JPH01278740A - クリーンルーム内のウエハキャリアの搬送方法 - Google Patents
クリーンルーム内のウエハキャリアの搬送方法Info
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- JPH01278740A JPH01278740A JP63109414A JP10941488A JPH01278740A JP H01278740 A JPH01278740 A JP H01278740A JP 63109414 A JP63109414 A JP 63109414A JP 10941488 A JP10941488 A JP 10941488A JP H01278740 A JPH01278740 A JP H01278740A
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract description 44
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 3
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- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
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Landscapes
- Prevention Of Fouling (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分計〕
本発明は、クリーンルーム内のウェハキャリアの搬送に
際してのウェハキャリアのカバーの自動装着に関するも
のである。
際してのウェハキャリアのカバーの自動装着に関するも
のである。
従来のウェハ搬送はボックスに入れて搬送、護管するの
が一般的であるが、ウェハをボックスに入れて搬送する
と、ウェハをボックスに出し入れするための装置、およ
び空箱の保管する装置が必要となる問題点がある。
が一般的であるが、ウェハをボックスに入れて搬送する
と、ウェハをボックスに出し入れするための装置、およ
び空箱の保管する装置が必要となる問題点がある。
移載の自動化のためウェハを裸で収納したウェハキャリ
アの課搬送を行うと、パーティクル付着の点より搬送ス
ピードを高くできない問題点がある。
アの課搬送を行うと、パーティクル付着の点より搬送ス
ピードを高くできない問題点がある。
即ち、垂直層流形クリーンルームにおいては、エアの乱
れのない層流とするためには、−前約に約０．４ｍ ／
ｓｅｅ以下とする必要がある。ダウンフローを０．３ｍ
／ｓｅｃとし搬送スピードを１５．９ｍ ／ｗｉｎ（
０，２６ｍ ／ ｓｅａ ）とすると合成速度は０．４
ｍ ／ｓｅａとなり、ウェハキャリアを裸搬送すると走
行速度の最高限界は約１５１１１／ｌｌ１ｎとなる。
れのない層流とするためには、−前約に約０．４ｍ ／
ｓｅｅ以下とする必要がある。ダウンフローを０．３ｍ
／ｓｅｃとし搬送スピードを１５．９ｍ ／ｗｉｎ（
０，２６ｍ ／ ｓｅａ ）とすると合成速度は０．４
ｍ ／ｓｅａとなり、ウェハキャリアを裸搬送すると走
行速度の最高限界は約１５１１１／ｌｌ１ｎとなる。
ウェハの工程間搬送能力の点から考えると、−般のウェ
ハ製造ラインでは上記搬送スピードでは不充分である。
ハ製造ラインでは上記搬送スピードでは不充分である。
本発明は、ウェハキャリアの搬送にあたり、搬送車の走
行速度を上げて搬送能力の不足を回避し、且つウェハに
対するエヤの乱れを防止しパーフイクルの不着を防ぐこ
とを７５題とするものである。
行速度を上げて搬送能力の不足を回避し、且つウェハに
対するエヤの乱れを防止しパーフイクルの不着を防ぐこ
とを７５題とするものである。
Ｃ５ＭＩを解決するための手段〕
本発明は、従来技術の上記問題点を解決することを目的
とするものであり、ウェハキャリア用のカバーを搬送車
上およびステーション上に持ち、ウェハキャリアをステ
ーションで移載する際に移載機上で搬送車に搭載するウ
ェハキャリアをすくい上げると同時にカバーをウェハキ
ャリアにかぶせ、搬送車からおろすウェハキャリアは移
載機が下降する際にカバーを取除くことにより、搬送中
のみ自動的にウェハキャリアにカバーを装着して高速搬
送中におけるウェハに対する周囲の空気の孔流の影響を
なくすものである。
とするものであり、ウェハキャリア用のカバーを搬送車
上およびステーション上に持ち、ウェハキャリアをステ
ーションで移載する際に移載機上で搬送車に搭載するウ
ェハキャリアをすくい上げると同時にカバーをウェハキ
ャリアにかぶせ、搬送車からおろすウェハキャリアは移
載機が下降する際にカバーを取除くことにより、搬送中
のみ自動的にウェハキャリアにカバーを装着して高速搬
送中におけるウェハに対する周囲の空気の孔流の影響を
なくすものである。
以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第２図は、ウェハキャリアの搬送装置の大要を示し、１
は移載機、２は搬送路、３は搬送車、４はステーション
である。
は移載機、２は搬送路、３は搬送車、４はステーション
である。
第１図は本発明を実施するための移載機の一例を示し、
片面支持で断面をＬ型とする底蓋５を設け、ウェハキャ
リア６とステーション移載台４ａとの間、およびウェハ
キャリア６と搬送路２上の搬送車３との間に、前記底蓋
５を介在させる。移載機１はウェハキャリア６の下方に
配置し、空間スペースの有効活用を図るとともに、移載
機１の駆動機構１３で発塵があってもウェハに悪影ツを
与えないようにしている。
片面支持で断面をＬ型とする底蓋５を設け、ウェハキャ
リア６とステーション移載台４ａとの間、およびウェハ
キャリア６と搬送路２上の搬送車３との間に、前記底蓋
５を介在させる。移載機１はウェハキャリア６の下方に
配置し、空間スペースの有効活用を図るとともに、移載
機１の駆動機構１３で発塵があってもウェハに悪影ツを
与えないようにしている。
移載装置１０の移載円板１１を、搬送車３上およびステ
ーション移載台４ａ上の底Ｍ５の内部空間５ａにその周
辺部を挿入自在とし、移載装置１０の移載駆動軸１２の
上端に前記移載円板１工の中心部を固定し駆動機構１３
により移載円板１１を回動、および上下動を自在とすべ
く構成する。
ーション移載台４ａ上の底Ｍ５の内部空間５ａにその周
辺部を挿入自在とし、移載装置１０の移載駆動軸１２の
上端に前記移載円板１工の中心部を固定し駆動機構１３
により移載円板１１を回動、および上下動を自在とすべ
く構成する。
ウェハキャリア６の底面をのぞく全面を包囲可能なカバ
ー７を設け、カバー７の頂面より突出させた突起８ａの
上端に係止円板８を一体的に形成し、前記係止円板８と
係止自在なカバーハンガー９をステーション移載台４ａ
の上方位置で天井１４より垂下させる。なお、実施例に
おいては、カバーハンガー９は、棒状または平帯状で先
端をＬ状に折曲げてなる一対のし状係止金具で構成した
が、他の係止手段を適用できることは勿論である。また
、係止円板８およびカバーハンガー９の対向面に永久磁
石または電磁石を付設し磁気吸着方式で係止円板８とカ
バーハンガー９とを接着支持するよう構成しても、本発
明の目的を達成することができる。
ー７を設け、カバー７の頂面より突出させた突起８ａの
上端に係止円板８を一体的に形成し、前記係止円板８と
係止自在なカバーハンガー９をステーション移載台４ａ
の上方位置で天井１４より垂下させる。なお、実施例に
おいては、カバーハンガー９は、棒状または平帯状で先
端をＬ状に折曲げてなる一対のし状係止金具で構成した
が、他の係止手段を適用できることは勿論である。また
、係止円板８およびカバーハンガー９の対向面に永久磁
石または電磁石を付設し磁気吸着方式で係止円板８とカ
バーハンガー９とを接着支持するよう構成しても、本発
明の目的を達成することができる。
つぎに、本発明によるウェハキャリアの搬送方法を説明
する。
する。
（１）搬送路２を走行してきた搬送車３が所定のステー
ション４に到着する。
ション４に到着する。
（２）移載装置の駆動機１Ｊ１３の起動で移載駆動軸１
２が上昇して、移載円板１１の上面が底蓋５に接当しつ
つ移載円板１１が上昇する。
２が上昇して、移載円板１１の上面が底蓋５に接当しつ
つ移載円板１１が上昇する。
搬送路側Ａにおいては、搬送路２上のウェハキャリア６
をカバー８および底Ｍ５とともに上昇させ、ステーショ
ンｆｆ１Ｖ Ｂにおいては、移載待機中のウェハキャリ
ア６を底蓋５とともに上昇させ天井１４で支持されてい
るカバー７内にウェハキャリア６を入れ、カバー７の下
端に底蓋５を接当させ、更に移載円板が上昇することに
よりカバー７はカバーハンガー９からはずれる。
をカバー８および底Ｍ５とともに上昇させ、ステーショ
ンｆｆ１Ｖ Ｂにおいては、移載待機中のウェハキャリ
ア６を底蓋５とともに上昇させ天井１４で支持されてい
るカバー７内にウェハキャリア６を入れ、カバー７の下
端に底蓋５を接当させ、更に移載円板が上昇することに
よりカバー７はカバーハンガー９からはずれる。
（３）移載駆動軸１２が回転して移送円板１１を１８０
度回動させる。
度回動させる。
搬送路側Ａの搬送されてきたカバー７、底蓋５およびウ
ェハキャリア６はステーション側Ｂへ移動し、ステーシ
ョン側Ｂで搬送待機中のウェハキャリア６はカバー７、
底蓋５とともにｍ送路側Ａへ（多動する。
ェハキャリア６はステーション側Ｂへ移動し、ステーシ
ョン側Ｂで搬送待機中のウェハキャリア６はカバー７、
底蓋５とともにｍ送路側Ａへ（多動する。
（４）移！！駆動軸１２を降下させ、移載円板１１を最
下方位置とする。
下方位置とする。
ステーション側Ｂでは、搬送車３により搬送されてきた
カバー７はカバーハンガー９とｆ糸止して天井４で垂下
支持され、ウェハキャリア６は露出した状態で底蓋５と
ともにステーション移載台４ａ上へ移動する。
カバー７はカバーハンガー９とｆ糸止して天井４で垂下
支持され、ウェハキャリア６は露出した状態で底蓋５と
ともにステーション移載台４ａ上へ移動する。
搬送路側Ａでは、ステーション側Ｂで移載待機中であっ
たウェハキャリア６がカバー７および底蓋５とともに搬
送車３上に移動する。
たウェハキャリア６がカバー７および底蓋５とともに搬
送車３上に移動する。
（５）搬送車３は次のステーションへ走行する。
カバー７は搬送するウェハキャリアの有無に関係なく搬
送車３とステーション移載台４ａの間を移動する。
送車３とステーション移載台４ａの間を移動する。
カバー７の下端部と底蓋５とは、搬送車３の走行中に空
気が入りにくい構造（嵌合構造）とし、カバー７と底蓋
５は塵のつきにくい材質（例えばステンレス、アルミ等
）とする。
気が入りにくい構造（嵌合構造）とし、カバー７と底蓋
５は塵のつきにくい材質（例えばステンレス、アルミ等
）とする。
カバー７および底蓋５は、各ステーションに１個、各搬
送車３に１個で十分である。
送車３に１個で十分である。
本発明は、作業工程内においてはウェハキャリアを露出
させるものであるが、搬送路上の走行時にはカバーを常
に装着することにより高速搬送が可能となり作業効率を
高め得る効果がある。
させるものであるが、搬送路上の走行時にはカバーを常
に装着することにより高速搬送が可能となり作業効率を
高め得る効果がある。
第１図は本発明の実施にあたり使用する移載機の一例を
示す正面図である。 第２図はウェハキャリアの搬送装置の大略を示す平面図
である。 １は移載機、３は搬送車、４はステーション、４ａはス
テーション移載台、５は底蓋、６はウェハキャリア、７
はカバー、９はカバーバンガー、１０は移載装置
示す正面図である。 第２図はウェハキャリアの搬送装置の大略を示す平面図
である。 １は移載機、３は搬送車、４はステーション、４ａはス
テーション移載台、５は底蓋、６はウェハキャリア、７
はカバー、９はカバーバンガー、１０は移載装置
Claims (1)
- （１）搬送車とステーションよりなるウェハキャリアの
搬送において、ウェハキャリア用のカバーを搬送車上お
よびステーション上に持ち、ウェハキャリアをステーシ
ョンで移載する際にウェハキャリア下方に配置した移載
機上で搬送車に搭載するウェハキャリアをすくい上げる
と同時にカバーをウェハキャリアにかぶせ、搬送車から
おろすウェハキャリアは移載機が下降する際にカバーを
取除くことを特徴とするクリーンルーム内のウェハキャ
リア搬送方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10941488A JPH0630371B2 (ja) | 1988-05-02 | 1988-05-02 | クリーンルーム内のウエハキャリアの搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10941488A JPH0630371B2 (ja) | 1988-05-02 | 1988-05-02 | クリーンルーム内のウエハキャリアの搬送方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01278740A true JPH01278740A (ja) | 1989-11-09 |
| JPH0630371B2 JPH0630371B2 (ja) | 1994-04-20 |
Family
ID=14509642
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10941488A Expired - Fee Related JPH0630371B2 (ja) | 1988-05-02 | 1988-05-02 | クリーンルーム内のウエハキャリアの搬送方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0630371B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001520803A (ja) * | 1997-04-14 | 2001-10-30 | アシスト テクノロジーズ インコーポレイテッド | 一貫生産型のベイ内バッファ・デリベリ・ストッカシステム |
| CN112103231A (zh) * | 2020-11-17 | 2020-12-18 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种晶圆盒装载装置和晶圆盒装载方法 |
-
1988
- 1988-05-02 JP JP10941488A patent/JPH0630371B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001520803A (ja) * | 1997-04-14 | 2001-10-30 | アシスト テクノロジーズ インコーポレイテッド | 一貫生産型のベイ内バッファ・デリベリ・ストッカシステム |
| CN112103231A (zh) * | 2020-11-17 | 2020-12-18 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种晶圆盒装载装置和晶圆盒装载方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0630371B2 (ja) | 1994-04-20 |
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