JP2675164B2 - ウエハキャリヤの格納装置兼輸送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、シリコン等の円柱状結晶体を薄く輪切りに
した円板状でICやトランジスタの基板となるウエハを収
納するウエハキャリヤの格納装置兼輸送装置に関する。

［従来の技術］ かかるウエハの処理においては、各処理装置間の輸送
のため、複数枚のウエハを相互に間隔を設けて内壁に刻
設したウエハ溝に保持して収納するウエハキャリヤが用
いられている。

例えば第３図に示すウエハキャリヤの洗浄装置B1にお
いては、搬入側と搬出側とに複数個（図示の例では２列
３行の６個）のウエハキャリヤＣを格納する搬入側格納
装置20と搬出側格納装置21とが設けられ、洗浄装置の把
持搬送装置22は搬入側格納装置20からウエハキャリヤＣ
を１個ずつ取り出して内部に投入し、洗浄の終了したウ
エハキャリヤＣを内部から取り出し搬入側格納装置21に
格納すようにしている。

［発明が解決しようとする課題］ 上記の洗浄装置B1に対しウエハキャリヤＣを搬入、搬
出するには、従来、例えば第４図に示すような輸送装置
A1が用いられている。この輸送装置A1は、キャスタ31を
備えた床面を移動自在なケーシング32に複数（図示の例
では６個）の仕切室33を画成し、各仕切室33にそれぞれ
２個のウエハキャリヤＣを格納している。

そして、この輸送装置A1を洗浄装置B1の近くに移動
し、ウエハキャリヤＣを１個ずつ取り出して搬入側格納
装置20に格納し、また搬出側格納装置21のウエハキャリ
ヤＣを１個ずつ持ち上げて輸送装置A1の仕切室32に格納
するようにしていた。

したがって、人手を要して搬送効率が悪く、また、キ
ャリヤＣを人手で移動する間に、キャリヤＣが汚染され
るおそれがある。

本発明は、搬送効率を向上したウエハキャリヤの格納
装置兼輸送装置を提供することを目的としている。

［課題を解決するための手段］ 本発明によれば、キャスタを備え、床面を移動自在な
ベースプレートと、該ベースプレート上に立設された回
転自在な支柱と、該支柱から突設されウエハキャリヤを
前記支柱の回転中心から等距離の位置に保持するハンガ
ーとを設けている。

上記支柱は、例えば６角枠状に形成し、その各面に面
直な複数対のハンガーを高さ方向に等間隔に突設するの
が好ましい。

また、格納装置兼輸送装置（以下ストッカーという）
をセットする処理装置に、ストッカーの位置決め手段
と、割り出し手段と、キャリヤの上下移動手段と、キャ
リヤを把持し処理装置の投入口から投入し、また処理済
みのキャリヤを搬出口から取り出す把持搬送手段とを設
けるのが好ましい。

［作用］ 上記のように構成された格納装置兼輸送装置（ストッ
カー）においては、すべてのハンガーにキャリヤを保持
格納したストッカーを処理装置に位置決め手段を介して
セットし、割り出し手段で支柱を回転位置決めし、上方
から順次キャリヤを上下移動手段と把持搬送手段とによ
り処理装置に投入し、処理済みのキャリヤをストッカー
に順次格納する。

［実施例］ 以下図面を参照して本発明の実施例を説明する。

第１図において、格納装置兼輸送装置である全体を符
号Ａで示すストッカーのキャスタ２〜２を備え床面上を
移動自在な台車１のベースプレート３の一側には、手押
し用の手すり４が立設され、中央部には円板５が回転自
在に設けられている。

この円板５の軸線上には、６角柱状の支柱６が立設さ
れ、その頂面には円孔７が形成されている。この支柱６
の各面には、面直な５対のハンガー８、８が高さ方向に
等間隔で突設されている。

それぞれのハンガー８、８には、ウエハキャリヤＣが
フランジ部C1、C1を介して載置格納されるようになって
いる。したがって、キャリヤＣ、Ｃ・・・は円板５の軸
線から等距離の位置に保持されている。なお、図中の符
号９はガイドバーである。

第２図には、前記ストッカーＡをセットする処置装置
の一例である洗浄装置Ｂの搬入側が示されており、搬出
側は図示と対称に構成されている。

洗浄装置Ｂの搬入側には、切欠部で形成されたストッ
カーＡのセット部10が形成されている。

そのセット時の軸線上には、昇降自在なアーム11を介
して割り出し手段であるロケータを兼ねた割り出し装置
12であるディスクが設けられ、そのディスクの小径部12
aはストッカーＡの円孔７に嵌まるように形成されてい
る。

他方、洗浄装置Ｂの一側に形成された長孔13には、把
持搬送手段を構成する昇降と横行が自在なアーム14と、
そのアームに直交して相互に拡縮自在な一対のクランプ
15、15とが設けられている。

また、セット部10のクランプ15、15に対向する部分に
は、上下移動手段である前後進と昇降が自在で、巾がキ
ャリヤＡの底部に形成された凹部C2に係合するアーム16
が設けられている。なお、図中の符号17は投入口、18は
ガイドレールである。

ウエハキャリヤＣの洗浄装置Ｂへの搬入に際し、スト
ッカーＡを移動し、ガイドバー９をガイドレール18の図
示しないストッパに突き当てる。これによりストッカー
Ａは洗浄装置Ｂの割り出し装置12にセンタリングされ
る。

次いで、アーム11を降下し、小径部12aを円孔６に嵌
入して割り出し装置12をセットし、キャリヤＣを洗浄装
置Ｂの長手方向にセットする。

次いで、後進しておいたアーム14を上昇し、前進させ
て最上のキャリヤＣの凹部C2に係合し、所定位置まで持
ち上げる。

次いで、アーム14を下降し、拡げておいたクランプ1
5、15を縮めてフランジ部C1を介してキャリヤＣを把持
する。

次いで、アーム14を横行して下降し、キャリヤＣを投
入口17から内部に投入する。

次いで、最上から２番目のキャリヤＣを同様にしてク
ランプ15、15で把持し、投入口17から投入する。

そして、第１列の６個のキャリヤＣの投入が終了した
ら、割り出し装置12によりストッカーＡの支柱６を60゜
回転し、前述と同様な動作で、第２列のキャリヤＣを投
入口17から投入する。

また、搬出側においては、前記と逆の動作で、クラン
プ15、15により図示しない搬出口から洗浄済みのキャリ
ヤＣを取り出し、搬出側にセットしてあるストッカーＡ
のハンガー８、８に順次格納する。

［発明の効果］ 本発明は、以上説明したように構成されているので、
格納装置と輸送装置とを兼ねたストッカーを処理装置に
セットし、従来の輸送装置と格納装置間の搬送を全くな
くし、搬送効率を大巾に向上すると共に省力化し、ま
た、その間のウエハキャリヤの汚染をなくすことができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は本発
明のストッカーがセットされる洗浄装置の搬入側を示す
斜視図、第３図は従来の格納装置を示す洗浄装置の斜視
図、第４図は従来の輸送装置を示す斜視図である。 Ａ……ストッカー、Ｃ……ウエハキャリヤ、１……台
車、２……キャスター、３……ベースプレート、５……
円板、６……支柱、８……ハンガー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤江 信夫 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 園田 浩明 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】キャスタを備え、床面を移動自在なベース
   プレートと、該ベースプレート上に立設された回転自在
   な支柱と、該支柱から突設されウエハキャリヤを前記支
   柱の回転中心から等距離の位置に保持するハンガーとを
   設けたことを特徴とするウエハキャリヤの格納装置兼輸
   送装置。