TWI378886B - Buckle for thin plate storage container and thin plate storage container - Google Patents

Description

1378886 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於用以收納半導體晶圓等之薄板，並予以 搬運及保管的薄板收納容器所使用之薄板收納容器用扣鉤 及使用該薄板收納容器用扣鉤之薄板收納容器。 【先前技術】 收納少數之薄板並予以搬運、保管等之薄板收納容 器，係廣爲一般所知悉。於此種薄板收納容器中，收納之 薄板的片數少之情形，整體變得小型，本體部與蓋體部之 間，係以黏著捲帶所固定。 【發明內容】 [發明所欲解決之課題] 且說，如前述之薄板收納容器般，於以黏著捲帶固定 本體部與蓋體部之間的情形時，黏著面會接著於各處，必 須正確地定位於本體部與蓋體部之間而粘貼。因此，張貼 黏著捲帶之作業花時間，作業性差。進而，也有發生錯誤 之問題。 [解決課題之手段] 本發明係有鑑於前述之問題點所完成者，係提供可以 容易地固定下側容器部與上側容器部之薄板收納容器用扣 鉤及薄板收納容器。因此，第1發明係一種薄板收納容器 -4 - (2) (2)1378886 用扣鉤，其特徵爲具備：構成大致整體形狀之板狀本體 部；及設置於該本體部的上端，且形成用以鉤住上側容器 部的卡止板之溝部的上側扣鉤部；及設置於前述本體部的 下端，且形成用以鉤住下側容器部的卡止板之溝部的下側 扣鉤部；及分別切開前述上側扣鉤部及下側扣鉤部的左右 方向之中間位置所形成的彈簧安裝部；及跨裝於該各彈簧 安裝部之板狀彈簧；以及設置於該板狀彈簧之中途，且與 分別形成於前述下側容器部側及上側容器部側的各卡止板 之缺口嵌合而定位支撐的卡止用突起，前述上側扣鉤部與 下側扣鉤部係形成爲上下對稱，並且該上側扣鉤部及下側 扣鉤部係分別形成爲左右對稱。 藉由前述構成，於上側容器部與下側容器部閉合之狀 態下，上側扣鉤部的溝部與下側扣鉤部的溝部分別嵌合， 薄板收納容器用扣鉤鉤住上側容器部的卡止板與下側容器 部的卡止板。此時，各彈簧安裝部的板狀彈簧之卡止用突 起嵌合於前述下側容器部側及上側容器部側之各卡止板的 缺口，將前述薄板收納容器用扣鉤定位支撐於各卡止板。 藉此，上側容器部與下側容器部藉由前述薄板收納容器用 扣鉤所固定。 另外，上側扣鉤部與下側扣鉤部係形成爲上下對稱， 且該上側扣鉤部與下側扣鉤部係形成爲分別左右對稱，薄 板收納容器用扣鉤並不需要使其上下左右一致，可以容易 地安裝。 於關於前述第1發明之本體部的上下方向中央部的左 -5- (3) (3)1378886 右方向兩端部，以設置以手抓住用之左右對稱的凹部爲 佳β 藉由前述構成，以手抓住，可以將前述薄板收納容器 用扣鉤安裝於上下之卡止板。 第2發明係一種薄板收納容器，其特徵爲具備：排列 收納複數片薄板之下側容器部；及覆蓋於該下側容器部的 上側之上側容器部；以及以於前述下側容器部覆蓋前述上 側容器部之狀態下，固定該等之間之薄板收納容器用扣 鉤，前述下側容器部與上側容器部具有相同形狀而可以上 下更換，並且於該等下側容器部及上側容器部分別設置前 述薄板收納容器用扣鉤卡止之卡止板，前述薄板收納容器 用扣鉤，係具備：構成大致整體形狀之板狀本體部；及設 置於該本體部的上端，且形成用以鉤住上側容器部的卡止 板之溝部的上側扣鉤部；及設置於前述本體部的下端，且 形成用以鉤住下側容器部的卡止板之溝部的下側扣鉤部； 及分別切開前述上側扣鉤部及下側扣鉤部的左右方向之中 間位置所形成的彈簧安裝部；及跨裝於該各彈簧安裝部之 板狀彈簧；以及設置於該板狀彈簧之中途，且與分別形成 於前述下側容器部側及上側容器部側的各卡止板之缺口嵌 合而定位支撐的卡止用突起，前述上側扣鉤部與下側扣鉤 部係形成爲上下對稱，並且該上側扣鉤部及下側扣鉤部係 分別形成爲左右對稱。 藉由前述構成，於下側容器部收納複數片薄板，於此 下側容器部覆蓋上側容器部，於各卡止板分別鉤住前述薄 -6 - 1378886 • , (4) 板收納容器用扣鉤的上側扣鉤部及下側扣鉤部，而安裝薄 板收納容器用扣鉤。此時，各彈簧安裝部之板狀彈簧的卡 止用突起，係與前述下側容器部側及上側容器部側之各卡 止板的缺口嵌合，將前述薄板收納容器用扣鉤定位支撐於 各卡止板。藉此，上側容器部與下側容器部藉由前述薄板 收納容器用扣鉤所固定。 另外，上側扣鉤部及下側扣鉤部係形成爲上下對稱， φ 且該上側扣鉤部及下側扣鉤部係分別形成爲左右對稱，所 • 以薄板收納容器用扣鉤不需要使其上下左右一致，可以容 . 易地安裝。 於關於前述第2發明之本體部的上下方向中央部的左 右方向兩端部，以設置以手抓住用之左右對稱的凹部爲 佳。 藉由前述構成，以手抓住，可以將前述薄板收納容器 用扣鉤安裝於上下之卡止板。 [發明效果] 於下側容器部及上側容器部的各卡止板一安裝薄板收 納容器用扣鉤時，板狀彈簧的卡止用突起與各卡止板的缺 口嵌合，將薄板收納容器用扣鉤定位支撐於各卡止板，此 薄板收納容器用扣鉤固定下側容器部與上側容器部，變得 可以容易地固定下側容器部與上側容器部。 另外，薄板收納容器用扣鉤係形成爲上下、左右對 稱，不需要使其上下左右一致，可以容易地安裝前述薄板 (5) (5)1378886 收納容器用扣鉤，可以容易地固定下側容器部與上側容器 部。 【實施方式】 以下，依據所附圖面來說明本發明之實施形態。本發 明之薄板收納容器，係提供收納半導體晶圓、磁性記錄媒 體光碟、光記錄媒體光碟等之薄板，予以搬運、保管之容 器。在本實施形態中，以收納半導體晶圓之薄板收納容器 爲例做說明。 薄板收納容器1係如第2〜6圖所示般，主要係由： 下側容器部2、及上側容器部3、晶圓載具4、薄板收納 容器用扣鉤5所構成。 前述下側容器部2係於內部排列收容複數片半導體晶 圓W之容器。此下側容器部2係以平面形狀大致長方形 之深底的容器所構成。於此下側容器部2的上部係形成有 朝外側突出之膨脹突出部2A。此膨脹突出部2A係涵蓋前 述下側容器部2的上部全周而設置。於前述下側容器部2 的短邊側（第6圖中之左右兩側）的膨脹突出部2A之下 端部設置有卡止板7(參照第13、14圖）。此卡止板7 係藉由從膨脹突出部2A的下端部朝下方延伸至下方之板 材所構成，成爲與後述之薄板收納容器用扣鉤5的下側扣 鉤部27嵌合。於卡止板7的中央部設置有與薄板收納容 器用扣鉤5的卡止用突起30嵌合之缺口 8(參照第14 圖）。此缺口8係形成爲圓弧狀之凹狀，以便薄板收納容 ."* W·〆 -8- (6) 1378886 器用扣鉤5的卡止用突起30可以順利地嵌合。藉此， 板收納容器用扣鉤5的卡止用突起30嵌合於缺口 8, 板收納容器用扣鉤5被定位支撐著。進而，缺口 8的緣 也彎曲爲圓弧狀而形成，卡止用突起30滑動於卡止板 而順利地嵌合於缺口 8，且可以順利地拔取。 於前述下側容器部2的上端部，在長邊側（第6圖 之上下兩側）的長邊方向之一側一半（第3圖中之右半 設置有嵌合凸條10，於另一側一半（第3圖中之左半 設置有嵌合凹條11。進而，此等嵌合凸條10與嵌合凹 11係2個分別設置於長邊。此等嵌合凸條1〇與嵌合凹 1 1係如第7、8圖所示般，以可以相互嵌合之方式藉由 同形狀的凸部與凹部所構成。藉此，與此嵌合凸條10 嵌合凹條1 1相同形狀之後述的上側容器部3之嵌合凹 18及嵌合凸條17，係分別與前述下側容器部2的嵌合 條1 0及嵌合凹條1 1嵌合，上側容器部3被定位支撐於 側容器部2之狀態下而被覆蓋。 如第3圖所示般，於前述下側容器部2的底部，係 成有後述之晶圓載具4的嵌合足部22嵌合而支撐晶圓 具4之晶圓載具支撐溝1 3。此晶圓載具支撐溝丨3係配 晶圓載具4之嵌合足部22而分別設置於前述下側容器 2的底部之2處位置。 上側容器部3係用以覆蓋收納有半導體晶圓w之 述下側容器部2的上側之容器。此上側容器部3係與前 下側容器部2相同’由平面形狀大致長方形之深底的容 薄 薄 部 中 ) ) 條 條 相 及 條 凸 下 形 載 合 部 前 述 器 -9- f： S .> (7) 1378886 所構成。如第2〜6圖所示般，於此上側容器部3之下 形成有朝向外側膨脹之膨脹突出部3A。此膨脹突出部 係涵蓋上側容器部3的下部之全周而設置。於上側容器 3的短邊側之膨脹突出部3A的上端部設置有卡止板 (參照第13圖）。此卡止板15係由從膨脹突出部3A 上端部延伸至上方之板材所構成，垂與後述之薄板收納 器用扣鉤5的上側扣鉤部26嵌合。於卡止板15的中央 設置有與薄板收納容器用扣鉤5的卡止用突起30嵌合 缺口（未圖示出）。此缺口係與下側容器部2的卡止板 之缺口 8同樣地構成。 如第3圖所示般，於上側容器部3的下端部，在長 側之長邊方向的左半部分設置有嵌合凸條17，於右半 分設置有嵌合凹條18。此等嵌合凸條17與嵌合凹條 係構成爲與前述下側容器部2的嵌合凸條10及嵌合凹 11相同形狀。藉此，此嵌合凸條17及嵌合凹條18與 側容器部2的嵌合凸條10及嵌合凹條11分別嵌合，上 容器部3以被定位支撐之狀態而覆蓋於前述下側容器 2 ° 於上側容器部3的底部形成有晶圓載具4之嵌合足 22嵌合來支撐晶圓載具4之晶圓載具支撐溝1 3。此晶 載具支撐溝1 3係配合晶圓載具4之嵌合足部22而分別 置於上側容器部3的底部之2處位置。 藉此，下側容器部2與上側容器部3係以形同形狀 成，上下替換使任何一者成爲下側，也可以收納晶圓載 部 3 A 部 15 的 容 不 之 7 邊 部 18 條 下 側 部 部 圓 設 構 具 S ^ -10- _ . (8) 1378886 4 ° 晶圓載具4主要係具備：溝板部21、及嵌合足部22 所構成。溝板部21係具備複數的支撐溝21A所構成，半 導體晶圓W係嵌合於各支撐溝21A而被支撐。溝板部21 .係左右對稱、相互面對而設置，可以從兩側來支撐半導體 晶圓W。嵌合足部22係朝向下方延伸出而設置於各溝板 部21的下端部。各嵌合足部22係用以支撐晶圓載具4整 φ 體之構件。進而’各嵌合足部22係於晶圓載具4被收納 • 於前述下側容器部2之狀態下，與各晶圓載具支撐溝1 3 - 嵌合而將晶圓載具4定位於下側容器部2內的正確位置予 以支撐之構件。進而，各嵌合足部22也與上側容器部3 嵌合。晶圓載具4係於被收納於配設在下側之上側容器部 3的狀態下，各嵌合足部22分別嵌合於各晶圓載具支撐 溝13’而將晶圓載具4定位支撐於上側容器部3內的正 確位置。 # 薄板收納容器用扣鉤5係於前述下側容器部2覆蓋前 述上側容器部3之狀態下來固定該等之間的構件。 如第1、9〜1 2圖所示般，薄板收納容器用扣鉤5係 由：本體部25、上側扣鉤部26、及下側扣鉤部27、及彈 黃安裝部28、及板狀彈簧29、及卡止用突起30所構成。 本體部25係構成薄板收納容器用扣鉤5之大致整體 形狀之板狀構件。此本體部25係以具有彈性之合成樹脂 所構成。具體而言’係由：於下側容器部2覆蓋上側容器 部3之狀態下，具備可以確實地支撐該等之強度而有撓性 -11 - (9) (9)1378886 之合成樹脂材料所構成。因應下側容器部2及上側容器部 3之大小、重量，而選擇合成樹脂的種類。於本體部25 的上下方向中央部之左右方向兩端部，設置有以手抓住用 之左右對稱的凹部25A。 上側扣鉤部26係設置於本體部25的上端，且用以形 成鉤住上側容器部3的卡止板15之溝部2 6A的部分。溝 部26A係配合卡止板15的上端部形狀所形成。 下側扣鉤部27係設置於本體部25的夏端，且用以形 成鉤住下側容器部2的卡止板7之溝部27A的部分。溝 部27A係配合卡止板7的下端部形狀所形成。 彈簧安裝部28係用以橫跨板狀彈簧29之缺口。此彈 簧安裝部28係分別缺除上側扣鉤部26及下側扣鉤部27 的左右方向的中央位置所形成。此彈簧安裝部28於本實 施形態中，雖分別1個地形成於上側扣鉤部26及下側扣 鉤部27，但是可以因應板狀彈簧29的數目而設置2個以 上。 板狀彈簧29係彈性地抵接卡止板7、15用之構件。 此板狀彈簧29係橫跨彈簧安裝部2 8而安裝。 卡止用突起3 0係與分別形成於下側容器部2及上側 容器部3側之各卡止板7、15之缺口 8嵌合’來定爲支撐 薄板收納容器用扣鉤5之構件》此卡止用突起30係於板 狀彈簧29的中途（中央位置）朝各卡止板7、15的缺口 8側隆起爲V字形所形成。此V字形之卡止用突起3 0係 與圓弧狀的缺口 8嵌合而定位支撐薄板收納容器用扣鉤 -12- (10) (10)1378886 5。卡止用突起30雖只設置1個於板狀彈簧29,但是也 可以設置2個以上。重點在於薄板收納容器用扣鉤5之橫 向偏離防止之情形，增加卡止用突起30的數目。 進而上側扣鉤部26及下側扣鉤部27係上下對稱地形 成。另外，上側扣鉤部26及下側扣鉤部27係分別形成爲 左右對稱。藉此，薄板收納容器用扣鉤5不管上下左右， 可以從任何一個方向插入下側容器部2側及上側容器部3 側之各卡止板7、1 5而安裝。 [作用] 如前述般所構成之薄板收納容器1，係如下述般使 用。 首先，準備下側容器部2、上側容器部3及晶圓載具 4，於晶圓載具4收納半導體晶圓W。接著，將晶圓載具 4收納於下側容器部2或上側容器部3之其中一方的內 部，將晶圓載具4的嵌合足部22嵌合於晶圓載具支撐溝 13 ° 接著，使下側容器部2或上側容器部3之另一方從其 上側覆蓋於伊方。藉此，下側容器部2的嵌合凸條1〇及 嵌合凹條11與上側容器部3的嵌合凹條18及嵌合凸條 1 8相互嵌合。 接著，於下側容器部2的卡止板7及上側容器部3的 卡止板15安裝薄板收納容器用扣鉤5。具體而言，以手 抓住薄板收納容器用扣鉤5的凹部2 5 A，將上側扣飽部 X £ ) -13- (11) 1378886 26嵌合於上側之卡止板7或15，將下側扣鉤部27 下側之卡止板15或7，將薄板收納容器用扣鉤5 各卡止板7、15之中央位置。 藉此，板狀彈簧29的卡止用突起30 —面滑動 板7、15，一面與缺口 8嵌合，來定位支撐薄板收 用扣鉤5。此時，於將薄板收納容器用扣鉤5嵌合 板7、15時，不需要使薄板收納容器用扣鉤5的上 —致，只要將薄板收納容器用扣鉤5的上側扣鉤部 下側扣鉤部27適當地嵌合於下側容器部2及上側 3的卡止板7' 15之其中之一即可。 在從薄板收納容器1內取出半導體晶圓W時 薄板收納容器用扣鉤5，從缺口 8拆下卡止用突起 卡止板7、15拔出薄板收納容器用扣鉤5。 接著，拆下上側之上側容器部3或下側容器部 出內部的晶圓載具4。然後，適當地取出晶圓載具 導體晶圓W而施以處理等。 [效果] 藉此，薄板收納容器1可以達成如下效果。 於下側容器部2及上側容器部3之各卡止板7 裝薄板收納容器用扣鉤5時，板狀彈簧29的卡止 30與各卡止板7、15之缺口 8嵌合，將薄板收納 扣鉤5定位支撐於各卡止板7、15，此薄板收納容 鉤5固定下側容器部2及上側容器部3，可以容易 嵌合於 滑動至 於卡止 納容器 於卡止 下左右 26及 容器部 ，錯開 30，從 2，取 4的半 、15安 用突起 容器用 器用扣 地固定 -14 - (12) 1378886 下側容器部2及上側容器部3。 另外，薄板收納容器用扣鉤5係形成爲上下、左右對 稱，不需要使其上下左右一致，可以容易地安裝前述薄板 收納容器用扣鉤，能夠容易地固定下側容器部與上側容器 部。 【圖式簡單說明】 φ 第1圖係表示關於本發明之實施形態的薄板收納容器 • 用扣鉤之正面圖。 . 第2圖係將關於本發明之實施形態的薄板收納容器一 部份予以剖開而表示之正面圖。 第3圖係將關於本發明之實施形態的薄板收納容器一 部份予以剖開而表示之正面剖面圖。 第4圖係將關於本發明之實施形態的薄板收納容器一 部份予以剖開而表示之側面圖。 φ 第5圖係表示關於本發明之實施形態的薄板收納容器 之平面圖。 第6圖係將關於本發明之實施形態的薄板收納容器於 拆下其上側容器部之狀態下所表示之平面圖。 第7圖係表示關於本發明之實施形態的薄板收納容器 的下側容器部的上端部之重要部位放大正面圖。 第8圖係表示關於本發明之實施形態的薄板收納容器 的下側容器部的上端部之重要部位放大平面圖。 第9圖係表示關於本發明之實施形態的薄板收納容器 -15- . . (13) 1378886 用扣鉤之側面圖。 第10圖係表示關於本發明之實施形態的薄板收納容 器用扣鉤之平面圖。 第11圖係第1圖之A-A線箭頭方向視圖剖面圖。 第12圖係第1圖之B-B線箭頭方向視圖剖面圖。 第13圖係將關於本發明之實施形態的薄板收納容器 用扣鉤安裝於卡止板之狀態下所表示之側面圖。 φ 第14圖係表示關於本發明之實施形態的薄板收納容 • 器用扣鉤之板狀彈簧及卡止板部分之重要部位放大圖。 【主要元件對照表】 1 :薄板收納容器 2 :下側容器部 2A :膨脹突出部 3 :上側容器部 φ 3A :膨脹突出部 4 :晶圓載具 5 :薄板收納容器用扣鉤 7 :卡止板 8 :缺口 I 〇 :嵌合凸條 II :嵌合凹條 1 3 :晶圓載具支撐溝 15 :卡止板

-16- (14) (14)1378886 1 7 :嵌合凸條 1 8 :嵌合凹條 21 :溝板部 22 :嵌合足部 25 :本體部 26 :上側扣鉤部 2 7 :下側扣鉤部 28 :彈簧安裝部 29 :板狀彈簧 30 :卡止用突起 W :半導體晶圓

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Claims (1)

1378886 第096109946號專利申請案中文申請專利範圍修正本 民國100年11月/宁日修正 十、申請專利範圍 1. —種薄板收納容器用扣鉤，其特徵爲： 具備：構成大致前述扣鉤整體形狀之板狀本體部；及 設置於該本體部的上端，且形成有用以沿著上側容器 部的卡止板的自由先端部的緣部滑動並鉤住用之上側溝部 Φ 的上側扣鉤部：及 設置於前述本體部的下端，且形成有用以沿著下側容 器部的卡止板的自由先端部的緣部滑動並鉤住用之下側溝 部的下側扣鉤部：及 . 分別切開前述上側扣鉤部及下側扣鉤部的左右方向之 中間位置所形成的彈簧安裝部；及 相互平行地配置，且分別被安裝於前述上側扣鉤部及 前述下側扣鉤部的前述彈簧安裝部内之2個板狀彈簧；以 •及 設置於該板狀彈簧之中途，且與分別形成於前述下側 容器部側及上側容器部側的各卡止板的自由先端部的緣部 的途中之缺口彈性地嵌合而定位支撐的卡止用突起》 2. —種薄板收納容器，其特徵爲： 具備：排列收納複數片薄板的設有開口端之下側容器 部；及 覆蓋於該下側容器部的上側的設有端部之上側容器 部； 1378886 於前述下側容器部的前述開口端覆蓋前述上側容器 部，並且將該等之間固定之薄板收納容器用扣鉤：以及 從該等下側容器部或上側容器部的端部伸出，並卡止 於前述薄板收納容器用扣鉤之卡止板； 前述薄板收納容器用扣鉤，係具備：構成大致前述扣 鉤整體形狀之板狀本體部；及 設置於該本體部的上端，且形成有用以沿著上側容器 部的卡止板的自由先端部的緣部滑動並鉤住用之上側溝部 的上側扣鉤部；及 設置於前述本體部的下端，且形成有用以沿著下側容 器部的卡止板的自由先端部的緣部滑動並鉤住用之下側溝 部的下側扣鉤部：及 分別切開前述上側扣鉤部及下側扣鉤部的左右方向之 中間位置所形成的彈簧安裝部；及 相互平行地配置，且分別被安裝於前述上側扣鉤部及 前述下側扣鉤部的前述彈簧安裝部内之2個板狀彈簧；以 及 設置於該板狀彈簧之中途，且與分別形成於前述下側 容器部側及上側容器部側的各卡止板的自由先端部的緣部 的途中之缺口彈性地嵌合而定位支撐的卡止用突起°