JPH0513052U

JPH0513052U - 半導体ウエーハ収納ケース

Info

Publication number: JPH0513052U
Application number: JP5935491U
Authority: JP
Inventors: 智吉村
Original assignee: 山形日本電気株式会社
Priority date: 1991-07-29
Filing date: 1991-07-29
Publication date: 1993-02-19

Abstract

(57)【要約】【目的】異なるロットのウェーハ６を混在することなく
効率よく収納出来る。【構成】数枚のウェーハに限定して収納するケースユニ
ット７を備え、これらケースユニット７を積み重ね、係
止部４で互いに連結している。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体ウェーハを運搬あるいは保管に使用する半導体ウェーハ収納ケースに関する。

【０００２】

【従来の技術】

図２は従来の一例を示す半導体ウェーハ収納ケースの斜視図、図３は図２の係止部を示す断面図である。従来、この種の半導体ウェーハ収納ケースは、例えば、図２に示すように、内壁にウェーハ６が挿入される複数の溝５が形成される樹脂モールド成形品であるケース本体１ａと、ケース本体１ａの開口を塞ぐ蓋２ａとで構成されていた。

【０００３】また、この半導体ウェーハ収納ケースは、同じ生産ロットのウェーハをケース本体１ａに収納し、蓋２ａでケース本体１ａの開口を覆い、係止部３で固定されていた。すなわち蓋２ａの突出部３ａをケース本体１ａの窪み３ｂにはめ込み、この突出部３ａで蓋２ａをケース本体１ａに係止していた。

【０００４】さらに、この半導体ウェーハ収納ケースは、例えば、収納されるウェーハの枚数が２５枚といった決まったウェーハの枚数しか収納出来ないようになっており、同じ生産ロットにおけるウェーハが２〜３枚の場合、その枚数のみ収納していた。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、近年、半導体集積回路のカスタム化が進み、多品種の量生産になってきた。従って一ロットがウェーハは一枚だけといった例があり、同一ロットに対するウェーハの数が少くなってきている。このため、多数のロットのウェーハを収納するのに多くの半導体ウェーハ収納ケースが必要となり、しかも一収納ケースに対して２〜３枚のウェーハを収納するだけで、空の収納溝が増え、収納効率が悪いにもかかわらず、広く床面積が必要になる。また、他のロットのウェーハを混入させれば、良いわけだが生産工程での間違いを引起すことになり、得策ではない。

【０００６】このような問題を鑑み、本考案はかかる問題を解消すべく、他のロットのウェーハを混入させることなく収納効率の良い半導体ウェーハ収納ケースを提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

本考案の半導体ウェーハ収納ケースは、複数枚に限定して半導体ウェーハを収納するケース本体とケース本体の開口を塞ぐ蓋とで構成されるケースユニットを備え、これらケースユニットを複数個積み重ねて連結することを特徴としている。また、前記ケースユニットを連結する手段は、互いに対応する位置にあって、窪みとこの窪みにはめ込められる突出部とで対をなすものであることを特徴としている。

【０００８】

【実施例】

次に本考案について図面を参照して説明する。

【０００９】図１は本考案の一実施例を示す半導体ウェーハ収納ケースの斜視図である。この半導体ウェーハ収納ケースは、図１に示すように、ウェーハの収納数を数枚に限定する幅の挟いケース本体１とし、これらケース本体１の開口を塞ぐ蓋２を設け、幅ほ挟いケースユニット７に構成したことである。また、これらのケースユニット７同志を縦に積立て、窪み４ｂと突出部４ａとでなる係止部４で互いに連結する。

【００１０】例えば、ケース本体１の内壁に形成される溝５を従来の１／５以下とし、５枚程度のウェーハ６が収納出来るようにしておけば、このケースユニットが５段に積み重ねて保管出来る。従って、従来の半導体ウェーハ収納ケースに比べ、５倍の収納効率が上ったことになる。

【００１１】また、突出部４は、蓋２の突出部３とは異なり、機械的強度をより強く製作しておけば、ケースユニット７を積立てた状態で運搬出来る。このことは運搬効率も改善されたことになる。さらに、半導体ウェーハ収納ケースでは、この複数のケースユニット７に同一ロットのウェーハ６を収納すれば、従来の半導体ウェーハ収納ケースと同様に使用出来る。

【００１２】勿論、この半導体ウェーハ収納ケースは、種々のロットにおけるウェーハ６数枚を本体ケース１に収納し、ケースユニット７として積み重ね、この状態で運搬し、必要な処理設備の場所で、処理に必要なウェーハ６が収納されたケースユニット７のみ抽出すれば良い。また、積み重ねるケースユニットの数は、積み重ねた状態で従来の半導体ウェーハ収納ケースとほぼ同じ程度の寸法になるように決めると良い。このことは従来の運搬具あるいはハンドラが適用出来るからである。

【００１３】

【考案の効果】

以上説明したように本考案は、同一ロットのウェーハを数枚に限定して収納するケースユニットとこれらケースユニットを複数段重ね合せで係止する係止部とを設けることによって、ロットの小さい種々のウェーハを混在することなく別々に効率良く収納出来る半導体ウェーハ収納ケースが得られるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す半導体ウェーハ収納ケ
ースの斜視図である。

【図２】従来の一例を示す半導体ウェーハ収納ケースの
斜視図である。

【図３】図２の係止部を示す断面図である。

【符号の説明】

１，１ａケース本体２，２ａ蓋３，４係止部３ａ，４ａ突出部３ｂ，４ｂ窪み５溝６ウェーハ７ケースユニット

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】複数枚に限定して半導体ウェーハを収納
するケース本体とケース本体の開口を塞ぐ蓋とで構成さ
れるケースユニットを備え、これらケースユニットを複
数個積み重ねて連結することを特徴とする半導体ウェー
ハ収納ケース。
【請求項２】前記ケースユニットを連結する手段は、
互いに対応する位置にあって、窪みとこの窪みにはめ込
められる突出部とで対をなすものであることを特徴とす
る請求項１記載の半導体ウェーハ収納ケース。