JPH073639Y2 - ウェーハ容器傾け台 - Google Patents
ウェーハ容器傾け台Info
- Publication number
- JPH073639Y2 JPH073639Y2 JP1991010784U JP1078491U JPH073639Y2 JP H073639 Y2 JPH073639 Y2 JP H073639Y2 JP 1991010784 U JP1991010784 U JP 1991010784U JP 1078491 U JP1078491 U JP 1078491U JP H073639 Y2 JPH073639 Y2 JP H073639Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- container
- wafer container
- inspection
- slope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、半導体ウェーハ特に鏡
面研磨されたウェーハを外観検査する工程において、検
査に供するウェーハを装填取り出しする容器を載置する
ための治具に関する。
面研磨されたウェーハを外観検査する工程において、検
査に供するウェーハを装填取り出しする容器を載置する
ための治具に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェーハは、半導体デバイスの始
発材料になることから、その品質には極めて厳しいもの
が要求される。物性のみならず表面の僅かなキズや曇り
もデバイス性能に影響を与えることから、出荷前に１枚
毎その表面状態を集光ランプに照らし、目視で検査す
る。
発材料になることから、その品質には極めて厳しいもの
が要求される。物性のみならず表面の僅かなキズや曇り
もデバイス性能に影響を与えることから、出荷前に１枚
毎その表面状態を集光ランプに照らし、目視で検査す
る。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】容器内に数mm間隔で並
ぶウェーハをピンセットで素早く取り出し検査後再び納
めていく作業が暗室に近い雰囲気で行なわれるため、ピ
ンセット操作のミスで当り傷が発生することがある。ま
た、検査を行なうときは、検査前のウェ−ハを入れた容
器と、検査後のウェ−ハを入れる容器とを用意してお
き、前者よりウェハを取り出し、後者へと納めていく
が、容器内のウェーハを納める溝は当然ウェーハとの間
に遊びを持たせるように構成しているため、必ずしもウ
ェーハ同士は平行にならない。一枚の検査が終わると、
作業者は先に並んだウェーハに平行に入れようとする
が、先のウェーハが溝との遊びのため傾いていると、こ
れに引きづられて、溝違いに入れてしまうようなことが
起こる。溝違いに入ったウェーハは動きづらく、ピンセ
ットにより擦り傷が発生する。また、そのまま容器を机
に水平に置いた状態では、ウェ−ハの出し入れ方向が直
上であることから、作業性は必ずしも良くない。
ぶウェーハをピンセットで素早く取り出し検査後再び納
めていく作業が暗室に近い雰囲気で行なわれるため、ピ
ンセット操作のミスで当り傷が発生することがある。ま
た、検査を行なうときは、検査前のウェ−ハを入れた容
器と、検査後のウェ−ハを入れる容器とを用意してお
き、前者よりウェハを取り出し、後者へと納めていく
が、容器内のウェーハを納める溝は当然ウェーハとの間
に遊びを持たせるように構成しているため、必ずしもウ
ェーハ同士は平行にならない。一枚の検査が終わると、
作業者は先に並んだウェーハに平行に入れようとする
が、先のウェーハが溝との遊びのため傾いていると、こ
れに引きづられて、溝違いに入れてしまうようなことが
起こる。溝違いに入ったウェーハは動きづらく、ピンセ
ットにより擦り傷が発生する。また、そのまま容器を机
に水平に置いた状態では、ウェ−ハの出し入れ方向が直
上であることから、作業性は必ずしも良くない。
【０００４】ウェーハを一方向に寄せ、出し入れ方向を
作業者側に向ける工夫として、容器の一方の底にスペー
サを入れて傾ける等の手段も採用されるが、ふたを閉め
る時の押えでハネてキズを与えたりすることもある。
作業者側に向ける工夫として、容器の一方の底にスペー
サを入れて傾ける等の手段も採用されるが、ふたを閉め
る時の押えでハネてキズを与えたりすることもある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本考案は上記のような問
題点を解決すべくなされたもので、互いに直交する２方
向に傾斜した斜面と、斜面下の２辺より斜面に対し垂直
に設けた側面とから構成された載置部と、この載置部に
固定され容器を載せた際の転倒を防ぐ支持部とから成る
ウェーハ容器の傾け台を提供する。さらに詳しく述べれ
ば、本考案のウェーハ容器傾け台は、作業者の方向であ
って、ウェーハ面に平行な方向には大きく傾き、ウェー
ハ面に垂直の方向には多少傾くよう構成される。
題点を解決すべくなされたもので、互いに直交する２方
向に傾斜した斜面と、斜面下の２辺より斜面に対し垂直
に設けた側面とから構成された載置部と、この載置部に
固定され容器を載せた際の転倒を防ぐ支持部とから成る
ウェーハ容器の傾け台を提供する。さらに詳しく述べれ
ば、本考案のウェーハ容器傾け台は、作業者の方向であ
って、ウェーハ面に平行な方向には大きく傾き、ウェー
ハ面に垂直の方向には多少傾くよう構成される。
【０００６】
【作用】本考案のウェーハ容器傾け台は、３つを一組と
して用いる。すなわち、検査前のウェーハ容器傾け台、
検査後の良品ウェーハ容器傾け台、検査後の不良品ウェ
ーハ容器傾け台の３箇である。使用の際は、ウェーハ面
に平行な方向がより大きく傾斜するように容器を載置す
る。こうすれば、ウェーハ面に垂直な方向は、緩い傾き
をもった斜面側に向くから全てのウェーハは容器内の溝
の一壁面側へと寄る。
して用いる。すなわち、検査前のウェーハ容器傾け台、
検査後の良品ウェーハ容器傾け台、検査後の不良品ウェ
ーハ容器傾け台の３箇である。使用の際は、ウェーハ面
に平行な方向がより大きく傾斜するように容器を載置す
る。こうすれば、ウェーハ面に垂直な方向は、緩い傾き
をもった斜面側に向くから全てのウェーハは容器内の溝
の一壁面側へと寄る。
【０００７】
【実施例】以下、本考案の実施例について図面を参照し
つつ詳細に説明する。
つつ詳細に説明する。
【０００８】実施例１ 第１図は、本考案のウェーハ容器傾け台の一実施例の斜
視図である。符号１は斜面、２は側面ａ、３は側面ｂで
斜面と各側面とで載置部10を構成する。斜面１の傾き
は、互いに直交する方向にそれぞれ45°及び５°であ
り、傾斜角の大きい面を作業者側へ向け、ウェーハ面に
平行な方向をこの斜面に対応させる。さらに載置部の下
には、これに固定され、載置部に容器が置かれた際にそ
の重みにより転倒することを防ぐ、支持部４が設けられ
ている。載置部10はチリやゴミが付着しないように帯電
防止塩ビ板が用いられ、支持部４はバランス用にステン
レス角材を採用している。
視図である。符号１は斜面、２は側面ａ、３は側面ｂで
斜面と各側面とで載置部10を構成する。斜面１の傾き
は、互いに直交する方向にそれぞれ45°及び５°であ
り、傾斜角の大きい面を作業者側へ向け、ウェーハ面に
平行な方向をこの斜面に対応させる。さらに載置部の下
には、これに固定され、載置部に容器が置かれた際にそ
の重みにより転倒することを防ぐ、支持部４が設けられ
ている。載置部10はチリやゴミが付着しないように帯電
防止塩ビ板が用いられ、支持部４はバランス用にステン
レス角材を採用している。
【０００９】第１図の本考案によるウェーハ容器傾け台
を用いた結果、ウェーハのキズ不良は半減し、作業性が
良くなるため従来 100枚のウェーハを検査するのに35分
程度要していたものが、29分に短縮された。1000枚／人
・日検査を行なうので、１時間／日の検査作業の短縮が
図れる。
を用いた結果、ウェーハのキズ不良は半減し、作業性が
良くなるため従来 100枚のウェーハを検査するのに35分
程度要していたものが、29分に短縮された。1000枚／人
・日検査を行なうので、１時間／日の検査作業の短縮が
図れる。
【００１０】
【考案の効果】本考案のウェーハ容器傾け台によれば、
容器開口部を作業者側へ大きく向けて安定させることが
でき、さらにウェーハ面に垂直な方向への傾きから、ウ
ェーハ同士が容器内の溝壁の一方側へ片寄り、平行に等
間隔に整列する。このため、・ウェーハの出し入れ操作
がやり易くピンセットによる当り傷を生じさせない。・
溝違いに納めるミスも起こらないから、擦り傷が発生し
ない。・操作スピードが上がり作業効率が向上する。・
作業が行ない易いため、作業者の疲労も低減する。等の
効果がある。
容器開口部を作業者側へ大きく向けて安定させることが
でき、さらにウェーハ面に垂直な方向への傾きから、ウ
ェーハ同士が容器内の溝壁の一方側へ片寄り、平行に等
間隔に整列する。このため、・ウェーハの出し入れ操作
がやり易くピンセットによる当り傷を生じさせない。・
溝違いに納めるミスも起こらないから、擦り傷が発生し
ない。・操作スピードが上がり作業効率が向上する。・
作業が行ない易いため、作業者の疲労も低減する。等の
効果がある。
【００１１】なお、通常ウェーハの出荷容器には、ふた
との係合部分にユーザ側のウェーハ受けに対応してピン
が差されるが、時として作業者がこのピンの差し忘れを
することがある。したがって、検査後の良品ウェーハ容
器傾け台にセンサーを取付けこれを、容器を載せたとき
や降したときにピンの差し忘れがないかどうかの注意を
促す機構、たとえば音声機構に連動させれば、出荷に際
するピンの差し忘れミスも防ぐことができる。
との係合部分にユーザ側のウェーハ受けに対応してピン
が差されるが、時として作業者がこのピンの差し忘れを
することがある。したがって、検査後の良品ウェーハ容
器傾け台にセンサーを取付けこれを、容器を載せたとき
や降したときにピンの差し忘れがないかどうかの注意を
促す機構、たとえば音声機構に連動させれば、出荷に際
するピンの差し忘れミスも防ぐことができる。
【００１２】
【図１】本考案のウェーハ容器傾け台の一実施例の斜視
図。
図。
【図２】本考案のウェーハ容器傾け台の一実施例の正面
図。
図。
【図３】本考案のウェーハ容器傾け台の一実施例の平面
図。
図。
１ 斜面 ２ 側面ａ ３ 側面ｂ ４ 指示部 10 載置部
Claims (1)
- 【請求項１】 互いに直交する２方向に向けて傾斜した
斜面と、この斜面下の互いに直交する各辺より、前記斜
面に対し垂直に設けた側面とから構成された載置部と、
載置部に固定された転倒防止用の支持部とから成るウェ
ーハ容器傾け台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991010784U JPH073639Y2 (ja) | 1991-02-07 | 1991-02-07 | ウェーハ容器傾け台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991010784U JPH073639Y2 (ja) | 1991-02-07 | 1991-02-07 | ウェーハ容器傾け台 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0650344U JPH0650344U (ja) | 1994-07-08 |
| JPH073639Y2 true JPH073639Y2 (ja) | 1995-01-30 |
Family
ID=11759965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991010784U Expired - Lifetime JPH073639Y2 (ja) | 1991-02-07 | 1991-02-07 | ウェーハ容器傾け台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH073639Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6132077B2 (ja) * | 1977-03-19 | 1986-07-24 | Uni Charm Corp |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6132077U (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-26 | 日本電気株式会社 | 半導体ウエハ−の運搬用トレイ |
| JPS6176959U (ja) * | 1984-10-26 | 1986-05-23 | ||
| JPS62114444U (ja) * | 1986-01-13 | 1987-07-21 |
-
1991
- 1991-02-07 JP JP1991010784U patent/JPH073639Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6132077B2 (ja) * | 1977-03-19 | 1986-07-24 | Uni Charm Corp |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0650344U (ja) | 1994-07-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |