KR20050023649A - 기판 운송장치 - Google Patents

Abstract

기판 운송 장치는 복수의 기판이 수평상태로 적재되는 공간을 제공하는 하부케이스와, 하부케이스의 상측을 커버하는 상부케이스 및 각 기판의 사이에 설치되되 기판의 상면과의 접촉을 피하도록 설계된 인서트를 포함하며, 인서트는 기판의 크기보다 크게 형성된 프레임과, 프레임의 내부에 소정의 간격을 두고 형성된 기판지지대를 포함하되 기판지지대의 상면에는 기판의 미끄러짐을 방지하는 미끄럼방지부재가 추가로 포함된다.

Description

기판 운송장치{SUBSTRATE SHIPPER}

본 발명은 기판(예컨대 웨이퍼 이하 "웨이퍼"라 칭함) 장거리 이송할 경우 포장하기 위한 기판 운송장치에 관한 것이다.

웨이퍼 자체를 운송할 필요가 있을 때 웨이퍼를 담을 수 있는 포장 수단이 필요하다. 특히 웨이퍼를 운송할 곳이 장거리 떨어진 외국인 경우에는 항공기 등의 운송 수단을 통해 웨이퍼를 운송할 때 웨이퍼는 충격, 오염, 긁힘, 온도, 습도의 변화와 같은 많은 손상 요인과 환경 변화를 가질 수 있으므로 웨이퍼를 초기의 상태로 보존할 수 있는 포장 수단이 요청된다.

포장 수단으로 많이 사용되는 것으로 패킹 자(Packing Jar)가 있다. 현재 사용되는 패킹 자는 웨이퍼의 구경에 따라 4각 혹은 원형의 폴리프로필렌 박스 형태를 많이 사용한다.

그러한 일 예가 대한민국특허공보(출원번호 : 10-1997-0700734, 발명의 명칭 : 웨이퍼선적용 웨이퍼 쿠션)에 개시된 바 있다.

그 구성을 살펴보면, 두측벽과 두단부벽을 가지는 컨테이너, 측별과 단부벽에 부착된 저부벽으로 웨이퍼 제한 지역이 정해지고, 제거가능한 상부커버는 두 측벽과 두 단부벽에 밀봉을 부착되어 웨이퍼가 수용되는 내부웨이퍼제한구역으로 출입하며, 각 측벽에 웨이퍼 지지체를 가지는 컨테이너이며, 웨이퍼 지지는 웨이퍼를 간격이 있는 축방향으로 정렬로 유지하도록 위치하며, 상부커버는 굽혀지는 유연한 재료로 구성되며 웨이퍼를 웨이퍼 제한 지역 내에 가지며 측벽과 단부벽에 부착할 때, 상부커버는 바깥쪽으로 굽으며, 상부커버는 각 웨이퍼를 맞물고 상부 커버의 외측방향 굽어짐을 수용하기 위한 웨이퍼 완충수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 것이다.

그러나, 상술한 바와 같은 웨이퍼 운송장치는 웨이퍼가 직립된 상태로 수납됨에 따라 웨이퍼의 크기가 대구경화가 되고 그 두께가 얇아지는 최근의 동향에 부적합한 문제점이 있다.

이러한 문제점을 해결하기 위하여 종래에는 도 1과 같이 웨이퍼를 수평으로 적재하는 웨이퍼 운송장치를 채택하여 사용하고 있다.

도 1은 종래의 기판 운송 장치의 구성을 도시한 단면도이다.

도시된 바와 같이 복수개의 웨이퍼(W)를 수평방향으로 적재하는 공간을 제공하는 하부케이스(1)와, 상기 하부케이스(1)의 상측을 커버하는 상부케이스(3)로 구성된다. 이와 같은 구성에 더불어 그 상·하부케이스(1,3)의 내부에는 완충용 쿠션부재(5)가 채용되며, 상기 웨이퍼(W)의 사이에 얇은 시트지 형태로 제작된 인서트(7)가 채용된다.

그러나, 이와 같은 종래의 웨이퍼 운송장치에서도 문제점이 발생하였다. 즉 상기 인서트(7)가 얇은 시트지 형태로 제작되어 단순히 웨이퍼(W) 사이에 끼워지는 형태로 제작됨에 따라 각 웨이퍼(W)의 상하면이 접촉되어 상면에 형성된 패턴에 접촉 데미지(DAMAGE)를 유발하는 문제점이 있다.

다음, 인서트(7)가 쉽게 휘어지는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 적재되는 웨이퍼의 접촉을 방지하고, 웨이퍼 받침기능을 향상시키도록 인서트 구조를 개선시킨 기판 운송 장치를 제공하는 데 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 복수의 기판이 수평상태로 적재되는 공간을 제공하는 하부케이스와, 상기 하부케이스의 상측을 커버하는 상부케이스 및 상기 각 기판의 사이에 설치되되 상기 기판의 상면과의 접촉을 피하도록 설계된 인서트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 운송장치를 제공한다.

상기 인서트는 기판의 크기보다 크게 형성된 프레임과, 상기 프레임의 내부에 소정의 간격을 두고 형성된 기판지지대를 포함함이 바람직하고 그 재질은 적어도 기판의 무게를 지탱할 수 있는 정도의 강성(RIGIDITY)을 갖는 재질로 제작함이 바람직하다.

상기 기판지지대의 상면에는 기판의 미끄러짐을 방지하는 미끄럼방지부재가 추가로 포함시키고, 상기 미끄럼방지부재는 상기 기판지지대의 상면에 소정의 간격을 두고 복수개가 마련하되, 상기 미끄럼방지부재의 재질은 연질의 재질로 함이 바람직하다.

상기 프레임의 저면에는 기판의 상면과의 거리를 확보를 하도록 소정높이로 된 돌출부를 마련하고, 상기 돌출부의 높이는 상기 기판의 두께와 미끄럼방지부재의 두께를 합한 것보다 크게 제작함이 바람직하다.

상기 기판은 반도체 웨이퍼이다.

다음, 도 2 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 일 실시 예에 의한 기판 운송장치의 구성 및 작용에 대해서 좀더 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 의한 기판 운송 장치의 구성을 도시한 단면도이고, 도 3은 상기 도 2의 인서트의 구성을 확대 도시한 확대도이고, 도 4는 상기 도 2의 인서트의 평면 구성을 도시한 평면도이고, 도 5는 상기 도 4의 Ⅰ-Ⅰ＇를 따른 단면도이다.

기판운송장치(10)는 도 2에 도시된 바와 같이 그 내부에 복수매의 기판(웨이퍼(W))을 수평방향으로 안착시켜 적재시키는 공간을 제공하는 하부케이스(11)와, 상기 하부케이스(11)의 상측을 커버하는 상부케이스(13)로 구성되며, 적재되는 웨이퍼(W)의 사이에 설치되어 각 웨이퍼(W)의 접촉을 방지하는 인서트(20)가 설치된다. 상기와 같이 적재되는 웨이퍼(W) 더미의 상·하부에는 충격을 완화시키는 충격방지재(17)가 삽입된다.

다음은 상기 인서트(20)의 보다 구체적인 구성에 대해서 설명한다.

도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이 웨이퍼(W)의 직경보다 크게 제작된 환형의 프레임(21)과, 상기 프레임(21)의 내부에 소정의 간격을 두고 설치되는 복수개의 기판지지대(23)로 구성된다. 상기 기판지지대(23)의 상면에는 그 상면에 안착된 웨이퍼(W)가 미끄러지는 것을 방지하는 미끄럼방지부재(25)가 추가로 구성되고, 상기 미끄럼방지부재(25)는 복수개가 소정의 간격을 두고 설치되되 연질의 재질로 제작하여 웨이퍼(W)의 저면을 받쳐주도록 구성함이 바람직하다. 이와 같은 구성에 있어서, 상기 인서트(20)의 재질은 적어도 웨이퍼(W)의 하중을 견딜 수 있는 정도의 강성(rigidity)를 갖는 것으로 함이 바람직하다.

상술한 구성에 더불어 상기 프레임(21)의 저면에는 웨이퍼(W)의 상면이 접촉되는 것을 방지하도록 소정의 거리를 확보하는 돌출부(27)를 마련함이 바람직하다. 이때, 상기 돌출부(27)는 상기 프레임(21)의 형상을 따라 환형으로 제작하거나 또는 상기 프레임(21)의 저면 다수개소에 복수개로 구성된 형태로 제작하여 사용할 수 있다.

이와 같은 구성에 있어서, 중요한 점은 상기 돌출부(27)의 높이(D)이다. 즉, 상기 돌출부(27)의 높이(D)는 상기 웨이퍼(W)의 두께(T)와 미끄럼방지부재(25)의 두께(t)를 합한 것보다 크게 하여 웨이퍼(W)의 상면이 접촉되지 않도록 해야한다.

상술한 바와 같이 본 발명은 기판을 운송하는 운송장치에 사용되는 인서트의 구조를 개선하여 기판의 접촉을 방지함과 아울러 기판의 받침을 효과적으로 실시하여 기판에 데미지가 가해지는 문제점을 해소할 수 있다.

이와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구범위 뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

도 1은 종래의 기판 운송 장치의 구성을 도시한 단면도,

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 의한 기판 운송 장치의 구성을 도시한 단면도,

도 3은 상기 도 2의 인서트의 구성을 확대 도시한 확대도,

도 4는 상기 도 2의 인서트의 평면 구성을 도시한 평면도,

도 5는 상기 도 4의 Ⅰ-Ⅰ＇를 따른 단면도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10: 기판운송장치 11 : 하부케이스

13 : 상부케이스 17 : 충격흡수재

20 : 인서트 21 : 프레임

23 : 기판지지대 25 : 미끄럼방지부재

27 : 돌출부 W : 기판(웨이퍼)

Claims (9)

1. 복수의 기판이 수평상태로 적재되는 공간을 제공하는 하부케이스;

   상기 하부케이스의 상측을 커버하는 상부케이스; 및

   상기 각 기판의 사이에 설치되되 상기 기판의 상면과의 접촉을 피하도록 설계된 인서트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 운송장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 인서트는 기판의 외부 둘레보다 크게 형성된 프레임과, 상기 프레임의 내부에 소정의 간격을 두고 형성된 기판지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 운송장치.
3. 제 2항에 있어서, 상기 기판지지대의 상면에는 기판의 미끄러짐을 방지하는 미끄럼방지부재가 추가로 포함된 것을 특징으로 하는 기판 운송장치.
4. 제 3항에 있어서, 상기 미끄럼방지부재는 상기 기판지지대의 상면에 소정의 간격을 두고 복수개가 마련된 것을 특징으로 하는 기판 운송장치.
5. 제 3항에 있어서, 상기 미끄럼방지부재의 재질은 연질의 재질로 된 것을 특징으로 하는 기판 운송장치.
6. 제 2항에 있어서, 상기 프레임의 저면에는 웨이퍼의 상면과의 거리를 확보를 하도록 소정높이로 된 돌출부가 마련된 것을 특징으로 하는 기판 운송장치.
7. 제 6항에 있어서, 상기 돌출부의 높이는 상기 기판의 두께와 미끄럼방지부재의 두께를 합한 것보다 크게 제작된 것을 특징으로 하는 기판 운송장치.
8. 제 1항에 있어서, 상기 기판은 반도체 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 기판 운송장치.
9. 제 1항에 있어서, 상기 인서트의 재질은 적어도 기판의 무게를 지탱할 수 있는 정도의 강성(RIGIDITY)을 갖는 재질인 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.