JPH02150046A - 半導体矩形ウエハの収納容器 - Google Patents
半導体矩形ウエハの収納容器Info
- Publication number
- JPH02150046A JPH02150046A JP63302296A JP30229688A JPH02150046A JP H02150046 A JPH02150046 A JP H02150046A JP 63302296 A JP63302296 A JP 63302296A JP 30229688 A JP30229688 A JP 30229688A JP H02150046 A JPH02150046 A JP H02150046A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- diameter
- rectangular
- container
- state
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 10
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 33
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 5
- GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N Indium phosphide Chemical compound [In]#P GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 2
- BTYUGHWCEFRRRF-UHFFFAOYSA-N [As].[K] Chemical compound [As].[K] BTYUGHWCEFRRRF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体矩形ウェハの収納容器の改良に関する・
ものである。
ものである。
従来、半導体基板ウェハの形状としては円形が多く、そ
のためにウェハを個装する容器も円形に対応して製作さ
れているものが大半である。
のためにウェハを個装する容器も円形に対応して製作さ
れているものが大半である。
このような従米答器では、第２図（ａ）、（切に斜視図
と断面図を示すように容器２１の底部２２が円錐状に穿
たれており、円形ウェハ２４を個装する場合、ウェハ２
４の円外周部分２５で容器の内壁部２５と線で接触支持
され、さらにスプリングでおさえることにより固定され
ている。
と断面図を示すように容器２１の底部２２が円錐状に穿
たれており、円形ウェハ２４を個装する場合、ウェハ２
４の円外周部分２５で容器の内壁部２５と線で接触支持
され、さらにスプリングでおさえることにより固定され
ている。
矩形ウェハも従来、第２図（ａ）、（１１１１に示した
ような容器に個装されていたため、第２図（ｃ）に示す
ように容器内壁部２５とは各頂点部分２５で点接触して
、保持されていた。
ような容器に個装されていたため、第２図（ｃ）に示す
ように容器内壁部２５とは各頂点部分２５で点接触して
、保持されていた。
前記のように従来の矩形ウェハの個装はウェハと円形ト
レイ状容器が点で接触・支持されるしくみになっている
ため、円形ウェハに比べて、応力集中を受けやすく、輸
送時等における衝撃によりカケ、ワレ等が発生する問題
があった。
レイ状容器が点で接触・支持されるしくみになっている
ため、円形ウェハに比べて、応力集中を受けやすく、輸
送時等における衝撃によりカケ、ワレ等が発生する問題
があった。
本発明はこのような円形トレイ状でらっても半導体矩形
ウェハを安定に収納することができて、外部からの衝撃
を受ける環境下でもカケ、ワレ等の発生を防止できる、
改良された半導体矩形ウェハの収納容器を目的としてな
されたものである。
ウェハを安定に収納することができて、外部からの衝撃
を受ける環境下でもカケ、ワレ等の発生を防止できる、
改良された半導体矩形ウェハの収納容器を目的としてな
されたものである。
本発明は半纏体ウエノ・を収納するトレイ状容器で、そ
の内部が底部を頂点とする円錐状である容器において、
該底部の水平横断向の直径に対して対称な位置に平行に
階段状切り欠きを設け、該切り欠きに矩形ウェハの少な
くとも平行な２辺を接触させて保持するようにしたこと
を特徴とする半導体矩形ウェハの収納容器である。
の内部が底部を頂点とする円錐状である容器において、
該底部の水平横断向の直径に対して対称な位置に平行に
階段状切り欠きを設け、該切り欠きに矩形ウェハの少な
くとも平行な２辺を接触させて保持するようにしたこと
を特徴とする半導体矩形ウェハの収納容器である。
以下、本発明を図面を参照して具体的に説明する。第１
図（ａ）は本発明の一具体例の斜視図であり、また同図
（ｂ）〜＜Ｃ）は（ａ）のものの上面図と断面図である
。円形トレイ状容器１１はその円錐状に穿たれた内面側
底部１２を、外周円形の直径を中心軸として対称の位置
に１．この直径に平行な弦＋、２．５・ ＋’、
２’、 ５’において切り欠き、断面階段状に加工さ
れている。つまり１と１′、２と２′、５．３′はそれ
ぞれ直径Ｒを中心として対称に設けられている。１，２
，３・・又Ｖｉ、Ｉ’、 ２’、 ５’・ ・それ
ぞれの間隔は等間隔であってもよいし、又収納する矩形
ウエノ・のサイズに合うような間隔にしてもよい。
図（ａ）は本発明の一具体例の斜視図であり、また同図
（ｂ）〜＜Ｃ）は（ａ）のものの上面図と断面図である
。円形トレイ状容器１１はその円錐状に穿たれた内面側
底部１２を、外周円形の直径を中心軸として対称の位置
に１．この直径に平行な弦＋、２．５・ ＋’、
２’、 ５’において切り欠き、断面階段状に加工さ
れている。つまり１と１′、２と２′、５．３′はそれ
ぞれ直径Ｒを中心として対称に設けられている。１，２
，３・・又Ｖｉ、Ｉ’、 ２’、 ５’・ ・それ
ぞれの間隔は等間隔であってもよいし、又収納する矩形
ウエノ・のサイズに合うような間隔にしてもよい。
この切り欠＠線１と１′、２と２′又は３と５′・・・
に矩形ウェハ４の２辺を沿わせて載置する。
に矩形ウェハ４の２辺を沿わせて載置する。
第１図（中は切り欠き２，２′に沿わせてウエノ・全収
納した場合を示す図である。
納した場合を示す図である。
さらに、この階段状切り欠きを直交する方向にも設けて
、正号形又は長方形の各辺にウエノ・を沿わせて収納す
る容器も本発明に含まれる。
、正号形又は長方形の各辺にウエノ・を沿わせて収納す
る容器も本発明に含まれる。
上記したように、トレー底部に切り欠き線を穿つことに
よって矩形ウェハの辺を切り欠キ勝に沿わせて固定する
ことができる。従来の個装方法では、頂点で接触してい
たため、耐衝掌性に問題があったが、本発明ではウェハ
側面部分で線状に接触させることによって、接触面積が
増大し応力を分散できるため、耐衝撃性の点で有効に働
く。
よって矩形ウェハの辺を切り欠キ勝に沿わせて固定する
ことができる。従来の個装方法では、頂点で接触してい
たため、耐衝掌性に問題があったが、本発明ではウェハ
側面部分で線状に接触させることによって、接触面積が
増大し応力を分散できるため、耐衝撃性の点で有効に働
く。
実施？ＩＪ１
矩形カリウムヒ素映面ウェハ（３５ｘ４５ｍｍ）を同一
ロットから５０枚準備し、第 図に示す従来の容量に収
納した包装を２５枚、第１図に示す本発明の容器に収納
した包装を２５枚行い、トラックによる榴込テスト金東
京・伊丹間往復５回実施した。走行距離、計約５０００
ｋｍであった。その結果、従来容器では３枚破損したの
に対し、本発明容器では破損は全く見られなかった。
ロットから５０枚準備し、第 図に示す従来の容量に収
納した包装を２５枚、第１図に示す本発明の容器に収納
した包装を２５枚行い、トラックによる榴込テスト金東
京・伊丹間往復５回実施した。走行距離、計約５０００
ｋｍであった。その結果、従来容器では３枚破損したの
に対し、本発明容器では破損は全く見られなかった。
実施１シリ ２
矩形インジウムリン鋭部ウェハ（２５Ｘ５０閣）につい
て実施例１と同様に走行テストを実施した結果、従来容
器で２枚破損したのに対し、本発明容器では破損は全く
見られなかった。
て実施例１と同様に走行テストを実施した結果、従来容
器で２枚破損したのに対し、本発明容器では破損は全く
見られなかった。
実施例６
矩形インジウムリン鏡面ウェハ（１７，５Ｘ３９、５
ｍ ）について実施例１と同様にして２５枚ずつ比較テ
ストを実施した結果、従来包装分で５枚破損したのに対
し、発明分では破損は全く見られなかった。
ｍ ）について実施例１と同様にして２５枚ずつ比較テ
ストを実施した結果、従来包装分で５枚破損したのに対
し、発明分では破損は全く見られなかった。
以上説明したように本発明は、既存の円形トレイ状ウェ
ハ容器の内側底面に断面階段状の切ジ欠きを設けるだけ
の簡単な構成によって、半導体矩形ウェハとウェハ収納
容器とを面で接触できるため、低コストで個装ウェハの
耐衝撃性を数置でき、実用的効果の大なるものである。
ハ容器の内側底面に断面階段状の切ジ欠きを設けるだけ
の簡単な構成によって、半導体矩形ウェハとウェハ収納
容器とを面で接触できるため、低コストで個装ウェハの
耐衝撃性を数置でき、実用的効果の大なるものである。
第１図（ａ）〜（中は本発明の半纏体矩形ウェハ収納容
器の一具体例を説明する図であって、（ａＪ ｉｄ斜視
図、（ｂ）は上面図、（Ｑ）はウェハを収納した場合の
断面図、（（１）はウェハを収納した状態を示す上面図
である。第２図（ａ）は従来品の収納容器を示す斜視図
、同図（切は（ａ）の容器に円形半導体ウェハを収納し
た状態を示す断面図、同図（０）は（ａ）の容器に半導
体矩形ウェハを収納した状態を示す斜視図である。
器の一具体例を説明する図であって、（ａＪ ｉｄ斜視
図、（ｂ）は上面図、（Ｑ）はウェハを収納した場合の
断面図、（（１）はウェハを収納した状態を示す上面図
である。第２図（ａ）は従来品の収納容器を示す斜視図
、同図（切は（ａ）の容器に円形半導体ウェハを収納し
た状態を示す断面図、同図（０）は（ａ）の容器に半導
体矩形ウェハを収納した状態を示す斜視図である。
Claims (1)
- 半導体ウェハを収納するトレイ状容器で、その内部が底
部を頂点とする円錐状である容器において、該底部の水
平横断面の直径に対して対称な位置に平行に階段状切り
欠きを設け、該切り欠きに矩形ウェハの少なくとも平行
な２辺を接触させて保持するようにしたことを特徴とす
る半導体矩形ウェハの収納容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63302296A JPH02150046A (ja) | 1988-12-01 | 1988-12-01 | 半導体矩形ウエハの収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63302296A JPH02150046A (ja) | 1988-12-01 | 1988-12-01 | 半導体矩形ウエハの収納容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02150046A true JPH02150046A (ja) | 1990-06-08 |
Family
ID=17907277
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63302296A Pending JPH02150046A (ja) | 1988-12-01 | 1988-12-01 | 半導体矩形ウエハの収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02150046A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006332278A (ja) * | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Miraial Kk | 枚葉収納容器及びそれに用いる緩衝支持部材 |
-
1988
- 1988-12-01 JP JP63302296A patent/JPH02150046A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006332278A (ja) * | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Miraial Kk | 枚葉収納容器及びそれに用いる緩衝支持部材 |
| JP4644035B2 (ja) * | 2005-05-25 | 2011-03-02 | ミライアル株式会社 | 枚葉収納容器 |
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