JPH0426381Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この考案は円盤状ガラス基板の取出装置に関
し、詳しくはフオトマスクブランク用透明基板、
フオトマスクブランク、フオトマスク、ガラスウ
エハ等の取り扱いに使用する円盤状ガラス基板の
取出装置を提供しようとするものである。

［従来の技術］ 従来、上述のようなガラスウエハを代表とする
円盤状ガラス基板は、各種の加工あるいは処理に
際し、その前後に必ず表面状態の改善を図る目的
で純水等により洗浄している。洗浄にあたつては
運搬用の収納ケースから洗浄かごに入れ換える
が、このとき円盤状ガラス基板をその表面に触れ
ずに取り出すために、第１図に示すように収納ケ
ース１を片方の手２′で持つて傾け、円盤状ガラ
ス基板３が自重で出てくるところをもう一方の手
２″で掴むようにしている。

［考案が解決しようとする問題点］ この場合、１度にたくさんの円盤状ガラス基
板３が出てきてしまうので、１枚づつ円盤状ガラ
ス基板３を取り出すたびごとに収納ケース１を繰
り返して傾ける操作が必要であり、また、それ
によつて取り出し損ね、あるいは受け損ねてしま
うことがあり、しかも上記の傾ける操作の繰り
返しによつて円盤状ガラス基板３の端部がこす
れ、以上の点を原因として、円盤状ガラス基板３
の落下や円盤状ガラス基板３の欠け、こすれによ
るキズ等が多発して不良品発生の大きな原因とな
つていた。

［問題点を解決するための手段］ そのためこの考案の円盤状ガラス基板の取出装
置は、基台上に、開口部を有するほぼ箱状体から
なり、その内部に複数の円盤状ガラス基板を収納
する収納ケースと、平面ほぼ矩形からなり、かつ
対向したスライド面と裏面とを有するとともに、
前記スライド面に前記収納ケースの開口部を対向
させた状態で、前記収納ケースをスライド面上を
摺動自在となるように保持する本体とを備え、前
記収納ケースはその内部に前記複数の円盤状ガラ
ス基板をその幅方向が前記摺動方向に実質的に垂
直になるように配列し、前記基台の主表面には支
持部材と係止部材とが立設され、前記本体はその
長手方向の一端部が前記支持部材に回動自在に支
持され、かつ、裏面を前記係止部材の先端部に当
接させることにより係止され、前記本体はそのス
ライド面の所定の位置に、前記収納ケース内に摺
動方向に配列された複数の円盤状ガラス基板のう
ちの１つを選択的に取り出す取出口が穿設され、
この取出口の形状は摺動方向に沿つて次第に幅が
拡大し、最大幅が前記ガラス基板の幅より大とな
ることを特徴とする。

しかして、ガラスウエハ等を取り扱う工程にお
いて、円盤状ガラス基板を１枚ずつ確実に取り出
すとともに、円盤状ガラス基板に接触するキズ等
を付けることのないようにした円盤状ガラス基板
の取出装置を提供することを目的としている。

［実施例］ 以下この考案の円盤状ガラス基板の取出装置の
１実施例を図面に基いて説明する。

第２図および第３図において、１１は適当な基
台上に設置した支持部材たる軸受１０に一端を軸
着した本体である。この本体１１は他端を垂直線
の両側にわたり、すなわち第１象限と第２象限に
またがつて、首振り可能に保持されている。また
本体１１は、首振りの一端または両端において所
定の角度で上記基台上に立設したストツパ２１，
２１′により、傾斜したまま係止することができ
る。このストツパ２１，２１′の先端部が本体１
１の裏面に当接することにより本体１１は係止す
る。ストツパ２１は第１象限において、ストツパ
２１′は第２象限において本体１１を保持してい
る。本体１１の保持角度は上記ストツパ２１，２
１′を伸縮可能とすることにより簡単に調節する
ことができる。

上記本体１１は片面に収納ケース１の幅に等し
い幅を有し、両側にほぼ全長にわたつてガイド２
２が立設されている。ガイド２２は上端をさらに
内方へ折り返されており、このガイド２２へ収納
ケース１の開口面両外側に張り出したフランジ２
３を嵌挿することにより、収納ケース１を上記ス
ライド面１２に沿つて摺動することができる。も
ちろん、ガイド２２、フランジ２３なくてもよ
い。

また本体１１はその適所に所定のサイズの取出
口１３が形成されている。この取出口１３は、収
納ケース１の摺動する方向に沿つて次第に幅が拡
大し、最大幅ｌが円盤状ガラス基板３の幅より大
となる切欠き１４を形成している。したがつて、
取り出そうとするガラスウエハ等の円盤状ガラス
基板３は、前後の円盤状ガラス基板３がこの取出
口１３の切欠き１４の傾斜部分によつて脱落を防
止されるので、１枚ずつ確実に取り出すことがで
きる。

この考案における上記取出口１３の形状として
は、第４図および第５図に示すように、長軸の長
さｌがほぼ円盤状ガラス基板３の長さに等しい長
円形からなる取出口１３′、あるいは四辺形から
なる取出口１３″が望ましい。切欠き１４のＶ字
状部分の角度θは、円盤状ガラス基板３を取り出
すペースを勘案して適宜決定することができる。

次にこの考案の円盤状ガラス基板の取出装置の
動作について説明する。

先ず本体１１をスライド面１２が斜め下向きに
なる角度にストツパ２１′により保持する。この
スライド面１２に収納ケース１をその開口面を当
接するとともに、フランジ２３を本体１１のガイ
ド２２に嵌挿する。次に収納ケース１を保持した
本体１１の首を振り、スライド面な斜め上向きで
ストツパ２１により保持する。

このフランジ２３をガイド２２に嵌挿した収納
ケース１を、本体１１のスライド面に沿つて徐々
に上昇あるいは下降させる。そして本体１１の取
出口１３にさしかかつた円盤状ガラス基板３は、
切欠き１４の傾斜面に外周面の２点を保持された
状態で、徐々に２点間の幅ｗを広げつつ下降し、
取出口１３から１枚ずつ一定の間隔ａを保つたま
まで順次滑りでてくる。

第６図はこの考案の他の実施例を示すもので、
本体１１内にほぼ相似形でガイド２２内に収納で
きる幅の中枠３１を収納できるようにしたもので
ある。中枠３１も両側にガイド３２と取出口３３
が形成されており、この中枠３１の取出口３３は
筒状本体１１の取出口１３に比してやや小さい相
似形に形成され、本体１１内に収納した状態で取
出口１３内に保持される位置に設けられている。
この中枠３１を数種用意することにより、円盤状
ガラス基板３の種類が異なつても直ちに対応する
ことができる。３４は指がかり用の穴で、この穴
３４を利用して壁面等に吊すこともできる。

［考案の効果］ 以上のようにこの考案によれば、円盤状ガラス
基板３が取出口１３から１枚ずつ一定の間隔で順
次滑り出てくるので、円盤状ガラス基板３を受け
損ねて落下させてしまうことがない。

また、取出口１３が円盤状ガラス基板３の幅方
向にＶ字状の切欠き１４を有しているので、取出
口１３の周面に円盤状ガラス基板３の表面が接触
することはなく、円盤状ガラス基板３の表面に接
触によるキズ等を付けることがない。しかも取出
口１３はこのような形状に応じ、前後の円盤状ガ
ラス基板３はこの取出口１３で脱落が確実に防止
されている。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の円盤状ガラス基板の取り出し方
を示す斜視図、第２図はこの考案の円盤状ガラス
基板の取出装置の１実施例を示す斜視図、第３図
はその側面図、第４図は取出口１３の形状の１例
を示す拡大正面図、第５図は他の例を示す拡大正
面図、第６図はこの考案の円盤状ガラス基板の取
出装置の他の実施例を示す斜視図である。 １……収納ケース、３……円盤状ガラス基板、
１１……本体、１２……スライド面、、１３……
取出口。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 基台上に、開口部を有するほぼ箱状体からな
   り、その内部に複数の円盤状ガラス基板を収納す
   る収納ケースと、平面ほぼ矩形からなり、かつ対
   向したスライド面と裏面とを有するとともに、前
   記スライド面に前記収納ケースの開口部を対向さ
   せた状態で、前記収納ケースをスライド面上を摺
   動自在となるように保持する本体とを備え、前記
   収納ケースのその内部に前記複数の円盤状ガラス
   基板をその幅方向が前記摺動方向に実質的に垂直
   になるように配列し、前記基台の主表面には支持
   部材と係止部材とが立設され、前記本体はその長
   手方向の一端部が前記支持部材に回動自在に支持
   され、かつ、裏面を前記係止部材の先端部に当接
   させることにより係止され、前記本体はそのスラ
   イド面の所定の位置に、前記収納ケース内に摺動
   方向に配列された複数の円盤状ガラス基板のうち
   の１つを選択的に取り出す取出口が穿設され、こ
   の取出口の形状は摺動方向に沿つて次第に幅が拡
   大し、最大幅が前記ガラス基板の幅より大となる
   ことを特徴とする円盤状ガラス基板の取出装置。