライブアームを前記停止プレートへ向かって引き寄 せる第２のマグネットと、 を含むロード移送装置。 １６． ロードロック室部として内側に実質的に微粒子の存在しない環境を有 する室部を形成し、当該ロードロック室部に通じるロードポートを含むロードロ ックとの組み合わせにおいて、半導体ウェーハのロードを移送する装置であって 、 当該ロードロック室部の内側に取り付けられたベース部材と、 間隔をおきかつ略積重された関係にて当該複数のウェーハを受け入れて運搬す るためのラック部材を有する可搬キャリアを支持する平坦台部と、 前記ベース部材に取り付けられ、当該ロードロック室部内の引き込み位置から 当該ロードロック室部外の引き出し位置に亘り平面的に前記台部を移動して、前 記台部が、当該引き込み位置にあるときに占められる平面上に実質的に存続しつ つ、当該引き込み位置にあるときは第１の角度形成配置方位を有し、当該引き出 し位置にあるときは第２の角度形成配置方位を有するようにしたドライブアーム 手段と、 を有するロード移送装置。 １７． 請求の範囲第１６項に記載のロード移送装置であって、 当該引き込み位置において前記台部により呈される当該第１の方位は、当該引 き出し位置において前記台部により呈される当該第２の方位と同一である、 ロード移送装置。 １８． 請求の範囲第１６項に記載のロード移送装置であって、 当該引き込み位置において前記台部により呈される当該第１の方位は、当該引 き出し位置において前記台部により呈される当該第２の方位から角度的に転位さ れている、 ロード移送装置。 １９． 請求の範囲第１６項に記載のロード移送装置であって、 前記ドライブアーム手段は、 前記ベース部材に遊動自在に取り付けられ、当該引き込み位置と当該引き出し 位置との間に亘り移動可能であり、平坦台部が取り付けられるドライブアームと 、 前記ベース部材に遊動自在に取り付けられ、当該引き込み位置と当該引き出し 位置との間における前記台部の移動のために前記ドライブアームが固着されてい るドライブアームシャフトと、 前記ベース部材と前記台部との間に延在する拘束連結部と、 前記拘束連結部と前記ベース部材とを遊動自在に結合する第１の結合ピンと、 前記拘束連結部と前記台部とを遊動自在に結合する第２の結合ピンと、 前記ドライブアーム及び前記台部を遊動自在に結合する ドライブアームピンとを有し、 前記第１の結合ピンは、前記ドライブアームシャフトの近傍にある一方前記ド ライブアームシャフトから間隔をおいており、 前記第２の結合ピンは、前記ドライブアームピンの近傍にある一方前記ドライ ブアームピンから間隔をおいている、 ロード移送装置。 ２０． 請求の範囲第１６項に記載のロード移送装置であって、 前記ドライブアームシャフト、前記ドライブアームピン、前記第１の結合ピン 、及び前記第２の結合ピンの各々は、長手軸を有し、 前記ドライブシャフト、前記ドライブアームピン、前記第１の結合ピン、及び 前記第２の結合ピンの当該長手軸は、全て概ね平行である、 ロード移送装置。 ２１． 請求の範囲第１６項に記載のロード移送装置であって、 前記ドライブシャフト、前記ドライブアームピン、前記第１の結合ピン、及び 前記第２の結合ピンは、前記ドライブアーム手段が当該引き込み位置から当該引 き出し位置へ移動したときに前記台部が同時に当該第１の方位から当該第２の方 位へ移動することを保証するよう相互に位置づけられている、 ロード移送装置。 ２２． 請求の範囲第１６項に記載のロード移送装置であって、 ロードロック室部として内側に室部を形成し、当該ロードロック室部に通じる ロードポートを有するロードロックを含む、 ロード移送装置。 ２３． 請求の範囲第１９項に記載のロード移送装置であって、 前記台座を当該引き込み位置に偏倚させる弾性手段を含む、 ロード移送装置。 ２４． 請求の範囲第２３項に記載のロード移送装置であって、 前記弾性手段は、前記台部と前記ドライブアームとの間において延在しかつ前 記台部及び前記ドライブアームの各々に固着されている引張ばねを含む、 ロード移送装置。 ２５． 請求の範囲第１９項に記載のロード移送装置であって、 高位置と低位置との間において前記ベース部材を選択的に移動することの可能 なエレベータドライブ手段と、 ドライブシャフトと、 前記ドライブシャフトを回動するモータ手段と、 当該高位置と当該低位置との間における範囲の位置に亘って前記ドライブアー ムシャフトを前記ドライブシャフトに駆動自在に接合する結合手段と、 を含むロード移送装置。 ２６． 請求の範囲第２５項に記載のロード移送手段であって、 前記ドライブアームシャフトは、垂直に方向づけられた長手軸を有し、下側端 部へと延在し、 前記ドライブシャフトは、前記ドライブアームシャフトと軸状に整列され、上 側端部へと延在し、 前記結合手段は、 前記下側端部近傍において前記ドライブアームシャフトに固着され、前記ドラ イブアームシャフトから突出する正面対向端部を有する直径方向延在軸部と、 前記対向端部において前記軸部に回転自在に取り付けられた第１及び第２の対 向ローラーと、 前記ドライブシャフトの前記上側端部を越えて延在し、前記第１及び第２のロ ーラーと結合可能にして受けるための第１及び第２の回転表面を有する第１及び 第２の軸方向延在正面対向突出部とを有し、 前記エレベータドライブ手段の動作中において、前記第１及び第２のローラー は、前記ドライブアームシャフトを駆動するために前記第１及び第２の回転表面 とそれぞれ結合し続ける、 ロード移送装置。 ２７． 請求の範囲第２６項に記載のロード移送装置であって、 前記台部を当該引き込み位置に偏倚させ、前記第１及び第２のローラーを前記 第１及び第２の突出部にそれぞれ結合するよう偏倚させる弾性手段を含む、 ロード移送装置。 ２８． 請求の範囲第２７項に記載のロード移送装置であって、 前記弾性手段は、前記台部と前記ドライブアームとの間に延在しかつ前記台部 と前記ドライブアームとにそれぞれ固着された引張ばねを含む、 ロード移送装置。 ２９． 請求の範囲第２７項に記載のロード移送装置であって、 前記ベースプレートに一体化されかつ前記ベースプレートから直立する停止プ レートを含み、前記弾性手段は、前記ドライブアームを前記停止プレートに近接 する関係にするよう偏倚させる、 ロード移送装置。 ３０． 請求の範囲第２６項に記載のロード移送装置であって、 前記ドライブアームに取り付けられた第１のマグネットと、 前記停止プレートに取り付けられ前記第１のマグネットとは逆の極性を有し、 前記ドライブアームが前記停止プレートに近接して配置されたときに前記第１の マグネットに並置され前記ドライブアームを前記停止プレートへ向かって引き寄 せる第２のマグネットと、 を含むロード移送装置。