4 6 9 6 0 6 Λ7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7五、發明説明（1 ) [發明所屬之技術領域] 本發明係關於一種將半導體晶Η ，記憶磁碟，液晶玻璃 基板等之薄板予Μ收容，保管，輸送用的薄板支持容器者。 〔技術背景] Μ注的簡易裝卸型附蓋容器為，例如日本專利實公平 6-13Π4號公報記載的「密封容器之卡止構造」為所周知。 如自第2圖至第4圖所示，該密封容器51為，概略由容器 本體52，及覆蓋該容器本體52之上部開口的蓋體53所構成 。蓋體53的對向的兩個側壁設有向下方下垂而彤成的卡止 月_54。該卡止片54具有設在其中央的操作口 55，及設在該 操作口 55兩側的卡止孔56。容器本體52設有嵌合於卡止片 54之卡止孔56的戈止___具_5_7。該卡止具57設有卡止Η 54可滑 接而向外方擴開的傾斜面5 7 Α。 在前述構成中，將蓋體53裝設於容器本體52而從上方按 壓時，卡止片54滑接於傾斜面57A而被擴開*各卡止具57 嵌合於各卡止孔56。於是，蓋體53安裝於容器本體52而可 互相固定之。 從容器本體52卸下蓋體53時，彎曲各卡止片54。也就是 說，作業員用手抓住兩個卡止片54的各操作口 55，向互相 離開的方向（第4圖中之右方向）彎曲各卡止片54，從卡止 具57卸下卡止片54的卡止孔56，從容器本體52卸下蓋體53。 又，容器本體52內，在容器本體52之内側面一體設有保 持一定間隔用來支持收容於該容器本體52内部的複數枚半 導體晶片的薄板支持部（未圖示）*或收容有另行製造的晶 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝------訂，-------」線^----------·—— 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（2!0><297公簸） 469605 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 ΑΊ Β7五、發明説明（2 ) 片載置具等。 然而*欲從容器本體52卸下蓋體53時，如前逑·需要將 兩個卡止片54向互相離開的方向彎曲來從卡止具57卸下卡 止片54的卡止孔56。 然而，Μ兩個卡止片54朝向互相離開的方向為彎曲的狀 態下*向上升高蓋體53的動作中，必需同時實行拉開卡止 片54的動作，及升高蓋體53的動作而使得作業性變為不良。 同時，由於該動作的複雜性*而難Μ使用搬送装置來達 成自動化。 再者，密封容器為，在使用後需要洗淨，然而，薄板支 持部與容器本體52形成為一體時，密封容器不容易洗淨。 即，薄片支持部係具有多數的容納薄片的细槽溝*而且位 於密封容器内部的關係，要確質地洗淨該细槽溝的内深部 已不是件容易的事。此對於晶片載置具亦然。 本發明係鑑於上述問題點所成|其目的在於提供一種容 易安裝及卸下蓋體的作業之同時，容易洗淨的薄板支持容 器者。 [發明之揭示] 有關第1發明的薄板支持容器為，在具備有其內部收容 複數枚薄板的容器本體，Κ及分別設在該容器本體内所對 向的側壁，從兩邊支持收容在内部的薄板的薄板支持部所 成的薄板支持容器中，其特激為，具開有： 覆蓋前述容器本體的Μ體•及 將該蓋體對前述容器本體容易裝卸的簡易裝卸撤構， (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Α4規格（2丨0>< 297公浼） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 69 60 5 A7五、發明説明（3 ) 而前述簡易裝卸機構係包括： 設在前述蓋體之周緣部的卡止用嵌合部I 在前述容器本體側|係對向於前述卡止用嵌合部而設， 該卡止用嵌合部嵌合而使蓋體固定在容器本體的被嵌合部> 安装在前述蓋體側的卡止用嵌合部成為一體*藉由壓下 而使卡止用嵌合部脫離前述被嵌合部的臂部， 用該臂部而使卡止用嵌合部脫離前述被嵌合部時•將前 述蓋體從前述容器本體稍為升高的升高機構所構成者。 由於前述構成，對容器本體安装蓋體時I將容器本體予 以縱向放置而開口向上，用蓋體覆蓋該開口 ，並從上方按 壓該蓋體。於是*簡易装卸機構的卡止用嵌合部嵌合於被 嵌合部而將蓋體囿定在容器本體。欲從容器本體卸下蓋體 時，將臂部尚下方按壓。於是*卡止用嵌合部脫離被嵌合 部，解除蓋體對容器本體的卡止，由升高機構來從容器本 體上稍為升高蓋體。其結果，蓋體脫離容器本體。之後· 作業員可用手拿起蓋體，或搬運裝置可自動地拿起蓋體。 有關第2發明的薄板支持容器之特徵為，具備有設在前 述容器本體之下方•將容器本體Μ縱向載置的狀態穩定地 支持的腳架部，及設在前述蓋體之上面•使前述腳架部嵌 合之腳架承座者。 當薄板支持容器予以縱向載置時，由於前逑構成I容器 本體的腳架部擋接於載置面而可稱定地支持薄板支持容器 。薄板支持容器積層成為複數段時，容器本體的腳架部嵌 合於設在Μ體之上面的腳架承座。因此，可穩定地積層複 本紙張尺;ΐ適用中國國家標芈（CNS ) Α4規格（210Χ 297公漦) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 469605 Λ7 B7 五、發明説明（4 ) 容 收 Β· 立口 内 其 有 備 具 在 為 器 容 持 支 板 ο I 薄 器勺 容 明 持 :f發 支 3 板第 薄關 的有 數 對成為 所所成 内部設 體持部 本支持 器板支 容薄板 該的薄 在板述 設薄前 別部將 分内 ， 及在為 M容激 ， 收特 體持其 本支 ， 器邊中 容兩器 的從容 板，持 薄壁支 枚側板 數的薄 複向的 支 板 薄 的 體 本 器 容 在 設 地 如 卸 。 裝 者下 如卸 OL * 卸成 裝構 體述 本前. 器於 容由 對 的 體 本 器 容 及 部 持 支 板 薄 Sr 淨 洗 地 分 充 且 易 容 可 。 ’ 部 後细 之及 部體 持全 隔配 間 ， 列部 排持 及支 數板 枚薄 的的 板等 薄隔 持間 支的 更部 變持 地支 當 板 適薄 個 數兩 複的 備向 準對 , 所 又及 用 使 而 部 持。 支態 板樣 薄用 擇使 選的 -an UOU 茏 種 等各 數應 枚對 容地 收速 ， 迅 小 且 大易 的容 板可 薄 ’ 合 此 第 關 ： 有有 備 具 係 gr 持 支 板 薄 述 前 為 器 容 持 支 板 薄 的 明 發 板 薄 各 將 枚 數 多 設 配 而 列 並 隔 間 定 I 持 保 至 下 態 狀 的 設 配 而 隔 間 定 部持 板保 齒 且 的列 持並 支以 而部 開板 隔齒 地各 枚將 ----------ΐ -裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印犁 , 齒 上各 面至 , 接板 部擋薄 板之向 持板導 支薄部 的述深 體前内 一 對最 為的在 成部 -持板時 支持置 側支載 口的[pi 入側縱 及深以 側內予 深最器 内在容 最成述 其形前 少 將 部 板 齒 各 的 部 持 支 板 薄 於 入 1_ J 插 板 0 的將 持來 支成 而構 央的 中述 之 1刖 間於 部由 板 者 成 構 而 溝 槽 型 字 係 » 板時 薄置 , 載 時向 向縱 方器 横容 向持 口支 開板 其薄 而將 置當 横 。 器持 容支 持而 支部 板板 薄齒 將各 。 於 間置 之 載 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 7 經濟部中央標準局員工消費合作社印聚 469605 Λ7 B7五、發明説明（5 ) 薄板係主要載置於最内深側的支持板部而支持之。此時， 載置薄板的支持板部設有v字型槽溝的關係，薄板為由v字 型槽溝的斜面所導承而落入樓溝底部，在最内深部由各齒 板部間的中央所支持。薄板的上部係由各齒板部的上部支 持。因此，可防止各薄板相互間的干涉。 有關第5發明的薄板支持容器為，前述薄板形成為圓形 狀，同時前述齒板部為沿著圓形狀的薄板周緣，鬻曲成為 圓弧狀，沿著薄板的周緣互相Μ僅為少部分重叠作為其特 徵。 由於前述構成，當圓形狀的薄板插入於各薄板支捋部的 各齒板部之間時，齒板部為沿著圓形狀薄板周緣Μ僅為少 部分重鲞的狀態予Μ支持薄板。因此*齒板部與薄板重昼 的面積變小•可消除對薄板表面的不良影響。舉例來說， 構成各齒板部的合成樹脂會發生微量的瓦斯*但由於齒板 部與薄板重#的面積小的翮係*可減少所發生的瓦斯接觸 薄板表面的機會。藉此，將前述瓦斯對薄板表面的不良影 響抑制到最小限度。 又，各齒板部相互之間重蠱的面積也減少的關係，附著 於各齒板部表面的塵埃等也相對地減少，同時可容易洗淨 各齒板部。 有關第6發明的薄板支持容器為，前述薄板支持部係以 由成型性優超的合成樹脂，Κ高的尺寸精度來形成為其特 激。 由於前述構成，以高的尺寸精度的薄板支持部確實支持 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公趋） 一 8 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 469605 Λ7 B1 五、發明説明（6 ) 經濟部中央標率局員工消費合作社印製 薄板之 持部的 (PBT)， 有關 別安裝 成為裝 由於 及搬運 薄板支 可卸下 裝的體 有關 體之縱 徵。 由於 器從縱 置的狀 ，因此 有關 體設有 氣壓一 為其特 由於 有大變 同時，可防止鄭接薄板相互間的千涉。構成薄板支 合成樹脂為，可使用純度高的聚丁烯對苯二酸酯 聚醚醚甲酮（PEEK)或聚丁烯萘（PBN)等。 第7發明的薄板支持容器為，對前述容器本體，分 由搬蓮裝置的臂部把持的頂部凸緣，及搬運用把手 卸自如為其特徵。 前述構成，在使用薄板支持容器時，安裝頂郤凸緣 用把手*以供搬運装置來自動搬運，或作業員搬運 持容器時使用。為搬運薄板支持容器而要包装時， 頂部凸緣及搬蓮用把手，Μ便減少薄板支持容器包 積。 第8發明的薄板支持容器為，將前述把手向容器本 方向及横方向之中間位置的方1¾傾斜而安裝為其特 前述構成，當作業員用手拿著把手，將薄板支持容 向載置的狀態換成為横向載置的狀態，或從横向載 態換成為縱向載置的狀態時，不必極端地轉動手腕 ，不增加作業員的負擔的狀態下可提高其作業性。 第9發明的薄板支持容器為，在前述容器本體或蓋 在內外側間可讓氣體通過而使内部氣壓一致於外部 致之同時限制塵埃等之通過的過滹器成為裝卸自如 徴。 上述構成，例如用飛機來輸送薄板支持容器而氣壓 化時，藉由前述過漶器而可謅空氣在薄板支持容器 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐} 9 469605 Λ7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7五、發明説明（7 ) 的内外側間出入用來經常維持同樣的氣壓。也就是說•防 止塵埃等進入薄板支持容器內來保持内部清淨狀態，同時 由過濾器來調整薄板支持容器的內壓而成為最適當的狀態 。其结果，可防止蓋體發生難以卸下的情胗。 又*過濾器係安裝成為裝卸自如的闞係，欲洗淨薄板支 持容器時可卸下過滹器而有效地實行洗淨作業。 [實施發明之最佳肜態] 茲根據附圖，將本發明的賁施形態說明如下。本發明的 薄板支持容器係適合於將半導體晶片、記憶磁碟、液晶玻 璃基板等之薄板予以收容、保管、並輸送的容器。在本實 施形態中* K收容半導體晶片的薄板支持容器為例來加Μ 說明之。 有關本實施彤態的薄板支持容器1係如第1圖及自第5圖 至第1 2圖所示，包括： 容器本體2，係其内部收容複數枚的半導體晶Η (未圖示 )* 兩個薄Η支持部3，係分別設在該容器本體2内之對间的 側壁上*將收容在内部的半導體晶片從兩側予Μ支挎者， 覆蓋容器本體2的開口 2F的蓋體4， 頂部凸緣部5，偽由搬運装置（未圖示）的臂部所把持. 搬運用把手6，係作業員用手搬運薄板支持容器1時要抓 住者* Μ及 過漶器7(請參考第34圖），係用Μ調整薄板支持容器1之 内壓所構成。 —10 - 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) Α4規格（2丨ΟΧΜ7公t ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 469605 Λ7 B7五、發明説明（8 ) 容器本體2係如第1圖，第5圖及第6圖所示，其全體形成 為略立方體。該容器本體2係在縱向載置（如第1圖，第5圖 及第6圖所示的狀態）下，由成為周圍的壁部的4枚惻壁部 2A、2B、2C及2D及底板部2E(請參考第10圖）所構成，其上 部設有開口 2F。各側壁部2A、2B、2C及2D設有多數的加強 用縱槽溝9。該容器本體2係在半導體晶片的製造生產線上 等對向於晶片搬運用機器人（未圖示）而安裝時，被以横向 加以載置之。在該橫向載置狀態下成為底部的側壁部2A的 外側，設有薄板支持容器1的定位手段11(請參考第7圖）。 在横向載置狀態下成為頂部的惻壁2 B的外側，具有装卸自 如地安装有頂部凸緣部5。在橫向載置狀態下成為橫壁部 的側檗2C及2D的外側*具有裝卸自如地安裝有搬運用把手 6 ° 側壁部2 A係構成為如第7圖所示。該側壁部2 A的全面設 有定位裝置11。該定位裝置11主要是由3條的嵌合槽溝12 所構成。各嵌合槽溝1 2係由向容器本體2的縱方向整合之 第1嵌合樓溝12A;及對容器本體2之縱方向Μ相同角度（略 為60度）傾斜的第2及第3嵌合槽溝12Β及12C所構成。該等3 條嵌合槽溝12係按照規格Κ精密的尺寸精度加Μ完工者。 該定位裝置11的各嵌合樓溝12Α、12Β及12C嵌合於載置台 側的嵌合宍起（未圖示）Κ使薄板支持器1設置於正確的位 置*並用晶片搬運用機器人用來出入半導體晶Η的構成。 側壁部2 Β係構成為如第8圖所示。該側壁部2 Β的中央部 ，設有裝卸自如地安裝頂部凸緣部用的凸緣安裝板14。該 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210Χ297公浼） 1 1 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁} 經濟部中央標準局員工消費合作社印掣 4 6 9 6 0 5 Λ7 B7五、發明説明（9 ) 凸緣安裝板14係設在凸緣嵌合槽溝15。凸緣嵌合槽溝15係 於側壁部2 B中*在位於兩側的兩條縱向槽溝9之中間位置 ，從底部至上端附近為止予K凹下而形成。凸緣安裝板14 為，在該凸緣嵌合槽溝1 5的上部，從其兩側緣部向内側延 伸的兩枚板材所構成。將頂部凸緣5從第8圖中之下方插入 於該兩枚凸緣安裝板14而安裝的構成。 側壁部2C及2D傜構成為如第9圖所示。因為側壁部2C及 2D為對稱的關係，在第9圖中只顯示側壁部2D而已。該側 壁部2D設有把手安裝板16M便装卸自如地安裝搬運用把手 6。該把手安裝板16係由設在惻壁部2D的4枚板材16A、16B 、16C及16D所構成。板材16A係於設在側壁部2D的3條縱向 槽溝9當中，從圖中之左側之縱槽溝9之右側緣部向內側（ 左方）延伸而形成。該板材1SA係位於最下部。板材16B及 1 6 C係從中央的縱向槽溝9的兩側緣部向內延伸而形成。兩 個板材1 6 Β及1 6 C當中，左側的板材1 6 Β係位於比右側板材 1 6 C較低的位置。板材1 6 D係從右側之縱向槽溝9的左側緣 部向内側延伸而形成。該板材1 6 D偽設在比其他的板材1 6 A 、：16B及16C更高的最上部位置。因此，4個板材16A、16B 、16C及16D係M45度的角度向右上方向排列。搬運用把手 Μ系K對容器本體2傾斜4 5度的狀態，裝卸自如地安、裝於各 板材 16Α 、 16Β 、 16C及 16D 。 側壁部2C也安裝有與前述構成以成對稱而構成的把手安 裝板。 底板部2Ε設有腳架部18如第10圖及第11圈所示。該腳架 本紙乐尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2!ΟΧ 297公釐) --.----L--^ 裝------訂------.1.泳 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印笨 4 69 60 5 Λ7 B7五、發明説明（l〇 ) 部18係將底板部2E的四隅附近的四處向下方突出而彤成為 四角形狀。縱向載置容器本體2時，由該4處的腳架郤18用 Μ毽定地支捋容器本體2的構成。 容器本體2之側壁部2C及2D的内側，設有支持台21來支 持裝卸自如地安裝的薄板支持部3。該支持台21係由下方 台部21 Α及上方台部21Β所構成。下方台部21 Α係將側壁部 2C及2D在三處的位置，從底板部2E隆起成為台座狀而形成 之。上方台部21B係將側壁剖2C及2D在三處的位置，從下 方台部21A豎立而形成為台座狀。各薄板支持部3係分別載 置於下方台部21A之3處載置面22AK及上方台部21B之3處 載置面22B的構成。再者，在3處的下方台部21A之各載置 面22 A分別設有下部支持用突趄23各一個。該下部支持用 突起23係嵌合於薄板支持部3之後述下部支持孔部39用Μ 支持薄板支持部3之下部者。 各側壁部2C及2D的3處上方台部21Β的各載置面22Β設有 上部支持用突起24»該上部支持用突起24係在兩邊之上方 台部21Β各設一個*在中央的上方台部21Β各設兩個。該上 部支持用突起2 4係嵌合於薄板支持部3的後述的上部支持 孔部40用Κ支持薄板支持部3的上部者。再者，中央的上 方台部21Β，於兩画上部支持用突起24之中間位置設有卡 止爪25。該卡止爪25係卡止於上部支持孔部40而防止脫落 。即，W上部支持孔部40嵌合於兩個上部支持用突起24的 狀態下*卡止爪25卡止於該上部支持孔部40之上端部而固 定該上部支持孔部40，Μ防止脫落的構成。 本紙張尺度適用中國國家揉芈（CNS ) Α4規格（Μ0Χ 297公釐) ~~ ti I-—-- ^ I- - Jlv^i 一 p (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 4 6 9 6 0 5 Λ7 B7 五、發明説明（11 經濟部中央標準局員工消費合作社印^ 因此，各薄板支持部3係由合計7個支持用突起23、24及 卡止爪25確簧地加以支持於支持台21。 容器本體2之上端部，設有蓋體4嵌合用之蓋體接受段部 27。該蓋體接受段部27係將容器本體2之上端部擴開成為 蓋體4的尺寸而形成。因此*蓋體4係嵌合於蓋體接受段部 2 7的垂直板部2 7 A之内側，擋接於水平板部2 7 B而安裝於蓋 體接受段部27。再者，水平板部27B為，在其全周設有環 狀槽溝27C，安裝在蓋體4的下側面的_氣（_未麗示J嵌合而 密封薄板支持容器1的内部。在垂直板部27A之内側面，設 有後述的簡易装卸機構31的蓋體卡止爪32嵌合而固定蓋體 4於容器本體2側的被嵌合部28。該被嵌合部2S係將垂直板 部27A凹陷成為四角形狀來形成，有蓋體卡止爪32嵌合於 其内側上端部的構成。 蓋體4係構成為如第1圖及第12圖所示。第12圖係顯示未 設有後述的簡易装卸機構31之狀態之容器本體2的平面圖。 蓋體4係形成為其周緣部全域具備有豎立壁4A，上方開 口的盤狀。蓋體4的中央部係隆起成為圓筒狀，Μ避免接 觸於内部收容的半導體晶Η之上部。再者，蓋體4的上面 的四處分別設有容器本體2底部的腳架部1 8嵌合的腳架承 座部30。 再者，如自第13圖至第15圖所示，在蓋體4的四隅，設 有將蓋熥4裝卸自如地固定於容器本體2的簡易裝姐懺.構.11 。該簡易裝卸機構31係主要是包括：從蓋體4之周緣部突 出的狀態所設的做為卡止用嵌合部的蓋體卡止爪J 2 *在容 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210Χ 297公麓） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 14 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 4 69 60 5 Λ7 B7五、發明説明（12 ) 器本體2之蓋體接受段部27的垂直板部27A上對向於蓋體卡 止爪32而設的前_述、被嵌合部2.8 · —體安裝在蓋體4側的Μ 體卡止爪32，藉由壓下而使蓋體卡止爪32脫離被嵌合部2S 的，部3 4，及當用該臂部3 4使蓋體卡止爪3 2脫離被嵌合部 28時將蓋體4稍為·從容器本體2升高的开高.機、構.(未圖示）所 構成。 蓋體卡止爪32偁支持於蓋體4成為具有彈性。具體而言 *如第14圖及第15圖所示，蓋體卡止爪32係向外方而形成 在從固定在蓋體4的固定板部32Α之一端予Μ豎立而肜成的 1立板部3.2 Β。固定板部3 2 Α及豎立板部3 2 Β係由具有彈性 的合成樹脂成形為一體*藉由豎立板部32B彈性撓曲而將 蓋體卡止爪32彈性支持於董，體_ 4。對蓋體4固定固定板部 32A的方法為，由螺絲、粘接劑或熔接等方法來實行。臂 部3 4係從豎立板部3 2 B的上端部向水平方向延伸的狀態設 置成為一體。因此，將臂部34向下方壓下時，豎立板部 32B撓曲而使蓋體卡止爪32脫難被嵌合部28。在蓋體4的四 隅各設有兩個由該蓋體卡止爪32，臂部34，固定板部32A 及驽立板部32B所成的構件。在蓋體4的豎立壁4A，設有將 該四隅部分切除兩處而形成的切缺部4B，對該各切缺部4B 各設兩個前述構件。然後，兩個臂部3 4係由担UE甩3 2 C 固定其先端部成為一體，K便容易押壓。該押壓用板3 2Ϊ ί系用螺絲固定•用粘接劑或熔接等方法而固定於各臂部34 如同前述固定板部3 2 Α對蓋體4的固定方法。 再者· 高纖構偽由具有强性而從容器本體2可升高蓋 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 15 4 69 60 5 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Λ7 B7五、發明説明（13 ) 1少...許_的前述襯_ I所構成。 於是*可容易地從容器本體2卸下蓋體4的構成。 薄板支持部3係裝卸自如地安裝在容器本體2内的支持台 21。該薄板支持部3的具體構成為如自第16圖至第24圖所 示。該薄板支持部3主要是包括：保持一定間隔而並列配 設的多數枚而隔開支持各一片半導體晶Η的齒板部36，以 保持一定間隔而並列配設各齒板部36的狀態下，將該等在 三個部位支捋成為一體的支持板部37，及形成在最内深的 支持板部37a之内側面（對半導體晶片之擋接面）的V字型槽 溝3 8所構成。 前述支持板部37係設在各齒板部36之最内深處（在第16 圖中之最下部）及中間及入口處（在第16圖中之最上部）之3 處位置來一體地支捋各齒板部36。如第22圖所示，V字型 槽溝38係由V字型的底部所構成，當以縱向來載置容器本 體2時•用V字型槽溝38的斜面將半導體晶片導向至槽溝底 部，在最内深處由各齒板部36的中央支持半導體晶Η的構 成。半導體晶片之上部為由各齒板部36的上部支持之。因 此，可防止所鄰接半専體晶片相互間的干涉。如第23圖所 示，在中間的支持板部37Β的位置為具有平坦的底部。再 者，各齒板部36之中，在入口側之支持板部37C附近，形 成有支持段部37D如第24圖所示，以便將薄板支持容器1以 横向加Κ載置時*可以水平狀態來支持半導體晶片。該支 持段部37D係形成為在水平狀態下稍微向下方傾斜（例如傾 斜1度左右）Μ便Μ最小限度的面積來與載置於該處的半導 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210Χ297公釐) ΓΤ 一 16 一 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央樣隼局員工消費合作社印製 469605 Λ7 B7五、發明説明（14) 體晶片相接觸。 又，各齒板部36的表面（半導體晶片側之面〉係沿著該圓 形狀半導體晶片的周緣部而彎曲成為圓弧狀。因此，齒板 部3 6係Μ沿著半導體晶片之周緣部稍為重蠡的狀態支持該 晶片，以便將對半導體晶Η表面的不良影響抑制至最低限 度。具體而言，構成各齒板部36的合成樹脂會發生微量的 瓦斯，但因齒板部36與半導體晶片的重叠部分面積小的關 係*而可減小所發生的瓦斯接觸到半専體晶片表面的機會 。因此，可將前述瓦斯對半導體晶片表面的不良影響抑制 到最小限度。 又，各齒板部36互相重曼的面積因減少的關係，而附著 於各齒板部3 6表面的塵埃等也相對地減少》同時可容易洗 淨各齒板部3 6。 薄板支持部3的背面，設有：與支持台21的下部支持用 突起23嵌合來支持該薄板支持部3下部的下部支持孔部39 ，與上部支持用突起24嵌合來支持該薄板支持部3上部的 上部支持孔部40。下部支持孔部39係分別設在薄板支持部 3的下端部兩端及中央之位置。該等3個下部支持孔部39係 均形成為同樣的圓形孔狀。上部支持孔部40係分別設在薄 板支持部3的上端部兩端及中央之位置。該等3個上部支持 孔部40當中，兩側之上部支持孔部40Α及40Β係形成為圓形 孔狀·但中央之上部支孔部40C係形成為椭圓形狀，以便 可同時嵌合兩個上部支持用突起24。再者，對上部支持孔 部40C的上端部有卡止爪25卡止，以便固定支持板部37防 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210Χ 297公釐） 1 ^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準扃貞工消費合作社印裝 69 605 Λ7 B7五、發明説明（l5 ) 止其脫離各支持用突起23及24。 該薄板支持部3係由成彤性優良的合成樹脂*以高精度 的尺寸所構成。具體來說，係由純度高的PBT所構成。容 器本體2等之其他構件係由廉價的聚碳酸酯等所構成。 頂部凸緣5係當用搬運裝置搬運薄板支持容器1時，由該 搬運裝置的臂部抓住的部分。該頂部凸緣5為如自第25 圖至第28圖所示，由用搬運裝置的臂部抓住用的板部5A* 及臂部的一部分嵌合的嵌合孔5B，及與容器本體2的凸緣 安装板14嵌合而將頂部凸緣5安装於容器本髖2的嵌合板部 5C所構成。嵌合板部5C的前後端部（第25圖的上下端部）分 別安裝有該嵌合板部5C固定於板部5A用的連接板部5D。嵌 合板部5C為，具有自連接板部5D的兩端突出的部分，而該 部分為插入於容器本體2之各凸緣安裝板14內側（凸緣安装 板14與凸緣嵌合槽溝15之間）的構成。再者*嵌合板部5C 的突出部分的先端部（第25圖中之上端部）設有卡止爪5E。 該卡止爪5 E係卡止於凸緣安装板1 4的先端緣部（第8圖中的 上端緣部）Μ防止頂部凸緣5之脫落。又*安裝在凸緣安装 板14的頂部凸緣5為，只要是從凸緣安裝板14卸下卡止爪 5Ε即可容易地從凸緣安裝板14卸下頂部凸緣5的構成。 搬運用把手6偽作業員用手拿取薄板支持容器1時要抓注 的把手。該搬運用把手6係如自第29圖至第33圖所示，由 具有分別嵌合於容器本體2的4個板材16Α、16Β、16C及16D 的4個嵌合Η6Α、6Β、6C及6D的嵌合板6Ε，及分別設在4個 嵌合片6Α、6Β、6C及6D當中之外側之兩個6Α及6D的卡止爪 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS } Λ4規格（210XW7公釐） ，。 —18 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 9 6 0 5 ΑΊ B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印取 五、發明説明（ιβ) 6F，及用手抓住的把手部6G所構成》各嵌合H6A、6B、6C 及6D係形成為對嵌合板SE傾斜45度。因此，前述4個嵌合 片6Α、6B、6C及6D平行地插人於从45度的角度排列在右上 方阎的容器本體2的4個板材16A、16B、16C及16D之後，將 撖蓮用把手6以傾斜45度的狀態安裝於容器本體2。該時’ 卡止爪6F係卡止於外側的板材16A及16D的先端緣部，再者 ，外側之嵌合片6A及6D的被封閉成為袋狀的基端卡止於板 材16A及16D的基端緣部而將把手安裝板16固定於容器本體 2的構成《又，欲從容器本體2卸下把手安裝板16時’從外 側的板材16A及16D的先端緣部卸下卡止爪61?而滑動把手安 装板16即各嵌合片6i\、6B、6C及6D脫離板材16A、16B、 16C及16D，而從容器本體2可容易地卸下把手安裝板16的 構成。 前述構成的搬運用把手6係左右對稱形狀而形成兩個’ 並分別安裝於側壁部2C及2D。 過滤器7係用以調整薄板支持容器1之内應者。該過滅器 7係安裝於薄板支持容器1的容器本體2或蓋體4，在薄板支 持容器1的内外側間使氣體通過，並限制蜃埃等的通過。 因此，Μ保捋内部清淨的狀態下’而可調整薄板支持容器 1内壓成為最適當的狀態以防止蓋體不容易卸下。 過濾器7的具體構成為如自第3 4圃至第36圖所示°該過 漶器7.係位於薄板支持容器1的容器本體2或蓋體4上任意位 置且不損及其他功能等之位置° 画中的42係設在薄板支持容器1或葚賭M D ° W Μ 36 本紙張尺度適用中國®家橾準（CNS ) Λ4規格（2〖ox 297公楚） -19- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ’裝- 丁 - -5 線· 4 6 9 60 5 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Λ7 B7五、發明説明（17 ) 圖所示，該開口 4 2係彤成為圓形狀，而可連通薄板支持容 器1的肉外側。因此，薄板支持容器1的内側與外側之間使 氣體通過，Μ便調整內部的氣壓與外氣壓相同。在該開口 42的兩側（第36圖中之上下）設有嵌裝後述過滹器7的卡止 爪46用的缺口部42 Α。 過濾器7為，當氣體藉由開口 42而在薄板支持容器1的内 外側出入時除去外部氣體中所含有的塵埃等而只使氣體通 過。該過滹器7係設定成具有可除去塵埃等的性能，使氣 體順利通過。也就是說，其性能可被設定成為，當氣體藉 由開口 42而出入於薄板支持容器1的内外側時不會成為太 大的阻礙*容易使空氣通過。具體而言，該過漶器7係由 茼體44，凸緣部45，卡止爪46及過濾材47所構成。 筒體44係形成為圓筒狀，其直徑設定成為與開口 42之内 徑略為相同的大小。 凸緣部45係設在筒體44的一方（圖中之下方）·筒體44嵌 合於開口 42的狀態下擋接於開口 42的緣部的一側面的構成 <'凸緣部45的内側面設有環狀的襯墊48。該襯墊48係简體 44嵌合於開口 42而凸緣部45擋接於開口 42之邊緣部之一側 面的狀態下，壓接於該凸緣部45與開口 42之邊緣部*氣密 地加Μ密封該等之間。 卡止爪46係在茼體44之另一方互相向相反的方向設有兩 個。各卡止爪46係形成為其剖面圼楔形狀。即，卡止爪46 中凸緣部45側的面予Μ傾斜而形成。因此，將各卡止爪46 卡合於開口 42的缺口部42Α的狀態下，使茼體44嵌合於開 --：---：--L--ί 裝------訂^--------j 線一 (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標牟（CNS ) Α4規格（210Χ29?公趋） -20 經濟部中央標隼局員工消費合作社印取 I 6 9 6 0 5 Λ7 B7五、發明説明（IS) 口 42而旋轉全體I即卡止爪46的傾斜面壓接於開口 42的邊 緣部的另一側面•將過滹器7固定於薄板支持容器1者。 過濾材47係安装於筒體44内*除去通過該筒體44內的氣 體中的塵埃等。換言之*其構成為薄板支捋容器1周圍的 氣體藉由開口 42而流入薄板支持容器1内之際，除去該氣 體中之塵埃等而僅使氣體通過。該過濾材47係設定成為除 去塵埃等而可使氣體順利地通過的程度的性能。也就是說 >氣體藉由開口 42而在薄板支持容器1的内外側出入時， 過濾轲47不會成為姐礙，可使氣體容易通過的構成。然後 ，氣體可容易通過過濾材47M便薄板支持容器1周圍的氣 壓急激變化時可迅速對應之。 具有上述構成的薄板支持容器1為以下述的方法加以使用。 欲收容半導體晶片於容器本體2内時*將容器本體2横放 *用晶片搬送用機器人從開口 2 F插入半導體晶片。該時， 半導體晶片傜插入於薄板支持部3的各齒板部3 6之間，載 置於該齒板部3 6。 收容完半導體晶片之後，欲搬運時，作業員用手勤予以 握持搬運用把手6，或機器人自動地抓注頂部凸緣5而將容 器本體2予Μ縱向載置。載置於V字型槽溝斜面的半導體晶 片為®該斜面導向而落入槽溝底部，由各齒板部36間之中 央支持。半導體晶片之上部係由各齒板部3 6的上部支持。 因此，可確實防止半導體相互間的干涉。 接著，用前述手動或自動的方法*將蓋體4安装在容器 本體2之Μ體接受段部27·由蓋體4覆蓋容器本體2的開口 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝------訂，-----U 線：------^----- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） 21 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 469605 Λ7 B7五、發明説明（19 ) 2F。接著，從上面押壓蓋體4。於是，簡易装卸機構31的 豎板部32B撓曲，蓋體卡止爪32嵌合於被嵌合部28，將蓋 體4固定在容器本體。以該狀態下，搬運薄板支持容器1。 搬運之際需要包装時，予Μ卸下頂部凸緣5及搬蓮用把手6 。也就是說，卸下卡止爪5Ε及6F>並滑動頂部凸緣5及搬 蓮用把手6而予以卸下。於是*可將薄板支持容器1包裝成 為較小。該時，頂部凸緣5及搬蓮用把手6為與薄板支持容 器1包裝在一起。 另一方面，薄板支持容器1為|在其輸送途中，有周圍 的氣壓變化的時候。該時|過濾器7抑制塵埃等的進入， 同時使内部氣壓一致於外部的氣壓。藉此，可使薄板支持 容器1之内部氣壓與外部氣壓為經常一致。其结果，可消 除開放薄板支捋容器1的蓋體4時，由於内部氣壓低於外部 氣壓而難K開放的現象。 在搬送中或保管中等時*會有堆積薄板支持容器1的情 形。此時*將要載置之一方之薄板支持容器1的腳架部1S |嵌合於被載置之一方的薄板支持容器1的腳架承座部30 的狀態來堆積。因此，可穩定地堆積複數的薄板支持容器 1 ° 解開包装而處理薄板支持容器1時，可簡單地安裝頂部 凸緣5及搬運用把手6。當作業員要處理薄板支持容器1時 ，會發生作業員用手抓注搬運用把手6，將薄板支持容器1 從縱向載置的狀態予以換成為横向載置的狀態，或從横向 載置的狀態予以換成為縱向載置的狀態的情形。該時，搬 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS〉A4規格（210_X 297公楚) ~ ——.-------L--ΐ 裝------訂------.i 線 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) b 9 6 0 5 Λ7 B7 五、發明説明（20 ) 為 成 定 設 係 性 業 作 其 高 提 可 而 手， 把腕 用手 運勖 33 轉 地 端 極 必 不 係 關 的 度 角 的 度 法腕28體 方由部蓋 的藉合使 動為嵌會 自 2 被塑 或Ρ3離襯 立口 β 税 , M οππ^ f ^ 2 #立 3 的 — 爪 暨 述 止 一刖,卡 是 用 Ϊ 體 ，方蓋 時CO， 丨32曲 板撓 用該 壓著 押随 體下。體 本壓曲蓋 器方 撓開 容下而解 從向34並 > 部 ， 體 蓋 下 卸 2 體 本 器 容 £t 離 , 脫 會 是41 於體 。 蓋 止 * 卡果 的结 2 其 體 ο 本高¥ Ξ ί為 對 5 4 稍 2 體 本 器 容 從 述 前 用 下 卸 Μ ，予 後 2 其體 Ο 本 里 ΤΪ 處 要 所 又 ㈤器Η S 曰S 自 體» « ^ 手3£的 片時 晶 同 體不 體導等 蓋半小 高的大 升部及 , 内數 法12枚 1 體 5 3本的 器 容 從 而 配 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 部 持 支 板 薄 的 當 適 擇 選 而 小 大 及 數 枚 其體 合 本 台 持 支 的 内 說 是 就 也 f 支 器卩 M, 咅 容下 在„ 裝36 安郜 5*持 ;支 板 薄 將 用 CO 予 持部而 支持 ， 部支件 下板條 之薄的 21，等 台者小 持再大 支。及 於装數 合安枚 嵌來Η 0 4 J 4 2 eH 部起體 孔突導 持用半 支持的 部支理 上部處 及上要 39及所 部 CM 合 孔起配 捋突傜 隔 間 列 UF 及 數 枚 的 板 薄 持 支 30將 部備 持 準 支 ， 板為 薄部 種 持 各支 埔板 準薄 先’ 預又 Μ 經濟部中央標準局員工消費合作社印掣 數而 複等 的數 更枚 變容 地收 當Μ 適可 Κ ’ 予 小 等大 隔的 間板 的薄 部照 持按 支 板部 薄持 個支 兩板 的薄 葑的 相類 13&U > 8 各 付 應 地 遴 迅 且 易 容 可 ο rmf. 此 如 ο 使 來 部 持。 支態 板樣 薄用 擇使 選種 作 yE 遵 搬 在 為 淨 洗 Μ ο 予 3 ， 後部是 之持於 了支 。 终板等 等薄該 業的淨 2 洗 體U Τ5 本 II 容 在 裝 器安 容下 持卸 支可 板 -薄時器 此滅 者 再 過 ~-* - 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F —，-i -- ^fr ^^^^1 ^mt n^—^— ^n^— ^^^^1 1^1^1 _ 分 後 然 ο 下 卸 要 也 且 易 容 可 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公麓} 23 經濟部中央標準局Λ工消費合作社印製 4 69 60 5 ' Λ7 - B7五、發明説明（2 1) 充分地洗淨整個容器本體2及薄板支持部3及其细部。再者 ，過滅器7也可有效地加以洗淨。 如上述，在蓋體4設有簡易裝卸機構31的關係，可將蓋 體4極容易地裝卸於容器本體2。而且，無論是手動或自動 *均可容易地簧行該蓋體4的裝卸。 在容器本體2設腳架部18，在蓋體4上設有腳架承座部30 的關係，可穩定地堆積複數個薄板支捋容器 K將薄板支持部3裝卸自如地設在容器本體2的關係，即 可於卸下該薄板支持部3之後，予K容易且充分地洗淨整 個容器本體2及薄板支持部3及其细部。 又，薄板支持部3為，準備將支持半導體晶片的枚數及 排列間隔，相對的兩個薄板支持部3的間隔等予K適當地 變更的複數種類的薄板支持部3，而按照半導體晶片的大 小，予K收容枚數等而選擇薄板支持部來使用，藉此而可 容易且迅速地應付各種使用樣態。 在薄板支持部3的支持板部37設有V字型槽溝38，因此當 半導體晶片載置於V字型槽溝38時，該半導體晶片為由V字 型權溝38的斜面所導向而落進槽溝底部。因此，在最内深 部，半専體晶Η為支持在各齒板部36間的中央，而可確簧 地防止半導體晶Η相互間的干涉。 將齒板郜36配合半導體晶片而形成為圓弧狀，因此，齒 板部3 6與半導體晶Η互相重叠的面積變小，而可消除對薄 片表面的不良影锻。 因為可Μ維持高度的薄板支持部3之尺寸精度》所Μ (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) ----------f -裝 J'=tl 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2l〇X297公f ) 4 6 9 6 0 5 Λ7 B7 五、發明説明（22 接 鄰 所 止 防 可 時 等 邁 搬 於 時 同 ΰ ’ 涉 片干 晶 的 體間 導互 半相 持片 支晶 質體 確導 可半 可 搬 即 1^6' 關手 的把 如用 自運 ΠΜ ί 捎 裝及 β 5 設 i 6 凸 手等 把該 用下 Ew 遵 韵 搬時 及§1 5 器 緣容 凸持 部支 頂板 將薄 通 之 業II2S ^ ^ ^ 運 度 容4 高畠斜 提1¾傾 可装，:二 ， 6 是 積手就 體把也 的用 ， 裝運置 包搬位 少將間 減 中 率 效 的 之 用 向者 方業 横 作 與 ， 向此 方因 縦， 裝 器 容 持 支 板 薄 將 狀縱增 的為不 置成 K 載換 ， 向態果 縱狀结 I®的其 置 〇 钱 捥 =£ «ΗΗΝ 向手 横動 從轉 或地 , 端 , 態極 6 狀必 手的不 把置， 用載時 運向態 搬横狀 該為的 著成置 拿換載 手態向 板整 薄調 運來 7f nx 描 於 。 而 性 ’ 業係 作關 其的 高？ 提 可 而 下 態器 狀容 的持 擔支 負板 的薄 員有器 業設容 作 Μ 持 加 支 器 滹 過 的 器 m 過 由 可 但 化 變 的 大 有 雖 壓 氣 時 果 结 其 〇 態 狀 的 當 適。 最形 為情 成的 Μ 下 予卸 壓Μ 内難 的生 II發 ¾4 容體 持蓋 支止 板防 薄可 持 支 板 薄 淨 洗 欲 係 S3? β 的 如 自 卸 裝 為 成 裝 安 係 7 器0 過 7 器0 過 下 卸 可 時 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 中 β 形 施 實 述 器 前 容 使 fec 侯 即 o J 業明 作說 淨來 洗例 行為 進 Η 地 晶 效體 有導 JW半 而 Μ 若 發璃 地玻 實 晶 確液 可 ’ 也者 時再 板。 薄果 他效 其及 之用 等作 板的 基樣 璃同 玻態 晶形 疲施 、 實 碟述 磁 1刖 憶 同 記如 用揮 薄 成 形Μ 加 來 狀 形 其 合 配 係 關 的 狀 形 角 四 為 成 形部 是持 板支 基板 狀 形 的 中 態 形 胞 實體 述蓋 前 由 在 Β· 咅 持 支 板0 將Μ 隹 0 裝 安 地 如 自 卸 裝器 容 持 支 板 薄 的 部 内 其 封 密 Μ 用 例 為 形 情 的 內 本紙张尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） 25 469605 經濟部中央標準局員工消費合作社印取 Λ7 B7五、發明説明（23 ) 來加以說明•但是也可適用於在半導體晶片的製造線上等 進行藥液處理及洗淨等所使用的晶片載運工具。於對晶片 載運工具装卸自如地安装薄板支持部3時，也可發揮與前 述實施形態同樣的作用及效果。 在前述實施彤態中*搬運用把手6係傾斜45度而安装， 但並非限定於45度，只要是接近該角度，即可發揮與前述 簧施形態同樣的作用及效果。 在前述實施形態中*係齒板部36的入口側形成支持段部 37，其表面稍為向下傾斜的狀態，然而*在半導體晶片接 觸的部分設半導體晶片接觸的部分設突起狀的晶片支持部 ，也可藉以將與半導體晶片之接觸面積抑制成為最小限度 前述實施形態中*使用襯墊做為升高機構，但使用彈簧 等其他彈性構件來構成升高機構也可Μ。 在前述實施彤態中*使用純度高的ΡΒΤ做為薄板支持部3 的材料，但也可使用聚醚醚甲酮（PEEK)或聚丁烯荼（ΡΒΝ) 等來構成薄板支持部3。 前述實施彩態中，在與互相鄰接的兩個齒板部36等距離 的正確中央位置予以形成；/字型樓溝38的溝底部，但並不 限定於正確的中央位置，只要是在中央附近即可發揮與前 述實施形態同樣的作用及效果。 再者，V字型檀满38的形狀也並不限定於急峻的V字形狀 ，即使傾斜度比較不大的V字形狀也可。V字型槽溝3 8的傾 斜面也並不限定於平坦面，即使向内側或向外側稍為彎曲 而形成也可。只要是能夠將半導體晶片等導向至溝底部的 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X 297公釐） -26 469605 Λ7 B7 五、發明説明（24 ) 效 的 述 下 揮 發 可 器 容 持 支 板 薄 的 明 發 本 明 說 。 所 可上 即M 狀如 形 果 易 容 極 可 體 本 器 容 對 此 因 構 a— 櫧 卸 装 易0 有 設 體 蓋 體 蓋 卸 裝 地 容 Μ 可 均 自 或 動 手 是 論 無 為 體 該 且 卸 装 地 易 係0 的 部 座 承 架 腳 有 設 體 蓋 "-J. 剖 架 腳 有 設 體 本 器 容 可 該 下 器 Is-h ? 容 容在 支也且 板Dft易 薄$容 自 個 可 數卸， mbs 積Η之^ ^ 0 ifeft¾¾^ Μ；板 MW 薄 卸 此 因 體 本 器 及 體 本 器 容 該 淨 洗 地 分 πρ Ά 立c 當持 適支 備板 準薄 I 個 為兩 部 向 持對 支所 板 > 薄隔 ， 間 又列 ο 排 部及 细數 其枚 及的 Μ 板 部薄 持持 支支 板更 薄變 、一 大 的 。 板態 薄樣 合用 配使 可種 即各 ， 應 部 對 持地 支速 板迅 薄且 的易 類 容 種可 數而 複 等 的數 等枚 隔 容 間收 的 、 有 設 ΠΡ 咅 板 持 支 的 部 持 支 板 薄 在 片 晶 體 導 半 持 支 央 .中 之 間 部 板 齒 各 在
可板 ’ 薄 偽止 關防 的地 溝實 槽確 型可 字 ’ V (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局買工消費合作社印製 涉 干 的 間 互 相 板 薄 與 部 板 齒 狀 弧 圓 為 成 形 部 板 齒 將 而 板 薄 合 配 0 影 良 不 的 面 表 板 薄 對 除 消 可 小 變 積 面 的 S 重 相 互 可 此 因 度 精 寸 尺 之 Β- S 持 支 板 薄 的 度 高 持 維 以 可 半 接 鄰 所 止 防 可 時 等 ic 邊 搬 時 同 。 之涉 片干 晶 的 體間 導互 半相 持片 支 晶 實體 確導 係 關 的 如 自 卸 裝 為 成 設 手 把 用 ttau 1 搬 及 緣 凸 部 頂 將 減 可 即 手 把 用 邊 搬 及 緣 凸 等 該 下 卸 時 器 容 持 支 板 薄 遵 搬 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公簏） 27 469605 μ Β7 五、發明説明（25) 包 少 中 之 高·安說 提M是 可 就 ,把也 責用， 運 體S1置 的ί位 装Ϊ間 者 業 作 此 因 裝 率體安 效is來 的ΐ度 業 作 I 斜 運S傾 搬 向 方 横 與 向 方 縱 之 體 本 器 容 為 成 裝 態 6>狀 手的 把置 用載 運向 搬橫 該為 著成 拿換 手態 用狀 的為 置成 載換 向態 縱狀W的 丨置 載 向 横 ¾ 或 器 容 持 支 板 薄 恃 tin 加 曾 {r 不 此 因 腕 。 手性 動業 轉作 地其 端高 極 提 必可 不 下 ， 態 時狀 態的 狀擔 的負 置的 載員 向業 縱作 持 支 板 薄 蓮 搬 係 的 器 過 的 器 容 持 支 板 薄 有 設 板體 薄蓋 整止 調防 來可 器 ， 濾果 過結 由其 可 。 但態 - 狀 化的 變當 的適 。 大 最 較為 Η 清 有成 g Mffi-FS' 氣内 M sis f ^ ri 時容 器持 — 容支4Μ 支 板 t* T，TV 淨 洗。 欲業 ， 作 係淨 關洗 的行 如實 自 地 卸效 裝有 為而 成器 裝濾 安過 係下 器卸 滹可 過時 0)器 α容 持 性 能 可 用 利 的 上 業 產 片 晶 器體 容導 持半 支之 板生 薄發 的等 明埃 發塵 本制 闞抑 有要 ， 需 述對 上絕 5 遵 搬 於 用 地 效 有 可 碟 -ΤΠ J 硬 憶 己 ±5 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 碟 光 及 又 ο 具Η 載 邁 的 等 體 基 的 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 具Η 載 ΙΜ1 1 的 用 送 移 的 中 程 過 之 等 該 造 製 碟在 磁用 地 效 有 Μ g· 器 容 持 支 板 薄 的 態 形 施 實 之 明 發 本 u 明有 說 示 單顯 簡餘 之圖 式L 圖 第 圖 視 斜 要 的 構 。 機 圖的 面體 ο 側 蓋 圖的器 面體容 側蓋封 的的密 Ηύ ΐΠΦ ftn. 容容知 封封習 密密定 的的固 知知W 習習用 示示 示 顧顯顯 係 係偽 圖圖 圃 2 3 4 第第第 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2!0X 297公尨） 28 469605 Λ7 B7 五、發明説明（26 ) 卸 ii 器 容 持 支 板 薄 的 態 形 陁 莨 之 明 發 本 關 有 將 ο B係 圖圖 面 5 剖第 部 蓋第 蓋 下 I ΛΙ 的 i 及 i 圖 2 aaisfi 6 示 顯M 予 態 吠 圖 卸 Μ IX 器 容 持 支 板 薄 的 態 形 施 質 之 明 發 本 關 有 將 匾 視 斜 的 示 顯Μ 予 態 狀 的 部 持 支 板 薄 面 正 的 體 本 器 容 的 態 形 施 實 之 ΓΤΓ^Τ 發 本 關 有 示 顯 係 圖 7 第 圖 面 背 的 體 本 器 容 的 態 形 施 質 之 明 發 本 有 示 顯 係 圖 8 第 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖 面 側 的 體 本 器 容 的 態 彤 施 實 之 明 發 本 關 有 示 顯 係 圖 9 第 圖 面 平 的 體 本 器 容 的 態 形 施 實 之 明 發 本 關 有 示 顯 係 圖 ο 1 第 圖 面 正 的 體 本 器 容 的 態 形 施 實 之 明 發 本 關 有 示 顯 係 圖 1A 第 圖 面 剖 圖 面 平 的 體 蓋 的 態 形 施 賁 之 明 發 本 關 .有 示 顯 係 圖 2 第 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 構構構 機機機 卸卸卸 裝裝裝 易易易 簡簡簡 示示示 顯顯顯 係係係 圖圖圖 3 4 5 1X τ—X 第第第 圖 面 。 平圖 分面 部側 •ΤΓ* 勺 圖 面 平 的 第第 第第第 圖圖 面面 正惻 的 的 部 部 持持 支支 板板 薄薄 示一不 顯顯 係¾ 圖 圖 圖 面 〇 。 剖圖圓 面面面 側平底 的的的 部部部 捋持持 支支支 板板板 ¾¾¾ Ϊ??? 示示示 顯顯顯 係 係俱 圖圖圖 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2[0X 297公釐） 29 〇 9 6 0 5 Λ7 Β7 五、發明説明（27 ) 第 第第第 圖 面 -U 立口 的 溝 ο 槽 圖 型S £ 的的 部部 持持 支支 板板 薄薄 示示 顯顯 係係 圖圖 〇 圖 圖 面 面剖 剖的 的部 部板 板持 持支 支的 的側 間口 中入 的的 部部 持持 支支 板板 薄薄 示示 扁顯 係 係 圖 圖 圖圖圖 面面面 平側正 勺勺 句 TJ l-A 7J 立口 &口 立° 緣緣緣 凸凸凸 部部部 ]1頂]a 示示示 顯顯顯 係係係 圖圖圖 5 6 7 2 2 2 第第第 第第 第第第 第第 第第 圖 圖 面面 底正 的的 部 手 緣把 凸用 rtp EW 立η 9 頂 搬 示示 顯顯 係係 圖 圖 圖 圖 面面 側 側 右左 手手 把把 用用 tlmlt ga-r 遵 鍾 搬搬 示一不 顯顯 係係 圖圖 画 圖 面面 平背 的 的 手手 把把 用用 運 搬搬 示 |不 顯顯 係係 圖 圖 圖 圖 視面 斜 剖 的的 器器 濾濾 過過 示示 顯顯 像 係 圖 圖 圖 面 平 的 □ 開 的 器 濾 過 裝 安 示 顯 係 圖 {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .·--^ 裝 1 訂— 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 明 說 之 號 编 件 元 器 容 持 支 板 薄 體 本 器 容 部 壁， 側部 板 裝 安 手 Q ， 開部 : 緣 F.凸 2 Kr 立° 頂 部 〕 板5 底 : 體 2E蓋 持手 支把 片用 薄運 : 搬 溝 縱 用 強 加 板 裝 安 緣 凸 溝 槽 - 合 置嵌 裝緣 位凸 定 ： 材 板 ΊΤ 槽 嵌 把 部 :架 6 腳 台 持 支 部 台 方 下 P 咅 台 方 上 本紙張尺度適用中國國家標準{ CNS ) Λ4規格（2ίΟΧ297公釐） 30 469605 Λ7 B7五、發明説明（28 ) 23.. .下部支持用突起， 24...上部支持用突起* 25.. .卡止爪， 27...蓋體接受段部> 27A...垂直板部 ，27B...水平板部， 28...被嵌合部* 30...腳架部承 座部， 31...簡易裝卸機構， 32...蓋體卡止爪， 34.. .臂部* 39...下部支持孔部， 4(K..上部支持孔 部， 42...開口， 44...筒體， 45...凸緣部， 46.. .卡止爪* 47...過滤材， 48...襯墊 ---二· ^—^1 ^^^1-- f - -'·n I 一 . ^^^1 -- -- - 1 \ * 1- - - - - I- ^^1— I— ^ U3. 、-& few (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 本紙浪尺度適用中國國家標準{CNS)A4規格（210>< 297公t) -31 -