JPS6311718Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は、例えば半導体ウエハのような薄板
体を多数枚平行して保持した保持器から、薄板体
を減数して取出し他の保持器に移す移替え装置に
関する。

以下、薄板体として半導体ウエハ（以下「ウエ
ハ」と称する）を、化学処理工程の場合について
説明する。

第１図はウエハの保持器の斜視図で、保持器１
は一般にウエハキヤリヤと称して使用されてい
る。保持器１は相対向する両側板部２と両端板部
３との四辺により形成され、上部及び下部は開放
されている。両側板部２の内面には双方に対応し
た多数条の平行した保持みぞ４が立て方向に配設
され、下方はみぞの深さが浅くされ、対応する双
方間の広さが狭くなつている。各保持みぞ４の配
列は一定ピツチ（例えば約2.4mm）に設けられて
おり、多数枚のウエハ１１がそう入され、両側下
方を浅くされた保持みぞ４の下方側で受止められ
ている。両端板部３の外面にはそれぞれ１対の案
内突起５が設けられ、中間部にはそれぞれ係合穴
６があけられている。

第３図は保持器１を持運びするための下げ具の
斜視図である。下げ具７の下方に延びた両腕部７
ａの下端には内方に引掛け突起８が設けられ、上
記保持器１の両係合穴６内に引掛けられ持運ばれ
るようになつている。両腕部７ａは可とう性をも
ち、いつたん外方に広げられ保持器１の両案内突
起５間にはめられ、引掛け突起８が係合穴６内に
入ると内方に狭ばまつて元の姿勢に復帰して係合
し、保持器１が持運ばれる。

保持器１の上面には、１対のはめ込み穴９及び
１対の位置決め突起１０が設けられており、同一
構成の他の保持器１を逆様の姿勢にし上方に重ね
合わすと、互いの突起１０が相手方のはめ込み穴
９に入り、双方が位置合せされて、一方の保持器
１のウエハ１１が他方の保持器１へ同時移替えが
できるようにしている。

ところで、ウエハ１１の各種の処理工程におい
ては、第１図のような保持器１が多用されている
が、ウエハの配烈間隔は図のような密な間隔とは
限らず、各処理工程によつて適当な間隔がある。

例えば、ウエハ１１を化学薬品に浸漬して拡散
前処理をする場合や、化学めつきを施す場合に
は、薬液のウエハ相互間の環流を良好にすること
が肝要である。このためウエハ相互の配列ピツチ
は、例えば約4.8mmのような比較的粗いピツチが
用いられる。しかし、ウエハ１１をある工工程か
ら次の工程に搬送したり、保管したりする場合
は、ウエハ相互の配列ピツチは、例えば2.4mmの
ような比較的密なピツチが生産性上好ましい。ま
た、拡散などのガス雰囲気での熱処理でも、処理
能力向上のため、2.4mmのような密なピツチが用
いられる。

このため、第１図のように保持器１の各保持み
ぞ４ごとに各ウエハ１１をそう入し、例えば2.4
mmピツチの密に配列し、所要の処理工程や運搬を
する。次の処理工程でウエハ１１を4.8mmピツチ
の粗に配列したい場合、従来は第２図に示すよう
に、第１図のＡの保持器１からウエハ１１をピン
セツトのようなはさみ具１２ではさんでは、他の
Ｂの保持器１の保持みぞ４へ一つおきに入れてい
た。

このように、従来は一方の保持器１のウエハ１
１を他の保持器１へ配列ピツチを変えて移替える
のに、いちいちはさみ具１２ではさんで手作業で
移していた。このため、非常に時間がかかり、生
産性が悪く、そのうえ、はさみ具１２でウエハ１
０を汚したり、傷つけたりしていた。

この考案は、保持器の両側板部内面の保持みぞ
の配列ピツチの複数倍のピツチの案内みぞを両側
板部内面に設け、上下部が開口する移替え用具を
形成し、その移替え用具を一方の保持器上に重ね
合わせ係合手段で双方を連結し、その移替え用具
上に他の保持器を重ね合わせ、一方の保持器側を
上方にして傾け、一方の保持器の薄板体を粗の配
列ピツチで他の保持器に移替えられるようにし、
薄板体の配列ピツチを変えた移替えが作業性よく
極めて短時間で行なえ、薄板体を汚したり、傷つ
けたりすることのないようにした、薄板材の移替
え装置を提供することを目的としている。

第４図はこの考案の一実例による薄板材の移替
え装置の斜視図であり、薄板材としては、第１図
のウエハ１１の場合を示す。２１は移替え用具
で、相対向する両側板部２２と両端板部２３から
四辺が形成され、上、下部は開口されている。両
側板部２２の両内面には、上記保持器１の保持み
ぞ４に対応し同形の連通される案内みぞ２４が対
向して設けられ、保持みぞ４のピツチの複数倍
（図では２倍）のピツチで配列してある。なお、
図では簡単にするため案内みぞ２４は少数にして
いるが、実際には多数設けてある。両端板部２３
の外面には下方に延びた１対の連結腕２５が設け
られ、下端には内方に引掛け突起２６が形成さ
れ、上記保持器１の両係合穴６内に係合し、双方
が連結されるようにしている。連結腕２５は可と
う性にされており、ポリ四ふつ化エチレン、ポリ
エチレンなどの可とう性樹脂などからなり、両端
板部２３にねじ止め、接着あるいは一体成形など
により設けられている。移替え用具２１の上、下
面には、保持器１の位置決め突起１０に係合する
はめ込み穴２７及びはめ込み穴９に係合する位置
決め突起２８がそれぞれ設けられており、保持器
１の上面に重ね合わされたとき、位置合せされ
る。

移替え用具２１の材質は、各種のものが使用さ
きるが、ウエハ１１用の場合は、ポリ四ふつ化エ
チレン、ポリプロピレン、ポリエチレンなどの合
成樹脂が用いられる。

上記移替え用具２１を保持器１上面に重ね合わ
せた状態を第５図に斜視図で示す。この場合、移
替え用具２１の下面のはめ込み穴２７に保持器１
の位置決め突起１０が入り、保持器１のはめ込み
穴９に移替え用具２１の位置決め突起２８がそれ
ぞれ入り、相互が位置合せされる。このとき、移
替え用具２１の案内みぞ２４は、保持器１の保持
みぞ４に一つおきに連通するようになつている。
また、両連結腕２５の引掛け突起２６が保持器１
の両係合穴６に入り、移替え用具２１は保持器１
に連結され、双方を倒置しても外れないようにな
つている。なお、移替え用具２１を外すときは、
両連結腕２５の下端側を外方に開くと引掛け突起
２６の係合が離れ、容易に移替え用具２１が取外
される。

一方の保持器１に例えば2.4mmの配列ピツチで
ウエハ１１が50枚収容されているのを、4.8mm配
列ピツチで25枚を同種の他方の保持器１に移替え
る場合は、第６図に正面図で示すようにする。な
お、図では簡単にするため保持みぞ及び案内みぞ
数を少なくし、ウエハ１１の枚数を少数にして示
している。一方のＡの保持器１の各保持みぞ４に
ウエハ１１をそれぞれ収容しており、この保持器
の上に移替え用具２１を重ねて連結し、この移替
え用具上にさらに他方のＢの保持器１を逆向きに
し重ね合わせる。つぎに、これらの連結体を一体
に保ちながら、Ａ保持器１側を上方にしＢ保持器
１側を下方にして傾ける。すると、Ａ保持器１側
の各ウエハ１１のうち、移替え用具２１の連通す
る案内みぞ２４の分のみが通されてＢ保持器２の
保持みぞ４のうち一つおきに収容され、残りの半
数のウエハ１１は移替え用具２１に阻まれてＡ保
持器１に残留する。

そこで、Ａ保持器１と移替え用具２１及びＢ保
持器１の連結体を水平に戻し、連結を外すと、Ａ
及びＢの保持器１に各４・８mmの配列ピツチで25
枚宛のウエハ１１が収容されたことになる。この
各保持器１に収容されたウエハ１１に化学処理を
施す。この後再び２・４mmの配列で50枚のウエハ
１１収容に戻したい場合は、再び第６図のように
Ａ保持器１と移替え用具２１及びＢ保持器１とを
連結し、今度はＢ保持器１側を上方にし、Ａ保持
器１を下方に傾けることにより、Ａ保持器１にウ
エハ１１を50枚密のピツチで収容できる。

なお、上記実施例では一方の保持器１からウエ
ハ１１を半数だけ２倍の粗の配列ピツチで移替え
たが、移替え用具の案内みぞの数を保持器の保持
みぞの数に対し所要の減数した数を設けることに
より、減数した所要の数のウエハを他の保持器に
移し変えることができる。

また、上記実施例では薄板体として半導体ウエ
ハの場合を示したが、これに限らず例えばガラス
薄板などの場合の移替えにも適用できる。

以上のように、この考案の移替え装置によれ
ば、一方の保持器に密な配列ピツチで収容してい
る薄板体のうち所要の数を粗の配列ピツチで他の
保持器へのに移替えが、極めて短時間に作業性よ
く行なえ、薄板体を汚したり、傷つけたりするこ
となく安全に移替えられる。

また、特に移替え用具の両端外面から下方に１
対の連結腕を設けており、一方の保持器への結合
が、この一方の保持器に設けられ運搬に使用され
る両端部の係合穴を利用し、それに連結腕の引掛
け突起が係合することによつて、確実に一方の保
持器に重ね合せ結合ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はウエハの保持器の斜視図、第２図は第
１図の保持器からのウエハを他の保持器に減数し
て移替えている従来の状態を示す斜視図、第３図
は第１図の保持具の運搬用の下げ具の斜視図、第
４図はこの考案の一実施例を示す斜視図、第５図
はこの考案の一実施例の使用状態を示す斜視図、
第６図は他の使用状態を示す正面図である。 １……保持器、２……側板部、３……端板部、
４……保持みぞ、６……係合穴、１１……ウエ
ハ、２１……移替え用具、２２……側板部、２３
……端板部、２４……案内みぞ、２５……連結
腕、２６……引掛け突起。なお、図中同一符号は
同一又は相当部分を示す。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 対向する両側板部と両端板部との四辺を有し、
   少くとも上部は開口されており、上記両端板部に
   は中間部に係合穴があけられ、上記両側板部内面
   にはそれぞれ相対応して同一ピツチに配列された
   立て方向の多数条の保持みぞが設けられてなる保
   持器から、上記各保持みぞにそう入されてある薄
   板体を、上記保持器と同一構成の他の保持器に移
   替える用具において、対向する両側板部と両端板
   部との四辺を有し、上下部は開口されており、上
   記両側板部内面には、上記保持器上に重ね合をさ
   れると上記保持みぞに立て方向に連通し上記薄板
   体を減数して通す案内みぞが配列ピツチを上記保
   持みぞより粗にして複数条設けてあり、上記両端
   板部外面には、下方に延びて先端内方に引掛け突
   起をもつ１対の連結腕が取付け又は１体成形によ
   り設けられてなり、上記保持器に重ね合わされる
   と、上記係合穴に上記引掛け突起が係合し双方を
   連結するようにしている薄板体の移替え装置。